JP3847113B2 - 高粘性難削材の切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製エンドミルまたはドリル - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、特にステンレス鋼や軟鋼などのきわめて粘性が高く、かつ切粉が切刃表面に溶着し易い難削材の高速切削加工に用いた場合に、切粉に対する表面潤滑性にすぐれ、この結果切刃に欠けやチッピング（微小欠け）などの発生なく、すぐれた切削性能を長期に亘って発揮する表面被覆超硬合金製エンドミルまたはドリル（以下、被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルと云う）に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
切削工具として、各種の鋼や鋳鉄などの被削材の穴あけ切削加工などに用いられる被覆超硬ドリルや被覆超硬ミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプの被覆超硬エンドミルが知られている。
【０００３】
また、いずれも炭化タングステン（以下、ＷＣで示す）基超硬合金からなるエンドミル基体またはドリル基体の表面に、（ａ）図１に概略説明図で示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレーティング装置を用い、ヒータで装置内を、例えば１．３×１０^-3Ｐａの真空雰囲気として、６５０℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を有するＴｉ−Ａｌ合金がセットされたカソード電極（蒸発源）との間に、例えば電圧：３５Ｖ、電流：９０Ａの条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガスとして窒素ガス、または窒素ガスとメタンガスを導入し、一方前記エンドミル基体またはドリル基体には、例えば−２００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、耐摩耗被覆層の下側硬質層として、組成式：（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｎおよび同（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｃ_1-Y Ｎ_Y （ただし、原子比で、Ｘは０．１〜０．７、Ｙは０．５〜０．９９を示す）を有するＴｉとＡｌの複合窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎで示す］層および複合炭窒化物［以下、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮで示す］層のうちのいずれかの単層、または両方の複層を０．１〜１０μｍの平均層厚で形成し、（ｂ）さらに、上記下側硬質層の表面に、同じアークイオンプレーティング装置にて、カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、かつ装置内に導入される反応ガスを酸素とし、パルスバイアス電圧を印加する以外は上記下側硬質層の蒸着形成条件と実質的に同じ条件で、酸化アルミニウム（以下、Ａｌ₂Ｏ₃で示す）層からなる上側硬質層を０．５〜１５μｍの平均層厚で形成することにより被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルを製造する試みがなされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
近年の切削加工装置のＦＡ化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化および省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに伴い、切削工具には１種類の工具でできるだけ多くの材種の被削材を切削加工できる汎用性が求められると共に、切削加工も高速化の傾向にあるが、上記の従来被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルにおいては、これを鋼や鋳鉄などの通常の条件での切削加工に用いた場合には問題はないが、これをきわめて粘性の高いステンレス鋼や軟鋼などの被削材の高速切削に用いた場合には、これら被削材の切粉は、耐摩耗被覆層を構成するＡｌ₂Ｏ₃層や、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層および（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ層に対する親和性が高いために、切刃表面に溶着し易く、この溶着現象は切削加工が高速化すればするほど顕著に現れるようになり、この溶着現象が原因で切刃に欠けやチッピングが発生し、この結果比較的短時間で使用寿命に至るのが現状である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、特にステンレス鋼や軟鋼などの高速切削加工に用いた場合にも、切刃表面に切粉の溶着し難い被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルを開発すべく、特に上記の従来被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルに着目し、研究を行った結果、
上記の従来被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルの表面に、同じくアークイオンプレーティング装置を用い、カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、反応ガスとして窒素ガスを導入して窒化アルミニウム（以下、ＡｌＮで示す）層を形成すると、この結果の被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルにおいては、前記ＡｌＮ層の被削材、特にステンレス鋼や軟鋼などの粘性の高い難削材に対する親和性がきわめて低く、これは高い発熱を伴う高速切削加工でも変わらず、この結果切刃に切粉が溶着することがない、すなわち前記ＡｌＮ層がすぐれた表面潤滑性を発揮することから、切刃に欠けやチッピングの発生がなくなり、耐摩耗被覆層を構成する上記上側硬質層および下側硬質層によってもたらされるすぐれた耐摩耗性と相俟って、長期に亘ってすぐれた切削性能を発揮するようになる、という研究結果を得たのである。
【０００６】
この発明は、上記の研究結果にもとづいてなされたものであって、アークイオンプレーティング装置にて、ＷＣ基超硬合金で構成されたエンドミル基体またはドリル基体の表面に、
（ａ）カソード電極（蒸発源）としてＴｉ−Ａｌ合金を用い、反応ガスとして窒素ガス、またはメタンガスと窒素ガスを導入して形成された、組成式：（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｎおよび同（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｃ_1-Y Ｎ_Y （ただし、原子比で、Ｘは０．１〜０．７、Ｙは０．５〜０．９９を示す）を有する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層および（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ層のうちのいずれか単層、あるいは両方の複層からなり、かつ０．１〜１０μｍの平均層厚を有する下側硬質層、
（ｂ）カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、反応ガスとして酸素を導入して形成されたＡｌ₂ Ｏ₃層からなり、かつ０．５〜１５μｍの平均層厚を有する上側硬質層、（ｃ）カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、反応ガスとして窒素ガスを導入して形成されたＡｌＮ層からなり、かつ０．５〜１５μｍの平均層厚を有する表面潤滑層、以上（ａ）〜（ｃ）で構成した耐摩耗被覆層を形成してなる、高粘性難削材の切粉に対する表面潤滑性にすぐれた被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルに特徴を有するものである。
【０００７】
つぎに、この発明の被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルにおいて、これの耐摩耗被覆層の構成層について、上記の通り数値限定した理由を説明する。
（１）表面潤滑層
表面潤滑層を構成するＡｌＮ層には、上記の通り特に粘性の高いステンレス鋼や軟鋼などの被削材に対してすぐれた潤滑性を発揮する作用があるが、その平均層厚が０．５μｍ未満では所望のすぐれた表面潤滑性を確保することができず、一方この表面潤滑性付与作用は１５μｍまでの平均層厚で十分であることから、その平均層厚を０．５〜１５μｍと定めた。
【０００８】
（２）上側硬質層
上側硬質層を構成するＡｌ₂Ｏ₃層は、すぐれた高温硬さと耐熱性を有し、上記の下側硬質層と共存した状態で耐摩耗被覆層の耐摩耗性を一段と向上させる作用があるが、その平均層厚が０．５μｍでは所望のすぐれた耐摩耗性を確保することができず、一方その平均層厚が１５μｍを越えると、耐摩耗被覆層にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を０．５〜１５μｍと定めた。
【０００９】
（３）下側硬質層
下側硬質層を構成する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層および（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ層には、耐摩耗被覆層に硬さと靭性を付与せしめ、もってチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を上側硬質層との共存において発揮する作用がある。すなわち前記下側硬質層におけるＡｌは高靭性を有するＴｉＮに対して硬さを高め、もって耐摩耗性を向上させるために固溶するものであり、したがって組成式：（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｎおよび同（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｃ_1-Y Ｎ_Y のＸ値が０．１未満では所望の硬さ向上効果が得られず、一方その値が０．７を越えると、耐摩耗被覆層にチッピングが発生し易くなると云う理由によりＸ値を０．１〜０．７（原子比）と定めたものであり、また、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ層におけるＣ成分には、さらに硬さを向上させる作用があるので、（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ層は上記（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層に比して相対的に高い硬さをもつが、この場合Ｃ成分の割合が０．０１未満、すなわちＹ値が０．９９を越えると所定の硬さ向上効果が得られず、一方Ｃ成分の割合が０．５を越える、すなわちＹ値が０．５未満になると靭性が急激に低下するようになることから、Ｙ値を０．５〜０．９９、望ましくは０．５５〜０．９と定めたのである。
また、この場合その平均層厚が０．１μｍ未満では所望のすぐれた耐摩耗性を確保することができず、一方その層厚が１０μｍを越えると、耐摩耗被覆層にチッピングが発生し易くなることから、その平均層厚を０．１〜１０μｍと定めた。
【００１０】
【発明の実施の形態】
ついで、この発明の被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルを実施例により具体的に説明する。
（実施例１）
原料粉末として、平均粒径：５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍのＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒＣ粉末、同２．３μｍのＣｒ₃Ｃ₂粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ粉末、および同１．８μｍのＣｏ粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表１に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの３種の基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、表１に示される組合せで、切刃部の直径×長さがそれぞれ６ｍｍ×１３ｍｍ、１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍｍの寸法をもったエンドミル基体ａ〜ｈをそれぞれ製造した。
【００１１】
ついで、これらのエンドミル基体ａ〜ｈの表面を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、図１に例示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、一方カソード電極（蒸発源）として種々の成分組成をもったＴｉ−Ａｌ合金を装着し、
装置内を排気して１．３×１０^-3Ｐａの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、Ａｒガスを装置内に導入して２．５ＰａのＡｒ雰囲気とし、この状態でエンドミル基体に−８００Ｖのバイアス電圧を印加して前記基体表面をＡｒガスボンバート洗浄し、
ついで装置内を１．３×１０^-3Ｐａの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を６００〜７００℃の範囲内の所定の温度に加熱した状態で、装置内に反応ガスとして窒素ガス、または窒素ガスとメタンガスを導入して２．８Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記基体に印加するバイアス電圧を−１５０Ｖに下げて、前記カソード電極とアノード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記基体のそれぞれの表面に、表２に示される目標組成および目標層厚の（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層および（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ層うちのいずれかの単層、あるいは両方の複層で構成された下側硬質層を形成し、
つぎにカソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、アノード電極との間にアーク放電を発生させ、装置内に反応ガスとして酸素を導入して１．３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記基体に印加するパルスバイアス電圧を−３００Ｖとする以外は前記下側硬質層形成条件と同一の条件で、前記下側硬質層の表面に、同じく表２に示される目標層厚のＡｌ₂Ｏ₃層を上側硬質層を形成し、さらに装置内に反応ガスとして窒素ガスを導入して３Ｐａの反応雰囲気とすると共に、前記基体に印加するパルスバイアス電圧を−２８０ｖとする以外は前記上側硬質層形成条件と同一の条件で、前記上側硬質層の表面に、同じく表２に示される目標層厚のＡｌＮ層を表面潤滑層として形成することにより、図２（ａ）に概略正面図で、同（ｂ）に切刃部の概略横断面図で示される形状を有する本発明被覆超硬エンドミル１〜８をそれぞれ製造した。
【００１２】
また、比較の目的で、表３に示される通り、表面潤滑層の形成を行なわない以外は、それぞれ上記の本発明被覆超硬エンドミル１〜８の製造条件と同じ条件で同じく図２に示される形状をもった比較被覆超硬エンドミル１〜８をそれぞれ製造した。
【００１３】
つぎに、上記本発明被覆超硬エンドミル１〜８および比較被覆超硬エンドミル１〜８のうち、本発明被覆超硬エンドミル１〜３および比較被覆超硬エンドミル１〜３については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度：６５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：３ｍｍ、
テーブル送り：１３０ｍｍ／分、
の条件でのステンレス鋼の湿式高速溝切削加工試験（水溶性切削油使用）、本発明被覆超硬エンドミル４〜６および比較被覆超硬エンドミル４〜６については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ１５Ｃの板材、
切削速度：７８ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：５ｍｍ、
テーブル送り：１２０ｍｍ／分、
の条件での軟鋼の乾式高速溝切削加工試験、本発明被覆超硬エンドミル７，８および比較被覆超硬エンドミル７，８については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度：５５ｍ／ｍｉｎ．、
溝深さ（切り込み）：８ｍｍ、
テーブル送り：６０ｍｍ／分、
の条件でのステンレス鋼の湿式高速溝切削加工試験（水溶性切削油使用）をそれぞれ行い、いずれの溝切削加工試験でも切刃部先端面の直径が使用寿命の目安とされる０．１ｍ減少するまでの切削溝長を測定した。この測定結果を表２，３にそれぞれ示した。
【００１４】
【表１】

【００１５】
【表２】

【００１６】
【表３】

【００１７】
（実施例２）
上記の実施例１で製造した直径が８ｍｍ（エンドミル基体ａ〜ｃ形成用）、１３ｍｍ（エンドミル基体ｄ〜ｆ形成用）、および２６ｍｍ（エンドミル基体ｈ形成用）の３種の丸棒焼結体を用い、この３種の丸棒焼結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ（ドリル基体ａ′〜ｃ′）、８ｍｍ×２２ｍｍ（ドリル基体ｄ′〜ｆ′）、および１６ｍｍ×４５ｍｍ（ドリル基体ｈ′）の寸法をもったドリル基体ａ′〜ｆ′およびｈ′をそれぞれ製造した。
【００１８】
ついで、これらのドリル基体ａ′〜ｆ′およびｈ′の表面に、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図１に例示される通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実施例１と同じ条件で、表４に示される目標組成および目標層厚をもった（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層および（Ｔｉ，Ａｌ）ＣＮ層のうちのいずれかの単層、あるいは両方の複層からなる下側硬質層、Ａｌ₂Ｏ₃層からなる上側硬質層、およびＡｌＮ層からなる表面潤滑層で構成された耐摩耗被覆層を形成することにより、図３（ａ）に概略正面図で、同（ｂ）に溝形成部の概略横断面図で示される形状を有する本発明被覆超硬ドリル１〜７をそれぞれ製造した。
【００１９】
また、比較の目的で、表５に示される通り、表面潤滑層の形成を行なわない以外は、それぞれ上記の本発明被覆超硬ドリル１〜７の製造条件と同じ条件で同じく図３に示される形状をもった比較被覆超硬ドリル１〜７をそれぞれ製造した。
【００２０】
つぎに、上記本発明被覆超硬ドリル１〜７および比較被覆超硬ドリル１〜７のうち、本発明被覆超硬ドリル１〜３および比較被覆超硬ドリル１〜３については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度：４８ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．１５ｍｍ／ｒｅｖ．、
の条件でのステンレス鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験、本発明被覆超硬ドリル４〜６および比較被覆超硬ドリル４〜６については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の板材、
切削速度：５２ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．２０ｍｍ／ｒｅｖ．、
の条件でのステンレス鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験、本発明被覆超硬ドリル７および比較被覆超硬ドリル７については、
被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５０ｍｍのＪＩＳ・Ｓ１５Ｃの板材、
切削速度：１１０ｍ／ｍｉｎ．、
送り：０．２５ｍｍ／ｒｅｖ．、
の条件での軟鋼の湿式高速穴あけ切削加工試験、
をそれぞれ行い、いずれの湿式（水溶性切削油使用）高速穴あけ切削加工試験でも先端切刃面の逃げ面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定した。この測定結果を表４，５にそれぞれ示した。
【００２１】
【表４】

【００２２】
【表５】

【００２３】
なお、この結果得られた本発明被覆超硬エンドミル１〜８および本発明被覆超硬ドリル１〜７、さらに比較被覆超硬エンドミル１〜７および比較被覆超硬ドリル１〜７の耐摩耗被覆層について、その構成層のそれぞれの厚さ方向中央部の組成をオージェ分光分析装置を用いて測定すると共に、前記耐摩耗被覆層の構成層の厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断面測定したところ、いずれも目標組成および目標層厚と実質的に同じ値を示した。
【００２４】
【発明の効果】
表２〜５に示される結果から、表面潤滑層としてのＡｌＮ層を形成した本発明被覆超硬エンドミル１〜８および本発明被覆超硬ドリル１〜７は、いずれもステンレス鋼や軟鋼の切削加工を高い発熱を伴う高速で行っても、前記ＡｌＮ層が高温加熱の切粉との親和性がきわめて低く、切粉が前記ＡｌＮ層に溶着することがなく、切刃は常にすぐれた表面潤滑性を維持することから、切刃への切粉溶着が原因のチッピングが切刃に発生することがなく、同じく構成層として共存する上側硬質層と下側硬質層の作用と相俟って、すぐれた耐摩耗性を発揮するのに対して、前記ＡｌＮ層の形成のない比較被覆超硬エンドミル１〜８および比較被覆超硬ドリル１〜７においては、切粉が耐摩耗被覆層に溶着し易く、これが原因で耐摩耗被覆層が局部的に剥がし取られることから、切刃にチッピングが発生し、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
上述のように、この発明の被覆超硬エンドミルまたは被覆超硬ドリルは、各種の鋼や鋳鉄などの通常の条件での切削加工は勿論のこと、特に粘性が高く、切粉が切刃表面に溶着し易いステンレス鋼や軟鋼などの高速切削加工でも切粉に対してすぐれた表面潤滑性を発揮し、汎用性のある切削性能を示すものであるから、切削加工装置のＦＡ化並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 アークイオンプレーティング装置の概略説明図である。
【図２】 （ａ）は被覆超硬エンドミルの概略正面図、（ｂ）は同切刃部の概略横断面図である。
【図３】 （ａ）は被覆超硬ドリルの概略正面図、（ｂ）は同溝形成部の概略横断面図である。

Claims (2)

1. アークイオンプレーティング装置にて、炭化タングステン基超硬合金で構成されたエンドミル基体の表面に、
   （ａ）カソード電極（蒸発源）としてＴｉ−Ａｌ合金を用い、反応ガスとして窒素ガス、またはメタンガスと窒素ガスを導入して形成された、組成式：（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｎおよび同（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｃ_{1- Ｙ} Ｎ_Ｙ （ただし、Ｘは０．１〜０．７、Ｙは０．５〜０．９９を示す）を有するＴｉとＡｌの複合窒化物層およびＴｉとＡｌの複合炭窒化物層のうちのいずれかの単層、または両方の複層からなり、かつ０．１〜１０μｍの平均層厚を有する下側硬質層、
   （ｂ）カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、反応ガスとして酸素を導入して形成された酸化アルミニウム層からなり、かつ０．５〜１５μｍの平均層厚を有する上側硬質層、
   （ｃ）カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、反応ガスとして窒素ガスを導入して形成された窒化アルミニウム層からなり、かつ０．５〜１５μｍの平均層厚を有する表面潤滑層、
   以上（ａ）〜（ｃ）で構成された耐摩耗被覆層を形成してなる、高粘性難削材の切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製エンドミル。
2. アークイオンプレーティング装置にて、炭化タングステン基超硬合金で構成されたドリル基体の表面に、
   （ａ）カソード電極（蒸発源）としてＴｉ−Ａｌ合金を用い、反応ガスとして窒素ガス、またはメタンガスと窒素ガスを導入して形成された、組成式：（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｎおよび同（Ｔｉ_1-X Ａｌ_X ）Ｃ_{1- Ｙ} Ｎ_Ｙ （ただし、Ｘは０．１〜０．７、Ｙは０．５〜０．９９を示す）を有するＴｉとＡｌの複合窒化物層およびＴｉとＡｌの複合炭窒化物層のうちのいずれかの単層、または両方の複層からなり、かつ０．１〜１０μｍの平均層厚を有する下側硬質層、
   （ｂ）カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、反応ガスとして酸素を導入して形成された酸化アルミニウム層からなり、かつ０．５〜１５μｍの平均層厚を有する上側硬質層、
   （ｃ）カソード電極（蒸発源）として金属Ａｌを用い、反応ガスとして窒素ガスを導入して形成された窒化アルミニウム層からなり、かつ０．５〜１５μｍの平均層厚を有する表面潤滑層、
   以上（ａ）〜（ｃ）で構成された耐摩耗被覆層を形成してなる、高粘性難削材の切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製ドリル。

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