JP3895401B2 - 可搬式化学分析器に適したゲッタポンプ装置 - Google Patents
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- 239000000126 substance Substances 0.000 title description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 13
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229910000986 non-evaporable getter Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は改良されたゲッタポンプ装置に関し、更に詳しくは、使用場所(on−site)のポンプにより排気される体積と排気に要する熱量とを最小にすることが必要であると共に、加熱速度と能力を最大化することが必要であるような真空ポンプに使用するのに適したゲッタポンプ装置に関する。
特に、本発明のゲッタポンプ装置は真空を使用することが必要な可搬式の装置に適している。
【0002】
【従来の技術】
大小の空間で真空を維持するためのゲッタポンプ装置はすでに30年来使用されている。それらの作用は貴ガスを除くすべての気体の化学吸着に基づくものである。ゲッタポンプ装置は可動部分がなく、排気すべきチャンバーを汚染する潤滑剤の使用が不要である利点を有する。
更に、ゲッタポンプ装置は不所望な場合が多い振動をそれが接続されている装置に伝達しない利点を有する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ゲッタポンプ装置の活性要素である非蒸発性ゲッタ材料は、相当に大きい動力を供給すべき加熱装置を必要とする。これは、定置プラントでは問題ではないゲッタポンプ装置の構造と重量が、小型の真空装置、特に可搬式装置でゲッタポンプ装置を使用するには不適当なものとなることを示している。
従って本発明の課題は、充分に軽量で、小さい動力しか必要とせず、そのため例えば可搬式の化学分析装置のような装置に使用できるゲッタポンプ装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、ゲッタポンプ装置の第1フランジ3に取りつけられた加熱部材2を収納しているさや体20に支持されたゲッタ素子1の組立体を具備した、可搬式装置中に真空を維持するのに適したゲッタポンプ装置において、前記加熱部材2と同軸で、閉鎖端でゲッタポンプ装置の支持体6に取りつけられている同軸状の複数の管状金属シールド7、8、9と、前記支持体6の反対側の端部で前記同軸管状金属シールド7、8の内部を排気すべき装置に連通させる金網17、18とを有することを特徴とするゲッタポンプ装置により解決される。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明の管状金属シールド7、8、9は一定間隔で離間し、好ましくは0.1〜1mmの同一の厚さを有する。
管状金属シールドは好ましくは3個である。
更に、金網を有する管状金属シールドは、最内部管状金属シールド7及び中間部管状金属シールド8であり、中間部管状金属シールド8に取りつけた金網18は最内部の金網17よりも密な孔目(メッシュ)を有するより細いワイヤにより形成されている。
以下に本発明を図示の実施例に関連して詳しく説明する。以下の説明は本出願人によるイタリア特許出願第MI95A000954号に記載されている型の加熱装置を有するゲッタポンプ装置に関連して行うが、これに限定されない。同出願のものはゲッタ素子の支持体も加熱部材を収納している。
【0006】
図面を参照すると、本発明の実施例によるゲッタポンプ装置においては、数個のゲッタ素子1は非蒸発性ゲッタ材料の円板により形成され、互いに近接して中央の加熱部材2の周りに取りつけられている。これに類する技術は特開平4−45480号、より好ましくは本出願人によるイタリア特許第M195A00954号に記載されている。後者の文献では、加熱部材2は排気すべきチャンバー(図示せず)に連通された参照数字10で示す空間を規定するポンプ壁の一部により形成されたさや体20の内部に収容されている。この実施例では、加熱部材2は第1フランジ3に取りつけられ、さや体20を形成する壁の部分は第2フランジ4に取りつけられている。
【0007】
本発明に従って、加熱部材2に対して同軸状の複数の管状熱シールド(この例では3個)7、8、9が一端を支持体6により支持され且つ閉じられ、側部に空間10を形成している。シールドは金属製であり、特に高温度を使用する用途では好ましくはステンレス鋼あるいはニッケルを使用する。またシールドは0.1〜1mm程度の薄い厚さを有する。シールドは反射率を増しそれにより外部への熱放出を減少するために研磨されている。更にシールドは装置の寸法に依存して好ましくは約1〜3mmの範囲で一定間隔で配置されている。管状の金属シールドは管状であり、好ましくはスポット溶接により脚部6aに結合され、一方脚部はねじまたはボルト15により支持部ブラケット5の部材を介して第2フランジ4に結合されている。
【0008】
図1に示したように、支持部ラケットは好ましくは120度の間隔になっている。管状シールド7、8、9は好ましくは3個であり、もしも2個では熱の放散は過剰になり、この種のポンプが必要とする動力を制限し、そのため動力はゲッタ素子の動作温度を維持するための温度(150〜400℃と考えられる)には不十分となることがある。ただし、上記数値の低い方の温度すなわち150〜200℃の温度で動作する場合には、2個のみの熱シールドを使用しても良く、他方約300℃以上の温度では寸法上の問題を生じないで4個の熱シールドを使用し得る。
【0009】
第2フランジ4との固定箇所の反対側には、一連のゲッタ素子1のスタックの頂部に近接して反らせ板11が設けてあり、そしてこの側で最内部管状金属シールド7は第1の金網17を通して排気すべき空間に連通し、一方最内部管状金属シールド7よりは若干高い中間管状金属シールド8は金網17の外側にあって金網17よりも直径の大きく中間管状金属シールドと同一の直径の第2の金網18を通して排気すべき空間に連通する。これに対して、第3の最外部の管状金属シールド9は固定端の反対側端部が開放している。明らかに、3個とは異なる数の管状金属シールドの場合には、常に最内部の2つの管状金属シールドはそれらの自由端(図の上端)に金網を有し、2個だけの場合には両者共に金網を有する。
【0010】
最内部の金網17は最内部管状金属シールド7と同一の直径を有し、好ましくは比較的太い針金でASA標準にして30〜40メッシュの孔目寸法を有する(約180〜210メッシュ/cm2 )。一方、最外部の金網18は細い針金で構成され、より小さい孔目(約十倍の密度)で約320〜400メッシュの孔目寸法を有する。これは最内部の金網がゲッタ素子から放出される可能性のある最も熱い粗大粒子を保持するためであり、余り細い金網では溶融する危険があるからである。このため、最外部の金網18は粗い孔目の最内部の金網17を通り抜けたより小さい粒子を、小質量の粒子が担うことができる熱量が小さいお陰で、金網が溶融する危険を生じないで保持することができる。
【0011】
更に、本発明によると、最外部の管状金属シールド9は外方への伝達性(すなわち排気すべきチャンバーとゲッタポンプ装置との間に充分な流路断面積を維持することができること)が減じないように、好ましくは金網を使用しない。
以上により本発明を説明したが、本発明は実施例に限定されるものではなく、本発明の技術思想の範囲内ですべての実施例、変形例に及ぶものである。特に、空間10内に配置されるゲッタ素子1の構造及び配置は異なっていても良いし、また管状熱シールドを取りつける手段も異なっていても良い。
【0012】
【発明の効果】
本発明によると、充分に軽量で、小さい動力しか必要とせず、そのため例えば可搬式の化学分析装置のような装置に使用できるゲッタポンプ装置を提供することができる。
これは管状金属シールドが同心円状に配置され、それらの排気すべき装置側に設けた金網がゲッタ素子から放出される熱い粒子を捕捉することにより、小型化と性能向上を達成したからである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のゲッタポンプ装置の立断面図である。
【図2】図1の部分Aを示す拡大断面図である。
【図3】 図1の部分Bを示す拡大断面図である。
【符号の説明】
1 ゲッタ素子
2 加熱部材
3 第1フランジ
4 第2フランジ
6 支持部材
7、8、9 管状金属シールド
17、18 金網
Claims (4)
- 第1フランジ(3)に取りつけられた加熱部材(2)を収納しているさや体(20)と、該さや体に支持されたゲッタ素子(1)の組立体とを具備したゲッタポンプ装置において、前記加熱部材(2)に対して同軸になるように、閉鎖端でゲッタポンプ装置の支持体(6)に取りつけられている同軸の複数の管状金属シールド(7,8,9)と、前記支持体(6)の反対側の端部で前記同軸の管状金属シールドのうち最内部の2つ(7,8)の内部を、排気すべき装置に連通させる金網(17,18)と、を有することを特徴とする可搬式装置中に真空を維持するための使用に適したゲッタポンプ装置。
- 管状金属シールド(7,8,9)は、一定間隔で離間しており且つ0.1〜1mmの厚さを有する請求項1のゲッタポンプ装置。
- 管状金属シールドは3個である請求項1又は2のゲッタポンプ装置。
- 金網を有する管状金属シールドは最内部管状金属シールド(7)及び中間部管状金属シールド(8)であり、中間部シールド(8)の金網(18)は最内部の金網(17)よりも小さな孔目を有するより細いワイヤにより形成されている請求項3のゲッタポンプ装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IT95U000486 | 1995-07-10 | ||
IT1995MI000486U IT237018Y1 (it) | 1995-07-10 | 1995-07-10 | Pompa getter perfezionata in particolare per uno strumento dianalisi chimiche portatile |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0925875A JPH0925875A (ja) | 1997-01-28 |
JP3895401B2 true JP3895401B2 (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=11370875
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17729696A Expired - Fee Related JP3895401B2 (ja) | 1995-07-10 | 1996-06-18 | 可搬式化学分析器に適したゲッタポンプ装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5772404A (ja) |
EP (1) | EP0753663B1 (ja) |
JP (1) | JP3895401B2 (ja) |
DE (1) | DE69601900T2 (ja) |
IT (1) | IT237018Y1 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6109880A (en) * | 1994-10-31 | 2000-08-29 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system including focus shields |
US6142742A (en) * | 1994-10-31 | 2000-11-07 | Saes Pure Gas, Inc. | Getter pump module and system |
IT1295340B1 (it) * | 1997-10-15 | 1999-05-12 | Getters Spa | Pompa getter ad elevata velocita' di assorbimento di gas |
US6508631B1 (en) | 1999-11-18 | 2003-01-21 | Mks Instruments, Inc. | Radial flow turbomolecular vacuum pump |
US6988924B2 (en) * | 2003-04-14 | 2006-01-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of making a getter structure |
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US9543052B2 (en) * | 2005-10-31 | 2017-01-10 | Hbar Technologies, Llc | Containing/transporting charged particles |
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---|---|---|---|---|
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NL163054C (nl) * | 1968-08-10 | 1980-07-15 | Getters Spa | Niet-verdampende getterinrichting. |
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-
1995
- 1995-07-10 IT IT1995MI000486U patent/IT237018Y1/it active IP Right Grant
-
1996
- 1996-06-18 JP JP17729696A patent/JP3895401B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-07-02 US US08/678,395 patent/US5772404A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-08 DE DE69601900T patent/DE69601900T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-07-08 EP EP96830386A patent/EP0753663B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69601900D1 (de) | 1999-05-06 |
EP0753663B1 (en) | 1999-03-31 |
EP0753663A1 (en) | 1997-01-15 |
US5772404A (en) | 1998-06-30 |
JPH0925875A (ja) | 1997-01-28 |
ITMI950486V0 (it) | 1995-07-10 |
IT237018Y1 (it) | 2000-08-31 |
ITMI950486U1 (it) | 1997-01-10 |
DE69601900T2 (de) | 1999-08-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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