JP3823143B2 - ダイヤフラム弁 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイヤフラム弁に係る。より詳細には、高い清浄性や無滞流性が要求される超純水、医薬品、食品、などの液配管系に使用されるダイヤフラム弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
上記の液配管系には、以前はボール弁やプラグコック弁などが主に使用されていた。ところが、これらの液配管系における洗浄性や無菌性などの要求の高まりに伴って内表面をバフ研磨したサニタリ弁が使用され、さらに最近ではダイヤフラム弁が主に使用されている。
【０００３】
この種の従来のダイヤフラム弁としては、ダイヤフラムの外部シール部と弁座とが同芯円上にある形式（フェイスシールタイプ）のものと、外部シール部と直交する弁座を持つ形式（米国サンダース社製ダイヤフラム弁の形式、以下サンダースタイプと称す）のものがある。ところが、フェイスシールタイプのダイヤフラム弁では、バッチ運転において液抜きが必要な場合には、対応できないという欠点がある。一方、サンダースタイプのダイヤフラム弁は、この弁を配管とともに傾斜させることで重力下において液抜きを行うことができるため、現在広く使われている。
【０００４】
サンダースタイプのダイヤフラム弁としては、例えば特開昭５５−１００４７５号公報に記載されたものが挙げられる。この概略的な構造は図１１に示したとおり、弁座１０１を有するバルブ本体１００、バルブ本体１００に取付けられたシリンダ本体１１０、シリンダ本体１１０の内部においてロッド１２０と一体で上下にスライド移動するコンプレッサー１３０、コンプレッサー１３０により駆動されて弁座１０１を開閉するダイヤフラム１４０、並びにコンプレッサー１３０を図１１において下側に押圧するバネ１５０を収容したアクチュエータハウジング１６０などで構成される。
【０００５】
図１１に示した従来のダイヤフラムでは、図示した通常状態ではバネ１５０による押圧によりコンプレッサー１３０がダイヤフラム１４０を押圧して弁座１０１が閉じられた状態である。そして、アクチュエータハウジング１６０に形成されたエアー供給孔１６１から圧搾空気を導入することで、コンプレッサー１３０が図１１において上方に移動し、これにより弁が開く。なお、ダイヤフラムはゴム基材にＰＴＦＥ膜を補強層として弁座側に積層したものが使用されている。
【０００６】
ところで、上述した配管系において、高いレベルの清浄性や無菌性が要求される場合、アルカリ減菌処理やスチーム減菌処理などが１バッチ毎に行われることが多い。なお、この種のアルカリ減菌処理は例えば２％ＮａＯＨ水により、またスチーム減菌は例えば１２１℃で３０分間行われる。
【０００７】
しかしながら、図１１に示した従来のダイヤフラム弁では、このようなスチーム減菌処理に耐えることができなかった。
【０００８】
本発明者は、以下に示すとおり、従来のサンダースタイプのダイヤフラム弁における不具合の原因は、ダイヤフラムが厚いためと考えた。
【０００９】
このタイプのダイヤフラム弁は、流路に直交した堰（せき）形状の弁座に対してコンプレッサーと称する押し部材でダイヤフラムを押し付ける構造を採っている。しかし、ダイヤフラム外周部とコンプレッサーの間に弁座を押さない部分（以後、未押部と称する）が存在する。この未押部のシール面圧を確保するためにダイヤフラムは、接液側に厚いＰＴＦＥ膜を配し、その上にさらに厚いゴム膜をのせている。ＰＴＦＥ膜には、シール面圧を確保するためにシール部分に突起が設けられている。一方、コンプレッサーと弁座のミスアライメントを緩和するためと未押部へのシール面圧伝達のために厚い補強用ゴム膜が設けられている。
【００１０】
上述した厚い２枚の膜、すなわちＰＴＦＥ膜とゴム膜とが、以下の問題の原因となっている。
【００１１】
（１）スチーム減菌工程で外部リーク、弁座リークが発生する問題
第１には、高温時、ダイヤフラムの接液側のＰＴＦＥ突起部がクリープを起こしたり、またダイヤフラム外周固定部の面圧も低下し、弁を作動させた時その部分にスベリが発生し、内側に引き込まれるため、外部リークが生じる。
【００１２】
第２には、この外周固定の不完全な状態で弁を閉止した場合、コンプレッサー直下の部分は閉止できても、未押部には十分な押し付け力が働かないため、弁座リークが生じる。
【００１３】
（２）必要駆動力が大きい問題
ダイヤフラムを構成するＰＴＦＥ膜およびゴム膜が厚く、その剛性が高いため、ダイヤフラムを所定の位置までリフトさせるのに大きな力が必要となる。そのため、バルブアクチュエーターは内圧に対抗しながら弁座を締めきる駆動力の他に、ダイヤフラムを上下にリフトするための大きな駆動力が必要になる。その結果、アクチュエーターの大型化が必要になる。
【００１４】
（３）ヒステリシスが大きい問題
バルブを流量制御用のコントロール弁として利用しようとしても、高剛性ダイヤフラムのためヒステリシスが大きくて精密な制御ができない。
【００１５】
なお、上記未押部の無いダイヤフラム弁が、特開平７−１２２４６号公報に開示されている。本公報では、コンプレッサーを大型化し堰形状の弁座と外周部を同時にシールすることによって構造的に未押部を無くしている。しかし、弁閉止時のデットスペースが大きくなるため、無滞留性を要求される本発明の用途では好ましい構造ではない。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ダイヤフラムの厚さが薄いにも拘わらず、外部リークと弁座リークが発生せず、熱サイクルに対する耐久性が高く、ダイヤフラムを上下にリフトさせるために要する駆動力が小さく形状をコンパクトにすることができ、かつ、ダイヤフラムのヒステリシスも小さなダイヤフラム弁を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係るダイヤフラム弁は、液体の流入路と流出路とを有するバルブ本体と、前記流入路と前記流出路との間に設けられた弁座と、前記弁座の上に配置されて前記流入路と前記流出路との間の開閉を行うダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを駆動して前記弁座と前記ダイヤフラムとの間を開閉する駆動部と、前記駆動部と前記ダイヤフラムの中央部とを接続する取付け部材と、前記駆動部にその一端が接続されているロッドと、前記ロッドを支軸として前記駆動部及び前記ロッドと一体で上下運動するピストンと、前記ピストンを取り囲むアクチュエータハウジングと、を少なくとも有するダイヤフラム弁において、
前記ダイヤフラムの前記駆動部側の外周端部上に、ゴム基材と、前記ゴム基材の前記ダイヤフラム側に一体化された補強層と、前記ゴム基材の前記駆動部側に埋設された補強布材と、から構成された円輪板を有することを特徴とする。
【００１８】
ここで、好ましい実施の形態においては、請求項９、１０のように、前記補強層はＰＴＦＥ膜であり、また前記補強布材がアラミド（芳香族ポリアミド）繊維である。また、ゴム基材としては、公知の各種の天然ゴムや合成ゴムあるいはプラスチックなどで構成されたものが使用される。
【００１９】
このような構成からなる円輪板を有することにより、未押部のシール面圧を確保することができ、また弁開時においてもダイヤフラム外周部のＰＴＦＥ膜に発生する屈曲疲労が防止できる。
【００２０】
請求項２に係るダイヤフラム弁は、ダイヤフラムは、ゴム基材と前記ゴム基材の前記弁座側に一体化された補強層とからなり、前記ゴム基材は、前記弁座側及び前記駆動部側にそれぞれ補強布材が埋設されていることを特徴とする。
【００２１】
ダイヤフラムを構成するゴム基材の弁座側に埋設された補強布材は弁内圧に耐えるため、また駆動部側に埋設された補強布材は弁開時において外周固定部の引裂防止のために、それぞれ使用される。
【００２２】
そして、このような補強布材を設けることで、ゴム基材、およびＰＴＦＥ膜のような補強層の厚さを従来に比べて薄くすることができるため、ダイヤフラムの薄肉化が実現する。また、ダイヤフラムを薄くしたにも拘わらず、未押部の確実なシールが達成され、加えて高温時におけるゴム反力の低下並びにクリープの発生を防止できることから、十分な高温耐久性も得られた。
【００２３】
また、請求項３に係るダイヤフラム弁は、前記ダイヤフラムの外周部は、前記バルブ本体と前記バルブ本体上に設けられたシリンダ本体との間で挟持されており、前記ダイヤフラムの外周部に金属補強部材が埋設されていることを特徴とする。さらに、請求項４に係るダイヤフラム弁は、前記バルブ本体と前記シリンダ本体は、前記ダイヤフラムの外周部を挟持する部分に、互いに対応する凹凸形状を有しており、かつ、前記ダイヤフラムを構成するゴム基材は、前記ダイヤフラムの外周部が前記外周部以外より厚さが薄いことを特徴とする。
【００２４】
このように、ダイヤフラムの外周部に金属補強部を設け、またこのダイヤフラム外周部をシリンダ本体とバルブ本体、ないしこれらに形成した凹凸部により挟むことで、さらにはシリンダ本体とバルブ本体で挟まれるダイヤフラム外周部の厚さを薄肉化（ゴム量の減少）することによって、ダイヤフラムの外周部を固定する強度を向上させることができる。
【００２５】
さらに、請求項５に係るダイヤフラム弁は、前記ダイヤフラムを構成するゴム基材には、前記弁座側に突出した突起が成形されていることを特徴とする。このようにダイヤフラムを構成するゴム基材の弁座当接部分に突起を形成することで、ゴム基材上のＰＴＦＥ膜などの補強層の厚さを均一にでき、ＰＴＦＥ膜の高温クリープが有効に防止されて、弁座シール性の安定化が図れる。
【００２６】
また、請求項６に係るダイヤフラム弁は、前記取付け部材の側部にゴム基材を設け、前記取付け部材の側部と前記ゴム基材とが加硫接着で一体化されていることを特徴とする。このように加硫接着とすることで、取付け部材の側部とゴム基材との密着強度が向上し、ダイヤフラム弁により大きな柔軟性を付与することができる。
【００２７】
また、請求項７に係るダイヤフラム弁は、前記取付け部材の側部に一体化された前記ゴム基材の外周に、金属製のブッシュが装着されていることを特徴とする。その結果、取付け部材の側部に一体化された前記ゴム基材と駆動部との粘着及びゴムの流動を防止することができる。
【００２８】
さらに、請求項８に係るダイヤフラム弁は、前記アクチュエータハウジングは、前記シリンダ本体にリベットを用いて締結されていることを特徴とする。その結果、低コストで締結ができ、かつ、駆動部のコンパクト化を図ることができる。
【００２９】
【発明の実施の形態】
図１に、本発明の実施の形態である、空気圧作動式のダイヤフラム弁の構造を示した。この実施の形態のダイヤフラム弁は、バルブ本体１０、バルブ本体１０の上側に固着されたシリンダ本体２０、シリンダ本体２０の上側に固着されたアクチュエータハウジング６０などから構成される。なお、このダイヤフラム弁は、通常状態において弁が閉じているＮＣ（常閉）型の構造のものである。また、シリンダ本体２０とアクチュエータハウジング６０とは、図示した例ではリベット２６により接合されている。
【００３０】
バルブ本体１０は、液体の流入路１２、流出路１３、並びに流入路１２と流出路１３の間に設けられた弁座１１を有している。弁座１１は、図示した例では、図１において紙面垂直方向に延在する凸状部である。
【００３１】
バルブ本体１０の中央部上側には、弁座１１の上に配置されて流入路１２と流出路１３の間の開閉を行うダイヤフラム４０、ダイヤフラム４０を駆動して弁座１１とダイヤフラム４０との間を開閉する駆動部であるコンプレッサー３０、ダイヤフラム４０の駆動部側の外周端部上に設けられた円輪板５０、コンプレッサー３０にその一端が接続されたロッド７０、ロッド７０の中央部に固着されたピストン８０、並びにアクチュエータハウジング６０とピストン８０の内側上面との間に配されたバネ６１、などが設けられている。
【００３２】
ダイヤフラム４０とコンプレッサー３０とは金属などで作られた取付け部材４１により接続されている。また、コンプレッサー３０、ロッド７０、並びにピストン８０は、後述するように、ロッド７０を支軸として一体で上下運動し、この上下運動に伴い上記のように弁座１１とダイヤフラム４０との間が開閉して、流入路１２と流出路１３の間の液体の流動が制御される。なお、コンプレッサー３０などを上移動させる場合には、シリンダ本体２０に形成されたエアー供給孔２１からアクチュエータハウジング６０とピストン８０の内側下面との間に圧搾空気を導入する。これにより、ピストン８０がコンプレッサー３０などとともに、バネの押圧力に抗しつつ上移動する。
【００３３】
以下では、図２〜図８を参照して、ダイヤフラム４０、コンプレッサー３０及び円輪板５０について詳細に説明する。
【００３４】
図２は、図１のダイヤフラム弁に使用されるダイヤフラム４０、コンプレッサー３０及び円輪板５０の斜視図である。図３は、図２に示したダイヤフラム４０のＡ部分を拡大した断面図である。図４は、図２に示したダイヤフラム４０のＢ部分を拡大した断面図である。図５は、図２に示した円輪板５０のＣ部分を拡大した断面図である。図６は、図２に示したコンプレサ３０のＤ部分を拡大した断面図である。
【００３５】
図２及び図３に示すように、ダイヤフラム４０は、フッ素ゴムなどで作られたゴム基材４３、ゴム基材４３の弁座側に一体化されたＰＴＦＥ膜からなる補強層４５、などで構成される。またゴム基材４３の上下部分には、例えばアラミド（芳香族ポリアミド）繊維を織成してなる補強布材４６、４７がそれぞれ埋設されている。
【００３６】
さらに、ダイヤフラム４０の外周部には、ベリリウム銅などで作られた環状板からなる金属補強部材４８が埋設されている。なお、ダイヤフラム４０の厚さは例えば１ｍｍであり、ゴム基材４３の厚さは例えば０．７ｍｍであり、補強層４５の厚さは例えば０．３ｍｍであり、補強板の厚さは例えば０．１ｍｍである。
【００３７】
また、ゴム基材４３には、図２に示したような、弁座側に突出した突起４４が成形されている。この突起４４は、例えば図２の下面から見て略十字状のものである。そして、この突起４４を含むゴム基材４３の下側（弁座側）に、上記の補強層４５が均一な厚さで一体化される。また、図４から明らかなように、ゴム基体４３は、取付け部材４１の側部４３’まで延在して、この側部にも一体化されている。さらに、図２及び図４に示すように、取付け部材４１の側部に一体化されたゴム基材４３’の外周には、金属製のブッシュ４２が装着されている。また、取付け部材４１にはピン４１’が設けられている。
【００３８】
図２及び図５に示すように、円輪板５０は、フッ素ゴムなどで作られたゴム基材５１と、ゴム基材５１のダイヤフラム４０側に一体化されたＰＴＦＥ膜からなる補強層５２と、ゴム基材５１の駆動部側に埋設された補強布材５３と、から構成されている。補強布材５３としては、例えばパラ型アラミド（芳香族ポリアミド）繊維を織成してなるものが好適に用いられる。
【００３９】
図２及び図６に示すように、コンプレッサー３０は、ダイヤフラム４０の中央の突出部分を収容する凹部３１、ロッド７０の一端の螺着部３２などを有している。
【００４０】
図７は、弁閉時の状態を示す模式的な断面図である。また、図８は、弁開時の状態を示す模式的な断面図である。図７は、ダイヤフラム４０の外周部および円輪板５０の外周部が、バルブ本体１０とシリンダ本体２０との間で挟持されている状態を示している。また、円輪板５０の外周部以外の領域は、ダイヤフラム４０の外周部以外の領域とコンプレサ３０とで挟まれている。しかし、シリンダ本体２０とコンプレサ３０との間には空間があり、この空間が円輪板５０及びダイヤフラム４０に対して面圧が加わらない未押部発生の原因となっている様子を示している。
【００４１】
図９は、上記円輪板５０を設けたダイヤフラム弁において、ダイヤフラムがバルブ本体１０を押付ける力をシミュレーションした結果（曲線１）を示すグラフである。比較例として、上記円輪板５０を設けなかったダイヤフラム弁の結果（曲線２）を示した。図９から、円輪板５０を設けることにより、ダイヤフラム４０に対する未押部の影響を軽減することができることが分かった。
【００４２】
図１０は、弁閉時の状態を示す他の模式的な断面図である。図１０では、ダイヤフラム４０の外周部および円輪板５０の外周部を挟持する、バルブ本体１０とシリンダ本体２０と対向する面に、凹凸部１４およびこの凹凸部１４に対応する凸凹部２７がそれぞれ設けられている。このため、ダイヤフラム４０の外周はシリンダ本体１０とバルブ本体２０の凹凸部１４と凸凹部２７との間にジグザグに挟まれて確実に挟持されるようになる。なお、凹凸部１４と凸凹部２７とによる挟持に代えて、凹部と凸部とによる挟持としても良い。
【００４３】
なお、以上の構成において、Ｏリングなどで作られたシール部材７１、６２、８１、２２、２３や、ＤＵブッシュ２４などが、各摺動部分に設けられている。また、上記のゴム基材４３、補強層４５、並びに取付け部材４１は、ゴム基材４３としてゴム系の材料を用いた場合において、加硫接着により一体化される。
【００４４】
この実施の形態のダイヤフラム弁では、弁が閉じている状態（図７）から弁を開いた状態（図８）とする場合は、上記のようにエアー供給孔２１に圧搾空気を供給する。これにより、ピストン８０が上方に押し上げられ、ピストン８０とともにロッド７０およびコンプレッサー３０が上方に移動する結果、ダイヤフラム４０と弁座１１との間に間隙ができて弁が開く。また、弁を閉じる場合には、エアー供給孔２１への圧搾空気供給を停止する。これにより、バネ６１の押圧力によりピストン８０、ロッド７０、並びにコンプレッサー３０が下降し、コンプレッサー３０がダイヤフラム４０を下に押圧する結果、弁が閉の状態となる。
【００４５】
以上説明した実施の形態のダイヤフラム弁では、ダイヤフラムの周囲に金属補強部を設け、またＰＴＦＥ膜などからなる補強層やダイヤフラムを薄肉化できるので、弁のシール部の確実性を高めることができる。つまり、金属補強部を設けることで、ダイヤフラム内の弁座側の補強布材をバルブ本体の段差に確実に押し当てることができて、ダイヤフラムの挟み込み部のシール効果が向上する。また、補強層であるＰＴＦＥ膜の薄肉化により、ＰＴＦＥ膜のクリープが極小化される。さらに、ダイヤフラムの薄肉化により、弁作動時にダイヤフラム外周のシール部に作用する引張り力を極小化できる。この結果、シール性が向上する。
【００４６】
さらに、駆動力の低減を図ることもできる。これは、ダイヤフラムの薄肉化と弁座シールの安定化によるものである。ダイヤフラムの薄肉化は、ダイヤフラムに補強布材を埋設したことによるもので、薄肉でも内圧に耐える強度を持たせることができる。また、弁座シールの安定化は、補強層（ＰＴＦＥ膜）の薄肉化、ダイヤフラムの弁座シール面の突起形成、並びにコンプレッサーのクッション材の加硫接着によって得られる。
【００４７】
なお、補強層であるＰＴＦＥ層の薄肉化について、ゴムとＰＴＦＥとを比較した場合に液体のシール性（閉止圧力／面圧）はゴムが良いため、ＰＴＦＥ膜はゴムに加硫接着してできる限り薄肉したものである。また、弁座シール面の突起を設けることで、より少ない押付け力でダイヤフラムにより弁座を閉止することができる。
【００４８】
アクチュエーターの出力は、ダイヤフラムを作動させる力（ｆ１）、弁座を閉止するための押付け力（ｆ２）、圧力に対抗する力（ｆ３）、及び、余力で表すことができるが、上記のダイヤフラムの薄肉化により力ｆ１が、また弁座シールの安定化により力ｆ２を低減することができる。その結果、駆動力の低減を図ることができる。
【００４９】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ダイヤフラムの駆動部側の外周端部上に、ゴム基材と、前記ゴム基材の前記ダイヤフラム側に一体化された補強層と、前記ゴム基材の前記駆動部側に埋設された補強布材と、から構成された円輪板を有するため、未押部のシール面圧を確保することができ、弁開時におけるダイヤフラム外周部のＰＴＦＥ膜に発生する屈曲疲労が防止できる。
【００５０】
また、ダイヤフラムを構成するゴム基材に補強布材を埋設する構成としたので、ゴム基材や補強層の厚さを従来に比べて薄くすることができるため、高温時におけるゴム反力の低下やクリープ発生が防止できる。その結果、高温耐久性が向上し、図１１の従来のダイヤフラム弁では高温下（例えば１２１℃）では多数回（例えば５００回）の作動に耐えられなかったのに対し、本発明の場合には２万回の耐久試験にも耐えることができる。
【００５１】
さらに、ダイヤフラムの薄肉化や弁座シールの安定化により駆動部の駆動力を小さくできるため、駆動部をコンパクトとすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態のダイヤフラム弁を示した断面図である。
【図２】図１のダイヤフラム弁に使用されるコンプレッサーとダイヤフラムと円輪板の斜視図である。
【図３】図２におけるＡの部分を拡大した断面図である。
【図４】図２におけるＢの部分を拡大した断面図である。
【図５】図２におけるＣの部分を拡大した断面図である。
【図６】図２におけるＤの部分を拡大した断面図である。
【図７】図１のダイヤフラム弁の要部を説明した断面図である。
【図８】図１のダイヤフラム弁の要部を説明した他の断面図である。
【図９】ダイヤフラムがバルブ本体を押付ける力をシミュレーションした結果を示すグラフである。
【図１０】図１のダイヤフラム弁の要部を説明した他の断面図である。
【図１１】従来のダイヤフラム弁を示した断面図である。
【符号の説明】
１０ バルブ本体、
１１ 弁座、
１２ 液体の流入路、
１３ 液体の流出路、
２０ シリンダ本体、
２１ エアー供給口、
２２、２３、２４、６２、７１、８１ シール部材、
２６ リベット、
３０ 駆動部であるコンプレッサー、
３１ 凹部、
３２ 螺着部、
４０ ダイヤフラム、
４１ 取付け部材、
４１’ ピン、
４２ 金属製のブッシュ、
４３ ゴム基材、
４４ 突起、
４５ 補強層、
４６、４７ 補強布材、
４８ 金属補強部、
５０ 円輪板、
５１ ゴム基材、
５２ 補強層、
５３ 補強布材、
６０ アクチュエータハウジング、
６１ バネ、
７０ ロッド、
８０ ピストン、
９０ 開度制限器、
９１ リミットスイッチ、
１００ バルブ本体、
１０１ 弁座、
１１０ シリンダ本体、
１２０ ロッド、
１３０ コンプレッサー、
１４０ ダイヤフラム、
１５０ バネ、
１６０ アクチュエータハウジング。

Claims (10)

1. 液体の流入路と流出路とを有するバルブ本体と、
   前記流入路と前記流出路との間に設けられた弁座と、
   前記弁座の上に配置されて前記流入路と前記流出路との間の開閉を行うダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムを駆動して前記弁座と前記ダイヤフラムとの間を開閉する駆動部と、
   前記駆動部と前記ダイヤフラムの中央部とを接続する取付け部材と、
   前記駆動部にその一端が接続されているロッドと、
   前記ロッドを支軸として前記駆動部及び前記ロッドと一体で上下運動するピストンと、
   前記ピストンを取り囲むアクチュエータハウジングと、
   を少なくとも有するダイヤフラム弁において、
   前記ダイヤフラムの前記駆動部側の外周端部上に、
   ゴム基材と、
   前記ゴム基材の前記ダイヤフラム側に一体化された補強層と、
   前記ゴム基材の前記駆動部側に埋設された補強布材と、
   から構成された円輪板を有することを特徴とするダイヤフラム弁。
2. 前記ダイヤフラムは、ゴム基材と前記ゴム基材の前記弁座側に一体化された補強層とからなり、
   前記ゴム基材は、前記弁座側及び前記駆動部側にそれぞれ補強布材が埋設されていることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム弁。
3. 前記ダイヤフラムの外周部は、前記バルブ本体と前記バルブ本体上に設けられたシリンダ本体との間で挟持されており、前記ダイヤフラムの外周部に金属補強部が埋設されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイヤフラム弁。
4. 前記バルブ本体と前記シリンダ本体は、前記ダイヤフラムの外周部を挟持する部分に、互いに対応する凹凸形状を有しており、
   かつ、
   前記ダイヤフラムを構成するゴム基材は、前記ダイヤフラムの外周部が前記外周部以外より厚さが薄いことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。
5. 前記ダイヤフラムを構成するゴム基材には、前記弁座側に突出した突起が成形されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。
6. 前記取付け部材の側部にゴム基材を設け、前記取付け部材の側部と前記ゴム基材とが加硫接着で一体化されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。
7. 前記取付け部材の側部に一体化された前記ゴム基材の外周に、金属製のブッシュが装着されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。
8. 前記アクチュエータハウジングは、前記シリンダ本体にリベットを用いて締結されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。
9. 前記補強層が、ＰＴＦＥ膜であることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。
10. 前記補強布材が、アラミド繊維であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のダイヤフラム弁。

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