JP3847589B2 - ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3847589B2 JP3847589B2 JP2001259072A JP2001259072A JP3847589B2 JP 3847589 B2 JP3847589 B2 JP 3847589B2 JP 2001259072 A JP2001259072 A JP 2001259072A JP 2001259072 A JP2001259072 A JP 2001259072A JP 3847589 B2 JP3847589 B2 JP 3847589B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- beads
- carbon
- oxide
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Catalysts (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カーボンナノチューブ(以下、CNTという)の製造方法に係り、特にそのCNTの一部にビーズ(直方体、多面体、節、串団子型、数珠)を有するCNTの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
CNTは、炭素の同素体で径がナノサイズの細長い円筒状の微細な材料である。そのCNTはアスペクト比が大きく、フレキシブルで機械的に強靱であり、物理的・化学的に安定である等の特性を有し、電子エミッタ等の新しい電子材料、水素貯蔵材、ナノツールやナノ光デバイス等への応用が期待されている〔例えば、応用物理 第69巻 第12号 pp1429−1433(2000)参照〕。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、CNTは本質的に未結合手を含まず、欠陥も殆どない。そのためにチューブの表面は滑らかであり、固着性が悪い。また、CNTを樹脂等に混入し強度を増加させる応用(コンポジット材)においては、歯止めがなく混入物を造ることが困難である。
【0004】
ところで、CNTをヘアブラシ状に作製し、電子エミッタや帯電ブラシに応用する際、CNT束に適度な間隔を持たせると性能が向上する。この間隔を適度にまばらにするためには、チューブの途中にビーズがあることが好ましい。
【0005】
そこで、チューブの途中に瘤を造る報告が「文献:Jyh−Ming Ting and B.C.Lan Applied Physics Letters Vol.75 No.21 pp3309−3311(1999)」で提案されている。これによれば、1300℃以上の高温でのCVDで滑らかな球状のビーズを作製している。
【0006】
本発明は、上記状況に鑑みて、簡単な構成で、チューブの途中にカーボンナノチューブからの立ち上がり角が大きい、ビーズが繰り返し形成されるビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、炭素含有ガスを原料ガスとして、ITO膜がコーティングされた基板上に、触媒としてFe+In(In膜、該In膜上にFe膜を積み上げた積層膜)、Fe+In+In/O(Inの酸化物の上にIn膜、該In膜上にFe膜を積み上げた積層膜)、Fe+In+In/O+Sn/O(Snの酸化物膜の上にInの酸化物膜を積層し、該Inの酸化物膜の上にIn膜、さらに該In膜上にFe膜を積み上げた積層膜)、Fe/O+In(In膜、該In膜上にFeの酸化膜を積み上げた積層膜)、Fe/O+In+In/O(Inの酸化物の上にIn膜、該In膜上にFeの酸化膜を積み上げた積層膜)、またはFe/O+In+In/O+Sn/O(Snの酸化物膜上にInの酸化物膜と、該Inの酸化物膜上にIn膜、さらに該In膜上にFeの酸化物膜を積み上げた積層膜)が形成された第1の領域と前記ITO膜が露出した第2の領域が交互にストライプ状にパターン化された基板を600〜1000℃に加熱し、CVD法により、前記基板上にナノチューブから立ち上がるビーズを繰り返し形成することを特徴とする。
【0008】
〔2〕上記〔1〕記載のビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、前記露出したITO膜上にナノチューブからの立ち上がり角が45度以上のビーズを繰り返し形成することを特徴とする。
【0009】
〔3〕上記〔1〕記載のビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、前記露出したFe膜又はFe酸化物上にナノチューブからの立ち上がり角が45度以上のビーズを繰り返し形成することを特徴とする。
【0010】
〔4〕上記〔1〕〜〔3〕の何れか一項記載のビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、前記炭素含有ガスはアセチレン、エチレン、炭化水素、炭素化合物又はアルコールであることを特徴とする。
【0011】
上記のように、本発明は、カーボンナノチューブとビーズから構成された炭素構造物であって、ナノチューブの径は数十ナノメートル、ビーズ径は数百ナノメートルで、ビーズ形状は球、直方体、多面体や花弁状などである。
【0012】
その製法は、Fe、InとIn及びSnの酸化物を触媒として、炭素含有ガスを原料ガスとする化学気相成長法で、基板温度は600〜1000℃、好ましくは620〜800℃に加熱する。全面ITO付きのガラス基板に、部分的に10nm厚のInと15nm厚のFeを積層し、ヘリウムベースで23%のアセチレンを流し、700℃、数十分の加熱をした。特に、露出したITO上には多面体や花弁状のビーズ付きCNTが形成された。Fe表面にはビーズが連なった数珠状のCNTができる。FeとITOのみではナノコイルになるが、Inをプラスすることでビーズ状になる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0014】
図1は本発明の実施例のビーズ付きカーボンナノチューブの製造装置の模式図であり、図1(a)はその製造装置の全体図、図1(b)はその石英ボードの斜視図である。
【0015】
この図において、1は原料ガスとしての炭素含有ガス(アセチレン、エチレンである。他に炭化水素、炭素化合物、アルコールでもよい)。ここでは、アセチレンを用いた。2は反応管であり、石英製で外径30mmである。3は電気炉、4は石英ボード、5はその石英ボード4上に搭載される触媒付きの基板、6はサーモカップル、7は水冷却装置、8はオイル槽である。
【0016】
そこで、炭素含有ガス1を原料ガスとして、触媒の存在のもと、基板5を電気炉3で600〜1000℃に加熱し、常圧CVD法により石英ボード4上の触媒付きの基板5上にナノチューブから立ち上がり角が45度以上のビーズを繰り返し形成する。その触媒付きの基板5は、その基板上に触媒として約10nm厚のインジウムと約15nm厚の鉄をストライプ状に蒸着するものとした。より詳細には、そのストライプは2mm×5mmの領域に幅1mm、ピッチ2mm、2本のストライプ、または、2mm×0.4mmの領域に幅0.2mm、ピッチ0.4mm、5本のストライプとした。
【0017】
また、ガス及び温度は、Heガスを260sccm流しながら15℃/minで温度上昇させる。Heガスは、酸化防止のために用い、所定温度でアセチレン(C2 H2 )を60sccm流す。所定温度は600〜800℃、キープ時間は5〜60分、1例としては、700℃,50分間である。
【0018】
基板は2種類あり、第1のタイプは、全面ITO(膜厚300nm)付きガラス基板であり、第2のタイプは、石英ガラス(ITOなし)基板である。
【0019】
以下、具体例について詳細に説明する。
【0020】
図1に示すように、大気圧で流通反応装置を用い、カーボンナノ構造を合成した。反応チャンバーは30mm径、700mm長の石英管2で、円筒状の電気炉(450mm長)3で内包されている。石英管2の中心部は、等温領域(isothermal region)(約50mm長)であり、基板5を円筒状の石英ボード4の等温領域に配置する。
【0021】
図2は本発明の実施例の第1のタイプの基板(ITOコーティングしたガラス基板)の斜視図である。
【0022】
この図に示すように、基板は、ITO膜12にコーティングされたガラス基板11とした。ITO膜12の膜厚は300nmである。比較のため、図5に示すような、基板としての石英基板21も用いた。これらの基板11,21は、真空蒸発により、シャドーマスクを通して、〜15nm厚のFe膜14,23と、〜10nm厚のIn膜13,22から成る積層膜(Fe/In)でストライプ状にパターン化した。
【0023】
パターン化した領域の大きさは、2mm間隔のピッチで2mm×5mm、または0.4mm間隔のピッチで2mm×0.4mmである。図2に示すように、Fe/In/ITO領域を(A)、ITO領域を(B)とした。
【0024】
図3は図2の領域(A)に生成されるカーボンナノチューブのSEMイメージ図である。反応温度は、ナノコイル合成の最適温度である680℃から725℃の範囲とした。
【0025】
基板温度は、ヘリウム雰囲気で15℃min-1に上昇した。遷移金属の酸化を防ぐために、ヘリウムガスを、反応温度に到達するまで反応装置に流入させた。次に、23%のヘリウムの流れを、260sccmのトータル流量で、アセチレンに置き換えた。このアセチレンの流れは、ヘリウムに置き換えるまでの50分間保持した。基板11は、ヘリウムの周囲空気(ambient)でゆっくりと室温へ冷却した。その後、走査電子顕微鏡(SEM)(S−4500,Hitachi)を用いて試料の特性を調べた。
【0026】
図3によれば、基部に成長したナノチューブやナノコイルに加えて、高率で成長したブッシュ状の構造が観察できる〔図3(a)参照〕。領域(A)では高頻度でブッシュが見られる。
【0027】
また、図3(b)の拡大SEM写真で示すように、ブッシュの茎すなわちナノチューブは、緻密な数珠玉のように見える構造を有している。
【0028】
図3(c)に示すように、領域(A)では太い棒状の構造もしばしば観察される。
【0029】
図3(d)の拡大SEM写真は、その太い棒状の構造が互いに連結したチャプレット、またはナノチューブに連結した高密度なチャプレットで構成されることを示している。
【0030】
一方、図4は、図2の領域(B)に生成されるカーボンナノチューブのSEM写真である。
【0031】
図4(a)は、領域(B)のブッシュ構造を示している。このブッシュも、種粒子から成長したものであると考えられる。なぜならば、いくつかの粒子がSEM写真上に出現しているからである。
【0032】
また、図4(b)に示すように、このブッシュの数珠玉は花びらの形状をしている。この種類のブッシュは領域(B)に大変多く観察される。ブッシュが異なれば、数珠玉の形状も異なる。すなわち、種が異なれば、異なる形状の数珠玉が生成される。ここでは、球形、立方体、多面体、花びら状等多様な形状が見られた。
【0033】
球形、多面体の例を、それぞれ図4(c)、図4(d)に示す。ナノチューブの直径、数珠玉の直径または一辺の長さはそれぞれ、40〜100nm、200〜400nmである。
【0034】
ナノチャプレットの成長は、In膜13をFe膜14とITO膜12の間に挿入することによるものである。なぜならば、Fe膜14がコートされたITO膜12は、カーボンナノコイルを生成するのに最良の触媒だからである。この基板を用いたナノコイルの生成率は95%以上である。
【0035】
さらに、ナノコイルが、Fe膜13がコートされないITO膜12上には成長せず、Fe膜13がコートされたITO膜12の近傍であっても成長しないことを確かめた。では、この実験でなぜ、Fe/InでコーティングされないITO領域(B)上に、ナノチャプレットが成長したのか。この理由を理解するために、基板として、図5に示すように、ITOコーティングされたガラス基板11の代わりに石英基板21上にストライプ状のFe膜23上にIn膜22を形成したもの(第2のタイプ)を用いた。
【0036】
図5において、Fe/Inコーティングされた領域を(C)、Fe/Inコーティングされていない領域を(D)とした。
【0037】
図6(a)は領域(C)、図6(b)は領域(D)に成長したナノ構造を示す。
【0038】
その領域(C)では、ブッシュ形状の構造が、高い成長率で形成され、足下には、ナノチューブとナノコイルも成長しており、領域(A)と類似している。しかしながら、図3(a)に見られる構造は観察されていない。
【0039】
領域(D)では、花びら形状の粒子が散乱しており、集まった花びら状粒子から、薄片を有するナノチューブが成長している。
【0040】
このことは、Fe/In薄膜22,23が、プロセス時の温度で、化合物の小粒子に変化し、最初のFe/In薄膜領域(C)の端部付近にある小粒子は、Fe/Inでコーティングされない領域(D)へ移動するために起こる。こうした粒子のいくつかは、カーボンナノ構造を成長させるための種となる。
【0041】
図6(b)に示すような自己組織形状を有する粒子は、カーボンとともにFeおよびInを含むと考えられる。理論的に、同様の現象が、ITOコーティングされた基板上で起こると考えられる。図4(a)で現れた粒子は、領域(A)から移動してきたものであるが、さらに、ITOの存在により、生成物に多様性がもたらされる。特に、図4に示される領域(B)では、多種多様な数珠玉の美しい構造が形成されている。
【0042】
では、チャプレットはどのようにして形成されるのか。これには二つの方法が考えられる。
【0043】
一つは、触媒に誘導された種が、ある間隔をおいてカーボン原子を呼吸し、一連のチャプレットを形成するというものである。アセチレンのソース分子が、活性化した原子に到達し、次に、水素原子が離脱して、カーボン原子が種と結合する。種は、カーボンが低濃度の時はナノチューブを形成し、カーボン濃度がある閾値を超える時は数珠玉を形成する。また、Inが高い濃度である場合に、呼吸を誘導すると考えられる。なぜならば、Inはチャプレットを形成するための主要な物質であるからである。
【0044】
もう一つの方法は、触媒を周期的間隔で含むナノチューブが成長し、その後ナノチューブ上に数珠玉が成長するというものである。
【0045】
最も考えられるのは前者のモデルである。もし、後者の方法によるものだとしたら、先端付近の数珠玉が、基部付近のものより大きくなる。なぜならば、チャプレットは種から成長するからである。後者のモデルの場合は、種の触媒の量は、ナノチューブの成長の間に減少し、その結果、長いチャプレットおよび/または多数のチャプレットが、一つの種から成長することは困難となる。
【0046】
また、領域(A)の生成物は、領域(B)のものより高い密度のチャプレットを有している。これは、種におけるFe/Inの濃度が領域(B)より領域(A)の方が高いことに関係している。種におけるFe/Inの濃度が低い場合、呼吸の間隔が長くなり、これにより数珠玉同士の距離が長くなる。数珠玉の形状は、種の形状、および/または、種の触媒成分の濃度分布により決定すると推測できる。
【0047】
チャプレットは、電子エミッタおよびナノメートルスケールの電子材料に利用できる可能性がある。電子エミッタの場合は、ブッシュ構造であることに利点がある。すなわち、ブッシュ構造の先端が常にナノチューブであるため、密度が高すぎて先端の電界を減じることがない。さらにチャプレットは、コンポジット材料の素子として通常のナノチューブより優れていると期待できる。つまり、ホスト材料の電気的導電性および/または機械的特性を高めるのである。なぜならば、ナノチューブで生まれた数珠玉が、ナノチューブがコンポジット材料においてスリップするのを防ぐからである。
【0048】
このようにして、熱触媒化学気相成長法によりカーボンナノチャプレットを合成した。そして、多様な形状の数珠玉を有するナノチャプレットを、ITO上で、Fe/Inの散乱化合物から得た。観察されたナノチャプレットのナノチューブは直径40〜100nm、数珠玉は、一辺または直径が200〜400nmである。一つの種から成長したナノチャプレットは、同じ形状の数珠玉を有する。
【0049】
なお、基板温度は600〜1000℃(好ましくは620〜800℃)である。なぜなら、600℃以下の低温では触媒が活性にならず、また、1000℃以上の高温では、炭素含有ガスの熱分解による炭素膜が、目的とするナノ構造物に堆積し、太くなってしまう。
【0050】
このようにして得られたビーズ付きカーボンナノチューブは、コンポジット材(高機能素材、高強度、高電気伝導性、高熱伝導性)、電子エミッタ、マイクロマシーンのギア、電池電極材料、電磁波遮蔽材料などに用いることができる。
【0051】
また、FeとInを微粒化した触媒を用いる製法も可能であり、またITO基板上での生成は大量生産に適した方法である。
【0052】
このように、本発明は、新規な形状のCNTであり、コンポジット材のみならず、各種のCNTの実用化に有益な構造、大量生産可能な製法を提供するものである。
【0053】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0054】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【0055】
(A)チューブの途中にカーボンナノチューブから立ち上がり角が大きい、ビーズが繰り返し形成される、ビーズ付きカーボンナノチューブを得ることができる。
【0056】
(B)ナノチューブで生まれたビーズが、ナノチューブがコンポジット材料においてスリップするのを防ぐことができる。
【0057】
(C)また、FeとInを微粒化した触媒を用いる製法も可能であり、更に、ITO基板上での生成は大量生産に適した方法である。
【0058】
(D)新規な形状のCNTであり、コンポジット材のみならず、各種のCNTの実用化に有益な構造、大量生産可能な製法を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例のビーズ付きカーボンナノチューブの製造装置の模式図である。
【図2】 本発明の実施例の第1のタイプの基板(ITOコーティングしたガラス基板)の斜視図である。
【図3】 図2の領域(A)に生成されるカーボンナノチューブのSEM写真(図面代用写真)である。
【図4】 図2の領域(B)に生成されるカーボンナノチューブのSEM写真(図面代用写真)である。
【図5】 参照例を示す第2のタイプの基板(石英基板)の斜視図である。
【図6】 図5の領域(C)と(D)に生成されるカーボンナノチューブのSEM写真(図面代用写真)である。
【符号の説明】
1 原料ガスとしての炭素含有ガス
2 反応管(石英管)
3 電気炉
4 石英ボード
5 触媒付きの基板
6 サーモカップル
7 水冷却装置
8 オイル槽
11 ガラス基板
12 ITO膜
13,22 In膜
14,23 Fe膜
21 石英基板
Claims (4)
- ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、炭素含有ガスを原料ガスとして、ITO膜がコーティングされた基板上に、触媒としてFe+In(In膜、該In膜上にFe膜を積み上げた積層膜)、Fe+In+In/O(Inの酸化物の上にIn膜、該In膜上にFe膜を積み上げた積層膜)、Fe+In+In/O+Sn/O(Snの酸化物膜の上にInの酸化物膜を積層し、該Inの酸化物膜の上にIn膜、さらに該In膜上にFe膜を積み上げた積層膜)、Fe/O+In(In膜、該In膜上にFeの酸化膜を積み上げた積層膜)、Fe/O+In+In/O(Inの酸化物の上にIn膜、該In膜上にFeの酸化膜を積み上げた積層膜)、またはFe/O+In+In/O+Sn/O(Snの酸化物膜上にInの酸化物膜と、該Inの酸化物膜上にIn膜、さらに該In膜上にFeの酸化物膜を積み上げた積層膜)が形成された第1の領域と前記ITO膜が露出した第2の領域が交互にストライプ状にパターン化された基板を600〜1000℃に加熱し、CVD法により、前記基板上にナノチューブから立ち上がるビーズを繰り返し形成することを特徴とするビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1記載のビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、前記露出したITO膜上にナノチューブからの立ち上がり角が45度以上のビーズを繰り返し形成することを特徴とするビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1記載のビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、前記露出したFe膜又はFe酸化物上にナノチューブからの立ち上がり角が45度以上のビーズを繰り返し形成することを特徴とするビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法。
- 請求項1〜3の何れか一項記載のビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法において、前記炭素含有ガスはアセチレン、エチレン、炭化水素、炭素化合物又はアルコールであることを特徴とするビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001259072A JP3847589B2 (ja) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001259072A JP3847589B2 (ja) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003063812A JP2003063812A (ja) | 2003-03-05 |
JP3847589B2 true JP3847589B2 (ja) | 2006-11-22 |
Family
ID=19086499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001259072A Expired - Fee Related JP3847589B2 (ja) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3847589B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005118473A1 (ja) * | 2004-06-04 | 2005-12-15 | Japan Science And Technology Agency | 原料吹き付け式高効率カーボンナノ構造物製造方法及び装置 |
JP2007115495A (ja) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Bussan Nanotech Research Institute Inc | 電子放出源 |
KR100824301B1 (ko) * | 2006-12-21 | 2008-04-22 | 세메스 주식회사 | 반응 챔버와 이를 포함하는 탄소나노튜브 합성 장치 및 설비 |
WO2008093661A1 (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Nec Corporation | ナノカーボン集合体、及び、その製造方法 |
JP5269037B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2013-08-21 | 公立大学法人大阪府立大学 | カーボンナノ構造物製造方法及び装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4841038A (ja) * | 1971-09-27 | 1973-06-16 | ||
JP3071536B2 (ja) * | 1992-01-09 | 2000-07-31 | 住友ベークライト株式会社 | 炭素繊維 |
JPH06146118A (ja) * | 1992-11-02 | 1994-05-27 | Osaka Gas Co Ltd | 炭素繊維およびその製造方法 |
JP3491747B2 (ja) * | 1999-12-31 | 2004-01-26 | 喜萬 中山 | カーボンナノコイルの製造方法及び触媒 |
JP4357163B2 (ja) * | 2001-08-03 | 2009-11-04 | 昭和電工株式会社 | 微細炭素繊維及びそれを含む組成物 |
-
2001
- 2001-08-29 JP JP2001259072A patent/JP3847589B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003063812A (ja) | 2003-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Golberg et al. | Boron nitride nanotubes and nanosheets | |
Ren et al. | Aligned carbon nanotubes: physics, concepts, fabrication and devices | |
CN100462301C (zh) | 一种碳纳米管阵列的制备方法 | |
JP3850380B2 (ja) | 炭素ナノチューブのマトリックスの成長方法 | |
JP5509595B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
US20090297846A1 (en) | Double-Walled Carbon Nanotube, Aligned Double-Walled Carbon Nanotube Bulk Structure and Process for Producing the Same | |
US9177745B2 (en) | Organic/inorganic composite comprising three-dimensional carbon nanotube networks, method for preparing the organic/inorganic composite and electronic device using the organic/inorganic composite | |
KR101535388B1 (ko) | 담지촉매, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 탄소나노구조체의 2차구조물 | |
JP5358045B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
Dhand et al. | Synthesis and comparison of different spinel ferrites and their catalytic activity during chemical vapor deposition of polymorphic nanocarbons | |
JP3847589B2 (ja) | ビーズ付きカーボンナノチューブの製造方法 | |
KR101313753B1 (ko) | 탄소나노플레이크의 성장 방법 및 이에 의해 형성된 탄소나노플레이크 구조물 | |
JP2003277029A (ja) | カーボンナノチューブ及びその製造方法 | |
Cho et al. | Carbon nanotube synthesis using a magnetic fluid via thermal chemical vapor deposition | |
Li et al. | Growth of carbon nanocoils using Fe–Sn–O catalyst film prepared by a spin-coating method | |
TW200800387A (en) | Catalyst for catalyzing carbon nanotubes growth | |
TW200800397A (en) | Method of preparing catalyst for catalyzing carbon nanotubes growth | |
KR101383821B1 (ko) | 금속지지체 상에 유도된 금속간화합물 나노촉매를 이용한 탄소나노튜브의 합성방법 및 이에 의하여 합성된 탄소나노튜브 구조체 | |
KR101415228B1 (ko) | 1차원 탄소 나노섬유의 합성 방법 | |
JP5500850B2 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
KR20140142838A (ko) | 탄소나노섬유 제조방법 및 이에 따라 제조된 탄소나노섬유 | |
KR100472123B1 (ko) | 중공형 나노 탄소섬유 제조법 | |
TWI338314B (en) | Electron emitter and method for making the same | |
Nakayama et al. | Synthesis of carbon nanochaplets by catalytic thermal chemical vapor deposition | |
Suda | Chemical Vapor Deposition of Helical Carbon Nanofibers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20031031 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040129 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040428 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051020 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20051020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060606 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060823 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |