JP3841188B2 - 集光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体プロセスにおけるプラズマエッチング(ドライエッチ)時間終点検出装置に用いられる集光装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体プロセスにおけるプラズマエッチングに用いられるプラズマエッチャーは、例えば図8に示すようにチャンバ1内に反応ガスを流しながら半導体ウェハ2を挟み込んだ電極3a、3bに高周波電圧を印加し、半導体ウェハ2上でガスをプラズマ化することにより、微細なエッチングを効率よく行わせるようにしている。
【0003】
そして、現在、このようなプラズマエッチャーの最も注目されているものに、コンタクトホール用のSi O2 膜のエッチング工程がある。かかるSi O2 膜のエッチング工程では、Si 基板上に形成されたSi O2 膜にホトレジストを塗布し、さらに所望のパターンを焼き付け現像されてなるウェハ2を電極3a、3b間にセットする。電極3aには、ウェハ2上でガスをプラズマ化し易くするために、多数の微細孔4を形成している。そして、この状態で、チャンバ1内にCF4 とAr の混合ガスを流しながら電極3a、3bに高周波電源4より高周波電圧を印加する。すると、レジストが取り除かれた部分のSi O2 が
CF4 ↑+Si O2 →Si F4 ↑+CO2 ↑
の反応を起こし、徐々にエッチングされていく。
【0004】
ここで、問題になるのは、反応時間の制御で、仮に、この反応時間が不足すると、図9の点線アに示すようにSi O2 が除去し切れずに残ってしまい、逆に反応時間が長すぎると点線イに示すようにレジストの下までエッチングが進行して、いわゆるオーバエッチの状態になってしまう。これらは、いずれも製品の品質にとって致命的な欠陥となりかねないものである。
【0005】
そこで、従来、反応によって発生するガス(ここではCO2 ガス)のプラズマ発光強度をモニタしながら反応時間を制御する方法が考えられている。この場合、CO2 ガスのスペクトル強度は、反応時間とともに概ね図10に示すように変化する。すなわち、CO2 ガスのスペクトル強度の変化は、エッチングの開始から、その進行とともに、徐々に減少する領域aがあって、エッチング終了近くで急激に落ち込む領域bがあり、さらにオーバエッチングの状態まで徐々に弱くなっていく領域cがある。
【0006】
従って、このようにCO2 ガスのスペクトル強度の変化から、スペクトル強度の変化が急峻に生じる領域bを目安にして反応時間を制御することにより、最適なエッチング状態を得られるようにしている。
【0007】
しかして、従来、CO2 ガスのスペクトル強度をモニタするため、チャンバ1内のプラズマ光を引き出す手段として、図11に示すように、チャンバ1の石英ガラス(以下、ビューポートと称する。)5に光ファイバ6の一方端部を配置し、この光ファイバ6をスリーブ7で保持するとともに、止め金具71によりチャンバ1に固定し、チャンバ1内のプラズマ光を光ファイバ6に導き出すようにした集光装置が用いられている。この場合、かかる集光装置での光ファイバ6は、その他端部を図8に示すように分光器8の入射スリット81上に配置され、分光器8でプラズマ光のスペクトル強度が検出され、上述したスペクトル強度の変化が急峻に変化する領域bを目安にして、制御回路9を介して高周波電源4による高周波電圧を調整し、反応時間を制御するようにしている。
【0008】
また、集光装置の他の例として、図12に示すように、分光器8に光ファイバに代えて集光レンズ10を有する光導入部101を直接設け、この光導入部101を止め金具102によりチャンバ1に固定するようにしたものも考えられている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、これら光ファイバ6および集光レンズ10を用いた集光装置では、スリーブ7、分光器8に、かなりの大きさがあるため、チャンバ1のビューポート5正面には、これらを配置するためのスペースが必要になる他、さらにこれらの止め金具71、102を着脱する際の作業用スペースも必要としていた。
【0010】
ところが、近年、プラズマエッチャーの中には、チャンバ1の周囲にリング状の電磁石を配置して、プラズマの活性化を高めるなどの工夫を凝らしたものが実用化されているが、このように構成したものでは、ビューポート5正面のスペースは、かなり限られたものになっており、上述したような集光装置では、設置が困難になるという問題があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、チャンバ周囲の狭いスペースにも確実に設置することができる集光装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明は、半導体プロセスにおけるプラズマエッチング時間終点検出装置に用いられる集光装置において、チャンバのビューポートに対応して位置される窓部を有する筒体と、この筒体の前記窓部内に設けられ該窓部から取り込まれる前記ビューポートを透過したプラズマ光の光軸を前記筒体の中空部側に反射させる偏向手段と、前記筒体の中空部に挿通されるとともに、前記偏向手段で偏向されたプラズマ光に対する入射端面と、前記入射端面から入射したプラズマ光を出射する出射面を有し、複数の芯線で形成されるファイバーバンドルと、を備え、前記ファイバーバンドルの入射端面は、前記複数の芯線が円形に束ねられて形成され、前記ファイバーバンドルの出射端面は、前記複数の芯線を1列または複数列の直線状に並べて形成されていることを特徴としている。
【0012】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記ファイバーバンドルの入射端面側の径は、前記ファイバーバンドルの最外周の芯線のNAが前記偏向手段によりけられない大きさに形成されている。
請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記プラズマ光は、細い帯状をなし、該帯状のプラズマ光の長手方向に前記偏向手段とファイバーバンドルのセットを前記筒体内に複数並べて配置している。
【0013】
請求項4記載の発明は、請求項1記載の発明において、さらに、前記偏向手段とファイバーバンドルとの間に配置される集光レンズと、該集光レンズとファイバーバンドルとの間隔を調整する間隔調整手段を有している。
【0014】
この結果、本発明によれば、ビューポートの正面に十分なスペースが存在しない場合でも、このスペースに偏向手段とファイバーバンドルを収容した筒体を挿入して装着することができる。
【0015】
本発明によれば、複数の集光手段によりプラズマ光を取り込みことにより集光量を格段に増加させることができる。
本発明によれば、集光レンズとファイバーバンドルとの間隔を調整することにより、プラズマ光に対するファイバーバンドルでの集光効率を向上させることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態が適用される集光装置の概略構成を示している。図において、11はプラズマエッチングに用いられるプラズマエッチャーのチャンバで、このチャンバ11は、ビューポート12を有するとともに、その周囲に僅かなスペースを介してプラズマの活性化を高めるためのリング状の電磁石13を配置している。
【0017】
そして、このようなチャンバ11のビューポート12に対して本発明の集光装置14が設けられる。この場合、かかる集光装置14は、細長い筒体15を有している。この筒体15は、チャンバ11のビューポート12と電磁石13との間の僅かなスペースに挿入可能にしたもので、例えば、直径5mmの円筒形になっている。また、筒体15は、図2に示すように、その先端部に窓部151を有している。この窓部151は、チャンバ11のビューポート12正面に対応して位置され、ビューポート12を透過するチャンバ11内のプラズマ光を取り込み可能にしている。
【0018】
また、図2に示すように、筒体15は、窓部151に対応する内部に三角プリズム16を配置し、さらに、この三角プリズム16に対応させて、筒体15の中空部に沿ってファイバーバンドル17を挿通している。三角プリズム16は、例えば、3mm角のものが用いられ、窓部151から取り込まれるプラズマ光の光軸を直角方向に反射させ筒体15の中空部に導くようにしている。また、ファイバーバンドル17は、三角プリズム16に近接して配置されるとともに、この三角プリズム16で偏向されたプラズマ光に対し、ほぼ垂直な入射端面を有するようになっていて、この入射端面から三角プリズム16を通ったプラズマ光が導入されるようになっている。この場合、ファイバーバンドル17は、図3に示すように複数の芯線171がほぼ円形に束ねられており、このときの芯線171の数は、図4に示すように最外周のファイバのNAが三角プリズム16によりケラれない範囲とすることが望ましい。例えば、コア径230μm、外径250μm、NA0.2のファイバを使用した場合、芯線数は32本、バンドルの径は、約1.65mmとなる。
【0019】
そして、このように構成した筒体15は、その基端部を支持部材18に支持されている。この支持部材18は、ビューポート12と電磁石13との間のスペースから外れて配置されるもので、チャンバ11の外周面に固定されている。また、支持部材18は、筒体15を上下方向に移動できるように構成していて、チャンバ11内部の図示しないウェハを挟む電極間で帯状に光るプラズマ光を最も効率よく促えられる位置に筒体15先端部の窓部151を位置させることができるようにしている。
【0020】
また、支持部材18には、図示しない分光器との間に屈曲自在の可とう管19を接続し、この可とう管19中に、筒体15の中空部に挿通されるファイバーバンドル17を、さらに挿通するようにしている。このファイバーバンドル17は、分光器側端部で、全ての芯線を1列にまたは複数列の直線上に並べ、分光器のスリット上に配置するようにしている。
【0021】
しかして、このように構成した集光装置14では、筒体15の支持部材18をチャンバ11の外周面に固定するとともに、筒体15をチャンバ11のビューポート12と電磁石13との間のスペースに挿入し、筒体15先端部の窓部151をチャンバ11のビューポート12正面に対応して位置させる。また、この状態で、筒体15を上下方向に移動して、チャンバ11内部のウェハを挟む電極間で帯状に光るプラズマ光を最も効率よく促えられように調整される。
【0022】
この状態で、チャンバ11内部のウェハを挟む電極間に発生されるプラズマ光は、ビューポート12を介して筒体15の窓部151から取り込まれ、三角プリズム16で反射されて、ファイバーバンドル17端面から導入され、このファイバーバンドル17を通って分光器に送られ、前述したと同様にして、プラズマ光のスペクトル強度が検出され、この検出結果に応じてチャンバ11内での反応時間が制御されるようになる。
【0023】
従って、このようにすれば、筒体15の先端部に窓部151を設け、この窓部151内部に、該窓部151から取り込まれるプラズマ光の光軸を直角方向に反射させ三角プリズム16を配置し、さらに、筒体15の中空部に、三角プリズム16で偏向されたプラズマ光に対しほぼ垂直な入射端面を有するファイバーバンドル17を設けるようにしたので、ビューポートの正面に十分なスペースが存在しない場合でも、この時のスペースに筒体15部分を挿入して、先端部の窓部151をビューポート12正面に対応して位置させるようにできる。これにより、ビューポート正面にスペースを十分に確保できない場合でも、従来の設置が困難になるものと比べ、使用場所が限定されるようなことがなく、広い範囲での使用が可能になる。
(第2の実施の形態)
ところで、ウェハを挟む電極間で光るプラズマ光は、細い帯状をなしている。これに対し、上述したビューポート12と電磁石13との間のスペースは、ビューポート12の面方向では、十分に余裕があることから、この第2の実施の形態では、帯状プラズマ光の長手方向に沿って、第1実施の形態で述べた集光手段を複数並べ、より多くの光量を取り込むようにしている。
【0024】
図5は、本発明の第2の実施の形態の概略構成を示すもので、この場合、三角プリズム21と円形に束ねたファイバーバンドル22のセットを2組、プラズマ光の帯方向に並べるとともに、共通のスリーブ23中に封止し、これら2組の集光手段により、それぞれプラズマ光を取り込みできるようにしている。
【0025】
しかして、このようにすれば、2組の集光手段により各別に、チャンバ内部のプラズマ光を取り込むことができるので、2倍の光量を収集できるようになり、さらに精度の高い制御を行うことができる。
(第3の実施の形態)
図6は、本発明の第2の実施の形態の概略構成を示している。この場合、ステンレスチューブからなる筒体31は、先端部に窓部311を有し、この窓部311の内部に三角プリズム32を配置し、また、三角プリズム32に対応させて筒体31の中空部に沿って集光レンズ33とファイバーバンドル34を配置している。
【0026】
筒体31は、その基端部を支持部材35により支持されている。この支持部材35は、図示しないチャンバに固定されるもので、また、筒体31の中空部に連通する中空部を有し、この中空部に筒体31の基端部を挿入するとともに、筒体31を上下方向に所定の範囲で移動可能にし、この調整位置を固定ねじ36により固定できるようにしている。
【0027】
支持部材35には、ファイバースライダ37を上下方向に所定の範囲で移動可能に支持している。このファイバースライダ37は、固定ねじ38によりファイバーバンドル34を固定したもので、支持部材35に対して上下方向に移動することで、ファイバーバンドル34も上下方向に移動し、ファイバーバンドル34端面と集光レンズ33との間隔を任意に設定できるようにしている。また、ファイバースライダ37は、集光レンズ33に対するファイバーバンドル34端面を位置決めした状態で、固定ねじ39により支持部材35に固定されるようになっている。この場合、ファイバーバンドル34端面を位置決めした状態のファイバースライダ37位置を安定させるため、ファイバースライダ37と支持部材35との間にスペーサ40を挿入するようにしてもよい。
【0028】
しかして、このような構成によると、三角プリズム32とファイバーバンドル34との間に集光レンズ33が配置され、さらに、ファイバーバンドル34の上下方向の位置調整によりファイバーバンドル34と集光レンズ33との間隔を任意に調整することもできる。これにより、図7(a)に示すように帯状面光源41からの光を一定の距離だけ離れた位置でファイバーバンドル42単体で受光する場合と、第3の実施の形態で述べた、同図(b)に示すようにファイバーバンドル34前面に、ファイバー端面像を帯状面光源41に投影するように集光レンズ33を配置する場合とを比較すると、図7(a)の場合は、ファイバーバンドル42のNAと帯状面光源41までの距離によっては、ファイバー端面像421が帯状面光源41の幅を食み出してしまい、ファイバーバンドル42が集光できる能力に対して集光量が不足し、集光効率が悪化することがあるが、図7(b)の場合は、集光レンズ33によりファイバー端面像341が帯状面光源41の幅中に投影されるようにすれば、集光レンズ33のファイバーバンドル34側のNAが、ファイバーバンドル34のNAより小さくなければ、ファイバーバンドル34は、その集光能力を100%発揮することができる。
【0029】
また、ファイバーバンドル34と集光レンズ33との間隔を調整して、ファイバーバンドル34の投映像位置をチャンバ11内のウェハの前方、中心付近、または奥側にくるようするなど、ウェハ上の観測点を選択することにより、ウェハ全体のエッチング状態を最適化することができ、観測するプラズマ光の中の波長を変えた場合でも、集光レンズ33の色収差に対応して最適なファイバーバンドル34と集光レンズ33との相対位置を設定することができる。
【0030】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、ビューポートの正面に十分なスペースが存在しない場合でも、偏向手段とファイバーバンドルを収容した筒体を、この時のスペースに挿入することで、ビューポート正面に対応して位置させるようにでき、これにより、使用場所が限定されるようなことがなく、広い範囲での使用が可能になる。
【0031】
また、複数の集光手段によりプラズマ光を取り込むことにより集光量を格段に増加させることができ、さらに精度の高い制御を行うことができる。
さらに、集光レンズとファイバーバンドルとの間隔を調整することにより、プラズマ光に対するファイバーバンドルでの集光効率を向上させることができるとともに、ウェハ上の観測点を選択することにより、ウェハ全体のエッチング状態を最適化することができ、観測するプラズマ光の中の波長を変えた場合でも、集光レンズの色収差に対応して最適なファイバーバンドルと集光レンズの相対位置を設定できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の概略構成を示す図。
【図2】第1の実施の形態に用いられる筒体内部の概略構成を示す図。
【図3】第1の実施の形態で用いられるファイバーバンドルの断面を示す図。
【図4】第1の実施の形態で用いられる三角プリズムを示す図。
【図5】本発明の第2の実施の形態の概略構成を示す図。
【図6】本発明の第3の実施の形態の概略構成を示す図。
【図7】第3の実施の形態を説明するための図。
【図8】半導体プロセスにおけるプラズマエッチングに用いられるプラズマエッチャーを示す図。
【図9】プラズマエッチャーでの反応状態を説明するための図。
【図10】スペクトル強度と反応時間の関係を説明するための図。
【図11】従来の集光装置の一例の概略構成を示す図。
【図12】従来の集光装置の他例の概略構成を示す図。
【符号の説明】
11…チャンバ、
12…ビューポート、
13…電磁石、
14…集光装置、
15…筒体、
151…窓部、
16…三角プリズム、
17…ファイバーバンドル、
18…支持部材、
19…可とう管、
21…三角プリズム、
22…ファイバーバンドル、
23…スリーブ、
31…筒体、
311…窓部、
32…三角プリズム、
33…集光レンズ、
34…ファイバーバンドル、
35…支持部材、
36…固定ねじ、
37…ファイバースライダ、
38、39…固定ねじ、
40…スペーサ、
41…帯状面光源、
42…ファイバーバンドル。
Claims (4)
- 半導体プロセスにおけるプラズマエッチング時間終点検出装置に用いられる集光装置において、
チャンバのビューポートに対応して位置される窓部を有する筒体と、
この筒体の前記窓部内に設けられ該窓部から取り込まれる前記ビューポートを透過したプラズマ光の光軸を前記筒体の中空部側に反射させる偏向手段と、
前記筒体の中空部に挿通されるとともに、前記偏向手段で偏向されたプラズマ光に対する入射端面と、前記入射端面から入射したプラズマ光を出射する出射面を有し、複数の芯線で形成されるファイバーバンドルと、を備え、
前記ファイバーバンドルの入射端面は、前記複数の芯線が円形に束ねられて形成され、
前記ファイバーバンドルの出射端面は、前記複数の芯線を1列または複数列の直線状に並べて形成されていることを特徴とする集光装置。 - 前記ファイバーバンドルの入射端面側の径は、前記ファイバーバンドルの最外周の芯線のNAが前記偏向手段によりけられない大きさに形成されていることを特徴とする請求項1記載の集光装置。
- 前記プラズマ光は、細い帯状をなし、該帯状のプラズマ光の長手方向に前記偏向手段とファイバーバンドルのセットを前記筒体内に複数並べて配置したことを特徴とする請求項1記載の集光装置。
- さらに、前記偏向手段とファイバーバンドルとの間に配置される集光レンズと、該集光レンズとファイバーバンドルとの間隔を調整する間隔調整手段を有することを特徴とする請求項1記載の集光装置。
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JP06861097A JP3841188B2 (ja) | 1997-03-21 | 1997-03-21 | 集光装置 |
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1997
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