JP3777840B2 - 半導体装置の実装方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の実装方法に関し、更に詳しくは、フェイスダウンボンディング法による回路基板へのフリップチップの実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年の半導体装置の実装技術では、高密度、高信頼性、信号伝達距離の短縮化等を図る観点から、フリップチップのフェイスダウンボンディング方法が提案、実用化されている。この方法は、例えば図7および図8に示すように、チップ状の半導体素子(以下、半導体チップという)1の底面に単列、複数列あるいはマトリックス状(面配列)に配列された複数の電極部2にバンプ3を形成し、このバンプ3を対向する回路基板4上の電極部5へ接合剤6を用いて接合し、半導体チップ1と回路基板4とを電気的に接続する方法である。なお、図7では半導体チップ1の底面を上方にして示している。
【0003】
バンプ3は、電極部2にボールボンディングあるいはワイヤボンディングと同様な手法で、金ワイヤをキャピラリで押し潰した後、ワイヤを切断することにより形成される。接合剤6は非導電性の熱硬化性樹脂(例えばエポキシ樹脂)で予め回路基板4上に塗布されており、接合時はバンプ3を回路基板4の電極部5に圧接させながら接合剤6を加熱して硬化させる。
【0004】
以上のように、従来では半導体チップ1側にバンプ3を形成し、これを回路基板4の電極部5と位置合わせを行い、フェイスダウン方式で半導体チップ1を実装している。しかしながら、この方法では、バンプピッチが200μm→150μm→105μm→85μm→50μmとファイン化(狭ピッチ化)するとき、特に100μm以下の場合はバンプ形成時にキャピラリ隣接条件とボールシェアの接合強度条件によりバンプピッチのファイン化が困難であるといった問題がある。すなわち、バンプピッチが狭いとバンプ同士が接触してしまい、又、バンプサイズを極端に小さくしてファイン化を図ればバンプシェア強度が低下してしまい、信頼性が損なわれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、バンプピッチのファイン化、バンプ接合強度の向上を図ることができる半導体装置の実装方法を提供することを課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するに当たり、本発明は、半導体素子の底面とこれに対向する回路基板の上面の双方に前記バンプを形成し、バンプは、底部側に大径部、先端側に小径部を有する、凸型の断面形状であり、小径部の高さは大径部の高さよりも大きく、半導体素子側のバンプと回路基板側のバンプとが、大径部と小径部が接触せずに、交互に配置された配置関係で半導体素子を回路基板上へ実装する。これにより、半導体素子側のバンプ間の隙間を、回路基板側のバンプの小径部が介入するだけの隙間を残して形成すればよいので、バンプサイズを極端に小さくすることなく従来よりも更なるファインピッチのバンプ接続を可能とする。また一方、従来のバンプピッチにおいても、バンプサイズをより大きくすることができるので、応力に強くなり、ボールシェア強度を向上させて信頼性を高めることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0008】
図1から図6は、本発明の実施の形態を示している。図1は本実施の形態における半導体チップ11の底面を示しており、図示するように半導体チップ11の底面の周縁部に交互に配列された例えばアルミニウムから成る電極部12a、12bのうち一方の電極部12aに、後述する形状の金で成るバンプ13Aが形成されている。一方、図2は本実施の形態における回路基板14を示しており、図示するように半導体チップ11の電極部12a、12bに対応して交互に配列された例えばアルミニウムから成る電極部15a、15bのうち一方の電極部15aに、半導体チップ11側と同一構成のバンプ13Bが形成されている。
【0009】
次にバンプ13A、13Bの詳細について、図3を参照して説明する。図は半導体チップ11の底面に設けられるバンプ13Aを示しているが、回路基板14側に設けられるバンプ13Bも同様に構成されるものとする。
【0010】
本実施の形態におけるバンプ13Aは、電極部12aに対し、キャピラリ18を使用したワイヤボンディング時の途中で金(Au)ワイヤを引き千切り、その先端をレベリングすることにより形成され、電極部12a側の底部に大径部131、先端側に小径部132を有している。この小径部132の高さhは大径部131の高さHよりも大きく形成されている。本実施の形態では、電極部12a、12bはそれぞれ交互に配置されることにより、バンプ13A間に電極部12bが位置する。
【0011】
回路基板14側のバンプ13Bも上述と同様に構成されるとともに、その電極部15a、15bもまたそれぞれ交互に配置されることにより、バンプ13B間に電極部15bが位置する。このとき、半導体チップ11側のバンプ13Aが形成されていない位置にバンプ13Bが配置されるように構成する。
【0012】
また、電極部12b、15bは、それぞれバンプ13B、13Aの小径部132と接続できるだけの面積があれば十分であるので、他方の電極部12a、15aの面積よりも小さく形成されている。
【0013】
次に、半導体チップ11と回路基板14との実装方法について説明すると、図4及び図5を参照して、半導体チップ11の底面と回路基板14の表面とを対向させ(図4A)、半導体チップ11側のバンプ13Aの小径部132を回路基板14の電極部15bに接続するともに、回路基板14側のバンプ13Bの小径部132を半導体チップ11の電極部12bに接続し(図4B)、バンプ13A間にバンプ13Bが介入する配置関係となるように、半導体チップ11を回路基板14へ実装する。ここで本実施の形態では、図示するようにバンプ13Aとバンプ13Bとが交互に配置されるよう構成される。なお、回路基板14上には非導電性の熱硬化性樹脂(例えばエポキシ樹脂)から成る接合剤16が予め塗布され、これは実装時、半導体チップ11を回路基板14に圧接しながら加熱され硬化する。
【0014】
以上の構成および作用から、以下のような効果を得ることができる。
【0015】
すなわち、本実施の形態によれば、半導体素子11側のバンプ13A間の隙間を、回路基板14側のバンプ13Bの小径部132が介入するだけの隙間を残して形成すればよいので、図6Bに示す従来のバンプピッチP’(バンプ3とバンプ3との配置間隔)よりも、図6Aに示すようにバンプピッチPを小さくすることができる。このとき、バンプ小径部132の高さhを大径部131の高さHよりも高くしているので、実装時、半導体チップ11側のバンプ大径部131と回路基板14側のバンプ大径部131とが接触することはない。したがって、バンプサイズを極端に縮小することなく、換言すれば信頼性を維持したまま、バンプを配列させて接続することができ、従来よりもファインピッチの実装が可能となる。
【0016】
また、バンプを従来のバンプピッチP’で配列しても、バンプサイズをより大きくすることができるので、半導体チップ11と回路基板14との熱膨張係数の違いで生じる応力に強くなり、ボールシェア強度を向上させて信頼性を高めることができる。
【0017】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【0018】
例えば以上の実施の形態では、バンプ13A、13Bの形状を凸型としたが、例えば円錐台形状のように、底部に対して先端が小径となる形状のバンプでもよい。
【0019】
また、以上の実施の形態では、バンプ13Aの配列を半導体チップ11の周縁部に沿った単列としたが、複数列あるいはマトリックス状(面配列)のバンプ配列にも、本発明は適用可能であることは言うまでもない。
【0020】
更に、以上の実施の形態では、半導体チップ11側のバンプ13Aと回路基板14側のバンプ13Bとが実装時、交互に配列される配置関係となるように構成したが、必要に応じて配置の構成を変更することも可能である。例えば、回路基板側のバンプ数を半導体チップ側のバンプ数よりも少なくして、半導体チップ側のバンプ間の任意の位置に回路基板側のバンプを介入させる配置関係としてもよい。
【0021】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の半導体装置の実装方法によれば、バンプサイズを極端に小さくすることなく従来よりも更なるファインピッチのバンプ接続が可能となる。また一方、従来のバンプピッチにおいても、バンプサイズをより大きくすることができるので、応力に強くなり、ボールシェア強度を向上させて信頼性を高めることができる。
【0022】
また、請求項1の発明によれば、半導体素子側のバンプと回路基板側のバンプとを接触させることなく確実に実装することができる。
【0023】
更に、請求項3の発明により、半導体素子側および回路基板側へのバンプ形成を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における半導体チップ側のバンプ配列を示す半導体チップの裏面図である。
【図2】同回路基板側のバンプ配列を示す回路基板の要部の平面図である。
【図3】同半導体チップ/回路基板のバンプ形状の詳細を示す側断面図である。
【図4】同半導体チップと回路基板との実装方法を示す側断面図であり、Aは実装前、Bは実装後を示している。
【図5】同実装後の半導体チップと回路基板とを示す斜視図である。
【図6】本発明の実施の形態による実装方法で実装したバンプピッチと、従来の実装方法で実装したバンプピッチとを示す側面図であり、Aは本発明を、Bは従来例を示している。
【図7】従来の半導体チップのバンプ配列を示す側断面図である。
【図8】従来の実装後の半導体チップと回路基板とを示す側断面図である。
【符号の説明】
11……半導体チップ、12a、12b、15a、15b……電極部、13A、13B……バンプ、14……回路基板、16……接合剤、131……大径部、132……小径部、H……大径部の高さ、h……小径部の高さ。
Claims (3)
- チップ状の半導体素子を回路基板上にバンプを介して導電接続する半導体装置の実装方法において、
前記半導体素子の底面とこれに対向する前記回路基板の上面の双方に前記バンプを形成し、
前記バンプは、底部側に大径部、先端側に小径部を有する、凸型の断面形状であり、
前記小径部の高さは前記大径部の高さよりも大きく、
前記半導体素子側の前記バンプと前記回路基板側の前記バンプとが、前記大径部と前記小径部が接触せずに、交互に配置された配置関係で前記半導体素子を前記回路基板上へ実装する
ことを特徴とする半導体装置の実装方法。 - 前記半導体素子と前記回路基板との実装方法において、
前記半導体素子を前記回路基板上へ、接合剤を介して実装する
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の実装方法。 - 前記バンプは、ワイヤボンディングの途中でワイヤを切断し、
前記ワイヤから切断されたバンプの先端をレベリングすることにより形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の実装方法。
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