JP3875589B2 - 酸化物粉末の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属イオンとの錯体形成が可能な化合物の存在下で酸化物前駆体を水熱反応させることにより、高純度のサブミクロン(submicron)酸化物粉末を高収率で製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
超高純度の酸化物粉末は、次世代デジタル素子およびIMT−2000のような超高周波通信装置に用いられるマルチメディアセラミックキャパシター(MLCC)チップ;フィルター;およびその他電子部品の製造に用いられる。高容量MLCCチップの製造に用いられるこのような酸化物粉末は日本の堺化学株式会社が市販するものなどがあるが、通常Sr、BaまたはPbの水酸化物とTi、ZrまたはHfの水酸化物または過酸化物を水熱反応(hydrothermal reaction)させることにより製造される。
【0003】
しかし、この方法は、溶液中のSr、BaまたはPbイオンが溶解炭酸イオンと容易に反応して、目的とする酸化物粉末を汚染する不溶性炭酸塩(例:BaCO3)を生成し、所望の化学量論的原子比に合わない組成の酸化物が得られるため、電気的特性が不良であるという問題が発生する。そのため、純粋な化学量論的酸化物粉末を得るために、水熱合成された粉末を繰り返し水洗して炭酸塩不純物を除去した後、X線蛍光(XRF:X-Ray Flourescence)分析によって、洗浄した粉末の元素比を測定した後、不足する元素(例:Sr、BaまたはPb)を粉末に加え、湿式混合することを含む後処理工程が用いられる。これは、特開昭61−31345および特開昭63−144115に開示されている。このような従来の方法によるチタン酸バリウム粉末の概略的な製造工程図を図1に示す。このような多段階工程は極めて複雑であり、製造費用が高く、最終産物の品質が不良であるという問題を有する。
【0004】
キャボット(Cabot)社の米国特許第6,129,903号は水和された二酸化チタンゲルおよび水酸化バリウムを水熱反応させてチタン酸バリウムを製造する方法を開示している。しかし、この方法もまた炭酸塩不純物が生成する問題を有し、純粋な二酸化チタンゲルの製造は複雑な段階を必要とする。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の目的は、高純度のサブミクロン酸化物粉末を効率的に、かつ簡便に製造する方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の一実施態様によって、本発明では、(1)Ca、Sr、Ba、Mg、LaおよびPb元素の塩化物、硝酸塩、酢酸塩、水酸化物、および水和物からなる群から選ばれる1種以上の第1原料、および(2)Ti、Zr、HfおよびCe元素のアルコキシド、酸化物、ハロゲン化物、硝酸塩、硫酸塩、および加水分解物からなる群から選ばれる1種以上の第2原料を(3)第1原料の金属イオンと錯体を形成し得る化合物の存在下で水熱反応させることを含む、酸化物粉末の製造方法が提供される。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の方法は、(1)反応物、第1原料および(2)別の反応物、第2原料を(3)金属−錯体形成配位子の存在下で水熱反応させることを含む。
【0008】
本発明の水熱反応によれば、第1原料の量に対して第2原料を0.1〜10当量の量で使用できる。
【0009】
本発明に用いられる金属錯体形成可能な化合物は、第1原料の金属イオンと錯体を形成できる一つ以上のアミノおよび/またはカルボキシル基を有してもよい。このような錯体は、溶液中の炭酸イオンと非常に遅く反応する傾向がある反面、水熱条件の下で第2原料と直ちに反応して目的とする高純度の酸化物を提供する。本発明の錯体形成可能な化合物の代表的な例としては、EDTA(エチレンジアミンテトラ酢酸)、NTA(ニトロトリ酢酸)、DCTA(トランス−1,2−ジアミノシクロヘキサンテトラ酢酸)、DTPA(ジエチレントリアミンペンタ酢酸)、EGTA(ビス−(アミノエチル)グリコールエーテル−N,N,N',N'−テトラ酢酸)、PDTA(プロピレンジアミンテトラ酢酸)、BDTA(2,3−ジアミノブタン−N,N,N',N'−テトラ酢酸)、およびこれらの誘導体を挙げることができ、第1原料の量に対して1当量以下の量で使用し得る。
【0010】
さらに、必要に応じて塩基を添加して反応溶液のpHを9〜14に調整することができる。塩化物、硝酸塩、酢酸塩またはMg、LaまたはPbの水酸化物または水和物は一般的に水に対する溶解度が低いため、第1原料として前記化合物を使用する場合には塩基を添加することが好ましい。本発明に用いられる塩基としては、水酸化第4級アンモニウム、アンモニア、アミン、およびこれらの混合物を挙げることができ、水の重量に対して3〜25重量%の量で使用できる。
【0011】
本発明の全体的な水熱反応によれば、第1原料、第2原料、錯体形成可能な化合物および任意に塩基を、適切な量で水と混合し、この混合物を40〜300℃に保持した後、反応生成物を濾過および乾燥してサブミクロン結晶の酸化物粉末を製造する。このような本発明によるチタン酸バリウム粉末の概略的な製造工程図を図2に示す。
【0012】
本発明の水熱反応を100℃未満で行う場合は、連続反応システムを用いて目的とする産物を連続的に製造できるが、反応時間が長くなりがちである。100℃以上の反応温度では、数分ないし数時間内に反応が終結する。また、必要に応じて濾過および乾燥した反応生成物に粉砕などの後処理工程を施すこともできる。
【0013】
本発明の方法によって製造された酸化物粉末は正確な化学量論的原子比を有し、不純物を含まず、20nm〜1μm範囲の粒子サイズを有する。
【0014】
上述のように、本発明は、狭い粒度分布を有する高純度のサブミクロン酸化物粉末を高収率で製造できる、簡単で経済的な方法を提供する。
【0015】
【実施例】
以下、本発明を下記実施例によってさらに詳細に説明する。ただし、下記実施例は本発明を例示するためだけのものであり、本発明の範囲を限定しない。
【0016】
(実施例1:BaTiO3粉末の合成)
四塩化チタン2.04モル、塩化バリウム2.04モル、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド175g、およびEDTA0.53モルを3次蒸留水(超高純度蒸留水)700gとともに水熱容器に入れ、150℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してBaTiO3粉末460g(収率:97%)を合成した。
【0017】
得られたBaTiO3粉末のX線回折(XRD)パターンおよび走査型電子顕微鏡(SEM)写真を各々図3および4に示す。図3において、不純物炭酸バリウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性BaTiO3に完全に転化したことが分かる。図4のSEM写真は、生成した粉末の粒子サイズが100〜500nmであり、粒度分布が非常に狭いことを示す。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはBa/Ti原子比が1.0002で、化学量論的に純粋なBaTiO3粉末が得られたことを示す。
【0018】
(実施例2:BaTiO3粉末の合成)
チタニウムテトライソプロポキシド0.35モル、水酸化バリウム0.35モル、およびEDTA0.09モルを用いた以外は前記実施例1と同様な方法で、BaTiO3粉末65g(収率:80%)を合成した。
【0019】
得られたBaTiO3粉末のX線回折(XRD)スペクトルを図5に示すが、不純物炭酸バリウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性BaTiO3に完全に転化したことが分かる。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはBa/Ti原子比が1.0005で、化学量論的に純粋なBaTiO3粉末が得られたことを示す。
【0020】
(実施例3:BaTiO3粉末の合成)
チタニウムテトラエトキシド0.76モル、硝酸バリウム0.76モル、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド175gおよびEDTA0.19モルを用いた以外は前記実施例1と同様な方法で、BaTiO3粉末163g(収率:92%)を合成した。
【0021】
得られたBaTiO3粉末のX線回折(XRD)スペクトルを図6に示すが、不純物炭酸バリウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性BaTiO3に完全に転化したことが分かる。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはBa/Ti原子比が1.0001で、化学量論的に純粋なBaTiO3粉末が得られたことを示す。
【0022】
(実施例4:CaZrO3粉末の合成)
Ca(OH)2を0.21モル、ZrO(NO3)2・xH2Oを0.21モル、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド175g、EGTA0.023モルおよびDCTA0.022モルを3次蒸留水700gとともに水熱容器に入れ、170℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してCaZrO3粉末33g(収率:89%)を合成した。
【0023】
得られたCaZrO3粉末のX線回折(XRD)スペクトルでは、不純物炭酸カルシウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性CaZrO3に完全に転化したことが示されている。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはCa/Zr原子比が1.0011で、化学量論的に純粋なCaZrO3粉末が得られたことを示す。
【0024】
(実施例5:SrTi0.9Hf0.1O3粉末の合成)
Sr(OH)2・6H2Oを0.34モル、H4TiO3を0.306モル、Hf(SO4)2を0.034モル、ピリジン49g、メチルアミン21g、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド105g、およびPDTA0.95モルを3次蒸留水700gとともに水熱容器に入れ、165℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してSrTi0.9Hf0.1O3粉末62g(収率:94%)を合成した。
【0025】
得られたSrTi0.9Hf0.1O3粉末のX線回折(XRD)スペクトルでは、不純物炭酸ストロンチウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性SrTi0.9Hf0.1O3に完全に転化したことが示されている。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはSr:Ti:Hf原子比が1.000:0.8999:0.1001で、化学量論的に純粋なSrTi0.9Hf0.1O3粉末が得られたことを示す。
【0026】
(実施例6:MgTiO3粉末の合成)
Mg(OH)2を0.42モル、Ti(OCH2CH2CH3)4を0.42モル、トリエチルアミン70g、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド105g、BDTA0.052モルおよびNTA0.052モルを3次蒸留水700gとともに水熱容器に入れ、155℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してMgTiO3粉末47g(収率:93%)を合成した。
【0027】
得られたMgTiO3粉末のX線回折(XRD)スペクトルでは、不純物炭酸マグネシウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性MgTiO3に完全に転化したことが示されている。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはMg/Ti原子比が1.0004で、化学量論的に純粋なMgTiO3粉末が得られたことを示す。
【0028】
(実施例7:Sr0.8Ca0.2Ti0.7Zr0.3O3粉末の合成)
Sr(CH3CO2)2を0.304モル、Ca(OH)2を0.076モル、TiCl4を0.266モル、ZrOCl2を0.114モル、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド175g、およびDCTA0.152モルを3次蒸留水700gとともに水熱容器に入れ、165℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してSr0.8Ca0.2Ti0.7Zr0.3O3粉末65g(収率:92%)を合成した。
【0029】
得られたSr0.8Ca0.2Ti0.7Zr0.3O3粉末のX線回折(XRD)スペクトルでは、不純物である炭酸ストロンチウム、炭酸カルシウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性Sr0.8Ca0.2Ti0.7Zr0.3O3に完全に転化したことが示されている。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはSr:Ca:Ti:Zr原子比が0.8001:0.1999:0.7001:0.3002で、化学量論的に純粋なSr0.8Ca0.2Ti0.7Zr0.3O3粉末が得られたことを示す。
【0030】
(実施例8:Ba0.8Pb0.2Ti0.9Ce0.1O3粉末の合成)
Ba(CH3CO2)2を0.304モル、Pb(OH)2を0.076モル、TiO2を0.342モル、Ce(NO3)3・6H2Oを0.038モル、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド63g、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド70g、アンモニア42g、およびDTPA0.095モルを3次蒸留水700gとともに水熱容器に入れ、170℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してBa0.8Pb0.2Ti0.9Ce0.1O3粉末89g(収率:93%)を合成した。
【0031】
得られたBa0.8Pb0.2Ti0.9Ce0.1O3粉末のX線回折(XRD)スペクトルでは、不純物である炭酸バリウム、炭酸鉛または未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性Ba0.8Pb0.2Ti0.9Ce0.1O3に完全に転化したことが示されている。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはBa:Pb:Ti:Ce原子比が0.8001:0.2001:0.9002:0.1003で、化学量論的に純粋なBa0.8Pb0.2Ti0.9Ce0.1O3粉末が得られたことを示す。
【0032】
(実施例9:Ba0.9Ca0.1Ti0.7Zr0.3O3粉末の合成)
BaCl2・2H2Oを0.396モル、Ca(OH)2を0.044モル、TiCl4を0.308モル、ZrOCl2を0.132モル、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド126g、トリエチルアミン49g、EDTA0.07モルおよびNTA0.04モルを3次蒸留水700gとともに水熱容器に入れ、170℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してBa0.9Ca0.1Ti0.7Zr0.3O3粉末95g(収率:91%)を合成した。
【0033】
得られたBa0.9Ca0.1Ti0.7Zr0.3O3粉末のX線回折(XRD)スペクトルでは、不純物である炭酸バリウム、炭酸カルシウムまたは未反応出発物質のピークは観察されず、原料が純粋な結晶性Ba0.9Ca0.1Ti0.7Zr0.3O3に完全に転化したことが示されている。生成した粉末のSEM写真からは、生成した粉末の粒子サイズおよび粒度分布が前記実施例1と類似することが示されている。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはBa:Ca:Ti:Zr原子比が0.9002:0.1005:0.7006:0.3009で、化学量論的に純粋なBa0.9Ca0.1Ti0.7Zr0.3O3粉末が得られたことを示す。
【0034】
(比較例:BaTiO3粉末の合成)
塩化チタン0.22モルおよび水酸化バリウム0.22モルを3次蒸留水700gとともに水熱容器に入れ、150℃で2時間水熱反応させた。生成した反応沈殿物を遠心分離した後、150℃オーブンで乾燥してBaTiO3粉末37g(収率:72%)を合成した。
【0035】
得られたBaTiO3粉末のX線回折(XRD)スペクトルを図7に示すが、不純物炭酸バリウムのピークが観察された。また、生成した粉末のX線蛍光(XRF)スペクトルはBa/Ti原子比が0.9652で、純粋なBaTiO3が得られなかったことを示す。
【0036】
【発明の効果】
上述のように、本発明の方法によれば、粒度分布が非常に狭いサブミクロン酸化物粉末を高純度および高収率で簡便に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の方法によるチタン酸バリウム粉末の概略的な製造工程図である。
【図2】本発明の方法によるチタン酸バリウム粉末の概略的な製造工程図である。
【図3】実施例1で製造されたチタン酸バリウム粉末のX線回折(XRD)パターンである。
【図4】実施例1で製造されたチタン酸バリウム粉末の走査型電子顕微鏡(SEM)写真である。
【図5】実施例2で製造されたチタン酸バリウム粉末のXRDパターンである。
【図6】実施例3で製造されたチタン酸バリウム粉末のXRDパターンである。
【図7】比較例で製造されたチタン酸バリウム粉末のXRDパターンである。
Claims (6)
- (1)Ca、Sr、Ba、Mg、LaおよびPbからなる群より選択される元素の塩化物、硝酸塩、酢酸塩および水酸化物、ならびにこれら化合物の水和物からなる群から選ばれる1種以上の第1原料、および(2)Ti、Zr、HfおよびCeからなる群より選択される元素のアルコキシド、酸化物、ハロゲン化物、硝酸塩および硫酸塩、ならびにこれら化合物の加水分解物からなる群から選ばれる1種以上の第2原料を(3)第1原料の金属イオンと錯体を形成し得る化合物の存在下で水熱反応させることを特徴とする、酸化物粉末の製造方法。
- 水酸化第4級アンモニウム、アンモニア、アミンおよびこれらの混合物からなる群から選ばれる塩基を前記反応混合物にさらに加えて水熱反応を行うことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記錯体形成可能な化合物がアミノおよび/またはカルボキシル基を有する化合物であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記錯体形成可能な化合物が、EDTA(エチレンジアミンテトラ酢酸)、NTA(ニトロトリ酢酸)、DCTA(トランス−1,2−ジアミノシクロヘキサンテトラ酢酸)、DTPA(ジエチレントリアミンペンタ酢酸)、EGTA(ビス−(アミノエチル)グリコールエーテル−N,N,N',N'−テトラ酢酸)、PDTA(プロピレンジアミンテトラ酢酸)、BDTA(2,3−ジアミノブタン−N,N,N',N'−テトラ酢酸)、およびこれらの誘導体からなる群から選ばれることを特徴とする請求項3記載の方法。
- 第1原料の量に対して第2原料を0.1〜10当量の量で用いることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 水熱反応が40〜300℃の温度で行われることを特徴とする請求項1記載の方法。
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KR100662201B1 (ko) * | 2003-10-09 | 2006-12-27 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 수용매 희토류 금속 화합물 졸 및 그 제조방법, 그리고그것을 사용한 세라믹 분말의 제조방법 |
JP4534001B2 (ja) * | 2003-12-16 | 2010-09-01 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | ジルコニウム酸カルシウム粉末 |
WO2007013596A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Showa Denko K. K. | 複合酸化物膜およびその製造方法、複合酸化物膜を含む誘電材料、圧電材料、コンデンサ、圧電素子並びに電子機器 |
CN101351407B (zh) * | 2005-12-28 | 2012-07-04 | 昭和电工株式会社 | 复合氧化物膜及其制造方法、复合体及其制造方法、介电材料、压电材料、电容器、压电元件和电子设备 |
JP5094415B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2012-12-12 | 昭和電工株式会社 | 複合酸化物膜及びその製造方法、複合体及びその製造方法、誘電材料、圧電材料、コンデンサ並びに電子機器 |
JP2007320798A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Teijin Ltd | 強誘電体薄膜作製溶液およびその製造方法 |
US8853116B2 (en) | 2006-08-02 | 2014-10-07 | Eestor, Inc. | Method of preparing ceramic powders |
JP5448673B2 (ja) * | 2009-09-24 | 2014-03-19 | 株式会社トクヤマ | 複合酸化物ナノ粒子の製造方法 |
JP5768411B2 (ja) * | 2011-03-04 | 2015-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | チタン酸ランタン粒子の製造方法 |
JP6384829B2 (ja) * | 2014-07-11 | 2018-09-05 | 株式会社スーパーナノデザイン | Bctzナノ粒子の製造方法 |
CN115872447A (zh) * | 2022-12-27 | 2023-03-31 | 中国矿业大学 | 一种制备多铁半导体用铪钛酸钡钙的方法 |
Family Cites Families (8)
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US4619817A (en) * | 1985-03-27 | 1986-10-28 | Battelle Memorial Institute | Hydrothermal method for producing stabilized zirconia |
US4778671A (en) * | 1986-07-14 | 1988-10-18 | Corning Glass Works | Preparation of unagglomerated metal oxide particles with uniform particle size |
IT1270828B (it) * | 1993-09-03 | 1997-05-13 | Chon Int Co Ltd | Processo per la sintesi di polveri ceramiche cristalline di composti di perovskite |
JP4240423B2 (ja) * | 1998-04-24 | 2009-03-18 | 中部キレスト株式会社 | 金属酸化物薄膜形成用ターゲット材およびその製造方法、並びに該ターゲット材を使用した金属酸化物薄膜の形成法 |
PT1017625E (pt) * | 1998-07-01 | 2002-12-31 | Cabot Corp | Processo hidrotermico para o fabrico de pos de titanato de bario |
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