JP3716249B2 - 加熱装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば半導体基板等を加熱するためのヒータプレートとシース熱電対を備えた加熱装置と、その製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば半導体の製造プロセスにおいて、半導体基板を加熱するためにプロセスチャンバが使用されている(例えば下記特許文献1参照)。プロセスチャンバの内部にヒータプレートが収容されている。このヒータプレートには抵抗発熱体が内蔵され、抵抗発熱体の電流制御を行なうためにヒータプレートの温度が測定される。
【0003】
ヒータプレートの温度を測定するための温度測定器は、プロセスチャンバ内に印加される高周波やプラズマ等による電気信号上の影響を受けないことが望まれる。また、温度測定器の測温部や電気絶縁物がプロセスチャンバ内に導入されるガス等と反応すると、腐食やコンタミネーション(汚染物)の原因となるため、測温部や電気絶縁物がガスと反応することも避けなければならない。
【0004】
このような要求を満たす温度測定器として、シース熱電対が適している。従来のシース熱電対は、例えばNi合金であるインコネルやステンレス鋼からなる金属管(シース)の内部に、測温部が収容されている。
【0005】
シース熱電対をヒータプレートに取付ける手段として、例えば、シース熱電対に連結用の部材を取付け、シースの先端部をヒータプレートのシース取付穴に挿入しシースの先端部をヒータプレートに接触させた状態で、ねじ部材あるいは溶接によって前記連結用の部材を介してヒータプレートに固定することが行なわれている。
【0006】
あるいは、下記特許文献2に記載されているように、シース先端をヒータプレート等の金属体の測温部に溶接する方法も提案されている。
【0007】
【特許文献1】
特開平6−260687号公報
【0008】
【特許文献1】
特開平11−281498号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
シース熱電対のシースには、材料の強度、耐食性、耐久性などの観点から、インコネルあるいはステンレス鋼などが用いられている。しかしこれらの材料は、アルミニウム製のヒータプレートとの間に無視することができない熱膨張差がある。
【0010】
プロセスチャンバ内で半導体基板を処理する工程では、加熱と冷却が繰返し行なわれる。このためヒータプレートとシース熱電対との間に熱膨張差があると、常温ではヒータプレートとシース熱電対とが隙間無く接触していても、半導体基板の処理中の熱により、ヒータプレートとシース熱電対との間に隙間が生じてしまう。
【0011】
しかもプロセスチャンバ内では、半導体基板の処理に伴い、雰囲気ガスや真空度が繰返し変化することがある。このためヒータプレートとシース熱電対との間に隙間が存在すると、ヒータプレートとシース熱電対との間の熱伝達媒体の物性変化が生じることにより、熱電対による温度測定の結果に影響が生じるおそれがある。
【0012】
シース熱電対はシースの側面からシース内部の測温部(測温接点)への伝熱も測定結果に影響を及ぼす。このため、前記特許文献2のようにシース先端をヒータプレート等の金属体に溶接する場合でも、シースの側面とヒータプレートとの間に隙間が存在すると、熱伝達媒体の物性変化が生じることにより、熱電対による温度測定結果に悪影響がでる。
【0013】
前記熱膨張差によってヒータプレートとシース熱電対との間に生じる隙間は、温度が上がれば上がるほど大きくなる。プロセスチャンバ内に導入されるガスはヒータプレートとシース熱電対との間の熱伝達媒体となるが、隙間の大きさによって熱伝達のレスポンスが影響されるため、温度によってレスポンスが変化することになり、好ましくない。
【0014】
さらに、ヒータプレートとシース熱電対との間に隙間があると、プロセスチャンバに真空度の変化が生じたときに熱伝達の度合いが著しく変化する。あるいは熱伝達媒体を失って真空断熱のような状態になることから、温度測定のレスポンスに大きな影響を及ぼし、温度測定の精度が悪化するという問題もある。
【0015】
従ってこの発明の目的は、温度測定の精度が向上する加熱装置と、その製造方法を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の加熱装置は、内部に発熱体を備えたアルミニウム製のヒータプレートと、前記ヒータプレートの温度を測定するための測温部および該測温部を覆うシースを有しかつ先端部が閉じているシース熱電対とを有し、前記シースがアルミニウム製であり、該シースの先端部が前記ヒータプレートに形成されたシース取付穴に挿入されかつ前記ヒータプレートにろう付けされる加熱装置であって、前記シースの先端部に、端面が平坦に機械加工された端壁を有し、前記ヒータプレートは、その厚み方向に接合される第1プレート部材と第2プレート部材とを含み、前記第1プレート部材に前記シース取付穴が形成され、前記シースの先端部が前記シース取付穴に挿入され、かつ、前記シースの先端部の前記端面と前記第2プレート部材が互いにろう付けされていることを特徴とする。この明細書で言うアルミニウムとは、純粋なアルミニウムと、アルミニウム合金とを含む概念である。
【0018】
この発明の好ましい形態では、前記シースの先端部の側面と前記シース取付穴の内面とがろう付けされている。
【0019】
本発明の加熱装置の製造方法は、前記第1プレート部材にシース取付穴を形成し、該シース取付穴に挿入された前記シースの先端部と前記第1プレート部材とを前記シースの先端部外周の溶接部において溶接し、前記第1プレート部材の前記第2プレート部材に対する接合面を前記溶接部および前記シースの先端部の端面とともに機械加工によって平坦に仕上げたのち、前記第1プレート部材と第2プレート部材を重ねてろう付けするとともに、前記シースの先端部の端面を前記第2プレート部材にろう付けすることを特徴とする。
【0020】
この発明において、前記第1プレート部材と第2プレート部材をろう付けする際に、前記シースの先端部の側面と前記シース取付穴の内面をろう付けするとよい。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の第1の実施形態について、図1〜図3を参照して説明する。
図1に、半導体製造プロセスに用いるプロセスチャンバ10が示されている。プロセスチャンバ10の内部に、加熱装置11が収容されている。
【0022】
加熱装置11は、抵抗発熱体12を内蔵したヒータプレート13と、抵抗発熱体12の発熱量をコントロールするためのシース熱電対14を備えている。発熱体の一例である抵抗発熱体12は、ヒータプレート13に形成された溝15に収容されている。
【0023】
ヒータプレート13上に、例えば半導体基板等の被加熱物(ワーク)Wが載置される。プロセスチャンバ10の内部空間の温度、雰囲気、真空度等は、被加熱物Wの処理に応じてコントローラ(図示せず)によって制御される。
【0024】
円板形のヒータプレート13は、互いに厚み方向に積層されるアルミニウム製の第1プレート部材21と、第2プレート部材22とを含んでいる。ここで言うアルミニウムはアルミニウム合金も含む概念である。これらプレート部材21,22は、互いにろう付けによって接合されている。
【0025】
図2に示すようにシース熱電対14は、先端が閉じたアルミニウム製の円筒状のシース25と、シース25の先端部26付近の内側に収容された測温部として機能する測温接点27と、測温接点27に接続されたリード線28などを備えている。
【0026】
シース25の先端部26は、端壁30によって閉塞されている。この端壁30は、後述する機械加工を行なう際の削り代ΔT(図3に示す)を確保するに足る肉厚を有している。シース25の先端部26の端面26aは、旋盤等の機械加工によって平坦な形状に加工されている。
【0027】
図2に示すようにシース熱電対14の先端部すなわちシース25の先端部26は、第1プレート部材21に形成されたシース取付穴40に挿入されている。シース25の先端部26の端面26aの外周部と第1プレート部材21とが電子ビーム溶接等によって溶接され、溶接部41が形成されている。
【0028】
また、シース25の先端部26の端面26aが、ろう材45によって第2プレート部材22にろう付け接合されている。シース25の先端部26の側面(外周面)26bとシース取付穴40の内面との間も、ろう材46によって互いに接合されている。
【0029】
アルミニウム製のシース25は、インコネルやステンレス鋼と比較して熱伝導性が良く、しかもアルミニウム製ヒータプレート13との間に熱膨張差が無いため、ヒータプレート13の温度測定のレスポンスが優れている。また、被加熱物Wを加熱する際に、ヒータプレート13とシース25との間に熱膨張差による隙間が生じない。このことにより、ヒータプレート13とシース熱電対14との間の熱伝達が外部環境の変化に影響されにくくなり、温度測定のレスポンスに及ぼす影響を小さくできるという利点がある。
【0030】
シース25の先端部26を閉じている端壁30はヒータプレート13と同じ材質(アルミニウム)であり、しかも溶接とろう付けによってヒータプレート13と金属的に一体化しているため、端壁30の熱容量が従来のシース熱電対よりも大きくても、温度測定のレスポンスに悪影響を与えることがない。
【0031】
旋盤等の機械加工によってシース25の先端部26の端面26aを平坦に仕上げれば、シース25の先端部26の周囲とヒートプレート13との間の隙間を実質的に無くすことができる。
【0032】
シース25の外径は、シース熱電対14の絶縁抵抗を充分に確保し、かつ、製造上および使用上の耐久性も勘案して、φ5mm以上とする。但し、シース25の外径が大きくなり過ぎると温度測定のレスポンスに悪影響を与えるため、シース25の外径はφ12mm以下とする。
【0033】
次に、前記加熱装置11の製造方法について説明する。
第1プレート部材21と第2プレート部材22とを重ねる前に、第1プレート部材21の所定位置に機械加工によってシース取付穴40を形成する。第2プレート部材22には、抵抗発熱体12を収容するための溝15が形成される。
【0034】
図3に示すようにシース25の先端部26をシース取付穴40に挿入し、シース25の端面26aの外周部と第1プレート部材21とを電子ビーム溶接等によって溶接することにより、端面26aの周りに環状の溶接部41を形成する。
【0035】
第1プレート部材21の上面すなわち第2プレート部材22との接合面21aを、旋盤等の機械加工によって、溶接部41およびシース25の端面26aと共に平坦に仕上げる。図3にその削り代ΔTが示されている。
【0036】
この実施形態のように、シース25の先端部26を第1プレート部材21に溶接し、その溶接部41を含むプレート部材21,22どうしの接合面21aを平坦に機械加工することにより、シース25の端面26aとヒータプレート13との間の隙間を最小限にすることができる。
【0037】
第1プレート部材21の接合面21aとシース25の端面26aを平坦に機械加工したのち、第1プレート部材21に第2プレート部材22を重ねる。このとき、第1プレート部材21と第2プレート部材22との間に、ろう材45を設ける。シース25の端面26aと第2プレート部材22との間にも、ろう材45を設ける。また、シース25の側面26bとシース取付穴40の内面との間にろう材46を設ける。
【0038】
ろう材45,46が溶融する温度にプレート部材21,22を加熱したのち、冷却することにより、プレート部材21,22が互いにろう付けされ、かつ、シース25の端面26aと第2プレート部材22がろう付けされる。さらに、シース25の側面26bとシース取付穴40の内面との間もろう付けされる。
【0039】
このように、ヒータプレート13のシース取付穴40にシース25の先端部26を挿入し、両者を互いにろう付けすることにより、ヒータプレート13とシース25が一体化して金属の一体物となるため、ヒータプレート13の温度測定のレスポンスが向上する。また、第1プレート部材21と第2プレート部材22とをろう付けする際に、シース25の先端部26とヒータプレート13とのろう付けを同時に行なうことができる。
【0040】
この実施形態の場合、シース25の端面26aだけでなく、シース25の側面26bとシース取付穴40の内面もろう付けされる。このため、ヒータプレート13からシース25内の測温接点27への熱伝達経路が外部環境の変化に左右されなくなり、外部環境が温度測定のレスポンスに及ぼす影響をさらに小さくすることができる。
【0041】
なお、シース25の先端部26をプレート部材21,22の双方に溶接してもよいし、シース25の先端部26をプレート部材21,22のいずれか一方に溶接あるいはろう付けしてもよい。
【0042】
図4と図5は本発明の第2の実施形態の加熱装置50を示している。この加熱装置50は、前記第1の実施形態の加熱装置11と同様にプロセスチャンバに収容される。この加熱装置50において、前記加熱装置11と共通の部位には両者に共通の符号を付して説明を省略し、異なる点について以下に説明する。
【0043】
この加熱装置50は、円筒形の中空の支持構造物51を有している。支持構造物51の内側に、抵抗発熱体12の一部12aとシース熱電対14の一部14aが挿通されている。支持構造物51の内部空間は、半導体基板の処理中に例えば真空雰囲気となる。
【0044】
ヒータプレート13は、第1プレート部材21と、第2プレート部材22と、第3プレート部材55とを含んでいる。各プレート部材21,22,55は、第1の実施形態と同様にアルミニウム製である。ここで言うアルミニウムも、アルミニウム合金を含む概念である。プレート部材21,22,55は互いに厚み方向に積層され、ろう付けされる。
【0045】
シース熱電対14は、第1の実施形態と同様に、アルミニウム製のシース25と、シース25の内部に収容された測温部などを備えている。第2プレート部材22に、抵抗発熱体12を収容するための溝15が形成されている。第1プレート部材21と第2プレート部材22に、シース取付穴40が形成されている。
【0046】
シース25の先端部26がシース取付穴40に挿入されている。シース25の先端部26の端面26aの外周部が第2プレート部材22に溶接されることにより、端面26aの周りに溶接部41が形成されている。
【0047】
第2プレート部材22の上面すなわち第3プレート部材55との接合面22aは、溶接部41とシース25の端面26aを含めて、旋盤等の機械加工によって平坦に仕上げられている。そしてシース25の端面26aが第3プレート部材55にろう付けされている。この場合も、シース25の側面26bとシース取付穴40の内面がろう付けされるとよい。
【0048】
この実施形態の加熱装置50は、第1の実施形態の加熱装置11と同様に、シース取付穴40に挿入されたシース25の先端部26とヒータプレート13が、ろう付けによって溶接部41と一体化している。このためヒータプレート13からシース熱電対14の測温部への熱伝達の経路が外部環境の変化に左右されず、レスポンスが向上する。
【0049】
【発明の効果】
請求項1に記載した発明によれば、アルミニウム製のヒータプレートと、ヒータプレートの温度を測定するためのシース熱電対とを備えた加熱装置において、温度測定の精度を高めることができる。また、シースの先端部がヒータプレートにろう付けされることにより、ヒータプレートとシースとの熱伝達経路が外部環境の影響を受けにくくなり、温度測定の精度とレスポンスが改善される。しかも本発明によれば、互いに積層される第1プレート部材と第2プレート部材とを有するヒータプレートにおいて、シースの先端部とヒータプレートが一体化され、外部環境の影響を受けにくい熱伝達経路が確保される。
【0052】
請求項2に記載した発明によれば、シースの先端部の側面とヒータプレートとがろう付けされることによって、外部環境の影響をさらに受けにくくなり、温度測定の精度とレスポンスが向上する。
【0053】
請求項3に記載した製造方法によれば、本発明の目的にかなう加熱装置を製造することができる。
請求項4に記載した発明によれば、第1プレート部材と第2プレート部材とをろう付けする際に、シースの先端部とヒータプレートとのろう付けを行なうことができるため、製造工程が簡略化する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施形態を示す加熱装置を備えたプロセスチャンバの断面図。
【図2】 図1に示された加熱装置の一部を拡大して示す断面図。
【図3】 図2に示されたヒータプレートとシースの端面を機械加工する前の状態を示す断面図。
【図4】 本発明の第2の実施形態を示す加熱装置の平面図。
【図5】 図4中のV−V線に沿う加熱装置の断面図。
【符号の説明】
11…加熱装置
12…抵抗発熱体
13…ヒータプレート
14…シース熱伝対
21…第1プレート部材
22…第2プレート部材
25…シース
26…先端部
26a…端面
26b…側面
30…端壁
40…シース取付穴
41…溶接部
50…加熱装置
Claims (4)
- 内部に発熱体を備えたアルミニウム製のヒータプレートと、
前記ヒータプレートの温度を測定するための測温部および該測温部を覆うシースを有しかつ先端部が閉じているシース熱電対とを有し、
前記シースがアルミニウム製であり、
該シースの先端部が前記ヒータプレートに形成されたシース取付穴に挿入されかつ前記ヒータプレートにろう付けされる加熱装置であって、
前記シースの先端部に、端面が平坦に機械加工された端壁を有し、
前記ヒータプレートは、その厚み方向に接合される第1プレート部材と第2プレート部材とを含み、前記第1プレート部材に前記シース取付穴が形成され、前記シースの先端部が前記シース取付穴に挿入され、かつ、前記シースの先端部の前記端面と前記第2プレート部材が互いにろう付けされていることを特徴とする加熱装置。 - 前記シースの先端部の側面と前記シース取付穴の内面とがろう付けされていることを特徴とする請求項1に記載の加熱装置。
- 厚み方向に積層される第1プレート部材および第2プレート部材を含むアルミニウム製のヒータプレートと、
先端部が閉じているアルミニウム製のシースを有するシース熱電対と、
を具備する加熱装置、の製造方法において、
前記第1プレート部材にシース取付穴を形成し、
該シース取付穴に挿入された前記シースの先端部と前記第1プレート部材とを前記シースの先端部外周の溶接部において溶接し、
前記第1プレート部材の前記第2プレート部材に対する接合面を前記溶接部および前記シースの先端部の端面とともに機械加工によって平坦に仕上げたのち、
前記第1プレート部材と第2プレート部材を重ねてろう付けするとともに、
前記シースの先端部の端面を前記第2プレート部材にろう付けすることを特徴とする加熱装置の製造方法。 - 前記第1プレート部材と第2プレート部材をろう付けする際に、前記シースの先端部の側面と前記シース取付穴の内面をろう付けすることを特徴とする請求項3に記載の加熱装置の製造方法。
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