JP3722073B2 - 比較検査装置及び比較検査方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に偽造防止用途として用いられている、各種印刷物、証明書類、有価証券類に付与されている、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイス同士を比較検査するために用いる比較検査装置及び比較検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、観察方向及び／又は照明方向により、図柄及び／又は色彩が変化するデバイスを検査及び／又は撮影を行うために観察する方法としては、図１に示すように、デバイスが付与された印刷物１を置き、印刷物１、照明３、カメラ２の位置合わせを行って撮影した後、印刷物１を交換し、同条件の位置出しを行い撮影するというのが一般的であり、それらの撮影された画像をモニタ表示やプリントアウト等を行い比較検査をしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような比較検査を行う場合、そのデバイスの位置や角度、照明の種類や角度、観察方向等の観察条件を合わせる必要があり、その条件が変わるとそのデバイスの模様や色が大きく変化してしまい、観察を行うことが困難であった。また、観察者はそのデバイスについての知識が少ないことが考えられるため、観察方向や照明方向の調整の方法についても熟練を要するものであった。このような方法でそれぞれ撮影した画像を比較検査する場合、撮影時の条件や位置の微細なずれ等が生じ、検査の判定を困難にしていた。
【０００４】
また、微細な領域を比較検査する場合があるが、１つめの印刷物を撮影し、次に２つめの印刷物を撮影しようとする際には、微細な領域を観察しているため１つめに観察した位置を見つけだすことや、観察条件を再現するのが非常に困難であった。
【０００５】
また、同条件で正確な位置での撮影が可能であった場合でも、検査を行う上で、もう少し移動や傾けた状態にしたいなどの、さらに異なる条件での撮影を行うことで、判定の参考にすることが考えられるが、その撮影も時間がかかってしまうため、迅速にあらゆる方向からの比較を行うことができる観察画像を得ることが困難であった。
【０００６】
また、このようなデバイスが付与されている印刷物の種類が多種にわたる場合、比較検査を行うため印刷物の位置や向き、それを撮影する観察方向、照明の方向などの観察環境を調整する必要があり、非常に時間がかかるという問題があった。
【０００７】
従って、このようなデバイス同士を比較検査する場合には、撮影に慣れたものが行うというのが現状で、不慣れな者が撮影を行った場合には、検査判定を行うための適した画像を得ることが困難になるという問題が生じていた。
【０００８】
本発明の目的は、観察方向や照明方向により図柄や色彩が変化する複数のデバイス又は該デバイスを付与した複数の印刷物を、同一の観察条件で観察することが可能な一つ又は複数の観察部で、前記複数のデバイスを交換して比較検査する場合にも容易に同一条件で同時に比較検査を行うことができ、また、操作表示部に記憶された観察画像を基準画像とすることで、観察部が一つの場合でも、基準画像の観察条件を入力することで、同一の観察条件で観察対象のデバイスを比較検査することができるので、観察条件が変わるとそのデバイスの模様や色が大きく変化してしまうということもなく、同一の観察条件で観察することが可能な比較検査装置及び比較検査方法を提供する。
【０００９】
【発明が解決するための手段】
本発明の比較検査装置は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記観察部を備えた比較検査装置であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１０】
本発明の比較検査装置は、得観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記複数の観察部を備えた比較検査装置であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察する手段を備え、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１１】
本発明の比較検査装置は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備えた比較検査装置であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１２】
本発明の比較検査装置は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記複数の観察部を備えた比較検査装置であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察する手段を備え、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の比較検査装置は、前記操作表示部に、前記一つ又は複数の観察部の撮影系で撮影された比較検査状況にある観察画像を詳細に表示するためのモニタを設けている。
【００１４】
また、本発明の比較検査装置は、前記操作表示部に、比較検査状況にある静止画像及び／又は動画像を記録及び／又は再生するための記録装置から成る記憶部を設けている。
【００１５】
また、本発明の比較検査装置は、前記操作表示部に、前記比較検査状況にある画像を出力するためのプリンタを設けている。
【００１６】
また、本発明の比較検査装置は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に、試料台をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージにより傾斜した状態のデバイスを観察できるようにしている。
【００１７】
また、本発明の比較検査装置は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に載置されたデバイスを撮影する撮影系に、該撮影系をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージによりデバイスを傾斜した方向から観察できるようにしている。
【００１８】
また、本発明の比較検査装置における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスに、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きが現れるホログラムや回折格子等のＯＶＤを用いている。
【００１９】
また、本発明の比較検査装置における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスは、画線構成におけるインキの盛りあがり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又は傾斜することにより模様が変化するものである。
【００２０】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２１】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察し、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２２】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２３】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、
前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、
前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察すし、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２４】
また、本発明の比較検査方法は、前記操作表示部に、前記一つ又は複数の観察部の撮影系で撮影された比較検査状況にある観察画像を詳細に表示するためのモニタを設けている。
【００２５】
また、本発明の比較検査方法は、前記操作表示部に、比較検査状況にある静止画像及び／又は動画像を記録及び／又は再生するための記録装置から成る記憶部を設けている。
【００２６】
また、本発明の比較検査方法は、前記操作表示部に、比較検査状況にある静止画像及び／又は動画像を記録及び／又は再生するための記録装置から成る記憶部を設けている。
【００２７】
また、本発明の比較検査方法は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に、試料台をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージにより傾斜した状態のデバイスを観察できるようにしている。
【００２８】
また、本発明の比較検査方法は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に載置されたデバイスを撮影する撮影系に、該撮影系をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージによりデバイスを傾斜した方向から観察できるようにしている。
【００２９】
また、本発明の比較検査方法における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスに、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きなどが現れるホログラムや回折格子等のＯＶＤを用いている。
【００３０】
また、本発明の比較検査方法における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスは、画線構成におけるインキの盛りあがり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又は傾斜することにより模様が変化するものである。
【００３１】
【発明の実施の形態】
本発明において、「観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイス」とは、一般にＯＶＤと言われる、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きなどが現れるもので、例えば、ホログラム又は回折格子のようなもの、また、画線構成におけるインキの盛りあがり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又はデバイスを傾斜することにより模様が変化するものをいう。測定対象物としてはデバイスだけでも良いが、デバイスを基材に付与した物でも良い。その場合、基材としてはデバイスが付与できる材質なら基材の種類は問わない。
【００３２】
本発明の比較検査装置は、複数の観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスを、移動、回転、傾斜等をさせる試料系と、デバイスに照明の照射角度等を変化させて照明する照明系と、デバイスを撮影するカメラの角度等を変化させる撮影系とを備えた観察部を一つ又は複数備えて成り、前記観察部の観察条件をディスプレイ上に表示して、その観察条件になるように観察部を操作する操作表示部と、前記一つ又は複数の観察部の観察条件の座標による制御及び同期並びに前記複数のデバイスの観察画像の合成を行い、前記操作表示部のコンピュータとデータの送受信をする制御部とから構成されている。
【００３３】
複数のデバイスを比較検査する場合、一つ又は複数の観察部の試料台にデバイスを載置し、試料系のＸＹθステージを制御部により制御して、試料台をＸＹθ方向に移動及び／又は回転させながら照明系の傾斜ステージと照明装置とを制御部により制御して、前記デバイスに照明の照射角度を変化させて照明し、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で、前記デバイスを撮影系で撮影する。
【００３４】
前記一つ又は複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像は、前記観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有する操作表示部に観察画像と観察条件とが記憶される。
【００３５】
比較検査装置を上述したような構成とすることで、複数のデバイスの位置や向き、それを撮影する観察方向、照明の方向などの観察環境を等しくできるため、同一条件で同時に複数のデバイスの比較検査を行うことを可能とするもので、従来位置あわせが困難であった観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスの比較検査を簡単な方法で行うことを可能とする。
【００３６】
また、観察部が一つの場合には、操作表示部にあらかじめ記憶させてある観察画像を基準とするか、又は観察する複数のデバイスの一つを観察し、観察した画像を操作表示部に記憶させて基準画像とすることにより比較検査することができる。
【００３７】
以上のようにして、複数のデバイスの位置や向き、それを撮影する観察方向、照明の方向などの観察環境を等しくできるため、同一条件で同時に複数のデバイスの比較検査を行うことを可能とするもので、従来位置あわせが困難であった観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスの比較検査を簡単な方法で行うことを可能とする。
【００３８】
【実施例】
以下、本発明の比較検査装置を例示するとともに、本発明による比較検査方法を説明する。図２は、本発明による比較検査装置の構成の一実施例を示す図である。図に示すように、観察部４、制御部５、操作表示部６を有した構成であり、観察部を１つとした場合の例である。
【００３９】
図３は、本発明による比較検査装置の他の一実施例を示す図であり、観察部を２つとした場合の例であり、図に示すように、観察部(1)７、観察部(2)８、制御部９、操作表示部１０、記憶部１１、モニタ１２、プリンタ１３、動画記録装置１４を有した構成としたものである。
【００４０】
以下、図２、図３に示す本実施例の比較検査装置を用いて、本発明の観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを付与した印刷物を比較検査する比較検査方法の一実施例を、図７、図８、図９の各フローチャートを用いて詳細に説明する。
【００４１】
（実施例１） 本実施例は、図２に示す、観察部が一つの比較検査装置を用いて、基準となる画像が、（ａ）操作表示部６にあらかじめ記憶してある観察画像を基準とする、（ｂ）観察する複数の印刷物のうちの一つの印刷物を基準とする、２つの場合について、図７のフローチャート▲１▼を用いて説明する。
【００４２】
（ａ）の場合は、操作表示部６にあらかじめ記憶してある観察画像を基準とするので、まず、図２の観察部４の各ステージの初期化を行い（Ｓ１０）、操作表示部６に記録した画像の表示をし（Ｓ６０）、観察部４の試料台に印刷物を載置し（Ｓ７０）、前記（Ｓ６０）で記録した画像の座標の座標値を入力し（Ｓ８０）、操作表示部を観察しながら微調整を行い（Ｓ９０）、観察画像及び座標の記録を行い（Ｓ１００）、適切な画像であるか否か（Ｓ１１０）を確認し、適切な画像でない場合は（Ｓ９０）に戻り、操作をやり直す。適切な画像であった場合は、他の部分の撮影をするかしないか（Ｓ１２０）により、更に他の部分の撮影が必要な場合には（Ｓ６０）に戻り一連の操作を繰り返す。他の部分の撮影をしない場合は、次の観察対象印刷物と交換し（Ｓ１３０）、（Ｓ７０）に戻り測定を繰り返す。観察対象印刷物と交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４３】
（ｂ）の場合は、観察する複数の印刷物のうちの一つの印刷物を基準とするので、まず、図２の観察部４の各ステージの初期化を行い（Ｓ１０）、観察部４の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ２０）、操作表示部を観察しながら観察したい位置に移動し（Ｓ３０）、観察画像及びその時の座標を記録し（Ｓ４０）、適切な画像であるか否か（Ｓ５０）を確認し、適切な画像でない場合は（Ｓ３０）に戻り、操作をやり直す。適切な画像であった場合は、この時の観察画像及び座標を基準とする。この記録した画像の表示をし（Ｓ６０）、観察部４の試料台の印刷物を交換し（Ｓ７０）、前記（Ｓ５０）で記録した画像及び座標の座標値を入力し（Ｓ８０）、操作表示部を観察しながら微調整を行い（Ｓ９０）、観察画像及び座標の記録を行い（Ｓ１００）、適切な画像であるか否か（Ｓ１１０）を確認し、適切な画像でない場合は（Ｓ９０）に戻り、操作をやり直す。適切な画像であった場合は、他の部分の撮影をするかしないか（Ｓ１２０）により、更に他の部分の撮影が必要な場合には（Ｓ２０）に戻り一連の操作を繰り返す。他の部分の撮影をしない場合は、次の観察対象印刷物と交換し（Ｓ１３０）、（Ｓ７０）に戻り測定を繰り返す。観察対象印刷物と交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４４】
（実施例２） 本実施例は、図３の観察部が二つの比較検査装置を用いて、観察部の一方を基準とする場合について、図８のフローチャート▲２▼を用いて説明する。
【００４５】
図３の観察部(1)７及び観察部(2)８の各ステージの初期化を行い（Ｓ１１）、観察部(1)７の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ２１）、操作表示部を観察しながら観察したい位置に移動し（Ｓ３１）、次に、観察部(2)８の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ４１）、観察部(1)７の座標を観察部(2)８に入力し（Ｓ５１）、操作表示部を観察しながら微調整をし（Ｓ６１）、得られた観察画像及び座標を記録し（Ｓ７１）、適切な画像であるか否か（Ｓ８１）を確認し、適切でなかった場合は（Ｓ６１）に戻る。適切な画像であった場合は二つの観察部を同期制御させ他の観察場所に移動する（Ｓ９１）。操作表示部を観察しながら微調整し（Ｓ１０１）、観察画像及び座標を記録し（Ｓ１１１）、適切な画像であるか否か（Ｓ１２１）を確認し、適切な画像である場合は、他の部分の撮影をするかしないか（Ｓ１３１）、また、観察対象印刷物の交換をするかしないか（Ｓ１４１）を確認し、交換する場合は（Ｓ２１）に戻って一連の操作を繰り返して行い、交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４６】
（実施例３） 本実施例は、図３の観察部が二つの比較検査装置を用いて、操作表示部１０に記録された画像を基準とする場合について、図９のフローチャート▲３▼を用いて説明する。
【００４７】
図３の観察部(1)７及び観察部(2)８の各ステージの初期化を行い（Ｓ１２）、操作表示部に記録されている画像を表示する（Ｓ２２）。まず、観察部(1)７の試料台に観察対象印刷物を載置し（Ｓ３２）、次に観察部(2)８の試料台に別の観察対象印刷物を載置する（Ｓ４２）。操作表示部に記録されている画像及び座標の記録値を観察部(1)７及び観察部(2)８に入力し（Ｓ５２）、操作表示部を観察しながら微調整をし（Ｓ６２）、その時の観察画像及び座標の記録をし（Ｓ７２）、観察された画像が適切な画像であるか否か（Ｓ８２）を確認し、適性でない場合は（Ｓ６２）に戻り、適性であったら、更に他の部分を撮影するかしないか（Ｓ９２）により、撮影をする場合は、二つの観察部を同期制御して他の観察場所に移動し、（Ｓ６２）から同様の操作を行う。他の部分を撮影しない時は、別の観察対象印刷物の交換をするかしないか（Ｓ１０２）を確認し、交換する場合は（Ｓ３２）に戻って一連の操作を繰り返して行い、交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４８】
図４は、本発明の比較検査装置の観察部の詳細図であり、試料系、照明系及び撮影系全体の構成図（側面図）の一実施例である。図５は、前記図４の試料系及び撮影系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）であり、図６は、前記図４の照明系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。これらの図は各観察部に共通であるので、こられの図を用いてそれぞれの操作機能を説明しながら、実施例３をさらに詳しく説明する。
【００４９】
観察部(1)７及び観察部(2)８の各ステージを初期化し（Ｓ１２）、操作表示部に記録されている画像を表示する（Ｓ２２）。制御部９のステージコントローラ及び操作表示部１０のコンピュータにより制御される観察部(1)７及び観察部(2)８の試料系、照明系及び観察系のうち、試料系の構成は、試料台１６、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、θステージ１９、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１から成り、観察部(1)７の試料台１６に比較検査を行う印刷物を載せ（Ｓ３２）、次に観察部(2)８の試料台１６に別の比較検査を行う印刷物を載せる（Ｓ４２）。
【００５０】
操作表示部に記録された画像及び該画像の座標を観察部(1)７及び観察部(2)８に入力し（Ｓ５２）、観察部を操作するのであるが、ここで、観察部を構成する試料系、照明系、撮影系のそれぞれの機能をさらに詳しく説明する。試料系を構成する各ステージの関係を試料台１６の動作を中心に図を用いて説明する。図５の試料系の側面図（ｂ）で、Ｙステージ１７により、試料台１６は矢印のように紙面に対して水平移動する。図５の試料系の正面図（ａ）で、Ｘステージ１８により、Ｘステージ１８上に載置しているＹステージ１７を含む試料台１６は矢印のように紙面に対して水平移動し、θステージ１９により、θステージ１９上に載置しているＸステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６は、θステージ１９の中心を軸に回転し、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１上に載置しているＹ軸方向傾斜ステージ２０、θステージ１９、Ｘステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく印刷物を傾斜させて観察できる。
【００５１】
Ｙ軸方向傾斜ステージ２０についてもＸ軸方向傾斜ステージ２１と同様で、図５の試料系の側面図（ｂ）で、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０上に載置しているθステージ１９、Ｘステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく印刷物を傾斜させて観察できる。
【００５２】
照明系の構成は、照明方向が変えられる傾斜ステージ２４、照明２２、照明２２の光源２３から成り、各試料台の印刷物に照明を照射する。照明系の構成をさらに詳細に説明すると、図６の照明系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）に示すように、照明２２は、傾斜ステージ２４に取り付けられており、光ファイバにより光源２３と接続され光源が照明２２に送られる。照明２２の動作をさらに詳しく説明すると、図４で、傾斜ステージ２４は、照明２２が試料台の印刷物に照明を照射している照明の中心である点Ａを中心に、傾斜ステージ２４に取り付けられている照明２２を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分は照明との距離を保ったままとなり、明るさを変えることなく照射角度を変更させることができる。
【００５３】
撮影系の構成は、印刷物を斜めから撮影できるＹ軸方向傾斜ステージ２７、Ｘ軸方向傾斜ステージ２８に取り付けられたカメラ２６とカメラに取り付けられたズームレンズ２５から成り、ズームレンズ２５はレンズコントローラでコントロールし、また、カメラ２６はカメラコントローラでコントロールして印刷物を撮影する。
【００５４】
カメラ２６及びズームレンズ２５の動作をさらに詳細に説明すると、図５の撮影系の正面図（ａ）で、Ｙ軸方向傾斜ステージ２７、カメラ２６及びズームレンズ２５が取り付けられているＸ軸方向傾斜ステージ２８は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく傾斜させた方向から印刷物の観察ができる。
【００５５】
Ｙ軸方向傾斜ステージ２７についてもＸ軸方向傾斜ステージ２８と同様で、図５の撮影系の側面図（ｂ）で、カメラ２６及びズームレンズ２５が取り付けられているＹ軸方向傾斜ステージ２７は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく傾斜させた方向から印刷物の観察ができる。
【００５６】
以上の機能を適宜操作しながら、モニタを観察しながら微調整をし（Ｓ６２）、観察部(1)７及び観察部(2)８のそれぞれの観察画像及び座標の記録をする（Ｓ７２）。
【００５７】
観察部(1)７及び観察部(2)８で得られた画像は、操作表示部１０のスプリッタにより合成される。スプリッタは、観察部(1)７で撮影された画像のみ、観察部(2)８で撮影された画像のみ、観察部(1)７及び観察部(2)８で撮影された画像の縦又は横スプリット画像を任意に出力でき、モニタ１２及びコンピュータのモニタ上に表示する。
【００５８】
モニタ１２及びコンピュータのモニタ画像を観察しながら、コンピュータ上で各ステージの制御、カメラコントローラ、レンズコントローラで操作を行うことにより比較検査を行う。この際、観察部(1)７、観察部(2)８の各ステージを独立させて動作させることにより、２つの観察部のそれぞれの印刷物を観察する観察位置の位置合わせを行うことができ、モニタを確認して位置等に問題がなければ（Ｓ８２）、次に、観察部(1)７、観察部(2)８の各ステージを同期させて動作させることにより、それぞれの印刷物を同じ位置で変化する様子を観察することができる。
【００５９】
記憶部１１は、この比較検査をしている静止画及び動画の記録を行うことができ、また、静止画及び動画の再生も行えるため、比較検査の参考として用いることができる。
【００６０】
前記画像の記録（Ｓ７２）を確認し、問題がなければ（Ｓ８２）、印刷物の他の部分の測定がある場合にはその部分の撮影をし（Ｓ９２）、次に、別の比較観察する印刷物がある場合には印刷物を交換して（Ｓ１０２）、（Ｓ３２）に戻り同様の手順で比較観察をする。
【００６１】
プリンタ１３は、この比較検査をしている静止画を出力することができるため、動画再生やモニタの環境のないところでの資料として用いることができる。
【００６２】
以上、観察部が２つの場合を例に観察部の操作機能の詳細を説明してきたが、観察部が増設された場合も同様の手順で行うことができる。また、観察部の試料系のＸステージ、Ｙステージ、θステージ、Ｘ軸方向傾斜ステージ及びＹ軸方向傾斜ステージの重ね方、並びに撮影系のＸ軸方向傾斜ステージ及びＹ軸方向傾斜ステージの重ね方については、図５の試料系では、試料台１６の下から、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、θステージ１９、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１の順で、図５の撮影系では、カメラ２６が、Ｙ軸方向傾斜ステージ２７、Ｘ軸方向傾斜ステージ２８の順で取り付けられているが、比較検査する印刷物及び観察方法により重ね方を変更して観察することができる。例えば、試料台１６の下から、θステージ１９、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１という関係にすることにより、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心を変えて観察することが可能となる。
【００６３】
また、照明については、可視光だけではなく紫外光等の光源や、コヒーレント、非コヒーレント、コヒーレントな光源ではレンズを加えることにより平行光、拡散光等を用いることができ、比較検査する印刷物の種類により前記照明を組み合わせて観察することができる。例えば、回折格子を観察する場合、平行光としたレーザ光を用いることにより、一定の周波数や方向を持つ回折格子のみの観察ができる。
【００６４】
また、観察部の各ステージを同期して移動させている間の観察も比較検査として用いられるもので、移動させている状態の動画の記録、再生も同様に用いられる。
【００６５】
また、観察部試料系、照明系、撮影系は座標で制御されているので、観察する印刷物が１つの場合でも実施例１のようにして測定できるのはいうまでもない。
【００６６】
【発明の効果】
本発明の比較検査装置及び比較検査方法によって、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを観察する場合に、観察方向や照明方向等の調整、また、撮影時の条件や位置の微細なずれ、さらに、被検査物を交換した時に同条件で正確な位置を見つけ出す困難さ等が解消され、容易に同一条件で同時に比較検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の観察方法の実施例を示す概略説明図である。
【図２】本発明の比較検査装置の一実施例の概略説明図である。
【図３】本発明の比較検査装置の他の一実施例の概略説明図である。
【図４】本発明の比較検査装置の観察部（試料系、照明系、撮影系）の一実施例の概略説明図（側面図）である。図中の点Ａは、カメラ及びズームレンズの撮影中心であり、印刷物の表面に焦点を合わせたときの位置である。
【図５】本発明の比較検査装置の試料系及び撮影系の一実施例の概略説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図を示す。図中の点Ａは、カメラ及びズームレンズの撮影中心であり、印刷物の表面に焦点を合わせたときの位置である。
【図６】本発明の比較検査装置の照明系の一実施例の概略説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図を示す。
【図７】本発明の比較検査方法の一実施例（観察部が一つで記憶画像を基準）のフロー図である。
【図８】本発明の比較検査方法の一実施例（観察部が二つで観察部の一つを基準）のフロー図である。
【図９】本発明の比較検査方法の一実施例（観察部が二つで記憶画像を基準）のフロー図である。
【符号の説明】
１ 印刷物
２ カメラ
３ 照明
４、７、８ 観察部
５、９ 制御部
６、１０ 操作表示部
１１ 記憶部
１２ モニタ
１３ プリンタ
１６ 試料台
１７ Ｙステージ
１８ Ｘステージ
１９ θステージ
２０ Ｙ軸方向傾斜ステージ
２１ Ｘ軸方向傾斜ステージ
２２ 照明
２３ 光源
２４ 傾斜ステージ
２５ ズームレンズ
２６ カメラ
２７ Ｙ軸方向傾斜ステージ
２８ Ｘ軸方向傾斜ステージ
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に偽造防止用途として用いられている、各種印刷物、証明書類、有価証券類に付与されている、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイス同士を比較検査するために用いる比較検査装置及び比較検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、観察方向及び／又は照明方向により、図柄及び／又は色彩が変化するデバイスを検査及び／又は撮影を行うために観察する方法としては、図１に示すように、デバイスが付与された印刷物１を置き、印刷物１、照明３、カメラ２の位置合わせを行って撮影した後、印刷物１を交換し、同条件の位置出しを行い撮影するというのが一般的であり、それらの撮影された画像をモニタ表示やプリントアウト等を行い比較検査をしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
このような比較検査を行う場合、そのデバイスの位置や角度、照明の種類や角度、観察方向等の観察条件を合わせる必要があり、その条件が変わるとそのデバイスの模様や色が大きく変化してしまい、観察を行うことが困難であった。また、観察者はそのデバイスについての知識が少ないことが考えられるため、観察方向や照明方向の調整の方法についても熟練を要するものであった。このような方法でそれぞれ撮影した画像を比較検査する場合、撮影時の条件や位置の微細なずれ等が生じ、検査の判定を困難にしていた。
【０００４】
また、微細な領域を比較検査する場合があるが、１つめの印刷物を撮影し、次に２つめの印刷物を撮影しようとする際には、微細な領域を観察しているため１つめに観察した位置を見つけだすことや、観察条件を再現するのが非常に困難であった。
【０００５】
また、同条件で正確な位置での撮影が可能であった場合でも、検査を行う上で、もう少し移動や傾けた状態にしたいなどの、さらに異なる条件での撮影を行うことで、判定の参考にすることが考えられるが、その撮影も時間がかかってしまうため、迅速にあらゆる方向からの比較を行うことができる観察画像を得ることが困難であった。
【０００６】
また、このようなデバイスが付与されている印刷物の種類が多種にわたる場合、比較検査を行うため印刷物の位置や向き、それを撮影する観察方向、照明の方向などの観察環境を調整する必要があり、非常に時間がかかるという問題があった。
【０００７】
従って、このようなデバイス同士を比較検査する場合には、撮影に慣れたものが行うというのが現状で、不慣れな者が撮影を行った場合には、検査判定を行うための適した画像を得ることが困難になるという問題が生じていた。
【０００８】
本発明の目的は、観察方向や照明方向により図柄や色彩が変化する複数のデバイス又は該デバイスを付与した複数の印刷物を、同一の観察条件で観察することが可能な一つ又は複数の観察部で、前記複数のデバイスを交換して比較検査する場合にも容易に同一条件で同時に比較検査を行うことができ、また、操作表示部に記憶された観察画像を基準画像とすることで、観察部が一つの場合でも、基準画像の観察条件を入力することで、同一の観察条件で観察対象のデバイスを比較検査することができるので、観察条件が変わるとそのデバイスの模様や色が大きく変化してしまうということもなく、同一の観察条件で観察することが可能な比較検査装置及び比較検査方法を提供する。
【０００９】
【発明が解決するための手段】
本発明の比較検査装置は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記観察部を備えた比較検査装置であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１０】
本発明の比較検査装置は、得観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記複数の観察部を備えた比較検査装置であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察する手段を備え、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１１】
本発明の比較検査装置は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備えた比較検査装置であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１２】
本発明の比較検査装置は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記複数の観察部を備えた比較検査装置であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを備え、前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察する手段を備え、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する手段を備え、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００１３】
また、本発明の比較検査装置は、前記操作表示部に、前記一つ又は複数の観察部の撮影系で撮影された比較検査状況にある観察画像を詳細に表示するためのモニタを設けている。
【００１４】
また、本発明の比較検査装置は、前記操作表示部に、比較検査状況にある静止画像及び／又は動画像を記録及び／又は再生するための記録装置から成る記憶部を設けている。
【００１５】
また、本発明の比較検査装置は、前記操作表示部に、前記比較検査状況にある画像を出力するためのプリンタを設けている。
【００１６】
また、本発明の比較検査装置は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に、試料台をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージにより傾斜した状態のデバイスを観察できるようにしている。
【００１７】
また、本発明の比較検査装置は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に載置されたデバイスを撮影する撮影系に、該撮影系をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージによりデバイスを傾斜した方向から観察できるようにしている。
【００１８】
また、本発明の比較検査装置における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスに、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きが現れるホログラムや回折格子等のＯＶＤを用いている。
【００１９】
また、本発明の比較検査装置における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスは、画線構成におけるインキの盛りあがり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又は傾斜することにより模様が変化するものである。
【００２０】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２１】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察し、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２２】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、撮影された観察画像を前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、前記観察部を使用して、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２３】
本発明の比較検査方法は、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で前記デバイスをズームレンズとカメラにより撮影する撮影系とを有し、前記制御部は、
前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを有し、前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を調整するカメラコントローラと、画像をズームするズームコントローラと、前記撮影系からの観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、前記観察部が複数の観察部で使用する場合は、
前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像又は移動及び／又は回転した画像を観察すし、又は、前記複数のデバイスの中の一つを載置した前記観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部で記憶及び表示し、次に前記デバイスを交換し、はじめに観察した前記デバイスの座標を前記操作表示部で入力し、前記観察部を前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向が同一の条件で観察し、基準とする一方の基準デバイスの観察画像の観察条件と、他方の前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を同一に制御し、両者のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴としている。
【００２４】
また、本発明の比較検査方法は、前記操作表示部に、前記一つ又は複数の観察部の撮影系で撮影された比較検査状況にある観察画像を詳細に表示するためのモニタを設けている。
【００２５】
また、本発明の比較検査方法は、前記操作表示部に、比較検査状況にある静止画像及び／又は動画像を記録及び／又は再生するための記録装置から成る記憶部を設けている。
【００２６】
また、本発明の比較検査方法は、前記操作表示部に、比較検査状況にある静止画像及び／又は動画像を記録及び／又は再生するための記録装置から成る記憶部を設けている。
【００２７】
また、本発明の比較検査方法は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に、試料台をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージにより傾斜した状態のデバイスを観察できるようにしている。
【００２８】
また、本発明の比較検査方法は、前記一つ又は複数の観察部の試料系に載置されたデバイスを撮影する撮影系に、該撮影系をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージによりデバイスを傾斜した方向から観察できるようにしている。
【００２９】
また、本発明の比較検査方法における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスに、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きなどが現れるホログラムや回折格子等のＯＶＤを用いている。
【００３０】
また、本発明の比較検査方法における前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスは、画線構成におけるインキの盛りあがり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又は傾斜することにより模様が変化するものである。
【００３１】
【発明の実施の形態】
本発明において、「観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイス」とは、一般にＯＶＤと言われる、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きなどが現れるもので、例えば、ホログラム又は回折格子のようなもの、また、画線構成におけるインキの盛りあがり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又はデバイスを傾斜することにより模様が変化するものをいう。測定対象物としてはデバイスだけでも良いが、デバイスを基材に付与した物でも良い。その場合、基材としてはデバイスが付与できる材質なら基材の種類は問わない。
【００３２】
本発明の比較検査装置は、複数の観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスを、移動、回転、傾斜等をさせる試料系と、デバイスに照明の照射角度等を変化させて照明する照明系と、デバイスを撮影するカメラの角度等を変化させる撮影系とを備えた観察部を一つ又は複数備えて成り、前記観察部の観察条件をディスプレイ上に表示して、その観察条件になるように観察部を操作する操作表示部と、前記一つ又は複数の観察部の観察条件の座標による制御及び同期並びに前記複数のデバイスの観察画像の合成を行い、前記操作表示部のコンピュータとデータの送受信をする制御部とから構成されている。
【００３３】
複数のデバイスを比較検査する場合、一つ又は複数の観察部の試料台にデバイスを載置し、試料系のＸＹθステージを制御部により制御して、試料台をＸＹθ方向に移動及び／又は回転させながら照明系の傾斜ステージと照明装置とを制御部により制御して、前記デバイスに照明の照射角度を変化させて照明し、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照明方向で、前記デバイスを撮影系で撮影する。
【００３４】
前記一つ又は複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像は、前記観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有する操作表示部に観察画像と観察条件とが記憶される。
【００３５】
比較検査装置を上述したような構成とすることで、複数のデバイスの位置や向き、それを撮影する観察方向、照明の方向などの観察環境を等しくできるため、同一条件で同時に複数のデバイスの比較検査を行うことを可能とするもので、従来位置あわせが困難であった観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスの比較検査を簡単な方法で行うことを可能とする。
【００３６】
また、観察部が一つの場合には、操作表示部にあらかじめ記憶させてある観察画像を基準とするか、又は観察する複数のデバイスの一つを観察し、観察した画像を操作表示部に記憶させて基準画像とすることにより比較検査することができる。
【００３７】
以上のようにして、複数のデバイスの位置や向き、それを撮影する観察方向、照明の方向などの観察環境を等しくできるため、同一条件で同時に複数のデバイスの比較検査を行うことを可能とするもので、従来位置あわせが困難であった観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスの比較検査を簡単な方法で行うことを可能とする。
【００３８】
【実施例】
以下、本発明の比較検査装置を例示するとともに、本発明による比較検査方法を説明する。図２は、本発明による比較検査装置の構成の一実施例を示す図である。図に示すように、観察部４、制御部５、操作表示部６を有した構成であり、観察部を１つとした場合の例である。
【００３９】
図３は、本発明による比較検査装置の他の一実施例を示す図であり、観察部を２つとした場合の例であり、図に示すように、観察部(1)７、観察部(2)８、制御部９、操作表示部１０、記憶部１１、モニタ１２、プリンタ１３、動画記録装置１４を有した構成としたものである。
【００４０】
以下、図２、図３に示す本実施例の比較検査装置を用いて、本発明の観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを付与した印刷物を比較検査する比較検査方法の一実施例を、図７、図８、図９の各フローチャートを用いて詳細に説明する。
【００４１】
（実施例１） 本実施例は、図２に示す、観察部が一つの比較検査装置を用いて、基準となる画像が、（ａ）操作表示部６にあらかじめ記憶してある観察画像を基準とする、（ｂ）観察する複数の印刷物のうちの一つの印刷物を基準とする、２つの場合について、図７のフローチャート▲１▼を用いて説明する。
【００４２】
（ａ）の場合は、操作表示部６にあらかじめ記憶してある観察画像を基準とするので、まず、図２の観察部４の各ステージの初期化を行い（Ｓ１０）、操作表示部６に記録した画像の表示をし（Ｓ６０）、観察部４の試料台に印刷物を載置し（Ｓ７０）、前記（Ｓ６０）で記録した画像の座標の座標値を入力し（Ｓ８０）、操作表示部を観察しながら微調整を行い（Ｓ９０）、観察画像及び座標の記録を行い（Ｓ１００）、適切な画像であるか否か（Ｓ１１０）を確認し、適切な画像でない場合は（Ｓ９０）に戻り、操作をやり直す。適切な画像であった場合は、他の部分の撮影をするかしないか（Ｓ１２０）により、更に他の部分の撮影が必要な場合には（Ｓ６０）に戻り一連の操作を繰り返す。他の部分の撮影をしない場合は、次の観察対象印刷物と交換し（Ｓ１３０）、（Ｓ７０）に戻り測定を繰り返す。観察対象印刷物と交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４３】
（ｂ）の場合は、観察する複数の印刷物のうちの一つの印刷物を基準とするので、まず、図２の観察部４の各ステージの初期化を行い（Ｓ１０）、観察部４の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ２０）、操作表示部を観察しながら観察したい位置に移動し（Ｓ３０）、観察画像及びその時の座標を記録し（Ｓ４０）、適切な画像であるか否か（Ｓ５０）を確認し、適切な画像でない場合は（Ｓ３０）に戻り、操作をやり直す。適切な画像であった場合は、この時の観察画像及び座標を基準とする。この記録した画像の表示をし（Ｓ６０）、観察部４の試料台の印刷物を交換し（Ｓ７０）、前記（Ｓ５０）で記録した画像及び座標の座標値を入力し（Ｓ８０）、操作表示部を観察しながら微調整を行い（Ｓ９０）、観察画像及び座標の記録を行い（Ｓ１００）、適切な画像であるか否か（Ｓ１１０）を確認し、適切な画像でない場合は（Ｓ９０）に戻り、操作をやり直す。適切な画像であった場合は、他の部分の撮影をするかしないか（Ｓ１２０）により、更に他の部分の撮影が必要な場合には（Ｓ２０）に戻り一連の操作を繰り返す。他の部分の撮影をしない場合は、次の観察対象印刷物と交換し（Ｓ１３０）、（Ｓ７０）に戻り測定を繰り返す。観察対象印刷物と交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４４】
（実施例２） 本実施例は、図３の観察部が二つの比較検査装置を用いて、観察部の一方を基準とする場合について、図８のフローチャート▲２▼を用いて説明する。
【００４５】
図３の観察部(1)７及び観察部(2)８の各ステージの初期化を行い（Ｓ１１）、観察部(1)７の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ２１）、操作表示部を観察しながら観察したい位置に移動し（Ｓ３１）、次に、観察部(2)８の試料系の試料台に印刷物を載置し（Ｓ４１）、観察部(1)７の座標を観察部(2)８に入力し（Ｓ５１）、操作表示部を観察しながら微調整をし（Ｓ６１）、得られた観察画像及び座標を記録し（Ｓ７１）、適切な画像であるか否か（Ｓ８１）を確認し、適切でなかった場合は（Ｓ６１）に戻る。適切な画像であった場合は二つの観察部を同期制御させ他の観察場所に移動する（Ｓ９１）。操作表示部を観察しながら微調整し（Ｓ１０１）、観察画像及び座標を記録し（Ｓ１１１）、適切な画像であるか否か（Ｓ１２１）を確認し、適切な画像である場合は、他の部分の撮影をするかしないか（Ｓ１３１）、また、観察対象印刷物の交換をするかしないか（Ｓ１４１）を確認し、交換する場合は（Ｓ２１）に戻って一連の操作を繰り返して行い、交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４６】
（実施例３） 本実施例は、図３の観察部が二つの比較検査装置を用いて、操作表示部１０に記録された画像を基準とする場合について、図９のフローチャート▲３▼を用いて説明する。
【００４７】
図３の観察部(1)７及び観察部(2)８の各ステージの初期化を行い（Ｓ１２）、操作表示部に記録されている画像を表示する（Ｓ２２）。まず、観察部(1)７の試料台に観察対象印刷物を載置し（Ｓ３２）、次に観察部(2)８の試料台に別の観察対象印刷物を載置する（Ｓ４２）。操作表示部に記録されている画像及び座標の記録値を観察部(1)７及び観察部(2)８に入力し（Ｓ５２）、操作表示部を観察しながら微調整をし（Ｓ６２）、その時の観察画像及び座標の記録をし（Ｓ７２）、観察された画像が適切な画像であるか否か（Ｓ８２）を確認し、適性でない場合は（Ｓ６２）に戻り、適性であったら、更に他の部分を撮影するかしないか（Ｓ９２）により、撮影をする場合は、二つの観察部を同期制御して他の観察場所に移動し、（Ｓ６２）から同様の操作を行う。他の部分を撮影しない時は、別の観察対象印刷物の交換をするかしないか（Ｓ１０２）を確認し、交換する場合は（Ｓ３２）に戻って一連の操作を繰り返して行い、交換しない場合は一連の操作を終了する。
【００４８】
図４は、本発明の比較検査装置の観察部の詳細図であり、試料系、照明系及び撮影系全体の構成図（側面図）の一実施例である。図５は、前記図４の試料系及び撮影系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）であり、図６は、前記図４の照明系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）である。これらの図は各観察部に共通であるので、こられの図を用いてそれぞれの操作機能を説明しながら、実施例３をさらに詳しく説明する。
【００４９】
観察部(1)７及び観察部(2)８の各ステージを初期化し（Ｓ１２）、操作表示部に記録されている画像を表示する（Ｓ２２）。制御部９のステージコントローラ及び操作表示部１０のコンピュータにより制御される観察部(1)７及び観察部(2)８の試料系、照明系及び観察系のうち、試料系の構成は、試料台１６、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、θステージ１９、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１から成り、観察部(1)７の試料台１６に比較検査を行う印刷物を載せ（Ｓ３２）、次に観察部(2)８の試料台１６に別の比較検査を行う印刷物を載せる（Ｓ４２）。
【００５０】
操作表示部に記録された画像及び該画像の座標を観察部(1)７及び観察部(2)８に入力し（Ｓ５２）、観察部を操作するのであるが、ここで、観察部を構成する試料系、照明系、撮影系のそれぞれの機能をさらに詳しく説明する。試料系を構成する各ステージの関係を試料台１６の動作を中心に図を用いて説明する。図５の試料系の側面図（ｂ）で、Ｙステージ１７により、試料台１６は矢印のように紙面に対して水平移動する。図５の試料系の正面図（ａ）で、Ｘステージ１８により、Ｘステージ１８上に載置しているＹステージ１７を含む試料台１６は矢印のように紙面に対して水平移動し、θステージ１９により、θステージ１９上に載置しているＸステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６は、θステージ１９の中心を軸に回転し、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１上に載置しているＹ軸方向傾斜ステージ２０、θステージ１９、Ｘステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく印刷物を傾斜させて観察できる。
【００５１】
Ｙ軸方向傾斜ステージ２０についてもＸ軸方向傾斜ステージ２１と同様で、図５の試料系の側面図（ｂ）で、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０上に載置しているθステージ１９、Ｘステージ１８及びＹステージ１７を含む試料台１６を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく印刷物を傾斜させて観察できる。
【００５２】
照明系の構成は、照明方向が変えられる傾斜ステージ２４、照明２２、照明２２の光源２３から成り、各試料台の印刷物に照明を照射する。照明系の構成をさらに詳細に説明すると、図６の照明系の正面図（ａ）及び側面図（ｂ）に示すように、照明２２は、傾斜ステージ２４に取り付けられており、光ファイバにより光源２３と接続され光源が照明２２に送られる。照明２２の動作をさらに詳しく説明すると、図４で、傾斜ステージ２４は、照明２２が試料台の印刷物に照明を照射している照明の中心である点Ａを中心に、傾斜ステージ２４に取り付けられている照明２２を矢印のように移動させることにより、点Ａの部分は照明との距離を保ったままとなり、明るさを変えることなく照射角度を変更させることができる。
【００５３】
撮影系の構成は、印刷物を斜めから撮影できるＹ軸方向傾斜ステージ２７、Ｘ軸方向傾斜ステージ２８に取り付けられたカメラ２６とカメラに取り付けられたズームレンズ２５から成り、ズームレンズ２５はレンズコントローラでコントロールし、また、カメラ２６はカメラコントローラでコントロールして印刷物を撮影する。
【００５４】
カメラ２６及びズームレンズ２５の動作をさらに詳細に説明すると、図５の撮影系の正面図（ａ）で、Ｙ軸方向傾斜ステージ２７、カメラ２６及びズームレンズ２５が取り付けられているＸ軸方向傾斜ステージ２８は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく傾斜させた方向から印刷物の観察ができる。
【００５５】
Ｙ軸方向傾斜ステージ２７についてもＸ軸方向傾斜ステージ２８と同様で、図５の撮影系の側面図（ｂ）で、カメラ２６及びズームレンズ２５が取り付けられているＹ軸方向傾斜ステージ２７は、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心であり、焦点を合わせている点Ａを中心に矢印のように移動させることにより、点Ａの部分はカメラ２６及びズームレンズ２５との距離を保ったままとなり、焦点調整することなく傾斜させた方向から印刷物の観察ができる。
【００５６】
以上の機能を適宜操作しながら、モニタを観察しながら微調整をし（Ｓ６２）、観察部(1)７及び観察部(2)８のそれぞれの観察画像及び座標の記録をする（Ｓ７２）。
【００５７】
観察部(1)７及び観察部(2)８で得られた画像は、操作表示部１０のスプリッタにより合成される。スプリッタは、観察部(1)７で撮影された画像のみ、観察部(2)８で撮影された画像のみ、観察部(1)７及び観察部(2)８で撮影された画像の縦又は横スプリット画像を任意に出力でき、モニタ１２及びコンピュータのモニタ上に表示する。
【００５８】
モニタ１２及びコンピュータのモニタ画像を観察しながら、コンピュータ上で各ステージの制御、カメラコントローラ、レンズコントローラで操作を行うことにより比較検査を行う。この際、観察部(1)７、観察部(2)８の各ステージを独立させて動作させることにより、２つの観察部のそれぞれの印刷物を観察する観察位置の位置合わせを行うことができ、モニタを確認して位置等に問題がなければ（Ｓ８２）、次に、観察部(1)７、観察部(2)８の各ステージを同期させて動作させることにより、それぞれの印刷物を同じ位置で変化する様子を観察することができる。
【００５９】
記憶部１１は、この比較検査をしている静止画及び動画の記録を行うことができ、また、静止画及び動画の再生も行えるため、比較検査の参考として用いることができる。
【００６０】
前記画像の記録（Ｓ７２）を確認し、問題がなければ（Ｓ８２）、印刷物の他の部分の測定がある場合にはその部分の撮影をし（Ｓ９２）、次に、別の比較観察する印刷物がある場合には印刷物を交換して（Ｓ１０２）、（Ｓ３２）に戻り同様の手順で比較観察をする。
【００６１】
プリンタ１３は、この比較検査をしている静止画を出力することができるため、動画再生やモニタの環境のないところでの資料として用いることができる。
【００６２】
以上、観察部が２つの場合を例に観察部の操作機能の詳細を説明してきたが、観察部が増設された場合も同様の手順で行うことができる。また、観察部の試料系のＸステージ、Ｙステージ、θステージ、Ｘ軸方向傾斜ステージ及びＹ軸方向傾斜ステージの重ね方、並びに撮影系のＸ軸方向傾斜ステージ及びＹ軸方向傾斜ステージの重ね方については、図５の試料系では、試料台１６の下から、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、θステージ１９、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１の順で、図５の撮影系では、カメラ２６が、Ｙ軸方向傾斜ステージ２７、Ｘ軸方向傾斜ステージ２８の順で取り付けられているが、比較検査する印刷物及び観察方法により重ね方を変更して観察することができる。例えば、試料台１６の下から、θステージ１９、Ｙステージ１７、Ｘステージ１８、Ｙ軸方向傾斜ステージ２０、Ｘ軸方向傾斜ステージ２１という関係にすることにより、カメラ２６及びズームレンズ２５の撮影中心を変えて観察することが可能となる。
【００６３】
また、照明については、可視光だけではなく紫外光等の光源や、コヒーレント、非コヒーレント、コヒーレントな光源ではレンズを加えることにより平行光、拡散光等を用いることができ、比較検査する印刷物の種類により前記照明を組み合わせて観察することができる。例えば、回折格子を観察する場合、平行光としたレーザ光を用いることにより、一定の周波数や方向を持つ回折格子のみの観察ができる。
【００６４】
また、観察部の各ステージを同期して移動させている間の観察も比較検査として用いられるもので、移動させている状態の動画の記録、再生も同様に用いられる。
【００６５】
また、観察部試料系、照明系、撮影系は座標で制御されているので、観察する印刷物が１つの場合でも実施例１のようにして測定できるのはいうまでもない。
【００６６】
【発明の効果】
本発明の比較検査装置及び比較検査方法によって、観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを観察する場合に、観察方向や照明方向等の調整、また、撮影時の条件や位置の微細なずれ、さらに、被検査物を交換した時に同条件で正確な位置を見つけ出す困難さ等が解消され、容易に同一条件で同時に比較検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の観察方法の実施例を示す概略説明図である。
【図２】本発明の比較検査装置の一実施例の概略説明図である。
【図３】本発明の比較検査装置の他の一実施例の概略説明図である。
【図４】本発明の比較検査装置の観察部（試料系、照明系、撮影系）の一実施例の概略説明図（側面図）である。図中の点Ａは、カメラ及びズームレンズの撮影中心であり、印刷物の表面に焦点を合わせたときの位置である。
【図５】本発明の比較検査装置の試料系及び撮影系の一実施例の概略説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図を示す。図中の点Ａは、カメラ及びズームレンズの撮影中心であり、印刷物の表面に焦点を合わせたときの位置である。
【図６】本発明の比較検査装置の照明系の一実施例の概略説明図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図を示す。
【図７】本発明の比較検査方法の一実施例（観察部が一つで記憶画像を基準）のフロー図である。
【図８】本発明の比較検査方法の一実施例（観察部が二つで観察部の一つを基準）のフロー図である。
【図９】本発明の比較検査方法の一実施例（観察部が二つで記憶画像を基準）のフロー図である。
【符号の説明】
１ 印刷物
２ カメラ
３ 照明
４、７、８ 観察部
５、９ 制御部
６、１０ 操作表示部
１１ 記憶部
１２ モニタ
１３ プリンタ
１６ 試料台
１７ Ｙステージ
１８ Ｘステージ
１９ θステージ
２０ Ｙ軸方向傾斜ステージ
２１ Ｘ軸方向傾斜ステージ
２２ 照明
２３ 光源
２４ 傾斜ステージ
２５ ズームレンズ
２６ カメラ
２７ Ｙ軸方向傾斜ステージ
２８ Ｘ軸方向傾斜ステージ
Claims (8)
- 観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記観察部を備えた比較検査装置であって、
前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照射方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、
前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを備え、
前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記観察部が一つの場合は、操作表示部にあらかじめ記憶させてある観察画像を基準画像とし、又は観察する複数のデバイスの中の一つを観察し、観察した画像を操作表示部に記憶させて基準画像として前記操作表示部に記憶させた基準画像の観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部に表示し、前記観察部の試料台に載置した前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を、前記操作表示部の基準画像の観察条件と同一に制御し、前記操作表示部の基準画像と観察するデバイスを載置した観察部の試料台を同時に移動及び／又は回転している画像を観察し、前記観察画像の図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴とする比較検査装置。 - 観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する前記複数の観察部を備えた比較検査装置であって、
前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び／又は照明系の照射方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを備え、
前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを備え、
前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを備え、
前記観察部が複数の観察部の場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像を観察する手段を備え、又は、前記複数の観察部の一つに前記複数のデバイスの中の一つを載置し、前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を基準画像として前記操作表示部で記憶及び表示し、前記複数の観察部の試料台にそれぞれデバイスを載置し、前記操作表示部に 表示された基準画像の観察条件と同一に制御し、前記複数のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴とする比較検査装置。 - 前記一つ又は複数の観察部の試料系に、試料台をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージにより傾斜した状態のデバイスを観察できるようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載の比較検査装置。
- 前記一つ又は複数の観察部の試料系に載置されたデバイスを撮影する撮影系に、該撮影系をＸ方向及び／又はＹ方向に傾斜することができる傾斜ステージを加え、該傾斜ステージによりデバイスを傾斜した方向から観察できるようにしたことを特徴とする請求項１、２又は３記載の比較検査装置。
- 前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化するデバイスが、表面が、観察する角度、照明方向又は種類によって色や模様が変化したり、模様に動きが現れるホログラムや回折格子等のＯＶＤであることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の比較検査装置。
- 前記観察方向及び／又は照明方向により図柄及び/又は色彩が変化するデバイスが、画線構成におけるインキの盛りあがり、すき入れ又はエンボスによる凹凸により、観察方向及び／又は傾斜することにより模様が変化するものであることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の比較検査装置。
- 観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、観察部の試料台に載置し、前記観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、
前記観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び/又は照明系の照射方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを有し、
前記制御部は、前記観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するステージコントローラを有し、
前記操作表示部は、前記観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、
前記観察部が一つの場合は、操作表示部にあらかじめ記憶させてある観察画像を基準画像とし、又は観察する複数のデバイスの一つを観察し、観察した画像を操作表示部に記憶させて基準画像とし、前記操作表示部に記憶させた基準画像の観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を前記操作表示部に表示し、前記観察部に載置した前記少なくとも一つのデバイスの観察画像の観察条件を、前記操作表示部の基準画像の観察条件と同一に制御し、前記操作表示部の基準画像と観察するデバイスの観察画像の図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴とする比較検査方法。 - 観察方向及び／又は照明方向により図柄及び／又は色彩が変化する複数のデバイスを、複数の観察部で構成されている試料台にそれぞれ載置し、前記複数の観察部を制御部により制御し、操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスの観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を同一の条件で観察する比較検査方法であって、
前記複数の観察部は、前記デバイスを載置する試料台を移動及び／又は回転させるため、前記制御部により制御されるＸＹθ方向に移動可能なＸＹθステージを備えた試料系と、前記デバイスに照明の照射角度を変化させ照明するため、前記制御部により制御される照明の照射角度が制御可能な傾斜ステージと照明装置とを備えた照明系と、前記制御部による制御で確定した試料系の位置及び/又は照明系の照射方向で前記デバイスを撮影する撮影系とを有し、
前記制御部は、前記複数の観察部の試料系を構成しているＸＹθステージ及び前記複数の観察部の照明系を構成している傾斜ステージを座標軸で制御するそれぞれのステージコントローラを有し、
前記操作表示部は、前記複数の観察部の撮影系で撮影された観察画像を合成するスプリッタと、前記スプリッタからの観察画像の表示及び前記制御部のそれぞれのステージコントローラに信号の送受信をするコンピュータとを有し、
前記観察部が複数の観察部の場合は、前記複数の観察部の試料台にそれぞれ前記デバイスを載置し、前記複数の観察部を前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び／又は表示することで、前記複数のデバイスを観察位置、照明位置及び照明方向が同一の条件でそれぞれの試料台が同時に移動及び／又は回転している画像を観察し、又は前記複数の観察部の一つに前記複数のデバイスの中の一つを載置し、前記制御部により制御し、前記操作表示部で操作及び/又は表示し、その観察位置、観察方向、照明位置及び照明方向を座標で表した条件並びに観察画像を基準画像として前記操作表示部で記憶及び表示し、前記複数の観察部の試料台にそれぞれデバイスを載置し、前記操作表示部に表示された基準画像の観察条件と同一に制御し、前記複数のデバイスの図柄及び／又は色彩の変化をディスプレイ上に合成、表示して比較検査を行うことを特徴とする比較検査方法。
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