JP3715528B2 - Ｘ線異物検出装置及び該装置における被検査物の移動停止検出方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば生肉、魚、加工食品、医薬などの各品種の被検査物に対し、Ｘ線を曝射したときのＸ線の透過量から被検査物中の異物を検出するＸ線異物検出装置に関し、特に被検査物の移動状態を正確に検出できるＸ線異物検出装置及び該装置における被検査物の移動停止検出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
Ｘ線異物検出装置は、搬送ライン上を順次搬送されてくる各品種の被検査物（生肉、魚、加工食品、医薬など）にＸ線を曝射し、この曝射したＸ線の透過量から被検査物中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入しているか否かを検出する装置である。
【０００３】
図５はこの種の従来のＸ線異物検出装置を示す斜視図である。図示のようにコンベア５０上を被検査物Ｗが搬送されて行く途中位置にＸ線発生器５１と、Ｘ線検出器５２が対向配置される。Ｘ線発生器５１は搬送中の被検査物ＷにＸ線を曝射し、Ｘ線検出器５２は被検査物Ｗを透過したＸ線の透過量に応じた電気信号を出力する。図示しない処理手段はこのＸ線の透過量に基づき、異物の混入の有無を判断する。
【０００４】
また、コンベア５０上における被検査物Ｗの存在の有無は検出センサ５５によって検出される。この検出センサ５５は、一対の発光部５５ａと受光部５５ｂを有し、Ｘ線の曝射位置における被検査物Ｗの存在を検出する。処理手段は、この検出センサ５５の検出信号に基づき、被検査物Ｗに対するＸ線の照射量が規定値を越えないよう監視し、被検査物ＷがこのＸ線の曝射位置で予め定めた設定時間以上検出されたときにはＸ線発生器５１からのＸ線の曝射を停止させる制御を行う。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記構成では、Ｘ線の曝射位置において被検査物Ｗが停止しているかどうか判断できない場合があった。上記の検出センサ５５を用いた構成では、受光部５５ｂにおいて被検査物Ｗにより投受光が遮られ（ＯＦＦ）、再度、受光（ＯＮ）するまでの期間が被検査物Ｗであると判断する。
したがって、被検査物Ｗがこの検出センサ５５の投受光位置を通過する迄の期間は被検査物Ｗの存在しか検出できず、この被検査物Ｗが移動しているか、あるいは停止しているかは判断できなかった。
【０００６】
検出センサ５５は、被検査物Ｗの先端を検出してから後端を検出するまでの期間（遮断期間）を搬送方向に対する被検査物Ｗの長さと検出する。被検査物Ｗの先端を検出後に被検査物Ｗの搬送が停止した場合には、Ｘ線停止の為の設定時間に達するまでは被検査物Ｗの同一箇所にＸ線が曝射され続けることとなりＸ線の曝射を停止制御する。
【０００７】
しかし、被検査物Ｗの長さが長い場合などには、遮断期間自体が長くなることによって被検査物Ｗが移動しているもののＸ線曝射が停止する場合もある。例えば、処理手段側で検出センサ５５での設定時間を固定（例えば１秒）に設定した場合、コンベア５０の搬送状態の変動等によって被検査物Ｗの遮断期間が設定時間に達すると直ちにＸ線の曝射が停止し、これに伴い全体の生産ラインが停止することがある。
この場合、被検査物Ｗが搬送駆動により移動していて被検査物ＷにおけるＸ線の曝射位置が１カ所ではなく移動しているものの（正常ではないが異常とはいえない）ラインが停止して稼働効率が低下する問題が生じる。
この各問題は、検出センサ５５を用いる構成上、被検査物Ｗの実際の移動状態を検出できないことによって生じる。
【０００８】
また、検出センサ５５の投受光位置は、被検査物Ｗに対して搬送方向の側部で所定高さの１点のみである。このため、被検査物Ｗの種別、例えば、形状が異なる場合等には、突起部だけを検出する等、必ずしも被検査物Ｗの前端から後端までの間の全てを正確に検出できないこともあり得る。加えて、被検査物Ｗの種別毎に、例えば高さが異なったり、中空形状や、トレイ等によって上げ底形状の被計量物Ｗの検査時には検出センサ５５の投受光位置を高さ方向に調整しなければならないこともある。
【０００９】
また、Ｘ線曝射は下記の各事象発生時においても直ちに停止させねばならない。コンベア５０の搬送駆動が停止状態で搬送後方の被検査物Ｗによって被検査物ＷがＸ線照射位置に押し出された状態のままの場合や、コンベア５０が搬送駆動されているものの被検査物Ｗが内部で詰まったままの場合、搬送前方の被検査物が詰まった事に基づき被検査物Ｗが内部で詰まった場合等。従来はこれら各状態における被検査物Ｗの停止状態を判断できないことがあった。
【００１０】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、被検査物の実際の移動状態を検出でき、被検査物に対するＸ線曝射を的確に制御できるＸ線異物検出装置及び該装置における被検査物の移動停止検出方法の提供を目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のＸ線異物検出装置は、被検査物（Ｗ）にＸ線を曝射し、このＸ線の曝射に伴って前記被検査物を透過してくるＸ線の透過量から前記被検査物中の異物の有無を検出するＸ線異物検出装置（１）において、 前記被検査物に対してＸ線を曝射するＸ線発生器（８）と、
前記被検査物を透過したＸ線の強さに対応したデータを出力するＸ線検出器（９）と、 前記Ｘ線検出器（９）が出力するデータが示すＸ線透過量の値の変動に基づき被検査物の移動状態を判断するものであり、前記Ｘ線透過量が所定の値を有し、且つ予めの設定期間（Ｔ）の間前記Ｘ線透過量に変動がない状態が継続した場合に前記被検査物が停止状態と判断する移動検出部（１７）と、
前記移動検出部により前記被検査物が停止状態と判断された場合には、前記Ｘ線発生器からのＸ線の曝射を停止させる処理手段（１３）と、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、前記Ｘ線検出器（９）は、アレイ状に配置された複数個のフォトダイオード（９ａ）を備え、
前記移動検出部（１７）は、前記複数個のフォトダイオード（９ａ）のうち任意の複数個（９ａ１〜９ａｎ）が出力するデータを取り込み、該複数個のフォトダイオードが出力するＸ線透過量の値について、いずれか１つが前記設定期間の間変動がある場合には前記被検査物（Ｗ）が移動していると判断し、全てが前記設定期間（Ｔ）の間所定の値を有して前記Ｘ線透過量に変動がない状態が継続した場合には前記被検査物が停止状態と判断する構成にもできる。
【００１３】
本発明のＸ線異物検出装置における被検査物の移動停止検出方法は、被検査物（Ｗ）にＸ線を曝射し、このＸ線の曝射に伴って前記被検査物を透過してくるＸ線の透過量から前記被検査物中の異物の有無を検出するＸ線異物検出方法において、
前記被検査物に対してＸ線発生器（８）からＸ線を曝射させ、これをＸ線検出器（９）で受け、
該Ｘ線検出器で検出されたＸ線透過量が所定の値を有し、且つ予めの設定期間（Ｔ）の間前記Ｘ線透過量に変動がない状態が継続した場合に前記被検査物が停止状態と判断し、 該停止判断時には、前記Ｘ線発生器からのＸ線の曝射を停止させることを特徴とする。
【００１４】
上記構成によれば、移動検出部１７は、Ｘ線検出器９を構成するアレイ状の複数個のフォトダイオード９ａのうち任意の複数個９ａ１〜９ａｎが出力するデータを取り込む。移動検出部１７は、この複数個のフォトダイオード９ａ１〜９ａｎが出力するＸ線透過量の値について、いずれか１つが設定期間Ｔの間変動がある場合には被検査物Ｗが移動していると判断する。一方、全てが設定期間Ｔの間所定の値を有してほぼ一定な状態が継続した場合には被検査物Ｗが停止状態と判断し、Ｘ線発生器８からのＸ線の曝射を停止させる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
図１はＸ線異物検出装置の外観を示す斜視図である。
Ｘ線異物検出装置１は、搬送ラインの一部に設けられ、所定間隔をおいて順次搬送されてくる被検査物Ｗ中（表面も含む）に混入される異物の有無を検出するものである。このＸ線異物検出装置１は、搬送部３と異物検出部４とが装置本体１ａ内部に設けられ、表示器７が装置本体１ａの前面上部に設けられている。
【００１６】
搬送部３は、例えば生肉、魚、加工食品、医薬などの各品種の被検査物Ｗを搬送するもので、例えば装置本体１ａに対して水平に配置されたベルトコンベアで構成される。搬送部３は、駆動モータ６の駆動により予め設定された所定の搬送速度で搬入口３ａから搬入された被検査物Ｗを搬出口３ｂ側（図中搬送方向Ｘ）に向けて搬送させる。
【００１７】
異物検出部４は、搬送される被検査物Ｗを搬送路途中において異物を検出するもので、搬送部３の上方に所定高さ離れて設けられるＸ線発生器８と、搬送部３内にＸ線発生器８と対向して設けられるＸ線検出器９を備えて構成される。
【００１８】
Ｘ線発生器８は、金属製の箱体１１内部に設けられる円筒状のＸ線管１２を不図示の絶縁油により浸漬した構成であり、Ｘ線管１２の陰極からの電子ビームを陽極ターゲットに照射させてＸ線を生成している。Ｘ線管１２は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向Ｘと直交する方向（Ｙ方向）に設けられている。Ｘ線管１２により生成されたＸ線は、下方のＸ線検出器９に向けて、長手方向に沿った不図示のスリットにより略三角形状のスクリーン状にして曝射するようになっている。
【００１９】
Ｘ線検出器９は、被検査物Ｗに対してＸ線が曝射されたときに、被検査物Ｗを透過してくるＸ線を検出し、この検出したＸ線の透過量に応じた電気信号を出力している。
【００２０】
図２は、Ｘ線曝射位置の平面図である。Ｘ線検出器９は、搬送部３上を搬送される被検査物Ｗの搬送方向Ｘと直交するＹ方向に沿って設けられる。このＸ線検出器９には、ライン状に配列された複数のフォトダイオード９ａと、フォトダイオード９ａ上に設けられたシンチレータとを備えたアレイ状のラインセンサが用いられる。
【００２１】
このような構成によるＸ線検出器９では、被検査物Ｗに対してＸ線発生器８からＸ線が曝射されたときに、被検査物Ｗを透過してくるＸ線をシンチレータで受けて光に変換する。さらにシンチレータで変換された光は、その下部に配置されるフォトダイオード９ａによって受光される。そして、各フォトダイオード９ａは、受光した光を電気信号に変換して出力する。このＸ線検出器９は、受けたＸ線の強さに対応したレベルを有した電気信号を処理手段１３に出力する。
例えば上記フォトダイオード９ａは、１ラインで構成されライン方向（Ｙ方向）に０．４ｍｍピッチで６４０個配置されてなる。
【００２２】
図３は同装置の電気的構成を示すブロック図である。
処理手段１３は、ＣＰＵ等及びメモリ等で構成され、Ｘ線検出器９から入力される電気信号は図示しないＡ／Ｄ変換部でＡ／Ｄ変換された後、データメモリ１４に格納される。
データメモリ１４には、１ライン（Ｙ方向）あたり上記６４０個のＸ線透過のデータが、少なくとも搬送される被検査物Ｗの搬送方向Ｘの長さ（前端Ｗａ〜後端Ｗｂまでの検出期間）に対応した所定ライン数（例えば４８０ライン）が格納される。処理手段１３は、このデータに基づき被検査物Ｗに対する異物混入を検査処理する。
【００２３】
検査処理内容としては、被検査物Ｗを透過したＸ線の透過レベルに応じた電気信号に基づいて被検査物Ｗ中に金属、ガラス、石、骨などの異物が混入されているか否かの判別を行う。基本原理としては、異物によりＸ線が透過しない状態が生じた場合、即ち、Ｘ線透過レベルの値が低い場合に異物混入と判別できる。
さらに、この判別結果から被検査物Ｗの良否を判断し、被検査物Ｗが良品又は不良品であるかを示す選別信号等を外部出力する。また、入力データを直接画像展開した画像データを画像処理部１６を介して表示器７の表示部１５に出力する。
【００２４】
また、この処理手段１３には、搬送部３上における被検査物Ｗの移動状態を検出する移動検出部１７が設けられる。この移動検出部１７は、画像処理部１６における画像処理に関する１機能である。
【００２５】
この移動検出部１７は、入力される１ライン（Ｙ方向）あたり６４０個のフォトダイオード９ａの被検査物ＷのＸ線透過データから所定個数分だけ間引いて取り込む。例えば、図２に概略を記載するが、１ライン６４０個のフォトダイオード９ａを所定ピッチ数間隔（例えば２０）毎の等間隔な３２個のフォトダイオード９ａ１〜９ａｎのＸ線透過データを、被検査物Ｗの検出期間に相当する上記所定ライン数（Ｘ方向）分取り込む。
取り込んだ複数の各Ｘ線透過データは、それぞれＹ方向に向き配置されたラインセンサ上における所定位置のフォトダイオード９ａが検出した被検査物ＷのＸ線透過量を示す画像データである。
【００２６】
図４は、ある１個のフォトダイオード９ａにおける画像データの時系列な変化を示す図である。Ｘ線透過量は縦軸方向がＸ線透過量が低い値である。また、曝射されたＸ線部分を被検査物Ｗの前端Ｗａが時期ｔａに通過し、後端Ｗｂが時期ｔｂに抜けた場合を示す。時期ｔａ〜ｔｂの期間が被検査物Ｗの搬送方向Ｘに対する長さに相当する。
【００２７】
図４（ａ）に示すように、このフォトダイオード９ａ部分における被検査物ＷのＸ線透過量は、一般的に被検査物ＷのＸ方向への搬送移動に伴って所定の透過量を有し、かつこの値は一定ではなく経時的に変化する。また、図示の状態は、被検査物Ｗ内部に異物が混入されていない状態のものであるが、被検査物Ｗが搬送されていればこの被検査物Ｗの厚さの変化等でＸ線透過量が経時的に変化することが示されている。異物混入時には、この異物によりＸ線透過量が極端に低下する。図４記載の画像データは、便宜上１個のフォトダイオードについてのみ記載したが、実際には上記フォトダイオード９ａ１〜９ａｎの個数分だけ複数有り、これらが移動検出部１７に取り込まれる。
【００２８】
そして、移動検出部１７は、取り込んだ複数個の画像データに基づきＸ線透過量の変動状態を監視し、このＸ線透過量の変動状態に基づき被検査物Ｗの移動の有無を判断する。まず、複数個のフォトダイオード９ａ１〜９ａｎから出力される画像データのうち、１つでもＸ線透過量が低くなるよう変動すれば、被検査物Ｗの前端Ｗａであると認識する（時期ｔａ）。なお、この前端Ｗａの検出時期は、画像処理部１６の異物混入判断のための被検査物Ｗの前端Ｗａの検出情報等、を用いる構成としてもよい。
【００２９】
被検査物Ｗの前端Ｗａ検出時以降、複数の画像データのうちいずれかＸ線透過量が変動していれば被検査物Ｗが移動中であり正常と判断する。一方、複数の画像データ全てにおいてＸ線透過量の変動が無いときには、被検査物ＷがＸ線曝射状態のまま停止している異常と判断する。この異常時には、Ｘ線発生器８に対し駆動用の電源を供給するＸ線発生用電源部１８に対し、Ｘ線発生を停止させるための制御信号を出力する。なお判断処理の詳細は後述する。
【００３０】
次に、Ｘ線異物検出の動作について説明する。
上記のように構成されるＸ線異物検出装置１では、被検査物Ｗが搬送部３の搬入口３ａより搬入されると、その搬送過程において被検査物ＷにＸ線発生器８からＸ線が曝射される。このＸ線の曝射に伴って被検査物Ｗを透過してくるＸ線はＸ線検出器９によって検出される。そして、処理手段１３は、Ｘ線検出器９によって検出されたＸ線の透過量に応じた電気信号に基づいて被検査物Ｗ中に異物が混入している否かを判別し、この判別結果から良品又は不良品を示す選別信号などを外部出力する。そして、上記検査を終えた被検査物Ｗは、処理手段１３から出力される選別信号に応じて良品と不良品とに選別される。
【００３１】
また、処理手段１３の画像処理部１６は、Ｘ線検出器９が出力したＸ線透過量を示す画像データを表示部１５に表示出力する。被検査物Ｗの平面で見た外形の状態と、この被検査物Ｗ内でのＸ線の透過具合を確認することができ、異物部分の表示濃度が他と異なり（濃く、あるいは周囲と他の色）で表示でき異物の混入位置を把握できるようになる。
また、「ＯＫ」，「ＮＧ」の良否判定結果や、総検査数、良品数、ＮＧ総数の検査結果を表示する。
【００３２】
ここで、処理手段１３は、このデータメモリ１４に格納したデータを基準値と比較し、基準値を超えたデータがいずれか１つのラインに含まれている場合にＮＧと判断する。厳密には、基準値よりＸ線透過レベルが低い場合（異物によりＸ線が透過しない場合）にＮＧであると判断し、基準値よりＸ線透過レベルが高い場合にＯＫであると判断して、「ＮＧ」、あるいは「ＯＫ」の表示を行う。
【００３３】
そして、装置の動作中、移動検出部１７は被検査物Ｗの移動状態を監視する。移動検出部１７に入力される複数個の画像データは、Ｘ線検出部９を構成するラインセンサ上で等間隔な複数個のフォトダイオード９ａ１〜９ａｎが検出した被検査物ＷのＸ線透過量を示す。これにより、搬送部３により搬送移動中における被検査物Ｗの幅方向Ｙにおける複数箇所におけるＸ線透過量を監視することになる。
【００３４】
したがって、被検査物Ｗが移動中であれば、複数の画像データのうちいずれか１つの画像データは被検査物Ｗの通過後、Ｘ線透過量が変動することになる。移動検出部１７は、複数の画像データが示すＸ線透過量のうち１つでも変動があれば、被検査物Ｗが移動中であり正常と判断する。図４（ａ）に示す如く、被検査物Ｗが搬送されていればＸ線曝射位置上における被検査物Ｗの厚さが連続的に変化すること等でＸ線透過量が経時的に変化することは前述した。この正常判断時に、移動検出部１７は、Ｘ線発生器８に対しＸ線の曝射を継続させる。
【００３５】
一方、複数の画像データ全てにおいてＸ線透過量の変動が無いときには、被検査物ＷがＸ線曝射状態のまま停止している状態（異常）と判断する。
図４（ｂ）が同停止状態を示す図である。Ｘ線発生器８から曝射されたＸ線は、被検査物Ｗを透過してＸ線検出部９で検出される。曝射されたＸ線部分を被検査物Ｗの前端Ｗａが時期ｔａに通過したとする。この後、被検査物Ｗが正常に移動すれば時期ｔｂに曝射されたＸ線部分を被検査物Ｗの後端Ｗｂが通過する。
【００３６】
しかし、被検査物Ｗの後端ＷｂがＸ線曝射部分を通過する前に被検査物Ｗの移動が停止したとすると、対応して画像データが示すＸ線透過量は、停止直後（時期ｔ１）から一定となり変動しなくなる。即ち、被検査物Ｗが搬送停止状態になると、被検査物Ｗに対してある１点（Ｙ軸方向でみてライン状）のみＸ線が曝射され続けることになり、この際、被検査物Ｗは停止している為、時期ｔ１以降は、この１点におけるＸ線透過量は所定値を有して一定となり変動しなくなる。
【００３７】
移動検出部１７は、複数の画像データ全てにおいてＸ線透過量の変動が無い期間が予め設定した設定期間Ｔ（例えば１秒）を越えた場合、被検査物Ｗはある１点がＸ線曝射を受け続けて停止している異常状態と判断する。この際、設定期間Ｔ経過中におけるＸ線透過量の多少の変動を考慮して検出されたＸ線透過量の値の上下に所定の閾値を設けておき、設定期間Ｔのあいだ、Ｘ線透過量が上下閾値の範囲内であればＸ線透過量に変動が無く、上下閾値の範囲を超えればＸ線透過量に変動が生じたと判断する。
【００３８】
そして、Ｘ線透過量が変動無く設定期間Ｔが満了すると（時期ｔ２）、Ｘ線発生器８に対し駆動用の電源を供給するＸ線発生用電源部１８に対し、Ｘ線発生を停止させるための制御信号を出力する。これにより、Ｘ線発生用電源部１８は、制御信号に基づきＸ線発生器８への電源供給を遮断する。
また、移動検出部１７の異常判断を受けて処理手段１３は、図示しない警報装置（パトライト等）に対してＸ線発生器８からのＸ線曝射が停止中である旨を表示させたり、警報等の音声出力でＸ線停止の状態を外部報知する。
【００３９】
なお、図２記載のように、被検査物Ｗは、搬送部３を構成するベルトコンベアのＹ方向の幅より一般的に幅Ｌ１が狭い。また、搬送部３上で被検査物ＷはＹ方向に偏倚して搬送されることもある。このため、Ｘ線検出部９を構成するフォトダイオード９ａ１〜９ａｎのうち、被検査物Ｗが情報に位置していない複数個（例えば９ａ１や９ａｎ等）が生じる。これら複数個のフォトダイオード９ａについては、直接Ｘ線発生器８からのＸ線の曝射を受けるため、被検査物Ｗの移動を当初から検知することはできず、図４に示すＸ線透過量が高い一定値のままの状態になる。
【００４０】
しかしながら、移動検出部１７は、Ｘ線検出部９を構成するフォトダイオード９ａから複数個９ａ１〜９ａｎ分の画像データを受けて、いずれか１つの画像データのＸ線透過量に変動があれば被検査物Ｗが移動していると判断し、逆に全ての画像データのＸ線透過量に変動がなければ被検査物Ｗが停止していると判断する構成であるため、被検査物Ｗの実際の移動状態を検出できるようになる。
【００４１】
加えて、移動検出部１７は、被検査物Ｗを透過したＸ線の画像データに基づき被検査物Ｗそのものの移動を判断する構成であるため、従来の検出センサが不要であり、また、Ｘ線の曝射位置における被検査物Ｗの実際の移動状態をより詳細に検出できるようになる。
したがって、搬送部３を構成するベルトコンベアの駆動状態や、ベルトコンベア上での被検査物Ｗの載置状態、被検査物Ｗの搬送方向Ｘの長さ、被検査物Ｗの形状に影響されずに被検査物Ｗの移動を検出できるようになる。
【００４２】
例えば、搬送部３の搬送駆動が停止して被検査物Ｗが規定値以上のＸ線照射を受ける状態になったとき被計量物Ｗの停止状態を検出できる。
また、搬送部３が搬送停止状態となり、搬送後方の被検査物Ｗによって被検査物ＷがＸ線照射位置に押し出された場合にも被計量物Ｗの停止状態を検出できる。
さらに、搬送部３が搬送駆動されているが、被検査物Ｗが内部で詰まったとき、及び搬送前方の被検査物が搬出されず被計量物Ｗが内部で詰まったときにもＸ線照射位置における被計量物Ｗの停止状態を検出できる。
【００４３】
上記実施形態では、移動検出部１７は、被検査物Ｗの前端Ｗａを検出後のＸ線透過量が一定になったときに被検査物Ｗの移動が停止と判断する構成について説明した。これに限らず、被検査物Ｗの停止の判断は、Ｘ線透過量のみに基づき判断する構成としてもよい。
図４記載のように、Ｘ線曝射位置に被検査物Ｗが存在しない状態においては、Ｘ線検出部９は曝射されたＸ線を直接受けるためＸ線透過量が高い値であり、被検査物Ｗ存在時のＸ線透過量と明らかに値の差が生じる。
このことから、Ｘ線透過量自体に閾値を設けておき、所定値以下のＸ線透過量を検出している期間は、被検査物Ｗが存在しこの被検査物ＷにＸ線が曝射中であると判断する構成としてもよい。そして、この期間中においてＸ線透過量の値が一定となる期間が上記設定期間Ｔを越えた場合、停止と判断する。
【００４４】
【発明の効果】
本発明によれば、Ｘ線検出部が出力するデータに基づき被検査物の移動状態を検出する構成であり、データが示すＸ線透過量の変動により被検査物の停止状態を正確に判断できＸ線の曝射を適切に制御して停止時には直ちにＸ線曝射を停止できるようになる。
また、Ｘ線検出部が出力するデータを用いるため、特別なセンサを設ける必要がなく、Ｘ線の曝射位置における被検査物の実際の移動状態を検出できるようになる。これにより、搬送部の駆動状態、搬送部上での被検査物の移動状態、被検査物の搬送方向の長さ、被検査物の形状等に影響されることなく被検査物Ｗの移動を検出できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるＸ線異物検出装置の外観を示す斜視図。
【図２】Ｘ線曝射位置の平面図。
【図３】本発明によるＸ線異物検出装置の電気的構成を示すブロック図。
【図４】被検査物の移動時のＸ線透過量の変動を示す図。
【図５】従来のＸ線異物検出装置の構成を示す斜視図。
【符号の説明】
１…Ｘ線異物検出装置、３…搬送部、８…Ｘ線発生器、９…Ｘ線検出部、９ａフォトダイオード、１３…処理手段、１６…画像処理部、１７…移動検出部、１８…Ｘ線発生用電源部、Ｗ…被検査物。

Claims (3)

1. 被検査物（Ｗ）にＸ線を曝射し、このＸ線の曝射に伴って前記被検査物を透過してくるＸ線の透過量から前記被検査物中の異物の有無を検出するＸ線異物検出装置（１）において、
   前記被検査物に対してＸ線を曝射するＸ線発生器（８）と、
   前記被検査物を透過したＸ線の強さに対応したデータを出力するＸ線検出器（９）と、 前記Ｘ線検出器（９）が出力するデータが示すＸ線透過量の値の変動に基づき被検査物の移動状態を判断するものであり、前記Ｘ線透過量が所定の値を有し、且つ予めの設定期間（Ｔ）の間前記Ｘ線透過量に変動がない状態が継続した場合に前記被検査物が停止状態と判断する移動検出部（１７）と、
   前記移動検出部により前記被検査物が停止状態と判断された場合には、前記Ｘ線発生器からのＸ線の曝射を停止させる処理手段（１３）と、
   を備えたことを特徴とするＸ線異物検出装置。
2. 前記Ｘ線検出器（９）は、アレイ状に配置された複数個のフォトダイオード（９ａ）を備え、
   前記移動検出部（１７）は、前記複数個のフォトダイオード（９ａ）のうち任意の複数個（９ａ１〜９ａｎ）が出力するデータを取り込み、該複数個のフォトダイオードが出力するＸ線透過量の値について、いずれか１つが前記設定期間（Ｔ）の間変動がある場合には前記被検査物（Ｗ）が移動していると判断し、全てが前記設定期間の間所定の値を有して前記Ｘ線透過量に変動がない状態が継続した場合には前記被検査物が停止状態と判断する請求項１記載のＸ線異物検出装置。
3. 被検査物（Ｗ）にＸ線を曝射し、このＸ線の曝射に伴って前記被検査物を透過してくるＸ線の透過量から前記被検査物中の異物の有無を検出するＸ線異物検出装置における被検査物の移動停止検出方法であって、
   前記被検査物に対してＸ線発生器（８）からＸ線を曝射させ、これをＸ線検出器（９）で受けて、
   該Ｘ線検出器で検出されたＸ線透過量が所定の値を有し、且つ予めの設定期間（Ｔ）の間前記Ｘ線透過量に変動がない状態が継続した場合に前記被検査物が停止状態と判断し、 該停止判断時には、前記Ｘ線発生器からのＸ線の曝射を停止させることを特徴とするＸ線異物検出装置における被検査物の移動停止検出方法。

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