JP3888459B2 - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被噴射液を吐出する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室に供給されたインクを圧電素子によって加圧することにより、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの2種類が実用化されている。
【0003】
そして、たわみ振動モードのアクチュエータを使用したものとしては、例えば、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電体層を形成し、この圧電体層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが知られている。
【0004】
この圧電体層としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の強誘電体膜が用いられる。また、このような強誘電体膜は、例えば、ゾル−ゲル法等によって強誘電体前駆体膜が形成された後、この強誘電体前駆体膜を加熱処理(焼成)し結晶化することによって形成される。また、加熱処理方法としては、拡散炉内に強誘電体前駆体膜を成膜したシリコンウェハを挿入して輻射熱によって結晶化させる方法がある(特許文献1参照)。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−203404号公報([0051]−[0054]、[0059]−[0060]、第6図)
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
インクジェット式記録ヘッドを大量生産しようとする場合、このような強誘電体前駆体膜の結晶化を複数枚のシリコンウェハで同時に行う必要がある。しかしながら、複数枚のシリコンウェハ上の強誘電体前駆体膜を同時に焼成しようとすると、次のような問題が生じてしまう。
【0007】
例えば、複数のシリコンウェハを拡散炉に入れた状態で拡散炉を加熱して強誘電体前駆体膜を焼成しようとすると、拡散炉の温度上昇に時間がかかってしまい、強誘電体前駆体膜が良好に結晶化しないという問題がある。また、例えば、予め加熱した拡散炉に複数のシリコンウェハを順次挿入して焼成しようとすると、全てのシリコンウェハを挿入するまでに時間がかかってしまうため、各シリコンウェハへの熱のかかり方(熱履歴)にばらつきが生じ、シリコンウェハ上に形成されている圧電素子の電極となる金属層にかかる熱履歴にもばらつきが生じてしまう。そして、この熱履歴のばらつきによって金属層の硬度にばらつきが生じ、圧電素子の駆動による振動板の変位にばらつきが生じてしまい、均一なインク吐出特性が得られないという問題がある。なお、例えば、直径が6インチ程度の比較的大型のシリコンウェハを用いる場合には、同一のシリコンウェハ上であっても金属層にかかる熱履歴にばらつきが生じる場合もある。
【0008】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法だけではなく、勿論、インク以外を吐出する他の液体噴射ヘッドの製造方法においても、同様に存在する。
【0009】
本発明はこのような事情に鑑み、複数のシリコンウェハ上の強誘電体前駆体膜を同時に焼成でき且つ振動板の変位量を均一に保持できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側の領域に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、前記流路形成基板となるシリコンウェハの表面に前記圧電素子の前記下電極となる金属層を形成後、該金属層上に強誘電体前駆体膜を形成する成膜工程と、一列に配置された複数のステージを有する保持部材の各ステージに前記シリコンウェハをそれぞれ固定し予め加熱された拡散炉内に前記保持部材をその一端のステージ側から挿入すると共に他端のステージ側から排出する一連の動作により前記シリコンウェハを介して前記強誘電体前駆体膜を加熱して焼成する焼成工程とを所定回数実行することにより前記圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成し、且つ前記所定回数の焼成工程を終了後に前記金属層にかかった熱履歴が略均一となるように、各焼成工程毎に前記ステージの順序を入れ替えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【0011】
かかる第1の態様では、焼成工程によって各シリコンウェハ上の金属層にかかる熱のかかり方(熱履歴)が均一になり、振動板の変位特性が均一になる。したがって、圧電素子の駆動による振動板の変位量が安定し、液体の吐出特性のばらつきを防止することができる。
【0012】
本発明の第2の態様は、各焼成工程毎に、各シリコンウェハを面方向に直交する軸を中心として所定角度回転させて前記拡散炉に挿入するシリコンウェハの挿入方向を変更することを特徴とする第1の態様の液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【0013】
かかる第2の態様では、各シリコンウェハに形成された金属層の熱履歴が確実に均一化される。
【0014】
本発明の第3の態様は、前記焼成工程では、各シリコンウェハを面方向に直交する軸を中心として自転させながら前記拡散炉に挿入することを特徴とする第1の態様の液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【0015】
かかる第3の態様では、各シリコンウェハに形成された金属層の熱履歴が確実に均一化される。
【0016】
本発明の第4の態様は、第1〜3の何れかの態様において、前記保持部材の各ステージに、少なくとも2枚のシリコンウェハを、それぞれ前記強誘電体前駆体膜側が内側となるように厚さ方向に配置して固定することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【0017】
かかる第4の態様では、大量のシリコンウェハ上の強誘電体前駆体膜を同時に焼成でき、且つ強誘電体前駆体膜側からの輻射熱の影響が抑えられ、強誘電体前駆体膜を良好に結晶化できる。
【0018】
本発明の第5の態様は、第4の態様において、前記各ステージ両端部に前記シリコンウェハを配置し、当該シリコンウェハの間に少なくとも1枚のダミーウェハを配置することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【0019】
かかる第5の態様では、強誘電体前駆体膜側からの輻射熱の影響を確実に防止でき、強誘電体前駆体膜を良好に結晶化できる。
【0020】
本発明の第6の態様は、第1〜5の何れかの態様において、前記保持部材として前記焼成工程の回数と同一数のステージを具備するものを用いたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【0021】
かかる第6の態様では、焼成工程毎にステージの順序を入れ替えることにより、容易且つ確実に金属層にかかる熱履歴を均一化できる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を一実施形態に基づいて詳細に説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視図であり、図2は、図1の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる、厚さ1〜2μmの弾性膜50が形成されている。流路形成基板10には、複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成され、連通部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14を介して連通されている。なお、連通部13は、後述する封止基板30のリザーバ部32と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【0023】
このような圧力発生室12等は、弾性膜50とは反対側の面から流路形成基板10を異方性エッチングすることによって形成されている。異方性エッチングは、シリコン単結晶基板のエッチングレートの違いを利用して行われる。例えば、本実施形態では、流路形成基板10が面方位(110)のシリコン単結晶基板からなるため、シリコン単結晶基板の(110)面のエッチングレートと比較して(111)面のエッチングレートが約1/180であるという性質を利用して行われる。すなわち、シリコン単結晶基板をKOH等のアルカリ溶液に浸漬すると、徐々に侵食されて(110)面に垂直な第1の(111)面と、この第1の(111)面と約70度の角度をなし且つ上記(110)面と約35度の角度をなす第2の(111)面とが出現する。かかる異方性エッチングにより、二つの第1の(111)面と斜めの二つの第2の(111)面とで形成される平行四辺形状の深さ加工を基本として精密加工を行うことができ、圧力発生室12を高密度に配列することができる。
【0024】
本実施形態では、各圧力発生室12の長辺を第1の(111)面で、短辺を第2の(111)面で形成している。この圧力発生室12は、流路形成基板10をほぼ貫通して弾性膜50に達するまでエッチングすることにより形成されている。なお、弾性膜50は、シリコン単結晶基板をエッチングするアルカリ溶液に侵される量がきわめて小さい。
【0025】
このような圧力発生室12等が形成される流路形成基板10の厚さは、圧力発生室12を配設する密度に合わせて最適な厚さを選択することが好ましい。例えば、1インチ当たり180個(180dpi)程度に圧力発生室12を配置する場合には、流路形成基板10の厚さは、180〜280μm程度、より望ましくは、220μm程度とするのが好適である。また、例えば、360dpi程度と比較的高密度に圧力発生室12を配置する場合には、流路形成基板10の厚さは、100μm以下とするのが好ましい。これは、隣接する圧力発生室12間の隔壁11の剛性を保ちつつ、配列密度を高くできるからである。なお、このような流路形成基板10は、図3に示すように、シリコン単結晶基板からなるシリコンウェハ100に複数個が一体的に形成される。そして、詳しくは後述するが、このシリコンウェハ100に圧力発生室12等を形成した後、シリコンウェア100を分割することによって複数の流路形成基板10となる。
【0026】
また、流路形成基板10の開口面側には、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。
【0027】
一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側の弾性膜50の上には、厚さが例えば、0.4μmの絶縁体膜55が形成され、この絶縁体膜55上には、厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜60と、厚さが例えば、約1μmの圧電体層を構成する強誘電体膜70と、厚さが例えば、約0.05μmの上電極膜80とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、下電極膜60、強誘電体膜70及び上電極膜80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び強誘電体膜70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び強誘電体膜70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜60は圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。なお、本実施形態では、弾性膜50、絶縁体膜55及び下電極膜60が振動板として作用する。
【0028】
また、このような各圧電素子300の上電極膜80には、例えば、金(Au)等からなるリード電極90がそれぞれ接続されている。このリード電極90は、各圧電素子300の長手方向端部近傍から引き出され、インク供給路14に対応する領域の弾性膜50上までそれぞれ延設されている。
【0029】
また、流路形成基板10の圧電素子300側には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を確保した状態で、その空間を密封可能な圧電素子保持部31を有する封止基板30が接合され、圧電素子300はこの圧電素子保持部31内に密封されている。さらに、封止基板30には、各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ110の少なくとも一部を構成するリザーバ部32が設けられ、このリザーバ部32は、上述のように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ110を構成している。また、封止基板30の圧電素子保持部31とリザーバ部32との間の領域には、封止基板30を厚さ方向に貫通する貫通孔33が設けられている。そして、各圧電素子300から引き出されたリード電極90は、その端部近傍が貫通孔33内で露出されている。なお、このような封止基板30としては、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【0030】
さらに、このような封止基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。ここで、封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚さが6μmのポリフェニレンサルファイド(PPS)フィルム)からなり、この封止膜41によってリザーバ部32の一方面が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料(例えば、厚さが30μmのステンレス鋼(SUS)等)で形成される。この固定板42のリザーバ110に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、リザーバ110の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止されている。
【0031】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、リザーバ110からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動ICからの駆動信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に駆動電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、下電極膜60及び強誘電体膜70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。
【0032】
図4、図5、図8及び図9は、圧力発生室12の長手方向のシリコンウェハの断面図であり、図6は、拡散炉の概略図であり、図7は強誘電体前駆体膜の焼成工程を説明する概略図である。以下、これら図4〜図9を参照して、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドの製造方法について説明する。まず、図4(a)に示すように、流路形成基板10となるシリコンウェハ100を約1100℃の拡散炉で熱酸化して弾性膜50及びマスク膜51を構成する二酸化シリコン膜52を全面に形成する。次いで、図4(b)に示すように、弾性膜50(二酸化シリコン膜52)上に、ジルコニウム(Zr)層を形成後、例えば、500〜1200℃の拡散炉で熱酸化して酸化ジルコニウム(ZrO2)からなる絶縁体膜55を形成する。次いで、図4(c)に示すように、例えば、少なくとも白金とイリジウムとからなる下電極形成膜(金属層)65を絶縁体膜55上に形成後、下電極形成膜65をパターニングすることにより、圧力発生室12の列に対向する領域に所定幅で下電極膜60を形成する。
【0033】
次いで、図4(d)に示すように、シリコンウェハ100の全面に、各圧電素子を構成する強誘電体膜となる強誘電体形成膜75を所定の厚さで形成する。本実施形態では、金属有機物を触媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに600〜800℃の高温で焼成することで金属酸化物からなる強誘電体形成膜75を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いて形成することにより、結晶が配向している強誘電体形成膜75とした。具体的には、図5に示すように、複数、本実施形態では、10枚のシリコンウェハ100の下電極膜60上に、それぞれ強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)膜を所定の厚さ、本実施形態では、0.2μm程度の厚さで成膜してPZT膜(強誘電体前駆体膜)76を形成する。一度の成膜によるPZT膜76の厚さは約0.1μm程度であるため、本実施形態では、2度の成膜により約0.2μm程度の厚さのPZT膜76を形成する。次いで、これら10枚のシリコンウェハを所定の配列で所定の治具に固定して拡散炉に挿入することによって焼成してPZT膜76を結晶化する。そして、このようなPZT膜76を成膜する成膜工程と、PZT膜76を焼成する焼成工程とを複数回、本実施形態では、5回繰り返すことにより、強誘電体形成膜75を約1μmの厚さで形成した。
【0034】
ここで、本実施形態の焼成工程で用いられる拡散炉は、図6に示すように、例えば、シリコンウェハ100が挿入される炉口201を有すると共に、他端に反応ガスの送入口202を有する炉心管203と、炉心管203の外側に配置されたヒータ204とで構成され、炉口201はシャッタ205により開閉可能となっている。そして、本実施形態では、このような拡散炉を用い、以下のような手順でPZT膜76の焼成を行っている。
【0035】
まず、図7(a)に示すように、一列に配置された複数、本実施形態では、5つのステージ251(251A〜251E)を有する保持部材250に複数枚のシリコンウェハ100をそれぞれ固定する。ここで、実際に流路形成基板として用いられるシリコンウェハ100は、各ステージ251の両端にPZT膜76が内側となるように固定した。また、両シリコンウェハ100の間には、実際に流路形成基板としては使用されないダミーウェハ105を複数枚、本実施形態では、3枚配置するようにした。
【0036】
このダミーウェハ105のサイズは、シリコンウェハ100と略同一サイズであり、またシリコンウェハ100とダミーウェハ105との間の距離は、複数枚用いられているダミーウェハ105同士の距離と同じにする。このダミーウェハ105は、シリコンウェハ100を介してのみPZT膜76が加熱されるように、すなわち、PZT膜76側からの輻射熱の影響を抑えるためのものである。そして、このようにシリコンウェハ100を固定した保持部材250を、その一端のステージ251A側から炉心管203内に挿入し、他端のステージ251Eまで全てが炉心管203内に挿入されるとシャッタ205を閉じて所定時間焼成する(図7(b))。その後、焼成が終了すると、シャッタ205を開けて他端のステージ251E側から炉心管203の外に排出する(図7(c))。
【0037】
ここで、一列に配置された複数のステージ251A〜251Eに固定されたシリコンウェハ100を炉心管203内に完全に挿入するまでには数分程度要し、排出にも同一の時間を要する。このため、シリコンウェハ100が何れのステージ251A〜251Eに固定されているかによって、シリコンウェハ100への熱のかかり方(熱履歴)が異なってしまう。この現象は、高温で焼成する際に顕著に現れる。各シリコンウェハ100の熱履歴の差は、下電極膜60の硬度に影響し、結果として振動板の変位量にばらつきが生じてしまう。このため、本発明では、複数回行う各焼成工程でステージ251A〜251Eの順序を入れ替えることで、下電極膜60への熱のかかり方(熱履歴)を各シリコンウェハ100で均一となるようにしている。
【0038】
すなわち、図7(a)〜(c)に示すように、1回目の焼成工程で保持部材250をステージ251A〜251Eの順で炉心管203内に挿入して焼成する場合、2回目の焼成工程では、図7(d)に示すように、ステージ251A〜251Eの順序を入れ替え、251B〜251E、251Aの順で保持部材250を炉心管203内に挿入してシリコンウェハ100の焼成を行う。さらに、3回目の焼成工程において、ステージ251C〜251E、251A、Bの順で炉心管203内に挿入するようにする。このようにステージ251の順序を入れ替えながら焼成工程を行うことにより、最終的な下電極膜60の熱履歴を均一とすることができ、下電極膜60の硬度を均一にすることができる。したがって、圧電素子300の駆動による振動板の変位量のばらつきを防止することができ、常に均一なインク吐出特性を得ることができる。
【0039】
また、一列に配置するステージ251の数、すなわち、一列に配置するシリコンウェハ100の数は、特に限定されないが、本実施形態のように、焼成回数と一致していることが好ましい。さらに、各焼成工程時にステージ251の順序を入れ替えると共に、各シリコンウェハ100を面方向に直交する軸を中心として所定角度、例えば、90度程度ずつ回転するようにしてもよい。また、各焼成工程を実行する際に、各シリコンウェハ100が面方向に直交する軸を中心として常に自転しているようにしてもよい。これにより、下電極膜60にかかる熱履歴をより均一にすることができ、圧電素子300の駆動による振動板の変位量のばらつきを確実に防止することができる。また、例えば、6インチ程度の比較的大型のシリコンウェハを用いた場合でも、各シリコンウェハ内での下電極膜の熱履歴に差が生じるのを防止することができる。
【0040】
なお、このように形成される強誘電体形成膜75(強誘電体膜70)の材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛系の材料を用いたが、インクジェット式記録ヘッドに使用する材料としては、良好な変位特性を得られればチタン酸ジルコン酸鉛系の材料に限定されない。また、このように成膜された強誘電体形成膜75は、バルクの圧電体とは異なり結晶が優先配向しており、且つ本実施形態では、強誘電体形成膜75は、結晶が柱状に形成されている。なお、優先配向とは、結晶の配向方向が無秩序ではなく、特定の結晶面がほぼ一定の方向に向いている状態をいう。また、結晶が柱状の薄膜とは、略円柱体の結晶が中心軸を厚さ方向に略一致させた状態で面方向に亘って集合して薄膜を形成している状態をいう。勿論、優先配向した粒状の結晶で形成された薄膜であってもよい。なお、このように薄膜工程で製造された強誘電体形成膜の厚さは、一般的に0.2〜5μmである。
【0041】
また、このように強誘電体形成膜75を形成した後は、図8(a)に示すように、例えば、イリジウム(Ir)からなる上電極形成膜85を積層形成し、強誘電体形成膜75及び上電極形成膜85を各圧力発生室12に対向する領域内にパターニングすることにより下電極膜60、強誘電体膜70及び上電極膜80からなる圧電素子300を形成する(図8(b))。次いで、図8(c)に示すように、金(Au)からなるリード電極形成膜95を流路形成基板10の全面に亘って形成後、例えば、レジスト等からなるマスクパターン(図示なし)を介してリード電極形成膜95を各圧電素子300毎にパターニングすることによってリード電極90を形成する。
【0042】
以上が膜形成プロセスである。このようにして膜形成を行った後、前述したアルカリ溶液によるシリコンウェハ100の異方性エッチングを行い、圧力発生室12、連通部13及びインク供給路14を形成する。具体的には、まず、図9(a)に示すように、シリコンウェハ100の圧電素子300側に、予め圧電素子保持部31、リザーバ部32等が形成された封止基板形成材120を接合する。次に、図9(b)に示すように、シリコンウェハ100の封止基板形成材120との接合面とは反対側の面に形成されている二酸化シリコン膜52を所定形状にパターニングしてマスク膜51とし、このマスク膜51を介して前述したアルカリ溶液による異方性エッチングを行うことにより、シリコンウェハ100に圧力発生室12、連通部13及びインク供給路14等を形成する。なお、このように異方性エッチングを行う際には、封止基板形成材120の表面を封止した状態で行う。
【0043】
また、その後は、シリコンウェハ100の封止基板形成材120とは反対側の面にノズル開口21が穿設されたノズルプレート20を接合すると共に、封止基板形成材120にコンプライアンス基板40を接合して各チップサイズに分割することにより、図1に示すような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドとする。
【0044】
(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態について説明したが、勿論、本発明は上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、各ステージに複数のシリコンウェハを固定して焼成工程を実行するようにしたが、勿論、各ステージに一枚のシリコンウェハを固定して焼成工程を実行するようにしてもよい。また、上述の実施形態では、各焼成工程で、各ステージの順序を入れ替えるようにしたが、例えば、各ステージの並び順は固定しておき、各焼成工程毎に、炉心管に挿入する順序を逆にするようにしてもよい。さらに、上述の実施形態では、強誘電体前駆体膜をゾル−ゲル法で形成するようにしたが、これに限定されず、例えば、スパッタリング法で形成してもよい。
【0045】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図10は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図10に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上に搬送されるようになっている。
【0046】
また、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図2】 実施形態1に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図3】 シリコンウェハの概略斜視図である。
【図4】 実施形態1に係る製造工程を示す断面図である。
【図5】 実施形態1に係る製造工程を示す拡大断面図である。
【図6】 製造工程で用いる拡散炉の概略図である。
【図7】 実施形態1に係る焼成工程を示す概略図である。
【図8】 実施形態1に係る製造工程を示す断面図である。
【図9】 実施形態1に係る製造工程を示す断面図である。
【図10】 一実施形態に係る記録装置の概略図である。
【符号の説明】
10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 13 連通部、 14 インク供給路、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 30 封止基板、 31 圧電素子保持部、 32 リザーバ部、 40 コンプライアンス基板、50 弾性膜、 60 下電極膜、 70 強誘電体膜、 75 強誘電体形成膜、 76 PZT膜、 80 上電極膜、100 シリコンウェハ、 300 圧電素子
Claims (6)
- 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側の領域に振動板を介して設けられた下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記流路形成基板となるシリコンウェハの表面に前記圧電素子の前記下電極となる金属層を形成後、該金属層上に強誘電体前駆体膜を形成する成膜工程と、一列に配置された複数のステージを有する保持部材の各ステージに前記シリコンウェハをそれぞれ固定し予め加熱された拡散炉内に前記保持部材をその一端のステージ側から挿入すると共に他端のステージ側から排出する一連の動作により前記シリコンウェハを介して前記強誘電体前駆体膜を加熱して焼成する焼成工程とを所定回数実行することにより前記圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成し、且つ前記所定回数の焼成工程を終了後に前記金属層にかかった熱履歴が略均一となるように、各焼成工程毎に前記ステージの順序を入れ替えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 各焼成工程毎に、各シリコンウェハを面方向に直交する軸を中心として所定角度回転させて前記拡散炉に挿入するシリコンウェハの挿入方向を変更することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記焼成工程では、各シリコンウェハを面方向に直交する軸を中心として自転させながら前記拡散炉に挿入することを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記保持部材の各ステージに、少なくとも2枚のシリコンウェハを、それぞれ前記強誘電体前駆体膜側が内側となるように厚さ方向に配置して固定することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記各ステージ両端部に前記シリコンウェハを配置し、当該シリコンウェハの間に少なくとも1枚のダミーウェハを配置することを特徴とする請求項4に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記保持部材として前記焼成工程の回数と同一数のステージを具備するものを用いたことを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
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