JP3882172B2 - 感圧センサー - Google Patents

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Description

この発明は、感圧導電性インクを用いた感圧センサーに関するものである。
近年、感圧センサーは、例えば自動車分野に応用する期待が持てるようになってきたが、自動車での感圧センサーの使用は−20〜85℃という幅広い使用環境での出力安定性が要求される(近年において−40〜85℃という更に幅広い使用環境での出力安定性が要求されている)。
ところで、感圧導電性インクのバインダとしては、従来から高硬度の熱可塑性樹脂(ポリエステル樹脂・フェノキシ樹脂等)を使用したものがあるが、この場合、良好な出力の感圧直線性を示すものの、高温部(85℃)における出力の温度安定性に乏しいという問題があった(例えば、特許文献1)。
他方、感圧導電性インクのバインダーとして、ガラス転移温度が−40℃付近である熱的に安定なシリコーンエラストマーを使用すると、出力の温度安定性は良好となるが、出力の感圧直線性に乏しいという問題があった。
特開2001−184944号
そこで、この発明では低温(−20℃)から高温(85℃)の広範囲における感圧センサーの出力安定性・出力のばらつきを向上させ、出力の感圧直線性を兼ね備えた感圧センサーを提供することを課題とする。
また、この発明では低温(−40℃)から高温(85℃)の広範囲における感圧センサーの出力安定性・出力のばらつきを向上させ、出力の感圧直線性を兼ね備えた感圧センサーを提供することを課題とする。
(請求項1記載の発明)
この発明の感圧センサーは、導電性カーボンブラックが配合された感圧導電性インクで形成されている導電性塗膜相互の接触面積により、印加側・レシ−ブ側電極間の抵抗が変化する形式の感圧センサーであって、感圧導電性インクが、バインダーとしてのシリコーンエラストマー成分100重量部に対して、二酸化ケイ素30〜70重量部を添加することにより、樹脂としての強度を高めると共に導電性カーボンブラックの分散効果を高めている。
なお、この発明の感圧センサーは以下のように作用する。
通常、シリコーンエラストマー成分は、ガラス転移温度が−40℃付近であるから、(−20℃)から(85℃)の範囲において熱的に安定しているから、出力の温度安定性は良好である。
また、上記シリコーンエラストマー成分100重量部に対して、二酸化ケイ素30〜70重量部を添加しているから、エラストマーの強度が大きくなって、力に対して徐々に潰れる(圧縮される)ことになり、その結果、出力の感圧直線性に優れたものになる。
さらに、上記シリコーンエラストマー成分100重量部に対して、二酸化ケイ素30〜70重量部を添加してあるから、導電性カーボンブラックの分散効果は高くなり、その結果、出力のばらつきは小さくなる。
つまり、この発明の感圧センサは、低温(−20℃)から高温(85℃)の広範囲における感圧センサーの出力安定性・出力のばらつきを向上させ、出力の感圧直線性を兼ね備えたものになる。
(請求項2記載の発明)
この発明の感圧センサーは、請求項1記載の発明に関し、二酸化ケイ素は一次粒子径が7〜40nmであり、導電性カーボンブラックは、一次粒子径が20〜40nmであると共にシリコーンエラストマー成分100重量部に対して3〜50重量部含有している。
(請求項3記載の発明)
この発明の感圧センサーは、請求項1又は2記載の発明に関し、多点感圧部を有しており、その出力の変動係数が0.3未満である。
(請求項4記載の発明)
この発明の感圧センサーは、ポリエチレンナフタレート製の一対のシート基材のうち、一方側に印加電極を覆う導電性塗膜を、他方側にレシ−ブ側電極を覆う導電性塗膜を、それぞれ設けてあり、無負荷状態にあるときに対向する導電性塗膜相互間に間隙ができるように、その周囲をスペーサーで囲んであり、前記スペーサーはUVコート剤層及び粘着剤層で構成してある。
(請求項5記載の発明)
この発明の感圧センサーは、ポリエチレンナフタレート製の一対のシート基材のうち、一方側に印加電極を覆う導電性塗膜を、他方側にレシ−ブ側電極を覆う導電性塗膜を、それぞれ設けてあり、無負荷状態にあるときに対向する導電性塗膜相互間に間隙ができるように、その周囲をスペーサーで囲んであり、前記スペーサーはポリエチレンナフタレートフィルムと粘着剤層で構成してある。
(請求項6記載の発明)
この発明の感圧センサーは、ポリイミド製の一対のシート基材のうち、一方側に印加電極を覆う導電性塗膜を、他方側にレシ−ブ側電極を覆う導電性塗膜を、それぞれ設けてあり、無負荷状態にあるときに対向する導電性塗膜相互間に間隙ができるように、その周囲をスペーサーで囲んであり、前記スペーサーはポイミドフィルムと粘着剤層で構成してある。
この発明の感圧センサーは、低温(−20℃)から高温(85℃)の広範囲における感圧センサーの出力安定性・出力のばらつきを向上させ、出力の感圧直線性を兼ね備えている。
また、この発明の感圧センサーは、低温(−40℃)から高温(85℃)の広範囲における感圧センサーの出力安定性・出力のばらつきを向上させ、出力の感圧直線性を兼ね備えている。
以下にこの発明の感圧センサーを実施するための最良の形態としての実施例について詳細に説明する。
(実施例1〜3の感圧センサーSの基本的構成)
図1はこの発明の実施例の感圧センサーSの平面図、図2は前記感圧センサーSを構成する二枚の構成要素S1,S2を示す平面図、図3は前記感圧センサーSの断面図を示している。
この感圧センサーSは多点センサー(多点セルパターン)の一例であり、図1や図2に示すように、構成要素S1と構成要素S2とを貼り合わせる態様で形成されている。構成要素S1は、図2に示すように、シート基材1に、印加側電極10と印加側端子11と接続配線12とを銀印刷し、各印加側電極10上にそれぞれ感圧導電性インク13を印刷形成して成る。また、構成要素S2は、図2に示すように、シート基材2に、レシーブ側電極20とレシーブ側端子21と接続配線22とを銀印刷し、各レシーブ側電極20上にそれぞれ感圧導電性インク23を印刷形成して成る。そして、図3に示すように、印加側電極10とレシーブ側電極20とが直角に交差し且つ感圧導電性インク13,23相互が対向する態様で、シート基材1,2相互が粘着剤等で一体化されている。
なお、この感圧センサーは、厚みが0.1mm程度に設定されており、全体として可撓性を有するものとしてある。また、この実施例では、印加側電極10は行電極で、レシーブ側電極20は列電極で、構成されている。
以下に、感圧導電性インク13,23について、この発明の実施例1〜3の構成と比較例1、2の構成を示し、これらを使用した場合において、−20℃から85℃の広範囲における感圧センサーの出力安定性・出力のばらつき、出力の感圧直線性について結果を示す。
2液硬化型シリコーンエラストマー原液から、ワニスA液、ワニスB液を調製する。
ワニスA液は、2液硬化型シリコーンエラストマー原液A(十条ケミカル社製、商品名:JELCON−SRV−BR(A))100重量部を、溶剤(共和発酵工業社製、商品名:ブチセルアセテート)67重量部に90℃で加熱溶解させて成るものである。ワニスB液は、2液硬化型シリコーンエラストマー原液B(十条ケミカル社製、商品名:JELCON−SRV−TC(B))100重量部を、溶剤(共和発酵工業社製、商品名:ブチセルアセテート)67重量部に90℃で加熱溶解させて成るものである。
ワニスA液、B液それぞれ100重量部に対して導電性カーボンブラック(ライオン社製、商品名:ケッチェンブラックEC600JD)5重量部、シランカップリング剤(ダウ コーニング アジア社製、商品名:DC−Z6040)0.05重量部を配合し、予備混合してから、ロールミルで十分に混練して、導電性インクA液及びB液の調製した。
ワニスA液、B液それぞれ100重量部に対して、二酸化ケイ素(日本アエロジル社製、商品名:アエロジルR812)15重量部で配合し、予備混合してから、ロールミルで十分に混練し、絶縁性インクA液及びB液を調製した。
導電性インクA液と導電性インクB液を等重量部混合し、導電性インク混合液を調製した。
絶縁性インクA液と絶縁性インクB液を等重量部混合し、絶縁性インク混合液を調製した。
導電性インク混合液と絶縁性インク混合液を適当な割合で配合・攪拌して感圧導電性インクを調製し、ポリエチレンナフタレ−トフィルムに形成された電極パターン上にスクリーン印刷した。
スクリーン印刷された感圧導電性インクを、170℃の熱風と表面温度220℃の遠赤外炉の併用で4分プレキュアを行い、2〜3層印刷した。その後、上記と同様に170℃の熱風と表面温度220℃の遠赤外炉を併用して8分間追加キュアを行い、感圧センサー試料を得た。
導電性インク混合液と絶縁性インク混合液を混合して熱硬化させて得たシリコーンエラストマーのガラス転移温度は−40℃付近である。これについて以下の実施例2〜6も同じである。
導電性カーボンブラックは感圧導電性インクの抵抗値により含有量が異なり、シリコーンエラストマー成分100重量部に対して、導電性カーボンブラック3〜20重量部の範囲が好ましい(更に好ましくは3〜10重量部の範囲)。また、導電性カーボンブラックは一次粒子径が30nm(20〜40nmの範囲で可能)である。
二酸化ケイ素はシリコーンエラストマー成分100重量部に対して30〜70重量部の範囲が好ましい(更に好ましくは40〜60重量部の範囲)。また、二酸化ケイ素は一次粒子径は7nm(7〜40nmの範囲で可能)である。
2液硬化型シリコーンエラストマー原液から作るワニスA液およびB液は、実施例1と同様に調製した。
ワニスA液、B液それぞれ100重量部に対して導電性カーボンブラック(キャボット・スペシャリティ・ケミカルズ・インク社製、商品名:VALCANXC72−R)15重量部、シランカップリング剤(ダウ コーニング アジア社製、商品名:DC−Z6040)0.15重量部を配合し、予備混合してから、ロールミルで充分に混練し、導電性インクA液及びB液を調製した。
ワニスA液、B液それぞれ100重量部に対して、二酸化ケイ素(日本アエロジル社製、商品名:アエロジルR812)15重量部で配合し、予備混合してから、ロールミルで十分に混練し、絶縁性インクA液及びB液を調製した。
導電性インクA液と導電性インクB液を等重量部混合し、導電性インク混合液を調製し、絶縁性インクA液と絶縁性インクB液を等重量部混合し、絶縁性インク混合液を調製した。
導電性インク混合液と絶縁性インク混合液を適当な割合で配合・攪拌して感圧導電性インクを調製し、ポリエチレンナフタレ−トフィルムに形成された電極パターン上にスクリーン印刷した。
スクリーン印刷された感圧導電性インクを、実施例1と同様のキュアを行い、感圧センサー試料を得た。
導電性カーボンブラックは感圧導電性インクの抵抗値により含有量が異なる。
シリコーンエラストマー成分100重量部に対して導電性カーボンブラック5〜50重量部の範囲が好ましい(更に好ましくは5〜20重量部の範囲)。また、導電性カーボンブラックは一次粒子径が30nm(20〜40nmの範囲で可能)である。
二酸化ケイ素はシリコーンエラストマー成分100重量部に対して30〜70重量部の範囲が好ましい(更に好ましくは40〜60重量部の範囲)。また、二酸化ケイ素は一次粒子径は7nm(7〜40nmの範囲で可能)である。
2液硬化型シリコーンエラストマー原液から作るワニスA液及ワニスB液は、実施例1と同様に調製した。
ワニスA液、B液それぞれ100重量部に対してカーボンブラック(PRINTEX
XE−2B BEADS)10重量部、シランカップリング剤(ダウ コーニング アジア社製、商品名:DC−Z6040)0.10重量部を配合し、予備混合してから、ロールミルで充分に混練し、導電性インクA液及びB液を調製した。
ワニスA液、B液それぞれ100重量部に対して、二酸化ケイ素(日本アエロジル社製、商品名:アエロジルR812)15重量部で配合し、予備混合してから、ロールミルで十分に混練し、絶縁性インクA液及びB液を調製した。
導電性インクA液と導電性インクB液を等重量部混合し、導電性インク混合液を調製した。
絶縁性インクA液と絶縁性インクB液を等重量部混合し、絶縁性インク混合液を調製した。
導電性インク混合液と絶縁性インク混合液を適当な割合で配合・攪拌して感圧導電性インクを調製し、ポリエチレンナフタレ−トフィルムに形成された電極パターン上にスクリーン印刷した。
スクリーン印刷された感圧導電性インクを、実施例1と同様のキュアを行い、感圧センサー試料を得た。
導電性カーボンブラックは感圧導電性インクの抵抗値により含有量が異なり、シリコーンエラストマー成分100重量部に対して導電性カーボンブラック3〜10重量部の範囲が好ましい。また、導電性カーボンブラックは一次粒子径が30nm(20〜40nmの範囲で可能)である。
二酸化ケイ素はシリコーンエラストマー成分100重量部に対して30〜70重量部の範囲が好ましい(更に好ましくは40〜60重量部の範囲)。また、二酸化ケイ素は一次粒子径は7nm(7〜40nmの範囲で可能)である。
(比較例1)
ペレット状フェノキシ樹脂(東都化成社製、商品名:フェノトートYP−50S)16.9重量部と、導電性カーボンブラック(ライオン社製、商品名:ケッチェンブラックEC600JD)2.8重量部と二酸化ケイ素(日本アエロジル社製、商品名:アエロジルR812)を2.8重量部とに、溶剤(共和発酵工業社製、商品名:ブチセルアセテート)を59.4重量部を添加し、予備混合してから、ロールミルで十分に混練した。
前記混練物に硬化剤としてTDIアダクト型ポリイソシアネート(日本ポリウレタン社製、商品名:コロネート L−70B)を18.1重量部添加し、十分に攪拌した。その混練物をスクリーン印刷機でポリエチレンナフタレートフィルムに形成された電極パターン上に印刷し、100℃のオーブンで4分間予備キュアし、更に145℃で4分間追加キュアして感圧センサーの試料を得た。
(比較例2)
2液硬化型シリコーンエラストマー原液から作るワニスA液およびワニスB液は、実施例1と同様に調製した。さらに、このワニスA液、B液を用いて、実施例1と同様に、導電性インクA液及びB液を調製した。
ワニスA液、B液それぞれを絶縁性インクA液及びB液とした。
導電性インクA液と導電性インクB液を等重量混合し、導電性インク混合液を調製し、絶縁性インクA液と絶縁性インクB液を等重量部混合し、絶縁性インク混合液を調製した。
導電性インク混合液40重量部と絶縁性インク混合液60重量部を攪拌して感圧導電性インクを調製し、ポリエチレンナフタレ−トフィルムに形成された電極パターン上にスクリーン印刷した。
スクリーン印刷された感圧導電性インクを、実施例1と同様のキュアを行い、感圧センサー試料を得た。
(温度特性評価試験)
−20℃、85℃において、圧力10、14、16、20、30、40kPaでのシングルセルパターン(感圧素子が一つ)の感圧センサーの感圧抵抗値を測定し、温度による抵抗値逆数の変化を評価した。実施例1については図4に、比較例1については図5に、それぞれ示す。また、図6に実施例1と比較例1とを比較したものを示す。なお、実施例2、3及び比較例2においても同じ試験を行っているがこれについてグラフは示さない。(感圧直線性評価試験)
室温(25℃)において、圧力4.9〜98kPaでのシングルセルパターン(感圧素子が一つ)の感圧センサーの感圧抵抗値を測定した。
直線性はX軸を圧力、Y軸を抵抗値の逆数としたプロットを作成し(図7)、直線近似を行い回帰分析計算に基づいたR−2乗値(R2 )を算出して直線性を評価した。なお、実施例2、3及び比較例1においても同じ試験を行っているがこれについてグラフは示さない。
(出力ばらつき評価試験)
一定幅ピッチで行電極20本、列電極20本をそれぞれシート基材に印刷し、これら行・列電極が垂直に交差するように貼り合わせ、図1〜図3に示したT−20×20パタ−ン感圧センサー、所謂タクタイルセンサーを作製した。このセンサーを使用し、15kPa圧力下で、行電極交差部の出力を測定した。
行電極交差部の全出力値から出力平均値・出力標準偏差から変動係数を算出し、出力ばらつきを評価した。
(総合評価)
Figure 0003882172
図8は温度特性評価試験及び感圧直線性評価試験に使用するシングルセルパターンの感圧センサーS’の分解斜視図、図9は前記感圧センサーS’の感圧部の断面図を示している。
この感圧センサーS’は、図8に示すように構成要素S1’と構成要素S2’との間にスペーサ3を挟み込む態様で貼り合わせて成るものとしてある。
構成要素S1’は、図8に示すように、ポリエチレンナフタレート製のシート基材1’上に、印加側電極10’と印加側端子11’と接続配線12’を銀ペースト(日本アチソン株式会社製、商品名:Electrodag PF−836)を用いてパターン印刷した後、170℃の熱風と表面温度220℃の遠赤外炉の併用で4分キュアを行うようにして形成されている。構成要素S2’についても同様にしてレシーブ側電極20’とレシーブ側端子21’と接続配線12’が形成されている。更に、前記印加電極10’及びレシーブ側電極20’には実施例1と同様の導電性インク混合液と絶縁性インク混合液を適当な割合で配合・攪拌して調製した感圧導電性インクをスクリーン印刷し、170℃の熱風と表面温度220℃の遠赤外炉の併用で4分プレキュアを行っている(2〜3層印刷後、上記と同様の温度にて8分追加キュアを行っている)。
スペーサ3は、図8や図9に示すように、感圧部となる感圧導電性インク13’,23’の周辺等にUVコート剤30(日本アチソン株式会社製、商品名:UV硬化型絶縁インクJE−1000G)をスクリーン印刷すると共に、積算光量1000mJ/cm2 のUV照射によりキュアを行って構成してあり、更に、キュアしたUVコート剤30上に粘着剤31(帝国インキ製造株式会社製、商品名:CAT−1300S)をスクリーン印刷して120℃の熱風で8分キュアを行うようにして成る。
なお、構成要素S1’と構成要素S2’とを粘着剤31,31を介して貼り合わせるようにすれば、この実施例4のセンサー試料を得ることができる。
この感圧センサーS’は、基本的には実施例4と同じ形態であるが、図10に示すように、スペーサ3のみが実施例4と相違している。
つまり、この実施例5のスペーサ3では、図10に示すように、ポリエチレンナフタレート製のシート基材1’,2’上にそれぞれ感圧部となる感圧導電性インク13’,23’の周辺等に粘着剤32(帝国インキ製造株式会社製、商品名:CAT−1300S)をスクリ−ン印刷して120℃の熱風で8分キュアを行い、シート基材1’,2’上に形成した粘着剤32,32相互間に感圧部となる感圧導電性インク13’,23’部分と対応する部分を切り抜いて成るポリエチレンナフタレートシート33を貼り合わせ、感圧センサー試料を得た。
この感圧センサーS’は、基本的には実施例4と同じ形態であるが、図11に示すように、スペーサ3のみが実施例4と相違している。
つまり、この実施例6のスペーサ3では、図11に示すように、ポリイミド製のシート基材1’,2’上にそれぞれ感圧部となる感圧導電性インク13’,23’の周辺等に粘着剤34(帝国インキ製造株式会社製、商品名:CAT−1300S)をスクリ−ン印刷して120℃の熱風で8分キュアを行い、シート基材1’,2’上に形成した粘着剤32,32相互間に感圧部となる感圧導電性インク13’,23’部分と対応部分を切り抜いて成るポリイミドシート35を貼り合わせ、感圧センサー試料を得た。
−40℃、85℃において、圧力13、20、40kPaでの感圧センサーS’の感圧抵抗値を測定し、温度による抵抗値逆数の変化を評価した。実施例4については図13に、実施例5については図15に、実施例6については図17に、それぞれグラフに示す。(感圧直線性評価試験)
室温(25℃)において、圧力0〜100kPaでの感圧センサーS’の感圧抵抗値を測定した。
直線性はX軸を圧力、Y軸を抵抗値の逆数としたプロットを作成し(実施例4は図12に、実施例5は図14に、実施例6は図16に、それぞれ示す)、直線近似を行い回帰分析計算に基づいたR−2乗値(R2 )を算出して直線性を評価した。
(出力ばらつき評価試験)
一定幅ピッチで行電極20本、列電極20本をそれぞれシート基材に印刷し、これら行・列電極が垂直に交差するように貼り合わせ、図1〜図3に示したT−20×20パタ−ン感圧センサー、所謂タクタイルセンサーを作製した。このセンサーを使用し、15kPa圧力下で、行電極交差部の出力を測定した。
行電極交差部の全出力値から出力平均値・出力標準偏差から変動係数を算出し、出力ばらつきを評価した。
(総合評価)
Figure 0003882172
この表2から、実施例4〜6の如く実施例1の感圧導電性インクを使用し且つスペーサー3を施した感圧センサーS’は、−40℃から85℃の広範囲における感圧センサーの出力安定性・出力のばらつきを向上させ、出力の感圧直線性の決定係数を兼ね備えていることが明らかである。
この発明の実施例1〜3の感圧センサーの平面図。 前記感圧センサーを構成する二枚の構成要素を示す平面図。 前記感圧センサーの断面図。 実施例1の感圧導電性インクを使用した感圧センサーの温度特性評価結果を示すグラフ。 比較例1の感圧導電性インクを使用した感圧センサーの温度特性評価結果を示すグラフ。 実施例1及び比較例1の感圧導電性インクを使用した感圧センサーの温度特性評価(抵抗値逆数の変化)を示すグラフ。 実施例1及び比較例2の感圧導電性インクを使用した感圧センサーの感圧直線性評価結果を示すグラフ。 この発明の実施例4〜6の感圧センサーの分解斜視図。 前記実施例4の感圧部及びその近傍の断面図。 前記実施例5の感圧部及びその近傍の断面図。 前記実施例6の感圧部及びその近傍の断面図。 実施例4の感圧センサーの感圧特性評価結果を示すグラフ。 実施例4の感圧センサーの温度特性評価結果を示すグラフ。 実施例5の感圧センサーの感圧特性評価結果を示すグラフ。 実施例5の感圧センサーの温度特性評価結果を示すグラフ。 実施例6の感圧センサーの感圧特性評価結果を示すグラフ。 実施例6の感圧センサーの温度特性評価結果を示すグラフ。
符号の説明
S 感圧センサー
S’ 感圧センサー
1 シート基材
1’ シート基材
2 シート基材
2’ シート基材
10 印加側電極(行電極)
10’ 印加側電極(行電極)
13 感圧導電性インク
13’ 感圧導電性インク
20 レシーブ側電極(列電極)
20’ レシーブ側電極(列電極)
23 感圧導電性インク
23’ 感圧導電性インク

Claims (6)

  1. 導電性カーボンブラックが配合された感圧導電性インクで形成されている導電性塗膜相互の接触面積により、印加側・レシ−ブ側電極間の抵抗が変化する形式の感圧センサーであって、感圧導電性インクが、バインダーとしてのシリコーンエラストマー成分100重量部に対して、二酸化ケイ素30〜70重量部を添加することにより、樹脂としての強度を高めると共に導電性カーボンブラックの分散効果を高めていることを特徴とする感圧センサー。
  2. 二酸化ケイ素は一次粒子径が7〜40nmであり、導電性カーボンブラックは、一次粒子径が20〜40nmであると共にシリコーンエラストマー成分100重量部に対して3〜50重量部含有していることを特徴とする請求項1記載の感圧センサー。
  3. 多点感圧部を有しており、その出力の変動係数が0.3未満であることを特徴とする請求項1又は2記載の感圧センサー。
  4. ポリエチレンナフタレート製の一対のシート基材のうち、一方側に印加電極を覆う導電性塗膜を、他方側にレシ−ブ側電極を覆う導電性塗膜を、それぞれ設けてあり、無負荷状態にあるときに対向する導電性塗膜相互間に間隙ができるように、その周囲をスペーサーで囲んであり、前記スペーサーはUVコート剤層及び粘着剤層で構成してあることを特徴とする請求項1又は2記載の感圧センサー。
  5. ポリエチレンナフタレート製の一対のシート基材のうち、一方側に印加電極を覆う導電性塗膜を、他方側にレシ−ブ側電極を覆う導電性塗膜を、それぞれ設けてあり、無負荷状態にあるときに対向する導電性塗膜相互間に間隙ができるように、その周囲をスペーサーで囲んであり、前記スペーサーはポリエチレンナフタレートフィルムと粘着剤層で構成してあることを特徴とする請求項1又は2記載の感圧センサー。
  6. ポリイミド製の一対のシート基材のうち、一方側に印加電極を覆う導電性塗膜を、他方側にレシ−ブ側電極を覆う導電性塗膜を、それぞれ設けてあり、無負荷状態にあるときに対向する導電性塗膜相互間に間隙ができるように、その周囲をスペーサーで囲んであり、前記スペーサーはポイミドフィルムと粘着剤層で構成してあることを特徴とする請求項1又は2記載の感圧センサー。
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