JP3907405B2 - 音響検出装置 - Google Patents
音響検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3907405B2 JP3907405B2 JP2000380885A JP2000380885A JP3907405B2 JP 3907405 B2 JP3907405 B2 JP 3907405B2 JP 2000380885 A JP2000380885 A JP 2000380885A JP 2000380885 A JP2000380885 A JP 2000380885A JP 3907405 B2 JP3907405 B2 JP 3907405B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diaphragm
- objective lens
- receiving element
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は音響検出装置に係り、特に音響振動板の振動を反射光を用いて非接触で検出する光を用いた音響検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
音響等の微小振動検出を行う音響検出装置として光を用いたものが知られている。
光反射機能を有する振動板に光を照射することにより振動板の振動を光信号に変換し、さらにこの光信号を電気信号に変換することにより振動板の変位を検出するようにしたものである。
このような光を利用した音響検出装置では、振動板の振動に制約はなく振動板の振幅を非接触で検出できるところから直線性のよい出力が得られる。
【0003】
図3はこのような光照射型の音響検出装置として特開平11−355893号公報に記載された装置の概略構成図である。
音響振動板1に対向するように発光素子と受光素子とを配置し、対物レンズ2を介して発光素子からの放射光を振動板1に集光する。振動板1からの反射光は対物レンズ2を介して振動検出部8に導かれ振動板1の振動が検出される。
【0004】
対物レンズ2にはアクチエータ6が取付けられ、振動検出部8からの検出信号によって制御され対物レンズ2の最適焦点位置を調整するように構成されている。
通常、発光素子としての光源は半導体レーザの光が用いられ、これが対物レンズ2により振動板1に集光される。振動板1からの反射光は対物レンズ2を通過して振動検出部8に導かれ振動検出部からのフォーカスサーボ信号を振動板1の振動検出信号として出力する一方で、サーボ信号を発生させてアクチエータ6に出力する。これにより対物レンズ2を最適位置に調整する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図3に示す従来の音響検出装置では振動板1と対物レンズ2とが共に振動を伝える外気に直接触れる構造となっている。
したがって対物レンズ2は音圧にさらされると共に外気の風圧にも同時にさらされているためこの外気の影響により対物レンズ2を支える機構に歪みが発生し、これによって対物レンズ2が傾くなどして最適焦点位置に調整できなくなり、その結果S/N比の劣化を引き起こすことがあった。
本発明は上述した問題点を解消するためになされたもので、外気の影響により音響検出が不安定になることを防止した音響検出装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は音響によって振動する振動板と、前記振動板に対向して設置され、発光素子と受光素子とを同一基材上に配置した発光受光素子と、前記振動板と前記発光受光素子との間の光路上に設置され、前記発光素子からの放射光および/又は前記振動板からの反射光の最適集光位置を調整する対物レンズと、前記対物レンズを前記光路上で微小移動させるアクチエータとを備え、前記振動板からの反射光を前記受光素子で受光して電気信号として取出すことにより前記振動板の音響による振動変位を検出する音響検出装置において、前記発光受光素子基板と、対物レンズと、アクチエータとを筐体内に収納し、前記振動板と前記対物レンズとの間に光を透過させるも音響による振動は遮断する光透過性音圧遮断板を設け、この遮断板の質量を前記振動板の質量より遥かに大きく設定し、前記遮断板により前記筐体を密閉したことを特徴とする。
また、前記音響検出装置において、前記筐体は、外気圧変化が前記遮断板に歪みを発生させない程度に密閉されていることが望ましい。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る音響検出装置の一実施形態を示す図である。
図1に示す構成では音響振動板1に対向して発光素子と受光素子とを同一面上に配置した発光受光素子基板4が設けられている。
通常、基板4の中央部分に設けられた面発光レーザ素子などのような発光素子から放射光が放射され、光路上に設置された対物レンズ2を介して振動板1に焦点を結ぶように調整される。
【0008】
対物レンズの焦点調整は対物レンズ2に取付けられたアクチエータ6を駆動させることにより光軸上で対物レンズ2を微小移動させることにより行われる。
振動板1からの反射光は対物レンズ2を介して反射光軸分割素子3により回折され、発光受光素子基板4の受光素子が設けられた位置に集光される。通常、受光素子は基板4の周辺部に設けられている。
このような構成において、本発明では発光受光素子基板4と対物レンズ2とアクチエータ6と反射光速分割素子3とを筐体10内に収納し、遮断板5によりこの筐体10を密閉する。これにより対物レンズ2及びアクチエータ6が外気にさらされるのを防止する。
【0009】
遮断板5は振動板1と対物レンズ2との間に設けられ光を透過することはできるが音響による振動は遮断されるような光透過性音圧遮断板として構成される。
したがって、この遮断板5は音響振動板1の質量を遥かに超える質量を有している。
なお、筐体10は音圧や風圧には密閉する働きをするが外気圧変化の影響が遮断板5の歪みを生ずることがない程度に密閉する必要がある。
【0010】
図2は本発明の他の実施の形態を示すもので、筐体10の入口近傍で対物レンズ2に対向する面を絞り込んで、この位置に光透過性音圧遮断板5を設けたものである。また、振動板1を側面に開口部7を有する別の筐体9に取付け、この筐体9を検出部を収納している筐体10に取付けて一体的に構成したものである。
このような構成にすることにより音圧は振動板1の前面と後面から同時に振動板1を振動させるため、外来雑音の影響を低減することができる。
【0011】
【発明の効果】
本発明では振動板と対物レンズとの間に光透過性音圧遮断板を設けることにより、対物レンズへの不要な大気の外乱を遮断することができる。
したがって大気の外乱の影響で対物レンズが不要に傾くなど望ましくない動きを避けることができ、S/N比の高い振動検出信号を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る音響検出装置の概略構成図。
【図2】本発明の他の実施の形態に係る音響検出装置の概略構成図。
【図3】従来の装置の概略構成を示す図。
【符号の説明】
1:振動板
2:対物レンズ
4:発光受光素子基板
5:光透過性音圧遮断板
6:アクチエータ
10:筐体
Claims (2)
- 音響によって振動する振動板と、
前記振動板に対向して設置され、発光素子と受光素子とを同一基材上に配置した発光受光素子と、
前記振動板と前記発光受光素子との間の光路上に設置され、前記発光素子からの放射光および/又は前記振動板からの反射光の最適集光位置を調整する対物レンズと、
前記対物レンズを前記光路上で微小移動させるアクチエータとを備え、
前記振動板からの反射光を前記受光素子で受光して電気信号として取出すことにより前記振動板の音響による振動変位を検出する音響検出装置において、
前記発光受光素子と、対物レンズと、アクチエータとを筐体内に収納し、前記振動板と前記対物レンズとの間に光を透過させるも音響による振動は遮断する光透過性音圧遮断板を設け、この遮断板の質量を前記振動板の質量より遥かに大きく設定し、前記遮断板により前記筐体を密閉したことを特徴とする音響検出装置。 - 請求項1に記載の音響検出装置において、
前記筐体は、外気圧変化が前記遮断板に歪みを発生させない程度に密閉されていることを特徴とする音響検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000380885A JP3907405B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | 音響検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000380885A JP3907405B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | 音響検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002186098A JP2002186098A (ja) | 2002-06-28 |
JP3907405B2 true JP3907405B2 (ja) | 2007-04-18 |
Family
ID=18848998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000380885A Expired - Fee Related JP3907405B2 (ja) | 2000-12-14 | 2000-12-14 | 音響検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3907405B2 (ja) |
-
2000
- 2000-12-14 JP JP2000380885A patent/JP3907405B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002186098A (ja) | 2002-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3522212B2 (ja) | 音響等による微小変位検出装置 | |
WO2000019771A8 (en) | Microphone having linear optical transducers | |
US4796963A (en) | Scanning apparatus using a rotary polygon mirror | |
JP2009058341A (ja) | ビーム照射装置およびレーザレーダ | |
JP3951613B2 (ja) | マイクロホン | |
JPS59140497A (ja) | 物体の振動センサ | |
KR970002935A (ko) | 광학픽업 및 그 광편향커버 | |
TWI735466B (zh) | 雜波消除偵測器 | |
JPS55157723A (en) | Beam deflecting device | |
JP3907405B2 (ja) | 音響検出装置 | |
JP2007536537A (ja) | 目標捕捉装置 | |
US20230308811A1 (en) | Optical microphone and information processing apparatus | |
JPH07112318B2 (ja) | マイクロフォン | |
JP2001119796A (ja) | 光マイクロフォン素子および光マイクロフォン装置 | |
JP4588339B2 (ja) | 送受光装置および該送受光装置を備えた自動監視装置 | |
JPH0563775B2 (ja) | ||
JP2001157298A (ja) | 光学式マイクロホンおよびその製造方法 | |
US6906807B2 (en) | Membrane type optical transducers particularly useful as optical microphones | |
JPH06125599A (ja) | マイクロホン | |
JP6193279B2 (ja) | 光マイクロフォン、および補聴器 | |
JP3230625B2 (ja) | 反射型光電センサ | |
JP3638261B2 (ja) | 煙濃度測定装置 | |
CN217846621U (zh) | 具有可调光阑的激光接收模组以及激光雷达 | |
JP2001119784A (ja) | 光マイクロフォン装置 | |
JPS61267018A (ja) | 走査角検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110126 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120126 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130126 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |