JP3811721B2 - 蛍光x線分析方法および装置 - Google Patents
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Description
複数の照射角度φ1〜φnのうち任意の2つの照射角度φa ,φb (φa <φb )の複数の組について、それぞれ標準試料1の蛍光X線強度Ia1,Ib1の比を標準試料1の粒度係数PF1として求め、標準試料2の蛍光X線強度Ia2,Ib2の比を標準試料2の粒度係数PF2として求める。本発明では2つの照射角度での蛍光X線強度比を粒度係数PFと定義する。
そして、これら得られた各組についての蛍光X線強度Ia1,Ia2および粒度係数PF1、PF2から、Ia2・PF1/PF2の値がIa1の値に最も近づくように、照射角度φa,φbの組を選択し、前記選択した照射角度φa,φbにおける測定対象試料についての蛍光X線の強度Ia3,Ib3から、被測定物の形態を決定するものである。
図1は、本発明の一実施形態に係る全反射蛍光X線分析装置の概略側面図を示す。本装置は、X線を発生させるX線源2と、X線源2からのX線を回折させて単色化させ、その1次X線B1を試料台70上のシリコン基板のような試料50の表面に向かって微小な所定の入射角度(例えば、0.05°〜0.2°)で入射させる分光結晶3と、試料50表面に対向して、1次X線B1を受けた試料50からの蛍光X線B3を検出する検出器4とを備えており、試料50の試料表面部に存在する被測定物から発生した蛍光X線B3を分析する。試料50をのせた試料台70が図示しない駆動手段によって駆動されて、試料50に対して任意の照射(入射)角度および位置で1次X線B1が照射される。
例えば、シリコン基板上の被測定物である汚染物質のニッケルの定量分析を行う場合、汚染量が既知の標準試料に対して、予め全反射蛍光X線分析(照射角度φc(例えば、0.09°)における測定)を行い、汚染量と蛍光X線強度との関係を明らかにしておく。つまり、汚染量と蛍光X線強度との関係を示す検量線を作成しておく。つぎに、汚染量が未知の測定対象試料に対して全反射蛍光X線測定を行い、測定対象試料の蛍光X線強度を測定する。その強度を前記検量線を用いて汚染量に換算する。本実施形態では、標準試料1における被測定物の付着形態をフィルム状とし、標準試料2における被測定物の付着形態を粒状とする。
この場合、フィルム状の標準試料1についてのNi−Kα線の強度は0.05°のとき20.65cps、0.15°のとき335.65cpsである。したがって、標準試料1についての蛍光X線強度Ia1,Ib1の比である標準試料1の粒度係数PF1を求めると、PF1=20.65/335.65=0.06である。
粒状の標準試料2についてのNi−Kα線の強度は0.05°のとき158.79cps、0.15°のとき444.05cpsである。したがって、標準試料2についての蛍光X線強度Ia2,Ib2の比である標準試料2の粒度係数PF2を求めると、PF2=158.79/444.05=0.36である。これにより、粒度係数PF1とPF2の比は、PF1/PF2=0.06/0.36=1/6となる。
この場合、フィルム状の標準試料1について全反射蛍光X線測定した結果、Ni−Kα線の強度は0.09°のとき103.60cps、0.17°のとき419.58cpsである。したがって、標準試料1についての蛍光X線強度Ia1,Ib1の比である標準試料1の粒度係数PF1は、PF1=103.60/419.58=0.25である。なお、前記定量分析用の照射角度φc=0.09°での検量線を用いて、Ni−Kα線の強度をニッケルの汚染量に換算すると、約1.5×1012atoms/cm2となる。
粒状の標準試料2については、Ni−Kα線の強度は0.09°のとき404.91cps、0.17°のとき415.30cpsである。したがって、標準試料2についての蛍光X線強度Ia2,Ib2の比である標準試料2の粒度係数PF2は、PF2=404.91/415.30=0.97である。これにより、前記粒度係数PF1とPF2の比は、PF1/PF2=0.25/0.97≒1/4となる。
Claims (2)
- 試料表面に1次X線を照射し、試料表面部に存在する被測定物から発生した蛍光X線を測定する蛍光X線分析方法であって、
被測定物の存在量は等しいが、被測定物の付着形態がフィルム状である標準試料1および粒状である標準試料2について、前記1次X線をそれぞれ相異なる複数の照射角度φ1〜φnで照射して蛍光X線の強度を測定し、そのうち任意の2つの照射角度φa ,φb (φa <φb )の複数の組について、それぞれ標準試料1の蛍光X線強度Ia1,Ib1の比を標準試料1の粒度係数PF1として求め、標準試料2の蛍光X線強度Ia2,Ib2の比を標準試料2の粒度係数PF2として求めて、これら得られた各組についての蛍光X線強度Ia1,Ia2および粒度係数PF1、PF2から、Ia2・PF1/PF2の値がIa1の値に最も近づくように、照射角度φa,φbの組を選択し、前記選択した照射角度φa,φbにおける測定対象試料についての蛍光X線の強度Ia3,Ib3から、被測定物の付着形態がフィルム状、粒状のいずれであるかを決定する蛍光X線分析方法。 - 試料表面に1次X線を照射し、試料表面部に存在する被測定物から発生した蛍光X線を測定する蛍光X線分析装置であって、
被測定物の存在量は等しいが、被測定物の付着形態がフィルム状である標準試料1および粒状である標準試料2について、前記1次X線をそれぞれ相異なる複数の照射角度φ1〜φnで照射して蛍光X線の強度を測定する測定手段と、
前記測定された複数の照射角度のうち任意の2つの照射角度φa ,φb (φa <φb )の複数の組について、それぞれ標準試料1の蛍光X線強度Ia1,Ib1の比を標準試料1の粒度係数PF1として求め、標準試料2の蛍光X線強度Ia2,Ib2の比を標準試料2の粒度係数PF2として求めて、これら得られた各組についての蛍光X線強度Ia1,Ia2および粒度係数PF1、PF2から、Ia2・PF1/PF2の値がIa1の値に最も近づくように、照射角度φa,φbの組を選択する演算手段と、
前記選択した照射角度φa,φbにおける測定対象試料についての蛍光X線の強度Ia3,Ib3から、被測定物の付着形態がフィルム状、粒状のいずれであるかを決定する形態決定手段とを備えた蛍光X線分析装置。
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