JP3812243B2 - キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は、積層セラミックコンデンサや積層バリスタのような積層セラミック電子部品の製造に使用されるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
例えば、代表的な積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサは種々の用途に広く用いられているが、近年、電子部品の小型化が進むにつれて、小型・大容量化への要求がさらに増大してきている。
【０００３】
この積層セラミックコンデンサは、例えば、図３に示すような構造を有しており、複数の内部電極２ａ，２ｂが、誘電体層であるセラミック層１を介して、互いに対向し、かつ、内部電極２ａ，２ｂの一方の端部が、互いに異なる側の端面に引き出された構造を有するセラミック素子３の両端部に、内部電極２ａ，２ｂと導通する一対の外部電極４ａ，４ｂを配設することにより形成されている。
【０００４】
そして、このような積層セラミックコンデンサの製造に用いられるセラミックグリーンシートは、上述のような誘電体層であるセラミック層を形成するものであり、取得できる静電容量を大きくして製品の小型化を図るため、近年その薄膜化が進んでいる。
【０００５】
ところで、セラミックグリーンシートは、通常、セラミックスラリーをシート状に成形した後、これを乾燥させることにより製造されており、セラミックスラリーをシート状に成形する方法としては、ドクターブレード法やリバースロールコータ法などの種々の方法が用いられている。
【０００６】
例えば、図４は、従来のセラミックグリーンシートの製造方法の一例を示すものであり、ここでは、キャリアフィルム供給部（キャリアフィルム供給ローラ）５１から、キャリアフィルム５２を供給し、所定の位置で、セラミックスラリー塗布手段（シート成形手段）（この例ではドクターブレード法を用いている）５３により、セラミックスラリー５４をキャリアフィルム５２上に塗布した後、キャリアフィルム５２とともにセラミックスラリー５４を搬送し、乾燥手段５５により、セラミックスラリー５４を乾燥させてセラミックグリーンシート５６を形成した後、シート回収ローラ５７によって、表面にセラミックグリーンシート５６を保持するキャリアフィルム５２を巻き取ることにより、形成されたセラミックグリーンシート５６をキャリアフィルム５２に保持された状態で回収するようにしている。
【０００７】
ところで、図３に示すような積層セラミックコンデンサにおいて、内部電極２ａ，２ｂ間に介在するセラミック層１の厚み（素子厚）が３μm以下になると、それに用いられるセラミックグリーンシートとして、厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造することが必要になる。しかし、上述のような従来の方法によって厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造すると、セラミックグリーンシートの表面粗さが粗くなったり、セラミックグリーンシートにピンホール欠陥（ポアー）が発生したりするという問題点がある。
【０００８】
このため、セラミック層を形成するセラミックグリーンシートの平滑性を向上
させるとともに、セラミックグリーンシートの密度を高める目的で、セラミック粉末材料の粒子径を小さくする方法が開示されている（特開平１０−２２３４６９号）。
【０００９】
しかし、一般に粒子径が小さくなると、セラミック粉末自体が凝集しやすくなり、分散性が低下することから、粒子径を小さくするという方法のみでは、セラミックグリーンシートの表面平滑性の向上や高密度化にも限界がある。さらに、セラミック誘電体粉末の場合、同じ組成で単純に粒子径を小さくしていくと、誘電率が低下し、積層セラミックコンデンサの大容量化に十分に対応できなくなるという問題点がある。
【００１０】
また、セラミックスラリーを分散させる方法として、サンドミルやビスコミルなどの方法によりセラミックスラリーを高速回転させ、セラミックスラリーに大きなせん断カを与えることにより分散させる方法があるが、セラミック粉末に大きなせん断力を与えると、分散は進むものの、一部のセラミック粉末が粉砕されてしまうという問題点がある。すなわち、セラミック粉末が粉砕されると、高分散化によってシートの表面平滑性は向上するものの、セラミック粉末の粉砕が特性の変動をもたらし、得られる積層セラミックコンデンサの温度特性が設計時の目標範囲からから外れてしまったり、セラミック誘電体の誘電率が低下したりするという問題点がある。
【００１１】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造する場合にも、表面の平滑性が良好で、ピンホール欠陥などの少ないセラミックグリーンシートを安定して製造することが可能なキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は
分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、少なくとも一対のプレス板を備えた平板プレス機を用い、プレス板表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと平板プレス処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴としている。
【００１３】
セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、平板プレス機を用いて、プレス板表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと平板プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサを製造する場合などに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
【００１４】
なお、平板プレス機は、例えば、鏡面研磨された硬質クロムめっき層が表面に配設された１対の平行平板（プレス板）と、プレス板によるプレス圧力を制御する圧力制御手段と、プレス板を所定の温度に加熱する加熱手段を備え、一対のプレス板間にセラミックグリーンシートを挟み、所定の温度に加熱しながら両面側から押圧することにより、セラミックグリーンシートの表面を平滑化することができるように構成された装置であって、平板プレス機の具体的な構成については特に制約はない。
【００１５】
また、平板プレス法により平滑化処理を行う場合、セラミックグリーンシートを１枚ずつプレス処理してもよく、また、複数枚重ねてプレス処理してもよい。ただし、セラミックグリーンシートがプレス板に接着しないように、セラミックグリーンシート表面に、剥離処理が施されたフィルムの処理面を合わせてプレス処理することが望ましい。また、複数枚重ねてプレス処理する場合には、セラミックグリーンシートが、重ねたキャリアフィルムに接着しないように、間に剥離処理が施されたフィルムの処理面とセラミックグリーンシート表面を合わせてプレス処理するか、キャリアフィルムの裏面に剥離処理を行ったものを用いることが望ましい。
【００１６】
本願発明において、プレス板表面温度の範囲を０〜１５０℃としたのは、０℃未満の場合、シート表面が堅くなり表面粗さ（Ｒａ）の低減効果が不十分になり、また、１５０℃を超えた場合には、シートが熱可塑性によって軟化し、キャリアフィルムから剥離してプレス板側に移行してしまうことによる。
また、プレス圧力を５００〜１００００kgf／cm2の範囲としたのは、プレス圧力が５００kgf／cm2未満の場合、十分な表面平滑化効果が得られず、また、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超える場合、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりして処理することができなくなることによる。
【００１７】
また、本願発明の請求項２のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、プレス板表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で平板プレス処理することを特徴としている。
【００１８】
プレス板表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、平板プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
なお、プレス板表面温度を１００℃以下に限定したのは、セラミックグリーンシートを１００℃を超えて１５０℃以下に加熱すると、場合によっては、熱可塑性によってセラミックグリーンシートがプレス板側に移行しようとして、シート表面に皺が発生し、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００１９】
また、プレス板間のプレス圧力を６０００kgf／cm2以下に限定したのは、６０００kgf／cm2を超えて１００００kgf／cm2以下のプレス圧力にすると、場合によっては、セラミックグリーンシートの表面に皺が発生して、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００２０】
上述のように、セラミックグリーンシートに適した温度条件と圧力条件範囲を設定して平板プレスを行うことにより、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりすることなく、セラミックグリーンシートの表面平滑化効果を確実に得ることが可能になる。
【００２１】
また、本願発明（請求項３）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、
分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、静水圧プレス機を用い、プレス温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと静水圧プレス処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴としている。
【００２２】
セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、静水圧プレス機を用いて、プレス温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと静水圧プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
【００２３】
なお、静水圧プレス機は、例えば、オイルや水などの液体が満たされた圧力容器と、液体を加圧する加圧シリンダーと、液体を加圧する圧力を制御する制御手段と、液体を所定の温度に加熱する加熱手段とを具備し、例えば、鏡面研磨された金属ロールの表面に、セラミックグリーンシートを巻き付けた状態で可撓性シートにより真空パックし、静水圧プレス機のオイルや水などの液体に浸漬し、静水圧プレスを行うことにより、セラミックグリーンシートが金属ロール面及びセラミックグリーンシート裏面のフィルムに均一な圧力で押し付けられ、セラミックグリーンシートの表面が平滑化されるように構成された装置を意味するものであり、その具体的な構成に特別の制約はない。なお、上記金属ロールの代わりに金属以外の材料からなるロールを用いることも可能である。
【００２４】
また、静水圧プレス法によりプレスする場合に、セラミックグリーンシートを前記金属ロールの周囲に何重にも重ねて巻き付けて処理する場合には、キャリアフィルムとして、その裏面に剥離処理を施したものを用いることが望ましい。
また、セラミックグリーンシートを何重にも積み重ねて金属ロールに巻き付けた場合に、全体としてのセラミックグリーンシートの厚みが大きくなると、巻き付けられたセラミックグリーンシートの両端面側から加わる圧力も無視できなくなり、変形を生じる場合がある。このような場合には、金属ロールの両端部にフランジ部（鍔部）を設け、セラミックグリーンシートの両端面が前記フランジ部に密着するように巻き付けることにより、セラミックグリーンシートの両端面側から加わる悪影響を防止することができる。
【００２５】
また、上記の金属ロールの代わりに、平板プレートを用いて静水圧プレスを行うことも可能である。なお、セラミックグリーンシートを複数枚積み重ねた状態で静水圧プレスを行うときには、キャリアフィルムとして、その裏面に剥離処理を施したものを用いることが望ましい。
【００２６】
本願発明において、プレス温度の範囲を０〜１５０℃とし、プレス圧力の範囲を５００〜１００００kgf／cm2としたのは、上記請求項１の平板プレス法により平滑化処理を施す場合の限定理由と同様である。
【００２７】
また、請求項４のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、プレス温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で静水圧プレス処理することを特徴としている。
【００２８】
プレス温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、静水圧プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
前記プレス温度を２０〜１００℃とし、プレス圧力を１０００〜６０００kgf／cm2と限定したのは、上述の請求項２において、プレス板表面温度の範囲を０〜１００℃とし、プレス圧力の範囲を１０００〜６０００kgf／cm2とした場合の限定理由と同様である。
【００２９】
上述のように、セラミックグリーンシートに適した温度条件と圧力条件範囲を設定して静水圧プレスを行うことにより、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりすることなく、セラミックグリーンシートの表面平滑化効果を確実に得ることが可能になる。
【００３０】
また、請求項５のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、
分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、少なくとも一対のニップロールを備えたカレンダーロール機を用い、ニップロール表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力（線圧）：５０〜１０００kgf／cmの条件でキャリアフィルムごとカレンダーロール処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴としている。
【００３１】
セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、カレンダーロール機を用いて、ニップロール表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力（線圧）：５０〜１０００kgf／cmの条件でキャリアフィルムごとカレンダーロール処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
【００３２】
なお、カレンダーロール機は、例えば、セラミックグリーンシートを予熱するプレヒートロール（場合によってはなくてもよい）と、少なくとも一対のニップロールと、望ましくは、ニップロールを加熱する加熱手段を備えてなり、一対のニップロール間にセラミックグリーンシートを挟んで両面側から押圧することにより、セラミックグリーンシートの表面を加圧して平滑化するように構成された装置を意味するものであり、カレンダーロール機の具体的な構成については特に制約はなく、一対のニップロールを備えたシングルニップロールタイプのカレンダーロール機や複数対のニップロールを備えた多段ニップロールタイプのカレンダーロール機などの種々のタイプのものを用いることができる。
【００３３】
本願発明において、ニップロール表面温度の範囲を０〜１５０℃としたのは、０℃未満の場合、シート表面が堅くなり表面粗さ（Ｒａ）の低減効果が不十分になり、また、１５０℃を超えた場合には、シートが熱可塑性によって軟化し、キャリアフィルムから剥離してプレス板側に移行してしまうことによる。
また、プレス圧力（線圧）を５０〜１０００kgf／cmの範囲としたのは、線圧が５０kgf／cm未満の場合、十分な表面平滑化効果が得られず、また、線圧が１０００kgf／cmを超える場合、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりして処理することができなくなることによる。
【００３４】
また、請求項６のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、ニップロール表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）：１００〜６００kgf／cmの条件でカレンダーロール処理することを特徴としている。
【００３５】
ニップロール表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）：１００〜６００kgf／cmの条件で、カレンダーロール処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
なお、ニップロール表面温度を１００℃以下に限定したのは、セラミックグリーンシートを１００℃を超えて１５０℃以下に加熱すると、場合によっては、熱可塑性によってセラミックグリーンシートがプレス側に移行しようとして、セラミックグリーンシートの表面に皺が発生し、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００３６】
また、プレス圧力（線圧）を６００kgf／cm以下に限定したのは、６００kgf／cmを超えて１０００kgf／cm以下のプレス圧力（線圧）にすると、場合によっては、セラミックグリーンシートの表面に皺が発生して、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００３７】
上述のように、セラミックグリーンシートに適した温度条件と圧力（線圧）条件範囲を設定してカレンダーロール処理を行うことにより、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりすることなく、セラミックグリーンシートの表面平滑化効果を確実に得ることが可能になる。
【００３８】
また、請求項７のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、前記セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）が１００nm以下になるように前記平滑化処理を施すことを特徴としている。
【００３９】
内部電極間に介在するセラミック層の厚み（素子厚）が３μm以下であるような積層セラミック電子部品においては、その製造に用いられるセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）が、１００nmを超えると、寿命が急激に低下する傾向があるが、本願発明を適用することにより、厚みが薄い場合にも、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）を１００nm以下にすることが可能になり、それを用いて製造される積層セラミック電子部品の耐久性を向上させることが可能になる。
なお、本願発明において、上述の表面粗さ（Ｒａ値）は、原子力間顕微鏡を使用して、５μm平方の領域の測定値（nm）によって判断した。
【００４０】
また、請求項８のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートが、前記キャリアフィルムから剥離して積層することにより、積層セラミック電子部品の製造に使用されるものであって、前記キャリアフィルムに剥離可能に保持されているものであることを特徴としている。
【００４１】
本願発明は、厚みが薄く、表面の平滑性に優れていることが要求される積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを製造する場合に特に有意義であり、セラミックスラリーをシート状に成形する成形工程や、表面を平滑化する平滑化処理工程では、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムに保持させておき、積層などの工程では、キャリアフィルムから剥離して使用できるようにすることにより、例えば、内部電極間に介在するセラミック層の厚みが薄い薄層多層型の積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を効率よく製造することができるようになる。
【００４２】
なお、上述の本願発明のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法により製造されたセラミックグリーンシートを用いて積層セラミック電子部品を製造するようにした場合、セラミック層と内部電極の界面の表面粗さ（Ｒａ）を低減することが可能になる。
また、セラミックグリーンシートに平滑化処理を施すことにより、セラミックグリーンシートの密度を高めることができるため、コンデンサの誘電体素子中に発生するポアーの発生率を低減することが可能になる。
さらに、シートの密度が高まるため、電極ペーストの溶剤成分がシートに染み込んでシートバインダーが溶解されるシートアタック現象を抑制することが可能になる。
その結果、本願発明の製造方法により製造したセラミックグリーンシートを用いることにより、平均寿令の長い、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
【００４３】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施の形態を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。なお、ここでは、積層セラミックコンデンサの誘電体層の形成に用いられるセラミックグリーンシートを製造する場合を例にとって説明する。
【００４４】
(1)まず、出発原料として、セラミック粉末（チタン酸バリウム系セラミック粉末）と、特性改質などを目的とした添加物とを所定量ずつ秤量し、湿式混合を経て、混合粉とする。このとき各添加物は、酸化物粉末あるいは炭酸化粉末の形態で、セラミック粉末に混合する方法によって添加され、有機溶媒（分散媒）中に湿式分散される。
この湿式分散（１次分散）の方法としては、セラミック粉末の粉砕が発生
しない分散方法、及び分散条件を選択することが望ましい。すなわち、分散は、粉砕が発生しない程度のせん断力が与えられる条件で行うことが望ましい。
なお、湿式分散方法としては、具体的には、ボールミル法、サンドミル法、ビスコミル法、高圧ホモジナイザー法、ニーダー分散法などを用いることができる。
(2)次に、上述の１次分散液に、有機バインダー、可塑剤及び有機溶媒（分散媒）を添加することによって、セラミックスラリーを調製し、前述の１次分散の方法と同様の方法で、２次分散させた。
(3)それから、このセラミックスラリーを、キャリアフィルム上にシート状に成形した。セラミックスラリーをシート状に成形する方法としては、ドクターブレード法や、リバースロールコーター法、ダイコーター法など、種々の公知の方法を用いることが可能である。
このように、前記の分散処理、成形を経て、製造されるセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）は、必ずしも単粒子となるほど高度に分散されている必要はなく、セラミック粉末の粉砕が生じていないということのほうが重要である。
(4)次に、このセラミックグリーンシートの表面を平滑にするために、平滑化処理を施した。
この実施形態では、平板プレス法、静水圧プレス法、及びカレンダーロール法のそれぞれの方法により平滑化処理を施し、平滑化処理の方法の異なるセラミックグリーンシート（試料）を製造した。
なお、この実施形態では、平板プレス機として、鏡面研磨された硬質クロムめっき層が表面に配設された１対の平行平板（プレス板）と、プレス板によるプレス圧力を制御する圧力制御手段と、一対のプレス板を所定の温度に加熱するとともに所定の温度に維持することができるように構成された加熱手段とを具備する平板プレス機を用いた。
また、静水圧プレス機としては、液体が満たされた圧力容器と、液体を加圧する加圧シリンダーと、圧力を制御する制御手段と、液体を所定の温度に加熱するとともに所定の温度に維持することができるように構成された加熱手段と、セラミックグリーンシートが巻き付けられる、表面が鏡面研磨された金属ロールとを備えた静水圧プレス機を用い、金属ロールの表面にセラミックグリーンシートを巻き付けた状態で可撓性シートにより真空パックし、静水圧プレス機の液体中に浸漬し、静水圧プレスを行った。
また、カレンダーロール機としては、一対のニップロール（金属ロール）と、ニップロールを所定の温度に加熱する、温度制御機構を備えた加熱手段と、ニップロールでセラミックグリーンシートを両面側から挟んで加圧する際のプレス圧力（線圧）を制御するための圧力制御手段とを備えたいわゆるシングルニップロールタイプのカレンダーロール機を用いた。ただし、複数対のニップロールを備えた多段ニップロールタイプのカレンダーロール機を用いることも可能である。
(5)それから、上述のように、平板プレス法、静水圧プレス法、カレンダーロール法により、平滑化処理を施した後のセラミックグリーンシートの表面粗さを測定した。なお、セラミックグリーンシートの表面粗さは、原子間力顕微鏡で測定し、５μm平方の領域のＲａ値を用いて評価した。
【００４５】
表１に比較例として、セラミック粉末の平均粒径が２１０nm（比較例１）、１５３nm（比較例２）、及び９８nm（比較例３）のチタン酸バリウム粉末を用いてセラミックスラリーを作製し、キャリアフィルム上に、シート状に成形して乾燥することにより製造したセラミックグリーンシート（平滑化処理を施していないセラミックグリーンシート）の表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００４６】
【表１】
【００４７】
表面の平滑化処理が施されていない比較例１、２、３のセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）は、それぞれ、２２８nm、１６２nm、及び１２０nmであった。図１に比較例２のセラミックグリーンシートの表面を撮影した電子顕微鏡写真を示す。
【００４８】
また、表２及び表３に、平板プレス機を用い、プレス温度（プレス板の表面温度）及びプレス圧力を変えて、平滑化処理（平板プレス処理）した場合の、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００４９】
【表２】
【００５０】
【表３】
【００５１】
また、表４及び５に、静水圧プレス機を用い、プレス温度（液温）及びプレス圧力を変えて、平滑化処理（静水圧プレス処理）した場合の、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００５２】
【表４】
【００５３】
【表５】
【００５４】
また、表６及び７に、カレンダーロール機を用い、そのプレス温度（ニップロールの表面温度）及びプレス圧力（線圧）を変えて、平滑化処理（カレンダーロール処理）した場合の、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００５５】
【表６】
【００５６】
【表７】
【００５７】
表２，３，４，５，６，７において、試料番号の右に＊印を示しているものは、本願発明範囲外のもの（参考例）である。また、表面粗さ（Ｒａ）の欄に×が示されたものは、セラミックグリーンシートに破れが発生したことを示すものである。
【００５８】
［平板プレス法により平滑化処理を施した場合の表面粗さ（Ｒａ）について］
(ａ)粒径２１０nmのセラミック粉末を用いた場合（表２参照）
試料番号１〜２０は、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた場合である。なお、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例１（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは２２８nmであった。
平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いたセラミックグリーンシートのうち、試料番号１〜３は、プレス温度０℃で平滑化処理（平板プレス処理）を施したセラミックグリーンシートであり、プレス圧力を変えても、プレス温度が低いためにいずれもＲａ低減の効果はわずかであった。
試料番号４〜１０は、プレス温度２０℃で平滑化処理（平板プレス処理）を施した場合である。
試料番号４は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、Ｒａ低減効果は認められなかった。
試料番号５〜９は、プレス圧力が５００kgf／cm2以上、１００００kgf／cm2以下の場合で、Ｒａ低減効果が認められ、持に、試料番号６〜８のように、プレス圧力を１０００〜６０００kgf／cm2とした場合に、大きなＲａ低減効果が認められた。
また、試料番号９は、プレス圧力が１００００kgf／cm2と高いため、Ｒａ低減効果は大きいが、セラミックグリーンシートにいくらか皺状の模様が発生した。
試料番号１０（参考例）は、プレス圧力１００００kgf／cm2を超える場合で、シートがキャリアフィルムから剥離し、破れが生じた。
試料番号１１及び１２は、プレス温度が６０℃の場合である。プレス圧力はそれぞれ５００kgf／cm2、４０００kgf／cm2であり、プレス圧力がより好ましい範囲にある後者の方がＲａ低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１３〜１６は、プレス温度が１００℃の場合である。プレス圧力１０００〜６０００kgf／cm2の範囲で、よりＲａの低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１６（参考例）は、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号１７〜１９は、プレス温度及びプレス圧力が、より好ましい範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。
試料番号２０（参考例）は、プレス圧力は好ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
【００５９】
(ｂ)粒径１５３nmのセラミック粉末を用いた場合（表３参照）
試料番号２１〜３２は、セラミック粉末の平均粒径が１５３nmの場合である。なお、平均粒径が１５３nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例２（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１６２nmであった。
試料番号２１〜２７は、プレス温度５０℃で、プレス圧力を変化させた場合である。
試料番号２１（参考例）は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、十分なＲａ低減効果は認められなかった。
試料番号２２〜２６は、プレス圧力が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２３〜２５の試料は、プレス圧力がさらに好ましい条件範囲にあり、Ｒａ１００nm以下にまで表面粗さを低減できることがわかった。図２に試料番号２４のセラミックグリーンシートの表面を撮影した電子顕微鏡写真を示す。比較例２のセラミックグリーンシート（図１参照）と比べると、組織が緻密化していることがわかる。
また、試料番号２７（参考例）は、プレス温度は５０℃であり良好な範囲にあるが、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えており、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号２８〜３２は、プレス圧力を３０００kgf／cm2とし、プレス温度を変化させた場合である。
試料番号２８〜３１は、プレス温度が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２９，３０では、さらに良好なＲａの低減効果を示した。
試料番号３２（参考例）は、プレス圧力が３０００kgf／cm2で望ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６０】
(ｃ)粒径９８nmのセラミック粉末を用いた場合（表３参照）
試料番号３３〜３６は、セラミック粉末の平均粒径が９８nmの場合である。なお、平均粒径が９８nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例３（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１２０nmであった。
試料番号３３〜３６は、プレス温度が７０℃で、プレス圧力を変化させた場合であった。
試料番号３３〜３５は、プレス温度及びプレス圧力がともに望ましい範囲にあり、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が認められた。また、試料番号３３，３４では、さらに良好な結果を示した。
しかし、試料番号３６（参考例）では、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、セラミックグリーンシートの剥離が生じた。
【００６１】
以上の結果から、平板プレス法による平滑化処理の条件（プレスの条件）として、プレス温度が０〜１５０℃で、かつ、プレス圧力が５００〜１００００kgf／cm2の範囲が好ましく、この範囲では、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が得られることが確認された。
また、プレス温度が２０〜１００℃、プレス圧力が１０００〜６０００kgf／cm2のときに、より大きなＲａ低減効果が得られることがわかった。
【００６２】
［静水圧プレス法により平滑化処理を施した場合の表面粗さ（Ｒａ）について］
(ａ)粒径２１０nmのセラミック粉末を用いた場合（表４参照）
試料番号１０１〜１２０は、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた場合である。なお、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例１（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは２２８nmであった。
平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いたセラミックグリーンシートのうち、試料番号１０１〜１０３は、プレス温度０℃で平滑化処理（静水圧プレス処理）を施したセラミックグリーンシートであり、プレス圧力を変えても、プレス温度が低いためにいずれもＲａ低減の効果はわずかであった。
試料番号１０４〜１１０は、プレス温度２０℃で平滑化処理（静水圧プレス処理）を施した場合である。
試料番号１０４は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、Ｒａ低減効果は認められなかった。
試料番号１０５〜１０９は、プレス圧力が５００kgf／cm2以上、１００００kgf／cm2以下の場合で、Ｒａ低減効果が認められ、持に、試料番号１０６〜１０８のように、プレス圧力を１０００〜６０００kgf／cm2とした場合に、大きなＲａ低減効果が認められた。
また、試料番号１０９は、プレス圧力が１００００kgf／cm2と高いため、Ｒａ低減効果は大きいが、セラミックグリーンシートにいくらか皺状の模様が発生した。
試料番号１１０（参考例）は、プレス圧力１００００kgf／cm2を超える場合で、シートがキャリアフィルムから剥離し、破れが生じた。
試料番号１１１及び１１２は、プレス温度が６０℃の場合である。プレス圧力はそれぞれ５００kgf／cm2、４０００kgf／cm2であり、プレス圧力がより好ましい範囲にある後者の方がＲａ低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１１３〜１１６は、プレス温度が１００℃の場合である。プレス圧力１０００〜６０００kgf／cm2の範囲で、よりＲａの低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１１６（参考例）は、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号１１７〜１１９は、プレス温度及びプレス圧力が、より好ましい範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。
試料番号１２０（参考例）は、プレス圧力は好ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
【００６３】
(ｂ)粒径１５３nmのセラミック粉末を用いた場合（表５参照）
試料番号１２１〜１３２は、セラミック粉末の平均粒径が１５３nmの場合である。なお、平均粒径が１５３nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例２（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１６２nmであった。
試料番号１２１〜１２７は、プレス温度５０℃で、プレス圧力を変化させた場合である。
試料番号１２１（参考例）は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、十分なＲａ低減効果は認められなかった。
試料番号１２２〜１２６は、プレス圧力が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号１２３〜１２５の試料は、プレス圧力がさらに好ましい条件範囲にあり、Ｒａ１００nm以下にまで表面粗さを低減できることがわかった。
また、試料番号１２７（参考例）は、プレス温度は５０℃であり良好な範囲にあるが、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えており、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号１２８〜１３２は、プレス圧力を３０００kgf／cm2とし、プレス温度を変化させた場合である。
試料番号１２８〜１３１は、プレス温度が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号１２９，１３０では、さらに良好なＲａの低減効果を示した。
試料番号１３２（参考例）は、プレス圧力が３０００kgf／cm2で望ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６４】
(ｃ)粒径９８nmのセラミック粉末を用いた場合（表５参照）
試料番号１３３〜１３６は、セラミック粉末の平均粒径が９８nmの場合である。なお、平均粒径が９８nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例３（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１２０nmであった。
試料番号１３３〜１３６は、プレス温度が７０℃で、プレス圧力を変化させた場合である。
試料番号１３３〜１３５は、プレス温度及びプレス圧力がともに望ましい範囲にあり、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が認められた。また、試料番号１３３，１３４では、さらに良好な結果を示した。
しかし、試料番号１３６（参考例）では、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６５】
以上の結果から、静水圧プレス法による平滑化処理の条件（プレスの条件）としては、プレス温度が０〜１５０℃で、かつ、プレス圧力が５００〜１００００kgf／cm2のときに、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が得られることがわかった。
また、プレス温度（液温）が２０〜１００℃、プレス圧力が１０００〜６０００kgf／cm2のときに、より大きなＲａ低減効果が得られることがわかった。
【００６６】
［カレンダーロール法により平滑化処理を施した場合の表面粗さ（Ｒａ）について］
(ａ)粒径２１０nmのセラミック粉末を用いた場合（表６参照）
試料番号２０１〜２２０は、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた場合である。なお、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例１（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは２２８nmであった。
平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いたセラミックグリーンシートのうち、試料番号２０１〜２０３は、プレス温度（ニップロールの表面温度）０℃で平滑化処理（カレンダーロール処理）を施したセラミックグリーンシートであり、プレス圧力（線圧）を変えても、プレス温度が低いためにいずれもＲａ低減の効果はわずかであった。
試料番号２０４〜２１０は、プレス温度２０℃で平滑化処理（カレンダーロール処理）を施した場合である。
試料番号２０４は、プレス圧力（線圧）を本願発明の範囲より低い、２０kgf／cmとした参考例であって、プレス圧が５０kgf／cm未満のため、Ｒａ低減効果は認められなかった。
試料番号２０５〜２０９は、プレス圧力（線圧）が５０kgf／cm以上、１０００kgf／cm以下の場合で、Ｒａ低減効果が認められ、持に、試料番号２０６〜２０８のように、プレス圧力（線圧）を１００〜６００kgf／cmとした場合に、大きなＲａ低減効果が認められた。
試料番号２０９は、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmと高いため、Ｒａ低減効果は大きいが、セラミックグリーンシートにいくらか皺状の模様が発生した。
試料番号２１０（参考例）は、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超える場合で、シートがキャリアフィルムから剥離し、破れが生じた。
試料番号２１１及び２１２は、プレス温度が６０℃の場合である。プレス圧力（線圧）はそれぞれ５０kgf／cm、４００kgf／cmであり、プレス圧力（線圧）がより好ましい範囲にある後者の方がＲａ低減効果が大きいことがわかる。
試料番号２１３〜２１６は、プレス温度が１００℃の場合である。プレス圧力（線圧）１００〜６００kgf／cmの範囲で、よりＲａの低減効果が大きいことがわかる。
試料番号２１６（参考例）は、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号２１７〜２１９は、プレス温度及びプレス圧力（線圧）が、より好ましい範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。
試料番号２２０（参考例）は、プレス圧力（線圧）は好ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
【００６７】
(ｂ)粒径１５３nmのセラミック粉末を用いた場合（表７参照）
試料番号２２１〜２３２は、セラミック粉末の平均粒径が１５３nmの場合である。なお、平均粒径が１５３nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例２（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１６２nmであった。
試料番号２２１〜２２７は、プレス温度５０℃で、プレス圧力（線圧）を変化させた場合である。
試料番号２２１（参考例）は、プレス圧力（線圧）を本願発明の範囲より低い、２０kgf／cmとした参考例であって、プレス圧が５０kgf／cm未満のため、十分なＲａ低減効果は認められなかった。
試料番号２２２〜２２６は、プレス圧力（線圧）が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２２３〜２２５の試料は、プレス圧力（線圧）がさらに好ましい条件範囲にあり、Ｒａ１００nm以下にまで表面粗さを低減できることがわかった。
また、試料番号２２７（参考例）は、プレス温度は５０℃であり良好な範囲にあるが、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超えており、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号２２８〜２３２は、プレス圧力（線圧）を３００kgf／cmとし、プレス温度を変化させた場合である。
試料番号２２８〜２３１は、プレス温度が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２２９，２３０では、さらに良好なＲａの低減効果を示した。
試料番号２３２（参考例）は、プレス圧力（線圧）が３００kgf／cmで望ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６８】
(ｃ)粒径９８nmのセラミック粉末を用いた場合（表７参照）
試料番号２３３〜２３６は、セラミック粉末の平均粒径が９８nmの場合である。なお、平均粒径が９８nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例３（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１２０nmであった。
試料番号２３３〜２３６は、プレス温度が７０℃で、プレス圧力（線圧）を変化させた場合である。
試料番号２３３〜２３５は、プレス温度及びプレス圧力（線圧）がともに望ましい範囲にあり、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が認められた。また、試料番号２３３，２３４では、さらに良好な結果を示した。
しかし、試料番号２３６（参考例）では、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６９】
以上の結果から、カレンダーロール機による平滑化処理の条件（プレスの条件）として、ニップロール表面温度が０〜１５０℃で、かつ、プレス圧力（線圧）が５０〜１０００kgf／cmのときに、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が得られることがわかった。
また、ニップロール表面温度が２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）が１００〜６００kgf／cmのときに、より大きなＲａ低減効果が得られることがわかった。
【００７０】
なお、上記実施形態では、セラミックグリーンシートを構成するセラミック粉末として、チタン酸バリウム系セラミック粉末を用いた場合を例にとって説明したが、本願発明において、セラミック粉末はこれに限定されるものではなく、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウムなどを主成分とする種々のセラミック粉末からセラミックグリーンシートを形成する場合に、広く本願発明を適用することが可能である。
また、セラミック粉末を含むセラミックスラリーとして、有機系スラリーを用いた場合を例にとって説明したが、水系スラリーを用いた場合にも、同様の効果を得ることが可能である。
また、セラミックスラリーとしては、種々のバインダー、可塑剤などを含むものを用いることが可能であり、目的とするセラミックグリーンシートに応じて、適宜その種類及び量を選択して用いることが可能である。
【００７１】
本願発明は、さらにその他の点においても、上記実施形態及び実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００７２】
【発明の効果】
上述のように、本願発明（請求項１）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、平板プレス機を用いて、プレス板表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと平板プレス処理するようにしているので、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
また、平滑化処理によりセラミックグリーンシートの密度が高くなるため、ポアーなどの内部欠陥の発生や、電極ペーストをセラミックグリーンシートに印刷するような場合に、電極ペーストの溶剤成分がシートに染み込んでシートバインダーが溶解されるシートアタック現象の発生などを抑制することが可能になる。
したがって、本願発明の方法により製造したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを用いて積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を製造することにより、平均寿令の長い、信頼性の壊れた積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
また、本願発明においては、セラミックグリーンシートに平滑化処理を施すようにしているので、セラミックグリーンシートの表面の平滑化をセラミック粒子の分散性の高さにより実現しようとする方法のように、セラミックスラリーの分散時に、過剰なせん断力をセラミック粒子に与える必要がなく、セラミック粒子が粉砕されてしまうことを抑制、防止して、セラミック粒子ロットの凝集性のばらつきなどによって、積層セラミック電子部品の特性が、目標とする範囲から外れたり、目標とする特性値を下回る特性値しか得られなかったりすることを効率よく防止することが可能になる。具体的には、例えば、積層セラミックコンデンサの場合における、設計温度特性が目標とする範囲から外れたり、設計容量を下回る容量値しか得られなかったりするというような事態の発生を効率よく抑制することが可能になる。
また、本願発明は、セラミック層の厚み（素子厚）が３μm以下の積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを製造する場合に、特に有意義であり、例えば、薄膜多層の小型大容量の積層セラミックコンデンサを製造するのに適用した場合、電気特性に優れ、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを効率よく製造することが可能になる。
【００７３】
また、本願発明の請求項２のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、プレス板表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、平板プレス処理するようにした場合、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
【００７４】
また、本願発明（請求項３）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、静水圧プレス機を用いて、プレス温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと静水圧プレス処理するようにしているが、この場合も、上記の平板プレス法により平滑化処理を施すようにした請求項１の発明の場合と同様の効果を得ることができる。
【００７５】
また、請求項４のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、プレス温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、静水圧プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
【００７６】
また、本願発明（請求項５）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、カレンダーロール機を用いて、ニップロール表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力（線圧）：５０〜１０００kgf／cmの条件でキャリアフィルムごとカレンダーロール処理するようにしているので、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
また、カレンダーロール法は、連続処理に適しており、セラミックグリーンシートの製造工程を連続化して、さらに効率よくキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを製造することが可能になる。
【００７７】
また、請求項６のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、ニップロール表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）：１００〜６００kgf／cmの条件でカレンダーロール処理するようにした場合、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
【００７８】
また、内部電極間に介在するセラミック層の厚み（素子厚）が３μm以下であるような積層セラミック電子部品においては、その製造に用いられるセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）が、１００nmを超えると、寿命が急激に低下する傾向があるが、このような場合に、本願発明を適用することにより（請求項７）、厚みが薄い場合にも、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）を１００nm以下にすることが可能になり、それを用いて製造される積層セラミック電子部品の耐久性を向上させることが可能になる。
【００７９】
また、請求項８のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、本願発明は厚みが薄く、表面の平滑性に優れていることが要求される積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを製造する場合に適用した場合に、特に有意義であり、セラミックスラリーをシート状に成形する成形工程や、表面を平滑化する平滑化処理工程では、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムに保持させておき、積層などの工程では、キャリアフィルムから剥離して使用できるようにすることにより、例えば、内部電極間に介在するセラミック層の厚みが薄い薄層多層型の積層セラミック電子部品を効率よく製造することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 比較例のセラミックグリーンシートの表面状態を示す電子顕微鏡写真である。
【図２】 本願発明の一実施形態にかかる方法で製造したセラミックグリーンシートの表面状態を示す電子顕微鏡写真である。
【図３】 積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図である。
【図４】 従来のセラミックグリーンシートの製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１ セラミック層
２ａ，２ｂ 内部電極
３ セラミック素子
４ａ，４ｂ 外部電極
【発明の属する技術分野】
本願発明は、積層セラミックコンデンサや積層バリスタのような積層セラミック電子部品の製造に使用されるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
例えば、代表的な積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサは種々の用途に広く用いられているが、近年、電子部品の小型化が進むにつれて、小型・大容量化への要求がさらに増大してきている。
【０００３】
この積層セラミックコンデンサは、例えば、図３に示すような構造を有しており、複数の内部電極２ａ，２ｂが、誘電体層であるセラミック層１を介して、互いに対向し、かつ、内部電極２ａ，２ｂの一方の端部が、互いに異なる側の端面に引き出された構造を有するセラミック素子３の両端部に、内部電極２ａ，２ｂと導通する一対の外部電極４ａ，４ｂを配設することにより形成されている。
【０００４】
そして、このような積層セラミックコンデンサの製造に用いられるセラミックグリーンシートは、上述のような誘電体層であるセラミック層を形成するものであり、取得できる静電容量を大きくして製品の小型化を図るため、近年その薄膜化が進んでいる。
【０００５】
ところで、セラミックグリーンシートは、通常、セラミックスラリーをシート状に成形した後、これを乾燥させることにより製造されており、セラミックスラリーをシート状に成形する方法としては、ドクターブレード法やリバースロールコータ法などの種々の方法が用いられている。
【０００６】
例えば、図４は、従来のセラミックグリーンシートの製造方法の一例を示すものであり、ここでは、キャリアフィルム供給部（キャリアフィルム供給ローラ）５１から、キャリアフィルム５２を供給し、所定の位置で、セラミックスラリー塗布手段（シート成形手段）（この例ではドクターブレード法を用いている）５３により、セラミックスラリー５４をキャリアフィルム５２上に塗布した後、キャリアフィルム５２とともにセラミックスラリー５４を搬送し、乾燥手段５５により、セラミックスラリー５４を乾燥させてセラミックグリーンシート５６を形成した後、シート回収ローラ５７によって、表面にセラミックグリーンシート５６を保持するキャリアフィルム５２を巻き取ることにより、形成されたセラミックグリーンシート５６をキャリアフィルム５２に保持された状態で回収するようにしている。
【０００７】
ところで、図３に示すような積層セラミックコンデンサにおいて、内部電極２ａ，２ｂ間に介在するセラミック層１の厚み（素子厚）が３μm以下になると、それに用いられるセラミックグリーンシートとして、厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造することが必要になる。しかし、上述のような従来の方法によって厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造すると、セラミックグリーンシートの表面粗さが粗くなったり、セラミックグリーンシートにピンホール欠陥（ポアー）が発生したりするという問題点がある。
【０００８】
このため、セラミック層を形成するセラミックグリーンシートの平滑性を向上
させるとともに、セラミックグリーンシートの密度を高める目的で、セラミック粉末材料の粒子径を小さくする方法が開示されている（特開平１０−２２３４６９号）。
【０００９】
しかし、一般に粒子径が小さくなると、セラミック粉末自体が凝集しやすくなり、分散性が低下することから、粒子径を小さくするという方法のみでは、セラミックグリーンシートの表面平滑性の向上や高密度化にも限界がある。さらに、セラミック誘電体粉末の場合、同じ組成で単純に粒子径を小さくしていくと、誘電率が低下し、積層セラミックコンデンサの大容量化に十分に対応できなくなるという問題点がある。
【００１０】
また、セラミックスラリーを分散させる方法として、サンドミルやビスコミルなどの方法によりセラミックスラリーを高速回転させ、セラミックスラリーに大きなせん断カを与えることにより分散させる方法があるが、セラミック粉末に大きなせん断力を与えると、分散は進むものの、一部のセラミック粉末が粉砕されてしまうという問題点がある。すなわち、セラミック粉末が粉砕されると、高分散化によってシートの表面平滑性は向上するものの、セラミック粉末の粉砕が特性の変動をもたらし、得られる積層セラミックコンデンサの温度特性が設計時の目標範囲からから外れてしまったり、セラミック誘電体の誘電率が低下したりするという問題点がある。
【００１１】
本願発明は、上記問題点を解決するものであり、厚みの薄いセラミックグリーンシートを製造する場合にも、表面の平滑性が良好で、ピンホール欠陥などの少ないセラミックグリーンシートを安定して製造することが可能なキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願発明のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は
分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、少なくとも一対のプレス板を備えた平板プレス機を用い、プレス板表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと平板プレス処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴としている。
【００１３】
セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、平板プレス機を用いて、プレス板表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと平板プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサを製造する場合などに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
【００１４】
なお、平板プレス機は、例えば、鏡面研磨された硬質クロムめっき層が表面に配設された１対の平行平板（プレス板）と、プレス板によるプレス圧力を制御する圧力制御手段と、プレス板を所定の温度に加熱する加熱手段を備え、一対のプレス板間にセラミックグリーンシートを挟み、所定の温度に加熱しながら両面側から押圧することにより、セラミックグリーンシートの表面を平滑化することができるように構成された装置であって、平板プレス機の具体的な構成については特に制約はない。
【００１５】
また、平板プレス法により平滑化処理を行う場合、セラミックグリーンシートを１枚ずつプレス処理してもよく、また、複数枚重ねてプレス処理してもよい。ただし、セラミックグリーンシートがプレス板に接着しないように、セラミックグリーンシート表面に、剥離処理が施されたフィルムの処理面を合わせてプレス処理することが望ましい。また、複数枚重ねてプレス処理する場合には、セラミックグリーンシートが、重ねたキャリアフィルムに接着しないように、間に剥離処理が施されたフィルムの処理面とセラミックグリーンシート表面を合わせてプレス処理するか、キャリアフィルムの裏面に剥離処理を行ったものを用いることが望ましい。
【００１６】
本願発明において、プレス板表面温度の範囲を０〜１５０℃としたのは、０℃未満の場合、シート表面が堅くなり表面粗さ（Ｒａ）の低減効果が不十分になり、また、１５０℃を超えた場合には、シートが熱可塑性によって軟化し、キャリアフィルムから剥離してプレス板側に移行してしまうことによる。
また、プレス圧力を５００〜１００００kgf／cm2の範囲としたのは、プレス圧力が５００kgf／cm2未満の場合、十分な表面平滑化効果が得られず、また、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超える場合、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりして処理することができなくなることによる。
【００１７】
また、本願発明の請求項２のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、プレス板表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で平板プレス処理することを特徴としている。
【００１８】
プレス板表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、平板プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
なお、プレス板表面温度を１００℃以下に限定したのは、セラミックグリーンシートを１００℃を超えて１５０℃以下に加熱すると、場合によっては、熱可塑性によってセラミックグリーンシートがプレス板側に移行しようとして、シート表面に皺が発生し、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００１９】
また、プレス板間のプレス圧力を６０００kgf／cm2以下に限定したのは、６０００kgf／cm2を超えて１００００kgf／cm2以下のプレス圧力にすると、場合によっては、セラミックグリーンシートの表面に皺が発生して、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００２０】
上述のように、セラミックグリーンシートに適した温度条件と圧力条件範囲を設定して平板プレスを行うことにより、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりすることなく、セラミックグリーンシートの表面平滑化効果を確実に得ることが可能になる。
【００２１】
また、本願発明（請求項３）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、
分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、静水圧プレス機を用い、プレス温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと静水圧プレス処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴としている。
【００２２】
セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、静水圧プレス機を用いて、プレス温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと静水圧プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
【００２３】
なお、静水圧プレス機は、例えば、オイルや水などの液体が満たされた圧力容器と、液体を加圧する加圧シリンダーと、液体を加圧する圧力を制御する制御手段と、液体を所定の温度に加熱する加熱手段とを具備し、例えば、鏡面研磨された金属ロールの表面に、セラミックグリーンシートを巻き付けた状態で可撓性シートにより真空パックし、静水圧プレス機のオイルや水などの液体に浸漬し、静水圧プレスを行うことにより、セラミックグリーンシートが金属ロール面及びセラミックグリーンシート裏面のフィルムに均一な圧力で押し付けられ、セラミックグリーンシートの表面が平滑化されるように構成された装置を意味するものであり、その具体的な構成に特別の制約はない。なお、上記金属ロールの代わりに金属以外の材料からなるロールを用いることも可能である。
【００２４】
また、静水圧プレス法によりプレスする場合に、セラミックグリーンシートを前記金属ロールの周囲に何重にも重ねて巻き付けて処理する場合には、キャリアフィルムとして、その裏面に剥離処理を施したものを用いることが望ましい。
また、セラミックグリーンシートを何重にも積み重ねて金属ロールに巻き付けた場合に、全体としてのセラミックグリーンシートの厚みが大きくなると、巻き付けられたセラミックグリーンシートの両端面側から加わる圧力も無視できなくなり、変形を生じる場合がある。このような場合には、金属ロールの両端部にフランジ部（鍔部）を設け、セラミックグリーンシートの両端面が前記フランジ部に密着するように巻き付けることにより、セラミックグリーンシートの両端面側から加わる悪影響を防止することができる。
【００２５】
また、上記の金属ロールの代わりに、平板プレートを用いて静水圧プレスを行うことも可能である。なお、セラミックグリーンシートを複数枚積み重ねた状態で静水圧プレスを行うときには、キャリアフィルムとして、その裏面に剥離処理を施したものを用いることが望ましい。
【００２６】
本願発明において、プレス温度の範囲を０〜１５０℃とし、プレス圧力の範囲を５００〜１００００kgf／cm2としたのは、上記請求項１の平板プレス法により平滑化処理を施す場合の限定理由と同様である。
【００２７】
また、請求項４のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、プレス温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で静水圧プレス処理することを特徴としている。
【００２８】
プレス温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、静水圧プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
前記プレス温度を２０〜１００℃とし、プレス圧力を１０００〜６０００kgf／cm2と限定したのは、上述の請求項２において、プレス板表面温度の範囲を０〜１００℃とし、プレス圧力の範囲を１０００〜６０００kgf／cm2とした場合の限定理由と同様である。
【００２９】
上述のように、セラミックグリーンシートに適した温度条件と圧力条件範囲を設定して静水圧プレスを行うことにより、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりすることなく、セラミックグリーンシートの表面平滑化効果を確実に得ることが可能になる。
【００３０】
また、請求項５のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、
分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、少なくとも一対のニップロールを備えたカレンダーロール機を用い、ニップロール表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力（線圧）：５０〜１０００kgf／cmの条件でキャリアフィルムごとカレンダーロール処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴としている。
【００３１】
セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、カレンダーロール機を用いて、ニップロール表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力（線圧）：５０〜１０００kgf／cmの条件でキャリアフィルムごとカレンダーロール処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
【００３２】
なお、カレンダーロール機は、例えば、セラミックグリーンシートを予熱するプレヒートロール（場合によってはなくてもよい）と、少なくとも一対のニップロールと、望ましくは、ニップロールを加熱する加熱手段を備えてなり、一対のニップロール間にセラミックグリーンシートを挟んで両面側から押圧することにより、セラミックグリーンシートの表面を加圧して平滑化するように構成された装置を意味するものであり、カレンダーロール機の具体的な構成については特に制約はなく、一対のニップロールを備えたシングルニップロールタイプのカレンダーロール機や複数対のニップロールを備えた多段ニップロールタイプのカレンダーロール機などの種々のタイプのものを用いることができる。
【００３３】
本願発明において、ニップロール表面温度の範囲を０〜１５０℃としたのは、０℃未満の場合、シート表面が堅くなり表面粗さ（Ｒａ）の低減効果が不十分になり、また、１５０℃を超えた場合には、シートが熱可塑性によって軟化し、キャリアフィルムから剥離してプレス板側に移行してしまうことによる。
また、プレス圧力（線圧）を５０〜１０００kgf／cmの範囲としたのは、線圧が５０kgf／cm未満の場合、十分な表面平滑化効果が得られず、また、線圧が１０００kgf／cmを超える場合、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりして処理することができなくなることによる。
【００３４】
また、請求項６のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、ニップロール表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）：１００〜６００kgf／cmの条件でカレンダーロール処理することを特徴としている。
【００３５】
ニップロール表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）：１００〜６００kgf／cmの条件で、カレンダーロール処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
なお、ニップロール表面温度を１００℃以下に限定したのは、セラミックグリーンシートを１００℃を超えて１５０℃以下に加熱すると、場合によっては、熱可塑性によってセラミックグリーンシートがプレス側に移行しようとして、セラミックグリーンシートの表面に皺が発生し、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００３６】
また、プレス圧力（線圧）を６００kgf／cm以下に限定したのは、６００kgf／cmを超えて１０００kgf／cm以下のプレス圧力（線圧）にすると、場合によっては、セラミックグリーンシートの表面に皺が発生して、表面粗さの低減効果が不十分になることによる。
【００３７】
上述のように、セラミックグリーンシートに適した温度条件と圧力（線圧）条件範囲を設定してカレンダーロール処理を行うことにより、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離したり、破れたりすることなく、セラミックグリーンシートの表面平滑化効果を確実に得ることが可能になる。
【００３８】
また、請求項７のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、前記セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）が１００nm以下になるように前記平滑化処理を施すことを特徴としている。
【００３９】
内部電極間に介在するセラミック層の厚み（素子厚）が３μm以下であるような積層セラミック電子部品においては、その製造に用いられるセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）が、１００nmを超えると、寿命が急激に低下する傾向があるが、本願発明を適用することにより、厚みが薄い場合にも、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）を１００nm以下にすることが可能になり、それを用いて製造される積層セラミック電子部品の耐久性を向上させることが可能になる。
なお、本願発明において、上述の表面粗さ（Ｒａ値）は、原子力間顕微鏡を使用して、５μm平方の領域の測定値（nm）によって判断した。
【００４０】
また、請求項８のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートが、前記キャリアフィルムから剥離して積層することにより、積層セラミック電子部品の製造に使用されるものであって、前記キャリアフィルムに剥離可能に保持されているものであることを特徴としている。
【００４１】
本願発明は、厚みが薄く、表面の平滑性に優れていることが要求される積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを製造する場合に特に有意義であり、セラミックスラリーをシート状に成形する成形工程や、表面を平滑化する平滑化処理工程では、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムに保持させておき、積層などの工程では、キャリアフィルムから剥離して使用できるようにすることにより、例えば、内部電極間に介在するセラミック層の厚みが薄い薄層多層型の積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を効率よく製造することができるようになる。
【００４２】
なお、上述の本願発明のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法により製造されたセラミックグリーンシートを用いて積層セラミック電子部品を製造するようにした場合、セラミック層と内部電極の界面の表面粗さ（Ｒａ）を低減することが可能になる。
また、セラミックグリーンシートに平滑化処理を施すことにより、セラミックグリーンシートの密度を高めることができるため、コンデンサの誘電体素子中に発生するポアーの発生率を低減することが可能になる。
さらに、シートの密度が高まるため、電極ペーストの溶剤成分がシートに染み込んでシートバインダーが溶解されるシートアタック現象を抑制することが可能になる。
その結果、本願発明の製造方法により製造したセラミックグリーンシートを用いることにより、平均寿令の長い、信頼性に優れた積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
【００４３】
【発明の実施の形態】
以下、本願発明の実施の形態を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。なお、ここでは、積層セラミックコンデンサの誘電体層の形成に用いられるセラミックグリーンシートを製造する場合を例にとって説明する。
【００４４】
(1)まず、出発原料として、セラミック粉末（チタン酸バリウム系セラミック粉末）と、特性改質などを目的とした添加物とを所定量ずつ秤量し、湿式混合を経て、混合粉とする。このとき各添加物は、酸化物粉末あるいは炭酸化粉末の形態で、セラミック粉末に混合する方法によって添加され、有機溶媒（分散媒）中に湿式分散される。
この湿式分散（１次分散）の方法としては、セラミック粉末の粉砕が発生
しない分散方法、及び分散条件を選択することが望ましい。すなわち、分散は、粉砕が発生しない程度のせん断力が与えられる条件で行うことが望ましい。
なお、湿式分散方法としては、具体的には、ボールミル法、サンドミル法、ビスコミル法、高圧ホモジナイザー法、ニーダー分散法などを用いることができる。
(2)次に、上述の１次分散液に、有機バインダー、可塑剤及び有機溶媒（分散媒）を添加することによって、セラミックスラリーを調製し、前述の１次分散の方法と同様の方法で、２次分散させた。
(3)それから、このセラミックスラリーを、キャリアフィルム上にシート状に成形した。セラミックスラリーをシート状に成形する方法としては、ドクターブレード法や、リバースロールコーター法、ダイコーター法など、種々の公知の方法を用いることが可能である。
このように、前記の分散処理、成形を経て、製造されるセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）は、必ずしも単粒子となるほど高度に分散されている必要はなく、セラミック粉末の粉砕が生じていないということのほうが重要である。
(4)次に、このセラミックグリーンシートの表面を平滑にするために、平滑化処理を施した。
この実施形態では、平板プレス法、静水圧プレス法、及びカレンダーロール法のそれぞれの方法により平滑化処理を施し、平滑化処理の方法の異なるセラミックグリーンシート（試料）を製造した。
なお、この実施形態では、平板プレス機として、鏡面研磨された硬質クロムめっき層が表面に配設された１対の平行平板（プレス板）と、プレス板によるプレス圧力を制御する圧力制御手段と、一対のプレス板を所定の温度に加熱するとともに所定の温度に維持することができるように構成された加熱手段とを具備する平板プレス機を用いた。
また、静水圧プレス機としては、液体が満たされた圧力容器と、液体を加圧する加圧シリンダーと、圧力を制御する制御手段と、液体を所定の温度に加熱するとともに所定の温度に維持することができるように構成された加熱手段と、セラミックグリーンシートが巻き付けられる、表面が鏡面研磨された金属ロールとを備えた静水圧プレス機を用い、金属ロールの表面にセラミックグリーンシートを巻き付けた状態で可撓性シートにより真空パックし、静水圧プレス機の液体中に浸漬し、静水圧プレスを行った。
また、カレンダーロール機としては、一対のニップロール（金属ロール）と、ニップロールを所定の温度に加熱する、温度制御機構を備えた加熱手段と、ニップロールでセラミックグリーンシートを両面側から挟んで加圧する際のプレス圧力（線圧）を制御するための圧力制御手段とを備えたいわゆるシングルニップロールタイプのカレンダーロール機を用いた。ただし、複数対のニップロールを備えた多段ニップロールタイプのカレンダーロール機を用いることも可能である。
(5)それから、上述のように、平板プレス法、静水圧プレス法、カレンダーロール法により、平滑化処理を施した後のセラミックグリーンシートの表面粗さを測定した。なお、セラミックグリーンシートの表面粗さは、原子間力顕微鏡で測定し、５μm平方の領域のＲａ値を用いて評価した。
【００４５】
表１に比較例として、セラミック粉末の平均粒径が２１０nm（比較例１）、１５３nm（比較例２）、及び９８nm（比較例３）のチタン酸バリウム粉末を用いてセラミックスラリーを作製し、キャリアフィルム上に、シート状に成形して乾燥することにより製造したセラミックグリーンシート（平滑化処理を施していないセラミックグリーンシート）の表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００４６】
【表１】
表面の平滑化処理が施されていない比較例１、２、３のセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）は、それぞれ、２２８nm、１６２nm、及び１２０nmであった。図１に比較例２のセラミックグリーンシートの表面を撮影した電子顕微鏡写真を示す。
【００４８】
また、表２及び表３に、平板プレス機を用い、プレス温度（プレス板の表面温度）及びプレス圧力を変えて、平滑化処理（平板プレス処理）した場合の、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００４９】
【表２】
【表３】
また、表４及び５に、静水圧プレス機を用い、プレス温度（液温）及びプレス圧力を変えて、平滑化処理（静水圧プレス処理）した場合の、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００５２】
【表４】
【表５】
また、表６及び７に、カレンダーロール機を用い、そのプレス温度（ニップロールの表面温度）及びプレス圧力（線圧）を変えて、平滑化処理（カレンダーロール処理）した場合の、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ）を示す。
【００５５】
【表６】
【表７】
表２，３，４，５，６，７において、試料番号の右に＊印を示しているものは、本願発明範囲外のもの（参考例）である。また、表面粗さ（Ｒａ）の欄に×が示されたものは、セラミックグリーンシートに破れが発生したことを示すものである。
【００５８】
［平板プレス法により平滑化処理を施した場合の表面粗さ（Ｒａ）について］
(ａ)粒径２１０nmのセラミック粉末を用いた場合（表２参照）
試料番号１〜２０は、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた場合である。なお、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例１（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは２２８nmであった。
平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いたセラミックグリーンシートのうち、試料番号１〜３は、プレス温度０℃で平滑化処理（平板プレス処理）を施したセラミックグリーンシートであり、プレス圧力を変えても、プレス温度が低いためにいずれもＲａ低減の効果はわずかであった。
試料番号４〜１０は、プレス温度２０℃で平滑化処理（平板プレス処理）を施した場合である。
試料番号４は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、Ｒａ低減効果は認められなかった。
試料番号５〜９は、プレス圧力が５００kgf／cm2以上、１００００kgf／cm2以下の場合で、Ｒａ低減効果が認められ、持に、試料番号６〜８のように、プレス圧力を１０００〜６０００kgf／cm2とした場合に、大きなＲａ低減効果が認められた。
また、試料番号９は、プレス圧力が１００００kgf／cm2と高いため、Ｒａ低減効果は大きいが、セラミックグリーンシートにいくらか皺状の模様が発生した。
試料番号１０（参考例）は、プレス圧力１００００kgf／cm2を超える場合で、シートがキャリアフィルムから剥離し、破れが生じた。
試料番号１１及び１２は、プレス温度が６０℃の場合である。プレス圧力はそれぞれ５００kgf／cm2、４０００kgf／cm2であり、プレス圧力がより好ましい範囲にある後者の方がＲａ低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１３〜１６は、プレス温度が１００℃の場合である。プレス圧力１０００〜６０００kgf／cm2の範囲で、よりＲａの低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１６（参考例）は、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号１７〜１９は、プレス温度及びプレス圧力が、より好ましい範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。
試料番号２０（参考例）は、プレス圧力は好ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
【００５９】
(ｂ)粒径１５３nmのセラミック粉末を用いた場合（表３参照）
試料番号２１〜３２は、セラミック粉末の平均粒径が１５３nmの場合である。なお、平均粒径が１５３nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例２（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１６２nmであった。
試料番号２１〜２７は、プレス温度５０℃で、プレス圧力を変化させた場合である。
試料番号２１（参考例）は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、十分なＲａ低減効果は認められなかった。
試料番号２２〜２６は、プレス圧力が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２３〜２５の試料は、プレス圧力がさらに好ましい条件範囲にあり、Ｒａ１００nm以下にまで表面粗さを低減できることがわかった。図２に試料番号２４のセラミックグリーンシートの表面を撮影した電子顕微鏡写真を示す。比較例２のセラミックグリーンシート（図１参照）と比べると、組織が緻密化していることがわかる。
また、試料番号２７（参考例）は、プレス温度は５０℃であり良好な範囲にあるが、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えており、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号２８〜３２は、プレス圧力を３０００kgf／cm2とし、プレス温度を変化させた場合である。
試料番号２８〜３１は、プレス温度が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２９，３０では、さらに良好なＲａの低減効果を示した。
試料番号３２（参考例）は、プレス圧力が３０００kgf／cm2で望ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６０】
(ｃ)粒径９８nmのセラミック粉末を用いた場合（表３参照）
試料番号３３〜３６は、セラミック粉末の平均粒径が９８nmの場合である。なお、平均粒径が９８nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例３（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１２０nmであった。
試料番号３３〜３６は、プレス温度が７０℃で、プレス圧力を変化させた場合であった。
試料番号３３〜３５は、プレス温度及びプレス圧力がともに望ましい範囲にあり、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が認められた。また、試料番号３３，３４では、さらに良好な結果を示した。
しかし、試料番号３６（参考例）では、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、セラミックグリーンシートの剥離が生じた。
【００６１】
以上の結果から、平板プレス法による平滑化処理の条件（プレスの条件）として、プレス温度が０〜１５０℃で、かつ、プレス圧力が５００〜１００００kgf／cm2の範囲が好ましく、この範囲では、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が得られることが確認された。
また、プレス温度が２０〜１００℃、プレス圧力が１０００〜６０００kgf／cm2のときに、より大きなＲａ低減効果が得られることがわかった。
【００６２】
［静水圧プレス法により平滑化処理を施した場合の表面粗さ（Ｒａ）について］
(ａ)粒径２１０nmのセラミック粉末を用いた場合（表４参照）
試料番号１０１〜１２０は、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた場合である。なお、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例１（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは２２８nmであった。
平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いたセラミックグリーンシートのうち、試料番号１０１〜１０３は、プレス温度０℃で平滑化処理（静水圧プレス処理）を施したセラミックグリーンシートであり、プレス圧力を変えても、プレス温度が低いためにいずれもＲａ低減の効果はわずかであった。
試料番号１０４〜１１０は、プレス温度２０℃で平滑化処理（静水圧プレス処理）を施した場合である。
試料番号１０４は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、Ｒａ低減効果は認められなかった。
試料番号１０５〜１０９は、プレス圧力が５００kgf／cm2以上、１００００kgf／cm2以下の場合で、Ｒａ低減効果が認められ、持に、試料番号１０６〜１０８のように、プレス圧力を１０００〜６０００kgf／cm2とした場合に、大きなＲａ低減効果が認められた。
また、試料番号１０９は、プレス圧力が１００００kgf／cm2と高いため、Ｒａ低減効果は大きいが、セラミックグリーンシートにいくらか皺状の模様が発生した。
試料番号１１０（参考例）は、プレス圧力１００００kgf／cm2を超える場合で、シートがキャリアフィルムから剥離し、破れが生じた。
試料番号１１１及び１１２は、プレス温度が６０℃の場合である。プレス圧力はそれぞれ５００kgf／cm2、４０００kgf／cm2であり、プレス圧力がより好ましい範囲にある後者の方がＲａ低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１１３〜１１６は、プレス温度が１００℃の場合である。プレス圧力１０００〜６０００kgf／cm2の範囲で、よりＲａの低減効果が大きいことがわかる。
試料番号１１６（参考例）は、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号１１７〜１１９は、プレス温度及びプレス圧力が、より好ましい範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。
試料番号１２０（参考例）は、プレス圧力は好ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
【００６３】
(ｂ)粒径１５３nmのセラミック粉末を用いた場合（表５参照）
試料番号１２１〜１３２は、セラミック粉末の平均粒径が１５３nmの場合である。なお、平均粒径が１５３nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例２（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１６２nmであった。
試料番号１２１〜１２７は、プレス温度５０℃で、プレス圧力を変化させた場合である。
試料番号１２１（参考例）は、プレス圧力を本願発明の範囲より低い、２００kgf／cm2とした参考例であって、プレス圧が５００kgf／cm2未満のため、十分なＲａ低減効果は認められなかった。
試料番号１２２〜１２６は、プレス圧力が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号１２３〜１２５の試料は、プレス圧力がさらに好ましい条件範囲にあり、Ｒａ１００nm以下にまで表面粗さを低減できることがわかった。
また、試料番号１２７（参考例）は、プレス温度は５０℃であり良好な範囲にあるが、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えており、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号１２８〜１３２は、プレス圧力を３０００kgf／cm2とし、プレス温度を変化させた場合である。
試料番号１２８〜１３１は、プレス温度が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号１２９，１３０では、さらに良好なＲａの低減効果を示した。
試料番号１３２（参考例）は、プレス圧力が３０００kgf／cm2で望ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６４】
(ｃ)粒径９８nmのセラミック粉末を用いた場合（表５参照）
試料番号１３３〜１３６は、セラミック粉末の平均粒径が９８nmの場合である。なお、平均粒径が９８nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例３（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１２０nmであった。
試料番号１３３〜１３６は、プレス温度が７０℃で、プレス圧力を変化させた場合である。
試料番号１３３〜１３５は、プレス温度及びプレス圧力がともに望ましい範囲にあり、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が認められた。また、試料番号１３３，１３４では、さらに良好な結果を示した。
しかし、試料番号１３６（参考例）では、プレス圧力が１００００kgf／cm2を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６５】
以上の結果から、静水圧プレス法による平滑化処理の条件（プレスの条件）としては、プレス温度が０〜１５０℃で、かつ、プレス圧力が５００〜１００００kgf／cm2のときに、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が得られることがわかった。
また、プレス温度（液温）が２０〜１００℃、プレス圧力が１０００〜６０００kgf／cm2のときに、より大きなＲａ低減効果が得られることがわかった。
【００６６】
［カレンダーロール法により平滑化処理を施した場合の表面粗さ（Ｒａ）について］
(ａ)粒径２１０nmのセラミック粉末を用いた場合（表６参照）
試料番号２０１〜２２０は、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた場合である。なお、平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例１（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは２２８nmであった。
平均粒径が２１０nmのセラミック粉末を用いたセラミックグリーンシートのうち、試料番号２０１〜２０３は、プレス温度（ニップロールの表面温度）０℃で平滑化処理（カレンダーロール処理）を施したセラミックグリーンシートであり、プレス圧力（線圧）を変えても、プレス温度が低いためにいずれもＲａ低減の効果はわずかであった。
試料番号２０４〜２１０は、プレス温度２０℃で平滑化処理（カレンダーロール処理）を施した場合である。
試料番号２０４は、プレス圧力（線圧）を本願発明の範囲より低い、２０kgf／cmとした参考例であって、プレス圧が５０kgf／cm未満のため、Ｒａ低減効果は認められなかった。
試料番号２０５〜２０９は、プレス圧力（線圧）が５０kgf／cm以上、１０００kgf／cm以下の場合で、Ｒａ低減効果が認められ、持に、試料番号２０６〜２０８のように、プレス圧力（線圧）を１００〜６００kgf／cmとした場合に、大きなＲａ低減効果が認められた。
試料番号２０９は、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmと高いため、Ｒａ低減効果は大きいが、セラミックグリーンシートにいくらか皺状の模様が発生した。
試料番号２１０（参考例）は、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超える場合で、シートがキャリアフィルムから剥離し、破れが生じた。
試料番号２１１及び２１２は、プレス温度が６０℃の場合である。プレス圧力（線圧）はそれぞれ５０kgf／cm、４００kgf／cmであり、プレス圧力（線圧）がより好ましい範囲にある後者の方がＲａ低減効果が大きいことがわかる。
試料番号２１３〜２１６は、プレス温度が１００℃の場合である。プレス圧力（線圧）１００〜６００kgf／cmの範囲で、よりＲａの低減効果が大きいことがわかる。
試料番号２１６（参考例）は、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超えているため、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号２１７〜２１９は、プレス温度及びプレス圧力（線圧）が、より好ましい範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。
試料番号２２０（参考例）は、プレス圧力（線圧）は好ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
【００６７】
(ｂ)粒径１５３nmのセラミック粉末を用いた場合（表７参照）
試料番号２２１〜２３２は、セラミック粉末の平均粒径が１５３nmの場合である。なお、平均粒径が１５３nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例２（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１６２nmであった。
試料番号２２１〜２２７は、プレス温度５０℃で、プレス圧力（線圧）を変化させた場合である。
試料番号２２１（参考例）は、プレス圧力（線圧）を本願発明の範囲より低い、２０kgf／cmとした参考例であって、プレス圧が５０kgf／cm未満のため、十分なＲａ低減効果は認められなかった。
試料番号２２２〜２２６は、プレス圧力（線圧）が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２２３〜２２５の試料は、プレス圧力（線圧）がさらに好ましい条件範囲にあり、Ｒａ１００nm以下にまで表面粗さを低減できることがわかった。
また、試料番号２２７（参考例）は、プレス温度は５０℃であり良好な範囲にあるが、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超えており、セラミックグリーンシートがキャリアフィルムから剥離して破れが生じた。
試料番号２２８〜２３２は、プレス圧力（線圧）を３００kgf／cmとし、プレス温度を変化させた場合である。
試料番号２２８〜２３１は、プレス温度が本願発明の条件範囲にあり、Ｒａの低減効果が認められた。特に、試料番号２２９，２３０では、さらに良好なＲａの低減効果を示した。
試料番号２３２（参考例）は、プレス圧力（線圧）が３００kgf／cmで望ましい範囲にあるが、温度が１５０℃を超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６８】
(ｃ)粒径９８nmのセラミック粉末を用いた場合（表７参照）
試料番号２３３〜２３６は、セラミック粉末の平均粒径が９８nmの場合である。なお、平均粒径が９８nmのセラミック粉末を用いた上述の比較例３（表１）のセラミックグリーンシート（平滑化処理せず）のＲａは１２０nmであった。
試料番号２３３〜２３６は、プレス温度が７０℃で、プレス圧力（線圧）を変化させた場合である。
試料番号２３３〜２３５は、プレス温度及びプレス圧力（線圧）がともに望ましい範囲にあり、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が認められた。また、試料番号２３３，２３４では、さらに良好な結果を示した。
しかし、試料番号２３６（参考例）では、プレス圧力（線圧）が１０００kgf／cmを超えているため、シートの剥離が生じた。
【００６９】
以上の結果から、カレンダーロール機による平滑化処理の条件（プレスの条件）として、ニップロール表面温度が０〜１５０℃で、かつ、プレス圧力（線圧）が５０〜１０００kgf／cmのときに、セラミックグリーンシートのＲａ低減効果が得られることがわかった。
また、ニップロール表面温度が２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）が１００〜６００kgf／cmのときに、より大きなＲａ低減効果が得られることがわかった。
【００７０】
なお、上記実施形態では、セラミックグリーンシートを構成するセラミック粉末として、チタン酸バリウム系セラミック粉末を用いた場合を例にとって説明したが、本願発明において、セラミック粉末はこれに限定されるものではなく、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウムなどを主成分とする種々のセラミック粉末からセラミックグリーンシートを形成する場合に、広く本願発明を適用することが可能である。
また、セラミック粉末を含むセラミックスラリーとして、有機系スラリーを用いた場合を例にとって説明したが、水系スラリーを用いた場合にも、同様の効果を得ることが可能である。
また、セラミックスラリーとしては、種々のバインダー、可塑剤などを含むものを用いることが可能であり、目的とするセラミックグリーンシートに応じて、適宜その種類及び量を選択して用いることが可能である。
【００７１】
本願発明は、さらにその他の点においても、上記実施形態及び実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
【００７２】
【発明の効果】
上述のように、本願発明（請求項１）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、平板プレス機を用いて、プレス板表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと平板プレス処理するようにしているので、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
また、平滑化処理によりセラミックグリーンシートの密度が高くなるため、ポアーなどの内部欠陥の発生や、電極ペーストをセラミックグリーンシートに印刷するような場合に、電極ペーストの溶剤成分がシートに染み込んでシートバインダーが溶解されるシートアタック現象の発生などを抑制することが可能になる。
したがって、本願発明の方法により製造したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを用いて積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品を製造することにより、平均寿令の長い、信頼性の壊れた積層セラミック電子部品を製造することが可能になる。
また、本願発明においては、セラミックグリーンシートに平滑化処理を施すようにしているので、セラミックグリーンシートの表面の平滑化をセラミック粒子の分散性の高さにより実現しようとする方法のように、セラミックスラリーの分散時に、過剰なせん断力をセラミック粒子に与える必要がなく、セラミック粒子が粉砕されてしまうことを抑制、防止して、セラミック粒子ロットの凝集性のばらつきなどによって、積層セラミック電子部品の特性が、目標とする範囲から外れたり、目標とする特性値を下回る特性値しか得られなかったりすることを効率よく防止することが可能になる。具体的には、例えば、積層セラミックコンデンサの場合における、設計温度特性が目標とする範囲から外れたり、設計容量を下回る容量値しか得られなかったりするというような事態の発生を効率よく抑制することが可能になる。
また、本願発明は、セラミック層の厚み（素子厚）が３μm以下の積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを製造する場合に、特に有意義であり、例えば、薄膜多層の小型大容量の積層セラミックコンデンサを製造するのに適用した場合、電気特性に優れ、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを効率よく製造することが可能になる。
【００７３】
また、本願発明の請求項２のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、プレス板表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、平板プレス処理するようにした場合、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
【００７４】
また、本願発明（請求項３）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、静水圧プレス機を用いて、プレス温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと静水圧プレス処理するようにしているが、この場合も、上記の平板プレス法により平滑化処理を施すようにした請求項１の発明の場合と同様の効果を得ることができる。
【００７５】
また、請求項４のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、プレス温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で、静水圧プレス処理することにより、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
【００７６】
また、本願発明（請求項５）のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法は、セラミックスラリーをキャリアフィルム上にシート状に成形し、乾燥して得られる乾燥シート（平滑化処理の施されていないセラミックグリーンシート）を、カレンダーロール機を用いて、ニップロール表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力（線圧）：５０〜１０００kgf／cmの条件でキャリアフィルムごとカレンダーロール処理するようにしているので、セラミックグリーンシートの表面の平滑性を、セラミックの粒径や分散性に依存することなく向上させることが可能になり、積層セラミックコンデンサなどに使用するのに適したキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを確実に製造することが可能になる。
また、カレンダーロール法は、連続処理に適しており、セラミックグリーンシートの製造工程を連続化して、さらに効率よくキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを製造することが可能になる。
【００７７】
また、請求項６のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、ニップロール表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）：１００〜６００kgf／cmの条件でカレンダーロール処理するようにした場合、セラミックグリーンシートの表面の平滑性をさらに確実に向上させることが可能になる。
【００７８】
また、内部電極間に介在するセラミック層の厚み（素子厚）が３μm以下であるような積層セラミック電子部品においては、その製造に用いられるセラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）が、１００nmを超えると、寿命が急激に低下する傾向があるが、このような場合に、本願発明を適用することにより（請求項７）、厚みが薄い場合にも、セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）を１００nm以下にすることが可能になり、それを用いて製造される積層セラミック電子部品の耐久性を向上させることが可能になる。
【００７９】
また、請求項８のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法のように、本願発明は厚みが薄く、表面の平滑性に優れていることが要求される積層セラミック電子部品用のセラミックグリーンシートを製造する場合に適用した場合に、特に有意義であり、セラミックスラリーをシート状に成形する成形工程や、表面を平滑化する平滑化処理工程では、セラミックグリーンシートをキャリアフィルムに保持させておき、積層などの工程では、キャリアフィルムから剥離して使用できるようにすることにより、例えば、内部電極間に介在するセラミック層の厚みが薄い薄層多層型の積層セラミック電子部品を効率よく製造することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 比較例のセラミックグリーンシートの表面状態を示す電子顕微鏡写真である。
【図２】 本願発明の一実施形態にかかる方法で製造したセラミックグリーンシートの表面状態を示す電子顕微鏡写真である。
【図３】 積層セラミックコンデンサの構造を示す断面図である。
【図４】 従来のセラミックグリーンシートの製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１ セラミック層
２ａ，２ｂ 内部電極
３ セラミック素子
４ａ，４ｂ 外部電極
Claims (8)
- 分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、少なくとも一対のプレス板を備えた平板プレス機を用い、プレス板表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと平板プレス処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴とするキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。 - プレス板表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で平板プレス処理することを特徴とする請求項１記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
- 分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、静水圧プレス機を用い、プレス温度：０〜１５０℃、プレス圧力：５００〜１００００kgf／cm2の条件でキャリアフィルムごと静水圧プレス処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴とするキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。 - プレス温度：２０〜１００℃、プレス圧力：１０００〜６０００kgf／cm2の条件で静水圧プレス処理することを特徴とする請求項３記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
- 分散媒にセラミック粉末を分散させたセラミックスラリーを、キャリアフィルム上に塗布してシート状に成形する成形工程と、
前記キャリアフィルム上にシート状に成形されたセラミックスラリーを乾燥させる乾燥工程と、
前記セラミックスラリーを乾燥することによりキャリアフィルム上に形成された乾燥シートを、少なくとも一対のニップロールを備えたカレンダーロール機を用い、ニップロール表面温度：０〜１５０℃、プレス圧力（線圧）：５０〜１０００kgf／cmの条件でキャリアフィルムごとカレンダーロール処理することにより表面を平滑化する平滑化処理工程と
を具備することを特徴とするキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。 - ニップロール表面温度：２０〜１００℃、プレス圧力（線圧）：１００〜６００kgf／cmの条件でカレンダーロール処理することを特徴とする請求項５記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記セラミックグリーンシートの表面粗さ（Ｒａ値）が１００nm以下になるように前記平滑化処理を施すことを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートが、前記キャリアフィルムから剥離して積層することにより、積層セラミック電子部品の製造に使用されるものであって、前記キャリアフィルムに剥離可能に保持されているものであることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
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