JP3748148B2 - Laser processing defect detection method and apparatus - Google Patents

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JP3748148B2
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【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザー加工不良状態検出方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザー加工における加工状態は、被加工材の材質や板厚などによって変化すると共に、材質や板厚が同一でも加工形状などによっても予測できない確率的変化をするので、オペレーターは加工状態を常に監視していて、加工不良が発生したら直ちに機械を停止させて、加工不良の種類または状態を判断してその状況に合わせて加工条件を変更するなどの操作を実施するか、ある程度の加工不良の発生を予測して製品の加工数量を多めに設定するなどの対応を行っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述の加工状態の変化は前述の如く確率的に発生するものばかりではなく、加工に使用する機器の劣化などの要因変化により発生することもある。例えば、集光レンズの汚れの進行などの要因変化が原因でそれ以降、加工不良が継続することもある。このような場合においては、製品に加工不良が連続して発生するばかりでなく加工機自体を故障させる原因となることもあるので適宜な処置が必要であり、オペレーターによる加工状態の監視をやめることができない。
【0004】
また、加工状態の変化によって加工不良が発生した場合、材質や板厚などの変化に起因するものなのか、または加工形状の変化に起因するものなのか等の判断はオペレーターの判断によっているので、レーザー加工の自動化または無人化の障害になっている。
【0005】
本発明は上述の如き問題を解決するために成されたものであり、本発明の課題は、機械によるレーザー加工不良状態検出方法と同装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決する手段として、請求項1に記載のレーザー加工不良状態検出方法は、ワークのレーザ切断加工部のスリット部または丸穴を撮像して、該切断加工部の画像データを画像処理装置で処理してワークの加工不良状態を検出するレーザー加工不良状態検出方法にして、前記撮像装置により前記スリット部のスリット幅または丸穴の半径を撮像位置を変えて複数回測定すると共に、切断面上部の凹凸を同様に撮像位置を変えて複数回測定し、前記画像処理装置で処理されたそれぞれの測定値のバラツキが基準値のバラツキよりも大のときはバーニング状態の加工不良と判断し、前記バラツキが基準値未満のときは複数回の測定の平均値を演算して求め、該平均値と設定値とを比較して平均値が設定値より大のときはガウジング状態の加工不良と判断し、前記平均値が設定値未満のときは良好切断として判断することを要旨とするものである。
【0007】
従って、加工状態は被加工材の材質や板厚などによって不規則に変化すると共に、材質や板厚が同一でも加工形状などによっても予測できない変化をするが、加工状態は機械が常時監視しているのでオペレーターは加工状態の監視業務から開放され他の業務を行うことが可能となる。また、従来の如く加工不良状態の判断を人間の黙視によらず、機械により定量的に判断させる様にしたので判断にバラツキがなくなり正確な判断が可能となる。
【0008】
請求項2に記載のレーザー加工不良状態検出装置は、ワークのレーザ切断加工部のスリット部または丸穴をを撮像する撮像装置と、該撮像装置が撮像した切断加工部の画像データを画像処理する画像処理装置とを備えたレーザー加工不良状態検出装置にして、前記撮像装置により前記スリット部のスリット幅または丸穴の半径を撮像位置を変えて複数回測定すると共に、切断面上部の凹凸を同様に撮像位置を変えて複数回測定し、前記画像処理装置で処理されたそれぞれの測定値のバラツキが基準値のバラツキよりも大のときはバーニング状態の加工不良と判断し、前記バラツキが基準値未満のときは複数回の測定の平均値を演算して求め、該平均値と設定値とを比較して平均値が設定値より大のときはガウジング状態の加工不良と判断し、前記平均値が設定値未満のときは良好切断として判断することを要旨とするものである。
【0009】
加工状態は被加工材の材質や板厚などによって不規則に変化すると共に、材質や板厚が同一でも加工形状などによっても予測できない変化をするが、加工状態は機械が監視しているのでオペレーターは加工状態の監視業務から開放され他の業務を行うことが可能となる。また、従来の如く加工不良状態の判断を人間の黙視によらず、機械により定量的に判断させる様にしたので判断にバラツキがなくなり正確な判断が可能となる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面によって説明する。図1は、本発明に係わるレーザー加工不良状態検出装置を用いたレーザー加工機のレーザー加工ヘッドの部分とワークとの関係を説明する図である。図1を参照するに、レーザー加工機1はX軸方向(図1において紙面に対して直交する方向)へ移動自在な加工テーブル(図示省略)を備えており、この加工テーブル上にワーククランプ3でクランプされた加工すべきワークWが載置してある。また、前記加工テーブルの上方には加工テーブルを跨いで門型形状のうちの上部フレーム5が設けてある。
【0025】
この上部フレーム5の前面にはY軸方向(図1において左右方向)へ延伸した平行な複数のガイドレール7が敷設してある。そして、このガイドレール7の間にはY軸方向へ延伸したボールねじ9が設けてあり、このボールねじ9の一端には、例えば、図1において右端には、駆動モーターMyが連結してあると共に、ボールねじ9の他端、例えば、図1において左端は軸受13で回転自在に支持してある。
【0026】
前記ボールねじ9に螺合した図示省略のナット部材を介してY軸キャレッジ15を設けると共に、このY軸キャレッジ15には図示省略の複数のガイド部材が設けられ、この各ガイド部材が前記ガイドレール7に沿って案内されるようになっている。また、前記Y軸キャレッジ15にはレーザー加工ヘッド17が設けてあると共に、このレーザー加工ヘッド17の下部にはノズル19が設けてある。
【0027】
上記構成により、駆動モーターMyを駆動させれば、ボールねじ9が回転して、Y軸キャレッジ15がY軸方向へ移動させられる。そして、このY軸キャレッジ15は、ガイド部材を介してガイドレール7に案内されて移動する。したがって、ワーククランプ3にクランプされたワークWがX軸方向へ,レーザー加工ヘッド17がY軸方向へ移動することになり、ワークWの所望位置にレーザー加工ヘッド17が位置決めされ、レーザー加工ヘッド17の下部に備えられたノズル19からレーザービームが照射されてワークWに丸穴などのレーザー加工が行われることとなる。
【0028】
前記Y軸キャレッジ15には、例えば、レーザー加工ヘッド17の右側近傍に撮像装置ユニット21が設けてある。この撮像装置ユニット21は、前記Y軸キャレッジ15に撮像装置ユニットケース23が設けられ、この撮像装置ユニットケース23内には画像取り込み用カメラとしてのCCDカメラ25が設けられ、このCCDカメラ25の下部には下方へ順に、レンズユニット27,UVフィルタ29が設けてある。前記CCDカメラ25は、例えば、丸穴または溝幅などを撮像するカメラで、レンズユニット27は絞りとピントを調整し、またUVフィルタ29はレンズユニット27とCCDカメラ25を紫外線から保護するものである。
【0029】
前記撮像装置ユニットケース23内には、エアーシリンダー31が設けあり、このエアーシリンダー31の下部には、ピストンロッド33が装着してある。このピストンロッド33の下端には、リング照明35を備えた支持部材37が取り付けてある。また、この支持部材37の下端には、スプリング39を介してワーク押え41が設けてある。そして、前記撮像装置ユニットケース23内には、中継端子台43が設けられ、これは、前記エアーシリンダー31のリミットスイッチ,リング照明35用の中継端子台である。また、前記上部フレーム5の右側上部にはパージ用ソレノイド45,エアーシリンダー用ソレノイド47が設けてある。
【0030】
前記撮像装置21の画像を処理するための、画像処理装置49が図2(A)、(B)、(C)、(D)に示してある。図2において、前記画像処理装置49には、電源スイッチ51,電源表示用LED53,CCDカメラ接続用ケーブル55,NC接続ケーブル57,電源ケーブル59およびファン61が備えてある。また、図3には撮像装置ユニット21の電気系統のシステム構成図が示してある。図3において、前記画像処理装置49とNC強電盤63とはケーブル65で接続してある。また、前記中継端子台43とNC強電盤63とは中継ケーブル67で接続してある。前記パージ用ソレノイド45,エアーシリンダー用ソレノイド47とNC強電盤63とはそれぞれソレノイドケーブル69,71とで接続してある。NC装置73と前記画像処理装置49とは前記NC接続ケーブル57で接続してある。
【0031】
前記中継端子台43とリング照明35とは照明ケーブル75で接続してあり、前記エアーシリンダー39の上,下リミットスイッチ77,79と前記中継端子台43とはスイッチケーブル81,83で接続してある。また、モニターテレビ85と前記画像処理装置49とはモニターケーブル87で接続してある。
【0032】
図4は、撮像装置ユニット21のエアー系統のシステム構成図を示したものである。図4において、前記エアーシリンダー31の上部,下部シリンダー室には。例えば配管89,91の一端が接続してあり、配管89,91の他端は前記エアーシリンダーソレノイド47の裏側に接続してある。また、エアーシリンダー用のソレノイド47の表側には、配管93の一端が接続してあり、この配管93の他端は、エアー3点セット95のユニオンティ97に接続してある。さらに、パージ用ソレノイド45の表側には、配管99の一端が接続してあり、配管99の他端はエアー3点セット95のブランチ用のエルボ101に接続してある。パージ用ソレノイド45の裏側には、配管103の一端が接続してあり、この配管103の他端は、前記ワーク押え41に形成されたエアーパージ用のリング状の穴105に接続してある。
【0033】
上記構成により、図3および図9に示すNC装置73を操作し、NC強電盤63を介して画像処理装置49を制御することにより、加工されたワークの加工部表面がCCDカメラ25で撮像される。また、NC強電盤63,中継端子台43を経てリング照明35が点灯し、ワークの表面が照らされるとともに、エアーシリンダー39の上,下リミットスイッチ77,79がON,OFFされる。また、NC強電盤63を介してパージ用ソレノイド45,エアーシリンダー用ソレノイド47がON,OFFされる。
【0034】
図4において、エアー3点セット95のユニオンティ97を経て圧縮エアーが配管93を介してエアーシリンダー用ソレノイド47,配管89を経てエアーシリンダー31の上部シリンダー室に供給されると、ピストンロッド33が下降するので、ワーク押え41も下降してワークWが上方からワーク押え41で押えられる。また、エアー3点セット95のユニオンティ97を経て圧縮エアーが配管93を介してエアーシリンダー用ソレノイド47,配管91を経てエアーシリンダー31の下部シリンダー室に供給されると、ピストンロッド33が上昇し、ワーク押え41も上昇することになる。
【0035】
また、ワーク押え41でワークWを上方から押えた状態で、図示省略の集塵機を作動させれば、ワーク押え41と形成された穴103からワークW上にある粉塵などが吸引されて配管101,パージ用ソレノイド45,配管97およびエアー3点セット95を経て集塵機に集塵され、ワークW上がきれいに清掃されることになる。
【0036】
図5および図6には、本発明に係わるレーザー加工不良状態検出方法のフローチャートを示したものである。以下このフローチャートに基づいて、ワークWに形成された直線切断部または丸穴の測定および加工不良状態検出方法について説明する。まず、準備としてステップS1で良好切断時のスリット幅を設定する。そして、加工状態監視スターと指令が出されると、加工監視プログラムが実施される(ステップS2)。ステップS3でワーク上の監視位置をCCDカメラ25の直下の位置に移動位置決めする。
【0037】
次のステップS4で、ワーク押さえ41でワークWを押圧固定すると共にリング照明35を点灯する。そして、ステップS5において、CCDカメラ25がワークWの加工位置を撮像し、取込んだ画像データを画像処理装置49において画像処理を実施してNC装置73に出力する。
【0038】
ステップS6ではワーク押さえ41を上昇させると共にリング照明35を消灯し、ステップS7において、加工状態の監視がスリット監視か否かを判断する。もし、スリット監視であればステップS8に、そうでなければ、ステップS9に行く。ステップS8に来た場合には、スリット監視の場合であるので、このステップS8においてスリットが検出されたか否かの判断を行う。もしスリットが検出されない場合には、ワークWが切断されていないことを示すのでステップS19において罫書き状態の加工不良(3)と認定する。
【0039】
前記ステップS8の条件判断において、スリットが検出された場合には、ステップS10においてスリット幅を位置を変えて複数回測定する。また、前記条件判断ステップS9においては丸穴を検出したか否かの判断を行い、丸穴を検出した場合には、やはり、このステップS10において丸穴の半径の測定を位置を変えて複数回実施する。また、前記ステップS9において丸穴を検出できなかった場合には、ワークWが切断されていないことになるので、ステップS19において罫書き状態の加工不良(3)と認定される。なお前記測定回数は少なくとも3回以上とするのが好ましい。
【0040】
次に、ステップS11において切断面上部の凹凸量を測定し、その測定値のバラツキを次のステップS12で演算して求める。なお切断面上部の凹凸量は前記CCDカメラ25の焦点位置が凸部の表面に合ったXY軸に直交する方向のZ軸方向(図示省略)の位置座標を求め、前記NC装置73において演算によりワークWの表面からの距離との差として検出することが可能である。
【0041】
次に、ステップS13において前記測定値のバラツキの大小を判別する。なお、バラツキの大小は予め設定した切断精度を基準に設定されたバラツキの基準値を基に判断する。このステップS13において測定値のバラツキが基準値より大の場合には、ステップS14においてバーニング状態の加工不良(1)と認定する。もし、ステップS14において測定値のバラツキが基準値未満のときは、前記測定値の平均値を演算して求める(ステップS15)。
【0042】
次に、ステップS15で求めた平均値と設定値とを比較して、平均値が設定値より大のときには、ガウジング状態の加工不良(2)と認定する(ステップS17)。もし、ステップS15で求めた平均値が前記設定値未満のときは良好切断と認定する(ステップS18)。なお、前記ステップS16における設定値とは、スリット検出時においては、良好切断時のスリット幅であり、丸穴検出時および凹凸検出時においては、プログラムにおいて指定した指示値を意味する。
【0043】
前記ステップS14、ステップS17およびステップS19において、それぞれ、バーニング状態の加工不良、ガウジング状態の加工不良および罫書き状態の加工不良と認定されたときは、すべてステップS20において加工不良回数が許容値以上か否かの判断を行い、加工不良回数が許容値以上のときには加工不良のアラームを前記モニターテレビ85およびNC装置73のディスプレーに表示すると共にレーザー加工を中断する。
【0044】
前記ステップS20において加工不良回数が許容値未満のときには、次のステップS21において、次の加工があるか否かの判断を行い次の加工がある場合には、ステップS22において、前記3種類の加工不良に対応して加工条件が改善される様にレーザー切断加工条件を変更してから次の加工を実施する(ステップS23)。次の加工を実施したら、前記加工監視のメインステップS3にもどり、加工監視プログラムを継続する。もし、ステップS21において次の加工がない場合には加工監視のプログラムを終了する。
【0045】
前記ステップS18において良好切断と認定された場合には、次の加工を実施(ステップS21)して、前記加工監視のメインステップS3にもどり、加工監視プログラムを継続する。
【0046】
前記撮像装置21と画像処理装置49を使用したレーザー加工不良状態検出方法におけるプログラムを構成する指令行は次の様に記載する。「G141A5I ;」なお、指令行の引き数の意味は次の様な内容を示す。G141A5:加工監視状態モード,I:監視位置X座標、J:監視位置Y座標、E:切断位置の上部の凹凸状態基準値、Q:監視形状指定、但し、Q1スリット監視、省略時は丸穴監視、R:穴の半径(mm),K:加工不良回数許容値。
【0047】
次に加工状態監視プログラムの一例を示せば次の様になる。G141A5K3;(加工不良許容回数の設定)、G141A5I△△J△△E1Q1;(スリットの加工状態監視)、G141A5I△△J△△E2R2;(直径4mmの穴加工状態監視)。なお、△△は適宜な数値を示す。
【0048】
次に、本発明の加工不良状態検出方法において、監視可能な形状と監視可能な位置と不可能な位置について図7および図8を例にして説明する。本発明の加工不良状態検出方法においては、丸穴と直線切断部およびスリットを監視対象としており、丸穴以外の穴は監視対象外である。
【0049】
さて、図7を参照するに、レーザー切断の加工例として、3個の丸穴111と1個の角穴113および2個のV字状のスリット115を有する多角形の製品PをワークW(または母材)から切断する例を示してある。この多角形の製品Pにおいて、監視が可能なものは、図8にも拡大して示してある様に、監視位置Aおよびその外の位置にある丸穴111と、監視位置Bにおける直線切断部と、監視位置Cにおけるスリット115などである。これに対して、監視位置Dの角穴113、監視位置Eの如く製品側が落下する直線切断部のコーナー、および監視位置Fの如く監視する視野の両端部まで直線でつながっていないコーナー等は監視対象外となる。
【0050】
レーザー加工不良状態検出装置121の構成を図9に示してある。レーザー加工不良状態検出装置121は、前記画像取り込み用カメラとしてのCCDカメラ25と、CCDカメラ25が撮影した画像を処理する画像処理装置49、画像処理装置49が処理したレーザー加工の不良状態情報に基づいてワークWの加工条件や、ワークWの移動位置決めを制御する前記NC装置73などから構成してある。なお、CCDカメラ25を固定して、ワークWをCCDカメラ25に対してXY方向に移動させる構造にすることも可能である。
【0051】
画像処理装置49は、画像メモリー121、CPU123、ROM125、RAM127、I/O(入出力装置)129を有している。画像メモリー121には、前記ケーブル55を介して入力された前記CCDカメラ25からのをデジタル信号を格納してある。ROM125には、前記図7および図8に基づいて説明したアルゴリズムに従ったレーザー加工不良状態検出プログラムおよび基準値等が格納してある。RAM127は前記プログラムを実行するときに使用する一時的メモリーである。
【0052】
前記I/O(入出力装置)129は、画像処理装置49のデータバス131と前記NC装置73の内部の入出力装置(図示省略)と接続されており、NC装置73からの起動信号やNC装置73へのデータ信号を伝送する役目をなす。また、I/O129は、前記リング照明35のリレー(図示省略)と接続されており、リング照明35の点灯または消灯は画像処理装置49のCPU123により制御されている。なおまた、NC装置73は前記レーザー加工機1の前記加工テーブル、レーザー加工ヘッド17およびCCDカメラ25の移動位置決めを制御すると共に、前記エアーシリンダー用ソレノイド47を制御してワーク押え41の上下動なども制御している。
【0053】
上記構成において、前記図5、図6のアルゴリズムに従ったレーザー加工不良状態検出プログラムを作動させれば、画像処理装置49はCCDカメラ25が加工位置を撮像した画像をCPU123において演算処理して、その加工状態が良好切断なのか加工不良なのかを判断して、良好切断の場合であって次の加工があるときは、その、次の加工について同様に良好切断かなの加工不良なのかの判断を実施する。
【0054】
もし、加工不良を検出した場合には、その加工不良の状態がバーニング状態なのかガウジング状態なのか、全く切断されていないのかを判別して、加工不良を改善するような加工条件に変更するように前記I/O129を介して前記NC装置73に指令を出力する。そして、次の加工は変更された加工条件で加工されることになる。なお、加工不良の許容回数をプログラムで指定してあれば、その加工不良の許容回数以上になるまでレーザー加工不良状態検出プログラムを実行する。
【0055】
また、前記CPU123はワークWの加工部の撮像時に前記I/O129を介してNC装置73にリング照明35を点灯指令を出力してリング照明35を点灯させると共に、前記エアーシリンダー用ソレノイド47を駆動させる指令を出力するして前記ワーク押え41を作動させる。また、NC装置73はワーク位置決め装置(図示省略)の駆動モーターMxを駆動してワークWをX軸方向の任意の位置に位置決めすると共に、前記Y軸キャレッジ15の駆動モーターMyを駆動してCCDカメラ25をY軸方向の任意の位置に位置決めすることができる。従って、駆動モーターMyとMxとを適宜に駆動することにより、ワークWの加工部をCCDカメラ25の直下に位置決めすることができる。
【0056】
【発明の効果】
以上の如き実施の形態の説明か理解されるように、請求項1に記載の発明によれば、加工状態は機械が常時監視しているのでオペレーターは加工状態の監視業務から開放され他の業務を行うことが可能となる。また、従来の如く加工不良状態の判断を人間の黙視によらず、機械により定量的に判断させる様にしたので判断にバラツキがなくなり正確な判断が可能となる。
【0057】
請求項2に記載の発明によれば、請求項1の発明と同様に、加工状態は機械が常時監視しているのでオペレーターは加工状態の監視業務から開放され他の業務を行うことが可能となる。また、従来の如く加工不良状態の判断を人間の黙視によらず、機械により定量的に判断させる様にしたので判断にバラツキがなくなり正確な判断が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるレーザー加工不良状態検出装置を用いたレーザー加工機のレーザー加工ヘッド部とワークとの関係の説明図。
【図2】レーザー加工不良状態検出装置の画像処理装置の外観図を示したもので、(A)は画像処理装置の平面図、(B)は正面図、(C)は右側面図、および(D)は左側面図である。
【図3】レーザー加工不良状態検出装置の撮像装置ユニットの電気系統のシステム構成図。
【図4】レーザー加工不良状態検出装置の撮像装置ユニットのエアー系統のシステム構成図。
【図5】本発明に係わるレーザー加工不良状態検出方法のフローチャート。
【図6】本発明に係わるレーザー加工不良状態検出方法のフローチャート
【図7】本発明に係わるレーザー加工不良状態検出方法における、監視可能な形状と監視可能な位置と不可能な位置についての説明図。
【図8】図7の監視可能な形状と監視可能な位置と不可能な位置のを拡大した説明図。
【図9】本発明に係わるレーザー加工不良状態検出装置の実施の形態を説明する図。
【符号の説明】
1 レーザー加工機
3 ワーククランプ
5 上部フレーム
7 ガイドレール
9 ボールねじ
13 軸受
15 Y軸キャレッジ
17 レーザー加工ヘッド
19 ノズル
21 撮像装置ユニット
23 撮像装置ユニットケース
25 CCDカメラ
27 レンズユニット
29 UVフィルタ
31 エアーシリンダー
33 ピストンロッド
35 リング照明
37 支持部材
39 スプリング
41 ワーク押え
43 中継端子台
45、47 ソレノイド
49 画像処理装置
51 電源スイッチ
53 電源表示用LED
55、57、59、65、69、71、75、81、83、87 ケーブル
61 ファン
63 NC強電盤
67 中継ケーブル
73 NC装置
77、79 リミットスイッチ
85 モニターテレビ
89,91、93、99、103 配管
95 エアー3点セット
97 ユニオンティ
101 エルボ
105 穴
121 画像メモリー
123 CPU
125 ROM
127 RAM
129 I/O(入出力装置)
131 データバス
Mx 駆動モーター
My 駆動モーター
W ワーク
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a laser processing failure state detection method and apparatus.
[0002]
[Prior art]
The machining status in laser machining changes depending on the material and thickness of the workpiece, and changes probabilistically even if the material and thickness are the same or depending on the machining shape, so the operator always monitors the machining status. If a machining defect occurs, stop the machine immediately, determine the type or condition of the machining defect and change the machining conditions according to the situation, or generate some machining defect. Predictive measures are taken, such as setting a larger number of processed products.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The above-described change in the machining state is not only probabilistic as described above, but may also occur due to a change in factors such as deterioration of equipment used for machining. For example, processing defects may continue thereafter due to changes in factors such as the progress of dirt on the condenser lens. In such a case, not only processing failures occur continuously in the product but also cause the processing machine itself to break down, so appropriate measures are necessary, and monitoring of the processing state by the operator should be stopped. I can't.
[0004]
In addition, when a processing failure occurs due to a change in the processing state, it is based on the operator's determination whether it is caused by a change in material, plate thickness, etc., or due to a change in the processing shape, etc. It is an obstacle to automation or unmanned laser processing.
[0005]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a laser processing failure state detection method and apparatus using a machine.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
As a means for solving the above-mentioned problem, the laser processing failure state detection method according to claim 1 , wherein the slit part or the round hole of the laser cutting part of the workpiece is imaged, and the image data of the cutting part is image processing apparatus In the laser processing failure state detection method for detecting the processing failure state of the workpiece by processing in the above, the slit width of the slit portion or the radius of the round hole is measured a plurality of times by changing the imaging position by the imaging device, and the cut surface Similarly, the unevenness of the upper part is measured a plurality of times by changing the imaging position, and when the variation of each measured value processed by the image processing device is larger than the variation of the reference value, it is determined that the processing failure in the burning state is caused, When the variation is less than the reference value, the average value of a plurality of measurements is calculated, and the average value is compared with the set value, and when the average value is greater than the set value, It determines that the factory defect, the when the average value is less than the set value is to the subject matter to be determined as a good cut.
[0007]
Therefore, the processing state changes irregularly depending on the material and thickness of the workpiece, and changes unpredictably depending on the processing material, etc. even if the material and thickness are the same. Therefore, the operator is freed from the monitoring work of the machining state and can perform other work. Further, since the determination of the processing failure state is made quantitatively by the machine without relying on human beings as in the prior art, there is no variation in the determination and an accurate determination is possible.
[0008]
The laser processing failure state detection device according to claim 2 performs image processing on an image pickup device that picks up an image of a slit portion or a round hole of a laser cutting processing portion of a workpiece, and image data of the cutting processing portion picked up by the image pickup device. Using the imaging device, the slit width of the slit part or the radius of the round hole is measured a plurality of times by changing the imaging position, and the unevenness at the top of the cut surface is the same. When the variation of each measured value processed by the image processing device is larger than the variation of the reference value, it is determined that the burning state is defective, and the variation is the reference value. When it is less than the average value of a plurality of measurements is obtained by calculation, the average value is compared with the set value, and when the average value is greater than the set value, it is determined that the processing failure in the gouging state, When serial average value is less than the set value is to the subject matter to be determined as a good cut.
[0009]
The machining state varies irregularly depending on the material and plate thickness of the workpiece, and changes unpredictably depending on the machining shape and the same material and plate thickness, but the machine is monitored by the machine because the machining state is monitored. Is freed from the monitoring work of the machining state and can perform other work. Further, since the determination of the processing failure state is made quantitatively by the machine without relying on human beings as in the prior art, there is no variation in the determination and an accurate determination is possible.
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram for explaining the relationship between a part of a laser processing head of a laser processing machine using a laser processing defect state detection apparatus according to the present invention and a workpiece. Referring to FIG. 1, a laser beam machine 1 is provided with a machining table (not shown) that is movable in the X-axis direction (direction orthogonal to the paper surface in FIG. 1), and a workpiece clamp 3 is placed on this machining table. The workpiece W to be machined clamped at is placed. Further, an upper frame 5 of a gate shape is provided above the processing table across the processing table.
[0025]
A plurality of parallel guide rails 7 extending in the Y-axis direction (left-right direction in FIG. 1) are laid on the front surface of the upper frame 5. A ball screw 9 extending in the Y-axis direction is provided between the guide rails 7. A drive motor My is connected to one end of the ball screw 9, for example, at the right end in FIG. At the same time, the other end of the ball screw 9, for example, the left end in FIG.
[0026]
A Y-axis carriage 15 is provided via a nut member (not shown) screwed to the ball screw 9, and a plurality of guide members (not shown) are provided on the Y-axis carriage 15, and each guide member serves as the guide rail. 7 is guided along. The Y-axis carriage 15 is provided with a laser processing head 17 and a nozzle 19 is provided below the laser processing head 17.
[0027]
With the above configuration, when the drive motor My is driven, the ball screw 9 rotates and the Y-axis carriage 15 is moved in the Y-axis direction. The Y-axis carriage 15 is guided by the guide rail 7 through the guide member and moves. Accordingly, the workpiece W clamped by the workpiece clamp 3 moves in the X-axis direction and the laser machining head 17 moves in the Y-axis direction, and the laser machining head 17 is positioned at a desired position of the workpiece W. A laser beam is irradiated from the nozzle 19 provided at the lower part of the workpiece, and the workpiece W is subjected to laser processing such as a round hole.
[0028]
In the Y-axis carriage 15, for example, an imaging device unit 21 is provided in the vicinity of the right side of the laser processing head 17. In this imaging device unit 21, an imaging device unit case 23 is provided in the Y-axis carriage 15, and a CCD camera 25 as an image capturing camera is provided in the imaging device unit case 23. Are provided with a lens unit 27 and a UV filter 29 in this order downward. The CCD camera 25 is a camera that captures, for example, a round hole or groove width, the lens unit 27 adjusts the aperture and focus, and the UV filter 29 protects the lens unit 27 and the CCD camera 25 from ultraviolet rays. is there.
[0029]
An air cylinder 31 is provided in the imaging device unit case 23, and a piston rod 33 is attached to the lower portion of the air cylinder 31. A support member 37 having a ring illumination 35 is attached to the lower end of the piston rod 33. A work presser 41 is provided at the lower end of the support member 37 via a spring 39. A relay terminal block 43 is provided in the imaging device unit case 23, which is a limit switch for the air cylinder 31 and a relay terminal block for the ring illumination 35. A purge solenoid 45 and an air cylinder solenoid 47 are provided on the upper right side of the upper frame 5.
[0030]
An image processing device 49 for processing an image of the imaging device 21 is shown in FIGS. 2 (A), (B), (C), and (D). 2, the image processing device 49 includes a power switch 51, a power display LED 53, a CCD camera connection cable 55, an NC connection cable 57, a power cable 59, and a fan 61. FIG. 3 shows a system configuration diagram of the electrical system of the imaging device unit 21. In FIG. 3, the image processing device 49 and the NC high voltage board 63 are connected by a cable 65. The relay terminal block 43 and the NC high power panel 63 are connected by a relay cable 67. The purge solenoid 45, the air cylinder solenoid 47 and the NC high power panel 63 are connected by solenoid cables 69 and 71, respectively. The NC device 73 and the image processing device 49 are connected by the NC connection cable 57.
[0031]
The relay terminal block 43 and the ring illumination 35 are connected by an illumination cable 75, and the upper and lower limit switches 77 and 79 of the air cylinder 39 and the relay terminal block 43 are connected by switch cables 81 and 83. is there. The monitor television 85 and the image processing device 49 are connected by a monitor cable 87.
[0032]
FIG. 4 shows a system configuration diagram of an air system of the imaging device unit 21. In FIG. 4, the upper and lower cylinder chambers of the air cylinder 31 are shown. For example, one ends of the pipes 89 and 91 are connected, and the other ends of the pipes 89 and 91 are connected to the back side of the air cylinder solenoid 47. One end of a pipe 93 is connected to the front side of the solenoid 47 for the air cylinder, and the other end of the pipe 93 is connected to a union tee 97 of an air three-point set 95. Furthermore, one end of a pipe 99 is connected to the front side of the purge solenoid 45, and the other end of the pipe 99 is connected to a branch elbow 101 of an air three-point set 95. One end of a pipe 103 is connected to the back side of the purge solenoid 45, and the other end of the pipe 103 is connected to an air purge ring-shaped hole 105 formed in the work holder 41.
[0033]
By operating the NC device 73 shown in FIGS. 3 and 9 and controlling the image processing device 49 via the NC high voltage board 63, the surface of the processed part of the processed workpiece is imaged by the CCD camera 25 with the above configuration. The Further, the ring illumination 35 is turned on via the NC high power panel 63 and the relay terminal block 43, the surface of the work is illuminated, and the upper and lower limit switches 77 and 79 of the air cylinder 39 are turned on and off. Further, the purge solenoid 45 and the air cylinder solenoid 47 are turned on and off via the NC high voltage board 63.
[0034]
In FIG. 4, when compressed air is supplied to the upper cylinder chamber of the air cylinder 31 through the air cylinder solenoid 47 and the pipe 89 via the pipe 93 via the union tee 97 of the air three-point set 95, the piston rod 33 is moved. Since the workpiece is lowered, the workpiece presser 41 is also lowered and the workpiece W is pressed by the workpiece presser 41 from above. In addition, when compressed air is supplied to the lower cylinder chamber of the air cylinder 31 via the pipe 93 through the air cylinder solenoid 47 and the pipe 91 via the union tee 97 of the air three-point set 95, the piston rod 33 rises. The work clamp 41 is also raised.
[0035]
Further, if a dust collector (not shown) is operated with the workpiece presser 41 holding the workpiece W from above, dust or the like on the workpiece W is sucked from the hole 103 formed with the workpiece presser 41 and the piping 101, The dust is collected by the dust collector through the purge solenoid 45, the pipe 97, and the air three-point set 95, and the work W is cleaned cleanly.
[0036]
FIG. 5 and FIG. 6 are flowcharts of the laser processing defect state detection method according to the present invention. Hereinafter, based on this flowchart, the measurement of the linear cutting part or round hole formed in the workpiece | work W and the processing defect state detection method are demonstrated. First, as preparation, the slit width at the time of good cutting is set in step S1. When a machining state monitoring star and a command are issued, a machining monitoring program is executed (step S2). In step S3, the monitoring position on the workpiece is moved and positioned to a position directly below the CCD camera 25.
[0037]
In the next step S4, the work W is pressed and fixed by the work presser 41 and the ring illumination 35 is turned on. In step S5, the CCD camera 25 images the processing position of the workpiece W, the image processing device 49 performs image processing on the captured image data, and outputs the processed image data to the NC device 73.
[0038]
In step S6, the work presser 41 is raised and the ring illumination 35 is turned off. In step S7, it is determined whether the monitoring of the machining state is slit monitoring. If it is slit monitoring, go to step S8, otherwise go to step S9. When the process has come to step S8, since it is the case of slit monitoring, it is determined whether or not a slit has been detected in step S8. If no slit is detected, it indicates that the workpiece W has not been cut, so that it is recognized as a defective processing (3) in the ruled state in step S19.
[0039]
If the slit is detected in the condition determination of step S8, the slit width is measured a plurality of times at different positions in step S10. In the condition determining step S9, it is determined whether or not a round hole has been detected. If a round hole is detected, the radius of the round hole is again measured several times at different positions in step S10. carry out. If the round hole cannot be detected in step S9, the work W has not been cut. Therefore, in step S19, it is recognized as a processing defect (3) in the ruled state. The number of measurements is preferably at least 3 times.
[0040]
Next, in step S11, the amount of unevenness at the top of the cut surface is measured, and the variation in the measured value is calculated in the next step S12. The concave / convex amount at the top of the cut surface is obtained by calculating the position coordinate in the Z-axis direction (not shown) in the direction orthogonal to the XY-axis where the focal position of the CCD camera 25 is aligned with the surface of the convex portion. It can be detected as a difference from the distance from the surface of the workpiece W.
[0041]
Next, in step S13, the magnitude of the variation in the measured value is determined. Note that the magnitude of the variation is determined based on a variation reference value set based on a preset cutting accuracy. If the variation in the measured value is larger than the reference value in step S13, it is recognized as a burning defective (1) in step S14. If the variation in the measured values is less than the reference value in step S14, the average value of the measured values is calculated (step S15).
[0042]
Next, the average value obtained in step S15 is compared with the set value, and when the average value is larger than the set value, it is recognized as a processing defect (2) in the gouging state (step S17). If the average value obtained in step S15 is less than the set value, it is recognized as good cutting (step S18). The set value in step S16 is the slit width at the time of good cutting at the time of slit detection, and means an instruction value specified in the program at the time of round hole detection and unevenness detection.
[0043]
In step S14, step S17, and step S19, if it is recognized that the machining defect in the burning state, the machining defect in the gouging state, and the machining defect in the crease state are all determined in step S20, whether or not the number of machining defects is greater than an allowable value. If the number of processing failures is equal to or greater than an allowable value, a processing failure alarm is displayed on the monitor TV 85 and the display of the NC unit 73 and laser processing is interrupted.
[0044]
When the number of machining defects is less than the allowable value in step S20, it is determined in next step S21 whether or not there is a next machining. If there is a next machining, the three types of machining are performed in step S22. The next processing is performed after changing the laser cutting processing conditions so that the processing conditions are improved corresponding to the defect (step S23). When the next machining is performed, the process returns to the machining monitoring main step S3 and the machining monitoring program is continued. If there is no next machining in step S21, the machining monitoring program is terminated.
[0045]
If it is determined in step S18 that the cutting is good, the next machining is performed (step S21), the process monitoring main process S3 is resumed, and the machining monitoring program is continued.
[0046]
The command lines constituting the program in the laser processing failure state detection method using the imaging device 21 and the image processing device 49 are described as follows. "G141A5I J E Q K ;] The meaning of the command line argument is as follows. G141A5: Process monitoring state mode, I: Monitoring position X coordinate, J: Monitoring position Y coordinate, E: Uneven state reference value above the cutting position, Q: Monitoring shape designation, Q1 slit monitoring, round hole when omitted Monitoring, R: Radius of hole (mm), K: Allowable number of machining failures.
[0047]
Next, an example of the machining state monitoring program is as follows. G141A5K3; (setting of allowable number of machining defects), G141A5IΔΔJΔΔE1Q1; (slit machining state monitoring), G141A5IΔΔJΔΔE2R2; (4 mm diameter hole machining state monitoring). ΔΔ represents an appropriate numerical value.
[0048]
Next, in the processing failure state detection method of the present invention, the shape that can be monitored, the position that can be monitored, and the position that cannot be monitored will be described with reference to FIGS. In the processing failure state detection method of the present invention, round holes, straight cut portions and slits are monitored, and holes other than round holes are not monitored.
[0049]
Now, referring to FIG. 7, as an example of laser cutting processing, a polygonal product P having three round holes 111, one square hole 113 and two V-shaped slits 115 is taken as a workpiece W ( Or an example of cutting from a base material) is shown. In this polygonal product P, those that can be monitored are the round hole 111 at the monitoring position A and the outside position as shown in FIG. And the slit 115 at the monitoring position C. On the other hand, the square hole 113 at the monitoring position D, the corner of the straight cut part where the product side falls like the monitoring position E, and the corner not connected to the both ends of the visual field to be monitored like the monitoring position F are monitored. Not applicable.
[0050]
The configuration of the laser processing failure state detection device 121 is shown in FIG. The laser processing failure state detection device 121 includes a CCD camera 25 as the image capturing camera, an image processing device 49 that processes an image captured by the CCD camera 25, and laser processing failure state information processed by the image processing device 49. Based on the machining conditions of the workpiece W and the NC device 73 for controlling the movement and positioning of the workpiece W, etc. The CCD camera 25 may be fixed and the workpiece W may be moved in the XY direction with respect to the CCD camera 25.
[0051]
The image processing device 49 includes an image memory 121, a CPU 123, a ROM 125, a RAM 127, and an I / O (input / output device) 129. The image memory 121 stores a digital signal from the CCD camera 25 input via the cable 55. The ROM 125 stores a laser processing failure state detection program, a reference value, and the like according to the algorithm described with reference to FIGS. A RAM 127 is a temporary memory used when executing the program.
[0052]
The I / O (input / output device) 129 is connected to the data bus 131 of the image processing device 49 and the input / output device (not shown) inside the NC device 73, and an activation signal from the NC device 73 and NC It serves to transmit a data signal to the device 73. The I / O 129 is connected to a relay (not shown) of the ring illumination 35, and turning on or off of the ring illumination 35 is controlled by the CPU 123 of the image processing device 49. The NC device 73 controls the movement and positioning of the processing table, the laser processing head 17 and the CCD camera 25 of the laser processing machine 1 and also controls the air cylinder solenoid 47 to move the workpiece presser 41 up and down. Also has control.
[0053]
In the above configuration, if the laser processing failure state detection program according to the algorithm of FIGS. 5 and 6 is operated, the image processing device 49 performs an arithmetic process on the CPU 123 on the image captured by the CCD camera 25 at the processing position, Judge whether the processing state is good cutting or processing failure, and if there is a next processing in the case of good cutting, determine whether the processing is a good cutting kana for the next processing as well To implement.
[0054]
If a machining defect is detected, it is determined whether the machining defect is in a burning state, a gouging state, or not cut at all, and the machining conditions are changed to improve the machining defect. A command is output to the NC device 73 via the I / O 129. Then, the next processing is performed under the changed processing conditions. If the allowable number of machining defects is specified by the program, the laser processing defect state detection program is executed until the allowable number of machining defects is exceeded.
[0055]
Further, the CPU 123 outputs a command to turn on the ring illumination 35 to the NC device 73 via the I / O 129 during imaging of the processing part of the workpiece W to turn on the ring illumination 35 and drive the air cylinder solenoid 47. The work presser 41 is operated by outputting a command to be operated. The NC device 73 drives a drive motor Mx of a workpiece positioning device (not shown) to position the workpiece W at an arbitrary position in the X-axis direction, and also drives a drive motor My of the Y-axis carriage 15 to charge the CCD. The camera 25 can be positioned at an arbitrary position in the Y-axis direction. Therefore, the processing part of the workpiece W can be positioned directly below the CCD camera 25 by appropriately driving the drive motors My and Mx.
[0056]
【The invention's effect】
As can be understood from the description of the embodiment as described above, according to the invention described in claim 1, since the machine is constantly monitoring the machining state, the operator is released from the machining state monitoring work and other work is performed. Can be performed. Further, since the determination of the processing failure state is made quantitatively by the machine without relying on human beings as in the prior art, there is no variation in the determination and an accurate determination is possible.
[0057]
According to the invention described in claim 2, as in the invention of claim 1, since the machine is constantly monitoring the machining state, the operator can be released from the monitoring work of the machining state and perform other work. Become. Further, since the determination of the processing failure state is made quantitatively by the machine without relying on human beings as in the prior art, there is no variation in the determination and an accurate determination is possible.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of a relationship between a laser processing head portion of a laser processing machine using a laser processing failure state detection apparatus according to the present invention and a workpiece.
FIGS. 2A and 2B are external views of an image processing apparatus of a laser processing defect state detection apparatus, where FIG. 2A is a plan view of the image processing apparatus, FIG. 2B is a front view, and FIG. 2C is a right side view; (D) is a left side view.
FIG. 3 is a system configuration diagram of an electrical system of an imaging device unit of a laser processing defect state detection device.
FIG. 4 is a system configuration diagram of an air system of an imaging device unit of a laser processing defect state detection device.
FIG. 5 is a flowchart of a laser processing failure state detection method according to the present invention.
FIG. 6 is a flowchart of a laser processing failure state detection method according to the present invention. FIG. 7 is an explanatory diagram of a monitorable shape, a monitorable position, and an impossible position in the laser processing failure state detection method according to the present invention. .
8 is an explanatory diagram enlarging the monitorable shape, the monitorable position, and the impossible position in FIG. 7;
FIG. 9 is a diagram for explaining an embodiment of a laser processing failure state detection apparatus according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser processing machine 3 Work clamp 5 Upper frame 7 Guide rail 9 Ball screw 13 Bearing 15 Y-axis carriage 17 Laser processing head 19 Nozzle 21 Imaging device unit 23 Imaging device unit case 25 CCD camera 27 Lens unit 29 UV filter 31 Air cylinder 33 Piston rod 35 Ring illumination 37 Support member 39 Spring 41 Work clamp 43 Relay terminal block 45, 47 Solenoid 49 Image processing device 51 Power switch 53 Power display LED
55, 57, 59, 65, 69, 71, 75, 81, 83, 87 Cable 61 Fan 63 NC high power panel 67 Relay cable 73 NC device 77, 79 Limit switch 85 Monitor television 89, 91, 93, 99, 103 Piping 95 Air 3-point set 97 Union tee 101 Elbow 105 Hole 121 Image memory 123 CPU
125 ROM
127 RAM
129 I / O (input / output device)
131 Data bus Mx drive motor My drive motor W Workpiece

Claims (2)

ワークのレーザ切断加工部のスリット部または丸穴を撮像して、該切断加工部の画像データを画像処理装置で処理してワークの加工不良状態を検出するレーザー加工不良状態検出方法にして、前記撮像装置により前記スリット部のスリット幅または丸穴の半径を撮像位置を変えて複数回測定すると共に、切断面上部の凹凸を同様に撮像位置を変えて複数回測定し、前記画像処理装置で処理されたそれぞれの測定値のバラツキが基準値のバラツキよりも大のときはバーニング状態の加工不良と判断し、前記バラツキが基準値未満のときは複数回の測定の平均値を演算して求め、該平均値と設定値とを比較して平均値が設定値より大のときはガウジング状態の加工不良と判断し、前記平均値が設定値未満のときは良好切断として判断することを特徴とするレーザー加工不良状態検出方法。Imaging the slit or round hole of the laser cutting processing part of the work, and processing the image data of the cutting processing part with an image processing apparatus to detect a processing failure state of the work, and the laser processing failure state detection method, The slit width of the slit part or the radius of the round hole is measured a plurality of times by changing the imaging position by the imaging device, and the unevenness at the upper part of the cut surface is similarly measured a plurality of times by changing the imaging position and processed by the image processing device. When the variation of each measured value is larger than the variation of the reference value, it is determined that the machining state is in a burning state, and when the variation is less than the reference value, an average value of a plurality of measurements is calculated and obtained. The average value is compared with the set value, and when the average value is larger than the set value, it is determined that the gouging state is defective, and when the average value is less than the set value, it is determined as good cutting. Laser processing defect state detecting method according to. ワークのレーザ切断加工部のスリット部または丸穴をを撮像する撮像装置と、該撮像装置が撮像した切断加工部の画像データを画像処理する画像処理装置とを備えたレーザー加工不良状態検出装置にして、前記撮像装置により前記スリット部のスリット幅または丸穴の半径を撮像位置を変えて複数回測定すると共に、切断面上部の凹凸を同様に撮像位置を変えて複数回測定し、前記画像処理装置で処理されたそれぞれの測定値のバラツキが基準値のバラツキよりも大のときはバーニング状態の加工不良と判断し、前記バラツキが基準値未満のときは複数回の測定の平均値を演算して求め、該平均値と設定値とを比較して平均値が設定値より大のときはガウジング状態の加工不良と判断し、前記平均値が設定値未満のときは良好切断として判断することを特徴とするレーザー加工不良状態検出装置。A laser processing failure state detection device comprising: an imaging device that captures an image of a slit portion or a round hole of a laser cutting processing portion of a workpiece; and an image processing device that performs image processing on image data of the cutting processing portion captured by the imaging device. The image processing unit measures the slit width of the slit portion or the radius of the round hole a plurality of times while changing the imaging position, and similarly measures the unevenness on the upper surface of the cut surface a plurality of times while changing the imaging position. When the variation of each measured value processed by the device is larger than the variation of the reference value, it is judged as a processing failure in the burning state, and when the variation is less than the reference value, the average value of multiple measurements is calculated. The average value is compared with the set value, and when the average value is greater than the set value, it is determined that the processing is defective in the gouging state, and when the average value is less than the set value, it is determined as good cutting. Laser processing defect state detecting apparatus according to claim Rukoto.
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