JP3747650B2 - 静圧空気軸受形直進案内 - Google Patents
静圧空気軸受形直進案内 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3747650B2 JP3747650B2 JP27247998A JP27247998A JP3747650B2 JP 3747650 B2 JP3747650 B2 JP 3747650B2 JP 27247998 A JP27247998 A JP 27247998A JP 27247998 A JP27247998 A JP 27247998A JP 3747650 B2 JP3747650 B2 JP 3747650B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- linear guide
- air bearing
- type linear
- static pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置等に用いられる静圧空気軸受形直進案内に係り、詳しくは、軸受性能の向上や製造コストの低減等を図る技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
ボンダやマウンタ等の半導体製造装置における直進案内としては、スライダ軸の摺動時における摩擦抵抗や発熱が無く、かつ、極低温から高温まで使用可能であること等から、静圧空気軸受形が用いられることが多い。この種の直進案内は、図6,図7(図6中のE矢視図),図8(図6中のF矢視図)に示したように、正四角柱のスライダ軸1と静圧空気軸受3とから構成されており、スライダ軸1は静圧空気軸受3により浮揚支持される。
【0003】
静圧空気軸受3は、通常、3種4個の軸受ブロック、すなわち、図6,図8中で上方に位置する第1軸受ブロック41と、同下方に位置する第2軸受ブロック42と、第1軸受ブロック41と第2軸受ブロック42との間に介装された左右一対の第3軸受ブロック43とから構成されており、図9(図6中のG−G断面図)に示したように、第1軸受ブロック41の上面から第3軸受ブロック43を貫通して第2軸受ブロック42にねじ込まれた6本のボルト9により締結されている。図6,図7中に符号11で示した部材は、第1軸受ブロック41に接続された圧縮空気供給管である。
【0004】
第1〜第3軸受ブロック41〜43には、図10(図6中のH−H拡大断面図)に示したように、スライダ軸1に面して軸受パッド装着凹部41a〜43aが軸方向同位置に形成されている。各軸受パッド装着凹部41a〜43aには絞り部をなす軸受パッド(自成、オリフィス、多孔質など)21があり、これら軸受パッド21に空気連通孔23を介して圧縮空気供給管11からの圧縮空気が供給される。スライダ軸1と各軸受21との間には、各軸受パッド21から噴出する圧縮空気により所定の隙間が形成され、これにより、スライダ軸1が静圧空気軸受3の中心部に浮揚支持される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の静圧空気軸受形直進案内では、軸受ブロックの個数や種類が多いことに起因し、軸受性能が低下したり、製造コストが上昇する等の問題があった。
例えば、静圧空気軸受形直進案内においては、スライダ軸1と各軸受ブロック41〜43との間からの圧縮空気の漏れを防止するべく、スライダ軸1と各軸受パッド21との間隙を厳密に管理する必要がある。ところが、従来の静圧空気軸受3は、独立した4個の軸受ブロック41〜43からなるため、各軸受ブロック41〜43における軸受パッド装着凹部41a〜43aの加工精度を全て高くすることは難しかった。
【0006】
また、従来の静圧空気軸受3は、4個の軸受ブロック41〜43を組み立てて製作されるため、組立時に各軸受ブロック41〜43の相対位置が狂いやすく、対向する軸受パッド21間の間隔が許容範囲から逸脱することがあった。特に、一対の第3軸受ブロック43は、第1軸受ブロック41と第2軸受ブロック42とに挟持されているため、組み付け時に微小に傾くことがある他、使用時における圧縮空気の圧力によって互いに離間することもあった。
【0007】
更に、従来の静圧空気軸受3は、互いに形状の異なる3種の軸受ブロック41〜43を用いているため、構成部品点数が多くなることは当然であるが、各軸受ブロック41〜43の製作や検査、管理等も煩雑となり、製造コストを上昇させる要因ともなっていた。
【0008】
本発明は、上記状況に鑑みなされたもので、軸受性能の向上や製造コストの低減等を図った静圧空気軸受形直進案内を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明では、上記課題を解決するため、直進運動する矩形断面のスライダ軸と、このスライダ軸を軸受パッドに供給された圧縮空気を介して支持する静圧空気軸受とからなる静圧空気軸受形直進案内であって、前記静圧空気軸受が2個のL字形状の同一軸受ブロックを締結することにより組み立てられると共に、当該軸受ブロックが略90゜の角度をなす軸受パッド部を備えたものを提案する。
【0010】
この発明によれば、治具等を用いて二つの軸受ブロックを高精度に組み立てれば、軸受パッド装着部に装着された軸受パッドとスライダ軸との間隙を比較的容易に許容範囲内に収められる。また、軸受ブロックは、単一種のものを製造することになるため、加工手順や検査手順等も画一化できる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る静圧空気軸受形直進案内の一実施形態を図面に基づき詳細に説明する。
図1は実施形態に係る静圧空気軸受形直進案内の平面図、図2は図1中のA矢視図、図3は図1中のB矢視図である。これらの図に示したように、同直進案内は、共に正四角柱のスライダ軸1と静圧空気軸受3とから構成されており、スライダ軸1は静圧空気軸受3に浮揚支持される。
【0012】
静圧空気軸受3は、略L字断面を有する同一品の2個の軸受ブロック5から構成されている。両軸受ブロック5は、図4(図1中のC−C断面図)に示したように、上下面からねじ込まれた各3本のボルト9により締結されている。図3中に符号11で示した部材は、上部の軸受ブロック5の圧縮空気供給ポート13に接続された圧縮空気供給管である。尚、圧縮空気供給ポート13は、両軸受ブロック5の両端部に各1箇所(計4箇所)形成されているが、圧縮空気供給管11が接続されないものは止め栓17によって閉鎖されている。
【0013】
軸受ブロック5には、スライダ軸1に面する一対の軸受パッド装着凹部5a,5bが、図1,図2,図5(図1中のD−D拡大断面図)に示したように、90゜の角度をなして軸方向同位置に複数組(本実施形態では、4組)形成されている。また、軸受ブロック5には、各圧縮空気供給ポート13と各軸受パッド装着凹部5a,5bとを連通する空気連通孔23が形成されている。
【0014】
各軸受パッド装着凹部5a,5bには絞り部をなす軸受パッド21がそれぞれ嵌装されており、これら軸受パッド21に空気連通孔23を介して圧縮空気供給管11からの圧縮空気が供給される。スライダ軸1と各軸受パッド21との間には各軸受パッド21から噴出する圧縮空気により所定の隙間が形成され、これにより、スライダ軸1が静圧空気軸受3の中心部に浮揚支持される。
【0015】
本実施形態の直進案内では、静圧空気軸受3の組み立てにあたり、組立作業者は、図示しない治具を用いて2個の軸受ブロック5を位置決めした後、ボルト9を所定の締付トルクで締め付けて両者を締結する。この際、軸受ブロック5の締結面が前述した従来装置に較べて半減しているため、位置決めが極めて容易かつ高精度に行われ、対向する軸受パッド21間の間隔を許容範囲に収めやすくなる。また、短いボルト9が使用可能となること等から両軸受ブロック5,7の締結剛性が向上し、使用時に圧縮空気の圧力が作用しても、両軸受ブロック5,7の相対位置がずれる虞が少なくなる。
【0016】
一方、本実施形態の直進案内では、軸受ブロック5が1種類のみであるため、軸受パッド装着凹部5a,5b等の加工精度を比較的容易に高めることが可能となる。また、軸受ブロック5の製造にあたって加工工具や検査治具等を複数用意する必要がなくなるため、部品点数の減少も相俟って、製造コストが大幅に低減する。
【0017】
以上で具体的実施形態の説明を終えるが、本発明の態様はこの実施形態に限られるものではない。例えば、上記実施形態では、スライダ軸や静圧空気軸受を共に正四角柱としたが、スライダ軸を長方形断面としたり、静圧空気軸受の外観形状を円筒形等としてもよい。また、ボルトにリーマボルトを用いたり、両軸受ブロックの締結面にロケーションピンを介装してもよく、これらの方法を採れば、組立時における両軸受ブロックの位置合わせが更に容易となる。更に、直進案内各部の具体的構成についても、設計上あるいは製作上の都合等により、適宜変更可能である。軸受パッド部の絞りは自成(軸受ブロック5と一体)、オリフィス表面(軸受ブロック5と一体)、多孔質などの絞り方式を限定するものではない。又、軸受パッドは、一体の略90゜の角度を有するL字形のものでもよい。
【0018】
【発明の効果】
本発明の静圧空気軸受形直進案内によれば、直進運動する矩形断面のスライダ軸と、このスライダ軸を軸受パッドに供給された圧縮空気を介して支持する静圧空気軸受とからなる静圧空気軸受形直進案内であって、前記静圧空気軸受が2個のL字形状の同一軸受ブロックを締結することにより組み立てられると共に、当該軸受ブロックが略90゜の角度をなす軸受パッド部を備えるようにしたため、治具等を用いて二つの軸受ブロックを高精度に組み立てれば、軸受パッド装着部に装着された軸受パッドとスライダ軸との間隙を比較的容易に許容範囲内に収められ、軸受性能を向上させることが可能となる他、軸受ブロックも単一種のものを製造することになるため、加工工具や検査手順等も画一化され、部品点数の削減も相俟って製造コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る静圧空気軸受形直進案内の一実施形態を示す側面図である。
【図2】図1中のA矢視図である。
【図3】図1中のB矢視図である。
【図4】図1中のC−C断面図である。
【図5】図1中のD−D拡大断面図である。
【図6】従来の静圧空気軸受形直進案内の一例を示す側面図である。
【図7】図6中のE矢視図である。
【図8】図6中のF矢視図である。
【図9】図6中のG−G断面図である。
【図10】図6中のH−H拡大断面図である。
【符号の説明】
1‥‥スライダ軸
3‥‥静圧空気軸受
5‥‥軸受ブロック
5a,5b‥‥軸受パッド装着凹部
9‥‥ボルト
11‥‥圧縮空気供給管
21‥‥軸受パッド
23‥‥空気連通路
Claims (1)
- 直進運動する矩形断面のスライダ軸と、このスライダ軸を軸受パッドに供給された圧縮空気を介して支持する静圧空気軸受とからなる静圧空気軸受形直進案内であって、前記静圧空気軸受が2個のL字形状の同一軸受ブロックを締結することにより組み立てられると共に、当該軸受ブロックが略90゜の角度をなす軸受パッド部を備えたことを特徴とする静圧空気軸受形直進案内。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27247998A JP3747650B2 (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 静圧空気軸受形直進案内 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27247998A JP3747650B2 (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 静圧空気軸受形直進案内 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000087969A JP2000087969A (ja) | 2000-03-28 |
JP3747650B2 true JP3747650B2 (ja) | 2006-02-22 |
Family
ID=17514508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27247998A Expired - Fee Related JP3747650B2 (ja) | 1998-09-10 | 1998-09-10 | 静圧空気軸受形直進案内 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3747650B2 (ja) |
-
1998
- 1998-09-10 JP JP27247998A patent/JP3747650B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000087969A (ja) | 2000-03-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20070154120A1 (en) | Method of assembling air bearing, air bearing and linear drive unit equipped with the same | |
US7682082B2 (en) | Compact surface self-compensated hydrostatic bearings | |
US10704598B1 (en) | Hydrostatic linear guideway | |
DE112010001128T5 (de) | Durchflusserfassungsbauelement und dessen verkappung | |
JPH08247142A (ja) | 直動転がり案内ユニット | |
DE10392912T5 (de) | Werkstück-Einspannvorrichtung mit Temperatursteuerbaueinheit mit Abstandshaltern zwischen Schichten, die einen Zwischenraum für thermoelektrische Module schaffen | |
JP4480960B2 (ja) | 支持ユニット並びにその支持ユニットを用いた移動テーブル装置及び直動案内装置 | |
JP3331755B2 (ja) | リニアガイドレールの高精度取付け方法 | |
JP3747650B2 (ja) | 静圧空気軸受形直進案内 | |
US6880975B2 (en) | Linear motion guide unit | |
JPS6211211B2 (ja) | ||
US20070267463A1 (en) | Apparatus for mounting columns for grid array electronic packages | |
JP2508530Y2 (ja) | ボ―ルねじ | |
JPH0230186Y2 (ja) | ||
JPH0262729B2 (ja) | ||
JP2006029412A (ja) | 静圧形直動案内ユニット | |
CN108982210B (zh) | 一种球面调心压扭试验机夹具 | |
JP3254082B2 (ja) | 曲線運動案内装置 | |
JP4106904B2 (ja) | 直動案内軸受装置のスライダー及び直動案内軸受装置 | |
JP2001315017A (ja) | 軌道レールの埋栓用カッタ | |
JPH09177779A (ja) | 摺動装置 | |
JP3944666B2 (ja) | リニアガイド装置の取付装置 | |
KR20140133902A (ko) | 직동 부상 장치 | |
JP7508316B2 (ja) | 位置決め装置、及び被加工物の加工方法 | |
JP2542192Y2 (ja) | 直動転がり案内ユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050502 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081209 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091209 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101209 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111209 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111209 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121209 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121209 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131209 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |