JP3873791B2

JP3873791B2 - リニアアクチュエータ

Info

Publication number: JP3873791B2
Application number: JP2002082051A
Authority: JP
Inventors: 洋中川; 崇福永
Original assignee: 神鋼電機株式会社
Priority date: 2002-02-08
Filing date: 2002-03-22
Publication date: 2007-01-24
Anticipated expiration: 2022-03-22
Also published as: JP2003304674A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リニアアクチュエータに関し、特にその信頼性向上および性能向上に関する。
【０００２】
【従来の技術】
リニアアクチュエータは、バネを併用し共振させることによって少ない損失で駆動できることから、コンプレッサモータ等として利用されている。そして、このリニアアクチュエータを用いたコンプレッサは高効率である等優れた性能を発揮できることから、冷蔵庫や、冷凍庫、あるいはエアコンディショナ用としての利用が期待されている。
【０００３】
リニアアクチュエータとしては、ボイスコイルモータがある。このボイスコイルモータは、永久磁石により作られた磁界の中でコイルに電流を流すことによりコイルに生じる力で駆動を行うもので、コイルを含む可動子が動く可動コイル型とも呼ばれている。
【０００４】
また、他のリニアアクチュエータとして、上記可動コイル型のものに対して永久磁石とコイルとを入れ替えた構造であって、永久磁石を含む可動子が動く可動磁石型と呼ばれるものもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記した可動コイル型のものは、可動子にコイルが含まれることから、可動子に電流を流さなければならず、このための給電線に可動子の移動で断線を生じてしまうことがあり、信頼性に劣るという問題があった。
【０００６】
また、上記した可動磁石型のものは、性能向上を図るために高い磁束密度を得ようとした場合に永久磁石の重量が増大することになり、その結果、可動子の重量が増加することになるため、望むように性能向上が図れないという問題があった。
【０００７】
このため、本出願人は、固定子と、鉄片を有し固定子に対し往復動可能に設けられた可動子と、鉄片に対向した状態で固定子に設けられた永久磁石と、固定子に設けられたコイルとを備え、電流の方向が変わる固定子側のコイルと永久磁石とで鉄片を通る磁束を移動させることにより鉄片すなわち可動子を往復動させるリニアアクチュエータを開発し先の出願を行っている（特願２００１−３６９３７８号）。このリニアアクチュエータは、コイルと永久磁石とがともに固定子に設けられるため、可動子側に給電する必要がなくなって、移動する可動子がコイルへの給電線に断線を生じさせてしまうことがなくなるとともに、性能向上を図るために高い磁束密度を得ようとした場合に永久磁石の重量が増大しても、可動子の重量が増加することがなく、さらに、可動子に磁石がないことから、可動子への着磁が作業が不要となる非常に優れたものである。
【０００８】
しかしながら、このリニアアクチュエータにおいて、永久磁石により生じる磁束が可動子の移動に対し有効に使われなければ、可動子に十分かつ安定して推力を発生させることができないことになり、この点でさらなる改善の余地があった。
【０００９】
したがって、本発明は、永久磁石により生じる磁束を可動子の移動に有効に使用することができ、可動子に十分かつ安定して推力を発生させることができるリニアアクチュエータの提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１記載のリニアアクチュエータは、固定子と、鉄片を有し前記固定子に対し往復動可能に設けられた可動子と、前記鉄片に対向しかつ前記往復動の方向に沿って磁極を並べた状態で前記固定子に設けられた第１の永久磁石と、該第１の永久磁石の前記往復動の方向における両側に設けられた一対の第１の磁極部材と、前記固定子に設けられたコイルとを有するリニアアクチュエータであって、前記往複動の方向に直交する方向に前記第１の磁極部材に対向して第２の磁極部材が設けられ、前記第１の磁極部材と前記第２の磁極部材との間に前記鉄片が往複動可能に配されており、前記第１の磁極部材と前記固定子との間のうち、前記第１の永久磁石の前記往復動の方向における両側に一対の第２の永久磁石が設けられており、該第２の永久磁石は、前記固定子と前記第１の永久磁石と前記第１の磁極部材と前記第２の磁極部材とに前記第１の永久磁石の磁力によって形成される磁束ループに対して磁気抵抗となる方向に磁極を並べていることを特徴としている。
【００１１】
このように、磁極部材と固定子との間に第２の永久磁石が設けられており、第２の永久磁石は、固定子と第１の永久磁石と一対の磁極部材とに第１の永久磁石の磁力によって形成される磁束ループに対して磁気抵抗となる方向に磁極を並べているため、第１の永久磁石によって生じ磁極部材と鉄片との間で導かれる磁束数を増加させることができる。
【００１２】
本発明の請求項２記載のリニアアクチュエータは、前記第２の永久磁石は、請求項１記載のものに関して、前記第１の磁極部材のうちの一方と前記固定子との間と、前記第１の磁極部材のうちの他方と前記固定子との間との両方に設けられていることを特徴としている。
【００１３】
このように、第２の永久磁石は、一対の磁極部材のうちの一方と固定子との間と、一対の磁極部材のうちの他方と固定子との間との両方に設けられているため、両方の第２の永久磁石が、固定子と第１の永久磁石と一対の磁極部材とに第１の永久磁石の磁力によって形成される磁束ループに対して確実な磁気抵抗となり、第１の永久磁石によって生じ磁極部材と鉄片との間で導かれる磁束数を確実に増加させることができる。
【００１４】
本発明の請求項３記載のリニアアクチュエータは、請求項１または２記載のものに関して、前記固定子には前記第１の永久磁石、前記第１の磁極部材および前記第２の永久磁石の組が前記往復動の方向に複数設けられており、前記可動子には前記鉄片が前記往復動の方向に複数設けられていることを特徴としている。
【００１５】
このように、固定子には第１の永久磁石、一対の磁極部材および第２の永久磁石の組が往復動の方向に複数設けられており、可動子には鉄片が往復動の方向に複数設けられているため、可動子にさらに大きな推力を発生させることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の第１実施形態のリニアアクチュエータを図１〜図３を参照して以下に説明する。
【００１７】
第１実施形態のリニアアクチュエータ１１は、ヨーク（固定子）１２と、このヨーク１２に往復動可能に設けられた可動子１３と、ヨーク１２に固定された永久磁石（第１の永久磁石）１４と、ヨーク１２に固定されたコイル１５とを備えている。
【００１８】
上記ヨーク１２は、円筒状の外円筒部１７と、この外円筒部１７の軸線方向における一端側に設けられた薄板リング状の底板部１８と、この底板部１８の内側部分に軸線方向に沿って外円筒部１７と同じ側に突出するリング状の連結部２０と、この連結部２０に外円筒部１７と同軸をなして設けられた円筒状のインナー磁極１９とを有している。
【００１９】
外円筒部１７、底板部１８、連結部２０およびインナー磁極１９を有するヨーク１２は、共通の磁性材料である焼結材で焼結により一体成形されている。
【００２０】
上記コイル１５は、リング状をなしており、ヨーク１２の底板部１８と外円筒部１７との境界の角部内側にヨーク１２と同軸をなして固定されている。
【００２１】
上記永久磁石１４は、その両磁極すなわちＮ極１４ａとＳ極１４ｂとが軸線方向に並べられた薄板リング状のもので、フェライト磁石からなっている。この永久磁石１４の軸線方向における両側には、軸線方向に略円筒状をなして突出する突出部２１が内径側に形成された断面Ｌ字状の環状のアウター磁極（磁極部材）２２およびアウター磁極（磁極部材）２３が互いの突出部２１を反対方向に突出させるようにして配置されている。これらの一対のアウター磁極２２およびアウター磁極２３も焼結材からなっている。
【００２２】
ここで、永久磁石１４の外径はヨーク１２の外円筒部１７の内側に圧入固定される大きさとされており、他方、一対のアウター磁極２２およびアウター磁極２３の外径は、ヨーク１２の外円筒部１７の内径よりも小径とされている。
【００２３】
そして、アウター磁極２２の外径側には、環状の永久磁石（第２の永久磁石）５０が嵌合されており、アウター磁極２３の外径側にも、環状の永久磁石（第２の永久磁石）５１が嵌合されている。その結果、これら永久磁石５０，５１の外径が永久磁石１４の外径と等しくされている。
【００２４】
そして、永久磁石１４の磁極１４ａ，１４ｂの並びの方向における両側を、永久磁石５０，５１が取り付けられた状態の環状のアウター磁極２２，２３でサンドイッチした状態で、永久磁石１４および永久磁石５０，５１がヨーク１２の外円筒部１７の内側に圧入されることにより、永久磁石１４、一対のアウター磁極２２，２３および永久磁石５０，５１は、ヨーク１２と同軸に固定されている。
【００２５】
この固定状態で、永久磁石１４はＮ極１４ａを底板部１８側にＳ極を底板部１８に対し反対側に配置するとともに、永久磁石１４のＮ極１４ａ側に近接して配置される永久磁石５０は、Ｎ極５０ａをアウター磁極２２側にＳ極５０ｂを外円筒部１７側に配置することになる。さらに、永久磁石１４のＳ極１４ｂ側に近接して配置される永久磁石５１は、Ｎ極５１ａを外円筒部１７側にＳ極５１ｂをアウター磁極２２側に配置することになる。すなわち、アウター磁極２２と外円筒部１７との間に設けられた永久磁石５０およびアウター磁極２３と外円筒部１７との間に設けられた永久磁石５１は、ヨーク１２の外円筒部１７と永久磁石１４と一対のアウター磁極２２，２３とに永久磁石１４の磁力によって形成される磁束ループに対して磁気抵抗となる方向に磁極を並べている。その結果、永久磁石１４によって生じアウター磁極２２，２３と鉄片３２との間で導かれる磁束量を増加させることが可能になって、可動子１３に生じる推力を増加させることができる。
【００２６】
また、この固定状態で、一方のアウター磁極２２が軸線方向においてコイル１５と隣り合う状態となる。
【００２７】
さらに、この固定状態で、永久磁石１４および一対のアウター磁極２２，２３は、全体としてヨーク１２の円筒状のインナー磁極１９の外側にこれと同軸をなし、しかもこのインナー磁極１９と軸線方向の位置および長さを合わせて配置されることになって、このインナー磁極１９との間に環状のギャップ２５を形成することになる。
【００２８】
ヨーク１２のインナー磁極１９の内周側には、シャフト２６を軸線方向に移動可能にブッシュ２７により支持するボールブッシュ２８がそのブッシュ２７において同軸に固定されている。そして、このブッシュ２７に移動可能に保持されたシャフト２６に上記した可動子１３が固定されている。そして、ヨーク１２に固定されたブッシュ２７に対しシャフト２６と可動子１３とが軸線方向に沿って一体に往復動する。
【００２９】
可動子１３は、シャフト２６に固定される略円板状の基部３０と、この基部３０でシャフト２６に固定された状態において上記環状のギャップ２５に入り込むように設けられる円筒部３１と、この円筒部３１の基部３０に対し反対側に同軸同径をなして固定される円筒状の可動磁極としての鉄片３２とを有している。これにより、可動子１３の鉄片３２は、環状のギャップ２５内に同軸に配置されることになるが、その軸線方向における中央位置を永久磁石１４の軸線方向における中央位置とほぼ合わせるように配置されている。
【００３０】
上記可動子１３は、基部３０と円筒部３１とが非磁性材料であるエンジニアリングプラスチック等の合成樹脂からなっており、鉄片３２は、磁化されていない磁性材料からなるもので焼結材からなっている。可動子１３は、鉄片３２を入れ子とする合成樹脂のインサート成形により形成されている。
【００３１】
そして、以上の結果、可動子１３は、鉄片３２を有し軸線方向（各図面における左右方向）に沿って往復動可能となるようにヨーク１２に支持されることになり、永久磁石１４は可動子１３の鉄片３２の外径側に対向した状態で、しかも可動子１３の往復動の方向に沿って磁極１４ａ，１４ｂを並べた状態でヨーク１２に固定されることになる。そして、可動子１３の往復動の方向における永久磁石１４の両側に一対のアウター磁極２２，２３が設けられることになり、ヨーク１２には、鉄片３２に永久磁石１４とは逆側で対向するインナー磁極１９が一体成形されていることになる。さらに、永久磁石１４および一対のアウター磁極２２，２３の組は、鉄片３２に対し一側にのみ設けられており、具体的には円筒状の鉄片３２に対し半径方向外側にのみ設けられている。
【００３２】
上記構造のリニアアクチュエータ１１においては、コイル１５に交流電流（正弦波電流、矩形波電流）を流すと、コイル１５に所定方向の電流が流れる状態では、図２に二点鎖線で示すように、磁束が、永久磁石１４でＳ極１４ｂからＮ極１４ａ側に導かれることにより、ヨーク１２の外円筒部１７、アウター磁極２３、永久磁石１４、アウター磁極２２、可動子１３の鉄片３２、ヨーク１２のインナー磁極１９、連結部２０、底板部１８、外円筒部１７の順の磁束ループを形成することになり、その結果、可動子１３は、アウター磁極２２側へ移動する方向に力Ｆが加わってこの方向に移動する。一方、コイル１５に上記所定方向とは逆方向の電流が流れる状態では、図３に二点鎖線で示すように、磁束が、永久磁石１４でＳ極１４ｂからＮ極１４ａ側に導かれることにより、ヨーク１２の外円筒部１７、底板部１８、連結部２０、インナー磁極１９、可動子１３の鉄片３２、アウター磁極２３、永久磁石１４、アウター磁極２２、外円筒部１７の順の磁束ループを形成することになり、その結果、可動子１３は、逆のアウター磁極２３側へ移動する方向に力Ｆが加わってこの方向に移動する。
【００３３】
交流電流によるコイル１５への電流の流れの方向が交互に変化することにより、以上の作動を繰り返して、可動子１３はヨーク１２に対して軸線方向に往復動することになる。
【００３４】
そして、ヨーク１２の外円筒部１７と永久磁石１４と一対のアウター磁極２２，２３とに永久磁石１４の磁力によって形成される磁束ループに対して、永久磁石５０，５１が磁気抵抗となることから、永久磁石１４によって生じアウター磁極２２，２３と鉄片３２との間で導かれる磁束数が増加する。
【００３５】
以上に述べた第１実施形態のリニアアクチュエータ１１によれば、外円筒部１７と一対のアウター磁極２２，２３との間に永久磁石５０，５１が設けられており、永久磁石５０，５１は、ヨーク１２の外円筒部１７と永久磁石１４と一対のアウター磁極２２，２３とに永久磁石１４の磁力によって形成される磁束ループに対して磁気抵抗となる方向に磁極を並べているため、永久磁石１４によって生じアウター磁極２２，２３と鉄片３２との間で導かれる磁束数を増加させることができる。したがって、永久磁石１４により生じる磁束を鉄片３２すなわち可動子１３の移動に有効に使用することができ、可動子１３に十分かつ安定して推力を発生させることができる。
【００３６】
しかも、永久磁石５０が外円筒部１７とアウター磁極２２との間に、永久磁石５１が外円筒部１７とアウター磁極２３との間に設けられているため、両方の永久磁石５０，５１が、ヨーク１２の外円筒部１７と永久磁石１４と一対のアウター磁極２２，２３とに永久磁石１４の磁力によって形成される磁束ループに対して確実な磁気抵抗となり、永久磁石１４によって生じアウター磁極２２，２３と鉄片３２との間で導かれる磁束数をより確実に増加させることができる。したがって、永久磁石１４により生じる磁束を可動子１３の移動に有効に使用することがより確実にでき、可動子に十分かつ安定して推力を発生させることがより確実にできる。
【００３７】
なお、可動子１３の基部３０および円筒部３１は非磁性材料であれば合成樹脂ではなくアルミダイキャストや非磁性ステンレス等で形成してもよく、この場合、剛性を向上できるメリットがある。しかしながら、合成樹脂で形成する方が軽量化の観点からより好ましい。
【００３８】
また、永久磁石１４としては、上記したフェライト磁石以外にも、ネオジウム、サマリウムコバルト等の希土類系のものを用いたり、プラスチック磁石を用いることも可能であるが、フェライト磁石を用いるのがコスト低減の観点からより好ましい。
【００３９】
加えて、可動子１３の軸受けは、ボールブッシュ以外にも、空気軸受け（気体軸受け）や滑り軸受け等を使用しても良い。しかしながら、ボールブッシュ２８を用いる方が、可動子１３をより正確に往復動させることができるため、より好ましい。
【００４０】
さらに、このリニアアクチュエータ１１は、可動部にバネを組み込んだり、外部に置かれたバネとの併用で共振させて使用されるのが一般的であるが、勿論、このまま使用することも可能である。
【００４１】
また、このリニアアクチュエータ１１に位置、速度等を検出するセンサを設け、閉ループ制御を行うことで速度や位置の制御が可能なリニアサーボアクチュエータとして利用できる。
【００４２】
さらに、変位特性等の性能改善のためにインナー磁極１９やアウター磁極２２，２３の端部に面取り等を施しても良い。
【００４３】
加えて、インナー磁極１９、アウター磁極２２，２３、鉄片３２は、焼結材以外にも、高速運転時の鉄損低減のためにこれらの材料を電気鉄板の積層構造としてもよい。
【００４４】
さらに、アウター磁極２２，２３を突出部が形成されていない短円筒状としてもよく、また、突出部２１を内径および外形側の両側に設けてもよい。加えて、可動子１４をヨーク１２に対しボールブッシュ２８等によって支持しない構造とすることも可能である。
【００４５】
次に、本発明の第２実施形態のリニアアクチュエータを図４を参照して第１実施形態との相違部分を中心に以下に説明する。なお、第１実施形態と同様の部分には同一の符号を付しその説明は略す。
【００４６】
第２実施形態においては、ヨーク１４の外円筒部１７に、第１実施形態と同様の永久磁石１４、一対のアウター磁極２２，２３および一対の永久磁石５０，５１の組が、可動子１３の往復動の方向に複数組、具体的には二組設けられており、可動子１３には鉄片３２が往復動の方向に複数、具体的には二個設けられている。ただし、隣り合う永久磁石１４同士は、互いに磁極の方向を異ならせており、一対の永久磁石５０，５１の各組同士も、互いに磁極の方向を異ならせている。
【００４７】
具体的には、両永久磁石１４のうち底板部１８側の永久磁石１４はＮ極１４ａを底板部１８側に配置するとともにＳ極１４ｂを底板部１８に対し反対側に配置し、底板部１８に対し反対側の永久磁石１４はＮ極１４ａを底板部１８に対し反対側に配置するとともにＳ極１４ｂを底板部１８側に配置している。そして、両永久磁石１４のうち底板部１８側の永久磁石１４のＮ極１４ａ側に近接して永久磁石５０が配置されており、この永久磁石５０は、Ｎ極５０ａをアウター磁極２２側にＳ極５０ｂを外円筒部１７側に配置している。さらに、両永久磁石１４のうち底板部１８側の永久磁石１４のＳ極１４ｂ側に近接して永久磁石５１が配置されており、この永久磁石５１は、Ｎ極５１ａを外円筒部１７側にＳ極５１ｂをアウター磁極２３側に配置している。
【００４８】
さらに、両永久磁石１４のうち底板部１８に対し反対側の永久磁石１４のＮ極１４ａ側に近接して永久磁石５１が配置されており、この永久磁石５１は、Ｎ極５１ａをアウター磁極２３側にＳ極５１ｂを外円筒部１７側に配置している。さらに、両永久磁石１４のうち底板部１８に対し反対側の永久磁石１４のＳ極１４ｂ側に近接して永久磁石５０が配置されており、この永久磁石５０は、Ｎ極５０ａを外円筒部１７側にＳ極５０ｂをアウター磁極２２側に配置している。
【００４９】
そして、一方の鉄片３２は永久磁石１４、一対のアウター磁極２２，２３および一対の永久磁石５０，５１の一方の組に対向して設けられ、他方の鉄片３２は永久磁石１４、一対のアウター磁極２２，２３および一対の永久磁石５０，５１の他方の組に対向して設けられている。
【００５０】
そして、これに合わせて、一方の永久磁石１４、一対のアウター磁極２２，２３および一対の永久磁石５０，５１の組と、他方の永久磁石１４、一対のアウター磁極２２，２３および一対の永久磁石５０，５１の組との間の外円筒部１７の内側に、コイル１５が配置されており、また、ボールブッシュ２８がブッシュ２７を複数、具体的には二個有している。
【００５１】
このような第２実施形態によれば、ヨーク１４には永久磁石１４、一対のアウター磁極２２，２３および一対の永久磁石５０，５１の組が往復動の方向に複数設けられており、可動子１３には鉄片３２が往復動の方向に複数設けられているため、可動子１３にさらに大きな推力を発生させることができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明の請求項１記載のリニアアクチュエータによれば、磁極部材と固定子との間に第２の永久磁石が設けられており、第２の永久磁石は、固定子と第１の永久磁石と一対の磁極部材とに第１の永久磁石の磁力によって形成される磁束ループに対して磁気抵抗となる方向に磁極を並べているため、第１の永久磁石によって生じ磁極部材と鉄片との間で導かれる磁束数を増加させることができる。したがって、第１の永久磁石により生じる磁束を可動子の移動に有効に使用することができ、可動子に十分かつ安定して推力を発生させることができる。
【００５３】
本発明の請求項２記載のリニアアクチュエータによれば、第２の永久磁石は、一対の磁極部材のうちの一方と固定子との間と、一対の磁極部材のうちの他方と固定子との間との両方に設けられているため、両方の第２の永久磁石が、固定子と第１の永久磁石と一対の磁極部材とに第１の永久磁石の磁力によって形成される磁束ループに対して確実な磁気抵抗となり、第１の永久磁石によって生じ磁極部材と鉄片との間で導かれる磁束数をより確実に増加させることができる。したがって、第１の永久磁石により生じる磁束を可動子の移動に有効に使用することがより確実にでき、可動子に十分かつ安定して推力を発生させることがより確実にできる。
【００５４】
本発明の請求項３記載のリニアアクチュエータによれば、固定子には第１の永久磁石、一対の磁極部材および第２の永久磁石の組が往復動の方向に複数設けられており、可動子には鉄片が往復動の方向に複数設けられているため、可動子にさらに大きな推力を発生させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態のリニアアクチュエータを示す側断面図であって、コイルに電流が流れていない状態の磁束の状態を二点鎖線で示すものである。
【図２】本発明の第１実施形態のリニアアクチュエータを示す側断面図であって、コイルに電流が一方向に流れている状態の磁束の状態を二点鎖線で示すものである。
【図３】本発明の第１実施形態のリニアアクチュエータを示す側断面図であって、コイルに電流が逆方向に流れている状態の磁束の状態を二点鎖線で示すものである。
【図４】本発明の第２実施形態のリニアアクチュエータを示す側断面図であって、コイルに電流が流れていない状態の磁束の状態を二点鎖線で示すものである。
【符号の説明】
１１リニアアクチュエータ
１２ヨーク（固定子）
１３可動子
１４永久磁石（第１の永久磁石）
１４ａ，５０ａ，５１ａＮ極（磁極）
１４ｂ，５０ｂ，５１ｂＳ極（磁極）
１５コイル
２２，２３アウター磁極（磁性部材）
３２鉄片
５０，５１永久磁石（第２の永久磁石）

Claims

固定子と、
鉄片を有し前記固定子に対し往復動可能に設けられた可動子と、
前記鉄片に対向しかつ前記往復動の方向に沿って磁極を並べた状態で前記固定子に設けられた第１の永久磁石と、
該第１の永久磁石の前記往復動の方向における両側に設けられた一対の第１の磁極部材と、
前記固定子に設けられたコイルとを有するリニアアクチュエータであって、
前記往複動の方向に直交する方向に前記第１の磁極部材に対向して第２の磁極部材が設けられ、
前記第１の磁極部材と前記第２の磁極部材との間に前記鉄片が往複動可能に配されており、
前記第１の磁極部材と前記固定子との間のうち、前記第１の永久磁石の前記往復動の方向における両側に一対の第２の永久磁石が設けられており、該第２の永久磁石は、前記固定子と前記第１の永久磁石と前記第１の磁極部材と前記第２の磁極部材とに前記第１の永久磁石の磁力によって形成される磁束ループに対して磁気抵抗となる方向に磁極を並べていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
前記第２の永久磁石は、前記第１の磁極部材のうちの一方と前記固定子との間と、前記第１の磁極部材のうちの他方と前記固定子との間との両方に設けられていることを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
前記固定子には前記第１の永久磁石、前記第１の磁極部材および前記第２の永久磁石の組が前記往復動の方向に複数設けられており、前記可動子には前記鉄片が前記往復動の方向に複数設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のリニアアクチュエータ。