JP3753539B2 - 交互共重合体およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン(以降、本明細書中では、4−(1−メチルエテニル)フェノールと示す)と(メタ)アクリル酸またはそのエステルとの交互共重合体およびその製造方法に関する。詳しくは、化学増幅型レジスト材用ベースポリマー等として有用な、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとの交互共重合体を提供し、かつ工業的に入手容易な4−(1−メチルエテニル)フェノールおよび(メタ)アクリル酸またはそのエステルを原料とするそれらポリマーの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとの共重合体は、例えば、カラーフィルターの着色画像形成に用いられる感光性着色樹脂組成物における樹脂系材料として(特開平4−177203)、ブラックマトリックスの形成に用いられる感光性黒色樹脂組成物における樹脂系材料として(特開平4−177202)、塗料密着性、耐食性に優れた複合めっき金属材に用いられる自己水分散性有機高分子の1種として(特開平1−177398)、半導体素子の微細加工用ポジ型レジストに用いられる感放射線性組成物における共重合体として(特開平6−289608、特開平9−292709、特開平9−160244、特開平9−90635等)、制振性を有する樹脂組成物における共重合体として(特開昭61−293249)、および熱硬化性樹脂組成物における共重合体として(特開昭59−6246)等広範にその利用が検討されてきている。
【0003】
また、これら共重合体の製造方法としては、例えば、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸エステル類とを溶媒としてメチルエチルケトンの存在下、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを仕込み、攪拌下に加熱還流させて4時間重合させた後、更に開始剤を添加して4時間加熱還流させて得る方法(特開昭59−6246)、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸エステル類とを溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルの存在下、開始剤としてアゾビスイソブチロニトリルを仕込み、窒素雰囲気下60℃で10時間重合させて得る方法(特開平9−160244等)等のように、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとを溶媒の存在下ラジカル重合する方法が開示されている。
【0004】
しかしながら、類縁体であるp−ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル酸エステル類との共重合体は、例えばマルカリンカー(丸善石油化学(株)社製)として市販され広く利用されているにも関わらず、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸エステル類との共重合体は、未だに工業化され利用されるに至っていない。この理由の一つとして光に対する透過性の低さが挙げられる。4−(1−メチルエテニル)フェノールはp−ヒドロキシスチレンに対し、構造上はα位のメチル基の有無が異なり、原因は定かではないが、このメチル基の影響により光の透過性が低下してしまう。例えば、本発明者らの知見によると、p−ヒドロキシスチレンのホモポリマーの248nmにおける透過率は70%/μmであるにも関わらず、同様に合成した4−(1−メチルエテニル)フェノールのホモポリマーの同一波長での透過率は45%/μmであった。共重合体における透過率の差も明らかである。
【0005】
一方、4−(1−メチルエテニル)フェノールとの重合体はp−ヒドロキシスチレンとの重合体に比べ、α位のメチル基の効果により、その熱安定性、酸拡散性、アルカリ現像液への溶解速度等が変化するため、その有用性が期待されている。
他方、4−(1−メチルエテニル)フェノールは、2,2−ビス(4′−オキシフェニル)プロパン(慣用名ビスフェノールA)の熱分解によって容易に得られている(特公昭56−52886など)。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明者らは、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとの共重合体において、上記欠点がない、即ち透過性が向上した共重合体を提供することを目的として、かつ、工業的に入手容易な4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとを原料として、この共重合体を製造する方法を見出すことを目的として鋭意検討を行ったところ、驚くべきことに、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとをある特定のフェノール化合物の特定量の存在下、しかもある特定の仕込み条件下でラジカル重合させると、透過性が向上した共重合体が得られることを見出し、更にはこの共重合体の構造を検討したところ、4−(1−メチルエテニル)フェノール由来の繰り返し単位と(メタ)アクリル酸またはそのエステル由来の繰り返し単位とが精緻に交互に共重合したポリマーであることを見出し、本発明に到達した。
【0007】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明は、化学式(1)〔化6〕
【0008】
【化6】
と化学式(2)〔化7〕
【0009】
【化7】
(式中、R1は水素またはメチル基、R2は水素または炭素数1ないし20の直鎖、分岐または環状の無置換アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、アルコキシ置換アルキル基、アリール置換アルキル基及び、環状エーテル置換アルキル基を示す。)からなる共重合体であって、化学式(3)〔化8〕
【0010】
【化8】
(式中、R1は水素またはメチル基、R2は水素または炭素数1ないし20の直鎖、分岐または環状の無置換アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、アルコキシ置換アルキル基、アリール置換アルキル基及び、環状エーテル置換アルキル基を示す。)で示される繰り返し単位の含有率が75モル%以上であり、かつ、350nmにおける透過率が90%/μm以上である交互共重合体を提供するものである。また、本発明は、[1]4−(1−メチルエテニル)フェノール、[2]化学式(4)〔化9〕
【0011】
【化9】
(式中、R1は水素またはメチル基、R2は水素または炭素数1ないし20の直鎖、分岐または環状の無置換アルキル基、ヒドロキシ置換アルキル基、アルコキシ置換アルキル基、アリール置換アルキル基及び、環状エーテル置換アルキル基を示す。)で示される(メタ)アクリル酸またはそのエステル、[3]ラジカル重合開始剤、[4]化学式(5)〔化10〕
【0012】
【化10】
(式中、R3は炭素数1ないし10の直鎖または分岐のアルキル基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基またはアルキルカルボニルオキシ基、mは0ないし4の整数、nは1または2を示す。)で示されるフェノール化合物、および[5]溶媒を、加熱開始時において、[1]と[2]とのモル比が3.5:6.5ないし6.5:3.5、[1]+[2]と[3]とのモル比が1:0.0001ないし1:0.1、および全量に対する[4]の濃度が0.1ないし1000重量ppmとなるよう混合し、50ないし150℃に加熱することを特徴とする上記記載の交互共重合体の製造方法である。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明における交互共重合体は、化学式(1)と化学式(2)からなる共重合体であって、化学式(3)で示される繰り返し単位の含有率が75モル%以上であり、かつ、350nmにおける透過率が90%/μm以上である交互共重合体である。また、これら交互共重合体は、重量平均分子量が1,000ないし100,000、好ましくは3,000ないし70,000であり、更に好ましくは5,000ないし40,000である。更には、好ましい分子量分散度は1.0ないし3.0であり、最も好ましくは1.0ないし2.0の範囲である。なお、透過率は石英板上にスピンコート法により1μmの膜を作成し、紫外可視分光光度計により350nmにおける透過率を測定し決定した。また、重量平均分子量および分子量分散度はゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により決定した。更には、共重合体の組成比および化学式(3)で示される繰り返し単位の含有率は、1H−NMRおよび13C−NMRにより決定した。
【0014】
本発明における交互共重合体のガラス転移点(Tg)は、その組成によっても異なるが、通常0ないし200℃、好ましくは30ないし180℃、より好ましくは50ないし180℃である。なお、ガラス転移点は示差走査型熱量計(DSC)によって測定した。
本発明の方法における原料である4−(1−メチルエテニル)フェノールは、2,2−ビス(4′−オキシフェニル)プロパンの熱分解により容易に得られる(特公昭56−52886など)。
【0015】
本発明の方法における(メタ)アクリル酸またはそのエステルとは、化学式(4)で示される(メタ)アクリル酸またはそのエステルであり、具体的には例えば、アクリル酸またはメタアクリル酸の他、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸iso−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸iso−ブチル、(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸tert−ブチル、(メタ)アクリル酸n−アミル、(メタ)アクリル酸iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−メチルブチル、(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸n−ヘキシル、(メタ)アクリル酸2−エチルブチル、(メタ)アクリル酸n−ヘプチル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸n−デシル、(メタ)アクリル酸シクロペンチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸3,3,5−トリメチルシクロヘキシル、(メタ)アクリル酸iso−ボルニルまたは(メタ)アクリル酸L−メンチル等の(メタ)アクリル酸の直鎖、分岐または環状の無置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシ−n−ブチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ−n−プロピルまたはグリセリンモノ(メタ)アクリル酸エステル等の(メタ)アクリル酸のヒドロキシ置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸2,2,2−トリフルオロエチル、(メタ)アクリル酸2−ブロモエチル、(メタ)アクリル酸2−クロロエチル、(メタ)アクリル酸2−フルオロエチル、(メタ)アクリル酸ヘキサフルオロイソプロピル、(メタ)アクリル酸2,2,3,3−テトラフルオロプロピル、(メタ)アクリル酸1,2,2−トリクロロエチルまたは(メタ)アクリル酸ヘプタフルオロ−2−プロピル等の(メタ)アクリル酸のハロゲン置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸2−メトキシエチル、(メタ)アクリル酸2−エトキシエチル、(メタ)アクリル酸3−メトキシブチル、(メタ)アクリル酸2−n−ブトキシエチルまたは(メタ)アクリル酸2−(2−エトキシエトキシ)エチル等の(メタ)アクリル酸のアルコキシ置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸2−シアノエチル等の(メタ)アクリル酸のニトリル置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸2−ジメチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸2−N,N−ジエチルアミノエチル、(メタ)アクリル酸2−(1−ピペリジン)エチルまたは(メタ)アクリル酸3−(ジメチルアミノ)プロピル等の(メタ)アクリル酸のジアルキルアミノ置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸2−フェニルエチルまたは(メタ)アクリル酸3−フェニル−n−プロピル等の(メタ)アクリル酸のアリール置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルまたは(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル等の(メタ)アクリル酸の環状エーテル置換アルキルエステル等が挙げられる。これらのうち、アクリル酸またはメタアクリル酸の他、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸iso−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸iso−ブチル、(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸tert−ブチル、(メタ)アクリル酸n−アミル、(メタ)アクリル酸iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−メチルブチル、(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸n−ヘキシル、(メタ)アクリル酸2−エチルブチル、(メタ)アクリル酸n−ヘプチル、(メタ)アクリル酸n−オクチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル等の(メタ)アクリル酸の直鎖または分岐の無置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸4−ヒドロキシ−n−ブチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ−n−プロピルまたはグリセリンモノ(メタ)アクリル酸エステル等の(メタ)アクリル酸のヒドロキシ置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸2−メトキシエチル、(メタ)アクリル酸2−エトキシエチル、(メタ)アクリル酸3−メトキシブチル、(メタ)アクリル酸2−n−ブトキシエチルまたは(メタ)アクリル酸2−(2−エトキシエトキシ)エチル等の(メタ)アクリル酸のアルコキシ置換アルキルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルまたは(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリル等の(メタ)アクリル酸の環状エーテル置換アルキルエステルが好ましく、更に好ましくは、アクリル酸、メタアクリル酸、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリル酸iso−プロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、(メタ)アクリル酸iso−ブチル、(メタ)アクリル酸sec−ブチル、(メタ)アクリル酸tert−ブチル、(メタ)アクリル酸n−アミル、(メタ)アクリル酸iso−アミル、(メタ)アクリル酸2−メチルブチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−エトキシエチルまたは(メタ)アクリル酸グリシジルであり、最も好ましくは、アクリル酸、メタアクリル酸、アクリル酸n−プロピル、メタアクリル酸n−プロピル、アクリル酸n−ブチル、メタアクリル酸n−ブチル、アクリル酸2−エトキシエチル、メタアクリル酸2−エトキシエチル、アクリル酸グリシジルまたはメタアクリル酸グリシジルである。これらの(メタ)アクリル酸またはそのエステルは、2種以上を同時にまたは混合して用いることもでき、この場合は2種以上の化学式(3)で示される繰り返し単位がランダムに共重合した構造の共重合体が得られることとなる。
【0016】
これらの(メタ)アクリル酸またはそのエステルの使用量は、4−(1−メチルエテニル)フェノールに対してモル比が3.5:6.5ないし6.5:3.5の範囲であり、好ましくは4.0:6.0ないし6.0:4.0の範囲であり、更に好ましくは4.5:5.5ないし5.5:4.5の範囲である。
【0017】
本発明の方法におけるラジカル重合開始剤とは、通常のラジカル重合において用いられる開始剤は何れでも用いることができ、例えば、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル、アゾビス−2−アミジノプロパン塩酸塩、アゾビスイソ酪酸ジメチル、アゾビスイソブチルアミジン塩酸塩または4,4’−アゾビス−4−シアノ吉草酸等のアゾ系開始剤、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロル過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイル、過酸化アセチル、クメンヒドロペルオキシド、tert−ブチルヒドロペルオキシド、ジ−tert−ブチルヒドロペルオキシド、ジクミルペルオキシド、p−メンタンヒドロペルオキシド、ピナンヒドロペルオキシド、メチルエチルケトンペルオキシド、シクロヘキサノンペルオキシド、ジイソプロピルペルオキシジカルボナート、tert−ブチルペルオキシラウレート、ジ−tert−ブチルペルオキシフタレート、ジベンジルオキシドまたは2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジヒドロペルオキシド等の過酸化物系開始剤、または過酸化ベンゾイル−N,N−ジメチルアニリンまたはペルオキソ二硫酸−亜硫酸水素ナトリウム等のレドックス系開始剤等が挙げられる。これらのうち、アゾ系開始剤または過酸化物系開始剤が好ましく、更に好ましくは、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル、アゾビスイソ酪酸ジメチル、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロル過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイルまたは過酸化アセチルである。これらのラジカル重合開始剤は、単独でもまたは2種以上を同時にまたは順次に使用することもできる。これらの使用量は、加熱開始時において、[1]4−(1−メチルエテニル)フェノールと[2](メタ)アクリル酸またはそのエステルとの合計使用量に対して0.0001ないし0.1モル比となる量であり、好ましくは0.001ないし0.1モル比、更に好ましくは0.05ないし0.005モル比となる量である。本発明の方法においては、加熱開始時にこの量のラジカル重合開始剤があればよく、加熱開始後更に必要量追加しても構わない。
【0018】
本発明の方法におけるフェノール化合物とは、化学式(5)で示されるフェノール化合物であり、重合反応を阻害しなければその他置換基を有していても構わない。好適な具体例としては、例えば、フェノールの他、オルソクレゾール、メタクレゾール、パラクレゾール、2−エチルフェノール、3−エチルフェノール、4−エチルフェノール、2−n−プロピルフェノール、2−iso−プロピルフェノール、3−iso−プロピルフェノール、4−n−プロピルフェノール、4−iso−プロピルフェノール、2−sec−ブチルフェノール、2−tert−ブチルフェノール、3−tert−ブチルフェノール、4−tert−ブチルフェノール、4−ノニルフェノール、2,6−ジメチルフェノール、2,6−ジイソプロピルフェノール、2−tert−ブチル−6−メチルフェノール、2,6−ジ−tert−ブチルフェノール、3,5−ジ−tert−ブチルフェノール、2,4−ジメチルフェノール、2,5−ジメチルフェノール、2,4,6−トリ−tert−ブチルフェノールまたは3,4,5−トリメチルフェノール等のアルキル置換フェノール類、グアイアコール、3−メトキシフェノール、4−メトキシフェノール、2−エトキシフェノール、4−エトキシフェノール、2−iso−プロポキシフェノール、4−n−プロポキシフェノール、4−n−ブトキシフェノール、4−n−ヘキシルオキシフェノール、2,6−ジメトキシフェノール、3,5−ジメトキシフェノール、3,4−ジメトキシフェノールまたは3,4,5−トリメトキシフェノール等のアルコキシ置換フェノール類、サリチル酸メチル、サリチル酸エチル、3−ヒドロキシ安息香酸メチル、4−ヒドロキシ安息香酸メチル、4−ヒドロキシ安息香酸n−プロピル、2,4−ジヒドロキシ安息香酸メチル、3,4−ジヒドロキシ安息香酸エチルまたは3,5−ジヒドロキシ安息香酸メチル等のヒドロキシ安息香酸アルキルエステル類、カテコール、3−メチルカテコール、3−メトキシカテコール、4−メチルカテコール、4−tert−ブチルカテコール、3,5−ジイソプロピルカテコールまたは3,5−ジ−tert−ブチルカテコール等のカテコール類、レゾルシノール、2−メチルレゾルシノール、4−エチルレゾルシノール、4−n−ヘキシルレゾルシノール、5−メトキシレゾルシノールまたは2,5−ジメチルレゾルシノール等のレゾルシノール類、またはヒドロキノン、メチルヒドロキノン、tert−ブチルヒドロキノン、2,3−ジメチルヒドロキノン、2,5−ジ−tert−ブチルヒドロキノンまたはトリメチルヒドロキノン等のヒドロキノン類等が挙げられる。
【0019】
これらのフェノール化合物は、単独でもまたは2種以上を同時に使用することもできる。これらの使用量は、加熱開始時において、全量に対する濃度が0.1ないし1000重量ppmとなる量であり、好ましくは0.1ないし100重量ppm、更に好ましくは0.5ないし100重量ppmとなる量である。
【0020】
本発明の方法における溶媒としては、反応を阻害しないものであれば何れでも使用することができるが、具体的には、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノンまたはγ−ブチロラクトン等のケトン類、n−プロピルアルコール、iso−プロピルアルコール、n−ブチルアルコール、tert−ブチルアルコール、n−オクタノール、2−エチルヘキサノールまたはn−ドデシルアルコール等のアルコール類、エチレングリコール、プロピレングリコールまたはジエチレングリコール等のグリコール類、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテルまたはテトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルまたはジエチレングリコールモノメチルエーテル等のアルコールエーテル類、ギ酸n−プロピル、ギ酸イソプロピル、ギ酸n−ブチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸n−アミル、酢酸n−ヘキシル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチルまたは酪酸メチル等のエステル類、2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸n−プロピル、2−オキシプロピオン酸イソプロピル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチルまたは2−オキシ−3−メチル酪酸メチル等のモノオキシカルボン酸エステル類、メトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチルまたは3−エトキシプロピオン酸メチル等のアルコキシカルボン酸エステル類、セロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートまたはブチルセロソルブアセテート等のセロソルブエステル類、ベンゼン、トルエンまたはキシレン等の芳香族炭化水素類、トリクロロエチレン、クロロベンゼンまたはジクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、N−メチルアセトアミド、N−メチルピロリドンまたはN,N’−ジメチルイミダゾリジノン等のアミド類等が挙げられる。これらの溶媒は、単独でもまたは2種以上を混合して使用してもよい。また、これらの溶媒の使用によって、反応液が均一相となることが好ましいが、不均一な複数の相となっても構わない。溶媒の使用量は、使用する4−(1−メチルエテニル)フェノールの量、(メタ)アクリル酸またはそのエステル、ラジカル重合開始剤およびフェノール化合物の種類や量、および製造する交互共重合体の分子量等により変化し、一様ではないが、通常、使用する全原料100重量部に対して10ないし10000重量部、好ましくは50ないし5000重量部、更に好ましくは100ないし1000重量部の範囲である。
【0021】
本発明の方法における重合反応の実施方式は、特に限定されるものではなく、4−(1−メチルエテニル)フェノール、(メタ)アクリル酸またはそのエステル、ラジカル重合開始剤、フェノール化合物、および溶媒等が効果的に混合され接触される方法であれば如何なる方法でもよく、回分式、半回分式または連続流通式の何れでも構わない。例えば、これらの原料を一括して反応容器に挿入し加熱を開始する方法や、4−(1−メチルエテニル)フェノール、(メタ)アクリル酸またはそのエステル、ラジカル重合開始剤および/またはフェノール化合物を連続的または間欠的に、少なくとも一部の溶媒が挿入された反応器に挿入する方法等が通常採用される。
【0022】
本発明の方法では、重合温度は重要であり、50ないし150℃に加熱する。温度が低すぎると重合が進みにくくなり、また、高すぎると所望する透明性が低下してしまう。更には、化学式(3)で示される繰り返し単位の含有量が低下する原因ともなる。好ましくは60ないし130℃である。
【0023】
重合反応時間は、原料の(メタ)アクリル酸またはそのエステル、ラジカル重合開始剤、フェノール化合物および溶媒の種類や量、および製造する交互共重合体の分子量等により異なり一様ではない。しかしながら、通常40時間以内であり、好ましくは0.01ないし20時間の範囲である。反応は場合によって減圧、常圧または加圧の何れでも実施できる。
【0024】
本発明の方法における重合反応は、窒素やアルゴン等の不活性ガス雰囲気下で行うことが好ましいが、空気などの分子状酸素の存在下でも行うことができる。重合反応終了後、反応混合液から、溶剤抽出法、分別沈殿法または薄膜蒸発法等の通常の方法により、生成した交互共重合体を単離することができる。また、場合によっては、目的物である交互共重合体を単離することなくそのままで用途に用いることもできる。
【0025】
【実施例】
次に実施例により本発明を更に詳しく説明するが、これらは限定的ではなく単に説明のためと解されるべきである。
実施例1
攪拌機、温度計および冷却管を装着した、内容積1000ミリリットルの4ッ口フラスコに、2−エチルヘキサノール溶液より結晶化させて精製した4−(1−メチルエテニル)フェノール134.2グラム(1.00モル)、蒸留精製したアクリル酸メチル86.1グラム(1.00モル)、ラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル4.93グラム(0.03モル)、フェノール化合物として2−メトキシフェノール12ミリグラム(0.1ミリモル)、および溶媒としてテトラヒドロフラン200ミリリットルを仕込んだ。この液を攪拌しながらウォーターバスにより外温を80℃に上げ還流させた。反応初期の内温は72℃であったが、重合途中で内温は上昇し、4時間後は80℃であった。攪拌を続けながらウォーターバスを外し、2時間かけて室温(25℃)まで冷却した後、重合反応液を5リットルのビーカー中、n−ヘキサン2リットルに挿入し、生成したポリマーを沈殿させた。濾過・分離後、100mmHg、80℃で2時間減圧乾燥し、202.6グラムの白色重合体を得た。得られた白色重合体は、1H−NMR分析、13C−NMR分析、および元素分析の結果より、目的とする交互共重合体であった。d6−ジメチルスルホキシド中の1H−NMRを図1に、13C−NMRを図2に示す。これらのNMR結果より、得られたポリマー中の化学式(3)で示される繰り返し単位の組成比は98モル%以上であった。また、ポリスチレンを標準とするGPC分析の結果、重量平均分子量(Mw)は12,000であり、そして分子量分散度(Mw/Mn)は1.74であった。GPC分析を図3に示す。
【0026】
得られた交互共重合体をジエチレングリコールジメチルエーテルに溶解後、乾燥膜厚が1μmになるように石英板上にスピンコーターを用いて塗布し、120℃で10分間加熱し皮膜を形成させた。これを紫外可視分光光度計により350nmにおける透過率を測定したところ、透過率は98%/μm以上であった。また、示差走査型熱量計によりガラス転移点を測定したところ、110℃であった。
【0027】
実施例2−6
実施例1において用いた2−メトキシフェノールの代わりに表1に示すフェノール化合物を表1に示す量を用い、テトラヒドロフランの代わりに表1に示す溶媒を用いた以外は、全て実施例1と同様に重合し濾過・分離し、同様に重合体を得た。これらのポリマー中の化学式(3)で示される繰り返し単位の組成比は全て98モル%以上であった。得られた交互共重合体の収量、重量平均分子量、分子量分散度および350nmにおける透過率を、実施例1の結果とともに表1に示す。
【0028】
【表1】
【0029】
比較例1
実施例1において、2−メトキシフェノールを使用せず、テトラヒドロフランの代わりにオルソジクロロベンゼンを用い、更に重合温度を180℃とした以外は全て実施例1と同様に重合し濾過・分離し、同様に重合体を得た。収量は180.2gであった。得られた重合体は、1H−NMR分析および13C−NMR分析の結果より、得られたポリマー中の化学式(3)で示される繰り返し単位の含有率は67%であった。この重合体を実施例1と同様に透過率を測定したところ、350nmにおける透過率は72%/μmであった。
【0030】
実施例7−15
実施例1において用いた4−(1−メチルエテニル)フェノールを表2に示す量用い、アクリル酸メチルの代わりに表2に示す(メタ)アクリル酸またはそのエステルを表1に示す量を用い、テトラヒドロフランを表2に示す量を用いた以外は、全て実施例1と同様に重合し濾過・分離し、同様に重合体を得た。これらのポリマー中の化学式(1)と化学式(2)で示される繰り返し単位の組成比、化学式(3)で示される繰り返し単位の含有率、得られた交互共重合体の収量、重量平均分子量、分子量分散度および350nmにおける透過率を表2に示す
【0031】
【表2】
【0032】
実施例16−20
実施例1において用いたアゾビスイソブチロニトリルの代わりに表3に示すラジカル重合開始剤を表3に示す量を用い、テトラヒドロフランの代わりに表3に示す溶媒を用い、重合温度を表3に示すように変えた以外は、全て実施例1と同様に重合し濾過・分離し、同様に重合体を得た。これらのポリマー中の化学式(3)で示される繰り返し単位の含有率は全て98モル%以上であった。得られた交互共重合体の収量、重量平均分子量、分子量分散度および350nmにおける透過率を表3に示す。
【0033】
【表3】
【0034】
【発明の効果】
本発明によれば、化学増幅型レジスト材用ベースポリマー等として有用な、透明性の向上した、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとの交互共重合体が提供できる。また、この共重合体は、4−(1−メチルエテニル)フェノールと(メタ)アクリル酸またはそのエステルとをある特定のフェノール化合物の特定量の存在下、しかもある特定の仕込み条件下でラジカル重合させて得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例1において合成した4−(1−メチルエテニル)フェノールとアクリル酸メチルとの交互共重合体のd6 −ジメチルスルホキシド中の 1H−NMRスペクトルを示す。
【図2】 実施例1において合成した4−(1−メチルエテニル)フェノールとアクリル酸メチルとの交互共重合体のd6 −ジメチルスルホキシド中の13C−NMRスペクトルを示す。
【図3】 実施例1において合成した4−(1−メチルエテニル)フェノールとアクリル酸メチルとの交互共重合体のGPC溶出曲線を示す。
Claims (6)
- 化学式(1)〔化1〕
- 重量平均分子量が1,000ないし100,000であり、かつ分子量分散度が1.0ないし3.0であることを特徴とする請求項1に記載の交互共重合体。
- ガラス転移点が30ないし180℃であることを特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の交互共重合体。
- [1]4−(1−メチルエテニル)フェノール、[2]化学式(4)〔化4〕
- 化学式(4)で示される(メタ)アクリル酸またはそのエステルが、アクリル酸、メタアクリル酸、アクリル酸n−プロピル、メタアクリル酸n−プロピル、アクリル酸n−ブチル、メタアクリル酸n−ブチル、アクリル酸2−エトキシエチル、メタアクリル酸2−エトキシエチル、アクリル酸グリシジルまたはメタアクリル酸グリシジルであることを特徴とする請求項4に記載の製造方法。
- ラジカル重合開始剤が、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、アゾビスシクロヘキサンカルボニトリル、アゾビスイソ酪酸ジメチル、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロル過酸化ベンゾイル、過酸化ラウロイルまたは過酸化アセチルであることを特徴とする請求項4又は5のいずれかに記載の製造方法。
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