JP3855734B2 - ３次元カムプロフィール測定装置および３次元カムプロフィール測子の精度不良診断方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、３次元カムのカムプロフィールを測定する３次元カムプロフィール測定装置および３次元カムプロフィール測定装置に用いられる３次元カムプロフィール測子の精度不良診断方法に関する。特に本発明は、３次元カムプロフィール測定装置に用いられる３次元カムプロフィール測子の精度不良原因を簡便に診断する装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
特開平１１−２１０４２７号公報は、３次元カムのカムプロフィールを測定するための３次元カムプロフィール測定装置を開示する。この３次元カムプロフィール測定装置によるカムプロフィールの測定においては、３次元カムのカム面と接触する３次元カムプロフィール測子の精度が測定精度に大きな影響を与える。このため、３次元カムプロフィール測子の精度を把握する必要がある。従来は、３次元カムプロフィール測子の精度は、精度チェック用のカムを３次元カムプロフィール測子で測定した結果に基づいて、担当者自らが精度不良原因を推定していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来は、３次元カムプロフィール測子の精度不良原因の推定は、担当者の経験に頼っていたため、精度不良原因の推定をするには、担当者に熟練を要していた。また、異なる担当者による精度不良原因の推定結果が必ずしも一致せず、ばらつきが生じていた。
【０００４】
さらに、精度不良原因が複数ある場合には、精度チェック用カムの測定結果から原因を導くことが困難であった。
【０００５】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる３次元カムのカムプロフィールを測定する３次元カムプロフィール測定装置および３次元カムプロフィール測定装置に用いられる３次元カムプロフィール測子の精度不良診断方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明は、３次元カムのカム面に接触するための平面状の測定面を有する測定子と、前記測定子を、前記測定面内に存在する揺動軸周り揺動可能に支持する支持部材とを含む３次元カムプロフィール測子を用いて、前記３次元カムのカムプロフィールを測定する３次元カムプロフィール測定装置であって、所定の形状のカムについて、前記３次元カムプロフィール測子を用いて得られたカムプロフィールの特徴が、所定の精度不良原因を有する３次元カムプロフィール測子で前記カムを測定した場合のカムプロフィールの特徴に当てはまるか否かを調べることによって、前記３次元カムプロフィール測子が有する精度不良原因を特定する精度不良診断部を備える。
【０００７】
本発明の精度不良診断部は、所定の測定角度における測定値が所定の値を超えている場合に、前記測定面に磨耗が生じていると判定してもよい。
【０００８】
本発明の精度不良診断部は、所定の精度不良原因を特定した後、その精度不良原因に起因する測定誤差を補正した前記３次元カムプロフィール測子を用いて得られたカムプロフィールの特徴が、他の精度不良原因がある場合のカムプロフィールの特徴に当てはまるか否かを調べることによって、前記３次元カムプロフィール測子が有する他の精度不良原因を特定してもよい。
【０００９】
また、本発明は、３次元カムのカムプロフィールを測定する３次元カムプロフィール測定装置に用いられる、前記３次元カムのカム面に接触するための平面状の測定面を有する測定子と、前記測定子を、前記測定面内に存在する揺動軸周り揺動可能に支持する支持部材とを含む３次元カムプロフィール測子の精度不良原因を診断する方法であって、所定の形状のカムのカムプロフィールを、前記３次元カムプロフィール測子を用いて測定するステップと、前記測定されたカムプロフィールの特徴が、所定の精度不良原因を有する３次元カムプロフィール測子で前記カムを測定した場合のカムプロフィールの特徴に当てはまるか否かを調べることによって、前記３次元カムプロフィール測子が有する精度不良原因を特定するステップと、を備える。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明する。
【００１１】
図１は、実施形態に係るカムプロフィール測定装置１０の構成を示すブロック図である。カムプロフィール測定装置１０は、測定制御部２０、回転駆動部３０、リニア駆動部３２、位置移動・回転位相測定部４０、カムプロフィール測定部５０、測定精度診断部６０、および表示部７０を備える。
【００１２】
測定制御部２０は、内部に、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入出力インターフェース、バスライン、内部記憶装置等を備えたコンピュータシステムとして構成される。測定制御部２０のＣＰＵは、ＲＯＭ、ＲＡＭなどに格納されたプログラムに基づいて、回転位相測定部４０やカムプロフィール測定部５０からの検出データを入出力インターフェースを介して受け付け、受け付けた検出データについて所定の演算処理を行う。演算結果は、入出力インターフェースを介して、測定精度診断部６０に送られる。
【００１３】
回転駆動部３０は、ステッピングモータやサーボモータなどから構成され、測定時に、測定制御部２０から指示信号に基づいて、カムプロフィール測定時に、測定制御部２０からの指示信号に基づいて、回転シャフト１００の回転位相の調整を行う。
【００１４】
リニア駆動部３２は、リニアソレノイドやボールネジを用いたモータによるリニア移動機構などから構成され、測定制御部２０からの指示信号に基づいて、回転シャフト１００の回転軸方向の位置の調整を行う。
【００１５】
位置移動・回転位相測定部４０は、シンクロ、レゾルバあるいはロータリエンコーダ等を利用した回転位置センサと、ポテンショメータ、差動トランスあるいはスケール等を利用したリニア位置センサとを備えて、回転駆動部３０およびリニア駆動部３２により回転・移動されている回転シャフト１００の正確な回転位相と回転軸方向の正確な位置とを計測して、測定制御部２０へ計測信号として送信する。
【００１６】
カムプロフィール測定部５０は、後述する３次元カムプロフィール測子１１０（図２参照）およびポテンショメータ、差動トランスあるいはスケール等を利用したリニア位置センサを含む。このカムプロフィール測定部５０は、その平行移動支持部５２にて、３次元カムプロフィール測子１１０を後述する移動軸Ｇに沿って、平行移動可能に、かつカムマスター８０側に付勢するように支持している。
【００１７】
このことにより、カムプロフィー測定部５０は、３次元カムプロフィール測子１１０を、回転駆動部３０にて回転されている回転シャフト１００に取り付けられたカムマスター８０のカム面８１に接触させて、３次元カムプロフィール測子１１０を、カム面８１の高さの変化に追随させ、測定制御部２０へ計測信号として送信する。
【００１８】
次に、３次元カムプロフィール測子１１０の構成を説明する。図２は、３次元カムプロフィール測子１１０の斜視図を示す。３次元カムプロフィール測子１１０は、測定子１２０と、この測定子１２０を両端部にて支持する支持部材１３０とを備える。測定子１２０は、図３の斜視図（ただし、図２に対して上下逆に配置して示してある）に示すように、円筒の棒状をなし、両端に軸部１４０，１４２を有する。この軸部１４０，１４２にて、測定子１２０は、支持部材１３０の２本のアーム部１５０，１５２にて揺動軸Ｆ周りに揺動可能に支持されている。
【００１９】
測定子１２０の中央部分１２０ａは、揺動軸Ｆを含む平面にて半分に切断された一方のみの形状をなし、さらに揺動軸Ｆを含む中央領域のみ残して扁平に形成されている。このことにより、測定子１２０の中央部分１２０ａには、揺動軸Ｆを含む測定面１２０ｂが全体に形成されている。中央部分１２０ａは超硬合金製であり、測定面１２０ｂは極めて高い面精度に仕上げられている。
【００２０】
支持部材１３０は、前述した２本のアーム部１５０，１５２を支持する基部１６０を有している。この基部１６０にて３次元カムプロフィール測子１１０全体が、揺動軸Ｆに対して直交する移動軸Ｇ周りには回転しないようにして、移動軸Ｇ方向に平行移動できるように、かつカムマスター８０方向に付勢されるようにして、カムプロフィール測定部５０の平行移動支持部５２に支持されている。
【００２１】
カムプロフィール測定部５０は、測定時において、図４に示すように、測定子１２０の揺動軸Ｆがカムマスター８０の回転軸Ａに直交するようにして、移動軸Ｇに沿って３次元カムプロフィール測子１１０をカムマスター８０へ付勢して、カム面８１に測定子１２０の測定面１２０ａを当接し、支持部材１３０の変位を測定する。
【００２２】
ここで、本実施形態で用いられるカムマスター８０の形状を説明する。図５は、カムマスター８０の外観を示す。また、図６は、カムマスター８０を回転軸方向から見たときの平面図である。カムマスター８０は、第１のテスト部８２および第２のテスト部８４を備える。第１のテスト部８２は、円筒状の形状をしており、測定子１２０と接触する面は、回転シャフト８６と平行である。回転シャフト８６は、第１のテスト部８２の断面における円の中心を通っている。回転シャフト８６の外周から、第１のテスト部８２の接触面までの距離をａとする。
【００２３】
一方、第２のテスト部８４は円錐の一部を切り取った形状をしており、測定子１２０と接触する面が回転シャフト８６に対して傾いている。また、回転シャフト８６は、第２のテスト部８４の断面における円の中心とは所定の距離だけずれたところを通っている。なお、第２のテスト部８４の測定位置（角度）は、図７のように定義されている。すなわち、回転軸Ａを中心とし、回転軸Ａから第２のテスト部８４へ線を引いたときに距離が最短となる方向を０度とし、正の回転角度を時計回りとする。
【００２４】
カムマスター８０については、第１のテスト部８２、第２のテスト部８４、および回転シャフト１００の３次元形状測定装置によって予め精密に測定されている。
【００２５】
測定精度診断部６０は、上述のカムマスター８０の形状測定結果に基づいて予め算出された、取り付けや形状等が正常な３次元カムプロフィール測子１１０でカムマスター８０を測定した場合に得られるカムプロフィールをマスタ値として、メモリ等の記憶装置に格納している。また、測定精度診断部６０は、カムマスター８０を精度不良原因を有する３次元カムプロフィール測子１１０で測定したときのカムプロフィールに関する情報をメモリ等に格納している。測定精度診断部６０は、カムマスター８０を３次元カムプロフィール測子１１０で測定したときの測定値と、上記マスタ値とを比較することにより、３次元カムプロフィール測子１１０に精度不良があるか否かを判定するとともに、その精度不良原因を推定する。
【００２６】
以下に、３次元カムプロフィール測子１１０の典型的な精度不良原因と、各々の原因がある３次元カムプロフィール測子１１０を用いて、カムマスター８０を計測したときの測定結果を説明する。
【００２７】
[測定器の径方向検出不良]
図８は、径方向の検出不良を説明するための図である。径方向の検出不良は、３次元カムプロフィール測子１１０の移動軸Ｇ方向の移動の検出に異常がある場合に生じる。図８は、実際の移動量が１０ｍｍであるべきところを、１０．１ｍｍと検出されてしまう場合を示している。図９は、径方向に検出不良がある測定子１２０を用いて、カムマスター８０を測定したときの測定結果を示す。図９では、測定位置（横軸）に対して、マスター値と測定値との差が曲線グラフで示されている。径方向に検出不良がある場合には、カムマスター８０の測定位置に拘らず、測定値は実際の値に対して一定の差を含んだものになる。
【００２８】
[測定器のセンター中心振れ]
図１０は、測定子１２０を軸受する軸受部１５４，１５６の軸中心が、回転軸Ａとずれている場合を示す。図１１は、軸受部１５４，１５６の軸中心がずれた３次元カムプロフィール測子１１０を用いて、カムマスター８０を測定したときの測定結果を示す。この場合には、後述する３次元カムプロフィール測子１１０が傾いている場合の曲線と同様な傾向を示すが、測定値と実測値との差が最大になる測定位置、および測定値が実測値と見かけ上一致する測定値が、３次元カムプロフィール測子１１０が傾いている場合とは異なる。
【００２９】
[測定器の軸方向位置制御のずれ]
図１２は、３次元カムプロフィール測子１１０の回転軸Ａ方向の位置が、基準位置からずれている場合を示す。３次元カムプロフィール測子１１０の回転軸Ａ方向の位置のずれは、カム面の高さ方向の測定値のずれとなって影響を及ぼす。図１３は、回転軸Ａ方向の位置がずれた３次元カムプロフィール測子１１０を用いて、カムマスター８０を測定したときの測定結果を示す。この場合には、測定値は、回転軸Ａ方向の位置ずれΔＷに起因する測定誤差ΔＨだけ、実際の値と常に異なる。
【００３０】
[測定子またはテスター本体の測定子取付部の傾き]
図１４は、移動軸Ｇが、適切な移動軸Ｇ’に対して傾いている３次元カムプロフィール測子１１０を示す。このように、移動軸Ｇが適切な移動軸Ｇ’に対して傾くことは、たとえば、３次元カムプロフィール測子１１０自身の重みにより、３次元カムプロフィール測子１１０が傾いてしまう場合、あるいは、３次元カムプロフィール測子１１０の取り付け精度が不十分な場合が考えられる。図１５は、移動軸Ｇが傾いた３次元カムプロフィール測子１１０を用いて、カムマスター８０を測定したときの測定結果を示す。移動軸Ｇが傾いていることにより、測定子１２０の一方の端部は、移動軸Ｇが適正である場合の測定面１２０ｂの基準面よりもカムマスター８０側に突出し、他方の端部は、基準面に対してカムマスター８０と反対側に突出する。図１４のように、上方の端部がカムマスター８０側に突出した状態で傾いている場合には、カムマスター８０の測定位置が２７０度の位置においては、上方の端部が、カムマスター８０に傾きがない場合よりも早くカムマスター８０と接触するため、測定結果は実際の値よりも大きくなってしまう。逆に、カムマスター８０の測定位置が９０度の場合には、下側の端部が、カムマスター８０に傾きがない場合よりも遅くカムマスター８０と接触するため、測定結果は実際の値よりも小さくなってしまう。一方、カムマスター８０の測定位置が０度、１８０度、３６０度（０度）の場合には、傾きによる影響は受けにくく、測定値は実際の値と近くなる。
【００３１】
[揺動測定子の取り付け不良]
図１６は、３次元カムプロフィール測子１１０の取り付け不良を示す図である。図１６の３次元カムプロフィール測子１１０は、その中心軸Ｂが適正な取り付け軸Ｃに対して傾いた状態で取り付けられている。図１７は、この状態の３次元カムプロフィール測子１１０でカムマスター８０を計測したときの測定結果を示す。測定位置が、０度、１８０度、３６０度（０度）においては、マスター値と測定値との差は、ほぼゼロであるが、９０度、２７０度において極大を示している。
【００３２】
[測定子の磨耗]
図１８は、測定面１２０ｂの一部が磨耗した測定子１２０を示す。測定面１２０ｂは、測定相手となるカムとの接触を繰り返すうちに、カムとの接触部分が磨耗する。図１９は、測定面１２０ｂが磨耗した測定子１２０を用いて、カムマスター８０を計測したときの測定結果を示す。測定位置が、０度、１８０度、３６０度（０度）においては、カムマスター８０が磨耗部分と接触する度合いが大きいので、マスター値と測定値と差が最も顕著となる。
【００３３】
以上のように、３次元カムプロフィール測子１１０に精度不良がある場合には、個々の精度不良に特有の測定結果が得られる。そこで、測定精度診断部６０は、カムマスター８０を３次元カムプロフィール測子１１０で実際に測定して得られたプロフィールの特徴が、上記の各精度不良がある場合のプロフィールの特徴に当てはまるか否かを調べることにより、精度不良原因を推定する。
【００３４】
以下に、測定精度診断部６０における精度不良原因の推定処理を図２０のフローチャートを用いて説明する。まず、カムマスター８０のプロフィールを３次元カムプロフィール測子１１０で測定する（Ｓ１０）。ここでは、回転シャフト８６、第１のテスト部８２、ならびに第２のテスト部８４のプロフィールの測定が行われる。次に、得られた測定結果に基づいて、径方向不良判定が行われる（Ｓ２０）。径方向不良判定では、回転シャフト８６および第１のテスト部８２の高さの差ａが所定の範囲内であるか否かが調べられる。差ａが所定の範囲内である場合には、正常と判定され、判定結果が表示された後（Ｓ１６０）、ここでの処理を終える。差ａが所定の範囲を超えている場合には、径方向不良と判定され、径方向検出不良が補正される（Ｓ３０）。径方向検出不良の補正によって、たとえば、差ａが所定の範囲に入るように、３次元カムプロフィール測子１１０の移動軸Ｇ方向のデータの換算が行われる。
【００３５】
次に、径方向検出不良が補正された測定結果に基づいて、センター中心振れ不良判定が行われる（Ｓ４０）。センター中心振れ不良判定では、第２のテスト部８４のマスター値と測定値との差が、図１１のようなサインカーブを描いており、極大、極小の測定位置がそれぞれ０度、２７０度から所定の角度だけずれている場合に、センター中心振れ不良と判定される。センター位置振れ不良と判定されなかった場合（センター中心振れに関しては正常な場合）には、径方向不良があることが表示される（Ｓ１６０）。センター中心振れ不良と判定された場合には、サインカーブの極大、極小の位置をそれぞれ０度、２７０度に合わせる補正がされる（Ｓ５０）。
【００３６】
次に、センター中心振れ不良が補正された第２のテスト部のプロフィールに基づいて、軸方向位置制御不良判定が行われる（Ｓ６０）。軸方向位置制御不良判定では、第２のテスト部８４のマスター値と測定値との差が正または負のいずれかに、片寄っているか否かが調べられる。軸方向位置制御不良と判定されなかった場合（軸方向位置制御に関しては正常な場合）には、径方向不良およびセンター中心振れ不良があることが表示される（Ｓ１６０）。軸方向位置制御不良と判定された場合には、測定値の片寄りが補正される（Ｓ７０）。
【００３７】
次に、軸方向位置制御不良が補正された第２のテスト部のプロフィールに基づいて、傾き不良判定が行われる（Ｓ８０）。傾き不良判定では、３次元カムプロフィール測子１１０の傾きの量によって生じる精度不良量を予め計算しておき、第２のテスト部８４のマスター値と測定値との差を示す曲線が最も直線に近くなる場合の補正量を逆算することによって精度不良量または傾き量が推量され、この精度不良量または傾き量が所定の範囲内である場合には、傾きが正常であると判定され、径方向不良、センター中心振れ不良、および軸方向位置制御不良があることが表示される（Ｓ１６０）。精度不良量または傾き量が所定の範囲を超えている場合には、傾き不良と判定され、傾き不良が補正される（Ｓ９０）。
【００３８】
次に、傾き不良が補正された第２のテスト部のプロフィールに基づいて、測定子取付不良判定が行われる（Ｓ１００）。測定子取付不良判定も傾き不良判定と同様な手法で、測定子取付精度不良量が求められる。測定子取付精度不良量が所定の範囲内である場合には、測定子取付が正常であると判定され、径方向不良、センター中心振れ不良、軸方向位置制御不良、および傾き不良があることが表示される（Ｓ１６０）。測定子取付精度不良量が所定の範囲を超えている場合には、測定子取付精度不良と判定され、測定子取付精度不良が補正される（Ｓ１１０）。
【００３９】
次に、測定子取付精度不良が補正された第２のテスト部のプロフィールに基づいて、測定子磨耗判定が行われる（Ｓ１２０）。測定子磨耗判定では、第２のテスト部の測定位置が１８０度における値が所定の範囲内である場合には、磨耗が許容範囲内であると判定され、径方向不良、センター中心振れ不良、軸方向位置制御不良、傾き不良、および測定子取付不良があることが表示される（Ｓ１６０）。第２のテスト部の測定位置が１８０度における値が所定の範囲を超えている場合には、測定子に磨耗が生じていると判定され、測定子磨耗の補正が行われる（Ｓ１３０）。
【００４０】
次に、カムマスター８０の測定から測定子磨耗の補正までの処理の回数が何回目かが調べられ、３回未満の場合には、再度上記の処理が行われる。処理回数が３回目の場合には、３回の処理結果にばらつきがないか否かが調べられる（Ｓ１５０）。３回の処理結果にばらつきがある場合には、上記の精度不良原因以外のなんらかの精度不良（たとえば、測定子１２０がうまく回転しないことによる精度不良）の発生が推測される。最後に、推定された精度不良原因が表示される（Ｓ１６０）。
【００４１】
【発明の効果】
上記説明から明らかなように、本発明によれば、３次元カムプロフィール測定装置に用いられる３次元カムプロフィール測子の精度不良原因を簡便かつ速やかに推定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 実施形態に係るカムプロフィール測定装置１０の構成を示すブロック図である。
【図２】 ３次元カムプロフィール測子１１０の斜視図である。
【図３】 ３次元カムプロフィール測子１１０の測定子１２０の斜視図である。
【図４】 ３次元カムプロフィール測子１１０の測定子１２０とカムマスター８０との接触状態を示す斜視図である。
【図５】 精度チェック用のカムマスター８０の外観を示す平面図である。
【図６】 カムマスター８０を回転軸方向から見たときの平面図である。
【図７】 第２のテスト部８４の測定位置（角度）を示す図である。
【図８】 径方向の検出不良を説明するための図である。
【図９】 径方向に検出不良がある測定子１２０を用いて、カムマスター８０を測定したときの測定結果を示すグラフである。
【図１０】 測定子１２０を軸受する１５０，１５２の軸受部１５４，１５６の軸中心が、回転軸Ａとずれている場合を示す図である。
【図１１】 軸受部１５４，１５６の軸中心がずれた３次元カムプロフィール測子１１０を用いて、マスターを測定したときの測定結果を示すグラフである。
【図１２】 ３次元カムプロフィール測子１１０の回転軸Ａ方向の位置が、基準位置からずれている場合を示す図である。
【図１３】 回転軸Ａ方向の位置がずれた３次元カムプロフィール測子１１０を用いて、カムマスター８０を測定したときの測定結果を示すグラフである。
【図１４】 移動軸Ｇが、適切な移動軸Ｇ’に対して傾いている３次元カムプロフィール測子１１０を示す図である。
【図１５】 移動軸Ｇが傾いた３次元カムプロフィール測子１１０を用いて、カムマスター８０を測定したときの測定結果を示すグラフである。
【図１６】 ３次元カムプロフィール測子１１０の取り付け不良を示す図である。
【図１７】 中心軸Ｂが傾いた３次元カムプロフィール測子１１０でカムマスター８０を計測したときの測定結果を示すグラフである。
【図１８】 測定面１２０ｂの一部が磨耗した測定子１２０を示す図である。
【図１９】 測定面１２０ｂが磨耗した測定子１２０を用いて、カムマスター８０を計測したときの測定結果を示すグラフである。
【図２０】 測定精度診断部６０における精度不良原因の推定処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１０ カムプロフィール測定装置、２０ 測定制御部、３０ 回転駆動部、３２ リニア駆動部、４０ 位置移動・回転位相測定部、５０ カムプロフィール測定部、６０ 測定精度診断部、７０ 表示部、８０ カムマスター、８１ カム面、８２ 第１のテスト部、８４ 第２のテスト部、１００ 回転シャフト、１１０ ３次元カムプロフィール測子、１２０ 測定子、１２０ａ 中央部分、１２０ｂ 測定面、１３０ 支持部材、１４０，１４２ 軸部、１５０，１５２アーム部
１６０ 基部。

Claims (4)

1. ３次元カムのカム面に接触するための平面状の測定面を有する測定子と、前記測定子を、前記測定面内に存在する揺動軸周り揺動可能に支持する支持部材とを含む３次元カムプロフィール測子を用いて、前記３次元カムのカムプロフィールを測定する３次元カムプロフィール測定装置であって、
   所定の形状のカムについて、前記３次元カムプロフィール測子を用いて得られたカムプロフィールの特徴が、所定の精度不良原因を有する３次元カムプロフィール測子で前記カムを測定した場合のカムプロフィールの特徴に当てはまるか否かを調べることによって、前記３次元カムプロフィール測子が有する精度不良原因を特定する精度不良診断部を備えることを特徴とする３次元カムプロフィール測定装置。
2. 前記精度不良診断部は、所定の測定角度における測定値が所定の値を超えている場合に、前記測定面に磨耗が生じていると判定することを特徴とする請求項１に記載の３次元カムプロフィール測定装置。
3. 前記精度不良診断部は、所定の精度不良原因を特定した後、その精度不良原因に起因する測定誤差を補正した前記３次元カムプロフィール測子を用いて得られたカムプロフィールの特徴が、他の精度不良原因がある場合のカムプロフィールの特徴に当てはまるか否かを調べることによって、前記３次元カムプロフィール測子が有する他の精度不良原因を特定することを特徴とする請求項１または２に記載の３次元カムプロフィール測定装置。
4. ３次元カムのカムプロフィールを測定する３次元カムプロフィール測定装置に用いられる、前記３次元カムのカム面に接触するための平面状の測定面を有する測定子と、前記測定子を、前記測定面内に存在する揺動軸周り揺動可能に支持する支持部材とを含む３次元カムプロフィール測子の精度不良原因を診断する方法であって、
   所定の形状のカムのカムプロフィールを、前記３次元カムプロフィール測子を用いて測定するステップと、
   前記測定されたカムプロフィールの特徴が、所定の精度不良原因を有する３次元カムプロフィール測子で前記カムを測定した場合のカムプロフィールの特徴に当てはまるか否かを調べることによって、前記３次元カムプロフィール測子が有する精度不良原因を特定するステップと、
   を備えることを特徴とする３次元カムプロフィール測子の精度不良診断方法。

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