JP3851676B2 - 直線移動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、直線移動装置、特にクリーンな周囲環境において、半導体ウェハや液晶の基板用カセットなどの取り扱いに注意を要する搬送物を、円滑な動作で2位置間の移動を2倍のストロークで移動し、正確な位置で確実に停止を行うための直線移動装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、2位置間の移動、停止を得る技術は、その使用目的に応じて種々の方法が用いられている。たとえば、駆動側のストロークに対して2倍のストロークが得られる直線移動機構として図2に示すダブルラック・ピニオン機構が知られている。(日刊工業新聞社(昭和60年4月初版11刷)発行の「制御回路つき自動化機構300選」の23ページ、熊谷卓編、ISBN4−526−00865−6)図2に示す従来技術においては、エアシリンダ12によって出入りするロッド13の先端に、回転可能なごとく係合されたピニオン14を配設し、該ピニオン14に対して固定側ラック15と可動側ラック16を回転中心の対称位置にかみ合うように配設し、かつ、可動側ラック16が固定側ラック15に対して平行移動可能なるように直線ガイド17を設けて構成し、これによってエアシリンダ12の出入りするロッド13のストロークSが直線ガイド17には2倍のストローク2Sで直線移動を得るようにしたものである。すなわち、エアシリンダ12のロッド13の出入りによって得られる直線移動(1次側ストローク)を与えられたピニオン14が固定側ラック15とかみ合いながら回転すると、同時にピニオン14とかみ合った可動側ラック16がピニオンの直線移動ストローク分と、ピニオン14の回転による直線運動変換されたストローク分とが加算されることによって2倍のストロークの直線移動を行うものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この機構はストロークが2倍になると同時に動作速度も2倍となるので、円滑な動作をさせるにはラック及びピニオンの歯形形状精度やラック相互の平行度、すなわち組立精度など、精密な製作を必要とするとともに、歯車機構として不可避なかみ合いスキマ(バックラッシュ)の影響を考慮する必要が生じるという問題点があった。
【0004】
本発明は、前述した従来技術の問題点を解決し、バックラッシの生じない2倍ストロークの直線移動装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の直線移動装置は、モータの回転運動を往復運動に変換するクランクスライダ機構と、このクランクスライダ機構の先端に突設した支軸に支持した同期して回転する2つのプーリーと、この一方のプーリーに支承する固定側の一次側ワイヤーロープと、他方のプーリーに支承する二次側ワイヤーロープとよりなり、この二次側ワイヤロープを可動側の移動体に張設支承することにより、移動体を一次側ワイヤロープに対し2倍のストロークで移動させることを特徴とする。
【0006】
上記構成からなる本発明の直線移動装置は、互いに平行して張架した2対のワイヤロープを夫々同軸上に配設した同期して回転する2つのプーリーに係止して巻き付けることによりバックラッシのない運動伝達を行うことができ、これにより不正な振動要因を回避し、かつ、2つのプーリーを備えた1次側の直線移動をクランクスライダ機構で行うことにより、サイン曲線の滑らかな運動変化で、しかも移動ストロークを2倍として動作させることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の直線移動装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本発明の直線移動装置はモータ1の回転を旋回アーム2およびロッド3により直線運動に変換するクランクスライダ機構20と、1次側ワイヤロープ4と、この一部を係止したプーリ5a、およびプーリ5bに係止して張架した2次側ワイヤロープ6による2倍ストローク機構60、および二次側ワイヤロープ6と平行に配設した2次側の直線ガイド7、移動テーブル8とから構成される。
【0008】
モータ1のモータ軸端には旋回アーム2の基端部を係着し、この旋回アーム2の先端部にロッド3の基端側を枢着するとともに、このロッド3の先端部に支軸3Sを突設する。この支軸3Sは、ロッド3に対しベアリング等の軸受を介して回動自在に支持され、かつロッド先端部上方へ突出するようになっている。
【0009】
そしてこの支軸3Sには、2つのプーリー5a,5bを同軸上にして設けるが、この2つのプーリー5a,5bは図示のように同径とするか、もしくは異径とし、この同軸上に取り付けたプーリー5a,5bには夫々平行に張架した一次側と二次側のワイヤロープ4と5の一部を係止する。
【0010】
モータ1及び一次側ワイヤロープ4は、固定側に設置または張架する。このワイヤロープ4の両端は、ワイヤ係止具9,10にて固定され、予め設定された張力を得るようにしている。そして旋回アーム2の揺動角を検出してその揺動角を制御するために、旋回アーム側にストライカ2Sを、また旋回アームの旋回外周部の軌跡上に一センサ9を夫々設ける。
【0011】
一次側ワイヤロープ4と平行して二次側ワイヤロープ6は、可動側例えば移動テーブル8にワイヤ係止具10を介して張架するとともに、この二次側ワイヤロープ6の一部をワイヤホルダ11を介してプーリー5bに、また一次側ワイヤロープ4はワイヤホルダを介してプーリー5aに夫々係止する。この移動テーブル8には、二次側ワイヤロープ6を平行に配設した直線ガイド(ガイドロッド)7を貫通して移動テーブル8は予め定めたコースを直線的に、かつ所定の移動範囲内で往復運動を行うようにする。
【0012】
従って上述のごとく構成するクランクスライダ機構20は、モータ1の半回転によりロッド3の先端に係合されたプーリ5a,5bの直線移動として得られるので、モータ1の半回転停止をさせるために位置センサ9を配置している。この時、プーリ5aを1次側ワイヤロープ4で支持する必要があるので、ワイヤ止具(ワイヤテンショナ)10を用いている。なお、図示は省略するが、プーリ5aを直線ガイド機構で支えて1次側ワイヤロープ4の作用を補助することも有効である。
【0013】
2倍ストローク機構は緊張した1次側ワイヤロープ4と2次側ワイヤロープ6をそれぞれ巻き付けたプーリ5a,5bの回動作用によって行われるので、スリップしないようにワイヤの巻き付きをワイヤホルダ11でプーリ5a,5bにそれぞれ固定している。これにより、プーリ5aは1次側ワイヤロープ4との巻き付き作用で、1次側ストロークの直線移動に伴って回転を与えられる。この回転により2次側ワイヤロープ6に巻き付いているプーリ5bも同時に回転するので、結果的に、2次側ワイヤロープ6が2倍の直線移動をすることになる。このとき、2次側の直線移動は直線ガイド7で支えて移動テーブル8の2位置間の移動、停止作用として得る。
【0014】
直線ガイド7は図1に示した2本ロッドの形態の他、図示を省略するが、1本の回り止め付きガイドレール形態でもこの作用が得られる。なお、すべての軸受やガイド部分はコロガリ接触構造の機械要素を用いることにより、本作用を有効に発揮することができる。
【0015】
【発明の効果】
本発明の直線移動装置によれば、クランプスライダ機構と、このクランプスライダ機構先端に突設した同期して回転する2つのプーリーに、2条のワイヤロープを係止して巻き付けているので、バックラッシの生じない滑かな運動の直線移動を得ることができるとともに、移動テーブルのストロークを2倍とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の直線移動装置の一実施例を示す斜視図である。
【図2】 従来の直線移動装置を示す説明図である。
【符号の説明】
1 モータ
2 旋回アーム
3 ロッド
4 1次側ワイヤロープ
5 プーリ
6 2次側ワイヤロープ
7 直線ガイド
8 移動テーブル
9 位置センサ
10 ワイヤテンショナ
11 ワイヤホルダ
12 エアシリンダ
13 ロッド
14 ピニオン
15 固定側ラック
16 可動側ラック
17 直線ガイド
Claims (1)
- モータの回転運動を往復運動に変換するクランクスライダ機構と、このクランクスライダ機構の先端に突設した支軸に支持した同期して回転する2つのプーリーと、この一方のプーリーに支承する固定側の一次側ワイヤーロープと、他方のプーリーに支承する二次側ワイヤーロープとよりなり、この二次側ワイヤロープを可動側の移動体に張設支承することにより、移動体を一次側ワイヤロープに対し2倍のストロークで移動させることを特徴とする直線移動装置。
Priority Applications (1)
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JP02843496A JP3851676B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 直線移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP02843496A JP3851676B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 直線移動装置 |
Publications (2)
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Family
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Family Applications (1)
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JP02843496A Expired - Fee Related JP3851676B2 (ja) | 1996-01-22 | 1996-01-22 | 直線移動装置 |
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