JP3780397B2 - 圧電素子の分極装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電素子の分極装置、特に圧電素子の分極度を所望の値に調整する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、圧電素子の分極装置として、例えば特開平9−102722号公報に示されたものがある。この分極装置は、図1に示すように、絶縁性のホルダ1を備えており、ホルダ1には電圧印加およびΔf測定の両方に兼用される端子2,3が複数組配設されている。一組の端子2,3は、そのばね力によって圧電素子Pを挟持することができる。圧電素子Pの両面にはそれぞれ電極P1,P2が形成されている。各端子2,3には電圧印加用リード線4とΔf測定用リード線5とが接続されており、各リード線4,5は図示しないスイッチを介して直流電源とΔf測定回路とに接続されている。
【0003】
上記のような分極装置を用いて圧電素子Pの分極度を調整する場合、まず端子2,3の間に圧電素子Pを挿入し、スイッチを直流電源側へ切り替えて直流電圧を印加する。その後、スイッチをΔf測定回路側へ切り替えてΔfを測定する。この操作をΔfが所望の公差範囲内に入るまで繰り返すことにより、圧電素子Pの分極度を調整することができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、圧電素子の分極度は、印加電圧および時間だけでなく、温度によっても変化する。特に、圧電素子の温度を所定温度(例えば100℃)まで高くすると、同一電圧を印加した場合でも分極が促進されるという性質がある。そのため、従来では分極装置と圧電素子を搬送する搬送手段とを所定温度の雰囲気中に配置し、分極を行なっていた。しかし、これでは装置全体を加熱しなければならないので、大きな熱量を必要とし、加熱設備が大型化するとともに、新たに圧電素子を投入した時、圧電素子自体の温度が雰囲気温度まで上昇するのに時間がかかるので、分極調整時間が長くなるという欠点があった。
【0005】
そこで、本発明の目的は、短時間にかつ効率よく分極処理を行なうことができる、小型の圧電素子の分極装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、両端面に電極を有する圧電素子を分極する装置であって、圧電素子の主面に近接して対向し、圧電素子の主面より広い加熱面を有する加熱ブロックと、加熱ブロックの両側位置に開閉可能に設けられ、下端部に加熱ブロックより下方へ突出した接触部を有し、これら接触部で圧電素子の両端面電極を挟持する対をなす端子と、上記端子対と切換手段を介して接続された電圧印加回路、および圧電素子の共振周波数frと反共振周波数faとの周波数差Δfを測定する測定回路と、を備えたことを特徴とする圧電素子の分極装置を提供する。
【0007】
圧電素子の両端面を端子で挟持すると、圧電素子の主面は加熱ブロックの加熱面に近接して対向することになる。この状態で、加熱ブロックを加熱すると、加熱ブロックの加熱面は圧電素子の主面より広いので、加熱面からの輻射熱によって圧電素子は均一に加熱される。この状態で、端子を電圧印加回路に接続して分極を行なう。所定の分極を終了した後、端子を測定回路側へ切り替え、Δfを測定する。Δfの測定の際、圧電素子と加熱ブロックとは接触していないので、共振周波数および反共振周波数に誤差が生じず、Δfを正確に測定できる。Δfが規定範囲に収まっていなければ、分極〜Δf測定を繰り返し、Δfが規定範囲に収まれば、端子を開いて圧電素子を取り出す。
【0008】
本発明の分極装置では、圧電素子を加熱ブロックによって強制的に加熱するので、従来のように圧電素子を雰囲気中に放置して温度上昇するのを待つ方式に比べて短時間で所望の温度まで上昇させることができ、分極調整を短時間で実施できる。
【0009】
また、端子は加熱ブロックの近傍に位置しているので、端子の温度を加熱ブロックの温度とほぼ等しくでき、端子を圧電素子に接触させた時、その接触部の温度が低下し、分極度にバラツキが生じるという不具合がない。なお、端子が加熱ブロックに接触するように構成すれば、端子の温度を加熱ブロックの温度と等しくできるので、圧電素子Pの両端面の温度低下を確実に防止できる。
【0010】
請求項2のように、加熱ブロックおよび端子を、上下に昇降可能な分極ヘッドに設けるのが望ましい。この場合には、分極ヘッドを昇降させることにより、搬送手段によって搬送された圧電素子を挟持し、搬送手段から持ち上げた状態で分極調整を行なうことができる。
【0011】
請求項3のように、圧電素子をその主面を上に向けて水平に収納保持するキャビティを有するパレットを備え、キャビティに保持された圧電素子の上面がパレットの上面より低くなるようにキャビティの深さが圧電素子の厚みより深く形成され、かつ圧電素子の両端面に対応するキャビティの部位には端子の接触部を挿入自在な逃げ部が設けられ、パレットの上面に加熱ブロックの加熱面を押し当てて、端子を閉じることにより圧電素子の両端面電極を挟持し、圧電素子をパレットから持ち上げた状態で電圧印加と周波数差Δfの測定とを行うようにするのが望ましい。この場合には、パレットの上面と加熱ブロックの加熱面とを当接させることで、加熱面と圧電素子との距離を常に一定に設定でき、圧電素子の温度を一定に調整できる。
【0012】
【発明の実施の形態】
図2〜図6は本発明にかかる分極装置の一例を示す。
この実施例で用いられる圧電素子Pは、図2,図3に示すように、短冊型の圧電セラミック基板の両端面に電極P1,P2が形成された圧電ユニットである。圧電素子Pは搬送テーブル10の上に載って矢印方向に搬送されるパレット11によって複数枚並列配置された状態で保持される。パレット11は、絶縁性、耐熱性、断熱性を有する材料で形成するのが望ましい。パレット11には、圧電素子Pをその主面P3を上に向けて水平に保持するキャビティ12が複数個形成されており、キャビティ12に収納された圧電素子Pの上面がパレット11の上面より低くなるように、キャビティ12の深さDが圧電素子Pの厚みTより深く形成されている。また、圧電素子Pの両端面電極P1,P2に対応するキャビティ12の部位には、後述する端子31,32の接触部31a,32aが挿入される逃げ部13が設けられている。
【0013】
分極装置は、板状の分極ヘッド20を備えており、この分極ヘッド20は図示しない昇降手段によって上下に昇降駆動される。分極ヘッド20の下面中央部には、ヒータ支持部21を介して加熱ブロック22が固定されている。加熱ブロック22の下面には平坦な加熱面22aが設けられ、分極に適した温度に均一に加熱されている。この加熱面22aは、パレット11によって運ばれた複数の圧電素子P全体を覆う広さを有している。なお、図2では理解を容易にするため、分極ヘッド20の下側に隠れた部品を細線で描いてある。
【0014】
分極ヘッド20の下面両側にはレール23,24が幅方向に延設されており、これらレール23,24にスライド自在に係合するスライドガイド25,26を介してスライド台27,28が取り付けられている。各スライド台27,28の下面には、絶縁性の端子台29,30を介して複数の端子31,32が取り付けられている。例えば一方の端子31はプラス側端子であり、他方の端子32はマイナス側端子であり、各同極の端子31,32は互いに隣接して並列に配列されている。隣接する端子31,32は互いに同極であるから、後述する電圧印加の際に放電が発生する恐れはない。各端子31,32の下端部には、内向きの接触部31a,32aが一体に設けられており、これら接触部31a,32aは、加熱ブロック22の加熱面22aより下方へ突出している。
【0015】
分極ヘッド20の中央部上面には、ロータリアクチュエータ33が設けられており、ロータリアクチュエータ33の回転軸34は分極ヘッド20の下面側へ突出し、この突出部に楕円形のカム35が取り付けられている。一方、スライド台27,28の上面には、上記カム35に接触するカムフォロワ36,37が取り付けられている。そして、スライド台27,28の間には引張スプリング38 (図2参照)が介装され、このスプリング38によってにスライド台27,28が対向方向に付勢され、カムフォロワ36,37はカム35の周面に追随接触するようになっている。カム35の長軸部にカムフォロワ36,37が接触した状態では、スライド台27,28は最も離間しており、端子31,32は開いた位置にある。ロータリアクチュエータ33を90度回転させると、カム35の短軸部にカムフォロワ36,37が接触し、スライド台27,28はスプリング38によって最も接近し、端子31,32は閉じることができる。
【0016】
上記端子31,32は、図6に示すように、切換スイッチ40,41を介して電圧印加回路およびΔf測定回路に選択的に接続されている。電圧印加回路は、スイッチ40と直流電源42と保護抵抗43とで構成され、Δf測定回路は、スイッチ41と周波数掃引した信号を印加する交流電源44と電流計45とで構成されている。Δf測定回路は、共振周波数frで圧電素子Pに流れる電流が最大になり、反共振周波数faで最小になるという性質を利用し、その周波数差Δfを測定するものである。なお、図6では1つの電圧印加回路とΔf測定回路とを記載したが、実際には分極される圧電素子Pの個数に応じて複数の回路が直流電源42に対して並列接続されている。
【0017】
ここで、上記構成よりなる分極装置の作動を、図5に従って説明する。
まず、(a)のように搬送テーブル10に載ったパレット11が分極ヘッド20の下方へ搬送される。なお、パレット11に保持された圧電素子Pには予め仮分極を行っておいてもよい。
次に、(b)のように、加熱ブロック22の加熱面22aがパレット11の上面に押し付けられるまで、分極ヘッド20を降下させる。パレット11のキャビティ12の深さDは、キャビティ12に収納された圧電素子Pの上面がパレット11の上面より低くなるように、圧電素子Pの厚みTより深く形成されているので、加熱面22aと圧電素子Pの主面P3との距離が一定に設定される。なお、加熱面22aをパレット11の上面に押し付けた時、端子31,32はパレット11の逃げ部13に挿入されるので、端子31,32とパレット11とが干渉することがない。
【0018】
上記のように、圧電素子Pはパレット11のキャビティ12と加熱ブロック22とで囲まれた空間内で、分極に適した温度まで加熱される。特に、キャビティ12と加熱ブロック22とで囲まれた空間は狭く、かつ加熱面22aと圧電素子Pとは近接しているので、圧電素子Pを短時間で加熱することができる。
【0019】
圧電素子Pが所定温度まで加熱されると、ロータリアクチュエータ33が駆動されて端子31,32が閉じられ、圧電素子Pの電極P1,P2は端子31,32の接触部31a,32aによって挟持される。そして、(c)のように分極ヘッド20は一定高さまで上昇し、この位置で保持される。そして、圧電素子PのΔfが規定範囲内に収まるまで電圧印加とΔf測定とを繰り返す。なお、電圧印加およびΔf測定の間も、圧電素子Pは加熱ブロック22によって一定温度に保持される。
【0020】
分極処理の終了後、分極ヘッド20はパレット11に当接する位置まで降下し、圧電素子Pをキャビティ12へ収納する。そして、端子31,32を開いて圧電素子Pを解放した後、分極ヘッド20は上昇し、パレット11は次工程へ搬送される。
【0021】
上記実施例では、端子を開閉動作させるため、ロータリアクチュエータ,カムおよびスプリングなどを用いたが、これに限らないことは勿論であり、例えばエアーシリンダやボールネジ機構などの直動機構を用いてもよい。
【0022】
上記実施例では、短冊型の圧電素子の分極について説明したが、圧電素子の形状はこれに限定されるものではない。
【0023】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、圧電素子の主面より広い加熱面を有する加熱ブロックを圧電素子の主面に近接させた状態で、圧電素子の電極を端子で挟持し、電圧印加とΔf測定とを行なうようにしたので、従来のように雰囲気中に放置して温度上昇を待つ方式に比べて圧電素子を短時間に所定温度まで上昇させることができ、短時間にかつ効率よく分極処理を行なうことができる。また、分極装置および圧電素子を所定温度雰囲気に配置する必要がないので、小型の分極装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の圧電素子の分極調整装置の正面図である。
【図2】本発明にかかる分極装置の一例の斜視図である。
【図3】圧電素子とパレットの分解斜視図である。
【図4】図2に示す分極装置の正面図である。
【図5】図2に示す分極装置の動作を説明する側面図である。
【図6】電圧印加回路およびΔf測定回路の回路図である。
【符号の説明】
P 圧電素子
11 パレット
12 キャビティ
13 逃げ部
20 分極ヘッド
22 加熱ブロック
22a 加熱面
31,32 端子
31a,32a 接触部
Claims (3)
- 両端面に電極を有する圧電素子を分極する装置であって、
圧電素子の主面に近接して対向し、圧電素子の主面より広い加熱面を有する加熱ブロックと、
加熱ブロックの両側位置に開閉可能に設けられ、下端部に加熱ブロックより下方へ突出した接触部を有し、これら接触部で圧電素子の両端面電極を挟持する対をなす端子と、
上記端子対と切換手段を介して接続された電圧印加回路、および圧電素子の共振周波数frと反共振周波数faとの周波数差Δfを測定する測定回路と、を備えたことを特徴とする圧電素子の分極装置。 - 上記加熱ブロックおよび端子は、上下に昇降可能な分極ヘッドに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子の分極装置。
- 上記圧電素子をその主面を上に向けて水平に収納保持するキャビティを有するパレットを備え、
キャビティに保持された圧電素子の上面がパレットの上面より低くなるようにキャビティの深さが圧電素子の厚みより深く形成され、かつ圧電素子の両端面に対応するキャビティの部位には端子の接触部を挿入自在な逃げ部が設けられ、
パレットの上面に加熱ブロックの加熱面を押し当てて、端子を閉じることにより圧電素子の両端面電極を挟持し、圧電素子をパレットから持ち上げた状態で電圧印加と周波数差Δfの測定とを行うことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電素子の分極装置。
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