JP3761269B2 - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置の製造方法に関し、第1の基板と第2の基板を所定の間隙を有して張り合わせるために利用するスペーサーを形成する方法に関するものである。特に、液晶表示装置の表示品質の均一性と改善のためにスペーサーを第1の基板、あるいは第2の基板の少なくとも一方の基板上の所定の位置に設けるための製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、液晶パネルを用いた液晶表示装置の表示容量は、大容量化の一途をたどっている。その液晶表示装置の構造は、第1の基板上に設ける信号電極に液晶画素の表示電極を直接に接続するパッシブマトリクス型と、信号電極と表示電極の間に非線形抵抗素子を有するアクティブマトリクス型がある。さらに、第1の基板上の表示電極と対向するように液晶を介して対向電極を設け、複数の信号電極と複数の対向電極をマトリクス状に配置し、信号電極と、対向電極に接続するデーター電極に外部回路より所定の信号を印加する構造からなる。
【0003】
そして、単純マトリクス構成(パッシブマトリクス型)の液晶表示装置にマルチプレクス駆動を用いる手段は、高時分割化するに従ってコントラストの低下あるいは応答速度の低下が生じ、200本程度の走査線を有する場合では、充分なコントラストを得ることが難しくなる。
【0004】
そこで、このような欠点を除去するために、個々の画素にスイッチング素子を設けるアクティブマトリクスの液晶表示パネルが採用されている。
【0005】
このアクティブマトリクスの液晶表示パネルには、大別すると薄膜トランジスタを用いる三端子系と、非線系抵抗素子を用いる二端子系とがある。これらのうち構造や製造方法が簡単な点で、二端子系が優れている。
【0006】
この二端子系のスイッチング素子としては、ダイオード型や、バリスタ型や、TFD型などが開発されている。
【0007】
このうちTFD型は、とくに構造が簡単で、そのうえ製造工程が短いという特徴を備えている。
【0008】
液晶表示装置は、第1の基板上に設ける信号電極と信号電極と一体構造の表示電極と、第2の基板上に設ける対向電極と、第1の基板と第2の基板上に液晶を配向するための配向膜とを有し、第1の基板と第2の基板を所定の間隙を有してシール等を利用し張り合わせて、第1の基板と第2の基板との間に液晶を封入する構造を有する。そのため、第1の基板と第2の基板とを所定の間隙にするために例えば、プラスチック材、あるいはガラス材からなるスペーサーが利用される。
【0009】
もっとも、一般的なスペーサーの形成方法は、プラスチック材あるいはガラス材のビーズからなるスペーサー材を基板上に平均して散布する方法である。散布の方法は、スペーサー材のみを散布する方法。あるいは、溶剤とスペーサー材とを混合して利用し散布する方法等がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
液晶表示装置の表示品質は、第1の基板と第2の基板の間隙の分布により均一性が左右される。さらにスペーサーの無い部分と、スペーサーの部分とで透過率が異なる。例えば、スペーサーが透過性であれば、黒の表示の時にスペーサーは白となり黒表示を劣化させる。また、スペーサーが非透過性であれば、白表示の時に黒となり、暗くなる。さらに、スペーサーの分布により以上の影響に分布が発生するため、表示のムラとなる。
【0011】
さらに、スペーサーの周囲とスペーサーの無い部分とで、液晶の配向状態が異なるため、スペーサーの周囲も表示品質に影響することが実験で分かっている。
【0012】
そのため、スペーサーを所定の位置に設ける方法は種々考案されている。例えば、電極と電極間の電位に差を設けて、スペーサー材の電位との相互採用により電極間に選択的にスペーサー材を設ける。あるいは、感光性樹脂を利用し、フォトリソグラフィー法により所定の位置に凸部を形成する方法、開口部を有する金属マスクを利用し、開口部に相当する部分に選択的にスペーサー材を設ける方法、
等がある。しかし、電極と電極間の電位差によりスペーサー材を選択的に形成する方法は電極の幅の広い場合、スペーサー材の帯電性等により効果の差が大きく、さらにスペーサー材の帯電能もスペーサー材の材質により異なるため、スペーサー材の選定等が必要になる。
【0013】
また、感光性樹脂を利用し、凸部を設ける方式では、感光性樹脂の凸部の均一性が問題となり、さらに凸部が一般的なパッシブマトリクス方式に利用している表示モードでは、例えば、ツイストネマチック(TN)方式、あるいは、スーパーツイストネマチック(STN)方式では、4から7μm程度の高さが必要となる。そのため、感光性樹脂の膜厚の制御と、粘度との関係により高さ分布が制御しにくい。ここで、上下の基板に分割して感光性樹脂の凸部を設ける方式も在るが、凸部を設ける工程が2倍となり、複雑になる。さらに、凸部を設ける工程により、液晶の配向がみだれ均一な表示が難しくなる。また、金属マスクの開口部を利用し、スペーサーを散布する方式では、スペーサーの個数の制御、あるいは、金属マスクと基板との距離等によりばらつきが発生する。
【0014】
本発明の目的は、上記課題を解決して、上記の液晶表示装置の表示品質を左右するスペーサー材を所定の位置に簡単設けるための製造方法を提供し、液晶表示装置の表示品質の向上を行うためのものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示装置においては、下記記載の製造方法を採用する。
【0016】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法において、前記第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを設ける工程は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、所定の部所に凸部を有する転写用スタンプ部に前記トレイより前記凸部をスペーサーに押しつけスペーサーをトレイより転写する工程と、第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方に転写用スタンプ部を押しつけ、前記基板の所定の位置にスペーサーを転写する工程を有することを特徴とする。
【0017】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法において、前記第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを設ける工程は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、所定の部所に凸部を有する転写用スタンプ部の凸部上をクリーニングする工程と、前記凸部上にスペーサーを接着する処理を行う工程と、第1の基板あるいは第2の基板の少なくとも一方にスペーサーを接着するための処理を行う工程と、前記トレイより前記凸部上の接着部にスペーサーに押しつけスペーサーをトレイより転写する工程と、前記第1の基板あるいは、第2の基板上の接着処理部に転写用スタンプ部を押しつけ、前記基板の所定の位置にスペーサーを転写する工程を有することを特徴とする。
【0018】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを設ける方法は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、前記転写用スタンプ部の凸部上をクリーニングする工程と、凸部上に粘着剤を塗布する工程と、前記凸部上の粘着剤をトレイ上のスペーサー上に押し付けスペーサーを接着する工程と、第1の基板と第2の基板の少なくとも一方に前記凸部上のスペーサーを接触する工程と、スペーサーあるいは凸部の少なくとも一方を加熱する工程と、加熱により前記接着剤の粘性を低下し、凸部より前記基板上に前記粘着剤とスペーサーを転写する工程と、冷却し前記接着剤の粘性を増加しスペーサーを前記基板上に接着剤により固定化する工程とを有することを特徴とする。
【0019】
本発明の液晶表示装置の製造方法は、第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを設ける方法は、スペーサー用のトレイ上にスペーサーをほぼ最密充填する工程と、前記転写用スタンプ部の凸部上を帯電させる工程と、前記帯電させた凸部上にトレイよりスペーサーを吸着する工程と、第1の基板と第2の基板の少なくとも一方に前記凸部上のスペーサーを接触する工程と、前記凸部の帯電を除去し、前記基板にスペーサーを押し付け基板上に転写する工程とを有すること特徴とする。
【0020】
【作用】
スペーサー材を最密充填するトレイを利用することにより、転写用スタンプ部の凸部に吸着するスペーサー材の個数を制御することができる。さらに、トレイは、多数の部屋の分割し、必要な箇所にのみスペーサーを最密充填的に並べることにより、スペーサー材の大気に放置される時間の短時間化に効果があり、スペーサー材を大気からの汚染を防止できる。
【0021】
さらに、転写用スタンプ部の凸部を利用することにより、必要な部分のみに、効率よくスペーサー材を転写することができると同時に、基板上の不必要な部分に転写用スタンプ部が接触しないため、配向膜等への不純物イオンの汚染を防止できる。
【0022】
さらに、第1の基板、あるいは/と第2の基板上にスペーサーを形成する部分に転写用スタンプ部の凸部を利用し、接着層を形成し、さらに、転写用スタンプ部の凸部を利用し、スペーサーを前記接着層上に転写することにより、スペーサーを固定化できるため、製造工程でのスペーサーの移動を防止できる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の液晶表示装置の製造方法を実施するための最良の形態を図面を使用して説明する。
【0024】
はじめに本発明の第1の実施形態における液晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。図1と図2と図3と図4と図5と図6を用いて説明する。図1は本発明の実施形態を示す液晶表示装置の一部の拡大する平面図である。図2から図6は本発明の図1に示すA−A線における断面の工程順に示す断面図である。以下、図1と図2と図3と図4と図5と図6とを用いて本発明の第1の実施形態を説明する。
【0025】
まず、図1に示すように、第1の基板1上の第1の電極2と第2の基板11上の第2の電極14とが対向し、画素電極部を構成する。この構造を形成するために、図2に示すように、ガラス基板からなる第1の基板1上には、第1の電極2となる所定のスペース3を設けて形成するストライプ状の第1の透明導電体4をパターン形成する。第1の透明導電体4上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜5を形成する。配向膜5上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。図2には配向膜5上の凹凸は省略してある。
【0026】
つぎに、図3に示すように、5μmのプラスチック製ビーズからなるスペーサー6をトレイ7上に最密充填的に配置し、転写用スタンプ部8の凸部9をスペーサー6に押し当て、凸部9上にスペーサー6を転写する。転写用スタンプ部8の凸部9は、合成ゴムを利用するため、表面粘着性は確保できる。
【0027】
つぎに、図4に示すように、第1の基板1上のスペース3に相当する配向膜5上に転写用スタンプ部8の凸部9上に付着するスペーサー6を押し当て、スペーサー6を配向膜5上に転写する。以上により、透明導電体4上の配向膜5上にはスペーサー6は設けない。
【0028】
同様に図5に示すように、第2の基板11上には、第1の電極2と交差するように設け、かつ所定のスペース13を設けて形成するストライプ状の透明導電体14をパターン形成して第2の電極12とする。透明導電体14上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜15を形成する。配向膜15上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。図5には配向膜15上の凹凸は省略してある。さらに、第2の基板11上の配向膜15上には、第1の基板1と第2の基板11とを所定の間隙と設ける張り合わせるためにシール材17を印刷法を用いて形成する。シール材17には、液晶18を注入するための開口部19を有する。
【0029】
さらに、図6に示すように、液晶表示装置とし利用する場合には、第1の基板1と第2の基板11とをスペーサー6とシール材(図示せず)により所定の間隙を設ける張り合わせ、シール材の開口部より液晶18を注入し、開口部を封孔材(図示せず)により密閉することにより液晶表示装置が形成できる。また、第1の電極2と第2の電極12の交差部が画素電極となる。第1の電極2と第2の電極12の電極間に所定の電圧を印加して画素電極の液晶18の電圧−透過率変化を利用し、表示を行う。
【0030】
以上の工程により、転写用スタンプ部8の凸部9を利用し、簡単にスペーサー6を第1の電極2のスペース3と第2の電極14のスペース13の部分に形成できる。さらに、凸部9の位置を画素電極の周囲にする事により、画素電極の周囲のみにスペーサー6を配置することができる。そのため、スペーサー6の周囲に発生する液晶18の配向不良等を表示に影響しない領域に設けることができるため、表示品質の向上ができる。
【0031】
さらに、スペーサー6の個数の制御と位置の制御ができるため、第1の基板1と第2の基板11との間隙の均一性が改善でき、液晶表示装置の表示品質の均一化ができる。
【0032】
つぎに本発明の第2の実施形態における液晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。図7と図8と図9と図10と図11とを用いて説明する。図7から図11は本発明の第2の実施形態における液晶表示装置の一部を拡大する断面を示す断面図である。以下、図7と図8と図9と図10と図11とを用いて本発明の第2の実施形態を説明する。また、第1の実施形態と同様な工程においては、第1の実施形態の図面を参照し、第2の実施形態を説明する。
【0033】
まず第1の実施形態の図2と同様に、ガラス基板からなる第1の基板1上には、第1の電極2となる所定のスペース3を設けて形成するストライプ状の第1の透明導電体4をパターン形成する。第1の透明導電体4上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜5を形成する。配向膜5上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。
【0034】
つぎに、図7に示すように、まず、転写用スタンプ部8の凸部9上に感光性樹脂をスタンプ方式により形成し、つぎに、第1の電極2のスペース3の部分に感光性樹脂を接触させ接着層22を形成する。感光性樹脂はポリイミド樹脂を主成分とするため、配向膜5への影響は最小限にできる。また、感光性樹脂は印刷後に50℃で乾燥するため、粘性は維持できる。
【0035】
つぎに、図8に示すように、7μmのプラスチック製ビーズからなるスペーサー6をトレイ7上に最密充填的に配置する。最密充填にするために、トレイ7の下部には振動部23が形成されており、さらに、トレイ7の上面にはスキージ24を設ける。トレイ7とスキージ24との間はスペーサー6の径のばらつきを含め、スペーサー6の大きさの1.5倍(10.5μm)の間隙を設けて配置する。さらに、スペーサー6の補給は、間欠的に所定の数をスキージ24の回転方向の前方に補給する。これにより、トレイ7上のスペーサー6は最密充填的に配置される。
【0036】
つぎに、図9に示すように、転写用スタンプ部8の凸部9をスペーサー6に押し当て、凸部9上にスペーサー6を転写する。転写用スタンプ部8の凸部9は、合成ゴムを利用するため、表面粘着性は確保できる。
【0037】
つぎに、図10に示すように、第1の基板1上のスペース3に相当する接着層22上に転写用スタンプ部8の凸部9上に付着するスペーサー6を押し当て、スペーサー6を接着層22上に転写する。以上により、透明導電体4上の配向膜5上にはスペーサー6を設けることを防止できる。
【0038】
ここで、紫外線25を第1の基板1の第1の電極2の反対の面(裏面)より照射し、感光性樹脂からなる接着層22を硬化する。そのため、接着層22によりスペーサー6がスペース3に固定化することができる。
【0039】
つぎに第1の実施形態の図5と同様に、第2の基板11上には、第1の電極2と交差するように設け、かつ所定のスペースを設けて形成するストライプ状の透明導電体14をパターン形成して第2の電極12とする。透明導電体14上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜15を形成する。配向膜15上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。さらに、第2の基板11上の配向膜15上には、第1の基板1と第2の基板11とを所定の間隙と設ける張り合わせるためにシール材(図示せず)を印刷法を用いて形成する。シール材には、液晶18を注入するための開口部(図示せず)を有する。
【0040】
最後に図11に示すように、液晶表示装置として利用する場合には、第1の基板1と第2の基板11とをスペーサー6とシール材により所定の間隙を設ける張り合わせ、シール材の開口部より液晶18を注入し、開口部を封孔材により密閉することにより形成できる。また、第1の電極2と第2の電極12の交差部が画素電極となる。第1の電極2と第2の電極12の電極間に所定の電圧を印加して画素電極の液晶18の電圧−透過率変化を利用し、表示を行う。
【0041】
以上の工程により、トレイ7には、スペーサー6をトレイ7の裏面に設ける振動部23とスキージ24によりスペーサー6を最密充填的にトレイ7上に簡単に設けることができる。そのため、転写用スタンプ部8上の凸部9上にスペーサー6を設けることが可能となる。
【0042】
さらに、接着層22を印刷法により第1の基板1上のスペース部3に設け、凸部9上のスペーサー6を接着層22上に接触させ、さらに第1の基板1の裏面より紫外線25を照射し、接着層22を硬化することができ、スペーサー6を固定化することができる。さらに、接着層22を半乾燥でスペーサー6を接触するため、接着層22の膜厚分布はほとんど問題とならず、下地の膜厚の安定する部分を利用することができる。
【0043】
つぎに本発明の第3の実施形態における液晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。図12と図13と図14と図15とを用いて説明する。図12から図15は本発明の第3の実施形態における液晶表示装置の一部を拡大する断面を示す断面図である。以下、図12と図13と図14と図15とを用いて本発明の第3の実施形態を説明する。また、第1の実施形態と同様な工程においては、第1の実施形態の図面を参照し、第3の実施形態を説明する。
【0044】
まず、第1の実施形態の図2と同様に、ガラス基板からなる第1の基板1上には、第1の電極2となる所定のスペース3を設けて形成するストライプ状の第1の透明導電体4をパターン形成する。第1の透明導電体4上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜5を形成する。配向膜5上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。
【0045】
つぎに、図12に示すように、転写用スタンプ部8の凸部9上にポリイミド樹脂からなる粘着材26を形成するために、ポリイミド樹脂を満たす容器27に凸部9を接触する。ポリイミド樹脂を満たす容器27は、転写用スタンプ部8を接触していない時に回転を行うことにより、容器27のポリイミド樹脂表面を平坦にすることができる。さらに、転写用スタンプ部8の凸部9に形成するポリイミド樹脂を回転して振り切ることにより膜厚の均一な粘着材26を形成できる。さらに、転写用スタンプ部8の凸部9上の粘着材26をスペーサー6に押し当てスペーサー6を粘着材26中にめり込ませる。
【0046】
つぎに、図13に示すように、第1の基板1上のスペース3に相当する配向膜5上に転写用スタンプ部8の凸部9上に形成する粘着材26にめり込むスペーサー6を押し当て、赤外線ランプ28を第1の基板1の裏面より照射し、凸部9上の粘着材26の粘度を低下させ、スペーサー6を介して配向膜5に粘着材26を移動させ冷却しスペーサー6を配向膜5上に固着させる。
【0047】
つぎに、図14に示すように、転写用スタンプ部8の凸部9上の粘着材26を除去し、凸部9をクリーニングするために、ピロリドン溶剤を40℃に熱する容器29内に回転ロール30を設け、凸部9を少なくともピロリドン溶剤に浸積し、回転ロール30による擦り洗浄と超音波洗浄を併用する。さらに、アセトンにより置換を行い、凸部9および転写用スタンプ部8の表面を洗浄する。
【0048】
つぎに第1の実施形態の図5と同様に、第2の基板11上には、第1の電極2と交差するように設け、かつ所定のスペース13を設けて形成するストライプ状の透明導電体14をパターン形成して第2の電極12とする。透明導電体14上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜15を形成する。配向膜15上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。さらに、第2の基板2上の配向膜15上には、第1の基板1と第2の基板11とを所定の間隙と設ける張り合わせるためにシール材17を印刷法を用いて形成する。シール材17には、液晶18を注入するための開口部19を有する。
【0049】
最後に図15に示すように、液晶表示装置として利用する場合には、第1の基板1と第2の基板11とをスペーサー6とシール材(図示せず)により所定の間隙を設けて張り合わせ、シール材の開口部より液晶18を注入し、開口部を封孔材により密閉することにより形成できる。また、第1の電極2と第2の電極12の交差部が画素電極となる。第1の電極2と第2の電極12の電極間に所定の電圧を印加して画素電極の液晶18の電圧−透過率変化を利用し表示を行う。
【0050】
以上の工程により、ポリイミド樹脂の容器27を回転させポリイミド樹脂の表面を平坦化できるため、凸部9上に粘着材26を均一に形成できる。さらに、凸部9をポリイミド樹脂にスタンプ方式にて形成するのみでは、凸部9上の粘着材26は部分的にうねりが発生するため、凸部9上に粘着材26を形成した後に回転処理を行い、余分な粘着材26を振り切り平坦化することができる。
【0051】
さらに、凸部9上の粘着材26を熱処理により第1の基板1に転写することによりスペーサー6と粘着材26を同時に第1の基板1上に固定化することができる。
【0052】
つぎに本発明の第4の実施形態における液晶表示装置の製造工程を図面に基づいて説明する。本第4の実施形態は、二端子型の非線形抵抗素子を第1の基板1上に設ける例である。さらにスペーサー6を第2の基板に設ける例である。図16は本実施形態の液晶表示装置の一部を拡大する平面図であり、図17と図18と図19と図20とは、図16のB−B線における断面に相当する部分の製造工程を示す断面図である。以下、図16と図17と図18と図19と図20を用いて本発明の第4の実施形態を説明する。
【0053】
まず図16に示すように、ガラス基板からなる第1の基板1上には、タンタル(Ta)膜からなる信号電極31と信号電極31と一体構造の下部電極32をパターン形成する。さらに、信号電極31と下部電極32上にはタンタル膜の陽極酸化膜である酸化タンタル(TaOx)膜からなる非線形抵抗層33を形成する。さらに、信号電極31と所定の間隙を有し、孤立する表示電極36と表示電極36と一体構造であり、下部電極32上の非線形抵抗層33と重なり合う上部電極34とをパターン形成する。下部電極32と非線形抵抗層33と上部電極34とにより非線形抵抗素子35を形成する。第1の基板1上に微少の凹凸を有する配向膜15を形成する。
【0054】
つぎに、図17に示すように、第2の基板11上には、第1の基板1上の表示電極36と一部重なり合うように設けるクロム(Cr)膜からなるブラックマトリクス37をパターン形成する。ブラックマトリクス37の一部と重なり合い、さらに第2の基板11上には、緑色カラーフイルター39と赤色カラーフイルター40と青色カラーフイルター(図示せず)とをパターン形成する。相互のカラーフイルターはブラックマトリクス37上で間隙42を有する。さらに、カラーフイルター39、40上とブラックマトリクス37上には保護用絶縁膜41をパターン形成する。カラーフイルター39、40の間隙に設ける保護用絶縁膜41はカラーフイルターに比較し、膜厚分布が非常に小さい。そのため、ブラックマトリクス37上のカラーフイルターの間隙にスペーサー6を設ける方法を採用する。
【0055】
さらに、保護用絶縁膜41上と第2の基板11上に第2の電極(対向電極)43をストライプ状にパターン形成する。第2の電極43上には、ポリイミド樹脂からなる配向膜15を形成する。配向膜15上は、例えば、布で擦り微小の凹凸が形成されている。図面には配向膜15上の凹凸は省略してある。
【0056】
つぎに、図18に示すように、転写用スタンプ部8上の凸部9に帯電処理を行う。帯電する方法は、合成繊維同志を高速で擦り合わせ合成繊維を帯電させる。つぎに、合成繊維を凸部9と接触することにより凸部9は帯電する。このとき、前記凸部9と合成繊維を接触させた状態で合成繊維48を回転させることにより凸部9の帯電性を維持している。さらに、図19に示すように、5μmのプラスチック製ビーズからなるスペーサー6をトレイ7上に配置し、転写用スタンプ部8の帯電する凸部9をスペーサー6に押しあてることにより、凸部9上にスペーサー6を吸着することができる。
【0057】
つぎに、図20に示すように、スペーサー6を吸着する転写用スタンプ部8の上下を反転し、加湿ノズル49より水蒸気をチャンバー50に流し、加湿雰囲気51に放置することにより凸部9の帯電を消去した後、凸部9上のスペーサー6を第2の基板11上の配向膜15に押しあてることによりスペーサー6を配向膜15に転写することができる。
【0058】
つぎに第1の実施形態の図5に示すように、液晶表示装置とし利用する場合には、第1の基板1と第2の基板11とをスペーサー6とシール材17により所定の間隙を設ける張り合わせ、シール材17の開口部19より液晶18を注入し、開口部19を封孔材により密閉することにより形成できる。また、表示電極36と第2の電極43の交差部が画素電極となる。表示電極36と第2の電極43の電極間に所定の電圧を印加して画素電極の液晶18の電圧−透過率変化を利用し、表示を行う。
【0059】
以上の工程により、転写用スタンプ部8上の凸部9を帯電させる工程により、有効に凸部9上にスペーサー6を吸着することができる。さらに、凸部9とスペーサー6とを加湿雰囲気に放置することにより帯電能を減少させ、配向膜15上に簡単にスペーサー6を転写することができる。
【0060】
以上に示す液晶表示装置の製造方法を利用することにより、非線形抵抗素子35を形成する第1の基板1上には特殊な工程を使用しないため、非線形抵抗素子35の特性を劣化することがない。さらに、転写用スタンプ部8とその凸部9をスペーサー6を吸着する際に帯電させておき、基板1、11上へ接触させる以前に帯電を消去する工程を採用するため、基板へのダメージを発生することがない。
【0061】
つぎに本発明に利用する転写用スタンプ部8と凸部9の実施形態を図面に基づいて説明する。図21は、転写用スタンプ部8と凸部9を示す平面図であり、図22は、図21のC−C線に示す断面図である。以下に図21と図22とを用いて転写用スタンプ部8と凸部9を説明する。
【0062】
転写用スタンプ部8と凸部9には、多孔質の孔53が複数個設けてある。この孔53は、転写用スタンプ部8と凸部9の上下の面まで到達している。しかし、凸部9以外の転写用スタンプ部8には孔53を塞ぐための気密層54を設けている。そのため、凸部9にてスペーサー(図示せず)を吸着する場合には、凸部9と反対側の面より吸引することによりスペーサーは凸部9上に吸着する。さらに、基板上にスペーサーを付着する際には、わずかに孔53に窒素を噴射することによりスペーサーは凸部9より離脱して基板上に転移する。
【0063】
そのため、多孔質を利用し、転写用スタンプ部8と凸部9を構成することは有効である。さらに、第1の基板と第2の基板の間を均一にするためには、平均してスペーサーが分散する必要があり、さらに、目的とする部分にスペーサーが無いと第1の基板と第2の基板の間隙を均一にするための工程にて均一の加圧することができないため、少なくとも1個以上のスペーサーを設けることが重要である。そのため、転写用スタンプ部8上の凸部9は使用するスペーサー5の直径の2倍以上の大きさとする。これにより、凸部9上には、標準で2個のスペーサーを吸着することができ、1個以上のスペーサーを吸着することができる。
【0064】
【発明の効果】
以上の説明から明かなように、スペーサー材を最密充填するトレイを利用することにより、転写用スタンプ部の凸部に吸着するスペーサー材の個数を制御することができる。さらに、トレイは、多数の部屋の分割し、必要な箇所にのみスペーサーを最密充填的に並べることにより、スペーサー材の大気に放置される時間の短時間化に効果があり、スペーサー材を大気からの汚染を防止できる。
【0065】
さらに、転写用スタンプ部の凸部を利用することにより、必要な部分のみに、効率よくスペーサー材を転写することができると同時に、基板上の不必要な部分に転写用スタンプ部が接触しないため、配向膜等への不純物イオンの汚染を防止できる。
【0066】
さらに、第1の基板と第2の基板上の少なくとも一方にスペーサーを形成する部分に転写用スタンプ部の凸部を利用し、接着層を形成し、さらに、転写用スタンプ部の凸部を利用し、スペーサーを前記接着層上に転写することにより、スペーサーを固定化できるため、製造工程でのスペーサーの移動を防止できる。
【0067】
本発明の第4の実施形態においては、二端子型の非線形抵抗素子を用いる場合に関して製造方法を説明したが、三端子型の非線形抵抗素子を用いる場合に関して本実施形態を利用する場合においても、本発明の製造方法の効果は当然有効である。三端子型の場合には、非線形抵抗素子を設ける領域は段差が大きいため、スペーサー6は設けず、さらに、信号電極に接続するゲート電極、あるいはデーター電極に接続するソース電極上では、段差があるため設けず、スペーサー6は、表示電極の中央部に設けることにより第1の基板と第2の基板の間隙を均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置の一部を拡大する平面図である。
【図2】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図3】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図4】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図5】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図6】本発明の第1の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図7】本発明の第2の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図8】本発明の第2の実施形態に使用するスペーサー用トレイを示す概略図である。
【図9】本発明の第2の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図10】本発明の第2の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図11】本発明の第2の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図12】本発明の第3の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図13】本発明の第3の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図14】本発明の第3の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図15】本発明の第3の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図16】本発明の第4の実施形態における液晶表示装置の平面形状を示す図である。
【図17】本発明の第4の実施形態における液晶表示装置の最終形態を示す断面図である。
【図18】本発明の第4の実施形態に使用する転写用スタンプ部上の凸部を帯電させる機構を示す概念図である。
【図19】本発明の第4の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図20】本発明の第4の実施形態における液晶表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図21】本発明の転写用スタンプ部上の凸部の平面形状を示す平面図である。
【図22】本発明の転写用スタンプ部上の凸部の断面形状を示す断面図である。
【符号の説明】
1 第1の基板
2 第1の電極
3 スペース
6 スペーサー
7 トレイ
8 転写用スタンプ部
9 凸部
22 接着層
23 振動部
24 スキージ
25 紫外線ランプ
26 粘着層
28 赤外線ランプ
31 信号電極
32 下部電極
33 非線形抵抗層
34 上部電極
35 非線形抵抗素子
Claims (8)
- 第1の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法において、
トレイの凹部にスペーサーをほぼ最密充填するスペーサー充填工程と、
前記転写用スタンプ部を前記最密充填された前記スペーサーに押しつけて、前記凸部に前記スペーサーを転写する第1のスペーサー転写工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板の少なくとも一方に前記転写用スタンプ部の前記凸部を押しつけ、その凸部を押し付けた基板における所定の位置に前記スペーサーを再転写する第2のスペーサー転写工程と、
前記第1のスペーサー転写工程の前に、前記凸部上に接着剤を選択的に塗布する凸部接着剤配設工程と、前記第1の基板と前記第2の基板の少なくとも一方に前記接着剤を転写する接着剤転写工程と、
を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記接着剤は紫外線硬化性の接着剤であり、
前記第2のスペーサー転写工程の後に、前記接着剤を転写した基板とは反対面から紫外線を照射して前記接着剤を硬化させてスペーサーを基板に固定するスペーサー固定工程
を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 第1の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法において、
トレイの凹部にスペーサーをほぼ最密充填するスペーサー充填工程と、
前記転写用スタンプ部を前記最密充填された前記スペーサーに押しつけて、前記凸部に前記スペーサーを転写する第1のスペーサー転写工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板の少なくとも一方に前記転写用スタンプ部の前記凸部を押しつけ、その凸部を押し付けた基板における所定の位置に前記スペーサーを再転写する第2のスペーサー転写工程と、
前記第1のスペーサー転写工程の前に、前記凸部表面に接着剤を選択的に塗布する凸部接着剤配設工程を有し、
前記第2のスペーサー転写工程は、前記第1の基板と前記第2の基板の少なくとも一方に前記接着剤とともに前記スペーサーを再転写する工程である
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記接着剤は熱可塑性の接着剤であり、
前記第2のスペーサー転写工程は、前記接着剤を加熱して前記接着剤の粘性を低下させて前記スペーサーを基板に転写する工程であり、
さらに前記第2のスペーサー転写工程の後に、前記接着剤を冷却硬化させて前記スペーサーを基板上に固定するスペーサー固定工程
を有することを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 第1の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法において、
トレイの凹部にスペーサーをほぼ最密充填するスペーサー充填工程と、
前記転写用スタンプ部を前記最密充填された前記スペーサーに押しつけて、前記凸部に前記スペーサーを転写する第1のスペーサー転写工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板の少なくとも一方に前記転写用スタンプ部の前記凸部を押しつけ、その凸部を押し付けた基板における所定の位置に前記スペーサーを再転写する第2のスペーサー転写工程と、を有し、
前記第1のスペーサー転写工程は、前記転写用スタンプ部の前記凸部表面を帯電させた後に、前記帯電させた凸部表面に前記最密充填された前記スペーサーを吸着させる工程であり、
前記第2のスペーサー転写工程は、前記第1の基板と前記第2の基板の少なくとも一方に前記凸部上の前記スペーサーを接触させた後に、前記凸部の帯電を除電し、その基板上に前記スペーサーを再転写する工程である
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 第1の基板と第2の基板の少なくとも一方の基板上にスペーサーを設ける工程を有する液晶表示装置の製造方法において、
トレイの凹部にスペーサーをほぼ最密充填するスペーサー充填工程と、
前記転写用スタンプ部を前記最密充填された前記スペーサーに押しつけて、前記凸部に前記スペーサーを転写する第1のスペーサー転写工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板の少なくとも一方に前記転写用スタンプ部の前記凸部を押しつけ、その凸部を押し付けた基板における所定の位置に前記スペーサーを再転写する第2のスペーサー転写工程と、を有し、
前記第2のスペーサー転写工程により前記スペーサーを転写する領域は、前記第1の基板に形成された表示電極と、前記第2の基板に形成された対向電極の重なる部分からなる画素電極の周囲の非表示領域である
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記転写用スタンプ部の凸部の面積は、前記スペーサーの断面積の少なくとも2個以上の面積である
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 前記第1のスペーサー転写工程の前に、前記転写用スタンプ部の凸部表面をクリーニングする凸部クリーニング工程
を有することを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の液晶表示装置の製造方法。
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