JP3787635B2 - 発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記基板上に酸化亜鉛又は酸化マグネシウムを添加した酸化亜鉛薄膜のバッファ層を形成するステップと、
前記バッファ層をアニールするステップと、
前記アニールされたバッファ層上に酸化亜鉛薄膜層を形成するステップとを含むことを特徴とする。
2、12、22 バッファ層
3、13、23 酸化亜鉛薄膜層
14 ソース
15 ドレイン
16 ゲート絶縁層
17 ゲート
24 発光層
25 p形半導体層
26 第1電極
27 第2電極
Claims (5)
- ScAlMgO 4 、ScAlZnO 4 、ScAlCoO 4 、ScAlMnO 4 、ScGaZnO 4 、ScGaMgO 4 、ScAlZn 3 O 6 、ScAlZn 4 O 7 、ScAlZn 7 O 10 、ScGaZn 3 O 6 、ScGaZn 5 O 8 、ScGaZn 7 O 10 、ScFeZn 2 O 5 、ScFeZn 3 O 6 、又は、ScFeZn 6 O 9 のいずれかを含む基板と、前記基板上に堆積され、約1000℃以上でアニールされた酸化亜鉛又は酸化マグネシウムを添加した酸化亜鉛薄膜バッファ層と、前記バッファ層上に堆積された酸化亜鉛薄膜層とを具えることを特徴とする発光素子。
- 請求項1に記載の発光素子において、前記酸化亜鉛薄膜層と同じ組成又は構造の材料をベースとして用い、前記酸化亜鉛薄膜層上に形成された発光層と、前記酸化亜鉛薄膜層と同じ組成又は構造の材料をベースとして用い、前記発光層上に形成され、前記酸化亜鉛薄膜層と異なるチャネル半導体層とをさらに具えることを特徴とする発光素子。
- 請求項2に記載の発光素子において、前記発光層を、(Mg,Zn)O及びZnOの多層構造、(Zn,Cd)O及びZnOの多層構造、又は、(Mg,Zn)O及び(Zn,Cd)Oの多層構造のいずれかとしたことを特徴とする発光素子。
- ScAlMgO 4 、ScAlZnO 4 、ScAlCoO 4 、ScAlMnO 4 、ScGaZnO 4 、ScGaMgO 4 、ScAlZn 3 O 6 、ScAlZn 4 O 7 、ScAlZn 7 O 10 、ScGaZn 3 O 6 、ScGaZn 5 O 8 、ScGaZn 7 O 10 、ScFeZn 2 O 5 、ScFeZn 3 O 6 、又は、ScFeZn 6 O 9 のいずれかを含む基板を形成するステップと、
前記基板上に酸化亜鉛又は酸化マグネシウムを添加した酸化亜鉛薄膜のバッファ層を形成するステップと、
前記バッファ層を約1000℃以上でアニールするステップと、
前記アニールされたバッファ層上に酸化亜鉛薄膜層を形成するステップとを含むことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 請求項4記載の発光素子の製造方法において、前記バッファ層をアニールするステップを電気炉又は成膜装置内で行うことを特徴とする発光素子の製造方法。
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