JP2006266915A

JP2006266915A - 測定プローブおよびそれを用いた測定装置

Info

Publication number: JP2006266915A
Application number: JP2005086421A
Authority: JP
Inventors: Tomohide Mizukoshi; 智秀水越
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 2005-03-24
Filing date: 2005-03-24
Publication date: 2006-10-05

Abstract

【課題】大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電処理を行うプラズマ放電処理装置のプラズマ電極間距離およびプラズマの分光強度を測定するための光情報を同時に伝送可能な測定プローブおよびそれを用いて間隙距離測定および分光強度測定を行う測定装置を提供する。
【解決手段】測定プローブ１は、プラズマ放電処理装置Ｐにおけるプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間の距離を測定するための光情報と、プラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報とを同時に伝送する光導部材２を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は測定プローブおよびそれを用いた測定装置に係り、特に、大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電処理を行うプラズマ放電処理装置のプラズマ電極の距離およびプラズマの分光強度を測定するための光情報を同時に伝送可能な測定プローブおよびそれを用いて間隙距離測定および分光強度測定を行う測定装置に関する。

近時、プラズマ放電処理技術は、基板に対する成膜やエッチング、洗浄等の種々の処理に広く用いられている。プラズマ放電処理は、通常、対向する一対の電極、いわゆるプラズマ電極間に形成される放電空間にガスを導入し、プラズマ電極に高電圧を印加して放電空間内のガスをプラズマ化することで行われる。

従来、このようなプラズマ放電処理は、数Ｐａ程度の低圧下で行われており、このような放電条件においてはプラズマ電極間の間隙を比較的広くとることができ、電極間の距離が多少増減しても放電処理には大きな影響が生じなかった。

しかし、近年、開発が進められている大気圧近傍の圧力下で放電処理を行うプラズマ放電処理装置では、プラズマ電極間の距離は数十μｍ〜１ｍｍ程度であり、電極間距離の増減により放電空間に形成されているプラズマの強度等が変化して、放電処理の結果の良否に大きな影響を与えることが分かってきた。

そこで、図５に示すように、基材Ｆに対してプラズマ放電処理を行うプラズマ放電処理装置Ｐのプラズマ電極である第１電極Ｅ１と第２電極Ｅ２の側方に配置された発光装置Ｓからプラズマ電極の間隙に光Ｌを出射し、間隙を通過した光Ｌａを発光装置Ｓの反対側側方に配置された受光装置Ｒで受光して測定器Ｍに送信してプラズマ電極間の距離を測定する測定装置１００が提案されている（特許文献１参照）。
特許第３５４０６４８号公報

しかしながら、このような測定装置１００では、プラズマ放電処理装置内に発光装置Ｓや受光装置Ｒを設けなければならず、しかも、前記特許文献１に記載されている発光装置Ｓでは出射されるレーザ光を走査させるためにポリゴンミラー等が用いられることが想定されているために発光装置自体が比較的大きなものとなる。そのため、プラズマ放電処理装置が大型化せざるを得ない。

また、プラズマ放電処理装置の中には、１つのドラム状の第１電極Ｅ１に対向するように複数の第２電極Ｅ２が設けられているものもあり、複数の第２電極Ｅ２と第１電極Ｅ１との間に形成されるすべての放電空間に対してこのような測定装置１００をそれぞれ設けることは困難である。

さらに、プラズマ放電処理装置では、このような測定装置１００による測定でプラズマ電極間の距離の増減が測定されればそれを復元する修正が行われるが、例えば、電極間距離が拡大した場合にそれを復元させずにパワーを上げることでプラズマ強度を維持する場合もある。

しかし、このような場合、従来の測定装置１００では、プラズマ強度を測定するための機能がないため、プラズマ強度が十分向上したかやプラズマ強度が上がり過ぎていないか等を測定することができず、従来はパワーの増減を試行錯誤的に決定していた。プラズマ強度はプラズマの分光強度を測定することで比較的容易に測定することができる。

そこで、本発明は、大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電処理を行うプラズマ放電処理装置のプラズマ電極間距離およびプラズマの分光強度を測定するための光情報を同時に伝送可能な測定プローブおよびそれを用いて間隙距離測定および分光強度測定を行う測定装置を提供することを目的とする。

前述の問題を解決するために、請求項１に記載の測定プローブは、
プラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報と、前記プラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報とを同時に伝送する光導部材を備えることを特徴とする。

請求項１に記載の発明によれば、測定プローブの光導部材は、プラズマ電極間の距離およびプラズマの分光強度の情報を有する発光が端部に入射されると、光情報としてそれぞれの情報を同時に伝送する。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の測定プローブにおいて、前記光導部材と前記プラズマ電極との間に集光レンズを備え、前記光情報は前記集光レンズにより集光されて前記光導部材に入射されることを特徴とする。

請求項２に記載の発明によれば、測定プローブは、プラズマ放電処理装置のプラズマ電極間に形成されるプラズマからの発光を集光レンズで集光し、光導部材の入射面に入射させて光導部材に光情報を取り込む。

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の測定プローブにおいて、前記光導部材は、光ファイバで構成されていることを特徴とする。

請求項３に記載の発明によれば、測定プローブの光導部材は、単数の光ファイバまたは複数の光ファイバの束で構成される。

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の測定プローブにおいて、前記光導部材は、前記プラズマ電極近傍から測定器に至る途中で分岐していることを特徴とする。

請求項４に記載の発明によれば、測定プローブの光導部材は途中で分岐されており、その両端にそれぞれ前記光情報を伝送する。

請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の測定プローブにおいて、前記光導部材から出射された前記光情報がハーフミラーで分岐されることを特徴とする。

請求項５に記載の発明によれば、測定プローブの光導部材を伝送され、その端部から出射された光情報は、ハーブミラーで分岐されて経路が２つに分かれる。

請求項６に記載の測定装置は、
前記請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の測定プローブを備え、前記測定プローブの光導部材から出射された光情報を用いて前記プラズマ電極間の距離を測定する間隙距離測定器と前記プラズマの分光強度を測定する分光強度測定器とを備えることを特徴とする。

請求項６に記載の発明によれば、測定装置の間隙距離測定器は、光導部材を伝送されてくるプラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報を用いてプラズマ電極間の距離を測定し、分光強度測定器は、光導部材を伝送されてくるプラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報を用いてプラズマの分光強度を測定する。

請求項７に記載の測定装置は、
前記請求項４に記載の測定プローブを備え、前記測定プローブの光導部材の分岐された一の端部から出射される光情報を用いて前記プラズマ電極間の距離を測定する間隙距離測定器および他の端部から出射される光情報を用いて前記プラズマの分光強度を測定する分光強度測定器がそれぞれ設けられていることを特徴とする。

請求項７に記載の発明によれば、測定装置の間隙距離測定器は、分岐された光導部材の一方の端部から出射されるプラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報を用いてプラズマ電極間の距離を測定し、分光強度測定器は、分岐された光導部材の他方の端部から出射されるプラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報を用いてプラズマの分光強度を同時に測定する。

請求項８に記載の測定装置は、
前記請求項５に記載の測定プローブを備え、前記ハーフミラーで分岐された一の光情報を用いて前記プラズマ電極間の距離を測定する間隙距離測定器と他の光情報を用いて前記プラズマの分光強度を測定する分光強度測定器とを備えることを特徴とする。

請求項８に記載の発明によれば、測定装置の間隙距離測定器は、光導部材から出射され分岐されたプラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報を用いてプラズマ電極間の距離を測定し、分光強度測定器は、光導部材から出射され分岐されたプラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報を用いてプラズマの分光強度を同時に測定する。

請求項１に記載の発明によれば、測定プローブは、プラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報と、前記プラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報とを同時に伝送する光導部材を備え、光導部材は、端部にプラズマ電極間に生じたプラズマからの発光等が入射されると、前記情報を有する光情報として同時に伝送する。

そのため、特に大気圧近傍の圧力下で処理を行うプラズマ放電処理装置においてプラズマ放電処理の結果の良否に大きな影響を与えるプラズマ強度の変化が、プラズマ電極間の距離の変化によるものか、あるいは電極間距離は変化しておらずプラズマ強度自体が低下したものかを同時に測定して判断することが可能となる。また、プラズマ電極間の距離の修正によりプラズマ強度が十分向上したか、あるいはプラズマ強度が上がり過ぎていないか等をプラズマ分光の測定で確認するための光情報を同時に伝送することができる。

このように、本発明の測定プローブを用いれば、プラズマ放電処理装置の電極間距離を修正し、あるいは電極に印加される電圧を増減させる等してプラズマ強度を確認しながら的確にプラズマ強度を維持して良好な処理結果を得ることが可能となる。

請求項２に記載の発明によれば、測定プローブは、光導部材とプラズマ電極との間に集光レンズを備え、光情報が集光レンズにより集光されて光導部材に入射されるように構成した。そのため、前記請求項に記載の発明の効果に加え、プラズマの発光を直接光導部材の入射面に入射する場合に比べてより多くの光情報を光導部材に取り込むことが可能となる。

また、測定プローブを光導部材と集光レンズとで構成することで、測定プローブ自体を非常にコンパクトに構成することができ、プラズマ放電処理装置を大型化させることなく測定プローブを配置することが可能となる。

さらに、測定プローブが非常にコンパクトに構成できるため、例えば、プラズマ放電処理装置が１つのドラム状の第１電極に対向するように複数の第２電極が設けられている装置であれば、複数の第２電極と第１電極とで形成されるすべての放電空間に対向するように測定プローブを取り付けることができる。そのため、プラズマ放電処理装置の大型化を図ることなくすべての放電空間に対してプラズマ電極間の距離およびプラズマ強度を同時に測定することが可能となる。

請求項３に記載の発明によれば、測定プローブの光導部材は、単数の光ファイバまたは複数の光ファイバの束で構成される。このように光ファイバを用いれば、前記各請求項に記載の発明の効果に加え、伝送に伴う光情報の損失を非常に低率に抑えることができるため光導部材を十分に長く形成することが可能となり、測定プローブに接続する間隙距離測定器や分光強度測定器をプラズマ放電処理装置の外部に配設してプラズマ放電処理装置自体の大型化を防止することができる。

また、光導部材を光ファイバで構成することで、光導部材にフレキシビリティを持たせることが可能となり、プラズマ放電処理装置内で光導部材の経路を自在に変更することが可能となる。

請求項４に記載の発明によれば、測定プローブの光導部材は途中で分岐されており、その両端にそれぞれ前記光情報を伝送するように構成した。そのため、光導部材を伝送されてくるプラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報を光導部材の一方の端部に接続された間隙距離測定器で測定し、また、プラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報を光導部材の他方の端部に接続された分光強度測定器で同時に測定することが可能となり、前記各請求項に記載の発明の効果をより的確に発揮させることが可能となる。

請求項５に記載の発明によれば、測定プローブの光導部材を伝送され、その端部から出射された光情報は、ハーブミラーで分岐されて経路が２つに分かれる。そのため、請求項４に記載の発明と同様の効果が得られる。

そのため、本発明の測定装置によれば、プラズマ電極間の距離とプラズマの分光強度とを測定することが可能となり、プラズマ放電処理の結果の良否に大きな影響を与えるプラズマ強度の変化が、プラズマ電極間の距離の変化によるものか、あるいは電極間距離は変化しておらずプラズマ強度自体が低下したものかを的確に把握することができる。また、プラズマ電極間の距離の修正によりプラズマ強度が十分向上したか、あるいはプラズマ強度が上がり過ぎていないか等をプラズマ分光の測定で確認することができる。

また、間隙距離測定器で得られたプラズマ電極間の距離の測定情報および分光強度測定器で得られたプラズマ電極間に形成されるプラズマの分光強度の測定情報をプラズマ放電処理装置の制御装置に送信して、プラズマ電極間の距離や電極に印加する電圧等を自動的に調整するように構成することが可能となる。

そのため、本発明の測定装置によれば、プラズマ電極間の距離とプラズマの分光強度とを同時に測定することが可能となり、前記請求項６に記載の発明の効果を同時かつ的確に発揮させることが可能となる。

そのため、本発明の測定装置によれば、プラズマ電極間の距離とプラズマの分光強度とを同時に測定することが可能となり、前記請求項７に記載の発明と同様の効果を発揮させることが可能となる。

以下、本発明に係る測定プローブおよび測定装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。

図１は、本実施形態に係る測定プローブおよび測定装置の構成を説明する図である。本実施形態の測定プローブ１は、測定器側の分岐点５で分岐された光導部材２と集光レンズ３とを備えており、測定装置１０は、この測定プローブ１と間隙距離測定器１１と分光強度測定器１２とを備えている。

なお、本実施形態に用いられるプラズマ放電処理装置Ｐは、大気圧近傍の圧力下でプラズマ放電処理を行うプラズマ放電処理装置である。また、図１では、図５に示したものと同様のドラム状の第１電極Ｅ１を有するプラズマ放電処理装置Ｐを側方から見た状態を示しているが、本発明の測定プローブ１および測定装置１０はこのようなタイプのプラズマ放電処理装置のみならず、平行平板状のプラズマ電極を有するプラズマ放電処理装置等の他の装置にも適用することができる。

また、図１では測定プローブ１がプラズマ放電処理装置Ｐにおけるドラム状の第１電極Ｅ１の端面側から集光する状態が記載されているが、測定プローブ１を図５に示した従来の測定装置１００の受光装置Ｒと同様にプラズマ電極の側方から集光するように配置することも可能である。

本実施形態では、光導部材２は、図２に示すように複数の光ファイバの束からなり、フレキシブルに形状を変化させることができるようになっている。光導部材２の一端側は、図示しない支持部材により入射面４をプラズマ放電処理装置Ｐの第１電極Ｅ１と第２電極Ｅ２との間隙に対向するように位置固定されている。

光導部材２の入射面４には、集光レンズ３で集光された光が入射されるようになっている。入射面４に入射された光は、光情報として光導部材２の内部を間隙距離測定器１１や分光強度測定器１２に向けて伝送されるようになっている。光導部材２を単線の光ファイバや光情報を伝送可能な他の素材で構成することも可能である。

また、前述したように、光導部材２の他端側は分岐点５で分岐されており、前記光情報が分岐点５で分岐されて間隙距離測定器１１と分光強度測定器１２とに同時に伝送されるようになっている。なお、分岐点５に光分岐器を設けて間隙距離測定器１１および分光強度測定器１２に伝送される光情報の分岐比を調整することも可能であり、適宜設置される。

光導部材２の入射面４のプラズマ放電処理装置側には、図示しない保持手段で支持され且つ光軸方向に移動可能とされた凸レンズ状の集光レンズ３が配設されている。集光レンズ３は、プラズマ放電処理装置Ｐのプラズマ電極間に形成されている放電空間のプラズマの発光を集光して光導部材２の入射面４にいわばピントがあう状態に入射させるように配置されている。

集光レンズ３は、複数枚配置されることも可能であり、凹レンズ状のレンズや種々の機能を有する特殊なレンズを組み合わせることも可能である。集光レンズ３は、単数または複数のレンズを移動させることでプラズマ電極間の放電空間に形成されているプラズマの任意の位置に焦点を合わせることができるようになっている。

光導部材２の分岐された一方の端部の出射面６ａには、光導部材２を伝送され出射面６ａから出射される光情報を用いてプラズマ放電処理装置Ｐのプラズマ電極間の距離を測定する間隙距離測定器１１が配設されている。

また、光導部材２の分岐された他方の端部の出射面６ｂには、光導部材２を伝送され出射面６ｂから出射される光情報を用いてプラズマ放電処理装置Ｐの放電空間におけるプラズマの分光強度を測定する分光強度測定器１２が配設されている。

本実施形態では、間隙距離測定器１１および分光強度測定器１２としては、一般的な公知の測定器が用いられている。また、光導部材２に十分な長さを持たせることで間隙距離測定器１１や分光強度測定器１２がプラズマ放電処理装置Ｐの外部に配設されるようになっている。

なお、間隙距離測定器１１で得られたプラズマ電極間の距離の測定情報および分光強度測定器１２で得られたプラズマ電極間に形成されるプラズマの分光強度の測定情報をプラズマ放電処理装置Ｐの図示しない制御装置に送信して、プラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間の距離や電極に印加する電圧等を自動的に調整するように構成することも可能である。

次に、本実施形態に係る測定プローブ１および測定装置１０の作用について説明する。

プラズマ放電処理装置Ｐのプラズマ電極である第１電極Ｅ１および第２電極Ｅ２に電圧が印加されると、プラズマ電極間の放電空間に導入されたガスがプラズマ化して発光し、プラズマから周囲に光が放射される。測定プローブ１の集光レンズ３は、プラズマから放射される光やプラズマ電極間を通過してくる外光を集光して、図２に示したように光導部材２の入射面４に入射させる。

その際、前述したように、主に集光レンズ３により焦点が合わされた焦点位置、すなわち図１ではプラズマ放電処理装置Ｐの第１および第２電極Ｅ１、Ｅ２間に示された矢印の位置のプラズマの発光が集光レンズ３を介して光導部材２の入射面４に入射される。そのため、光導部材２に入射される光には、主に放電空間における焦点位置に存するプラズマ部分の特有の発光スペクトルがプラズマ強度に依存する強度を有する状態で光情報として含まれている。

また、本実施形態では、前述したように光導部材２は複数の光ファイバで構成されており、図２に示したように集光レンズ３から光が入射された部分の光ファイバ中を光情報が伝送される。

光導部材２を伝送された光情報は、光導部材２の分岐点５で分岐され、光情報の一部が出射面６ａから出射されて間隙距離測定器１１に入る。本実施形態では、前述したように集光レンズ３を介してプラズマの発光およびプラズマ電極間の放電空間を通過してきた外光が入射される光ファイバと入射されない光ファイバとがあり、間隙距離測定器１１は、発光が入射された光ファイバの束からの光の出射を検出してプラズマ放電処理装置Ｐのプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間の距離を測定することができる。

また、光導部材２の分岐点５で分岐された他方の光情報は、出射面６ｂから出射されて分光強度測定器１２に入る。分光強度測定器１２は、出射された光を分光してプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間に形成される放電空間の焦点位置におけるプラズマの特有の発光スペクトルを測定し、その測定結果の解析から放電空間のプラズマの分光強度を測定することができる。

以上のように、本実施形態に係る測定プローブ１によれば、大気圧近傍の圧力下で処理を行うプラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報とプラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報とを測定器に同時に伝送する。

また、この測定プローブ１を用いた本実施形態の測定装置１０によれば、プラズマ電極間の距離とプラズマの分光強度とを同時に測定可能となり、プラズマ放電処理の結果の良否に大きな影響を与えるプラズマ強度の変化が、プラズマ電極間の距離の変化によるものか、あるいは電極間距離は変化しておらずプラズマ強度自体が低下したものかを同時にかつ的確に把握することができる。また、プラズマ電極間の距離の修正によりプラズマ強度が十分向上したか、あるいはプラズマ強度が上がり過ぎていないか等をプラズマ分光の測定で確認することができる。

このように、本実施形態に係る測定プローブ１およびそれを用いた測定装置１０によれば、電極間距離を修正し、あるいは電極に印加される電圧を増減させる等してプラズマ強度を確認しながら的確にプラズマ強度を維持して良好な処理結果を得ることが可能となる。

また、測定プローブ１は主に光導部材２と集光レンズ３とで構成されているため、プローブ自体を非常にコンパクトに構成することが可能となり、プラズマ放電処理装置を大型化させることなく測定プローブ１を配置することができる。光導部材２を光ファイバのようなフレキシブルな素材を用いれば、プラズマ放電処理装置の構成にあわせて光導部材２の経路を自在に変更することが可能となり、前記効果がより的確に発揮される。

さらに、プラズマ放電処理装置Ｐが、例えば、１つのドラム状の第１電極Ｅ１に対向するように複数の第２電極Ｅ２が設けられている装置であれば、複数の第２電極Ｅ２と第１電極Ｅ１とで形成されるすべての放電空間に対向するように本実施形態の測定プローブ１を取り付けることができ、しかも前述したようにプラズマ放電処理装置Ｐの大型化を要求することなくすべての放電空間に対してプラズマ電極間の距離およびプラズマ強度を同時に測定することが可能となる。

また、測定装置１０全体として見た場合、光導部材２が十分長く形成されることで、間隙距離測定器１１や分光強度測定器１２をプラズマ放電処理装置Ｐの外部に配設することが可能となり、プラズマ放電処理装置Ｐの大型化を防止することを可能としている。

本実施形態に係る測定プローブ１の第１変形例として、図３に示すように、前記実施形態のように途中で分岐した光導部材２を用いる代わりに分岐のない単線の光導部材２を用い、入射面４とは反対側の端部に間隙距離測定器１１と分光強度測定器１２とを付け替えてそれぞれプラズマ電極Ｅ１、Ｅ２間の距離やプラズマの分光強度を測定するように構成することも可能である。

また、第２変形例としては、図３に示した変形例と同様の構成で、光導部材２の出射面６の下流側に出射された光を分岐するためのハーフミラー７を設けることも可能である。すなわち、光導部材２の出射面６から出射された光情報をレンズ８等で収束させ、その光を光軸に対して４５°の角度を有するように図示しない保持手段で保持されたハーフミラー７で分岐させて間隙距離測定器１１と分光強度測定器１２とにそれぞれ入射させるように構成することも可能である。

前記２つの変形例は、いずれも前記実施形態の効果を同様に発揮することができる。

本実施形態に係る測定プローブおよび測定装置の構成を説明する図である。光導部材の入射面および入射光を説明する図である。本実施形態に係る測定プローブ等の第１変形例を示す図である。本実施形態に係る測定プローブ等の第２変形例を示す図である。従来の測定装置の構成を説明する図である。

符号の説明

１測定プローブ
２光導部材
３集光レンズ
１０測定装置
１１間隙距離測定器
１２分光強度測定器
Ｅ１第１電極
Ｅ２第２電極
P プラズマ放電処理装置

Claims

プラズマ放電処理装置におけるプラズマ電極間の距離を測定するための光情報と、前記プラズマ電極間に形成される放電空間におけるプラズマの分光強度を測定するための光情報とを同時に伝送する光導部材を備えることを特徴とする測定プローブ。
前記光導部材と前記プラズマ電極との間に集光レンズを備え、前記光情報は前記集光レンズにより集光されて前記光導部材に入射されることを特徴とする請求項１に記載の測定プローブ。
前記光導部材は、光ファイバで構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の測定プローブ。
前記光導部材は、前記プラズマ電極近傍から測定器に至る途中で分岐していることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の測定プローブ。
前記光導部材から出射された前記光情報がハーフミラーで分岐されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の測定プローブ。
前記請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の測定プローブを備え、前記測定プローブの光導部材から出射された光情報を用いて前記プラズマ電極間の距離を測定する間隙距離測定器と前記プラズマの分光強度を測定する分光強度測定器とを備えることを特徴とする測定装置。
前記請求項４に記載の測定プローブを備え、前記測定プローブの光導部材の分岐された一の端部から出射される光情報を用いて前記プラズマ電極間の距離を測定する間隙距離測定器および他の端部から出射される光情報を用いて前記プラズマの分光強度を測定する分光強度測定器がそれぞれ設けられていることを特徴とする測定装置。
前記請求項５に記載の測定プローブを備え、前記ハーフミラーで分岐された一の光情報を用いて前記プラズマ電極間の距離を測定する間隙距離測定器と他の光情報を用いて前記プラズマの分光強度を測定する分光強度測定器とを備えることを特徴とする測定装置。