JP3729781B2 - アクチュエータの制御方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する利用分野】
本発明は、アクチュエータの制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば圧力調整器などには、図8に示すような減圧弁51が用いられている。この減圧弁51は、一次室52から二次室53へ流入する流体(液体、ガスなど)の流体圧を減圧調整するために設けられている。一次室52には、シート54がスプリング55に付勢されて弁(ノズル)56を閉止している。二次室53には弁56を通過した流体の二次圧力を受けるダイヤフラム57が設けられている。このダイヤフラム57には、その動きをシート54に伝達するステム58及び該ステム58を変位させるアクチュエータ59が設けられている。
【0003】
次に、減圧弁51の動作について説明すると、先ず、シート54が弁(ノズル)56を閉止した状態で一次室52に流体が流入して充満されている。制御部60からの制御信号によりアクチュエータ59を僅かに変位させると、ダイヤフラム57を一次室52側へ押し下げると共にステム58がシート54をスプリング55の勢力に抗して押し下げて弁(ノズル)56が開口する。このとき、流体が一次室52より二次室53側へ流入し、該二次室53に流入した流体圧がダイヤフラム57を押し上げる。二次流体圧が上昇してダイヤフラム57を押し上げる力とアクチュエータ59のステム58によるシート54への押圧力と釣り合うと、シート54が弁(ノズル)56に押し付けられて一次室52から二次室53への流路が遮断され二次室53の二次圧力が安定する。
【0004】
上記アクチュエータ59としては、ソレノイド、モータ又は圧電素子を用いた圧電アクチュエータが用いられる。圧電アクチュエータは、ソレノイド、モータよりも応答が早いため、圧力変動に高速対応する圧力調整器に使用されている。またアクチュエータ59に作用する圧力変動を圧力センサ61により監視ながら、制御部60はアクチュエータ59を変位させる設定圧力信号を制御している。圧力センサ61としては、機械式センサ(例えばブルドン管タイプ、ベローズタイプ、ダイヤフラムタイプなど)、電子式センサ(ピエゾ抵抗式タイプ、薄膜式タイプ、容量タイプなど)の目的に応じて様々な方式のセンサが用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、アクチュエータ59は、圧電セラミックスの変位量が小さく圧力調整範囲が狭いという課題があった。即ち、圧電セラミックスは外力に対して線形に変位する特性を有するが、変位量が限られているため、検出する外力の大きさにあわせて圧電セラミックスの枚数を替えて調整されている。従って、仮に圧電セラミックスの枚数を調整して圧力変動を検出するとしても、圧電セラミックス固有の線形ピッチでしか圧力変動を検出することが不可能であり、ダイヤフラム57に加わった微妙な圧力変動は検出できなかった。
また、アクチュエータ59の圧力変動を監視する圧力センサ61の特性としては、例えばダイヤフラム方式では圧力変動に応じて同心状薄板が線形的に変位するものや(機械式センサ)、平行平板状の電極が設けられたダイヤフラムの撓みに応じた静電容量の線形的変位を検出するもの(電子式センサ)など、線形特性を利用して圧力変動を検出していた。
また、圧力センサ61に締結して変位を検出する締結系には、アクチュエータ59の圧電セラミックスの変形特性に合わせて線形性が求められており、非線形特性を有する締結系は一般に敬遠される傾向にある。これは機械式センサであっても電子式センサであっても同様である。
【0006】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、締結系の非線形変位特性を利用してセンシング感度を向上させたアクチュエータの制御方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
即ち、電極が形成された圧電/電歪材料層が複数積層されたアクチュエータ部と、圧電/電歪材料層に電極が形成されたセンサ部とが絶縁材料層を介して一体に積層されてなるアクチュエータの制御方法において、応力変位特性が非線形特性となる締結系を前記アクチュータ部に締結し、該アクチュエータ部の駆動電圧に重畳して印加する検出用電圧を変化させることにより、締結系の非線形応力変位特性を利用してセンサ部の応力検出範囲を非線形に変化させて応力変動を検出することを特徴とする。
また、締結系はコイルバネ、皿バネ、球体の何れかが用いられていることを特徴とする。
また、アクチュエータ部は、シート状に形成された正の温度係数を有する電歪材料層と、シート状に形成された負の温度係数を有する電歪材料層とが積層され、温度変化に対して変位量が一定となるようにセルフコントロールすることを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。本実施例では、アクチュエータ部に電歪材料、センサ部に圧電材料を用いた電歪アクチュエータの制御方法について説明する。
図1は電歪アクチュエータの構成を示す斜視図、図2は電歪アクチュエータを用いた圧力調整器の構成を示す説明図、図3は電歪アクチュエータの制御系のブロック図、図4はアクチュエータ部に加わる外力とセンサ部に発生する電圧との関係を示すグラフ図、図5は圧電セラミックスの等価回路図、図6は締結系の外力に対する変位特性及びアクチュエータ部の発生力−変位特性を示すグラフ図、図7はアクチュエータ部の駆動電圧波形とセンサ部に発生する電圧波形との関係を示すグラフ図である。
【0009】
先ず、電歪アクチュエータの構成について図1を参照して説明する。
図1において、1は電歪アクチュエータであり、アクチュエータ部2とセンサ部3とが絶縁材料よりなる絶縁材料層4を介して一体化されてなる。アクチュエータ部2は、電歪セラミックス2aと電歪セラミックス2bとが積層されてなる。各電歪セラミックス2a、2bは、厚さ方向両側に電極層として電極部5が積層されており、各電極部5どうしは電気的に並列に接続されている。電極部5は、電極用メタライズペーストが印刷されたグリーンシートが複数積層されて熱間プレスにより焼成されて各電歪セラミックス2a、2bと一体に形成されている。電極部5は平板状に限らず、厚さ方向に櫛歯状に形成されていても良い。各電歪セラミックス2a、2bは、外部から電極部5間に印加される電界の二乗に比例して機械的に変位し(図1の厚み方向)、この変位の総和を電歪アクチュエータ1の厚さ方向に取り出せるようになっている。ちなみに、変位量X、電歪定数M33(m2/V2)、電歪セラミック1枚の厚さd(mm)、電歪セラミック1枚あたりの電圧V(V)、積層枚数をNとすると、X=M33(V/d)2・Nで与えられる。
【0010】
また、アクチュエータ部2は、シート状に形成された正の温度係数を有する電歪セラミックス2aとシート状に形成された負の温度係数を有する電歪セラミックス2bとが電極部5を介して交互に積層され温度特性が平均化されていても良い。また、温度係数が正負の電歪セラミックス2a、2bを複数枚ずつユニット化して、或いはバラック状に組み合わせて全体として温度特性が平均化されていても良い。電歪材料としては、PMN−PT(マグネシウムニオブ酸鉛−チタン酸鉛)系の材料が好適に用いられている。
【0011】
また、センサ部3は、圧電材料層として厚さ方向に分極処理が済んでいる圧電セラミックス6が用いられている。圧電セラミックス6は、厚さ方向両側に電極層として電極部7が積層されており、外部より加えられる力に比例して、厚さ方向の電極間に電圧を発生する。電極部7は平板状に限らず、櫛歯状に形成されていてもよい。ちなみに、圧電セラミックス6に発生する電圧Vは、加えられる力F、出力電圧係数g33、圧電セラミックス1枚の断面積S(mm2)、圧電セラミック1枚あたりの厚さL(mm)、積層枚数をNとすると、V=g33(L/S)・F・Nで与えられる。
圧電セラミックス6としては、PZT(ジルコンチタン酸鉛)系の圧電材料が好適に用いられ、該圧電材料はキュリー温度近傍では駆動電圧−変位特性が不安定になるため、使用温度より高いキュリー温度を有することが必要である。尚、センサ部3には、圧電材料層の代わりに前述した電歪材料層を用いても良い。また、センサ部3は、図1のように、圧電材料層が1層でも良いが、電圧レベルを上げたい場合には、圧電材料層を複数層設けても良い。
【0012】
アクチュエータ部2は、例えばドクターブレード法などを用いて、電極用メタライズペーストが印刷されたグリーンシートが正の温度係数を有する電歪材料(電歪セラミックス2a)層の両側に積層され、電極用メタライズペーストが印刷されたグリーンシートが負の温度係数を有する電歪材料(電歪セラミックス2b)層の両側に積層され、これらを複数積層して熱間プレスにより焼成されて一体化されてなる。また、センサ部3は、例えば電極用メタライズペーストが印刷されたグリーンシートが圧電材料(圧電セラミックス6)層の両側に積層され、熱間プレスにより焼成されて一体化されてなる。
【0013】
電歪アクチュエータ1は、上述したアクチュエータ部2とセンサ部3とが絶縁材料層4を介して一体に積層されてなる。具体的には、アクチュエータ部2とセンサ部3とが積層されて熱間プレスにより焼成されて一体化されていても良く、或いは各々別個に作成されたアクチュエータ部2とセンサ部3とが積層されて接着剤により接合されて若しくはボルト止めされて一体化されていても良い。
【0014】
次に電歪アクチュエータ1の応用例として圧力調整器に組み込んだ場合について図2及び図3を参照して説明する。図2において、圧力調整器10には、減圧弁11が設けられている。この減圧弁11は、一次室12から二次室13へ流入する流体圧を減圧調整する。一次室12には、一端が内壁に固定されたスプリング14の他端にシート15が固定されている。シート15はスプリング14により図2の上方へ付勢されて弁(ノズル)16を閉止している。二次室13には弁16を通過した流体(液体、ガスなど)の二次圧力を受けるダイヤフラム17が設けられている。このダイヤフラム17は、シート15に圧接しているステム18に支持されている。ダイヤフラム17は二次室13内に設けられた締結系19に当接している。締結系19は、応力変位特性が非線形特性を有する球体20及び電歪アクチュエータ1よりなる。球体20の替わりに巻き径の異なるコイルバネや皿バネ等で合っても良い。電歪アクチュエータ1はセンサ部3側を二次室13に固定されている。球体20はダイヤフラム17の平坦度を保って変位させてその動きをステム18を介してシート15に伝達する。
【0015】
次に、減圧弁11の動作について説明すると、先ず、シート15が弁(ノズル)16を閉止した状態で流入口21から一次室12に流体(液体、ガスなど)が流入し、一次室12に一次流体圧で流体が充満される。後述する制御部23からの制御信号(駆動信号)により電歪アクチュエータ1のアクチュエータ部2を僅かに変位させると、球体20を介してダイヤフラム17を一次室12側へ押し下げると共にステム18がシート15をスプリング14の勢力に抗して押し下げて弁(ノズル)16が開口する。このとき、流体が一次室12より二次室13側へ流入し、該二次室13に流入した流体圧がダイヤフラム17を押し上げる。二次流体圧が上昇してダイヤフラム17を押し上げる力とアクチュエータ部2のステム18によるシート15への押圧力と釣り合うと、シート15が弁(ノズル)16に押し付けられて一次室12から二次室13への流路が遮断され二次室13の二次流体圧が安定する。そして流体は二次室13から流出口22より流出される。
【0016】
上記圧力調整器に設けられた電歪アクチュエータ1の制御方法について図3のブロック図を参照して説明する。
制御部23は圧力指令に応じて、PID演算部24により電力増幅を行ってアクチュエータ部2に所要の駆動電圧を印加(電極部5間に所定の電界を印加)する。これにより、アクチュエータ部2は厚さ方向に変位を生じさせ、ステム18を押し下げるようになっている。このとき、アクチュエータ部2が厚さ方向に変位すると変位量に応じて圧電セラミックス6を用いたセンサ部3の電界が変位し、この電界の変位量が電圧信号としてサンプルホールドされて制御部23にフィードバックされる。
【0017】
また、本実施例では、アクチュエータ部2の駆動電圧に所要の検出用電圧を重畳して印加することにより締結系19の応力検出範囲を変化させて、アクチュエータ部2に作用した応力変化をセンサ部3の電圧変動より検出するようになっている。この検出用電圧としては、検出対象とする応力範囲にもよるが1V〜5V程度の電圧(固定値)が用いられる。
【0018】
また、本実施例では、アクチュエータ部2が正の温度係数を有する電歪セラミックス2aと負の温度係数を有する電歪セラミックス2bとが積層されているため、変位−温度特性が平均化されており、温度変化に対してアクチュエータ部2の変位量が一定となるようセルフコントロールするようになっている。したがって、温度変化に対してアクチュエータ部2の変位量が一定となるようセルフコントロールし、別個に温度補償をするための圧力センサやロードセルなどのセンサを設けたり、該センサの検出圧力に基づく電界制御などは不要となるため、電歪アクチュエータ1の制御方法を簡略化することができる。
【0019】
ここで、アクチュエータ部2に加わる外力とセンサ部3の圧電セラミックス6に発生する電圧との関係を図4のグラフ図に示す。
圧電セラミックス6は、外力を加えると電圧を発生し(圧電1次電圧)、電圧を印加すると変位を発生する(圧電2次効果)の両特性を有する。外力を加えると、当該外力に比例した電圧を発生するが、該発生電圧は一時的であり外力が印加され続けていても放電される(微分波形参照)。このとき圧電セラミックス6に発生する電圧Vは前述したようにV=g33(L/S)・Fで与えられる。
【0020】
また,圧電セラミックス6の電気的等価回路は、図5に示すように、共振周波数付近ではL、C、Rの並列共振回路で表される。圧電セラミックス6の誘電率と電極寸法から決まる静電容量をC0、L,Cを振動モード、素子の寸法、弾性定数、密度、圧電定数などによって決まる圧電的機械振動、Rを機械的振動損失、R0を絶縁抵抗とする。静的な動作をさせる場合は、矢印に示すように静電容量C0と絶縁抵抗R0によるCRの並列等価回路に置き換えて考えることができる。
【0021】
圧電セラミックス6に力Fが加えられたことによって発生する電荷量Qは、
Q=C0・V
このとき出力電圧Vは、
V=F・g33(L/S)
センサ用素子に発生する電荷Qは力Fの大きさに対応しているため、力Fが一定なら電荷Qも一定である。しかしながら、圧電セラミックス6の絶縁抵抗(内部抵抗含む)の値は有限なため発生した電荷Qは次式にしたがって放電される。
q=Qe-t/c0R0
=Qe-t/τ τ=c0R0
【0022】
次に、締結系19の外力に対する変位特性及びアクチュエータ部2の発生力−変位特性を図6のグラフ図に示す。アクチュエータ部2の発生力−変位特性は次式により表せる。
X=aF+x …(1)
また、締結系19の特性は、
X=kF2/3 …(2)
(1)(2)式よりアクチュエータ部2にある電圧を印加させた際にかかる応力Fは次の式を満たす。
−kF2/3+aF+x=0 …(3)
ここでアクチュエータ部2に微小電圧を加え変位をΔx変化させた際の応力変化ΔFは(3)式をxについて微分して、
−2/3・−kF-1/3(dF/dx)+a(dF/dx)+1=0 …(4)
従って、
dF/dx=1/(2/3・−kF-1/3−a) …(5)
ゆえに、
ΔF=1/(2/3・−kF-1/3−a)・Δx …(6)
上記式(6)より駆動電圧に検出用電圧ΔVを重畳して、アクチュエータ部2をΔxだけ変化させた際に締結系19の応力検出範囲(図6のΔF)を変化させて、センサ部3において応力変化ΔFを検出することで、全体の応力変化(荷重)を知ることができる。
【0023】
アクチュエータ部2の駆動電圧波形とセンサ部3に発生する電圧波形との関係を図7のグラフ図に示す。図7においてΔVが駆動電圧に重畳して印加される傳ある波形であり、Vsがセンサ部3で検出される電圧波形である。
【0024】
このように、積層型の電歪アクチュエータ1において、アクチュエータ部2の駆動電圧に所要の検出用電圧ΔVを重畳して印加することにより(図7参照)、非線形特性を有する締結系19の応力変位幅ΔFを変化させて(図6参照)、アクチュエータ部2の線形的変位特性だけでは検出できない範囲の応力変動をセンサ部3の電圧変動より検出できる。このとき、重畳する検出用電圧ΔVを変化させてアクチュエータ部2に作用する応力変位の幅ΔFを非線形に変化させることができるので、微細な応力変動をセンサ部3により検出可能となり、センシング感度を向上させることができる。
【0025】
以上、本発明の好適な実施例について述べてきたが、本発明は上述した各実施例に限定されるのものではなく、例えばアクチュエータ部に電歪材料、センサ部に電歪材料を用いたアクチュエータや、アクチュエータ部に圧電材料、センサ部に電歪材料若しくは圧電材料を用いた積層型のアクチュエータとしても良い。
また、アクチュエータの制御方法は圧力調整器に限らず、例えば半導体装置に接着剤塗布用のディスペンサなどの微細な圧力変動を検出することが要求される他の機器に応用しても良い等、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【0026】
【発明の効果】
本発明に係るアクチュエータの制御方法によれば、上述したように、応力変位特性が非線形特性となる締結系をアクチュータ部に締結し、アクチュエータ部の駆動電圧に所要の検出用電圧を重畳して印加することにより、アクチュエータ部の線形変位特性に締結系の非線形的要素を加味して変位させ、線形変位特性だけでは検出できない範囲の応力変動をセンサ部の電圧変動より非線形的に検出できる。
また、駆動電圧に重畳して印加する検出用電圧を変化させることにより、締結系の非線形応力変位特性を利用してセンサ部の応力検出範囲を非線形に変化させ、微細な応力変動をセンサ部で検出可能となり、センシング感度を向上させることができる。
また、アクチュエータ部が正の温度係数を有する電歪材料層と負の温度係数を有する電歪材料層とが積層されている場合には、変位−温度特性が平均化されており、温度変化に対してアクチュエータ部の変位量が一定となるようセルフコントロールし、別個に温度補償をするための圧力センサやロードセルなどのセンサを設けたり、該センサの検出圧力に基づく電界制御などは不要となるため、アクチュエータの制御方法を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】電歪アクチュエータの構成を示す斜視図である。
【図2】電歪アクチュエータを用いた圧力調整器の構成を示す説明図である。
【図3】電歪アクチュエータの制御系のブロック図である。
【図4】アクチュエータ部に加わる外力とセンサ部に発生する電圧との関係を示すグラフ図である。
【図5】圧電セラミックスの等価回路図である。
【図6】締結系の外力に対する変位特性及びアクチュエータ部の発生力−変位特性を示すグラフ図である。
【図7】アクチュエータ部の駆動電圧波形とセンサ部に発生する電圧波形との関係を示すグラフ図である。
【図8】圧電アクチュエータを備えた圧力調整器の従来例を示す説明図である。
【符号の説明】
1 電歪アクチュエータ
2 アクチュエータ部
2a、2b 電歪セラミックス
3 センサ部
4 絶縁材料層
5 電極部
6 圧電セラミックス
7 電極部
10 圧力調整器
11 減圧弁
12 一次室
13 二次室
14 スプリング
15 シート
16 弁
17 ダイヤフラム
18 ステム
19 締結系
20 球体
21 流入口
22 流出口
23 制御部
24 PID演算部
Claims (3)
- 電極が形成された圧電/電歪材料層が複数積層されたアクチュエータ部と、圧電/電歪材料層に電極が形成されたセンサ部とが絶縁材料層を介して一体に積層されてなるアクチュエータの制御方法において、応力変位特性が非線形特性となる締結系を前記アクチュータ部に締結し、該アクチュエータ部の駆動電圧に重畳して印加する検出用電圧を変化させることにより、締結系の非線形応力変位特性を利用してセンサ部の応力検出範囲を非線形に変化させて応力変動を検出することを特徴とするアクチュエータの制御方法。
- 前記締結系はコイルバネ、皿バネ、球体の何れかが用いられていることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータの制御方法。
- 前記アクチュエータ部は、シート状に形成された正の温度係数を有する電歪材料層と、シート状に形成された負の温度係数を有する電歪材料層とが積層され、温度変化に対して変位量が一定となるようにセルフコントロールすることを特徴とする請求項1又は2記載のアクチュエータの制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001397170A JP3729781B2 (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | アクチュエータの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001397170A JP3729781B2 (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | アクチュエータの制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003199367A JP2003199367A (ja) | 2003-07-11 |
JP3729781B2 true JP3729781B2 (ja) | 2005-12-21 |
Family
ID=27603050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001397170A Expired - Fee Related JP3729781B2 (ja) | 2001-12-27 | 2001-12-27 | アクチュエータの制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3729781B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5344944B2 (ja) * | 2009-02-02 | 2013-11-20 | 富士フイルム株式会社 | 振動抑制フィルム |
WO2015024906A1 (de) * | 2013-08-19 | 2015-02-26 | Ceramtec Gmbh | Drucksensor zur kraftdetektierung |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS631383A (ja) * | 1986-06-18 | 1988-01-06 | Omron Tateisi Electronics Co | 圧電アクチユエ−タ |
JPH10127067A (ja) * | 1996-10-14 | 1998-05-15 | Fujikura Ltd | 駆動装置 |
JPH10300602A (ja) * | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Hitachi Ltd | 半導体圧力センサ |
-
2001
- 2001-12-27 JP JP2001397170A patent/JP3729781B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003199367A (ja) | 2003-07-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040727 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091014 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101014 Year of fee payment: 5 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |