JP3909773B2 - 線材の残留応力測定方法及び線材の残留応力測定装置 - Google Patents
線材の残留応力測定方法及び線材の残留応力測定装置 Download PDFInfo
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Description
請求項3に記載の本発明は、軸芯を含んだ平面が露出するように線材から半径方向の半分を除去して、残存部分が半断面を持つ柱状に形成するので、正確な残留応力を測定することを可能とする試験片を作成することができる。
1a 端面
2 ICチップ(集積回路)
3 印刷配線板
5 リード
8 集束イオンビーム装置(加工手段)
9,9’ フォルダ
10 イオン源
11 集光レンズ
12 偏向電極
13a,13b 部分(一部)
14 平面
15 残存した部分(残存部分)
15a 端面
16a,16b 部分(一部)
20 試験片
21 線材の残留応力測定装置(試験片の作成装置)
23 二次荷電粒子検出器(観察手段、反り量を測定する手段)
24 制御装置(反り量を測定する手段)
P 軸芯
h 反り量
l 残存した部分の長さ
D 極細線(線材)の外径
E 極細線(線材)のヤング率
Claims (9)
- 線材の残留応力を推測する際に、集束イオンビームを前記線材の端面を含む部分から長手方向に沿って中央部に向かって、所定の長さ毎、順にずらしながら照射して、前記所定の長さ毎、前記線材の一部を順次除去することにより、順次除去されることで残存した部分が生じる反り量を測定することを特徴とする線材の残留応力測定方法。
- 線材の残留応力を推測する際に、集束イオンビームを用いたスパッタリングによって該線材の端面から長手方向に沿って該線材の一部を所定の長さに除去した後、前記端面を含みかつ所定長さの一部が除去されることで残存した部分が生じる反り量を測定する、という除去・測定工程を繰り返すことを特徴とする線材の残留応力測定方法。
- 前記線材の一部を除去する際に、該線材半径方向の半分を除去することによって、該線材はその軸芯を含んだ平面が露出し、そして残存部分はその半断面を持つ柱状をなすことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の線材の残留応力測定方法。
- 線材の残留応力を推測する際に、集束イオンビームを前記線材の中央部に位置する部分から長手方向に沿って、所定の長さ毎、順にずらしながら照射して、前記所定の長さ毎、前記線材中央部の一部を順次除去した後、この一部が除去された部分の中央を切断し、そしてこの切断によって生じた該線材の端面を含みかつ一部が除去されることで残存した部分の反り量を測定することを特徴とする線材の残留応力測定方法。
- 前記反り量をh、該線材のヤング率をE、前記線材の外径をD、および前記残存した部分の長さをlとして、前記線材の残留応力σを、
σ=0.2878×E×D×2h/l2
と推定することを特徴とする請求項1又は請求項4記載の線材の残留応力測定方法。 - 前記線材は、その外径が1〜100μmであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のうちいずれか一項に記載の線材の残留応力測定方法。
- 前記線材は、その外径が3〜50μmであることを特徴とする請求項1ないし請求項5のうちいずれか一項に記載の線材の残留応力測定方法。
- 線材の残留応力を推測する際に用いられる線材の残留応力測定装置において、
該線材の一端または両端を支持するフォルダと、
イオン源、集光レンズ及び偏向電極を少なくとも備え、該線材の長手方向に対し直交する方向から該線材の表面にイオンビームを加速集束させて、前記線材の長手方向に沿って、所定の長さ毎、順にずらしながら照射して、前記所定の長さ毎、前記線材の一部を順次除去して、前記線材の端面を含みかつ一部が除去されることで残存した部分を反らせる加工手段と、
前記線材の表面を所定の長さ毎に観察する観察手段と、
前記線材の端面を含みかつ一部が除去されることで残存した部分が生じる反り量を測定する手段と、
を含むことを特徴とする線材の残留応力測定装置。 - 線材の残留応力を推測する際に用いられる線材の残留応力測定装置において、
該線材の一端または両端を支持するフォルダと、
イオン源、集光レンズ及び偏向電極を少なくとも備え、該線材の長手方向に対し直交する方向から該線材の表面にイオンビームを加速集束させて照射することによって該線材の端面から長手方向に沿って該線材の一部を所定の長さ毎に順次除去する加工手段と、
前記線材の表面を所定の長さ毎に観察する観察手段と、
前記端面を含みかつ所定長さが除去されることで残存した部分が生じる所定の長さ毎の反り量を測定する測定手段と、
を含むことを特徴とする線材の残留応力測定装置。
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