JP3731251B2 - 多層膜x線ハーフミラーの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はX線レーザー発振器で使用する多層膜X線ハーフミラーの製造方法に関する。
【0002】
【従来技術】
X線レーザーの出現は、物理、化学をはじめ物質、材料科学や工学等に革命的な進歩をもたらす可能性を秘めている。
例えば、▲1▼試料の構成元素の吸収を利用した充分なコントラストと高空間分解能をもつ観測が可能なX線顕微鏡への応用▲2▼X線リソグラフィーによる超精密パターンの製作▲3▼生体組織中巨大分子の3次元的観察や構造決定が可能となるX線ホログラフィーへの応用▲4▼X線レーザーの照射により材料構成元素を内殻励起させて通常起きにくい高い化学的励起状態を発生させ、その化学反応を研究する事により放射線被爆などの過酷な環境下で安定な新材料を開発する等が挙げられる。
【0003】
X線は、高出力の励起レーザー光を固体ターゲットに照射すると、高温プラズマが発生し、その高温プラズマ中の励起状態にある多価イオンが基底状態にもどるとき発生する。
X線は高い反射率のX線ミラーを用いて共振させることによりX線レーザーになり、図4に示す様に多層膜X線ミラー及びハーフミラーにより共振器を組めばX線レーザー発振器となる。
【0004】
X線レーザー発振器に用いられる多層膜X線ハーフミラーは窒化シリコン等の薄いメンブレン上に多層膜を形成して製作していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、窒化シリコンはX線透過率が非常に悪いため所望の透過率を得るためには、0.1μm程度まで薄くしなければならず、0.1μm程度の窒化珪素メンブレン上に多層膜を形成した場合、多層膜の圧縮応力によって多層膜X線ハーフミラーが歪でしまうという問題があった。
【0006】
また、比較的透過率の良いメンブレン材料を用いて所望の膜厚に形成後、多層膜を形成して多層膜X線ハーフミラーを製作した場合でも歪でしまうという問題があった。
本発明は、歪まず、所望の透過率、反射率を得られる多層膜X線ハーフミラーを製作する方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は「SOI基板を用意する工程と、
前記SOI基板の層厚の厚い第1のシリコン層上に窒化珪素層を形成し、該窒化珪素層に所定のパターンを形成する工程と、
前記窒化珪素層のパターンに合わせて前記第1のシリコン層をエッチングし、X線透過窓に相当する部分を形成する工程と、
前記X線透過窓に相当する部分の前記SOI基板の酸化シリコンをドライエッチングする工程と、
前記SOI基板の層厚の薄い第2のシリコン層上に多層膜を形成する工程と、
前記X線透過窓に相当する部分の前記SOI基板の前記第2のシリコン層を所望の厚さにドライエッチングする工程と、
を有し、前記第2のシリコン層の厚さが約2〜10μmであることを特徴とする多層膜X線ハーフミラーの製造方法(請求項1)」を提供する。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の製造方法により製作された多層膜X線ハーフミラーの概略断面図である。
本発明の製造方法を図2に示す。
先ず、SOI基板(第2のシリコン層2、酸化シリコン層5、第1のシリコン層3)を用意する(図2(a))。
【0010】
SOI基板は公知の方法により製作される。
第2のシリコン層2の厚さは、約2〜10μm程度が好ましい。
第2のシリコン層の膜厚の好ましい範囲が約2〜10μmである理由は、第1のシリコン層3にX線が透過する窓の部分形成後、第2のシリコン層2上に多層膜を形成し、窓部分の透過率を向上させるために第2のシリコン層2のうち窓部分に相当する部分を所望の厚さにエッチングしても多層膜の圧縮応力により多層膜X線ハーフミラーが歪まず、しかも所望の厚さにエッチングするのに最小限ですむ厚さだからである。
【0011】
次に、第1のシリコン層3上にSiN4を形成する(図2(b))。
SiN4の形成方法として、CVD法、イオンビームスパッタリング法等により成膜する方法が挙げられる。
SiN4上にレジストを塗布し、フォトリソグラフィーにより窓用パターンを作製しSiN4に転写する(図2(c))。
【0012】
窓用パターンが転写されたSiN7をマスクとして、KOH溶液でウエットエッチング法により、第1のシリコン層3をエッチングする。
酸化シリコン層5がストッパー材の役割を果たし、第1のシリコン層3のウエットエッチングが終了する(図3(a))。
第1のシリコン層3はウエットエッチング法以外にドライエッチング法によってもエッチングされる。ドライエッチング法として、−120℃、圧力2.7Paの環境下で、反応ガスとしてSF6を用いてプラズマエッチングする方法や、常温下で反応ガスCl2+CHF3の混合ガスを用いてエッチングし、エッチングされた側壁をエッチング生成物により保護しながらプラズマエッチングする方法が挙げられる。
【0013】
酸化シリコン層5を前記ドライエッチング法によりエッチングする(図3(b))。
第2のシリコン層2上に多層膜1を形成する(図3(c))。
多層膜1としてMo/Si多層膜又はMo/Si化合物多層膜が挙げられ、10〜20ペア程度形成した。形成する多層膜の層数は使用するX線の波長やハーフミラーの透過率によって調節する。
【0014】
多層膜1の形成方法として、CVD法、イオンビームスパッタリング法等により成膜する方法が挙げられる。
第2のシリコン層2を裏面側から−120℃、圧力2.7Paの環境下で、反応ガスとしてSF6を用いてプラズマドライエッチング法により、所望の厚さにエッチングする(図3(d))。但し、第2のシリコン層2がドライエッチングされれば温度、圧力、反応ガス等は特に限定されない。
【0015】
窓用パターンが転写されたSiN7は第2のシリコン層2を裏面側からプラズマドライエッチングする際、除去される。
【0016】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明にかかる多層膜ミラーまたはハーフミラーの製造方法は、薄い第2のシリコン層上に形成する多層膜の圧縮応力のため多層膜X線ハーフミラーが歪ないような膜厚の薄い第2のシリコン層を有するSOI基板を用いて、薄い第2のシリコン層上に多層膜を形成後、X線が透過する窓の部分に相当する薄い第2のシリコン層をエッチングにより所望の厚さに調節したので、多層膜X線ハーフミラーは歪まず、かつ所望の透過率、反射率を得ることができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる多層膜X線ハーフミラーの製造方法により製作した多層膜ハーフミラーの垂直断面図である。
【図2】本発明にかかる多層膜X線ハーフミラーの製造方法の工程図である。
【図3】本発明にかかる多層膜X線ハーフミラーの製造方法の工程図である。
【図4】軟X線レーザーの基本概念図である。
【符号の説明】
1・・・多層膜
2・・・第2のシリコン層
3・・・第1のシリコン層
4・・・SiN層
5・・・酸化シリコン層
6・・・SOIウエハ
7・・・窓用パターンを転写されたSiN層
Claims (1)
- SOI基板を用意する工程と、
前記SOI基板の層厚の厚い第1のシリコン層上に窒化珪素層を形成し、該窒化珪素層に所定のパターンを形成する工程と、
前記窒化珪素層のパターンに合わせて前記第1のシリコン層をエッチングし、X線透過窓に相当する部分を形成する工程と、
前記X線透過窓に相当する部分の前記SOI基板の酸化シリコンをドライエッチングする工程と、
前記SOI基板の層厚の薄い第2のシリコン層上に多層膜を形成する工程と、
前記X線透過窓に相当する部分の前記SOI基板の前記第2のシリコン層を所望の厚さにドライエッチングする工程と、
を有し、前記第2のシリコン層の厚さが約2〜10μmであることを特徴とする多層膜X線ハーフミラーの製造方法。
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