JP3887370B2 - ガスセンサの製造方法、検出素子、及びガスセンサ - Google Patents
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Description
又、請求項2記載の発明は、一端が閉塞された円筒形状を有する固体電解質体の表面に、白金、ロジウム、パラジウム、銀、金のいずれかからなる貴金属の核を付着させる第1の工程と、該核を成長させる第2の工程とを経て、前記貴金属からなる電極を前記固体電解質体の表面に形成してなる検出素子を備えたガスセンサの製造方法であって、前記第1の工程では、前記固体電解質体の閉塞された一端である底部の先端から軸方向の中央部付近に至る部位L1を、該部位L1を挿通する孔を有した遮蔽板に挿通すると共に、DCグロー放電スパッタ法を行う装置における、前記貴金属の箔からなるターゲットが設置された負電極に前記底部を向けて、前記固体電解質体を該装置内に固定し、グロー放電を用いて、残留ガスをイオン化させると共に、イオン化された該残留ガスを前記ターゲットに衝突させることで、前記部位L1に前記貴金属の核を蒸着させることを特徴とする。
又、本発明によれば、固体電解質体を回転させずとも固体電解質体の部位L1全体に貴金属の核を蒸着できる。
ここで、請求項3記載のように、第1の工程では、固体電解質体の底部を遮蔽カバーで覆ってもよい。
このようなガスセンサの製造方法によれば、底部を除く固体電解質体の部位L1の外壁にのみ貴金属の核を蒸着させることができる。
即ち、0.5nm未満の厚みでは、固体電解質体に蒸着した貴金属の核の密度が疎らとなり、その状態で第2の工程にて核を成長させると、疎らにしか貴金属が析出しないため、電極を形成すべき部分に電極を均一に形成できなくなる。一方、100nmを超える厚みでは、蒸着した貴金属の核の密度が過度になり、その状態で第2の工程にて核を成長させると、貴金属が過度に析出し、気孔の少ない電極が形成されてしまうため、センサとしての雰囲気感知性能(応答性能)が低下する。
但し、無電解メッキ法を用いる場合には、請求項6記載のように、核が付着した部位以外に貴金属が析出しない程度の還元力を有する還元剤を用いることが望ましい。即ち、核が付着した部位以外に貴金属を析出させることなく、核を均一に成長させることができるため、固体電解質体の表面に均一な厚みの電極を形成することができる。
[第1参考形態]
まず、図1は、本発明の前提となる製造方法を適用して製造された酸素センサの全体構成を示す断面図である。
図2,3に示すように、検出素子2は、基体20の底部の先端から軸方向の中央部付近に至る部位L1の外壁に、白金からなる検出電極26が基体20を外周方向に一周して形成されている。但し、この検出電極26の表面には、スピネル(MgAl2O4)の粉末が塗着されており(図示せず)、検出電極26を排気ガスの熱から防護するようにされている。
又、検出電極26と端子接続部28との間には、検出電極26よりも十分に狭い幅W1からなる長尺状のリード部27が基体20の軸方向に沿って1本形成されており、リード部27を介して検出電極26と端子接続部28とが電気的に接続されている。
以下、検出素子2の製造方法について詳述する。
検出電極26を形成するには、まず、(株)エイコー製のIB−3型イオンコータを用いて、基体20の部位L1の外壁に白金の核を蒸着させる核付け工程を行う。尚、このイオンコータは、低真空領域(5〜10Pa)にてグロー放電を行うことにより、残留ガス(空気)をイオン化すると共に、この残留ガスのイオンをターゲット(ここでは白金箔)に衝突させ、ターゲットを構成する原子もしくは分子をスパッタリングする装置である。
図4に示すように、核付け工程では、最初に、基体20の内部に支持棒81を挿入し、基体20をイオンコータ80内の正電極82の面と平行な向きに支持する。続いて、基体20における検出電極26を形成しない部位(つまり、図2,3におけるL1よりも上方の部位)のみを覆うように、基体20とイオンコータ80の負電極83に設置された白金箔(つまり、ターゲット)84との間に、遮蔽板85を配置する。
この核成長工程では、まず、基体20を4価白金アンミン水溶液もしくは2価白金アンミン水溶液からなる白金錯塩水溶液に浸漬した状態で加熱する。次に、基体20を浸漬した白金錯塩水溶液に、核が付着した部位以外に白金が析出しない程度の還元力を有するヒドラジン水溶液(濃度;85質量%)を添加し、この無電解メッキ液中に基体20を2時間揺動しながら放置して、基体20に蒸着した白金の核を成長させ、基体20の外壁に検出電極26を形成する。但し、白金錯塩水溶液の濃度は、無電解メッキした白金の厚さが1.2μmとなるように調整する。
基準電極を形成するには、まず、基体20の内部にフッ酸(濃度;5質量%)を注入した状態で放置して、基体20の内壁をエッチングする。そして、基体20の内部に水を吹き付けて洗浄したのち、基体20を乾燥させる。
最後に、この基体20を燃焼ガス中でエージング処理して電極を活性化させ、検出素子2を得る。
又、本参考形態の製造方法では、検出電極26を形成する際、核成長工程に無電解メッキ法を用いているため、核付け工程からスパッタリングを継続して核を成長させるよりも速やかに検出電極26を形成できる。
[第2参考形態]
次に、第2参考形態について説明する。
従って、ここでは、検出素子70についてのみ詳述する。尚、図5は、検出素子70の
外観を示す平面図であり、図6は、検出素子70の図5における背面側の平面図である。
このように構成された検出素子70は、検出電極71と対向する基体20における内周壁にヒータ3を接触させるようにして酸素センサに取り付けられる。
[参考例]
尚、この実証実験において、検出素子2,70の軸方向の中央から底部に至る部位L1の長さは22.0mmに設定されており、又、L1の下部の径φ1及びL1の上部の径φ2は、それぞれ5.0mm、6.0mmに設定されている。又、検出素子2,70のリード部27,72の幅W1,W2はいずれも1.5mmに設定され、その厚みは10μmに設定されている。
又、いずれの検出素子も、検出電極の厚みは、1.2μmに設定され、部位L1に塗着されたスピネルの厚みは、200μmに設定されている。
以下、発明者が行った実証実験の結果を図7〜図12に示す。
以上の結果から、参考例1,2の酸素センサは、良好な応答性能を発揮することが証明された。
又、上記参考形態では、白金を用いて検出電極や基準電極を形成していたが、白金に代えて、ロジウムやパラジウム、銀、金などを用いても良い。
即ち、図13に示す方法では、基体20の部位L1を挿通する孔を有した遮蔽板90に基体20の部位L1を挿通すると共に、基体20の底部を負電極83に向けて基体20をイオンコータ80内に固定して、白金の核を蒸着させる。このような方法によれば、基体20を回転させずとも基体20の部位L1全体に白金の核を蒸着できる。ここで、図14に示すように、基体20の底部をゴムなどからなる遮蔽カバー91で覆えば、底部を除く基体20の部位L1の外壁にのみ白金の核を蒸着させることができる。
Claims (11)
- 一端が閉塞された円筒形状を有する固体電解質体の表面に、被測定ガスに対して触媒作用を有する貴金属の核を付着させる第1の工程と、
該核を成長させる第2の工程と、
を経て、前記貴金属からなる電極を前記固体電解質体の表面に形成してなる検出素子を備えたガスセンサの製造方法であって、
前記第1の工程では、前記固体電解質体の閉塞された一端である底部の先端から軸方向の中央部付近に至る部位L1を、該部位L1を挿通する孔を有した遮蔽板に挿通すると共に、前記貴金属の箔からなるターゲットに前記底部を向けて、前記固体電解質体を配置し、スパッタ法を用いてイオンを前記ターゲットに衝突させることで、前記部位L1に前記貴金属の核を蒸着させることを特徴とするガスセンサの製造方法。 - 一端が閉塞された円筒形状を有する固体電解質体の表面に、白金、ロジウム、パラジウム、銀、金のいずれかからなる貴金属の核を付着させる第1の工程と、
該核を成長させる第2の工程と、
を経て、前記貴金属からなる電極を前記固体電解質体の表面に形成してなる検出素子を備えたガスセンサの製造方法であって、
前記第1の工程では、前記固体電解質体の閉塞された一端である底部の先端から軸方向の中央部付近に至る部位L1を、該部位L1を挿通する孔を有した遮蔽板に挿通すると共に、DCグロー放電スパッタ法を行う装置における、前記貴金属の箔からなるターゲットが設置された負電極に前記底部を向けて、前記固体電解質体を該装置内に固定し、グロー放電を用いて、残留ガスをイオン化させると共に、イオン化された該残留ガスを前記ターゲットに衝突させることで、前記部位L1に前記貴金属の核を蒸着させることを特徴とするガスセンサの製造方法。 - 前記第1の工程では、前記固体電解質体の前記底部を遮蔽カバーで覆うことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のガスセンサの製造方法。
- 前記第1の工程では、前記固体電解質体に蒸着させる前記貴金属の厚みを0.5〜100nmの範囲内とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3いずれか記載のガスセンサの製造方法。
- 前記第2の工程には、無電解メッキ法を用いることを特徴とする請求項1乃至請求項4いずれか記載のガスセンサの製造方法。
- 前記無電解メッキ法では、前記核が付着した部位以外に前記貴金属が析出しない程度の還元力を有する還元剤を用いることを特徴とする請求項5記載のガスセンサの製造方法。
- 前記無電解メッキ法では、前記無電解メッキ液中に前記固体電解質体を揺動しながら放置することを特徴とする請求項5又は請求項6記載のガスセンサの製造方法。
- 当該ガスセンサの製造方法では、前記貴金属として白金を用い、
前記無電解メッキ法では、白金錯塩水溶液を無電解メッキ液として使用することを特徴とする請求項5乃至請求項7いずれか記載のガスセンサの製造方法。 - 4価白金アンミン水溶液もしくは2価白金アンミン水溶液を前記白金錯塩水溶液として使用し、ヒドラジン水溶液を前記還元剤として使用することを特徴とする請求項8記載のガスセンサの製造方法。
- 請求項1乃至請求項9いずれか記載のガスセンサの製造方法を用いて製造されたことを特徴とする検出素子。
- 請求項10記載の検出素子を備えることを特徴とするガスセンサ。
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