JP3879679B2

JP3879679B2 - Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method

Info

Publication number: JP3879679B2
Application number: JP2003047313A
Authority: JP
Inventors: 和彦野田; 仁向島; 康浩成清; 敏朗平川; 浩三金▲気▼; 明良西村; 守内田; 隆稔石川
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2003-02-25
Filing date: 2003-02-25
Publication date: 2007-02-14
Anticipated expiration: 2023-02-25
Also published as: JP2004265952A; CN1723749A; CN1723749B

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリップチップなどの電子部品を基板に搭載する電子部品搭載装置および電子部品搭載方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品を基板に搭載する際の所要位置精度の高度化に伴い、搭載時の電子部品と基板の位置ずれを画像認識によって補正する方法が広く用いられるようになっている。このような電子部品搭載装置として、供給部から電子部品を取出して表裏反転し所定の受け渡し位置に位置させる表裏反転装置と、表裏反転された電子部品を受け取って基板に移送搭載する搭載ヘッドを備え、搭載ヘッドに保持された状態の電子部品をカメラで認識して搭載時の位置合わせを行う構成のものが知られている（例えば特許文献１参照）。この技術によれば、バンプが形成された電子部品を高速で作業性よく、しかも高い位置精度で基板に搭載することができる。
【０００３】
【特許文献１】
特許第２７２５７０１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年電子部品業界においては生産技術の進歩が著しく、生産性向上がさらに求められるようになってきている。しかしながら上述の先行技術では、搭載ヘッドが電子部品を受け取った後に、カメラによる部品認識のために一旦停止する必要があり、搭載ヘッドの基板への移動において停止動作のための加減速によってロスタイムが発生する場合があった。このためタクトタイムの短縮には限界があり、更なる高能率の電子部品搭載装置が求められていた。
【０００５】
そこで本発明は、タクトタイムを短縮して生産性を向上させることができる電子部品搭載装置および電子部品搭載方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の電子部品搭載装置は、取出し移送ヘッドによって取出した電子部品を搭載ヘッドによって受け取って基板に搭載する電子部品搭載装置であって、所定の供給位置にて電子部品を前記取出し移送ヘッドに供給する供給部と、電子部品が搭載される基板を保持する基板保持部と、前記供給部の電子部品を撮像する供給部撮像手段と、この供給部撮像手段の撮像結果を認識処理して求められた電子部品の位置認識結果に基づいて前記取出し移送ヘッドに対して電子部品を相対的に位置決めする取出し位置決め手段と、前記供給位置から電子部品を前記取出し移送ヘッドによって取出して電子部品の受取り位置まで移送するとともにこの移送過程において前記取出し移送ヘッドが回動軸廻りに回動することにより電子部品を表裏反転する取出し移送手段と、移送された電子部品を前記受取り位置にて前記取出し移送ヘッドから受け取って基板に搭載する搭載ヘッドと、前記搭載ヘッドに保持された電子部品を前記受取り位置の下方から撮像する搭載ヘッド撮像手段と、この搭載ヘッド撮像手段の撮像結果を認識処理して求められた電子部品の位置認識結果に基づいて前記搭載ヘッドに保持された電子部品を前記基板保持部に保持された基板に対して相対的に位置決めする搭載位置決め手段とを備え、前記搭載ヘッド撮像手段は、前記取出し移送ヘッドが、前記受取り位置から外れた位置に回動した状態で前記搭載ヘッドに保持された電子部品を撮像する。
【０００７】
請求項２記載の電子部品搭載装置は、請求項１記載の電子部品搭載装置であって、前記供給部撮像手段は前記供給位置の電子部品を上方から撮像し、且つ前記取出し移送ヘッドが、前記供給位置から外れた位置に回動した状態で前記電子部品を撮像する。
【０００８】
請求項３記載の電子部品搭載装置は、請求項１記載の電子部品装置装置であって、前記供給部撮像手段および前記搭載ヘッド撮像手段は、それぞれの撮像視野が上下方向に重なるように配置されている。
【０００９】
請求項４記載の電子部品搭載方法は、供給部の供給位置から取出し移送ヘッドによって電子部品を取出して電子部品の受取り位置まで移送し、この電子部品を搭載ヘッドによって受け取って基板に搭載する電子部品搭載方法であって、前記供給部の電子部品を供給部撮像手段によって撮像して電子部品の位置を認識する供給部認識工程と、この供給部認識工程で求められた電子部品の位置認識結果に基づいて電子部品を前記取出し移送ヘッドに対して相対的に位置決めする取出し位置決め工程と、前記供給位置から取出し移送ヘッドによって電子部品を取出して前記取出し移送ヘッドが回動軸廻りに回動することにより電子部品を表裏反転して電子部品の受取り位置まで移送する取出し移送工程と、移送された電子部品を前記受取り位置にて搭載ヘッドによって前記取出し移送ヘッドから受け取る部品受取り工程と、前記搭載ヘッドに保持された電子部品を搭載ヘッド撮像手段によって前記受取り位置の下方から撮像してこの電子部品の位置を認識する搭載ヘッド認識工程と、この搭載ヘッド認識工程で求められた電子部品の位置認識結果に基づいて前記搭載ヘッドに保持された電子部品を前記基板保持部に保持された基板に対して相対的に位置決めして搭載する部品搭載工程とを含み、前記搭載ヘッド認識工程において、前記搭載ヘッド撮像手段は、前記取出し移送ヘッドが前記受取り位置から外れた位置に回動した状態で前記搭載ヘッドに保持された電子部品を撮像する。
【００１０】
請求項５記載の電子部品搭載方法は、請求項４記載の電子部品搭載方法であって、前記供給位置の上方に配置された前記供給部撮像手段による供給部認識工程において、前記取出し移送ヘッドが前記供給位置から外れた位置に回動した状態で前記電子部品を撮像する。
【００１１】
本発明によれば、搭載ヘッドの保持された電子部品を撮像する搭載ヘッド撮像手段を、搭載ヘッドが取出し移送ヘッドから電子部品を受け取る受取り位置の下方に配置し、且つ取出し移送ヘッドが、搭載ヘッド撮像手段による撮像を妨げない位置に移動可能に構成することにより、電子部品を保持した搭載ヘッドが部品認識のために一旦停止する必要がなく、タクトタイムを短縮して生産性を向上させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の斜視図、図２は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の正面図、図３は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の側面図、図４は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の部分斜視図、図５は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の処理機能を示す機能ブロック図、図６は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置のチップ搭載動作のフロー図、図７は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置によるチップ取出し動作のフロー図、図８は本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置によるチップ取出し動作の動作説明図である。
【００１３】
まず図１、図２を参照して電子部品搭載装置の構成を説明する。図１においてベース部１の上面には供給部２が配設されている。供給部２は、直動テーブルを組み合わせた構造のチップ保持部移動テーブル３の上面に、チップ保持部４を装着して構成されている。チップ保持部４には、部品（電子部品）であるチップ６が多数貼着されたウェハシート５が保持されている。
【００１４】
チップ６は外部接続用のバンプが形成されたバンプ付きチップであり、バンプ形成面を上向きにした姿勢で、下面側をウェハシート５に貼着されている。チップ保持部移動テーブル３を駆動することにより、チップ保持部４はウェハシート５に貼着されたチップ６とともに水平面内で移動する。
【００１５】
ベース部１上の供給部２に隣接した位置には、基台７が配置されており、基台７のトッププレート７ａ上には、基板保持部移動テーブル８が配設されている。基板保持部移動テーブル８は直動テーブルを組み合わせた構成となっており、上面にはチップ６が搭載される基板１０を保持する基板保持部９が装着されている。基板保持部移動テーブル８を駆動することにより、基板保持部９は保持した基板１０とともに水平面内で移動する。
【００１６】
供給部２の上方には、トッププレート７ａに保持されたチップ取出し移送機構１５（取出し移送手段）が、チップ保持部４の上方に張り出した形で配設されている。チップ取出し移送機構１５は、複数（ここでは３つ）の取出し移送ヘッド１６を、水平な回動軸廻りに放射状に配列して回動自在にしたロータリ式のチップ取出しユニットである。供給部２は、所定の供給位置にてこれらの取出し移送ヘッド１６にバンプ形成面を上向きにした姿勢のチップ６を供給する。
【００１７】
すなわちチップ取出し移送機構１５は、下向き姿勢の取出し移送ヘッド１６によって供給部２の供給位置から取出したチップ６を、以下に説明する搭載ヘッド１４による受取り位置まで移送するとともに、この移送過程において、取出し移送ヘッド１６が回動軸廻りに回動することにより、チップ６の姿勢を表裏反転してバンプ形成面を下向きにする。
【００１８】
供給部２の背後側および基台７上には、側フレーム１１ａ、１１ｂがそれぞれ立設されており、側フレーム１１ａ、１１ｂの上部は天板１１ｃによって連結されている。側フレーム１１ａおよび側フレーム１１ｂの間には、搭載ヘッド１４を備えた搭載機構１２が設けられており、搭載ヘッド１４は、側フレーム１１ａ、１１ｂの間に架設された搭載ヘッド移動テーブル１３によって水平移動し、搭載ヘッド回転機構１４ａによって垂直軸廻りのθ方向に回転する。
【００１９】
供給部２から取出し移送ヘッド１６によって取出され、前述の受取り位置まで移送されるとともに表裏反転されたチップ６は、バンプ形成面を下向きにしたフェイスダウン姿勢で搭載ヘッド１４によって受け取られる。そして、チップ６を受け取った搭載ヘッド１４が基板保持部９に保持された基板１０上に移動し、そこで搭載ヘッド１４が搭載動作を行うことにより、チップ６は基板１０にフェイスダウン姿勢で搭載される。
【００２０】
側フレーム１１ａには部品撮像部１７がチップ取出し移送機構１５の側面まで延出して設けられており、後述するように、供給部２から取出し移送ヘッド１６によってチップ６を取出す際には、また取出されたチップ６が搭載ヘッド１４によって受け取られた後には、部品撮像部１７によってそれぞれチップ６を撮像し、位置を認識する。
【００２１】
次に、図２，図３、図４を参照して各部の詳細構造を説明する。まずチップ取出し移送機構１５の構造を説明する。図３に示すように、トッププレート７ａの上面には、ブラケット１９を介して取出し移送ヘッドベース２０が回転軸２０ａ廻りに回転自在に保持されている。取出し移送ヘッドベース２０は、取出し移送ヘッドベース回転機構（図示省略）によって、所定の割り出し位置での停止や回転停止位置の微調整を含む任意の動作パターンで回転可能となっている。
【００２２】
取出し移送ヘッドベース２０には、３つの取出し移送ヘッド１６が回転軸２０ａを中心にして放射状に３等配位置に配置されている。取出し移送ヘッド１６は、取出し移送ヘッド昇降・回転機構１６ａによって、それぞれのヘッド軸方向（取出し移送ヘッドベース２０の法線方向）に進退するとともに、ヘッド軸廻りに回転できるようになっている。それぞれの取出し移送ヘッド１６は、先端部に吸着ノズルを備えており、この吸着ノズルによってチップ６を吸着して保持する。
【００２３】
図２，図３に示すように、取出し移送ヘッド１６が垂直下向き方向に位置した状態では、取出し移送ヘッド１６は供給部２に設定された所定の供給位置［Ａ］に位置し、この状態で取出し移送ヘッド昇降・回転機構１６ａによって取出し移送ヘッド１６を下降させるとともに、吸着ノズルから真空吸引することにより、取出し移送ヘッド１６はウェハシート５上のチップ６のバンプ形成面を真空吸着により保持する。そしてこの状態で取出し移送ヘッド１６を上昇させることにより、チップ６は供給部２から取出される。
【００２４】
このようにしてチップ６を保持した取出し移送ヘッド１６を、反時計回りに６０度回動させることにより、取出し移送ヘッド１６はチップ有無検出位置［Ｂ］に移動する。チップ有無検出位置［Ｂ］の外側にはチップ有無検出センサ２６が配設されており、チップ有無検出センサ２６は取出し移送ヘッド１６の吸着ノズルにおけるチップ６の有無を検出する。
【００２５】
チップ有無検出位置［Ｂ］からさらに６０度反時計廻りに回動した位置は、プリセンタ認識位置［Ｃ］となっている。プリセンタ認識位置［Ｃ］の外側にはプリセンタ認識カメラ２３が配設されており（図４も参照）、プリセンタ認識カメラ２３は取出し移送ヘッド１６に保持されたチップ６を撮像する。すなわちプリセンタ認識カメラ２３は、取出し移送動作の途中において取出し移送ヘッド１６に保持されたチップ６を撮像する取出しヘッド撮像手段となっている。そしてこの撮像結果を認識処理することにより、取出し移送ヘッド１６に保持された状態のチップ６の位置が認識される。
【００２６】
プリセンタ認識位置［Ｃ］からさらに反時計廻りに６０度回動した位置、すなわち垂直上方向の位置は、搭載ヘッド１４が取出し移送ヘッド１６からチップ６を受け取る受取り位置［Ｄ］となっており、チップ６を保持した取出し移送ヘッド１６が上向きに位置した状態で、取出し移送ヘッド１６を昇降させることにより、搭載ヘッド１４は取出し移送ヘッド１６に保持されたチップ６をフェイスダウン姿勢で受け取る。なお、搭載ヘッド１４を昇降させることによってチップ６を受け取ってもよい。
【００２７】
この搭載ヘッド１４によるチップ受取り動作においては、プリセンタ認識位置［Ｃ］におけるチップ６の位置認識結果に基づいて、チップ取出し移送機構１５、搭載ヘッド駆動機構（搭載ヘッド移動テーブル１３および搭載ヘッド回転機構１４ａ）を制御することにより、チップ６と搭載ヘッド１４との相対的な位置決めが行われる。すなわち、Ｘ方向については取出し移送ヘッドベース２０の回転停止位置の微調整によって、Ｙ方向については搭載ヘッド移動テーブル１３による搭載ヘッド１４の移動によって、またθ方向については、搭載ヘッド回転機構１４ａによって、それぞれの方向についての位置合わせが行われる。
【００２８】
次に部品撮像部１７について説明する。図４に示すように、部品撮像部１７には供給部認識カメラ２１、搭載ヘッド認識カメラ２２が撮像光軸を水平にした姿勢で配置されており、供給部認識カメラ２１、搭載ヘッド認識カメラ２２は、それぞれ取出し移送ヘッドベース２０の側面まで水平方向に延出した供給部撮像光学系２１ａ、搭載ヘッド撮像光学系２２ａを備えている。供給部撮像光学系２１ａ、搭載ヘッド撮像光学系２２ａはともに撮像口からの撮像光軸を直角に屈折させる機能を有したＬ型の撮像光学系である。
【００２９】
供給部撮像光学系２１ａの撮像口（供給部撮像口２１ｂ）は供給位置［Ａ］の垂直上方に位置しており、供給位置［Ａ］からの撮像光を供給部認識カメラ２１に入射させる。これにより供給部認識カメラ２１は、供給部２のウェハシート５において供給位置［Ａ］に位置したチップ６を上方から撮像する。供給部認識カメラ２１および供給部撮像光学系２１ａは、供給部２のチップ６を撮像する供給部撮像手段を構成する。そしてこの供給部撮像手段による供給位置のチップ６の撮像は、３つの取出し移送ヘッド１６がいずれもが供給位置［Ａ］から外れた位置を回動している状態、すなわち供給部撮像手段による撮像を妨げない位置に移動した状態で行われる。
【００３０】
また搭載ヘッド撮像光学系２２ａの撮像口（搭載ヘッド撮像口２２ｂ）は、受取り位置［Ｄ］の垂直下方に位置しており、受取り位置［Ｄ］からの撮像光を搭載ヘッド認識カメラ２２に入射させる。これにより搭載ヘッド認識カメラ２２は、受取り位置［Ｄ］において搭載ヘッド１４に保持された状態のチップ６を下方から撮像する。搭載ヘッド認識カメラ２２および搭載ヘッド撮像光学系２２ａは、搭載ヘッド撮像手段を構成する。そしてこの搭載ヘッド撮像手段によるチップ６の撮像は、３つの取出し移送ヘッド１６がいずれもが受取り位置［Ｄ］から外れた位置を回動している状態、すなわち搭載ヘッド撮像手段による撮像を妨げない位置に移動した状態で行われる。
【００３１】
そして上記構成において、供給部撮像光学系２１ａ、搭載ヘッド撮像光学系２２ａは、供給位置［Ａ］と受取り位置［Ｄ］が同一垂直線上に位置していることから、上下に重なった位置にある。すなわち、供給部撮像手段および搭載ヘッド撮像手段は、それぞれの撮像視野が上下方向に重なるように配置されている。換言すれば、供給部撮像手段および搭載ヘッド撮像手段は、それぞれの撮像口が上下方向に重なるように配置されている。これにより、チップ６を２つの異なる位置において認識するための２つの認識手段を上下に重ねて配置することを可能としており、２つの認識手段を並列配置していた従来装置と比較して、装置のコンパクト化が実現される。
【００３２】
次に搭載ヘッド１４について説明する。図４に示すように、搭載ヘッド移動テーブル１３によって水平移動する移動ベース１３ａには、搭載ヘッド１４および基板認識カメラ２４が一体移動可能に配置されている。搭載ヘッド１４は搭載ヘッド回転機構１４ａによってヘッド軸廻りの回転が可能となっている。また搭載ヘッド１４は、搭載ヘッド回転機構１４ａに設けられたガイド（図示省略）によって垂直方向に設けられたバネ（図示省略）によって上方に付勢されている。
【００３３】
さらに、搭載ヘッド１４は後述する搭載ヘッド押圧機構２５に上方から押されることによって下降する。したがって搭載ヘッド１４は搭載ヘッド回転機構１４ａに設けられたバネおよび搭載ヘッド押圧機構２５によって垂直なヘッド軸方向の昇降が可能となっている。なお搭載ヘッド回転機構１４ａに搭載ヘッド１４を昇降させる機構を設けてもよい。受取り位置［Ｄ］において取出し移送ヘッド１６からチップ６を受け取った搭載ヘッド１４は、搭載ヘッド移動テーブル１３によって基板保持部９に保持された基板１０上に移動し、ここで保持したチップ６を基板１０に搭載する。
【００３４】
移動ベース１３ａに配設された基板認識カメラ２４は水平方向に延出した基板撮像光学系２４ａを備えており、搭載ヘッド１４が受取り位置［Ｄ］に位置した状態において、基板撮像光学系２４ａは基板１０上に位置するようになっている。この状態で基板認識カメラ２４によって基板１０を撮像することにより、基板１０におけるチップ６の搭載点［Ｅ］が撮像され、この撮像結果を認識処理することにより、搭載点［Ｅ］の位置が認識される。なお、基板認識カメラ２４を固定配置し、基板保持部移動テーブル８によって基板１０を基板認識カメラ２４による撮像位置まで移動させるようにしてもよい。
【００３５】
搭載ヘッド１４によるチップ６の基板１０への搭載動作においては、このようにして求められた基板１０の搭載点［Ｅ］の位置認識結果と、搭載ヘッド認識カメラ２２によってチップ６を撮像することにより求められたチップ６の位置認識結果に基づいて、チップ６が基板１０に対して相対的に位置決めされる。この位置決めは、ＸＹ方向については、基板保持部移動テーブル８によって基板１０を移動させて、搭載点［Ｅ］を搭載ヘッド１４による搭載位置の直下まで移動させることにより、またθ方向については、搭載ヘッド回転機構１４ａによって搭載ヘッド１４をθ回転させることにより行われる。
【００３６】
そして搭載ヘッド１４を下降させて保持したチップ６を基板１０に着地させて搭載する際には、天板１１ｃの下面側の固定位置に配設された搭載ヘッド押圧機構２５によって搭載ヘッド１４に下向きの荷重を伝達し、チップ６を搭載ヘッド１４を介して基板１０に対して押圧する。このように搭載ヘッド押圧機構２５を搭載ヘッド１４から分離して固定配置することにより、搭載ヘッド１４を軽量化して高速動作を可能にするとともに、搭載ヘッド押圧機構２５を対象とするチップの実装荷重に応じて交換することができるという利点がある。
【００３７】
次に図５を参照して、電子部品搭載装置の制御系の処理機能について説明する。供給部認識カメラ２１、プリセンタ認識カメラ２３、搭載ヘッド認識カメラ２２、基板認識カメラ２４は、それぞれ第１の部品認識部３１、第２の部品認識部３２、第３の部品認識部３３および基板認識部３４に接続されている。第１の部品認識部３１、第２の部品認識部３２、第３の部品認識部３３および基板認識部３４は、それぞれ供給部認識カメラ２１、プリセンタ認識カメラ２３、搭載ヘッド認識カメラ２２、基板認識カメラ２４によって得られた撮像データを画像処理することにより、撮像対象の位置を認識する。
【００３８】
第１の部品認識部３１、第２の部品認識部３２、第３の部品認識部３３および基板認識部３４によって得られた認識結果は、制御部３０に送られる。制御部３０にはこれらの認識結果を受けて各駆動機構に必要な位置決め指令を出力するための制御プログラムが備えられており、これらの制御プログラムを実行することにより、以下に説明する位置決め制御が行われる。
【００３９】
以下認識対象項目毎に個別に説明する。第１の部品認識部６によるウェハシート５上のチップ６の認識結果は、第１の位置決め制御手段３５に送られる。第１の位置決め制御手段３５は、供給位置［Ａ］にあるチップ６の認識結果に基づいてチップ６を取出し移送ヘッド１６に対して相対的に位置決めする際の移動量（Ｘ１）、（Ｙ１）、（θ１）を算出する。
【００４０】
これらの移動量のうち、（Ｘ１）、（Ｙ１）は駆動回路４１に出力される。そして駆動回路４１がこの移動量（Ｘ１）、（Ｙ１）と制御部３０からの制御指令に基づいてチップ保持部移動テーブル３を駆動することにより、ＸＹ方向の位置合わせが行われる。また移動量（θ１）は駆動回路４２に出力される。そして駆動回路４２が、移動量（θ１）と制御部３０からの制御指令に基づいて、取出し移送ヘッド昇降・回転機構１６ａを駆動することにより、必要に応じてθ方向の位置合わせが行われる。なおθ方向の位置合わせは、チップ保持部移動テーブル３を駆動して行ってもよいし、またθ方向の位置合わせを行わないようにしてもよい。
【００４１】
すなわち、第１の位置決め制御手段３５およびチップ保持部移動テーブル３は、供給部撮像手段の撮像結果を認識処理して求められたチップ６の位置認識結果に基づいて、取出し移送ヘッド１６に対してチップ６を相対的に位置決めする取出し位置決め手段を構成する。
【００４２】
第２の部品認識部３２による認識結果は、第２の位置決め制御手段３６に送られる。第２の位置決め制御手段３６は、プリセンタ認識位置［Ｃ］における取出し移送ヘッド１６に保持されたチップ６の位置ずれ量を示すデータに基づき、受取り位置［Ｄ］において取出し移送ヘッド１６に保持された状態にあるチップ６を搭載ヘッド１４に相対的に位置決めする際の移動量（Ｘ２）、（Ｙ２）、（θ２）を示すデータを出力する。
【００４３】
これらのデータのうち、移動量（Ｘ２）は駆動回路４３に送られ、移動量（Ｙ２）は駆動回路４５に出力され、さらに移動量（θ２）は駆動回路４６に出力される。駆動回路４３が移動量（Ｘ２）と制御部３０からの制御指令に基づいて取出し移送ヘッドベース回転機構１８を駆動することにより、取出し移送ヘッドベース２０の回転停止位置が位置ずれ量に応じて微調整され、これによりＸ方向の位置合わせが行われる。そして駆動回路４５，４６がそれぞれ移動量（Ｙ２）、（θ２）に基づいて搭載ヘッド移動テーブル１３、搭載ヘッド回転機構１４ａを駆動することにより、Ｙ方向、θ方向の位置合わせが行われる。
【００４４】
したがって、第２の位置決め制御手段３６、取出し移送ヘッドベース回転機構１８、搭載ヘッド移動テーブル１３および搭載ヘッド回転機構１４ａは、取出しヘッド撮像手段の撮像結果を認識処理して求められたチップ６の位置認識結果に基づいて搭載ヘッド駆動機構およびまたは取出し移送手段を制御することにより、受取り位置［Ｄ］にて搭載ヘッド１４を取出しヘッド１６に保持されたチップ６に対して相対的に位置合わせするプリセンタ位置決め手段を構成する。
【００４５】
次に、第３の部品認識部３３の認識結果は、第３の位置決め制御手段３８に送られる。第３の位置決め制御手段３８には、基板認識部３４からも基板１０の搭載点［Ｅ］の認識結果が送られる。第３の位置決め制御手段３８では、搭載ヘッド１４に対するチップ６の位置ずれと、基板１０の搭載点［Ｅ］の位置ずれを加え合わせて、搭載ヘッド１４がチップ６を基板１０に搭載する際の移動量（Ｘ３）、（Ｙ３）、（θ３）のデータを出力する。
【００４６】
Ｘ方向、Ｙ方向の移動量（Ｘ３）、（Ｙ３）は駆動回路４４に送られ、この移動量（Ｘ３）、（Ｙ３）のデータと制御部３０からの制御指令に基づいて基板保持部移動テーブル８が駆動される。またθ方向の移動量（θ３）は駆動回路４６に出力され、この移動量（θ３）のデータと制御部３０からの制御指令に基づいて搭載ヘッド回転機構１４ａが駆動される。
【００４７】
したがって第３の位置決め制御手段３８、基板保持部移動テーブル８および搭載ヘッド回転機構１４ａは、搭載ヘッド撮像手段の撮像結果を認識処理して求められたチップ６の位置認識結果に基づいて、搭載ヘッド１４に保持されたチップ６を、基板保持部９に保持された基板１０に対して相対的に位置決めする搭載位置決め手段を構成する。
【００４８】
搭載ヘッド認識カメラ２２は、搭載ヘッド１４に保持されたチップ６の下面の画像データをバンプ検査部３７に対して出力する。バンプ検査部３７はこの画像データを画像処理することにより、チップ６のバンプ形成面におけるバンプの有無、バンプサイズ、バンプのキズなどの検査が行われる。また制御部３０からの制御指令は駆動回路４７に出力され、この駆動指令に従って搭載ヘッド押圧機構２５が駆動されることにより、搭載ヘッド１４によるチップ６の搭載動作時に、搭載ヘッド１４にはチップ６の実装荷重に応じた押圧荷重が伝達される。
【００４９】
この電子部品搭載装置は上記のように構成されており、以下動作について図６、図７、図８を参照して説明する。まず図６を参照して、チップ６を供給部２から取出して基板１０に搭載する搭載動作について説明する。ここに示す一連の動作は、供給部２の供給位置［Ａ］から取出し移送ヘッド１６によってチップ６を取出して受取り位置［Ｄ］まで移送し、このチップ６を搭載ヘッド１４によって受け取って基板１０に搭載する電子部品搭載方法を示している。
【００５０】
まず最初に、ウェハシート５に貼着されているチップ６のうち、当該搭載動作で搭載対象となるチップ６を供給位置［Ａ］へ移動する（ＳＴ１）。次に、供給部認識カメラ２１で供給位置［Ａ］のチップ６を撮像し、第１の部品認識部３１によってチップ６の位置を認識する（ＳＴ２）（供給部認識工程）。この供給部認識工程においては、供給部認識カメラ２１による撮像は、取出し移送ヘッド１６を供給位置［Ａ］から供給部撮像手段による撮像を妨げない位置に移動させた状態で行われる。
【００５１】
次いで当該動作において用いられる取出し移送ヘッド１６を供給位置［Ａ］に対応したチップ取出し位置へ回転移動させる（ＳＴ３）。このとき供給部認識工程で求められたチップ６の位置認識結果に基づいて、チップ保持部移動テーブル３を駆動することにより、チップ６を供給位置［Ａ］において取出し移送ヘッド１６に対して相対的に位置決めする（取出し位置決め工程）。
【００５２】
そして取出し移送ヘッド１６によってチップ６を取出し（ＳＴ４）（部品（チップ）取出し工程）、受取り位置［Ｄ］までこのチップ６を移送する取出し移送工程が行われる。すなわち取出し移送ヘッドベース２０を６０度（１／６回転）づつ間欠回転させることにより、まずチップ６を保持した取出し移送ヘッド１６をチップ有無検出位置［Ｂ］へ回転移動させ（ＳＴ５）、チップ有無検出センサ２６によってチップ６の有無を検出する（ＳＴ６）（部品（チップ）有無検出工程）。ここでチップ６が検出されない場合には、当該取出し移送ヘッド１６については以下に説明する動作を行うことなく、次の取出し移送ヘッド１６を対象としてチップ有無検出および以下の動作を継続する。
【００５３】
この後チップ６を保持した取出し移送ヘッド１６はプリセンタ認識位置［Ｃ］へ回転移動する（ＳＴ７）。そしてここでプリセンタ認識カメラ２３によってチップ６を撮像し、第２の部品認識部３２によってチップ６の位置を認識して搭載ヘッド１４とチップ６とを相対的に位置決めする準備を行う（ＳＴ８）（プリセンタ準備工程）。そして取出し移送ヘッド１６を受取り位置［Ｄ］へ回転移動させ、搭載ヘッド１４とチップ６とを相対的に位置決めし（ＳＴ９）（プリセンタ位置決め工程）、搭載ヘッド１４でチップ６を受け取る（ＳＴ１０）（部品（チップ）受取り工程）。
【００５４】
このプリセンタ位置決め工程においては、前述のように取出しヘッド撮像手段であるプリセンタ認識カメラ２３の撮像結果を認識処理して求められたチップ６の位置認識結果に基づいて、搭載ヘッド駆動機構およびまたは取出し移送手段を制御することにより、受取り位置［Ｄ］にて搭載ヘッド１４を取出し移送ヘッド１６に保持されたチップ６に対して相対的に位置決めする。
【００５５】
搭載ヘッド１４がチップ６を受け取ったならば、このチップ６を搭載ヘッド認識カメラ２２によって撮像し、第３の部品認識部３３によってチップ６の位置を認識する（ＳＴ１１）（搭載ヘッド認識工程）。この搭載ヘッド認識工程での搭載ヘッド認識カメラ２２による撮像は、取出し移送ヘッド１６を回動させて受取り位置「Ｄ」から搭載ヘッド撮像手段による撮像を妨げない位置に移動させた状態で行われる。このチップ６の位置認識と並行して、基板認識カメラ２４によって基板１０を撮像し、基板認識部３４によって搭載点［Ｅ］の位置を認識する（ＳＴ１２）。
【００５６】
チップ６を受け取った搭載ヘッド１４は、チップ６の撮像を終えると基板１０上の搭載位置まで停止することなく直行する。そしてチップ６の位置認識結果と、搭載点［Ｅ］の位置認識結果とに基づいて、チップ６と基板１０とを相対的に位置決めし（ＳＴ１３）、搭載ヘッド１４を下降させて搭載ヘッド押圧機構２５によって押圧することにより、チップ６を基板１０に搭載する（部品（チップ）搭載工程）。これにより、チップを受け取った後にチップの認識のために搭載ヘッドを一旦停止させる方式の従来装置と比較して、加減速によるタイムロスを生じることなく、より効率よくチップの搭載動作を行うことができる。
【００５７】
上述のフローは、１つの取出し移送ヘッド１６によって行われるチップ６の取出し動作を順序を追って示したものであり、実際の装置稼動状態においては、チップ取出し移送機構１５に備えられた３つの取出し移送ヘッド１６によって、供給部２からのチップ６の取出しおよび搭載ヘッド１４によるチップ６の受取りが連続的に実行される。この連続動作について、図７，図８を参照して説明する。
【００５８】
図７は、３つの取出し移送ヘッド１６を、第１の取出し移送ヘッド１６Ａ、第２の取出し移送ヘッド１６Ｂ、第３の取出し移送ヘッド１６Ｃとして区別し、同一タイミングにおいて各取出し移送ヘッドで実行される工程動作を並列させて示している。以下、各タイミング毎に説明する。図８は、各タイミングにおける各取出し移送ヘッドの動作を示している。
【００５９】
タイミング（ａ）においては、第１の取出し移送ヘッド１６Ａ、第２の取出し移送ヘッド１６Ｂ、第３の取出し移送ヘッド１６Ｃのそれぞれについて、以下の各工程動作が実行されている。すなわち、図８（ａ）に示すように、第１の取出し移送ヘッド１６Ａについては、供給部２のチップ６を供給部認識カメラ２１によって撮像して位置認識する供給部認識工程が実行されており、第２の取出し移送ヘッド１６Ｂについては、チップ６の有無をチップ有無検出センサ２６によって検出するチップ有無検出工程が、また第３の取出し移送ヘッド１６Ｃについては、保持したチップ６を搭載ヘッド１４に受け渡すチップ受取り工程が実行されている。
【００６０】
そして取出し移送ヘッドベース２０が反時計回りに１／６回転した後のタイミング（ｂ）においては、第１の取出し移送ヘッド１６Ａ、第２の取出し移送ヘッド１６Ｂ、第３の取出し移送ヘッド１６Ｃのそれぞれについて、以下の各工程動作が実行されている。すなわち、図８（ｂ）に示すように、第１の取出し移送ヘッド１６Ａについては、供給部２のチップ６を取出すチップ取出し工程が実行されており、第２の取出し移送ヘッド１６Ｂについては、プリセンタ認識カメラ２３によってチップ６を撮像して位置を認識するプリセンタ準備工程が、また第３の取出し移送ヘッド１６Ｃについては、搭載ヘッド１４に保持したチップ６を搭載ヘッド認識カメラ２２によって撮像して位置を認識する搭載ヘッド認識工程が実行されている。
【００６１】
そして後続のタイミング（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）においては、上述のタイミング（ａ）、（ｂ）と同様の工程動作が、第１の取出し移送ヘッド１６Ａ、第２の取出し移送ヘッド１６Ｂ、第３の取出し移送ヘッド１６Ｃについて、対象ヘッドを反時計回りの輪環順に入れ替えて順次実行される。
【００６２】
これにより、３つの取出し移送ヘッド１６を等配位置に放射状に配置したロータリ式のチップ取出し移送機構１５によって、供給部２からのチップ６の取出し、チップ６の表裏反転および搭載ヘッド１４による受取り位置［Ｄ］までの移送の各動作が、チップ６の持ち換えを行うことなく取出し移送ヘッド１６のみの動作によって、連続動作で効率よく行われる。
【００６３】
そしてロータリ式のチップ取出し移送機構１５において、受取り位置［Ｄ］の直下に搭載ヘッド撮像手段を配置する構成を採用していることから、搭載ヘッド１４がチップ６を受け取った後、取出し移送ヘッド１６が受取り位置［Ｄ］から搭載ヘッド撮像手段による撮像を妨げない位置に移動したならば、直ちにチップ６の認識を行うことができる。これにより、前述のようにチップ受け取り後の搭載ヘッド１４の一旦停止を不要にして、タクトタイム短縮を可能としている。
【００６４】
また供給位置［Ａ］においてチップ６を認識するための供給部撮像手段の撮像視野と、搭載ヘッド撮像手段の撮像手段の撮像視野とが上下に重なるような配置を採用することにより、搭載ヘッド撮像手段および供給部撮像手段の２種類の撮像手段を、取出し移送機構１５に極めてコンパクトに組み込むことが可能となっている。
【００６５】
さらに取出し移送ヘッド１６が供給位置［Ａ］から受取り位置［Ｄ］へ回転移動する回動経路において設定される複数の回転停止位置を、チップ有無検出位置［Ｂ］、プリセンタ認識位置［Ｃ］として利用することにより、コンパクト・高機能の電子部品搭載装置が実現される。
【００６６】
【発明の効果】
本発明によれば、搭載ヘッドに保持された電子部品を撮像する搭載ヘッド撮像手段を、搭載ヘッドが取出し移送ヘッドから電子部品を受け取る受取り位置の下方に配置し、且つ取出し移送ヘッドが、搭載ヘッド撮像手段による撮像を妨げない位置に移動可能に構成したので、電子部品を保持した搭載ヘッドが部品認識のために一旦停止する必要がなく、タクトタイムを短縮して生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の正面図
【図３】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の側面図
【図４】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の部分斜視図
【図５】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置の処理機能を示す機能ブロック図
【図６】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置のチップ搭載動作のフロー図
【図７】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置によるチップ取出し動作のフロー図
【図８】本発明の一実施の形態の電子部品搭載装置によるチップ取出し動作の動作説明図
【符号の説明】
２供給部
６チップ
９基板保持部
１０基板
１２搭載機構
１４搭載ヘッド
１５チップ取出し移送機構
１６取出し移送ヘッド
１７部品撮像部
２１供給部認識カメラ
２１ａ供給部撮像光学系
２２搭載ヘッド認識カメラ
２２ａ搭載ヘッド撮像光学系
２３プリセンタ認識カメラ
２４基板認識カメラ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electronic component mounting apparatus and an electronic component mounting method for mounting electronic components such as flip chips on a substrate.
[0002]
[Prior art]
Along with the advancement of the required position accuracy when mounting electronic components on a substrate, a method of correcting the positional deviation between the electronic component and the substrate at the time of mounting by image recognition has been widely used. As such an electronic component mounting apparatus, a front / back reversing device that takes out an electronic component from a supply unit and reverses it and positions it at a predetermined delivery position, and a mounting head that receives the electronic component that has been reversed and mounted on a substrate are mounted. A configuration is known in which an electronic component held by a mounting head is recognized by a camera and alignment is performed at the time of mounting (see, for example, Patent Document 1). According to this technique, an electronic component on which a bump is formed can be mounted on a substrate with high workability and high positional accuracy.
[0003]
[Patent Document 1]
Japanese Patent No. 2725701
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, in the electronic parts industry, production technology has been remarkably advanced, and further improvement in productivity has been demanded. However, in the above-described prior art, after the mounting head receives the electronic component, it is necessary to temporarily stop for the component recognition by the camera, and a loss time occurs due to acceleration / deceleration for the stop operation in the movement of the mounting head to the substrate. There was a case. For this reason, there is a limit to shortening the tact time, and a further highly efficient electronic component mounting apparatus has been demanded.
[0005]
Therefore, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus and an electronic component mounting method capable of improving the productivity by reducing the tact time.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
The electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the electronic component mounting apparatus receives the electronic component taken out by the take-out and transfer head by the mounting head and mounts the electronic component on the substrate. The electronic component is placed at a predetermined supply position. A supply unit for supplying to the substrate, a substrate holding unit for holding the substrate on which the electronic component is mounted, a supply unit imaging unit for imaging the electronic component of the supply unit, and an imaging result of the supply unit imaging unit An electronic component is positioned relative to the take-out and transfer head based on the obtained position recognition result of the electronic component, and an electronic component is taken out from the supply position by the take-out and transfer head, and the electronic component is received. In the transfer process When the take-out and transfer head rotates about the rotation axis, A take-out transfer means for reversing the front and back of the electronic component, a mounting head for receiving the transferred electronic component from the take-out transfer head at the receiving position and mounting it on the substrate, and an electronic component held by the mounting head Of the receiving position A mounting head imaging unit that captures an image from below, and an electronic component held by the mounting head based on a position recognition result of the electronic component obtained by recognizing an imaging result of the mounting head imaging unit. A mounting positioning means for positioning relative to the held substrate; The mounted head imaging means includes The take-out and transfer head comprises: The electronic component held by the mounting head is imaged while being rotated to a position deviating from the receiving position. .
[0007]
The electronic component mounting apparatus according to claim 2 is the electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the supply unit imaging means images the electronic component at the supply position from above, and the take-out and transfer head includes: The electronic component is imaged while being rotated to a position deviating from the supply position. .
[0008]
The electronic component mounting apparatus according to claim 3 is the electronic component apparatus apparatus according to claim 1, wherein the supply unit imaging unit and the mounting head imaging unit are arranged such that their imaging fields of view overlap each other in the vertical direction. ing.
[0009]
5. The electronic component mounting method according to claim 4, wherein the electronic component is taken out from the supply position of the supply unit by the take-out transfer head and transferred to the receiving position of the electronic component, and the electronic component is received by the mounting head and mounted on the substrate. In the mounting method, the electronic component of the supply unit is imaged by the supply unit imaging means to recognize the position of the electronic component, and the position recognition result of the electronic component obtained in the supply unit recognition step An electronic component is positioned relative to the take-out and transfer head, and an electronic component is taken out from the supply position by the take-out and transfer head, and the take-out and transfer head is rotated around a rotation axis. Turn the electronic parts upside down Receipt The unloading and transporting process for transporting to the position and the transported electronic components Receipt A component receiving step for receiving from the take-out and transfer head by the mounting head at the mounting position, and an electronic component held by the mounting head is imaged from below the receiving position by the mounting head imaging means to recognize the position of the electronic component. Positioning the electronic component held by the mounting head relative to the substrate held by the substrate holding unit based on the mounting head recognition step and the position recognition result of the electronic component obtained in the mounting head recognition step In the mounting head recognition step, the mounting head imaging means is held by the mounting head in a state where the take-out transfer head is rotated to a position deviated from the receiving position. Image electronic components.
[0010]
The electronic component mounting method according to claim 5 is the electronic component mounting method according to claim 4, wherein in the supply unit recognition step by the supply unit imaging means arranged above the supply position, the take-out transfer head The electronic component is imaged in a state where the electronic device is rotated to a position out of the supply position. .
[0011]
According to the present invention, the mounting head imaging means for imaging the electronic component held by the mounting head is arranged below the receiving position where the mounting head receives the electronic component from the take-out transfer head, and the take-out transfer head is mounted on the mounting head. By being configured to be movable to a position that does not interfere with imaging by the imaging means, it is not necessary for the mounting head holding the electronic component to temporarily stop for component recognition, thereby reducing the tact time and improving productivity. it can.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a front view of the electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an electronic circuit according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a partial perspective view of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a functional block diagram showing processing functions of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention. 6 is a flowchart of chip mounting operation of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention, FIG. 7 is a flowchart of chip extraction operation by the electronic component mounting apparatus of the embodiment of the present invention, and FIG. It is operation | movement explanatory drawing of the chip | tip taking-out operation | movement by the electronic component mounting apparatus of one embodiment of this invention.
[0013]
First, the configuration of the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIGS. In FIG. 1, a supply unit 2 is disposed on the upper surface of the base unit 1. The supply unit 2 is configured by mounting a chip holding unit 4 on an upper surface of a chip holding unit moving table 3 having a structure in which a linear motion table is combined. The chip holding unit 4 holds a wafer sheet 5 on which a large number of chips 6 as components (electronic components) are adhered.
[0014]
The chip 6 is a chip with bumps on which bumps for external connection are formed, and the lower surface side is attached to the wafer sheet 5 with the bump formation surface facing upward. By driving the chip holding unit moving table 3, the chip holding unit 4 moves in a horizontal plane together with the chips 6 attached to the wafer sheet 5.
[0015]
A base 7 is disposed at a position adjacent to the supply unit 2 on the base 1, and a substrate holding unit moving table 8 is disposed on the top plate 7 a of the base 7. The substrate holding unit moving table 8 is a combination of linear motion tables, and a substrate holding unit 9 for holding a substrate 10 on which the chip 6 is mounted is mounted on the upper surface. By driving the substrate holding part moving table 8, the substrate holding part 9 moves in the horizontal plane together with the held substrate 10.
[0016]
A chip take-out and transfer mechanism 15 (take-out and transfer means) held on the top plate 7 a is disposed above the supply unit 2 so as to protrude above the chip holder 4. The chip take-out and transfer mechanism 15 is a rotary type chip take-out unit in which a plurality (three in this case) of take-out and transfer heads 16 are arranged radially around a horizontal rotation shaft so as to be rotatable. The supply unit 2 supplies the chip 6 in a posture with the bump formation surface facing upward to the take-out and transfer head 16 at a predetermined supply position.
[0017]
That is, the chip take-out transfer mechanism 15 transfers the chip 6 taken out from the supply position of the supply unit 2 by the take-out transfer head 16 in the downward posture to a receiving position by the mounting head 14 to be described below. When the transfer head 16 rotates about the rotation axis, the posture of the chip 6 is reversed so that the bump forming surface faces downward.
[0018]
Side frames 11a and 11b are erected on the back side of the supply unit 2 and on the base 7, respectively, and the upper portions of the side frames 11a and 11b are connected by a top plate 11c. A mounting mechanism 12 having a mounting head 14 is provided between the side frame 11a and the side frame 11b. The mounting head 14 is horizontally mounted by a mounting head moving table 13 installed between the side frames 11a and 11b. It moves and rotates in the θ direction around the vertical axis by the mounting head rotating mechanism 14a.
[0019]
The chip 6 taken out from the supply unit 2 by the take-out transfer head 16 and transferred to the above-described receiving position and turned upside down is received by the mounting head 14 in a face-down posture with the bump forming surface facing downward. Then, the mounting head 14 that has received the chip 6 moves onto the substrate 10 held by the substrate holding unit 9, and the mounting head 14 performs a mounting operation, whereby the chip 6 is mounted on the substrate 10 in a face-down posture. The
[0020]
A component imaging unit 17 is provided on the side frame 11a so as to extend to the side surface of the chip take-out and transfer mechanism 15. When the chip 6 is taken out from the supply unit 2 by the take-out and transfer head 16 as will be described later, After the chip 6 is received by the mounting head 14, the component imaging unit 17 images the chip 6 and recognizes the position.
[0021]
Next, the detailed structure of each part will be described with reference to FIG. 2, FIG. 3, and FIG. First, the structure of the chip removal / transfer mechanism 15 will be described. As shown in FIG. 3, the take-out and transfer head base 20 is held on the upper surface of the top plate 7a via a bracket 19 so as to be rotatable around a rotation shaft 20a. The take-out and transfer head base 20 can be rotated in an arbitrary operation pattern including a stop at a predetermined index position and a fine adjustment of the rotation stop position by a take-out and transfer head base rotating mechanism (not shown).
[0022]
In the take-out and transfer head base 20, three take-out and transfer heads 16 are radially arranged at three equal positions around the rotation shaft 20a. The take-out and transfer head 16 advances and retreats in the respective head axis directions (normal direction of the take-out and transfer head base 20) by the take-out and transfer head lifting / lowering / rotating mechanism 16a, and can be rotated around the head axis. Each take-out and transfer head 16 has a suction nozzle at the tip, and the chip 6 is sucked and held by the suction nozzle.
[0023]
As shown in FIGS. 2 and 3, in the state where the take-out and transfer head 16 is positioned in the vertically downward direction, the take-out and transfer head 16 is located at a predetermined supply position [A] set in the supply unit 2. The take-out and transfer head 16 is lowered by the take-up and transfer head raising / lowering / rotating mechanism 16a, and vacuum suction is performed from the suction nozzle, whereby the take-out and transfer head 16 holds the bump forming surface of the chip 6 on the wafer sheet 5 by vacuum suction. In this state, the chip 6 is taken out from the supply unit 2 by raising the take-out transfer head 16.
[0024]
Thus, the take-out and transfer head 16 holding the chip 6 is rotated 60 degrees counterclockwise, so that the take-out and transfer head 16 moves to the chip presence / absence detection position [B]. A chip presence / absence detection sensor 26 is disposed outside the chip presence / absence detection position [B], and the chip presence / absence detection sensor 26 detects the presence / absence of the chip 6 in the suction nozzle of the take-out transfer head 16.
[0025]
The position rotated further 60 degrees counterclockwise from the chip presence / absence detection position [B] is the pre-center recognition position [C]. A pre-center recognition camera 23 is disposed outside the pre-center recognition position [C] (see also FIG. 4), and the pre-center recognition camera 23 images the chip 6 held by the take-out transfer head 16. That is, the pre-center recognition camera 23 serves as a take-out head imaging unit that takes an image of the chip 6 held by the take-out / transfer head 16 during the take-out / transfer operation. And the position of the chip | tip 6 of the state hold | maintained at the pick-out transfer head 16 is recognized by recognizing this imaging result.
[0026]
A position rotated 60 degrees counterclockwise from the pre-center recognition position [C], that is, a vertically upward position is a receiving position [D] at which the mounting head 14 receives the chip 6 from the take-out transfer head 16. The mounting head 14 receives the chip 6 held by the take-out and transfer head 16 in a face-down posture by raising and lowering the take-out and transfer head 16 while the take-out and transfer head 16 holding the chip 6 is positioned upward. Note that the chip 6 may be received by moving the mounting head 14 up and down.
[0027]
In the chip receiving operation by the mounting head 14, based on the position recognition result of the chip 6 at the pre-center recognition position [C], the chip take-out transfer mechanism 15, the mounting head driving mechanism (the mounting head moving table 13 and the mounting head rotating mechanism 14a). ) Is controlled, the chip 6 and the mounting head 14 are positioned relative to each other. That is, by fine adjustment of the rotation stop position of the take-out transfer head base 20 in the X direction, by the movement of the mounting head 14 by the mounting head moving table 13 in the Y direction, and by the mounting head rotating mechanism 14a in the θ direction. Registration in each direction is performed.
[0028]
Next, the component imaging unit 17 will be described. As shown in FIG. 4, a supply unit recognition camera 21 and a mounted head recognition camera 22 are arranged in the component imaging unit 17 in a posture in which the imaging optical axis is horizontal, and the supply unit recognition camera 21 and the mounted head recognition camera 22 are arranged. Are respectively provided with a supply portion imaging optical system 21a and a mounting head imaging optical system 22a extending horizontally to the side surface of the take-out and transfer head base 20. The supply unit imaging optical system 21a and the mounted head imaging optical system 22a are both L-type imaging optical systems having a function of refracting the imaging optical axis from the imaging port at right angles.
[0029]
The imaging port (supply unit imaging port 21b) of the supply unit imaging optical system 21a is positioned vertically above the supply position [A], and causes the imaging light from the supply position [A] to enter the supply unit recognition camera 21. Accordingly, the supply unit recognition camera 21 images the chip 6 positioned at the supply position [A] on the wafer sheet 5 of the supply unit 2 from above. The supply unit recognition camera 21 and the supply unit imaging optical system 21 a constitute a supply unit imaging unit that images the chip 6 of the supply unit 2. The supply portion imaging means picks up the chip 6 at the supply position in a state where all of the three take-out transfer heads 16 are rotated from the supply position [A]. It is performed in a state where it is moved to a position that does not interfere with the above.
[0030]
Further, the imaging port (mounted head imaging port 22b) of the mounted head imaging optical system 22a is positioned vertically below the receiving position [D], and the imaging light from the receiving position [D] is incident on the mounted head recognition camera 22. Let Thereby, the mounting head recognition camera 22 removes the chip 6 held by the mounting head 14 at the receiving position [D]. From below Take an image. The mounted head recognition camera 22 and the mounted head imaging optical system 22a constitute mounted head imaging means. The imaging of the chip 6 by the mounting head imaging means does not disturb the imaging of the chip 6 by the mounting head imaging means, in which all of the three take-out transfer heads 16 are rotating from the receiving position [D]. It is performed in the state moved to the position.
[0031]
In the above-described configuration, the supply unit imaging optical system 21a and the mounted head imaging optical system 22a are positioned so as to overlap each other because the supply position [A] and the receiving position [D] are on the same vertical line. . That is, the supply unit imaging unit and the mounting head imaging unit are arranged so that their imaging fields of view overlap in the vertical direction. In other words, the supply unit imaging unit and the mounting head imaging unit are arranged such that the respective imaging ports overlap in the vertical direction. As a result, two recognition means for recognizing the chip 6 at two different positions can be arranged one above the other, and compared with a conventional device in which the two recognition means are arranged in parallel, Can be made compact.
[0032]
Next, the mounting head 14 will be described. As shown in FIG. 4, the mounting head 14 and the substrate recognition camera 24 are arranged so as to be movable together on the moving base 13 a that moves horizontally by the mounting head moving table 13. The mounting head 14 can be rotated around the head axis by a mounting head rotating mechanism 14a. The mounting head 14 is biased upward by a spring (not shown) provided in the vertical direction by a guide (not shown) provided on the mounting head rotating mechanism 14a.
[0033]
Further, the mounting head 14 is lowered by being pressed from above by a mounting head pressing mechanism 25 described later. Therefore, the mounting head 14 can be moved up and down in the vertical head axis direction by the spring provided on the mounting head rotating mechanism 14 a and the mounting head pressing mechanism 25. A mechanism for raising and lowering the mounting head 14 may be provided in the mounting head rotating mechanism 14a. The mounting head 14 that has received the chip 6 from the take-out and transfer head 16 at the receiving position [D] moves onto the substrate 10 held by the substrate holding unit 9 by the mounting head moving table 13, and the chip 6 held here is transferred to the substrate. 10 is installed.
[0034]
The board recognition camera 24 disposed on the moving base 13a includes a board imaging optical system 24a extending in the horizontal direction. When the mounting head 14 is positioned at the receiving position [D], the board imaging optical system 24a is It is located on the substrate 10. In this state, the board recognition camera 24 takes an image of the board 10 to pick up an image of the mounting point [E] of the chip 6 on the board 10 and recognizes the position of the mounting point [E] by recognizing the imaging result. Is done. The substrate recognition camera 24 may be fixedly arranged, and the substrate 10 may be moved to the imaging position by the substrate recognition camera 24 by the substrate holding unit moving table 8.
[0035]
In the mounting operation of the chip 6 on the substrate 10 by the mounting head 14, the position recognition result of the mounting point [E] of the substrate 10 thus obtained and the chip 6 are imaged by the mounting head recognition camera 22. The chip 6 is positioned relative to the substrate 10 based on the obtained position recognition result of the chip 6. This positioning is performed by moving the substrate 10 by the substrate holding unit moving table 8 in the XY directions and moving the mounting point [E] to a position just below the mounting position by the mounting head 14, and in the θ direction, Head mounted by head rotation mechanism 14a 14 Is carried out by rotating the angle θ.
[0036]
Then, when the chip 6 held by lowering the mounting head 14 is landed and mounted on the substrate 10, the mounting head pressing mechanism 25 disposed at a fixed position on the lower surface side of the top plate 11 c faces the mounting head 14 downward. And the chip 6 is pressed against the substrate 10 via the mounting head 14. In this way, the mounting head pressing mechanism 25 is separated from the mounting head 14 and fixedly arranged, so that the mounting head 14 can be reduced in weight and can be operated at a high speed. There is an advantage that it can be exchanged according to.
[0037]
Next, the processing function of the control system of the electronic component mounting apparatus will be described with reference to FIG. The supply unit recognition camera 21, the pre-center recognition camera 23, the mounted head recognition camera 22, and the board recognition camera 24 are respectively a first component recognition unit 31, a second component recognition unit 32, a third component recognition unit 33, and a board recognition. Connected to the unit 34. The first component recognizing unit 31, the second component recognizing unit 32, the third component recognizing unit 33, and the substrate recognizing unit 34 are a supply unit recognizing camera 21, a pre-center recognizing camera 23, a mounted head recognizing camera 22, and a substrate recognizing unit, respectively. Image processing is performed on imaging data obtained by the camera 24 to recognize the position of the imaging target.
[0038]
Recognition results obtained by the first component recognition unit 31, the second component recognition unit 32, the third component recognition unit 33, and the board recognition unit 34 are sent to the control unit 30. The control unit 30 is provided with a control program for receiving these recognition results and outputting a positioning command necessary for each drive mechanism. By executing these control programs, the positioning control described below is performed. Done.
[0039]
Hereinafter, each recognition target item will be described individually. The recognition result of the chip 6 on the wafer sheet 5 by the first component recognition unit 6 is sent to the first positioning control means 35. The first positioning control unit 35 takes out the chip 6 based on the recognition result of the chip 6 at the supply position [A] and moves it relative to the transfer head 16 (X1), (Y1). , (Θ1) is calculated.
[0040]
Of these movement amounts, (X1) and (Y1) are output to the drive circuit 41. Then, the driving circuit 41 drives the chip holding unit moving table 3 based on the movement amounts (X1) and (Y1) and the control command from the control unit 30 to perform alignment in the XY directions. The movement amount (θ1) is output to the drive circuit 42. Then, the drive circuit 42 drives the take-out and transfer head elevating / rotating mechanism 16a based on the movement amount (θ1) and the control command from the control unit 30, thereby performing alignment in the θ direction as necessary. The alignment in the θ direction may be performed by driving the chip holding unit moving table 3 or may not be performed in the θ direction.
[0041]
That is, the first positioning control unit 35 and the chip holding unit moving table 3 are arranged to the take-out transfer head 16 based on the position recognition result of the chip 6 obtained by recognizing the imaging result of the supply unit imaging unit. A take-out positioning means for relatively positioning the chip 6 is configured.
[0042]
The recognition result by the second component recognition unit 32 is sent to the second positioning control means 36. The second positioning control means 36 is held by the take-out and transfer head 16 at the receiving position [D] based on the data indicating the amount of displacement of the chip 6 held by the take-out and transfer head 16 at the pre-center recognition position [C]. Data indicating movement amounts (X2), (Y2), and (θ2) when the chip 6 in the state is positioned relative to the mounting head 14 is output.
[0043]
Of these data, the movement amount (X2) is sent to the drive circuit 43, the movement amount (Y2) is output to the drive circuit 45, and the movement amount (θ2) is further output to the drive circuit 46. The drive circuit 43 drives the take-out and transfer head base rotation mechanism 18 based on the movement amount (X2) and the control command from the control unit 30, so that the rotation stop position of the take-out and transfer head base 20 is slightly changed according to the positional deviation amount. This adjusts the position in the X direction. Then, the drive circuits 45 and 46 drive the mounting head moving table 13 and the mounting head rotating mechanism 14a based on the movement amounts (Y2) and (θ2), respectively, thereby performing alignment in the Y direction and θ direction.
[0044]
Therefore, the second positioning control means 36, the take-out and transfer head base rotating mechanism 18, the mounting head moving table 13, and the mounting head rotating mechanism 14a recognize the imaging result of the extracting head imaging means and obtain the position of the chip 6 By controlling the mounting head drive mechanism and / or the pick-up and transfer means based on the recognition result, the pre-center for positioning the mounting head 14 relative to the chip 6 held by the pick-up head 16 at the receiving position [D]. The positioning means is configured.
[0045]
Next, the recognition result of the third component recognition unit 33 is sent to the third positioning control means 38. The recognition result of the mounting point [E] of the substrate 10 is also sent from the substrate recognition unit 34 to the third positioning control means 38. The third positioning control means 38 adds the positional deviation of the chip 6 with respect to the mounting head 14 and the positional deviation of the mounting point [E] of the substrate 10, and the mounting head 14 mounts the chip 6 on the substrate 10. Data on the movement amounts (X3), (Y3), and (θ3) is output.
[0046]
The movement amounts (X3) and (Y3) in the X direction and the Y direction are sent to the drive circuit 44, and the movement of the substrate holding unit is performed based on the data of the movement amounts (X3) and (Y3) and the control command from the control unit 30. The table 8 is driven. Further, the moving amount (θ3) in the θ direction is output to the drive circuit 46, and the mounted head rotating mechanism 14a is driven based on the data of the moving amount (θ3) and a control command from the control unit 30.
[0047]
Therefore, the third positioning control means 38, the substrate holding part moving table 8, and the mounting head rotating mechanism 14a are arranged on the basis of the position recognition result of the chip 6 obtained by recognizing the imaging result of the mounting head imaging means. 14 constitutes a mounting positioning means for positioning the chip 6 held by 14 relative to the substrate 10 held by the substrate holding part 9.
[0048]
The mounting head recognition camera 22 outputs image data of the lower surface of the chip 6 held by the mounting head 14 to the bump inspection unit 37. The bump inspection unit 37 performs image processing on this image data, thereby inspecting the presence or absence of bumps on the bump forming surface of the chip 6, bump size, scratches on the bumps, and the like. A control command from the control unit 30 is output to the drive circuit 47, and the mounting head pressing mechanism 25 is driven in accordance with the drive command. A pressing load corresponding to the mounting load is transmitted.
[0049]
This electronic component mounting apparatus is configured as described above, and the operation will be described below with reference to FIGS. 6, 7, and 8. FIG. First, with reference to FIG. 6, a mounting operation for taking out the chip 6 from the supply unit 2 and mounting it on the substrate 10 will be described. In a series of operations shown here, the chip 6 is taken out from the supply position [A] of the supply unit 2 by the take-out transfer head 16 and transferred to the reception position [D]. The chip 6 is received by the mounting head 14 and is transferred to the substrate 10. The electronic component mounting method to be mounted is shown.
[0050]
First, among the chips 6 adhered to the wafer sheet 5, the chip 6 to be mounted in the mounting operation is moved to the supply position [A] (ST1). Next, the supply unit recognition camera 21 images the chip 6 at the supply position [A], and the first component recognition unit 31 recognizes the position of the chip 6 (ST2) (supply unit recognition step). In this supply unit recognition step, the imaging by the supply unit recognition camera 21 is performed in a state where the take-out transfer head 16 is moved from the supply position [A] to a position that does not interfere with the imaging by the supply unit imaging means.
[0051]
Next, the take-out and transfer head 16 used in the operation is rotationally moved to the chip take-out position corresponding to the supply position [A] (ST3). At this time, by driving the chip holding unit moving table 3 based on the position recognition result of the chip 6 obtained in the supply unit recognition step, the chip 6 is relative to the take-out transfer head 16 at the supply position [A]. (Take out positioning step).
[0052]
Then, the chip 6 is taken out by the take-out transfer head 16 (ST4) (part (chip) take-out step), and the take-out transfer step of transferring the chip 6 to the receiving position [D] is performed. That is, by intermittently rotating the take-out and transfer head base 20 by 60 degrees (1/6 turn), first, the take-out and transfer head 16 holding the chip 6 is rotationally moved to the chip presence / absence detection position [B] (ST5). The presence or absence of the chip 6 is detected by the detection sensor 26 (ST6) (component (chip) presence / absence detection step). If the chip 6 is not detected here, the detection of the presence / absence of the chip and the following operation are continued for the next extraction / transfer head 16 without performing the operation described below.
[0053]
Thereafter, the take-out and transfer head 16 holding the chip 6 rotates and moves to the pre-center recognition position [C] (ST7). Then, the chip 6 is imaged by the pre-center recognition camera 23, the position of the chip 6 is recognized by the second component recognition unit 32, and preparations for relatively positioning the mounting head 14 and the chip 6 are made (ST8) ( Pre-center preparation process). Then, the take-out transfer head 16 is rotated to the receiving position [D], the mounting head 14 and the chip 6 are relatively positioned (ST9) (pre-center positioning step), and the chip 6 is received by the mounting head 14 (ST10) ( Part (chip) receiving process).
[0054]
In this pre-center positioning step, as described above, the mounting head drive mechanism and / or take-out transfer is performed based on the position recognition result of the chip 6 obtained by recognizing the image pickup result of the pre-center recognition camera 23 serving as the pick-up head image pickup means. By controlling the means, the mounting head 14 is taken out at the receiving position [D] and positioned relative to the chip 6 held by the transfer head 16.
[0055]
If the mounting head 14 receives the chip 6, the chip 6 is imaged by the mounting head recognition camera 22, and the position of the chip 6 is recognized by the third component recognition unit 33 (ST11) (mounting head recognition process). Imaging by the mounting head recognition camera 22 in this mounting head recognition step is performed in a state where the take-out transfer head 16 is rotated and moved from the receiving position “D” to a position that does not hinder imaging by the mounting head imaging means. In parallel with the position recognition of the chip 6, the board recognition camera 24 images the board 10, and the board recognition unit 34 recognizes the position of the mounting point [E] (ST12).
[0056]
The mounting head 14 that has received the chip 6 goes straight to the mounting position on the substrate 10 without stopping when the imaging of the chip 6 is completed. Based on the position recognition result of the chip 6 and the position recognition result of the mounting point [E], the chip 6 and the substrate 10 are relatively positioned (ST13), and the mounting head 14 is lowered to mount the mounting head pressing mechanism. By pressing with 25, the chip 6 is mounted on the substrate 10 (component (chip) mounting step). As a result, the chip mounting operation can be performed more efficiently without causing a time loss due to acceleration / deceleration, as compared with a conventional apparatus that temporarily stops the mounting head for chip recognition after receiving the chip. .
[0057]
The above-described flow shows the order of taking out the chip 6 performed by one take-out and transfer head 16 in order, and in the actual apparatus operating state, three take-out and transfer provided in the chip take-out and transfer mechanism 15 are shown. The head 16 continuously takes out the chip 6 from the supply unit 2 and receives the chip 6 by the mounting head 14. This continuous operation will be described with reference to FIGS.
[0058]
FIG. 7 distinguishes three take-out transfer heads 16 as a first take-out transfer head 16A, a second take-out transfer head 16B, and a third take-out transfer head 16C, and is executed by each take-out transfer head at the same timing. Process operations are shown in parallel. Hereinafter, it demonstrates for every timing. FIG. 8 shows the operation of each take-out and transfer head at each timing.
[0059]
At timing (a), the following process operations are performed for each of the first take-out and transfer head 16A, the second take-out and transfer head 16B, and the third take-out and transfer head 16C. That is, as shown in FIG. 8 (a), for the first take-out and transfer head 16A, a supply unit recognition process is performed in which the chip 6 of the supply unit 2 is imaged by the supply unit recognition camera 21 and the position is recognized. For the second take-out and transfer head 16B, a chip presence / absence detection step for detecting the presence / absence of the chip 6 by the chip presence / absence detection sensor 26 is performed. For the third take-out and transfer head 16C, the held chip 6 is attached to the mounting head 14. A chip receiving process is performed.
[0060]
Then, at the timing (b) after the take-out and transfer head base 20 has rotated 1/6 counterclockwise, each of the first take-out and transfer head 16A, the second take-out and transfer head 16B, and the third take-out and transfer head 16C. The following process operations are performed. That is, as shown in FIG. 8B, for the first take-out and transfer head 16A, a chip take-out process for taking out the chip 6 of the supply unit 2 is performed, and for the second take-out and transfer head 16B, the pre-center. The pre-center preparation step for imaging the chip 6 by the recognition camera 23 and recognizing the position, and for the third take-out and transfer head 16C, the chip 6 held on the mounting head 14 is imaged by the mounting head recognition camera 22 to determine the position. A mounting head recognition process for recognizing is performed.
[0061]
At subsequent timings (c), (d), (e), and (f), the same process operation as the timings (a) and (b) described above is performed by the first take-out and transfer head 16A, the second The take-out and transfer head 16B and the third take-out and transfer head 16C are sequentially executed by changing the target heads in the counterclockwise ring order.
[0062]
As a result, the rotary chip take-out and transfer mechanism 15 in which the three take-out and transfer heads 16 are radially arranged at equal positions removes the chip 6 from the supply unit 2, the front and back of the chip 6, and the receiving position by the mounting head 14. Each operation of transfer up to [D] is efficiently performed in a continuous operation by the operation of only the take-out and transfer head 16 without changing the chip 6.
[0063]
The rotary type chip take-out and transfer mechanism 15 employs a configuration in which the mounting head imaging means is arranged immediately below the receiving position [D]. Therefore, after the mounting head 14 receives the chip 6, the take-out and transfer head 16 Can move to a position that does not hinder imaging by the mounted head imaging means from the receiving position [D], the chip 6 can be immediately recognized. As a result, it is not necessary to temporarily stop the mounting head 14 after receiving the chip as described above, and the tact time can be shortened.
[0064]
Further, by adopting an arrangement in which the imaging visual field of the supply unit imaging unit for recognizing the chip 6 at the supply position [A] and the imaging visual field of the imaging unit of the mounting head imaging unit are vertically overlapped, the mounted head imaging is performed. Two types of image pickup means, that is, the supply means and the image pickup means, can be incorporated into the take-out transfer mechanism 15 in an extremely compact manner.
[0065]
Further, a plurality of rotation stop positions set in a rotation path in which the take-out transfer head 16 rotates from the supply position [A] to the receiving position [D] are defined as a chip presence / absence detection position [B] and a pre-center recognition position [C]. By using it, a compact and highly functional electronic component mounting apparatus is realized.
[0066]
【The invention's effect】
According to the present invention, the mounting head imaging means for imaging the electronic component held by the mounting head is disposed below the receiving position where the mounting head receives the electronic component from the take-out transfer head, and the take-out transfer head is mounted on the mounting head. Since it is configured to be movable to a position that does not hinder the imaging by the imaging means, the mounting head holding the electronic component does not need to stop once for component recognition, and the tact time can be shortened and productivity can be improved. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a side view of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a partial perspective view of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a functional block diagram showing processing functions of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a flowchart of chip mounting operation of the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a flowchart of chip removal operation by the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 8 is an operation explanatory diagram of a chip removal operation by the electronic component mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
2 Supply section
6 chips
9 Substrate holder
10 Substrate
12 Mounting mechanism
14 Mounted head
15 Chip removal and transfer mechanism
16 Take-out and transfer head
17 Component imaging unit
21 Supply unit recognition camera
21a Supply section imaging optical system
22 On-board recognition camera
22a Mounted head imaging optical system
23 Pre-center recognition camera
24 Board recognition camera

Claims

An electronic component mounting apparatus for receiving an electronic component taken out by a take-out transfer head by a mounting head and mounting the electronic component on a substrate, wherein the electronic component is mounted on the substrate at a predetermined supply position and supplying the electronic component to the take-out transfer head Based on the position recognition result of the electronic component obtained by recognizing the imaging result of the supply unit imaging unit, the substrate holding unit for holding the substrate to be processed, the supply unit imaging unit for imaging the electronic component of the supply unit Take-out positioning means for positioning the electronic component relative to the take-out and transfer head, and take out the electronic component from the supply position by the take-out and transfer head and transfer it to the receiving position of the electronic component. Take-out transfer means for reversing the electronic part upside down as the transfer head rotates about the rotation axis, and transferred electrons A mounting head for receiving a product from the take-out and transfer head at the receiving position and mounting the product on a substrate; a mounting head imaging means for imaging an electronic component held by the mounting head from below the receiving position; Mounting positioning for positioning the electronic component held by the mounting head relative to the substrate held by the substrate holding unit based on the position recognition result of the electronic component obtained by recognizing the imaging result of the means And the mounting head imaging means images the electronic component held by the mounting head in a state where the take-out and transfer head is rotated to a position deviated from the receiving position. On-board equipment.

The supply unit imaging means images the electronic component at the supply position from above, and images the electronic component in a state where the take-out and transfer head is rotated to a position deviated from the supply position. Item 2. The electronic component mounting apparatus according to Item 1.

The electronic component mounting apparatus according to claim 2, wherein the supply unit imaging unit and the mounting head imaging unit are arranged such that their imaging ports overlap in the vertical direction.

An electronic component mounting method in which an electronic component is taken out from a supply position of a supply unit by a take-out transfer head and transferred to a receiving position of the electronic component, and the electronic component is received by a mounting head and mounted on a substrate. A supply unit recognition step of recognizing the position of the electronic component by imaging the component by the supply unit imaging means, and the electronic component is detected with respect to the take-out and transfer head based on the position recognition result of the electronic component obtained in the supply unit recognition step. And taking out the electronic component from the supply position by the take-out and transfer head, and the take-out and transfer head is rotated around the rotation axis, thereby reversing the electronic component and receiving the electronic component. and unloading the transfer step of transferring to the Ri position, the take-out transfer f by mounting head transport electronic components at the receiving Ri position A component receiving step for receiving the electronic component, a mounting head recognition step for recognizing the position of the electronic component by imaging the electronic component held by the mounting head from below the receiving position by the mounting head imaging means, and the mounting head recognition A component mounting step of positioning and mounting the electronic component held by the mounting head relative to the substrate held by the substrate holding unit based on the position recognition result of the electronic component obtained in the process. In the mounting head recognition step, the mounting head imaging means images the electronic component held by the mounting head in a state where the take-out transfer head is rotated to a position deviated from the receiving position. Electronic component mounting method.

In the supply unit recognition step by the supply unit imaging means disposed above the supply position, the electronic component is imaged in a state where the take-out and transfer head is rotated to a position deviated from the supply position. The electronic component mounting method according to claim 4.