CN106062439B - 隔膜的固定构造、具备其的隔膜泵和阀装置、以及隔膜的固定方法 - Google Patents

隔膜的固定构造、具备其的隔膜泵和阀装置、以及隔膜的固定方法 Download PDF

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Abstract

本发明在内部形成有空间(20)的壳体(2)利用固定构造(4)固定将空间(20)分隔为第1室(21)与第2室(22)的隔膜(3)。壳体(2)具备：具有形成第1室(21)侧的第1凹部(50)的第1框架(5)；以及具有形成第2室(22)侧的第2凹部(60)的第2框架(6)。通过第1框架(5)与第2框架(6)嵌合，在第1框架(5)与第2框架(6)之间压缩并保持隔膜(3)的周缘部(32)。固定构造(4)还具备从壳体(2)的外侧对第1框架(5)的第1臂部(52)与第2框架(6)的第2臂部(62)进行紧固的紧固件(7)。

Description

隔膜的固定构造、具备其的隔膜泵和阀装置、以及隔膜的固定 方法
技术领域
本发明涉及在内部形成有空间的壳体固定将空间分隔为第1室与第2室的隔膜的隔膜的固定构造、具备该隔膜的固定构造的隔膜泵和阀装置、以及隔膜的固定方法。
背景技术
在化学检查、环境分析或者生命工程研究等各种分析中，为了以准确的分量输出被处理流体，而使用具备隔膜的隔膜泵、阀装置。例如，在专利文献1中，公开了利用一对框架夹持并固定隔膜的构造的隔膜泵。在该隔膜泵中，为了抑制隔膜的周缘部中的流体的泄漏，而利用多对螺栓以及螺母将各框架彼此结合起来
专利文献1：日本特开平11－183359号公报
上述流体的泄漏起因于一对框架压缩隔膜的力整体或者局部不足。因此，在上述隔膜的固定构造中，为了以足够的力均衡地压缩隔膜，而使用多个螺栓以及螺母。
然而，在上述隔膜的固定构造中，部件件数增加，成为阻碍隔膜泵、阀装置的成本降低的一个因素。另外，螺栓以及螺母的紧固作业耗时，给作业者增加了负担，并且隔膜泵、阀装置的组装所需的工时增加。
发明内容
本发明是鉴于以上那样的实际情况而提出的，其主要目的在于提供通过减少部件件数且容易组装，从而能够实现成本降低的隔膜的固定构造等。
本发明涉及在内部形成空间的壳体固定将上述空间分隔为第1室与第2室的隔膜的隔膜的固定构造，其特征在于，上述壳体具备：第1框架，其具有形成上述第1室侧的第1凹部；以及第2框架，其具有形成上述第2室侧的第2凹部，上述第1框架具有：与上述第2框架对置的第1框架主体、以及沿上述第1框架主体的外缘间断地设置并且向上述第2框架侧延伸的多个第1臂部，上述第2框架具有：与上述第1框架对置的第2框架主体、以及沿上述第2框架主体的外缘间断地设置并且向上述第1框架侧延伸的多个第2臂部，通过使上述第1框架与上述第2框架嵌合，而在上述第1框架与上述第2框架之间压缩并保持上述隔膜的周缘部，并且，还具备从上述壳体的外侧对上述第1臂部与上述第2臂部进行紧固的紧固件。
在本发明的上述阀装置中，优选在上述第1臂部以及上述第2臂部设置有用于对上述紧固件的位置进行保持的错位防止机构。
在本发明的上述阀装置中，优选上述错位防止机构包括：在相比设置于上述各第1臂部的上述紧固件更靠上述第2框架主体侧而向壳体外侧伸出的第1防脱突起、以及在相比设置于上述各第2臂部的上述紧固件更靠上述第1框架主体侧而向壳体外侧伸出的第2防脱突起。
在本发明的上述阀装置中，优选上述错位防止机构为在上述第1臂部以及上述第2臂部的外周面沿上述壳体的外缘延伸的环状沟。
在本发明的上述阀装置中，优选上述第1臂部与上述第2臂部沿上述壳体的外缘交替设置。
在本发明的上述阀装置中，优选上述第1臂部与上述第2臂部沿上述壳体的外周连续设置。
在本发明的上述阀装置中，优选上述隔膜的上述周缘部连续设置有厚度大的厚壁部。
在本发明的上述阀装置中，优选在上述第1框架以及/或者上述第2框架形成有供上述厚壁部配置的定位用凹槽。
本发明涉及一种具备技术方案1～8中的任一项所述的隔膜的固定构造的隔膜泵，其特征在于，上述第1框架形成有与上述第1室连通的第1端口，上述第2框架形成有与上述第2室连通的第2端口，经由上述第1端口向上述第1室供给用于驱动上述隔膜的流体，上述第2室经由上述第2端口流出流入被处理流体。
本发明涉及具备技术方案1～8中的任一项所述的隔膜的固定构造的阀装置，其特征在于，在上述第1框架的上述第1室设置有用于驱动上述隔膜的驱动机构，上述第2框架具有：使流体向上述第2室流入的流入端口、以及使流体从上述第2室流出的流出端口，上述流出端口具有在周围形成有阀座的开口，上述隔膜相对于上述阀座落座或者分离，从而开闭上述流出端口。
本发明涉及在内部形成有空间的壳体固定将上述空间分隔为第1室与第2室的隔膜的隔膜的固定方法，其特征在于，上述壳体具备：第1框架，其具有形成上述第1室侧的第1凹部；以及第2框架，其具有形成上述第2室侧的第2凹部，上述第1框架具有：与上述第2框架对置的第1框架主体；以及沿上述第1框架主体的外缘间断地设置并且向上述第2框架侧延伸的多个第1臂部，上述第2框架具有：与上述第1框架对置的第2框架主体；以及沿上述第2框架主体的外缘间断地设置并且向上述第1框架侧延伸的多个第2臂部，该隔膜的固定方法包括：框架嵌合工序，使上述第1框架与上述第2框架嵌合；隔膜保持工序，在上述第1框架与上述第2框架之间压缩并保持上述隔膜的周缘部；以及紧固件安装工序，在上述第1臂部与上述第2臂部从上述壳体的外侧安装紧固件，从而对上述第1框架与上述第2框架进行紧固。
本发明涉及在内部形成有空间的壳体固定将空间分隔为第1室与第2室的隔膜的隔膜的固定构造，壳体具备：具有形成第1室侧的第1凹部的第1框架；以及具有形成第2室侧的第2凹部的第2框架。通过使第1框架与第2框架嵌合，在第1框架与第2框架之间压缩并保持隔膜的周缘部。由此，抑制隔膜的周缘部处的被处理流体的泄漏。
第1框架具有：与第2框架对置的第1框架主体；以及沿第1框架主体的外缘间断地设置并且向第2框架侧延伸的多个第1臂部，第2框架具有：与第1框架对置的第2框架主体；以及沿第2框架主体的外缘间断地设置并且向第1框架侧延伸的多个第2臂部。并且，本隔膜的固定构造具备从壳体的外侧对第1臂部与第2臂部进行紧固的紧固件，因此实现第1框架与第2框架的稳固嵌合的状态。因此，减少隔膜的固定构造的部件件数且容易组装，从而能够实现成本降低。
本发明的隔膜泵具备上述隔膜的固定构造，经由第1端口向第1框架的第1室供给用于驱动隔膜的流体，经由第2端口向第2框架的第2室流出或流入被处理流体。由此，能够利用简单且廉价的结构的隔膜泵以准确的分量输出被处理流体。
本发明的阀装置具备上述隔膜的固定构造，在第1框架的第1室设置有用于驱动隔膜的驱动机构，第2框架具有：使流体向上述第2室流入的流入端口；以及使流体从上述第2室流出的流出端口。流出端口具有在周围形成有阀座的开口，隔膜相对于阀座落座或者分离，从而开闭流出端口。由此，能够利用简单且廉价的结构的阀装置以准确的分量输出被处理流体。
本发明的隔膜的固定方法包括使第1框架与第2框架嵌合的框架嵌合工序。由此，以足够的力稳固地嵌合第1框架与第2框架。并且，本固定方法包括在第1框架与第2框架之间压缩并保持隔膜的周缘部的隔膜保持工序，因此抑制隔膜的周缘部处的被处理流体的泄漏。并且，本固定方法包括从壳体的外侧安装紧固件来对第1框架与第2框架进行紧固，从而实现稳固嵌合的状态的紧固件安装工序，因此将第1框架与第2框架稳固地形成为一体，从而进一步抑制隔膜的周缘部处的被处理流体的泄漏。
附图说明
图1是表示具备本发明的一个实施方式的隔膜泵的分析装置的局部结构的说明图。
图2是图1的隔膜泵的立体图。
图3是图2的隔膜泵的俯视图。
图4是图3的隔膜的A－A线剖视图。
图5是图3的隔膜的B－B线剖视图。
图6是图2的隔膜泵的组装立体图。
图7是图6的第1壳体或者第2壳体的立体图。
图8是图6的隔膜的剖视图。
图9是表示本发明的其他实施方式的阀装置的结构的剖视图。
图10是对图9的电磁圈进行了通电的状态下的阀装置的剖视图。
图11是图9的壳体的立体图。
图12是图11的壳体的组装立体图。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
(第1实施方式)
图1表示本发明的第1实施方式的隔膜泵1的简要结构。隔膜泵1定量输出试料等被处理流体。隔膜泵1具有：在内部形成有空间20的壳体2；以及将空间20分隔为第1室21与第2室22的隔膜3。通过将气体等流体向第1室21填充排出，而将被处理流体从第2室22输出。
也就是说，利用向第1室21填充排出的气体来驱动隔膜3而使之变形，由此将定量的流体从第2室22输出。所输出的流体的体积由空间20的容积以及隔膜3占据空间20内的体积等决定。
在图2以及3示出了隔膜泵1的外观。在图4以及图5示出了图3所示的隔膜泵1的A－A线剖视图以及B－B线剖视图。在图6示出了隔膜泵1的组装立体图。隔膜3通过固定构造4固定于壳体2。
隔膜泵1的壳体2具备：具有第1凹部50的第1框架5；以及具有第2凹部60的第2框架6。第1框架5与第2框架6相互嵌合，并经由紧固件7实现稳固嵌合的状态。第1凹部50形成第1室21侧的空间20a。第2凹部60形成第2室22侧的空间20b。第1凹部50与第2凹部60被配置为相互对置。第1凹部50以及第2凹部60形成为圆锥状。
考虑耐化学性等来设定构成第1框架5以及第2框架6的材料。例如，使用PP(聚丙烯)、POM(聚甲醛)、PEEK(聚醚醚酮)、PPS(聚苯硫醚)或者PTFE(聚四氟乙烯)等。在本实施方式中，第1框架5与第2框架6不通过粘合等，而是通过机械嵌合来接合，因此能够应用难粘合材料，从而能够提高材料选择的自由度。
如图4以及图5所示，隔膜3具有：将空间20分隔为第1室21与第2室22的膜部31；以及形成于膜部31的外周缘的周缘部32。周缘部32由第1框架5与第2框架6夹持。膜部31弹性变形，从而第1室21以及第2室22的容积交替增减。
通过第1框架5与第2框架6嵌合而在第1框架5与第2框架6之间压缩并保持隔膜3的周缘部32。由此，抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
隔膜3例如作为橡胶成分而由包含乙烯－丙烯－二烯(EPDM)、氟类橡胶(FKM、FPM、FFKM)、氢化丁腈橡胶(HNBR)、丁烯系橡胶(IIR)或者硅酮橡胶(VMQ)的1种以上的弹性材料构成。在对于聚合物主链使用了包含双键的橡胶材料的情况下，在经过长期间使用时，聚合物主链被切断，存在无法维持隔膜3的耐久性能的顾虑。在上述橡胶成分之中，从阻气性、耐热性、耐化学性以及制造成本的观点来看，特别优选乙烯－丙烯－二烯。
图7表示第1框架5。如图2、图3、图5以及图7等所示，第1框架5具有：上述第1凹部50；与第2框架6对置的第1框架主体51；以及将第2框架6保持为防脱状态的第1臂部52。第1凹部50隔着隔膜而形成于第1框架主体51的与第2框架6对置的内端面。第1框架主体51形成为大致圆柱状。沿第1框架主体51的外缘间断地设置有多个第1臂部52。
如图6、图7所示，在本实施方式中，第1框架5与第2框架6形成为相同的形状。因此，能够利用相同的金属模制造第1框架5与第2框架6，从而能够降低隔膜泵1的制造成本。
第2框架6具有：与第1框架5对置的第2框架主体61；以及将第1框架5保持为防脱状态的第2臂部62。在第2框架主体61的与第1框架5对置的内端面形成有第2凹部60。第2框架主体61形成为大致圆柱状。在第2框架主体61的外缘间断地设置有多个第2臂部62。
在上述的第1框架5与第2框架6嵌合时，通过在第1臂部52与第2框架6之间产生的摩擦力，将第2框架6保持为防脱状态。此外，利用在第2臂部62与第1框架5之间产生的摩擦力，实现第1框架5与第2框架6稳固嵌合的状态。
在第1臂部52以及第2臂部62，从壳体2的外侧安装有紧固件7。在本实施方式中，作为紧固件7，应用了由能够弹性变形的金属构成的卡环。紧固件7也可以构成为相对于第1臂部52以及第2臂部62能够拆装。若紧固件7安装于第1臂部52以及第2臂部62，则第1臂部52以及第2臂部62由紧固件7紧固，从而将第1框架5保持为防脱状态。由此，无需紧固螺栓以及螺母，而将第1框架5与第2框架6嵌合为一体。因此，减少隔膜3的固定构造4的部件件数、并且容易组装，从而能够实现成本降低。此外，能够将隔膜泵1的结构形成为简单且廉价的结构。
在第1臂部52设置有用于保持紧固件7的位置的错位防止机构53。错位防止机构53包括第1防脱突起54，第1防脱突起54在相比设置于各第1臂部52的紧固件7更靠第2框架主体61侧向壳体2的外侧伸出。在第1臂部52设置有第1防脱突起54，从而第1臂部52的外侧形成为阶梯状。第1臂部52的内侧也形成为阶梯状。
同样，在第2臂部62设置有用于保持紧固件7的位置的错位防止机构63。错位防止机构63包括第2防脱突起64，第2防脱突起64在相比设置于各第2臂部62的紧固件7更靠第1框架主体51侧向壳体2的外侧伸出。在第2臂部62设置有第2防脱突起64，从而第2臂部62的外侧形成为阶梯状。第2臂部62的内侧也形成为阶梯状。
在壳体2安装有紧固件7，从而紧固件7向第1臂部52的前端的方向推压第1防脱突起54，并且向第2臂部62的前端的方向推压第2防脱突起64。由此，第1框架主体51与第2框架主体61紧贴，隔膜3的周缘部32被第1框架主体51以及第2框架主体61夹持为压缩状态。因此，进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
错位防止机构53、63的形态并不限定于上述的第1防脱突起54、第2防脱突起64，只要是具有用于保持紧固件7的位置的功能的形态即可。例如，错位防止机构53、63也可以是在第1臂部52以及第2臂部62的外周面沿壳体2的外缘延伸的环状沟(未图示)。通过上述环状沟也会保持紧固件7的位置，并且通过紧固件7所产生的作用力来提高第1框架主体51与第2框架主体61的紧贴性，从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图4、图7所示，在第1框架5形成有与第1室21连通的第1端口57。在第1端口57的前端部形成有用于连接配管(未图示)的螺纹接头58。经由配管以及第1端口57而相对于第1室21流入流出用于驱动隔膜3的气体。此外，第1臂部52被设置为避免与螺纹接头58的干扰。
在本实施方式中，第1端口57沿圆柱状的第1框架5的端面延伸，并与形成于侧面的螺纹接头58连通，但第1端口57也可以为朝向圆柱状的第1框架5的端面延伸的形态。在该情况下，螺纹接头58形成于第1框架5的端面。
如图4、图7所示，在第2框架6形成有与第2室22连通的第2端口67。在第2端口67的前端部形成有用于连接配管(未图示)的螺纹接头68。经由配管以及第2端口67相对于第2室22流入流出被处理流体。此外，第2臂部62被设置为避免与螺纹接头68的干扰。第1框架5与第2框架6以使螺纹接头58与螺纹接头68在俯视下重叠的方式对齐位置并嵌合。
在本实施方式中，第2端口67沿圆柱状的第2框架6的端面延伸，并与形成于侧面的螺纹接头68连通，但第2端口67也可以为朝向圆柱状的第2框架6的端面延伸的形态。在该情况下，螺纹接头68形成于第2框架6的端面。
如图2、图6所示，第1臂部52与第2臂部62沿壳体2的外周交替设置。由此，能够均衡地压缩隔膜3的周缘部32，从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
并且，在本实施方式中，第1臂部52与第2臂部62沿壳体2的外周连续设置。由此，能够以足够的力均衡地压缩隔膜3的周缘部32，从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图6、图7所示，在第1框架5的相邻的第1臂部52之间形成有第3凹部59。第3凹部59以与第2框架6的第2臂部62对应的形状形成为阶梯状。第3凹部59与第2框架6的第2臂部62嵌合。通过上述嵌合，将第1框架5与第2框架6进一步稳固地嵌合为一体。因此，进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
另一方面，在第2框架6的相邻的第2臂部62之间形成有第4凹部69。第4凹部69以与第1框架5的第1臂部52对应的形状形成为阶梯状。第4凹部69与第1框架5的第1臂部52嵌合。通过上述嵌合，将第1框架5与第2框架6进一步稳固地嵌合为一体。因此，进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
图8表示隔膜3的A－A线截面。隔膜3的周缘部32连续设置有比膜部31厚度大的厚壁部33。由此，在充分确保隔膜3的耐久性的基础上，第1框架5以及第2框架6能够对厚壁部33施加充足够的压力来保持隔膜3，从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。
如图7所示，在第1框架5形成有供厚壁部33嵌合的凹槽55。同样，在第2框架6形成有供厚壁部33嵌合的凹槽65。凹槽55与凹槽65的总深度被设定为比厚壁部33的厚度小。利用这种凹槽55以及65来适度地压缩厚壁部33，从而进一步抑制隔膜3的周缘部32处的被处理流体的泄漏。另外，凹槽55以及65在将隔膜3组装于第1框架5以及第2框架6的内部时作为定位用沟而发挥功能，从而提高隔膜泵1的生产效率。
以下，参照图6对在本实施方式的壳体2固定隔膜3的隔膜的固定方法进行说明。隔膜的固定方法包括：框架嵌合工序、隔膜保持工序以及紧固件安装工序。
在框架嵌合工序中，第1凹部50(参照图5等)隔着隔膜3而与第2凹部60相对，第1臂部52与第2臂部62沿壳体2的外缘交替配置，并且第1框架5与第2框架6嵌合。在隔膜保持工序中，在第1框架5与第2框架6之间压缩并保持隔膜3的周缘部32。之后，在紧固件安装工序中，紧固件7从壳体2的外侧安装于第1臂部52以及第2臂部62。由此，第1臂部52以及第2臂部62通过紧固件7紧固，从而实现第1框架5与第2框架6稳固嵌合的状态，由此将第1框架5与第2框架6稳固地形成为一体。
(第2实施方式)
图9表示本发明的第2实施方式的阀装置。阀装置8具有：在内部形成有空间20A的壳体2A；以及将空间20A分隔为第1室21A与第2室22A的隔膜3A。隔膜3A利用固定构造4A固定于壳体2A。
壳体2A具备：具有第1凹部50A的第1框架5A；以及具有第2凹部60A的第2框架6A。第1凹部50A形成第1室21A侧的空间。第2凹部60A形成第2室22A侧的空间。
隔膜3A具有：将空间20A分隔为第1室21A与第2室22A的膜部31A；以及形成于膜部31A的外周缘的周缘部32A。周缘部32A由第1框架5A与第2框架6A夹持。膜部31A弹性变形，从而使得隔膜3A能够摆动。
通过第1框架5A与第2框架6A嵌合而在第1框架5A与第2框架6A之间压缩并保持隔膜3A的周缘部32A。由此，抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
构成第1框架5A以及第2框架6A的材料与第1实施方式的第1框架5以及第2框架6相同。构成隔膜3A的材料也与第1实施方式的隔膜3相同。
在第1框架5A的第1凹部50A亦即第1室21A设置有驱动隔膜3A的驱动机构80。隔膜3A由驱动机构80驱动而摆动。驱动机构80具有：与隔膜3A一体地摆动的摆动部件81；按压摆动部件81的一端部的第1柱塞(可动铁心)82；以及按压摆动部件81的另一端部的第2柱塞83等。摆动部件81收容于空间20A。摆动部件81被轴部件81a支承为能够转动。轴部件81a的两端被支承于第1框架5A。
第1柱塞82由第1螺旋弹簧84、电磁圈85以及固定铁心86驱动，并将其驱动力传递至摆动部件81。第2柱塞83由第2螺旋弹簧87驱动，并将其驱动力传递至摆动部件81。第1螺旋弹簧84的弹簧载荷被设定为比第2螺旋弹簧87的弹簧载荷大。摆动部件81以及隔膜3A承受由第1柱塞82以及第2柱塞83传递的驱动力而以轴部件81a为旋转轴而跷板状地转动。
第2框架6A具有：使流体向第2室22A流入的流入端口(通用端口：Common Port)71；使流体从第2室22A流出的NC(常闭：Normally Close)流出端口72以及NO(常开：NormallyOpen)流出端口73。NC流出端口72具有在周围形成有阀座72a的开口72b。隔膜3A相对于阀座72a落座或者分离，由此开闭NC流出端口72。NO流出端口73具有在周围形成有阀座73a的开口73b。隔膜3A相对于阀座73a落座或者分离，由此开闭NO流出端口73。摆动部件81转动，从而NC流出端口72或者NO流出端口73中的任一方的端口关闭，另一方的端口开放。由此，各端口交替开闭。本实施方式的阀装置8是通过驱动机构80的电磁圈85所产生的电磁力来驱动隔膜3A并开闭NC流出端口72以及NO流出端口73从而切换流路的所谓的电磁阀。
以下，对阀装置8的开闭动作进行说明。流入端口71平时开放，并从流入端口71向第2室22A内供给流体。如已经叙述过的那样，第1螺旋弹簧84的弹簧载荷比第2螺旋弹簧87的弹簧载荷大，因此第1螺旋弹簧84所产生的弹力比第2螺旋弹簧87所产生的弹力大。因此，在通常时，摆动部件81以及隔膜3A的姿势如图9所示那样被维持为绕图中逆时针转动的姿势，从而NC流出端口72关闭，NO流出端口73开放。与此相伴，如箭头A所示，从NO流出端口73输出从流入端口71流入至第2室22A的流体。
图10表示对电磁圈85进行了通电的状态下的阀装置8。若向电磁圈85流动规定的电流，则第1柱塞82因其电磁力而向压缩第1螺旋弹簧84的方向移动。此时，第2柱塞83按压摆动部件81，因此摆动部件81以及隔膜3A绕顺时针转动，从而NO流出端口73关闭，NC流出端口72开放。与此相伴，如箭头B所示，从NC流出端口72输出从流入端口71流入至第2室22A的流体。
图11表示阀装置8所具备的壳体2A的立体图。图12表示壳体2与隔膜3A的组装立体图。第1框架5A具有：上述第1凹部50A；与第2框架6A对置的第1框架主体51A；以及将第2框架6A保持为防脱状态的第1臂部52A。如图9所示，第1凹部50A形成于第1框架主体51A的与第2框架6A对置的内端面。沿第1框架主体51A的外缘设置有多个第1臂部52A。第2框架6A具有：与第1框架5A对置的第2框架主体61A；以及将第1框架5A保持为防脱状态的第2臂部62A。在第2框架主体61A的与第1框架5A对置的内端面形成有第2凹部60A。沿第2框架主体61A的外缘设置有多个第2臂部62A。
当上述的第1框架5A与第2框架6A嵌合时，通过在第1臂部52A与第2框架6A之间产生的摩擦力，将第2框架6A保持为防脱状态。并且，通过在第2臂部62A与第1框架5A之间产生的摩擦力，实现第1框架5A与第2框架6A稳固嵌合的状态。
在第1臂部52A以及第2臂部62A，从壳体2A的外侧安装有紧固件7A。在本实施方式中，作为紧固件7A，应用了由能够弹性变形的金属构成的卡环。紧固件7A也可以构成为相对于第1臂部52以及第2臂部62能够拆装。若紧固件7A安装于第1臂部52以及第2臂部62，则第1臂部52以及第2臂部62由紧固件7A紧固，从而将第1框架5A保持为防脱状态。由此，无需紧固螺栓以及螺母，就能够将第1框架5A与第2框架6A嵌合为一体。因此，减少隔膜3A的固定构造4A的部件件数且容易组装，从而能够实现成本降低。此外，能够将阀装置8的结构形成为简单并且廉价的结构。在本实施方式中，考虑向第1臂部52以及第2臂部62安装的容易性，应用了被分割为两部分的一对紧固件7A，但也可以是形成为一体的环状的紧固件。
在第1臂部52A设置有用于保持紧固件7A的位置的错位防止机构53A。错位防止机构53A包括在相比设置于各第1臂部52A的紧固件7A而更靠第2框架主体61A侧向壳体2A的外侧伸出的第1防脱突起54A。在第1臂部52A设置有第1防脱突起54A，从而第1臂部52A的外侧形成为阶梯状。第1臂部52A的内侧也形成为阶梯状。
同样，在第2臂部62A设置有用于保持紧固件7A的位置的错位防止机构63A。错位防止机构63A包括在相比设置于各第2臂部62A的紧固件7A而更靠第1框架主体51A侧向壳体2A的外侧伸出的第2防脱突起64A。在第2臂部62A设置有第2防脱突起64A，从而第2臂部62A的外侧形成为阶梯状。第2臂部62A的内侧也形成为阶梯状。
在壳体2A安装有紧固件7A，从而紧固件7A向第1臂部52A的前端的方向推压第1防脱突起54A，并且通过其反作用力向第2臂部62A的前端的方向推压第2防脱突起64A。由此，使得第1框架主体51A与第2框架主体61A紧贴，隔膜3A的周缘部32A被第1框架主体51A以及第2框架主体61A夹持为压缩状态。因此，进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
如图12所示，在本实施方式中，作为错位防止机构53A，在第1框架主体51A的外缘设置有第3凹部56A。同样，作为错位防止机构63A，在第2框架主体61A的外缘设置有第4凹部66A。在第3凹部56A以及第4凹部66A嵌合有凸部70A，该凸部70A以向内侧突出的方式形成于紧固件7A的前端部。通过第3凹部56A以及第4凹部66A与凸部70A嵌合，来防止紧固件7A的错位以及脱离。
错位防止机构53A的形态并不限定于上述的第1防脱突起54A和第3凹部56A，只要是具有用于保持紧固件7A的位置的功能的形态即可。同样，错位防止机构63A的方式也不限定于上述的第2防脱突起64A和第4凹部66A，只要是具有用于保持紧固件7A的位置的功能的方式即可。例如，错位防止机构53A、63A也可以是在第1臂部52A以及第2臂部62A的外周面沿壳体2A的外缘延伸的环状沟(未图示)。通过上述环状沟也可以保持紧固件7A的位置，并能够通过紧固件7A所产生的作用力而提高第1框架主体51A与第2框架主体61A的紧贴性，从而进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
第1臂部52A与第2臂部62A沿壳体2A的外周交替设置。由此，能够均衡地压缩隔膜3A的周缘部32A，从而进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
并且，在本实施方式中，第1臂部52A与第2臂部62A沿壳体2A的外周连续设置。由此，能够以足够的力均衡地压缩隔膜3A的周缘部32A，从而进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
在第1框架5A的相邻的第1臂部52A之间形成有第5凹部59A。第5凹部59A以与第2框架6A的第2臂部62A对应的形状而形成为阶梯状。第5凹部59A与第2框架6A的第2臂部62A嵌合。通过上述嵌合，将第1框架5A与第2框架6A进一步稳固地嵌合为一体。因此，进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
另一方面，在第2框架6A的相邻的第2臂部62A之间形成有第6凹部69A。第6凹部69A以与第1框架5A的第1臂部52A对应的形状而形成为阶梯状。第6凹部69A与第1框架5A的第1臂部52A嵌合。通过上述嵌合，将第1框架5A与第2框架6A进一步稳固地嵌合为一体。因此，进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
隔膜3A的周缘部32A连续设置有比膜部31A厚度大的厚壁部33A。由此，在充分确保隔膜3A的耐久性的基础上，第1框架5A以及第2框架6A能够对厚壁部33A施加足够的压力来保持隔膜3A，从而进一步抑制隔膜3A的周缘部32A处的被处理流体的泄漏。
在第2框架6A形成有供厚壁部33A嵌合的凹槽65A。
以下，参照图11对在本实施方式的壳体2A固定隔膜3A的隔膜A的固定方法进行说明。隔膜3A的固定方法包括：框架嵌合工序、隔膜保持工序以及紧固件安装工序。
在框架嵌合工序中，第1凹部50A(参照图9等)与第2凹部60A隔着隔膜3A而相对，第1臂部52A与第2臂部62A沿壳体2A的外缘交替配置，并且第1框架5A与第2框架6A嵌合。在隔膜保持工序中，在第1框架5A与第2框架6A之间压缩并保持隔膜3A的周缘部32A。之后，在紧固件安装工序中，紧固件7A从壳体2A的外侧安装于第1臂部52A以及第2臂部62A。由此，第1臂部52A以及第2臂部62A由紧固件7A紧固，从而将第1框架5A与第2框架6A保持为防脱状态。因此，实现第1框架5A与第2框架6A稳固嵌合的状态，由此将第1框架5A与第2框架6A稳固地形成为一体。
以上，对本发明的阀装置详细地进行了说明，但本发明并不限定于上述的具体实施方式而变更为各种方式进行实施。
附图标记说明：
1…隔膜泵；2…壳体；3…隔膜；4…固定构造；5…第1框架；6…第2框架；7…紧固件；8…阀装置；20…空间；21…第1室；22…第2室；32…周缘部；33…厚壁部；50…第1凹部；51…第1框架主体；52…第1臂部；53…错位防止机构；54…第1防脱突起；60…第2凹部；61…第2框架主体；62…第2臂部；63…错位防止机构；64…第2防脱突起；71…流入端口；72…NC流出端口；73…NO流出端口；80…驱动机构。

Claims (11)

1.一种隔膜的固定构造，其在内部形成有空间的壳体固定隔膜，该隔膜将所述空间分隔为第1室与第2室，
所述隔膜的固定构造的特征在于，
所述壳体具备第1框架和第2框架，所述第1框架具有形成所述第1室侧的第1凹部，所述第2框架具有形成所述第2室侧的第2凹部，
所述第1框架具有：与所述第2框架对置的第1框架主体；以及沿所述第1框架主体的外缘间断地设置并向所述第2框架侧延伸的多个第1臂部，
所述第2框架具有：与所述第1框架对置的第2框架主体；以及沿所述第2框架主体的外缘间断地设置并向所述第1框架侧延伸的多个第2臂部，
通过所述第1框架与所述第2框架嵌合，而在所述第1框架与所述第2框架之间压缩并保持所述隔膜的周缘部，并且，
所述隔膜的固定构造还具备从所述壳体的外侧对所述第1臂部与所述第2臂部进行紧固的紧固件。
2.根据权利要求1所述的隔膜的固定构造，其特征在于，
在所述第1臂部以及所述第2臂部设置有用于保持所述紧固件的位置的错位防止机构。
3.根据权利要求2所述的隔膜的固定构造，其特征在于，
所述错位防止机构包括第1防脱突起和第2防脱突起，所述第1防脱突起在相比设置于各所述第1臂部的所述紧固件更靠所述第2框架主体侧向壳体外侧伸出，所述第2防脱突起在相比设置于各所述第2臂部的所述紧固件更靠所述第1框架主体侧向壳体外侧伸出。
4.根据权利要求2所述的隔膜的固定构造，其特征在于，
所述错位防止机构是在所述第1臂部以及所述第2臂部的外周面沿所述壳体的外缘延伸的环状沟。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的隔膜的固定构造，其特征在于，
所述第1臂部与所述第2臂部沿所述壳体的外缘交替设置。
6.根据权利要求1～4中的任一项所述的隔膜的固定构造，其特征在于，
所述第1臂部与所述第2臂部沿所述壳体的外周连续设置。
7.根据权利要求1～4中的任一项所述的隔膜的固定构造，其特征在于，
所述隔膜的所述周缘部连续设置有厚度大的厚壁部。
8.根据权利要求7所述的隔膜的固定构造，其特征在于，
在所述第1框架以及/或者所述第2框架形成有供所述厚壁部配置的定位用凹槽。
9.一种隔膜泵，其特征在于，
具备权利要求1～8中的任一项所述的隔膜的固定构造，
所述第1框架形成有与所述第1室连通的第1端口，
所述第2框架形成有与所述第2室连通的第2端口，
经由所述第1端口向所述第1室供给用于驱动所述隔膜的流体，
经由所述第2端口在所述第2室流出流入被处理流体。
10.一种阀装置，其特征在于，
具备权利要求1～7中的任一项所述的隔膜的固定构造，
在所述第1框架的所述第1室设置有用于驱动所述隔膜的驱动机构，
所述第2框架具有：使流体向所述第2室流入的流入端口；以及使流体从所述第2室流出的流出端口，
所述流出端口具有在周围形成有阀座的开口，
所述隔膜相对于所述阀座落座或者分离，从而开闭所述流出端口。
11.一种隔膜的固定方法，其在内部形成有空间的壳体固定隔膜，该隔膜将所述空间分隔为第1室与第2室，
所述隔膜的固定方法的特征在于，
所述壳体具备第1框架和第2框架，所述第1框架具有形成所述第1室侧的第1凹部，所述第2框架具有形成所述第2室侧的第2凹部，
所述第1框架具有：与所述第2框架对置的第1框架主体；以及沿所述第1框架主体的外缘间断地设置并向所述第2框架侧延伸的多个第1臂部，
所述第2框架具有：与所述第1框架对置的第2框架主体；以及沿所述第2框架主体的外缘间断地设置并向所述第1框架侧延伸的多个第2臂部，
所述隔膜的固定方法包括：
框架嵌合工序，使所述第1框架与所述第2框架嵌合；
隔膜保持工序，在所述第1框架与所述第2框架之间压缩并保持所述隔膜的周缘部；以及
紧固件安装工序，在所述第1臂部与所述第2臂部从所述壳体的外侧安装紧固件，从而对所述第1框架与所述第2框架进行紧固。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10677238B2 (en) * 2017-11-08 2020-06-09 Ingersoll-Rand Industrial U.S., Inc. Filled resin layer separated pump housing

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4731201Y1 (zh) * 1969-05-13 1972-09-19
JPS49130266U (zh) * 1973-03-12 1974-11-08
JPS5338495Y2 (zh) * 1974-10-09 1978-09-19
JPS58165282U (ja) * 1982-04-30 1983-11-02 藤倉ゴム工業株式会社 ピストン式流体作動装置
JPS60155667U (ja) * 1984-03-27 1985-10-17 株式会社ナブコ 作動液リザ−バ
EP1203908A3 (en) * 2000-11-06 2003-04-16 SMC Kabushiki Kaisha Two-way valve
JP4324906B2 (ja) * 2003-06-26 2009-09-02 株式会社ニッキ 脈動式ダイヤフラム燃料ポンプ
CN103362786A (zh) * 2013-07-12 2013-10-23 重庆中镭科技有限公司 一种压电微型隔膜泵

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2364111A (en) * 1942-03-20 1944-12-05 John W Tucker Pump and the like
US2445293A (en) * 1947-01-30 1948-07-13 Flexitallic Gasket Co Inc Diaphragm pump
US3039272A (en) * 1958-11-13 1962-06-19 Union Carbide Corp Fluid actuating device
US4160433A (en) 1978-02-17 1979-07-10 Olson Engineering Inc. Modulating air control valve
US4387788A (en) 1982-01-21 1983-06-14 Lectron Products, Inc. Diaphragm pressure ring for tone generators
IT229674Y1 (it) 1993-02-26 1999-01-29 Alcatel Dial Face Spa Capsula piezoceramica per apparecchi telefonici
JP3792034B2 (ja) 1997-12-22 2006-06-28 シスメックス株式会社 粒子分析装置
JP3834745B2 (ja) * 1999-05-11 2006-10-18 応研精工株式会社 小型ポンプ
JP5161703B2 (ja) 2008-08-26 2013-03-13 シスメックス株式会社 試薬調製装置、検体処理装置および試薬調製方法
JP6014072B2 (ja) * 2014-03-20 2016-10-25 住友ゴム工業株式会社 ダイアフラムの固定構造、それを備えたダイアフラムポンプ及び弁装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4731201Y1 (zh) * 1969-05-13 1972-09-19
JPS49130266U (zh) * 1973-03-12 1974-11-08
JPS5338495Y2 (zh) * 1974-10-09 1978-09-19
JPS58165282U (ja) * 1982-04-30 1983-11-02 藤倉ゴム工業株式会社 ピストン式流体作動装置
JPS60155667U (ja) * 1984-03-27 1985-10-17 株式会社ナブコ 作動液リザ−バ
EP1203908A3 (en) * 2000-11-06 2003-04-16 SMC Kabushiki Kaisha Two-way valve
JP4324906B2 (ja) * 2003-06-26 2009-09-02 株式会社ニッキ 脈動式ダイヤフラム燃料ポンプ
CN103362786A (zh) * 2013-07-12 2013-10-23 重庆中镭科技有限公司 一种压电微型隔膜泵

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