JPH10104073A - プラズマ測定装置 - Google Patents
プラズマ測定装置Info
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- JPH10104073A JPH10104073A JP26060096A JP26060096A JPH10104073A JP H10104073 A JPH10104073 A JP H10104073A JP 26060096 A JP26060096 A JP 26060096A JP 26060096 A JP26060096 A JP 26060096A JP H10104073 A JPH10104073 A JP H10104073A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 生成されたプラズマ中の異なった領域を選択
的に発光分光することができるプラズマ測定装置を実現
する。 【解決手段】 チャンバー１内で生成されたプラズマＰ
の微小領域Ｒａの部分の光は、対物レンズユニット１１
によってピンホール１５部分に集光される。この時、ピ
ントが合っていない場合、対物レンズユニット１１内の
レンズ１２の位置を微調整することにより、ピントを合
わせることができる。ピンホール１５を通過した光は、
リレー集光レンズ１７により光ファイバー１９の端部に
集光される。集光された光は光ファイバー１９によって
発光分光器に導かれ、発光スペクトルが測定される。こ
こで、プラズマＰ中の異なった領域Ｒｂの状態を測定し
たい場合、対物レンズユニット１１が別のユニットと交
換される。別の対物レンズユニットのレンズは、異なっ
た焦点距離のレンズであり、領域Ｒｂのプラズマの光を
ピンホール１５部分に集光する。
的に発光分光することができるプラズマ測定装置を実現
する。 【解決手段】 チャンバー１内で生成されたプラズマＰ
の微小領域Ｒａの部分の光は、対物レンズユニット１１
によってピンホール１５部分に集光される。この時、ピ
ントが合っていない場合、対物レンズユニット１１内の
レンズ１２の位置を微調整することにより、ピントを合
わせることができる。ピンホール１５を通過した光は、
リレー集光レンズ１７により光ファイバー１９の端部に
集光される。集光された光は光ファイバー１９によって
発光分光器に導かれ、発光スペクトルが測定される。こ
こで、プラズマＰ中の異なった領域Ｒｂの状態を測定し
たい場合、対物レンズユニット１１が別のユニットと交
換される。別の対物レンズユニットのレンズは、異なっ
た焦点距離のレンズであり、領域Ｒｂのプラズマの光を
ピンホール１５部分に集光する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、イオンプレーティ
ングなどに用いられるプラズマの状態を測定するための
プラズマ測定装置に関する。
ングなどに用いられるプラズマの状態を測定するための
プラズマ測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、高周波プラズマ装置では、高周
波発信器からの高周波電力をプラズマ室内の電極に供給
し、プラズマ室内で所望のプラズマを生成している。こ
のプラズマは、イオンプレーティングやイオンエッチン
グなどの目的に使用される。
波発信器からの高周波電力をプラズマ室内の電極に供給
し、プラズマ室内で所望のプラズマを生成している。こ
のプラズマは、イオンプレーティングやイオンエッチン
グなどの目的に使用される。
【０００３】イオンプレーティングにこのプラズマを用
いた場合、均一な膜の形成にはプラズマの安定度や生成
されたプラズマの状態を監視することが重要となる。こ
のプラズマの監視は、プラズマ室に窓を設け、この窓を
通して内部のプラズマの状態を目視により監視する方法
もあるが、より正確にプラズマの状態を監視するため
に、プラズマの光の発光分光を利用することが行われて
いる。
いた場合、均一な膜の形成にはプラズマの安定度や生成
されたプラズマの状態を監視することが重要となる。こ
のプラズマの監視は、プラズマ室に窓を設け、この窓を
通して内部のプラズマの状態を目視により監視する方法
もあるが、より正確にプラズマの状態を監視するため
に、プラズマの光の発光分光を利用することが行われて
いる。
【０００４】図１は従来の発光分光を用いたプラズマの
監視システムを示している。図中１はプラズマチャンバ
ーであり、プラズマチャンバー１内にはプラズマを発生
させるための一対の電極２，３が配置されている。な
お、チャンバー１内には、図示していないが、アルゴン
ガス等のプラズマガス源からのプラズマガスが供給され
ている。
監視システムを示している。図中１はプラズマチャンバ
ーであり、プラズマチャンバー１内にはプラズマを発生
させるための一対の電極２，３が配置されている。な
お、チャンバー１内には、図示していないが、アルゴン
ガス等のプラズマガス源からのプラズマガスが供給され
ている。
【０００５】電極２と３との間には高周波電源４から高
周波が印加され、その結果、チャンバー１内にはプラズ
マＰが生成される。チャンバー１の側部にはプラズマ監
視用の窓５が設けられている。窓５にはフランジ６が設
けられているが、フランジ６の一端には光ファイバー７
が取り付けられている。
周波が印加され、その結果、チャンバー１内にはプラズ
マＰが生成される。チャンバー１の側部にはプラズマ監
視用の窓５が設けられている。窓５にはフランジ６が設
けられているが、フランジ６の一端には光ファイバー７
が取り付けられている。
【０００６】光ファイバー７の他端は発光分光器８に接
続されており、この結果、チャンバー１内で生成された
プラズマの光は窓５、フランジ６の中空部、光ファイバ
ー７を介して発光分光器８に供給される。なお、フラン
ジ６内にはプラズマの光を集光するレンズ９が配置され
ている。
続されており、この結果、チャンバー１内で生成された
プラズマの光は窓５、フランジ６の中空部、光ファイバ
ー７を介して発光分光器８に供給される。なお、フラン
ジ６内にはプラズマの光を集光するレンズ９が配置され
ている。
【０００７】発光分光器８内には、図示していないが、
回折格子と光検出器が設けられており、回折格子で分光
された特定波長の光を光検出器で検出すると共に、回折
格子を回転させ、異なった波長の光が光検出器に入射す
るように構成されている。また、この分光器は、干渉分
光器であっても良い。この結果、発光分光器８では、プ
ラズマの光の発光分光が行われる。
回折格子と光検出器が設けられており、回折格子で分光
された特定波長の光を光検出器で検出すると共に、回折
格子を回転させ、異なった波長の光が光検出器に入射す
るように構成されている。また、この分光器は、干渉分
光器であっても良い。この結果、発光分光器８では、プ
ラズマの光の発光分光が行われる。
【０００８】発光分光器８で得られたプラズマの発光ス
ペクトルは、発光分光器８に接続された陰極線管１０に
供給され表示される。この陰極線管１０に表示された発
光スペクトルに基づき、チャンバー１内のプラズマの状
態を知ることができる。
ペクトルは、発光分光器８に接続された陰極線管１０に
供給され表示される。この陰極線管１０に表示された発
光スペクトルに基づき、チャンバー１内のプラズマの状
態を知ることができる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記したプラズマの監
視システムでは、プラズマの測定領域が光ファイバー７
の取り付け位置によって決まってしまい、図で示したＲ
の領域のプラズマしか測定することができない。すなわ
ち、チャンバー１内で生成されたプラズマの中心部や周
辺部などを選択的に発光分光してプラズマの状態を測定
することはできない。
視システムでは、プラズマの測定領域が光ファイバー７
の取り付け位置によって決まってしまい、図で示したＲ
の領域のプラズマしか測定することができない。すなわ
ち、チャンバー１内で生成されたプラズマの中心部や周
辺部などを選択的に発光分光してプラズマの状態を測定
することはできない。
【００１０】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、生成されたプラズマ中の異なった
領域を選択的に発光分光することができるプラズマ測定
装置を実現するにある。
もので、その目的は、生成されたプラズマ中の異なった
領域を選択的に発光分光することができるプラズマ測定
装置を実現するにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に基づく
プラズマ測定装置は、プラズマ室内のプラズマを監視す
るための窓を設け、この窓からプラズマの光を分光器に
導くようにしたプラズマ測定装置において、プラズマの
光を導く対物レンズ系を設け、この対物レンズ系の焦点
を変化させ得るように構成したことを特徴としている。
プラズマ測定装置は、プラズマ室内のプラズマを監視す
るための窓を設け、この窓からプラズマの光を分光器に
導くようにしたプラズマ測定装置において、プラズマの
光を導く対物レンズ系を設け、この対物レンズ系の焦点
を変化させ得るように構成したことを特徴としている。
【００１２】請求項１の発明では、プラズマの光を導く
対物レンズ系を設け、この対物レンズ系の焦点を変化さ
せて分光器に導くプラズマの光領域を選択する。請求項
２の発明に基づくプラズマ測定装置は、プラズマ室内の
プラズマを監視するための窓を設け、この窓からプラズ
マの光を分光器に導くようにしたプラズマ測定装置にお
いて、プラズマの光を集光する対物レンズ系と、対物レ
ンズ系の後段に設けられ微小な光通過開口を有したピン
ホールと、ピンホールを通過した光を集光して分光器に
導くレンズ系とを備え、対物レンズ系の焦点を変化させ
るように構成したことを特徴としている。
対物レンズ系を設け、この対物レンズ系の焦点を変化さ
せて分光器に導くプラズマの光領域を選択する。請求項
２の発明に基づくプラズマ測定装置は、プラズマ室内の
プラズマを監視するための窓を設け、この窓からプラズ
マの光を分光器に導くようにしたプラズマ測定装置にお
いて、プラズマの光を集光する対物レンズ系と、対物レ
ンズ系の後段に設けられ微小な光通過開口を有したピン
ホールと、ピンホールを通過した光を集光して分光器に
導くレンズ系とを備え、対物レンズ系の焦点を変化させ
るように構成したことを特徴としている。
【００１３】請求項２の発明では、プラズマの光を導く
対物レンズ系と、対物レンズ系の後段に設けられ微小な
光通過開口を有したピンホールと、ピンホールを通過し
た光を集光して分光器に導くレンズ系とを設け、この対
物レンズ系の焦点を変化させて分光器に導くプラズマの
光領域を選択すると共に、対物レンズ系の焦点距離とピ
ンホール径とによって分光器に導くプラズマの光領域の
大きさを決定する。
対物レンズ系と、対物レンズ系の後段に設けられ微小な
光通過開口を有したピンホールと、ピンホールを通過し
た光を集光して分光器に導くレンズ系とを設け、この対
物レンズ系の焦点を変化させて分光器に導くプラズマの
光領域を選択すると共に、対物レンズ系の焦点距離とピ
ンホール径とによって分光器に導くプラズマの光領域の
大きさを決定する。
【００１４】請求項３の発明に基づくプラズマ測定装置
は、プラズマ室を形成するチャンバーと、チャンバーに
設けられた複数のフランジと、フランジの内側に交換可
能に設けられる可撓性のオプティカルディテクタと、フ
ランジの外側に交換可能に設けられる光ファイバーと、
光ファイバーによって導かれる光を分光する分光器より
なることを特徴としている。
は、プラズマ室を形成するチャンバーと、チャンバーに
設けられた複数のフランジと、フランジの内側に交換可
能に設けられる可撓性のオプティカルディテクタと、フ
ランジの外側に交換可能に設けられる光ファイバーと、
光ファイバーによって導かれる光を分光する分光器より
なることを特徴としている。
【００１５】請求項３の発明では、プラズマ室を形成す
るチャンバーに設けられた複数のフランジの内側に交換
可能に設けられる可撓性のオプティカルディテクタと、
フランジの外側に交換可能に設けられる光ファイバーと
によって異なった領域からのプラズマ光を分光器に導
く。
るチャンバーに設けられた複数のフランジの内側に交換
可能に設けられる可撓性のオプティカルディテクタと、
フランジの外側に交換可能に設けられる光ファイバーと
によって異なった領域からのプラズマ光を分光器に導
く。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図２は本発明に基づくプラ
ズマ測定装置の要部を示しており、図１の従来装置と同
一ないしは類似の構成要素には同一番号が付されてい
る。チャンバー１の窓５部分には対物レンズユニット１
１が取り付けられるが、この対物レンズユニット１１内
には複数のレンズ１２が設けられている。この対物レン
ズユニットは交換可能であり、異なった焦点距離のレン
ズが任意に配置される。
施の形態を詳細に説明する。図２は本発明に基づくプラ
ズマ測定装置の要部を示しており、図１の従来装置と同
一ないしは類似の構成要素には同一番号が付されてい
る。チャンバー１の窓５部分には対物レンズユニット１
１が取り付けられるが、この対物レンズユニット１１内
には複数のレンズ１２が設けられている。この対物レン
ズユニットは交換可能であり、異なった焦点距離のレン
ズが任意に配置される。
【００１７】対物レンズユニット１１の後段にはプラズ
マ監視室１３が設けられている。プラズマ監視室１３内
には、ピンホールミラー１４が対物レンズユニット１１
からの光の光軸上に設けられている。ピンホールミラー
１４は中心部にピンホール１５を有しており、また、ピ
ンホールミラー１４によって反射された光が向かう方向
には、ファインダー１６が配置されている。
マ監視室１３が設けられている。プラズマ監視室１３内
には、ピンホールミラー１４が対物レンズユニット１１
からの光の光軸上に設けられている。ピンホールミラー
１４は中心部にピンホール１５を有しており、また、ピ
ンホールミラー１４によって反射された光が向かう方向
には、ファインダー１６が配置されている。
【００１８】プラズマ監視室１３内のピンホールミラー
１４の後段には、リレー集光レンズ１７が設けられてい
る。リレー集光レンズ１７は、ピンホールミラー１４の
ピンホール１５を透過した光をコネクター１８に取り付
けられた光ファイバー１９の端部に集光する。光ファイ
バー１９の他端は、図示していないが、図１に示した発
光分光器に接続されている。このような構成の動作を次
に説明する。
１４の後段には、リレー集光レンズ１７が設けられてい
る。リレー集光レンズ１７は、ピンホールミラー１４の
ピンホール１５を透過した光をコネクター１８に取り付
けられた光ファイバー１９の端部に集光する。光ファイ
バー１９の他端は、図示していないが、図１に示した発
光分光器に接続されている。このような構成の動作を次
に説明する。
【００１９】チャンバー１内で生成されたプラズマＰの
微小領域Ｒａの部分の光は、対物レンズユニット１１内
のレンズ１２によってピンホールミラー１４のピンホー
ル１５部分に集光される。この時、ファインダー１６を
介してピンホールレンズ１４からの光を監視することに
より、プラズマＰの微少領域Ｒａの部分の光が正確にピ
ンホール１５を通過しているかどうかを確認することが
できる。すなわち、微小領域Ｒａの部分のピントが合っ
ているかどうかを確認することができる。ピントが合っ
ていない場合、対物レンズユニット１１内のレンズ１２
の位置を微調整することにより、ピントを合わせること
ができる。
微小領域Ｒａの部分の光は、対物レンズユニット１１内
のレンズ１２によってピンホールミラー１４のピンホー
ル１５部分に集光される。この時、ファインダー１６を
介してピンホールレンズ１４からの光を監視することに
より、プラズマＰの微少領域Ｒａの部分の光が正確にピ
ンホール１５を通過しているかどうかを確認することが
できる。すなわち、微小領域Ｒａの部分のピントが合っ
ているかどうかを確認することができる。ピントが合っ
ていない場合、対物レンズユニット１１内のレンズ１２
の位置を微調整することにより、ピントを合わせること
ができる。
【００２０】ピンホール１５を通過した光は、リレー集
光レンズ１７により光ファイバー１９の端部に集光され
る。集光された光は光ファイバー１９によって発光分光
器に導かれ、発光スペクトルが測定される。
光レンズ１７により光ファイバー１９の端部に集光され
る。集光された光は光ファイバー１９によって発光分光
器に導かれ、発光スペクトルが測定される。
【００２１】ここで、プラズマＰ中の異なった領域Ｒｂ
の状態を測定したい場合、対物レンズユニット１１が別
のユニットと交換される。別の対物レンズユニットのレ
ンズは、異なった焦点距離のレンズであり、領域Ｒｂの
プラズマの光をピンホール１５部分に集光する。
の状態を測定したい場合、対物レンズユニット１１が別
のユニットと交換される。別の対物レンズユニットのレ
ンズは、異なった焦点距離のレンズであり、領域Ｒｂの
プラズマの光をピンホール１５部分に集光する。
【００２２】なお、プラズマ中の測定領域の大きさ（測
定スポット系）は、対物レンズユニット１１中の各レン
ズの焦点距離とピンホールの位置，径によって決まる。
また、プラズマ中の異なった領域の状態を測定する場
合、対物レンズユニット１１を別のユニットに交換する
方式以外に、対物レンズユニット１１中のレンズの位置
を光軸方向に移動させ、任意の領域の光の焦点を連続的
にピンホール１５の位置に合わせることができるように
構成しても良い。
定スポット系）は、対物レンズユニット１１中の各レン
ズの焦点距離とピンホールの位置，径によって決まる。
また、プラズマ中の異なった領域の状態を測定する場
合、対物レンズユニット１１を別のユニットに交換する
方式以外に、対物レンズユニット１１中のレンズの位置
を光軸方向に移動させ、任意の領域の光の焦点を連続的
にピンホール１５の位置に合わせることができるように
構成しても良い。
【００２３】図３は本発明の他の実施の形態を示してい
る。この実施の形態では、プラズマスパッタ装置に本発
明が適用されている。図中２０は真空チャンバーであ
り、このチャンバー２０内にプラズマが生成される。ま
た、チャンバー２０内には３つのターゲット２１ａ，２
１ｂ，２１ｃが配置されており、それぞれのターゲット
はプラズマによってスパッタされ、３つのターゲットの
物質は図示していない基板上に付着し、所望の成膜がな
される。
る。この実施の形態では、プラズマスパッタ装置に本発
明が適用されている。図中２０は真空チャンバーであ
り、このチャンバー２０内にプラズマが生成される。ま
た、チャンバー２０内には３つのターゲット２１ａ，２
１ｂ，２１ｃが配置されており、それぞれのターゲット
はプラズマによってスパッタされ、３つのターゲットの
物質は図示していない基板上に付着し、所望の成膜がな
される。
【００２４】チャンバー２０側部の３か所にはフランジ
２２ａ，２２ｂ，２２ｃが取り付けられている。そのう
ち、フランジ２２ａにはオプティカルディテクタ２３と
光ファイバー２４が取り付けられている。オプティカル
ディテクタ２３は先端部に集光レンズが設けられてお
り、その自体可撓性を有している。
２２ａ，２２ｂ，２２ｃが取り付けられている。そのう
ち、フランジ２２ａにはオプティカルディテクタ２３と
光ファイバー２４が取り付けられている。オプティカル
ディテクタ２３は先端部に集光レンズが設けられてお
り、その自体可撓性を有している。
【００２５】例えば、オプティカルディテクタ２３は、
可撓性の光ファイバーとこの光ファイバーを覆うように
設けられたベローズより成る。したがって、予めオプテ
ィカルディテクタ２３を曲げて、ターゲット２１ａ上の
プラズマの光を集光できるようにフランジ２２ａに取り
付けることができる。
可撓性の光ファイバーとこの光ファイバーを覆うように
設けられたベローズより成る。したがって、予めオプテ
ィカルディテクタ２３を曲げて、ターゲット２１ａ上の
プラズマの光を集光できるようにフランジ２２ａに取り
付けることができる。
【００２６】オプティカルディテクタ２３により集光さ
れたターゲット２１ａ上のプラズマの光は、光ファイバ
ー２４によって発光分光器２５に導かれる。この結果、
ターゲット２１ａ上のプラズマの状態を測定することが
できる。
れたターゲット２１ａ上のプラズマの光は、光ファイバ
ー２４によって発光分光器２５に導かれる。この結果、
ターゲット２１ａ上のプラズマの状態を測定することが
できる。
【００２７】次に、ターゲット２１ｂ上のプラズマの状
態を測定する場合には、オプティカルディテクタ２３と
光ファイバー２４をフランジ２２ａから取り外し、フラ
ンジ２２ｂに取り付け、ターゲット２１ｂ上のプラズマ
の光をオプティカルディテクタ２３で集光し、光ファイ
バー２４を介して発光分光器２５に導くようにする。ま
た、ターゲット２１ｃ上のプラズマの状態を測定する場
合には、オプティカルディテクタ２３と光ファイバー２
４をフランジ２２ｂから取り外し、フランジ２２ｃに取
り付け、ターゲット２１ｃ上のプラズマの光をオプティ
カルディテクタ２３で集光し、光ファイバー２４を介し
て発光分光器２５に導くようにする。
態を測定する場合には、オプティカルディテクタ２３と
光ファイバー２４をフランジ２２ａから取り外し、フラ
ンジ２２ｂに取り付け、ターゲット２１ｂ上のプラズマ
の光をオプティカルディテクタ２３で集光し、光ファイ
バー２４を介して発光分光器２５に導くようにする。ま
た、ターゲット２１ｃ上のプラズマの状態を測定する場
合には、オプティカルディテクタ２３と光ファイバー２
４をフランジ２２ｂから取り外し、フランジ２２ｃに取
り付け、ターゲット２１ｃ上のプラズマの光をオプティ
カルディテクタ２３で集光し、光ファイバー２４を介し
て発光分光器２５に導くようにする。
【００２８】このように構成することにより、チャンバ
ー２０内のプラズマの異なった領域の光を発光分光する
ことが可能となる。なお、測定領域の選択の際には、可
撓性のオプティカルディテクタ２３を適宜曲げて微調整
することができる。
ー２０内のプラズマの異なった領域の光を発光分光する
ことが可能となる。なお、測定領域の選択の際には、可
撓性のオプティカルディテクタ２３を適宜曲げて微調整
することができる。
【００２９】
【発明の効果】請求項１の発明では、プラズマの光を導
く対物レンズ系を設け、この対物レンズ系の焦点を変化
させて分光器に導くプラズマの光領域を選択するように
構成したので、プラズマ中の任意の領域に焦点をあてて
プラズマ光の選択し、周辺の余計な光を吸収することな
く選択領域の光の分光スペクトルを測定することができ
る。
く対物レンズ系を設け、この対物レンズ系の焦点を変化
させて分光器に導くプラズマの光領域を選択するように
構成したので、プラズマ中の任意の領域に焦点をあてて
プラズマ光の選択し、周辺の余計な光を吸収することな
く選択領域の光の分光スペクトルを測定することができ
る。
【００３０】請求項２の発明では、プラズマの光を導く
対物レンズ系と、対物レンズ系の後段に設けられ微小な
光通過開口を有したピンホールと、ピンホールを通過し
た光を集光して分光器に導くレンズ系とを設け、この対
物レンズ系の焦点を変化させて分光器に導くプラズマの
光領域を選択すると共に、対物レンズ系の焦点距離とピ
ンホール径とによって分光器に導くプラズマの光領域の
大きさを決定するようにしたので、プラズマ中の任意の
領域に焦点をあててプラズマ光の選択し、周辺の余計な
光を吸収することなく選択領域の光の分光スペクトルを
測定することができる。
対物レンズ系と、対物レンズ系の後段に設けられ微小な
光通過開口を有したピンホールと、ピンホールを通過し
た光を集光して分光器に導くレンズ系とを設け、この対
物レンズ系の焦点を変化させて分光器に導くプラズマの
光領域を選択すると共に、対物レンズ系の焦点距離とピ
ンホール径とによって分光器に導くプラズマの光領域の
大きさを決定するようにしたので、プラズマ中の任意の
領域に焦点をあててプラズマ光の選択し、周辺の余計な
光を吸収することなく選択領域の光の分光スペクトルを
測定することができる。
【００３１】請求項３の発明では、プラズマ室を形成す
るチャンバーに設けられた複数のフランジの内側に交換
可能に設けられる可撓性のオプティカルディテクタと、
フランジの外側に交換可能に設けられる光ファイバーと
によって異なった領域からのプラズマ光を分光器に導く
ように構成したので、プラズマ中の任意の領域の光を選
択でき、選択領域の光の分光スペクトルを測定すること
ができる。
るチャンバーに設けられた複数のフランジの内側に交換
可能に設けられる可撓性のオプティカルディテクタと、
フランジの外側に交換可能に設けられる光ファイバーと
によって異なった領域からのプラズマ光を分光器に導く
ように構成したので、プラズマ中の任意の領域の光を選
択でき、選択領域の光の分光スペクトルを測定すること
ができる。
【図１】従来のプラズマ測定装置を示す図である。
【図２】本発明に基づくプラズマ測定装置の要部を示す
図である。
図である。
【図３】本発明の他の実施の形態を示す図である。
１ チャンバー １１ 対物レンズユニット １２ レンズ １３ プラズマ監視室 １４ ピンホールミラー １６ ファインダー １７ 集光レンズ １８ コネクター １９ 光ファイバー
Claims (3)
- 【請求項１】 プラズマ室内のプラズマを監視するため
の窓を設け、この窓からプラズマの光を分光器に導くよ
うにしたプラズマ測定装置において、プラズマの光を導
く対物レンズ系を設け、この対物レンズ系の焦点を変化
させ得るよう構成したプラズマ測定装置。 - 【請求項２】 プラズマ室内のプラズマを監視するため
の窓を設け、この窓からプラズマの光を分光器に導くよ
うにしたプラズマ測定装置において、プラズマの光を集
光する対物レンズ系と、対物レンズ系の後段に設けられ
微小な光通過開口を有したピンホールと、ピンホールを
通過した光を集光して分光器に導くレンズ系とを備え、
対物レンズ系の焦点を変化させるように構成したプラズ
マ測定装置。 - 【請求項３】 プラズマ室を形成するチャンバーと、チ
ャンバーに設けられた複数のフランジと、フランジの内
側に交換可能に設けられる可撓性のオプティカルディテ
クタと、フランジの外側に交換可能に設けられる光ファ
イバーと、光ファイバーによって導かれる光を分光する
分光器よりなるプラズマ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26060096A JPH10104073A (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | プラズマ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26060096A JPH10104073A (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | プラズマ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10104073A true JPH10104073A (ja) | 1998-04-24 |
Family
ID=17350202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26060096A Withdrawn JPH10104073A (ja) | 1996-10-01 | 1996-10-01 | プラズマ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10104073A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101111961B1 (ko) | 2009-12-28 | 2012-02-14 | 한국기초과학지원연구원 | Ｃｅｓ 플라즈마 진단을 위한 렌즈 시스템 |
| US10107681B2 (en) | 2015-09-08 | 2018-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tube-type lens, optical emission spectroscopy (OES) apparatus including the tube-type lens, plasma monitoring system including the OES apparatus, and method of manufacturing semiconductor device by using the plasma monitoring system |
| CN110504150A (zh) * | 2018-05-16 | 2019-11-26 | 延世大学校产学协力团 | 等离子体工序监控装置及包括其的等离子体处理装置 |
-
1996
- 1996-10-01 JP JP26060096A patent/JPH10104073A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101111961B1 (ko) | 2009-12-28 | 2012-02-14 | 한국기초과학지원연구원 | Ｃｅｓ 플라즈마 진단을 위한 렌즈 시스템 |
| US10107681B2 (en) | 2015-09-08 | 2018-10-23 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Tube-type lens, optical emission spectroscopy (OES) apparatus including the tube-type lens, plasma monitoring system including the OES apparatus, and method of manufacturing semiconductor device by using the plasma monitoring system |
| CN110504150A (zh) * | 2018-05-16 | 2019-11-26 | 延世大学校产学协力团 | 等离子体工序监控装置及包括其的等离子体处理装置 |
| CN110504150B (zh) * | 2018-05-16 | 2021-12-28 | 延世大学校产学协力团 | 等离子体工序监控装置及包括其的等离子体处理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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