JP3866333B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体記憶装置に係り、詳しくはDRAMのセルフリフレッシュに関する。
【0002】
近年の半導体メモリは、高速化、低電流化が進み、より高性能な要求が高い。特に、DRAMでは、セルフリフレッシュ電流の低減化の要求が強い。そのため、DRAMのセルフリフレッシュ電流の低減化を行う必要がある。
【0003】
【従来の技術】
図7には従来のDRAMの一例が示されている。このDRAM100は多数のメモリセルを備えるメモリセルアレイ101、ロウデコーダ102、センスアンプ103、コラムデコーダ104、セルフリフレッシュ制御回路105、セル基板電位発生回路106及び周辺基板電位発生回路107を備えている。ロウデコーダ102、センスアンプ103、及びコラムデコーダ104は、メモリセルアレイ101のメモリセルをアクセスするための周辺回路部を構成する。
【0004】
DRAM100にはシステム電源から高電位及び低電位電源VDD,VSSが供給され、DRAM100は両電源VDD及びVSSに基づいて動作する。セル基板電位発生回路106は高電位電源VDD及び低電位電源VSSに基づいて図9に示すように、一定の値の基板電位VC0を発生し、メモリセルアレイ101を構成するメモリセルのセル基板に供給する。周辺基板電位発生回路107は高電位電源VDD及び低電位電源VSSに基づいて図9に示すように、一定の値の基板電位VP0を発生し、周辺回路部を構成するトランジスタの基板に供給する。
【0005】
図8はメモリセルを構成するnMOSトランジスタ115と、周辺回路部を構成するnMOSトランジスタ118との断面構造を示す。p型半導体基板110内にはn型の分離層111が形成され、分離層111内にはp型ウェル112が形成されている。p型のウェル112内には所定間隔をおいてn型のソース領域113及びドレイン領域114が形成されている。p型ウェル112、n型のソース領域113及びドレイン領域114によってnMOSトランジスタ115が形成されている。p型ウェル112には前記セル基板電位発生回路106から出力される基板電位VC0が供給されている。
【0006】
また、p型半導体基板110内には所定間隔をおいてn型のソース領域116及びドレイン領域117が形成されている。p型半導体基板110、n型のソース領域116及びドレイン領域117によってnMOSトランジスタ118が形成されている。p型半導体基板110には前記周辺基板電位発生回路107から出力される基板電位VP0が供給されている。
【0007】
ロウデコーダ102はメモリセルアレイ101から延びる複数のワード線WL(WL0〜WLn)に接続されている。ロウデコーダ102はロウアドレス信号ARを選択信号にデコードし、この選択信号に基づいてメモリセルアレイ101の複数のワード線WLのうち、所定のワード線を選択する。
【0008】
コラムデコーダ104はメモリセルアレイ101から延びる複数のビット線対BL,BLバーに接続されている。コラムデコーダ104はコラムアドレス信号ACを選択信号にデコードし、この選択信号によってメモリセルアレイ101の所定のビット線対を選択する。ロウデコーダ102によって所定のワード線が選択されるとともに、コラムデコーダ104によって所定のビット線対が選択されると、その選択されたワード線及びビット対に接続されているメモリセルが選択され、該メモリセルへのデータの書き込み又はデータの読み出しが行われる。センスアンプ103は選択されたメモリセルから読み出されたデータを増幅する。
【0009】
セルフリフレッシュ制御回路105は、外部から入力されるロウアドレスストローブ信号RASバーがLレベルに切り換わった後所定時間(この場合には100μsec)経過すると、図9に示すようにLレベルのセルフリフレッシュエントリー信号SRバーを生成する。セルフリフレッシュ制御回路105はセルフリフレッシュエントリー信号SRバーのLレベルへの切り換わり後において、動作クロックCLKに基づいてメモリセルアレイ101のメモリセルをディストリビュートモードにてセルフリフレッシュする。
【0010】
ディストリビュートモードとは予め定められた1リフレッシュサイクルTcにおいて、メモリセルアレイ101の複数のワード線WL(WL0〜WLn)を等しい時間間隔Tc/nにて順次選択する方法である。選択したワード線に接続された複数のメモリセルのデータはセンスアンプ103によって増幅されて再びメモリセルに書き込まれることにより、メモリセルのリフレッシュが行われる。また、各ワード線に接続されたメモリセルのリフレッシュは動作クロックCLKの半周期以内の短時間で完了する。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
さて、セルフリフレッシュ時においては、メモリセルアレイ101は周辺回路部によってアクセスされることはないため、メモリセルからセル基板へのリーク電流を低減することによってリフレッシュに要する時間を短縮することができるという有効性がある。
【0012】
ところが、従来のDRAM100では、セルフリフレッシュ制御回路105はメモリセルアレイ101のセルフリフレッシュをディストリビュートモードにて行っており、セルフリフレッシュ時におけるメモリセルの基板電位VC0は通常動作時におけるメモリセルの基板電位と等しい値に設定されている。よって、メモリセルからセル基板へのリーク電流を低減することができず、セルフリフレッシュという限定された状態での有効性を活用することができないため、リフレッシュに要する時間を短縮できない。
【0013】
また、セルフリフレッシュ時において、周辺回路部の基板電圧も通常動作時の基板電圧と等しい値であり、セルフリフレッシュ時に周辺回路部を構成するトランジスタのテーリング電流を低減することができず、消費電流が増大していた。
【0014】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、セルフリフレッシュ時における電流を低減しつつメモリセルのリフレッシュに要する時間を短縮することができる半導体記憶装置を提供することにある。
【0015】
また、本発明の別の目的は、セルフリフレッシュ時における周辺回路部の電流を低減することができる半導体記憶装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
図1は本発明の原理説明図である。
周辺回路部2はメモリセルアレイ1のメモリセルをアクセスするためのものである。セルフリフレッシュ制御回路3はメモリセルアレイ1のメモリセルをバーストリフレッシュするためのものである。第1の基板電位発生回路4はメモリセルのセル基板に供給する電位を発生する。第2の基板電位発生回路5は、周辺回路部2の基板に供給する基板電位を発生する。基板電位制御回路6はメモリセルアレイ1のバーストリフレッシュ間のスタンバイ時において、第1の基板電位発生回路4を制御してセル基板に供給する基板電位と低電位電源との差が小さくなるような電位を発生させ、第2の基板電位発生回路5を制御して周辺回路部2の基板に供給する基板電位と低電位電源との差がバーストリフレッシュ動作中よりも大きくなるような電位を発生させる。
【0017】
(作用)
従って、メモリセルアレイ1のバーストリフレッシュ間のスタンバイ時において、メモリセルのセル基板に供給される基板電圧は低電位電源との差が小さいため、メモリセルからセル基板へのリーク電流が低減される。よって、リフレッシュ時間を長くすることが可能となり、セルフリフレッシュ期間の消費電流が低減される。また、セルフリフレッシュ間のスタンバイ時において周辺回路部を構成するトランジスタのしきい値電圧が大きくなり、トランジスタのテーリング電流を低減することができ、消費電流が低減される。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した実施の一形態を図2〜図6に基づいて説明する。
図2は本形態のDRAM10を示し、DRAM10は多数のメモリセルを備えるメモリセルアレイ11、ロウデコーダ12、センスアンプ13、コラムデコーダ14、セルフリフレッシュ制御回路15、第1の基板電位発生回路16、第2の基板電位発生回路17、及び基板電位制御回路20を備えている。ロウデコーダ12、センスアンプ13、及びコラムデコーダ14は、メモリセルアレイ11のメモリセルをアクセスするための周辺回路部を構成する。
【0019】
DRAM10にはシステム電源から高電位及び低電位電源VDD,VSSが供給され、DRAM10は両電源VDD及びVSSに基づいて動作する。
第1の基板電位発生回路16はメモリセルのセル基板に供給する電位を発生するための回路であり、高電位電源VDD及び低電位電源VSSに基づいて図6に示す基板電位VC1を発生し、メモリセルアレイ11を構成するメモリセルのセル基板に供給する。第2の基板電位発生回路17は周辺回路部の基板に供給する電位を発生するための回路であり、高電位電源VDD及び低電位電源VSSに基づいて図6に示す基板電位VP1を発生し、周辺回路部を構成するトランジスタの基板に供給する。
【0020】
図5はメモリセルを構成するnMOSトランジスタ85と、周辺回路部を構成するnMOSトランジスタ90との断面構造を示す。p型半導体基板80内にはn型の分離層81が形成され、分離層81内にはp型ウェル82が形成されている。p型のウェル82内には所定間隔をおいてn型のソース領域83及びドレイン領域84が形成されている。p型ウェル82、n型のソース領域83及びドレイン領域84によってnMOSトランジスタ85が形成されている。p型ウェル82には第1の基板電位発生回路16から出力される基板電位VC1が供給され、分離層81には高電位電源VDDが供給されている。
【0021】
また、p型半導体基板80内にはn型の分離層86が形成され、分離層86内にはp型ウェル87が形成されている。p型のウェル87内には所定間隔をおいてn型のソース領域88及びドレイン領域89が形成されている。p型ウェル87、n型のソース領域88及びドレイン領域89によってnMOSトランジスタ90が形成されている。p型ウェル87には第2の基板電位発生回路17から出力される基板電位VP1が供給され、分離層86には高電位電源VDDが供給されている。ここでは、例としてP基板を挙げているが、N基板でも同様な構成は可能である。
【0022】
ロウデコーダ12はメモリセルアレイ11から延びる複数のワード線WL0〜WLnに接続されている。ロウデコーダ12はロウアドレス信号ARを選択信号にデコードし、この選択信号に基づいてメモリセルアレイ11の複数のワード線WL(WL0〜WLn)のうち、所定のワード線を選択する。
【0023】
コラムデコーダ14はメモリセルアレイ11から延びる複数のビット線対BL,BLバーに接続されている。コラムデコーダ14はコラムアドレス信号ACを選択信号にデコードし、この選択信号によってメモリセルアレイ11の所定のビット線対を選択する。ロウデコーダ12によって所定のワード線が選択されるとともに、コラムデコーダ14によって所定のビット線対が選択されると、その選択されたワード線及びビット対に接続されているメモリセルが選択され、該メモリセルへのデータの書き込み又はデータの読み出しが行われる。センスアンプ13は選択されたメモリセルから読み出されたデータを増幅する。
【0024】
セルフリフレッシュ制御回路15は外部から入力されるロウアドレスストローブ信号RASバーがLレベルに切り換わった後所定時間(この場合には100μsec)経過すると、図6に示すようにLレベルのセルフリフレッシュエントリー信号SRバーを生成する。セルフリフレッシュ制御回路15はセルフリフレッシュエントリー信号SRバーのLレベルへの切り換わり後において、動作クロックCLKに基づいてメモリセルアレイ11のメモリセルをバーストモードにてセルフリフレッシュする。
【0025】
バーストモードとは予め定められた1リフレッシュサイクルTc(本形態においては64msec)において、メモリセルアレイ11の複数のワード線WL(WL0〜WLn)を動作クロックCLKに同期して順次選択する方法である。選択したワード線に接続された複数のメモリセルのデータはセンスアンプ13によって増幅されて再びメモリセルに書き込まれることにより、メモリセルのリフレッシュが行われる。また、各ワード線に接続されたメモリセルのリフレッシュは動作クロックCLKの半周期以内の短時間で完了する。
【0026】
本形態においてワード線WLを例えば4000本とし、1ワード線に接続されたメモリセルのリフレッシュに要する時間を例えば100nsecとする。すると、1リフレッシュサイクルTcのうち、実際のリフレッシュに要する時間は0.4msec(=100nsec×4000)となり、それ以外の時間63.6msec(=64msec−0.4msec)にはリフレッシュが行われないスタンバイ状態となる。
【0027】
基板電位制御回路20は、メモリセルアレイ11のバーストリフレッシュ間におけるスタンバイ時において、第1の基板電位発生回路16を制御してセル基板に供給する基板電位VC1と低電位電源VSSとの差が小さくなるような値の基板電位VC1を発生させる。また、基板電位制御回路20は、メモリセルアレイ11のバーストリフレッシュ間におけるスタンバイ時において、第2の基板電位発生回路17を制御して周辺回路部の基板電位VP1と低電位電源VSSとの電位差が大きくなるような値の基板電位VP1を発生させるものである。
【0028】
すなわち、基板電位制御回路20は、発振器21、バースト用カウンタ23、周期用カウンタ24、制御信号発生回路25、及び第1〜第4設定部26〜29を備える。
【0029】
発振器1は動作クロックCLKを発生する。
バースト用カウンタ23はメモリセルアレイ11がバーストモードにてリフレッシュされ始めると、動作クロックCLKのパルスをカウントし始める。バースト用カウント23は、動作クロックCLKのパルスをメモリセルアレイ11のワード線の本数分だけカウントするとカウントアップし、信号S1を出力する。
【0030】
周期用カウンタ24は動作クロックCLKに基づいてリフレッシュサイクルTcを測定するものである。周期用カウンタ24はメモリセルアレイ11がバーストモードにてリフレッシュされ始めると、動作クロックCLKのパルスをカウントし始める。周期用カウンタ24は、リフレッシュサイクルTcの終了点よりも数百μsec前まで動作クロックCLKのパルスをカウントすると、信号S2を出力する。また、周期用カウンタ24は動作クロックCLKのパルスをリフレッシュサイクルTc分だけカウントすると、そのカウントアップ信号に基づいてカウンタ24自身及びバースト用カウンタ23のカウント値をリセットする。
【0031】
制御信号発生回路25は、バースト用カウンタ23から出力される信号S1及び周期用カウンタ24から出力される信号S2に基づいて図6に示す制御信号S3を出力する。すなわち、1回分のバーストリフレッシュが終了して信号S1が入力されると、制御信号S3はHレベルになり、リフレッシュサイクルTcの終了点の数百μsec前になって信号S2が入力されると、制御信号S3はLレベルになる。
【0032】
第1設定部26はDRAM10のセルフリフレッシュ動作を除く通常の動作状態において、周辺回路部の基板電位VP1として低電位電源VSSを発生する回路である。第2設定部27はDRAM10のバーストリフレッシュ間におけるスタンバイ時において、周辺回路部の基板電位VP1と低電位電源VSSとの電位差が大きくなるような値の基板電位VP1を発生する回路である。
【0033】
図3は第1設定部26及び第2設定部27の詳細を示す。第1設定部26はnMOSトランジスタ31とインバータ32とからなる。DRAM10が通常の動作状態及びバーストリフレッシュ中において制御信号S3がLレベルであると、インバータ32の出力はHレベルになり、nMOSトランジスタ31がオンする。その結果、基板電位VP1として低電位電源VSSが出力される。DRAM10のバーストリフレッシュ間のスタンバイ時において制御信号S3がHレベルであると、インバータ32の出力はLレベルになり、nMOSトランジスタ31はオフする。
【0034】
第2設定部27はpMOSトランジスタ35、nMOSトランジスタ36〜39,45,46、NAND回路41、インバータ42,43,48,50、コンデンサ44、及びアナログスイッチ47,49を備える。
【0035】
DRAM10が通常の動作状態及びバーストリフレッシュ中において制御信号S3がLレベルであると、インバータ48,49の出力はHレベルになり、スイッチ47,49はオフする。
【0036】
DRAM10のバーストリフレッシュ間のスタンバイ時において制御信号S3がHレベルであると、インバータ48,50の出力はLレベルになり、スイッチ47,49がオンする。このとき、pMOSトランジスタ35のゲートは低電位電源VSSに接続されているので、pMOSトランジスタ35はオンしHレベルの信号を出力する。そのため、NAND回路41はインバータとして動作し、NAND回路41、インバータ42,43は発振回路として動作する。インバータ43の出力に基づいてコンデンサ44の充電電圧が増加し、その充電電圧がアナログスイッチ47,49を介してnMOSトランジスタ39に伝達される。コンデンサ44の充電電圧が低電位電源VSSよりも4個のnMOSトランジスタ36〜39のしきい値電圧分だけ低下すると、nMOSトランジスタ36〜39がオンする。そのため、NAND回路41への出力信号はLレベルになり、発振が停止し、コンデンサ44の充電が停止する。このとき、コンデンサ44の充電電圧VP12が基板電位VP1として出力される。
【0037】
第3設定部28はDRAM10のセルフリフレッシュ動作を除く通常の動作状態において、メモリセルのセル基板の基板電位VC1を発生する回路である。第4設定部29はDRAM10のバーストリフレッシュ間におけるスタンバイ時において、セル基板の基板電位VC1と低電位電源VSSとの電位差が小さくなるような値の基板電位VC1を発生する回路である。
【0038】
図4は第3設定部28及び第4設定部29の詳細を示す。第3設定部28はpMOSトランジスタ61、nMOSトランジスタ59,60,62〜64、NAND回路55、インバータ56,57,66、コンデンサ58、及びアナログスイッチ65を備える。
【0039】
DRAM10が通常の動作状態及びバーストリフレッシュ中において制御信号S3がLレベルであると、インバータ66の出力はHレベルになり、スイッチ65はオンする。このとき、pMOSトランジスタ61のゲートは低電位電源VSSに接続されているので、pMOSトランジスタ61はオンしHレベルの信号を出力する。アナログスイッチ65を介してNAND回路55にHレベルの信号が入力されるため、NAND回路55はインバータとして動作し、NAND回路55、インバータ56,57は発振回路として動作する。インバータ57の出力に基づいてコンデンサ58の充電電圧が増加し、その充電電圧がnMOSトランジスタ64に伝達される。コンデンサ58の充電電圧が低電位電源VSSよりも3個のnMOSトランジスタ62,63,64のしきい値電圧分だけ低下すると、nMOSトランジスタ62,63,64がオンする。そのため、NAND回路55への出力信号はLレベルになり、発振が停止し、コンデンサ58の充電が停止する。このとき、コンデンサ58の充電電圧VC11が基板電位VC1として出力される。
【0040】
DRAM10のバーストリフレッシュ間のスタンバイ時において制御信号S3がHレベルであると、インバータ66の出力はLレベルになり、スイッチ65はオフする。
【0041】
第4設定部29はpMOSトランジスタ67、nMOSトランジスタ68,69、アナログスイッチ70と、前記nMOSトランジスタ59,60、前記NAND回路55、インバータ56,57,66及びコンデンサ58を備える。
【0042】
DRAM10が通常の動作状態及びバーストリフレッシュ中において制御信号S3がLレベルであると、インバータ66の出力はHレベルになり、スイッチ70はオフする。
【0043】
DRAM10のバーストリフレッシュ間のスタンバイ時において制御信号S3がHレベルであると、インバータ66の出力はLレベルになり、スイッチ70がオンする。このとき、pMOSトランジスタ67のゲートは低電位電源VSSに接続されているので、pMOSトランジスタ67はオンしHレベルの信号を出力する。アナログスイッチ70を介してNAND回路55にHレベルの信号が入力されるため、NAND回路55はインバータとして動作し、NAND回路55、インバータ56,57は発振回路として動作する。インバータ57の出力に基づいてコンデンサ58の充電電圧が増加し、その充電電圧がnMOSトランジスタ69に伝達される。コンデンサ58の充電電圧が低電位電源VSSよりも2個のnMOSトランジスタ68,69のしきい値電圧分だけ低下すると、nMOSトランジスタ68,69がオンする。そのため、NAND回路55への出力信号はLレベルになり、発振が停止し、コンデンサ58の充電が停止する。このとき、コンデンサ58の充電電圧VC12が基板電位VC1として出力される。
【0044】
メモリセルアレイ11のバーストリフレッシュ間におけるスタンバイ時において、第1の基板電位発生回路16を制御してセル基板に供給する基板電位VC1と低電位電源VSSとの差が小さくなるような値の基板電位VC1を発生させる。また、基板電位制御回路20は、メモリセルアレイ11のバーストリフレッシュ間におけるスタンバイ時において、第2の基板電位発生回路17を制御して周辺回路部の基板電位VP1と低電位電源VSSとの電位差が大きくなるような値の基板電位VP1を発生させるものである。
【0045】
さて、本実施の形態は、以下の効果がある。
(1)本形態のDRAM10では、セルフリフレッシュ制御回路15がメモリセルアレイ11のセルフリフレッシュをバーストモードで行うため、セルフリフレッシュ間においてスタンバイ時を生成することができる。このスタンバイ時において、第4設定部29はセル基板82の基板電位VC1と低電位電源VSSとの電位差が小さくなるような基板電圧VC12を生成し、第1の基板電位発生回路16が基板電位VC12をメモリセルのセル基板82に供給する。そのため、スタンバイ時においてメモリセルからセル基板へのリーク電流が低減される。その結果、次のリフレッシュサイクルTcにおいてメモリセルへのチャージ電流を少なくすることができ、リフレッシュを短時間で行うことができ、リフレッシュ特性を向上することができる。
【0046】
(2)本形態のDRAM10では、メモリセルアレイ11のセルフリフレッシュ間におけるスタンバイ時に、第2設定部27は周辺回路部の基板87の基板電位VP1と低電位電源VSSとの電位差が大きくなるような基板電圧VP12を生成し、第2の基板電位発生回路17が基板電位VP12を周辺回路部の基板87に供給する。その結果、セルフリフレッシュ間のスタンバイ時において周辺回路部を構成するトランジスタ90のしきい値電圧が大きくなり、トランジスタ90のテーリング電流を低減することができ、消費電流を低減することができる。
【0047】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項1〜3の発明は、セルフリフレッシュ時における電流を低減しつつメモリセルのリフレッシュに要する時間を短縮することができる。
【0048】
請求項2及び3の発明は、セルフリフレッシュ時における周辺回路部の電流を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理説明図
【図2】実施の形態のDRAMを示すブロック図
【図3】第1及び第2設定部の詳細を示す回路図
【図4】第3及び第4設定部の詳細を示す回路図
【図5】メモリセル及び周辺回路部のトランジスタの断面図
【図6】実施の形態のDRAMの作用を示す波形図
【図7】従来のDRAMを示すブロック図
【図8】従来のメモリセル及び周辺回路部のトランジスタの断面図
【図9】従来のDRAMの作用を示す波形図
【符号の説明】
1 メモリセルアレイ
2 周辺回路部
3 セルフリフレッシュ制御回路
4 第1の基板電位発生回路
5 第2の基板電位発生回路
6 基板電位制御回路
Claims (2)
- 複数のメモリセルを備えたメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイのメモリセルをアクセスするための周辺回路部と、
前記メモリセルアレイのメモリセルをバーストリフレッシュするためのセルフリフレッシュ制御回路と、
前記メモリセルのセル基板に供給する基板電位を発生するための第1の基板電位発生回路と、
前記周辺回路部の基板に供給する基板電位を発生するための第2の基板電位発生回路と、
メモリセルアレイのバーストリフレッシュ間のスタンバイ時において、前記第1の基板電位発生回路を制御して前記セル基板に供給する基板電位と低電位電源との差が小さくなるような電位を発生させ、前記第2の基板電位発生回路を制御して前記周辺回路部の基板に供給する基板電位と低電位電源との差がバーストリフレッシュ動作中よりも大きくなるような電位を発生させる基板電位制御回路と
を備える半導体記憶装置。 - 前記基板電位制御回路は、通常動作時における周辺回路部の基板電圧を設定するための第1設定部と、
バーストリフレッシュ間のスタンバイ時における周辺回路部の基板電圧を設定するための第2設定部と、
通常動作時におけるメモリセルのセル基板の基板電圧を設定するための第3設定部と、
バーストリフレッシュ間のスタンバイ時におけるメモリセルのセル基板の基板電圧を設定するための第4設定部と、
前記メモリセルアレイのバーストリフレッシュの終了を測定するための第1のカウンタと、
前記メモリセルアレイのバーストリフレッシュ間におけるスタンバイ時を測定するための第2のカウンタと、
前記第1のカウンタの測定結果と第2のカウンタの測定結果とに基づき、通常動作時には前記第1設定部の基板電圧を前記第2の基板電位発生回路に出力させるとともに、前記第3設定部の基板電圧を前記第1の基板電位発生回路に出力させ、また、セルフリフレッシュ間のスタンバイ時には前記第2設定部の基板電圧を前記第2の基板電位発生回路に出力させるとともに、前記第4設定部の基板電圧を前記第1の基板電位発生回路に出力させる制御部と
を備える請求項1に記載の半導体記憶装置。
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1996
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