JP3713258B2 - 圧電体駆動素子とその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電体駆動素子とその製造方法に関し、特に、精密な位置制御を行うためのアクチュエータなどに使用される圧電体駆動素子およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気ディスク装置に設けられた磁気ディスクの記録密度は、年率数１０％の高密度化が続いている。磁気ディスクに対するデータの記録及び再生に使用される磁気ヘッドは、通常、スライダに搭載されており、磁気ヘッドが搭載されたスライダは、磁気ディスク装置内に設けられたヘッド支持機構によって支持されている。
磁気ディスクの記録密度を向上させるためには、磁気ディスクに対して、磁気ヘッドを非常に高精度に位置決めする必要があり、これを実現するために、圧電体素子を用いた圧電体駆動素子がヘッド支持機構に設けられる。この圧電体駆動素子において、圧電体素子は薄膜圧電体の両主面に電極金属膜が形成されてなり、２枚の電極金属膜間に電圧が印加されると、薄膜圧電体が面内方向に伸縮する。このような伸縮運動による変動を用いて、磁気ヘッドの位置制御が高精度に行われる（例えば、特許文献１参照）。
上記のような薄膜圧電体素子において、電極金属膜は、その表面に接合されたボンディングワイヤを介して電圧が印加される。ボンディングワイヤは、超音波接合によって、電極金属膜の所定の位置に接合される。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２１６７４８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ボンディングワイヤを電極金属膜に超音波接合すると、電極金属膜および薄膜圧電体に亀裂などのダメージが入り、水分および水蒸気が電極金属膜および薄膜圧電体に浸入してしまう。これにより、電極金属膜の金属がイオン化して、電位差を有する近接した導体（電極金属膜）間にある薄膜圧電体内で拡散し、対向する導体表面に再び金属として析出する。このように、導体間が樹枝状の金属で架橋されることにより、短絡モードの故障（イオンマイグレーション）が発生し、結果として、圧電体素子の信頼性が劣化するという問題がある。このような現象は、特に高湿度環境下で顕著である。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、ボンディングワイヤー接合を行っても、電極金属膜間で短絡が生じにくい、圧電体駆動素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するために、本発明に係る圧電体駆動素子は、基板の一方の面に圧電体薄板が接合され、その一方の面にさらに上記圧電体薄板を伸縮させる信号を印加するための端子電極が設けられてなる圧電体駆動素子であって、上記端子電極は上記圧電体薄板から分離された圧電体台座を介して上記基板の一方の面の上に形成されているワイヤーボンディング電極であることを特徴とする。
以上のように構成された本発明に係る圧電体駆動素子は、圧電変位領域である上記圧電体薄板と上記端子電極が設けられる上記圧電体台座とが分離されているので、ワイヤーボンディング時における機械的な衝撃又は振動の圧電変位領域への伝達を抑制することができ、上記圧電体薄板における亀裂等の発生を防止できる。
【０００６】
また、本発明に係る圧電体駆動素子において、上記圧電体薄板と上記圧電体台座とはそれぞれ複数の層が積層されている場合は、互いに同一積層構造を有することが好ましい。
【０００７】
また、本発明に係る圧電体駆動素子において、上記基板として上記圧電体薄板の伸縮に対応して伸縮が可能な伸縮性基板であってもよいし、たわみ変形が可能な非伸縮性基板であってもよい。
【０００８】
本発明の圧電体駆動素子において、上記非伸縮性基板は、上記圧電体薄板と対向する金属薄板（例えば、ステンレス薄板）と上記端子電極に接続される配線金属とを樹脂により固定することにより構成することができる。
【０００９】
本発明の圧電体駆動素子においては、２つの圧電体駆動部を含み、各圧電体駆動部に対応して上記圧電体薄板が２つに分離されて設けられていてもよい。
【００１０】
本発明の２つの圧電体駆動部を含む圧電体駆動素子では、上記端子電極は、上記２つの圧電駆動部の一方に接続された信号端子電極と、他方に接続された信号端子電極と、上記２つの圧電駆動部に共通の１つの接地端子電極とによって構成することができる。
【００１１】
本発明の圧電体駆動素子において、上記圧電体薄板は、それぞれ両面に電極膜が形成された第１の薄膜圧電体層と第２の薄膜圧電体層が接着剤により接合された積層構造を有し、上記接着剤を介して対向する電極膜をそれぞれ接地電極膜とすることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係る圧電体駆動素子の製造方法は、
第１の基板上に第１電極と第１圧電体薄膜と第２電極とを形成し、第２の基板上に第３電極と第２圧電体薄膜と第４電極とを形成する第１の工程と、
上記第２電極と上記第４電極とを対向させて接着剤で接着することにより上記第１基板と上記第２基板とを貼り合わせ、上記第１基板と上記第２基板の間に、上記第１電極、上記第１圧電体薄膜、上記第２電極、上記第４電極、上記第２圧電体薄膜及び上記第３電極が積層されてなる圧電積層体層を形成する第２の工程と、
上記第２基板を除去する第３の工程と、
上記第１基板上で上記圧電積層体層の一部を分離することにより、その分離された部分からなる少なくとも２つの圧電体台座部を形成する第４工程と、
上記２つの圧電体台座部の一方に、上記第２電極と上記第４電極とに接続された第１のボンディング電極を形成し、他方に上記第１電極と上記第３電極とに接続された第２のボンディング電極を形成する第５工程と、
上記圧電積層体層及び上記２つの圧電体台座部上に転写用基板を接合した後に上記第１基板と上記転写用基板とを除去し、その除去した第１基板に代えてたわみ変形が可能な非伸縮性基板を接合する第６工程とを含むことを特徴とする。
以上のように構成された本発明に係る圧電体駆動素子の製造方法によれば、圧電変位領域として機能する圧電体積層体層と上記端子電極が設けられる上記圧電体台座とが分離された圧電体駆動素子を製造することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、本発明に係る実施の形態１のヘッド支持機構について説明する。
本実施の形態１のヘッド支持機構部は、図１に示すように、ロードビーム４と、ロードビーム４の先端部分に設けられたスライダ２と、そのスライダ２が先端部分に接続されたフレクシャ７とを用いて構成される。この実施の形態１のヘッド支持機構では、薄膜圧電体素子１０を用いてフレクシャ７の一部に圧電体駆動部１００が形成されており、その圧電体駆動部１００でスライダ２を回転させることにより、スライダ２の一端面に取り付けられた磁気ヘッド１の位置決めを行うことができる構造となっている。
尚、ロードビーム４は、その基端部４Ａでベースプレート５にビーム溶接によって固定される。
【００１５】
本実施の形態１のヘッド支持機構部において、薄膜圧電体素子１０は、図３に示すように、台形形状の圧電積層体を中央部分で左右２つに分離することにより形成された２つの薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂにより構成される。また、薄膜圧電体素子１０は、一対の薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂにそれぞれ設けられた信号端子部４０と薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの共通端子として設けられたグランド端子部（接地端子部）３０とを備え、印加する電圧に対応させて２つの薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂを別々に制御できるように構成されている。
【００１６】
この薄膜圧電体素子１０を構成する圧電積層体は、図４（図３のＡ−Ａ’線についての断面図）に示すように、上面に上部電極（電極金属膜）１２Ｂが形成され下面に下部電極（電極金属膜）１２Ａが形成された第１の薄膜圧電体層１１Ａと、上面に下部電極膜（電極金属膜）１２Ｃが形成され下面に上部電極（電極金属膜）１２Ｄが形成された第２の薄膜圧電体層１１Ｂとを、上部電極膜１２Ｂと上部電極膜１２Ｄが対向するように接着剤１８により接合することにより構成される。
この第１と第２の薄膜圧電体層１１Ａ，１１Ｂはそれぞれ、上部電極膜１２Ｂと上部電極膜１２Ｄとを接地し、第１の薄膜圧電体層１１Ａの下部電極膜１２Ａと第２の薄膜圧電体層１１Ｂの下部電極（電極金属膜）１２Ｃに同一の電圧を与えた時に、同一方向に変化するように構成される。
ここで、同一方向に変化するとは、第１の薄膜圧電体層１１Ａが伸びた場合に第２の薄膜圧電体層１１Ｂも伸び、第１の薄膜圧電体層１１Ａが収縮した場合には第２の薄膜圧電体層１１Ｂも収縮することをいう。
また、薄膜圧電体素子１０の全体は、柔軟性のあるコーティング樹脂４１，５０で覆われている。
尚、薄膜圧電体素子１０Ａの下部電極膜１２Ｃと薄膜圧電体素子１０Ｂの下部電極膜１２Ｃは電気的に分離され、薄膜圧電体素子１０Ａの下部電極膜１２Ａと薄膜圧電体素子１０Ｂの下部電極膜１２Ａは電気的に分離されている。
【００１７】
また、本実施の形態１のヘッド支持機構部において、フレクシャ７は、図２，図５に示すように、磁気ヘッド１に接続される金属配線７Ｈと、薄膜圧電体素子１０が貼り合わされることにより圧電体駆動部１００を構成する金属板１５（１５Ａ，１５Ｂ）とが図６（図５のＸ−Ｘ’線についての断面図）に示すようにポリイミド樹脂等の絶縁材料１６により保持された柔軟性を有するフィルム状の基板であり、スライダ取付部７Ｘと配線部９とスライダ取付部７Ｘと配線部９との間に位置する薄膜圧電体貼付部８（８Ａ，８Ｂ）とからなる。
ここで、金属板１５Ａ，１５Ｂはそれぞれ、薄膜圧電体素子１０Ａ及び薄膜圧電体素子１０Ｂと略同一の平面形状に形成され、圧電体貼付部８において薄膜圧電体素子１０Ａ及び薄膜圧電体素子１０Ｂにそれぞれ対向するように配置される。
【００１８】
また、フレクシャ７において、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄはそれぞれ、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの信号端子部４０に近接するように、配線部９と薄膜圧電体貼付部８Ａ，８Ｂとの境界付近に設けられ、薄膜圧電体用端子９Ｂ，９Ｃは、２つの薄膜圧電体素子の共通のグランド端子部３０に近接するように、配線部９と薄膜圧電体貼付部８との境界付近に設けられる。
尚、薄膜圧電体用端子９Ｂ，９Ｃは、いずれか一方が共通のグランド端子部３０に接続されればよく、１つの端子で構成してよい。
さらに、スライダ取付部７Ｘには、各金属配線の接続端子電極であり、磁気ヘッド１の入出力端子と接続するための磁気ヘッド用端子６が形成されている。
【００１９】
以上のように構成された圧電体薄膜素子１０とフレクシャ７とは、他の部品とともにロードビーム４上に図２及び図７に示すように組み合わされる。
フレクシャ７の薄膜圧電体貼付部８上には、金属板１５Ａ，１５Ｂにそれぞれ薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂが対向するように薄膜圧電体素子１０が貼り付けられる。
そして、フレクシャ７のスライダ取付部７Ｘ上にスライダ２（磁気ヘッド１が搭載されている）が配置され、そのスライダ２の反対側（スライダ取付部７Ｘの下面側）にはスライダ保持板３Ａが配置され、フレクシャ７の配線部９の下に配線部保持板３が配置されて、ロードビーム４の先端部分にスライダ２が位置するようにロードビーム４上に取り付けられる。
尚、スライダ保持板３Ａと配線部保持板３とは例えば、同一の厚さのステンレス板により作成される。
【００２０】
ここで、スライダ保持板３Ａには図２に示すように突起部３Ｂが形成され、さらにロードビーム４の先端部分にはディンプル４Ｇが形成されており、スライダ保持板３Ａは突起部３Ｂがディンプル４Ｇによって押圧されることにより、ディンプル４Ｇを中心として回転可能に保持される。
【００２１】
以上のように構成された実施の形態１のヘッド支持機構部は、以下のように動作させることができる。
図８（ａ）に示すように、接地端子である薄膜圧電体用端子９Ｂ及び９Ｃを接地し、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに図８（ｂ）（ｃ）に示すようにバイアス電圧Ｖ０を中心として互いに逆相で電圧を印加する。
このようにすると、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂは常に同じ方向に湾曲した状態で湾曲の度合いが、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに印加される電圧に対応して変化する。
これによって、図９（ａ）に示すように、例えば、薄膜圧電体素子１０Ａの湾曲が小さく、薄膜圧電体素子１０Ｂの湾曲が大きい場合には、１９Ａで示す部分が緩み１９Ｂで示す部分が引っ張られることにより、スライダ保持板３Ａを回転させることができる。
【００２２】
以上のように構成された、薄膜圧電素子を用いて磁気ヘッドを位置決めをするヘッド支持機構部は、従来のボイスコイルモータを用いて磁気ヘッドを位置決めするヘッド支持機構部や他の圧電素子を用いたヘッド支持機構に比較して、高精度に磁気ヘッドの位置決めをすることが可能である。
【００２３】
次に、本実施の形態１のヘッド支持機構における特徴的な部分である薄膜圧電体素子１０の端子構成と薄膜圧電体用端子９Ａ〜９Ｄとの接続について説明する。
図１０は、薄膜圧電体素子１０の端子構造を詳細に示す透過図であり、図１１は、断面図である。
尚、図１１の断面図は薄膜圧電体素子１０とフレクシャ７と接合した状態における断面図（図５のＹ−Ｙ’線に沿って切断したもの）である。
【００２４】
上述したように、本実施の形態１の圧電体薄膜素子１０は、独立して駆動することができる２つの圧電体薄膜素子１０Ａ，１０Ｂによって構成されている。
本実施の形態１では、この２つの圧電体薄膜素子１０Ａ，１０Ｂは、台形形状の圧電積層体がその中心部分で２つに分離されることにより形成され、その台形形状の圧電積層体の下底に沿った部分に２つの圧電体薄膜素子１０Ａ，１０Ｂの外部接続用の電極が形成される。
【００２５】
以下、図１２〜図２３を参照しながら、本実施の形態１の圧電体駆動部１００の製造方法について説明することにより、製造方法及び圧電体駆動部１００の詳細な構成を明らかにする。
尚、薄膜圧電体素子１０Ａと薄膜圧電体素子１０Ｂとは、図１１に示したように同様の構造（左右対称）を有するので、本製造方法を説明するための以下の図においては、薄膜圧電体素子１０Ｂの部分を省略して示している。
【００２６】
（成膜工程）
本実施の形態１の製造方法では、まず、図１２に示すように、単結晶基板１３Ｂの一方の主面に、単結晶基板１３Ｂ側から電極金属膜１２Ｃ、薄膜圧電体１１Ｂ及び電極金属膜１２Ｄをこの順に成膜する。
同様に、図１３に示すように、単結晶基板１３Ａの一方の主面に、単結晶基板１３Ａ側から電極金属膜１２Ａ、薄膜圧電体１１Ａ及び電極金属膜１２Ｂをこの順に成膜する。
【００２７】
（接着工程）
次に、図１４に示すように、単結晶基板１３Ａと単結晶基板１３Ｂとを、電極金属膜１２Ｄと電極金属膜１２Ｂとを対向させて、接着剤層１８を用いて接着する。
これにより、単結晶基板１３Ａの一方の主面に、単結晶基板１３Ａ側から電極金属膜１２Ａ、薄膜圧電体１１Ａ、電極金属膜１２Ｂ、接着剤層１８、電極金属膜１２Ｄ、薄膜圧電体１１Ｂ及び電極金属膜１２Ｃがこの順に積層された積層体が構成される。
なお、本実施の形態１では、接着剤層１８を用いて接着したが、本発明では接着剤層１８を用いること無く、超音波振動を利用した熱溶着によって電極金属膜１２Ｄと電極金属膜１２Ｂとを接着するようにしても良い。
そして、図１５に示すように、一方の単結晶基板１３Ｂをエッチングで除去する。
【００２８】
（第１エッチング工程）
次に、図１６（ａ）の平面図及び図１６（ｂ）の断面図に示すように、ドライエッチングによって、積層体を圧電変位領域５１Ａと圧電変位領域５１Ｂ（図示せず）と信号端子用圧電体台座４０Ａと接地端子用圧電体台座３０Ａとに分離する。
（第２エッチング工程）
次に、図１７（ａ）の平面図及び図１７（ｂ）の断面図に示すように、ドライエッチングによって（図１７（ｂ）においてＥ１及びＥ２で示す部分を除去することによって）、圧電変位領域５１Ａの周りに電極金属膜１２Ａを露出させる。尚、図１７（ｂ）にＥ２の符号を付して示す部分は、その部分を除去することにより露出される電極金属膜１２Ａ（接続部分）の幅が、圧電変位領域５１Ａの周りに露出される電極金属膜の幅に比較して広くなるように設定される。
【００２９】
（第３エッチング工程）
次に、図１７（ａ）の平面図及び図１７（ｂ）の断面図に示すように、ドライエッチングによって、圧電変位領域５１Ａの接地端子領域３０Ａに近接した部分において、電極金属膜１２Ｃ及び薄膜圧電体１１Ｂを除去することにより凹部２０Ａを形成し、その凹部２０Ａの底面に電極金属膜１２Ｄを露出させる。
【００３０】
（第４エッチング工程）
次に、図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すように、ドライエッチングによって、凹部２０Ａの底面において、電極金属膜１２Ｄ及び接着剤層１８を除去することにより、凹部２０Ｂを形成して、その凹部２０Ｂの底面に電極金属膜１２Ｂを露出させる。
尚、凹部２０Ｂは凹部２０Ａの底面の中央部に形成され、凹部２０Ｂの周りには、電極金属膜１２Ｄが少なくとも後述の金属端子膜２１Ｃにより確実に接続できる程度に露出されている。
【００３１】
（第１コーティング膜形成工程）
次に、図１９（ａ）（ｂ）に示すように、以下の部分を露出させる以外は、薄膜圧電体素子１０のほぼ全体を覆うように、コーティング膜４１を形成する。
コーティング膜４１が形成されないで露出される部分は、
（i）凹部２０Ｂ底部の電極金属膜１２Ｂと、
（ii）凹部２０Ｂの周りに露出された電極金属膜１２Ｄ（凹部２０Ａの底部に露出された凹部２０Ｂの周りの電極金属膜１２Ｄ）と、
（iii）信号端子用圧電体台座４０Ａに隣接して露出された電極金属膜１２Ａと、
（iv）凹部２０Ａと信号端子用圧電体台座４０Ａに隣接して露出された電極金属膜１２Ａと間において、その電極金属膜１２Ａに近接するようにコーティング膜４１に形成された開口部１２ＣＯにより露出された電極金属膜１２Ｃである。
【００３２】
（金属端子膜形成）
次に、図２０（ａ）（ｂ）に示すように、（i）凹部２０Ｂ底部の電極金属膜１２Ｂと（ii）凹部２０Ｂの周りに露出された電極金属膜１２Ｄとに接続された金属端子膜２１Ｃを接地端子領域３０Ａ上に延在するように形成し、
（iii）信号端子用圧電体台座４０Ａに隣接して露出された電極金属膜１２Ａと
（iv）開口部１２ＣＯにより露出された電極金属膜１２Ｃとに接続された金属端子膜２１Ａを信号端子用圧電体台座４０Ａ上に延在するように形成する。
【００３３】
（第２コーティング膜形成工程）
次に、図２１（ａ）（ｂ）に示すように、接地端子用圧電体台座３０Ａ上に形成された金属端子膜２１Ｃと信号端子用圧電体台座４０Ａ上に形成された金属端子膜２１Ａを露出させるように、薄膜圧電体素子１０のほぼ全体を覆うコーティング膜５０を形成する。
（転写工程）
次に、図２２に示すように、コーティング膜５０の上に転写用基板６０を接合し、その後、単結晶基板１３Ａを例えばエッチングにより除去し、さらに転写用基板６０を除去する。
そして、その除去した側に単結晶基板１３Ａに代えてたわみ変形が可能な非伸縮性基板であるフレクシャ７を接合する。
【００３４】
（ワイヤボンディング工程）
そして、信号端子用圧電体台座４０Ａ，４０Ｂ上にそれぞれ露出された金属端子膜２１Ａ，２１Ｂ表面からなるワイヤーボンディング部４０と信号端子９Ａ，９Ｄとをそれぞれワイヤー２５により接続する。
また、信号端子用圧電体台座３０Ａ上に露出された金属端子膜２１Ｃ表面からなるワイヤーボンディング部３０とグランド端子９Ｂ又はグランド端子９Ｃとをワイヤー２５により接続する。
ここで、本ボンディング工程においては、超音波ボンディングなど種々のボンディングマシンを適用できる。
以上のようにして、図１１に示すように、フレクシャ７の薄膜圧電体貼付部８上に薄膜圧電体素子１０が接合されて本実施の形態１の圧電体駆動部が作製される。
【００３５】
以上のように構成された実施の形態１のヘッド支持機構における圧電体駆動部は、圧電変位領域５１Ａ，５１Ｂと、ワイヤーボンディング部３０，４０が形成される端子用圧電体台座３０Ａ，４０Ａとが分離されているので、ワイヤーボンディング時における機械的な衝撃又は振動の圧電変位領域５１Ａ，５１Ｂへの伝達が分離された部分により抑制され、圧電変位領域５１Ａ，５１Ｂの亀裂等の発生を防止できる。
これにより、本実施の形態１のヘッド支持機構は歩留まり良く製造することができかつ高い信頼性を確保できる。
【００３６】
実施の形態２．
以下、本発明に係る実施の形態２のヘッド支持機構について説明する。
実施の形態２のヘッド支持機構部は、フレクシャの薄膜圧電体貼付部に金属板１５Ａ，１５Ｂが設けられていない点で実施の形態１のヘッド支持機構部と異なる他は、実施の形態１のヘッド支持機構部と基本構成は同様である。
すなわち、実施の形態１のヘッド支持機構部では、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂと金属板１５Ａ，１５Ｂとによって圧電体駆動部１００が構成され、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの湾曲を伴なう動作によって、スライダ保持板３Ａを回転させていた。
これに対して、本実施の形態２のヘッド支持機構部では、金属に比べて伸縮性を有するポリイミド上に、金属板１５Ａ，１５Ｂを設けることなく、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂを貼り付けることによって、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮を直接的に利用してスライダ保持板３Ａを回転させるように構成している。
【００３７】
より具体的には、ポリイミド基板とその上に貼り付けられた薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂからなる実施の形態２の圧電体駆動部は、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮により若干の湾曲は生じるものの、ポリイミド基板が薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂとともに伸縮するために、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮により直接的にスライダ保持板３Ａを回転させる駆動力を得ることができる。
【００３８】
以下、図面を参照しながら本発明に係る実施の形態２のヘッド支持機構部の詳細について説明する。
尚、以下の図面において、実施の形態１と同様のもの（形状が異なっていても機能が同様のものも含む）には同様の符号を付して示している。
【００３９】
図２４は、実施の形態２のヘッド支持機構の分解斜視図であり、磁気ヘッド１、スライダ２、薄膜圧電体素子１０、ロードビーム４は、実施の形態１のヘッド支持機構と同様に構成されており、フレクシャー７０は、図２６（図２５のＸ−Ｘ’線についての断面図）に示すように、薄膜圧電体貼付部１６Ａ，１６Ｂに金属板１５Ａ，１５Ｂを含んでいない点で、実施の形態１と相違する。
この薄膜圧電体貼付部１６Ａ，１６Ｂは、ポリイミド樹脂等の絶縁材料１６により作製された柔軟性を有するフィルム状の基板の一部であり、薄膜圧電体素子１０Ａ及び薄膜圧電体素子１０Ｂと略同一の平面形状に形成される。
尚、フレクシャ７０は、磁気ヘッド１に接続される金属配線７Ｈの配線パターンが実施の形態１とは異なり、また、実施の形態１では２つであった薄膜圧電体用端子９Ｂ，９Ｃが１つの端子９Ｂで構成されているが、基本的な動作に影響を与えるものではない。
【００４０】
実施の形態２のヘッド支持機構部では、以上のように構成されたフレクシャ７０と圧電体薄膜素子１０とが他の部品とともにロードビーム４上に組み合わされて、図２７に示すように、ロードビーム４上に圧電体駆動部が構成される。
尚、実施の形態２のヘッド支持機構部では、薄膜圧電体１０の伸縮動作に寄与しない部分である端子形成部分（端子用圧電体台座３０Ａ，４０Ａが形成された部分）に対向して配線部保持板３が設けられ、端子形成部分により圧電変位領域の伸縮運動が妨げられないように構成されている。
【００４１】
以上のように構成された実施の形態２のヘッド支持機構部は、以下のように動作させることができる。
実施の形態１と同様にして、接地端子である薄膜圧電体用端子９Ｂを接地し、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに図８（ｂ）（ｃ）に示すようにバイアス電圧Ｖ０を中心として互いに逆相で電圧を印加する。
このようにすると、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮の度合いが、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに印加される電圧に対応して変化する。
これによって、例えば、薄膜圧電体素子１０Ａの伸びが大きく、薄膜圧電体素子１０Ｂの伸びが小さい場合には、１９Ａで示す部分が緩み１９Ｂで示す部分が引っ張られることにより、スライダ保持板３Ａを回転させることができる。
【００４２】
以上のように構成された実施の形態２の、薄膜圧電素子を用いて磁気ヘッドを位置決めをするヘッド支持機構部は、従来のボイスコイルモータを用いて磁気ヘッドを位置決めするヘッド支持機構部や他の圧電素子を用いたヘッド支持機構に比較して、高精度に磁気ヘッドの位置決めをすることが可能である。
尚、実施の形態２のヘッド支持機構における特徴的な部分である薄膜圧電体素子１０の端子構成と薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｂ，９Ｄとの接続については、図２８に示すとおりである。
【００４３】
変形例．
本発明に係る変形例のヘッド支持機構は、実施の形態２のヘッド支持機構において、図２９の断面図に示す薄膜圧電体素子を用いて構成した以外は、実施の形態２のヘッド支持機構と同様に構成される。
すなわち、変形例の薄膜圧電体素子は、第１の薄膜圧電体層１１Ａと第２の薄膜圧電体層１１Ｂをエッチングする際にそれぞれ、２段階でエッチングをすることにより、第１の薄膜圧電体層１１Ａ及び第２の薄膜圧電体層１１Ｂのエッチング断面にステップ部Ｓ１１Ａ，Ｓ１１Ｂが形成されるようにしている。
【００４４】
このように構成された薄膜圧電体素子は、製造過程のドライエッチング工程においてエッチング方向に平行な壁に付着する導電性を有する側壁付着物がステップ部Ｓ１１Ａ，Ｓ１１Ｂにより電気的に分離される。
従って、変形例の薄膜圧電体素子は、リーク電流を少なくでき、より信頼性の高いヘッド支持機構を実現できる。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る圧電体駆動素子は、上記端子電極は上記圧電変位領域から分離されてなる圧電体台座を介して上記基板の一方の面の上に形成されているので、ワイヤーボンディング時における機械的な衝撃又は振動の圧電変位領域への伝達を抑制することができ、上記圧電体薄板における亀裂等の発生を防止できる。
これにより、ボンディングワイヤー接合を行っても、電極金属膜間で短絡が生じにくい、圧電体駆動素子を提供することができる。
また、本発明に係る圧電体駆動素子の製造方法によれば、信頼性の高い圧電体駆動素子を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る実施の形態１のヘッド支持機構の全体構成を示す斜視図である。
【図２】 実施の形態１のヘッド支持機構の分解斜視図である。
【図３】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の平面図である。
【図４】 図３のＡ−Ａ’線についての断面図である。
【図５】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用するフレクシャの平面図である。
【図６】 図５のＸ−Ｘ’線についての断面図である。
【図７】 実施の形態１のヘッド支持機構の側面図である。
【図８】 実施の形態１のヘッド支持機構の圧電駆動部の動作を説明するための断面図と印加する電圧の波形を示すグラフである。
【図９】 実施の形態１のヘッド支持機構の動作を説明するための平面図である。
【図１０】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の電極構成を示す一部透視平面図である。
【図１１】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の電極構成を示す断面図である。
【図１２】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における、電極及び薄膜圧電体の成膜工程を説明するための断面図（その１）である。
【図１３】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における、電極及び薄膜圧電体の成膜工程を説明するための断面図（その２）である。
【図１４】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における接着工程を説明するための断面図である。
【図１５】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法において、接着後に基板を剥離した状態を示す断面図である。
【図１６】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第１エッチング工程を説明するための平面図と断面図である。
【図１７】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第２，３エッチング工程を説明するための平面図と断面図である。
【図１８】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第４エッチング工程を説明するための平面図と断面図である。
【図１９】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第１コーティング膜形成工程を説明するための平面図と断面図である。
【図２０】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における金属端子膜形成工程を説明するための平面図と断面図である。
【図２１】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第２コーティング膜形成工程を説明するための平面図と断面図である。
【図２２】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における転写工程を説明するための断面図である。
【図２３】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における転写後の状態を示す断面図である。
【図２４】 本発明に係る実施の形態２のヘッド支持機構の分解斜視図である。
【図２５】 実施の形態２のヘッド支持機構に使用するフレクシャの平面図である。
【図２６】 図２５のＸ−Ｘ’線についての断面図である。
【図２７】 実施の形態２のヘッド支持機構の側面図である。
【図２８】 実施の形態２のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の電極構成を示す断面図である。
【図２９】 本発明に係る変形例の薄膜圧電体素子の電極構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１…磁気ヘッド、２…スライダ、３…配線部保持板、３Ａ…スライダ保持板、３Ｂ…突起部、４…ロードビーム、４Ａ…基端部、４Ｇ…ディンプル、５…ベースプレート、７，７０…フレクシャ、７Ｈ…金属配線、７Ｘ…スライダ取付部、８（８Ａ，８Ｂ），１６（１６Ａ，１６Ｂ）…薄膜圧電体貼付部、９…配線部、９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄ…薄膜圧電体用端子、１０…薄膜圧電体素子、１０Ａ，１０Ｂ…薄膜圧電体素子、１１Ａ…第１の薄膜圧電体層、１１Ｂ…第２の薄膜圧電体層、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ…電極金属膜、１２ＣＯ…開口部、１３…接着剤、１３Ａ，１３Ｂ…単結晶基板、１５（１５Ａ，１５Ｂ）…金属板、１６…絶縁材料、１８…接着剤、２０Ａ，２０Ｂ…凹部、２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ…金属端子膜、２５…ボンディングワイヤ、３０…グランド端子部（接地端子部）、３０Ａ…接地端子用圧電体台座、４０…信号端子部、４０Ａ…信号端子用圧電体台座、４１，５０…コーティング樹脂、５１Ａ，５１Ｂ…圧電変位領域、１００…圧電体駆動部。
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電体駆動素子とその製造方法に関し、特に、精密な位置制御を行うためのアクチュエータなどに使用される圧電体駆動素子およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、磁気ディスク装置に設けられた磁気ディスクの記録密度は、年率数１０％の高密度化が続いている。磁気ディスクに対するデータの記録及び再生に使用される磁気ヘッドは、通常、スライダに搭載されており、磁気ヘッドが搭載されたスライダは、磁気ディスク装置内に設けられたヘッド支持機構によって支持されている。
磁気ディスクの記録密度を向上させるためには、磁気ディスクに対して、磁気ヘッドを非常に高精度に位置決めする必要があり、これを実現するために、圧電体素子を用いた圧電体駆動素子がヘッド支持機構に設けられる。この圧電体駆動素子において、圧電体素子は薄膜圧電体の両主面に電極金属膜が形成されてなり、２枚の電極金属膜間に電圧が印加されると、薄膜圧電体が面内方向に伸縮する。このような伸縮運動による変動を用いて、磁気ヘッドの位置制御が高精度に行われる（例えば、特許文献１参照）。
上記のような薄膜圧電体素子において、電極金属膜は、その表面に接合されたボンディングワイヤを介して電圧が印加される。ボンディングワイヤは、超音波接合によって、電極金属膜の所定の位置に接合される。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００１−２１６７４８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ボンディングワイヤを電極金属膜に超音波接合すると、電極金属膜および薄膜圧電体に亀裂などのダメージが入り、水分および水蒸気が電極金属膜および薄膜圧電体に浸入してしまう。これにより、電極金属膜の金属がイオン化して、電位差を有する近接した導体（電極金属膜）間にある薄膜圧電体内で拡散し、対向する導体表面に再び金属として析出する。このように、導体間が樹枝状の金属で架橋されることにより、短絡モードの故障（イオンマイグレーション）が発生し、結果として、圧電体素子の信頼性が劣化するという問題がある。このような現象は、特に高湿度環境下で顕著である。
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、ボンディングワイヤー接合を行っても、電極金属膜間で短絡が生じにくい、圧電体駆動素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
以上の目的を達成するために、本発明に係る圧電体駆動素子は、基板の一方の面に圧電体薄板が接合され、その一方の面にさらに上記圧電体薄板を伸縮させる信号を印加するための端子電極が設けられてなる圧電体駆動素子であって、上記端子電極は上記圧電体薄板から分離された圧電体台座を介して上記基板の一方の面の上に形成されているワイヤーボンディング電極であることを特徴とする。
以上のように構成された本発明に係る圧電体駆動素子は、圧電変位領域である上記圧電体薄板と上記端子電極が設けられる上記圧電体台座とが分離されているので、ワイヤーボンディング時における機械的な衝撃又は振動の圧電変位領域への伝達を抑制することができ、上記圧電体薄板における亀裂等の発生を防止できる。
【０００６】
また、本発明に係る圧電体駆動素子において、上記圧電体薄板と上記圧電体台座とはそれぞれ複数の層が積層されている場合は、互いに同一積層構造を有することが好ましい。
【０００７】
また、本発明に係る圧電体駆動素子において、上記基板として上記圧電体薄板の伸縮に対応して伸縮が可能な伸縮性基板であってもよいし、たわみ変形が可能な非伸縮性基板であってもよい。
【０００８】
本発明の圧電体駆動素子において、上記非伸縮性基板は、上記圧電体薄板と対向する金属薄板（例えば、ステンレス薄板）と上記端子電極に接続される配線金属とを樹脂により固定することにより構成することができる。
【０００９】
本発明の圧電体駆動素子においては、２つの圧電体駆動部を含み、各圧電体駆動部に対応して上記圧電体薄板が２つに分離されて設けられていてもよい。
【００１０】
本発明の２つの圧電体駆動部を含む圧電体駆動素子では、上記端子電極は、上記２つの圧電駆動部の一方に接続された信号端子電極と、他方に接続された信号端子電極と、上記２つの圧電駆動部に共通の１つの接地端子電極とによって構成することができる。
【００１１】
本発明の圧電体駆動素子において、上記圧電体薄板は、それぞれ両面に電極膜が形成された第１の薄膜圧電体層と第２の薄膜圧電体層が接着剤により接合された積層構造を有し、上記接着剤を介して対向する電極膜をそれぞれ接地電極膜とすることが好ましい。
【００１３】
また、本発明に係る圧電体駆動素子の製造方法は、
第１の基板上に第１電極と第１圧電体薄膜と第２電極とを形成し、第２の基板上に第３電極と第２圧電体薄膜と第４電極とを形成する第１の工程と、
上記第２電極と上記第４電極とを対向させて接着剤で接着することにより上記第１基板と上記第２基板とを貼り合わせ、上記第１基板と上記第２基板の間に、上記第１電極、上記第１圧電体薄膜、上記第２電極、上記第４電極、上記第２圧電体薄膜及び上記第３電極が積層されてなる圧電積層体層を形成する第２の工程と、
上記第２基板を除去する第３の工程と、
上記第１基板上で上記圧電積層体層の一部を分離することにより、その分離された部分からなる少なくとも２つの圧電体台座部を形成する第４工程と、
上記２つの圧電体台座部の一方に、上記第２電極と上記第４電極とに接続された第１のボンディング電極を形成し、他方に上記第１電極と上記第３電極とに接続された第２のボンディング電極を形成する第５工程と、
上記圧電積層体層及び上記２つの圧電体台座部上に転写用基板を接合した後に上記第１基板と上記転写用基板とを除去し、その除去した第１基板に代えてたわみ変形が可能な非伸縮性基板を接合する第６工程とを含むことを特徴とする。
以上のように構成された本発明に係る圧電体駆動素子の製造方法によれば、圧電変位領域として機能する圧電体積層体層と上記端子電極が設けられる上記圧電体台座とが分離された圧電体駆動素子を製造することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、本発明に係る実施の形態１のヘッド支持機構について説明する。
本実施の形態１のヘッド支持機構部は、図１に示すように、ロードビーム４と、ロードビーム４の先端部分に設けられたスライダ２と、そのスライダ２が先端部分に接続されたフレクシャ７とを用いて構成される。この実施の形態１のヘッド支持機構では、薄膜圧電体素子１０を用いてフレクシャ７の一部に圧電体駆動部１００が形成されており、その圧電体駆動部１００でスライダ２を回転させることにより、スライダ２の一端面に取り付けられた磁気ヘッド１の位置決めを行うことができる構造となっている。
尚、ロードビーム４は、その基端部４Ａでベースプレート５にビーム溶接によって固定される。
【００１５】
本実施の形態１のヘッド支持機構部において、薄膜圧電体素子１０は、図３に示すように、台形形状の圧電積層体を中央部分で左右２つに分離することにより形成された２つの薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂにより構成される。また、薄膜圧電体素子１０は、一対の薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂにそれぞれ設けられた信号端子部４０と薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの共通端子として設けられたグランド端子部（接地端子部）３０とを備え、印加する電圧に対応させて２つの薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂを別々に制御できるように構成されている。
【００１６】
この薄膜圧電体素子１０を構成する圧電積層体は、図４（図３のＡ−Ａ’線についての断面図）に示すように、上面に上部電極（電極金属膜）１２Ｂが形成され下面に下部電極（電極金属膜）１２Ａが形成された第１の薄膜圧電体層１１Ａと、上面に下部電極膜（電極金属膜）１２Ｃが形成され下面に上部電極（電極金属膜）１２Ｄが形成された第２の薄膜圧電体層１１Ｂとを、上部電極膜１２Ｂと上部電極膜１２Ｄが対向するように接着剤１８により接合することにより構成される。
この第１と第２の薄膜圧電体層１１Ａ，１１Ｂはそれぞれ、上部電極膜１２Ｂと上部電極膜１２Ｄとを接地し、第１の薄膜圧電体層１１Ａの下部電極膜１２Ａと第２の薄膜圧電体層１１Ｂの下部電極（電極金属膜）１２Ｃに同一の電圧を与えた時に、同一方向に変化するように構成される。
ここで、同一方向に変化するとは、第１の薄膜圧電体層１１Ａが伸びた場合に第２の薄膜圧電体層１１Ｂも伸び、第１の薄膜圧電体層１１Ａが収縮した場合には第２の薄膜圧電体層１１Ｂも収縮することをいう。
また、薄膜圧電体素子１０の全体は、柔軟性のあるコーティング樹脂４１，５０で覆われている。
尚、薄膜圧電体素子１０Ａの下部電極膜１２Ｃと薄膜圧電体素子１０Ｂの下部電極膜１２Ｃは電気的に分離され、薄膜圧電体素子１０Ａの下部電極膜１２Ａと薄膜圧電体素子１０Ｂの下部電極膜１２Ａは電気的に分離されている。
【００１７】
また、本実施の形態１のヘッド支持機構部において、フレクシャ７は、図２，図５に示すように、磁気ヘッド１に接続される金属配線７Ｈと、薄膜圧電体素子１０が貼り合わされることにより圧電体駆動部１００を構成する金属板１５（１５Ａ，１５Ｂ）とが図６（図５のＸ−Ｘ’線についての断面図）に示すようにポリイミド樹脂等の絶縁材料１６により保持された柔軟性を有するフィルム状の基板であり、スライダ取付部７Ｘと配線部９とスライダ取付部７Ｘと配線部９との間に位置する薄膜圧電体貼付部８（８Ａ，８Ｂ）とからなる。
ここで、金属板１５Ａ，１５Ｂはそれぞれ、薄膜圧電体素子１０Ａ及び薄膜圧電体素子１０Ｂと略同一の平面形状に形成され、圧電体貼付部８において薄膜圧電体素子１０Ａ及び薄膜圧電体素子１０Ｂにそれぞれ対向するように配置される。
【００１８】
また、フレクシャ７において、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄはそれぞれ、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの信号端子部４０に近接するように、配線部９と薄膜圧電体貼付部８Ａ，８Ｂとの境界付近に設けられ、薄膜圧電体用端子９Ｂ，９Ｃは、２つの薄膜圧電体素子の共通のグランド端子部３０に近接するように、配線部９と薄膜圧電体貼付部８との境界付近に設けられる。
尚、薄膜圧電体用端子９Ｂ，９Ｃは、いずれか一方が共通のグランド端子部３０に接続されればよく、１つの端子で構成してよい。
さらに、スライダ取付部７Ｘには、各金属配線の接続端子電極であり、磁気ヘッド１の入出力端子と接続するための磁気ヘッド用端子６が形成されている。
【００１９】
以上のように構成された圧電体薄膜素子１０とフレクシャ７とは、他の部品とともにロードビーム４上に図２及び図７に示すように組み合わされる。
フレクシャ７の薄膜圧電体貼付部８上には、金属板１５Ａ，１５Ｂにそれぞれ薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂが対向するように薄膜圧電体素子１０が貼り付けられる。
そして、フレクシャ７のスライダ取付部７Ｘ上にスライダ２（磁気ヘッド１が搭載されている）が配置され、そのスライダ２の反対側（スライダ取付部７Ｘの下面側）にはスライダ保持板３Ａが配置され、フレクシャ７の配線部９の下に配線部保持板３が配置されて、ロードビーム４の先端部分にスライダ２が位置するようにロードビーム４上に取り付けられる。
尚、スライダ保持板３Ａと配線部保持板３とは例えば、同一の厚さのステンレス板により作成される。
【００２０】
ここで、スライダ保持板３Ａには図２に示すように突起部３Ｂが形成され、さらにロードビーム４の先端部分にはディンプル４Ｇが形成されており、スライダ保持板３Ａは突起部３Ｂがディンプル４Ｇによって押圧されることにより、ディンプル４Ｇを中心として回転可能に保持される。
【００２１】
以上のように構成された実施の形態１のヘッド支持機構部は、以下のように動作させることができる。
図８（ａ）に示すように、接地端子である薄膜圧電体用端子９Ｂ及び９Ｃを接地し、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに図８（ｂ）（ｃ）に示すようにバイアス電圧Ｖ０を中心として互いに逆相で電圧を印加する。
このようにすると、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂは常に同じ方向に湾曲した状態で湾曲の度合いが、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに印加される電圧に対応して変化する。
これによって、図９（ａ）に示すように、例えば、薄膜圧電体素子１０Ａの湾曲が小さく、薄膜圧電体素子１０Ｂの湾曲が大きい場合には、１９Ａで示す部分が緩み１９Ｂで示す部分が引っ張られることにより、スライダ保持板３Ａを回転させることができる。
【００２２】
以上のように構成された、薄膜圧電素子を用いて磁気ヘッドを位置決めをするヘッド支持機構部は、従来のボイスコイルモータを用いて磁気ヘッドを位置決めするヘッド支持機構部や他の圧電素子を用いたヘッド支持機構に比較して、高精度に磁気ヘッドの位置決めをすることが可能である。
【００２３】
次に、本実施の形態１のヘッド支持機構における特徴的な部分である薄膜圧電体素子１０の端子構成と薄膜圧電体用端子９Ａ〜９Ｄとの接続について説明する。
図１０は、薄膜圧電体素子１０の端子構造を詳細に示す透過図であり、図１１は、断面図である。
尚、図１１の断面図は薄膜圧電体素子１０とフレクシャ７と接合した状態における断面図（図５のＹ−Ｙ’線に沿って切断したもの）である。
【００２４】
上述したように、本実施の形態１の圧電体薄膜素子１０は、独立して駆動することができる２つの圧電体薄膜素子１０Ａ，１０Ｂによって構成されている。
本実施の形態１では、この２つの圧電体薄膜素子１０Ａ，１０Ｂは、台形形状の圧電積層体がその中心部分で２つに分離されることにより形成され、その台形形状の圧電積層体の下底に沿った部分に２つの圧電体薄膜素子１０Ａ，１０Ｂの外部接続用の電極が形成される。
【００２５】
以下、図１２〜図２３を参照しながら、本実施の形態１の圧電体駆動部１００の製造方法について説明することにより、製造方法及び圧電体駆動部１００の詳細な構成を明らかにする。
尚、薄膜圧電体素子１０Ａと薄膜圧電体素子１０Ｂとは、図１１に示したように同様の構造（左右対称）を有するので、本製造方法を説明するための以下の図においては、薄膜圧電体素子１０Ｂの部分を省略して示している。
【００２６】
（成膜工程）
本実施の形態１の製造方法では、まず、図１２に示すように、単結晶基板１３Ｂの一方の主面に、単結晶基板１３Ｂ側から電極金属膜１２Ｃ、薄膜圧電体１１Ｂ及び電極金属膜１２Ｄをこの順に成膜する。
同様に、図１３に示すように、単結晶基板１３Ａの一方の主面に、単結晶基板１３Ａ側から電極金属膜１２Ａ、薄膜圧電体１１Ａ及び電極金属膜１２Ｂをこの順に成膜する。
【００２７】
（接着工程）
次に、図１４に示すように、単結晶基板１３Ａと単結晶基板１３Ｂとを、電極金属膜１２Ｄと電極金属膜１２Ｂとを対向させて、接着剤層１８を用いて接着する。
これにより、単結晶基板１３Ａの一方の主面に、単結晶基板１３Ａ側から電極金属膜１２Ａ、薄膜圧電体１１Ａ、電極金属膜１２Ｂ、接着剤層１８、電極金属膜１２Ｄ、薄膜圧電体１１Ｂ及び電極金属膜１２Ｃがこの順に積層された積層体が構成される。
なお、本実施の形態１では、接着剤層１８を用いて接着したが、本発明では接着剤層１８を用いること無く、超音波振動を利用した熱溶着によって電極金属膜１２Ｄと電極金属膜１２Ｂとを接着するようにしても良い。
そして、図１５に示すように、一方の単結晶基板１３Ｂをエッチングで除去する。
【００２８】
（第１エッチング工程）
次に、図１６（ａ）の平面図及び図１６（ｂ）の断面図に示すように、ドライエッチングによって、積層体を圧電変位領域５１Ａと圧電変位領域５１Ｂ（図示せず）と信号端子用圧電体台座４０Ａと接地端子用圧電体台座３０Ａとに分離する。
（第２エッチング工程）
次に、図１７（ａ）の平面図及び図１７（ｂ）の断面図に示すように、ドライエッチングによって（図１７（ｂ）においてＥ１及びＥ２で示す部分を除去することによって）、圧電変位領域５１Ａの周りに電極金属膜１２Ａを露出させる。尚、図１７（ｂ）にＥ２の符号を付して示す部分は、その部分を除去することにより露出される電極金属膜１２Ａ（接続部分）の幅が、圧電変位領域５１Ａの周りに露出される電極金属膜の幅に比較して広くなるように設定される。
【００２９】
（第３エッチング工程）
次に、図１７（ａ）の平面図及び図１７（ｂ）の断面図に示すように、ドライエッチングによって、圧電変位領域５１Ａの接地端子領域３０Ａに近接した部分において、電極金属膜１２Ｃ及び薄膜圧電体１１Ｂを除去することにより凹部２０Ａを形成し、その凹部２０Ａの底面に電極金属膜１２Ｄを露出させる。
【００３０】
（第４エッチング工程）
次に、図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すように、ドライエッチングによって、凹部２０Ａの底面において、電極金属膜１２Ｄ及び接着剤層１８を除去することにより、凹部２０Ｂを形成して、その凹部２０Ｂの底面に電極金属膜１２Ｂを露出させる。
尚、凹部２０Ｂは凹部２０Ａの底面の中央部に形成され、凹部２０Ｂの周りには、電極金属膜１２Ｄが少なくとも後述の金属端子膜２１Ｃにより確実に接続できる程度に露出されている。
【００３１】
（第１コーティング膜形成工程）
次に、図１９（ａ）（ｂ）に示すように、以下の部分を露出させる以外は、薄膜圧電体素子１０のほぼ全体を覆うように、コーティング膜４１を形成する。
コーティング膜４１が形成されないで露出される部分は、
（i）凹部２０Ｂ底部の電極金属膜１２Ｂと、
（ii）凹部２０Ｂの周りに露出された電極金属膜１２Ｄ（凹部２０Ａの底部に露出された凹部２０Ｂの周りの電極金属膜１２Ｄ）と、
（iii）信号端子用圧電体台座４０Ａに隣接して露出された電極金属膜１２Ａと、
（iv）凹部２０Ａと信号端子用圧電体台座４０Ａに隣接して露出された電極金属膜１２Ａと間において、その電極金属膜１２Ａに近接するようにコーティング膜４１に形成された開口部１２ＣＯにより露出された電極金属膜１２Ｃである。
【００３２】
（金属端子膜形成）
次に、図２０（ａ）（ｂ）に示すように、（i）凹部２０Ｂ底部の電極金属膜１２Ｂと（ii）凹部２０Ｂの周りに露出された電極金属膜１２Ｄとに接続された金属端子膜２１Ｃを接地端子領域３０Ａ上に延在するように形成し、
（iii）信号端子用圧電体台座４０Ａに隣接して露出された電極金属膜１２Ａと
（iv）開口部１２ＣＯにより露出された電極金属膜１２Ｃとに接続された金属端子膜２１Ａを信号端子用圧電体台座４０Ａ上に延在するように形成する。
【００３３】
（第２コーティング膜形成工程）
次に、図２１（ａ）（ｂ）に示すように、接地端子用圧電体台座３０Ａ上に形成された金属端子膜２１Ｃと信号端子用圧電体台座４０Ａ上に形成された金属端子膜２１Ａを露出させるように、薄膜圧電体素子１０のほぼ全体を覆うコーティング膜５０を形成する。
（転写工程）
次に、図２２に示すように、コーティング膜５０の上に転写用基板６０を接合し、その後、単結晶基板１３Ａを例えばエッチングにより除去し、さらに転写用基板６０を除去する。
そして、その除去した側に単結晶基板１３Ａに代えてたわみ変形が可能な非伸縮性基板であるフレクシャ７を接合する。
【００３４】
（ワイヤボンディング工程）
そして、信号端子用圧電体台座４０Ａ，４０Ｂ上にそれぞれ露出された金属端子膜２１Ａ，２１Ｂ表面からなるワイヤーボンディング部４０と信号端子９Ａ，９Ｄとをそれぞれワイヤー２５により接続する。
また、信号端子用圧電体台座３０Ａ上に露出された金属端子膜２１Ｃ表面からなるワイヤーボンディング部３０とグランド端子９Ｂ又はグランド端子９Ｃとをワイヤー２５により接続する。
ここで、本ボンディング工程においては、超音波ボンディングなど種々のボンディングマシンを適用できる。
以上のようにして、図１１に示すように、フレクシャ７の薄膜圧電体貼付部８上に薄膜圧電体素子１０が接合されて本実施の形態１の圧電体駆動部が作製される。
【００３５】
以上のように構成された実施の形態１のヘッド支持機構における圧電体駆動部は、圧電変位領域５１Ａ，５１Ｂと、ワイヤーボンディング部３０，４０が形成される端子用圧電体台座３０Ａ，４０Ａとが分離されているので、ワイヤーボンディング時における機械的な衝撃又は振動の圧電変位領域５１Ａ，５１Ｂへの伝達が分離された部分により抑制され、圧電変位領域５１Ａ，５１Ｂの亀裂等の発生を防止できる。
これにより、本実施の形態１のヘッド支持機構は歩留まり良く製造することができかつ高い信頼性を確保できる。
【００３６】
実施の形態２．
以下、本発明に係る実施の形態２のヘッド支持機構について説明する。
実施の形態２のヘッド支持機構部は、フレクシャの薄膜圧電体貼付部に金属板１５Ａ，１５Ｂが設けられていない点で実施の形態１のヘッド支持機構部と異なる他は、実施の形態１のヘッド支持機構部と基本構成は同様である。
すなわち、実施の形態１のヘッド支持機構部では、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂと金属板１５Ａ，１５Ｂとによって圧電体駆動部１００が構成され、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの湾曲を伴なう動作によって、スライダ保持板３Ａを回転させていた。
これに対して、本実施の形態２のヘッド支持機構部では、金属に比べて伸縮性を有するポリイミド上に、金属板１５Ａ，１５Ｂを設けることなく、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂを貼り付けることによって、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮を直接的に利用してスライダ保持板３Ａを回転させるように構成している。
【００３７】
より具体的には、ポリイミド基板とその上に貼り付けられた薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂからなる実施の形態２の圧電体駆動部は、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮により若干の湾曲は生じるものの、ポリイミド基板が薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂとともに伸縮するために、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮により直接的にスライダ保持板３Ａを回転させる駆動力を得ることができる。
【００３８】
以下、図面を参照しながら本発明に係る実施の形態２のヘッド支持機構部の詳細について説明する。
尚、以下の図面において、実施の形態１と同様のもの（形状が異なっていても機能が同様のものも含む）には同様の符号を付して示している。
【００３９】
図２４は、実施の形態２のヘッド支持機構の分解斜視図であり、磁気ヘッド１、スライダ２、薄膜圧電体素子１０、ロードビーム４は、実施の形態１のヘッド支持機構と同様に構成されており、フレクシャー７０は、図２６（図２５のＸ−Ｘ’線についての断面図）に示すように、薄膜圧電体貼付部１６Ａ，１６Ｂに金属板１５Ａ，１５Ｂを含んでいない点で、実施の形態１と相違する。
この薄膜圧電体貼付部１６Ａ，１６Ｂは、ポリイミド樹脂等の絶縁材料１６により作製された柔軟性を有するフィルム状の基板の一部であり、薄膜圧電体素子１０Ａ及び薄膜圧電体素子１０Ｂと略同一の平面形状に形成される。
尚、フレクシャ７０は、磁気ヘッド１に接続される金属配線７Ｈの配線パターンが実施の形態１とは異なり、また、実施の形態１では２つであった薄膜圧電体用端子９Ｂ，９Ｃが１つの端子９Ｂで構成されているが、基本的な動作に影響を与えるものではない。
【００４０】
実施の形態２のヘッド支持機構部では、以上のように構成されたフレクシャ７０と圧電体薄膜素子１０とが他の部品とともにロードビーム４上に組み合わされて、図２７に示すように、ロードビーム４上に圧電体駆動部が構成される。
尚、実施の形態２のヘッド支持機構部では、薄膜圧電体１０の伸縮動作に寄与しない部分である端子形成部分（端子用圧電体台座３０Ａ，４０Ａが形成された部分）に対向して配線部保持板３が設けられ、端子形成部分により圧電変位領域の伸縮運動が妨げられないように構成されている。
【００４１】
以上のように構成された実施の形態２のヘッド支持機構部は、以下のように動作させることができる。
実施の形態１と同様にして、接地端子である薄膜圧電体用端子９Ｂを接地し、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに図８（ｂ）（ｃ）に示すようにバイアス電圧Ｖ０を中心として互いに逆相で電圧を印加する。
このようにすると、薄膜圧電体素子１０Ａ，１０Ｂの伸縮の度合いが、薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｄに印加される電圧に対応して変化する。
これによって、例えば、薄膜圧電体素子１０Ａの伸びが大きく、薄膜圧電体素子１０Ｂの伸びが小さい場合には、１９Ａで示す部分が緩み１９Ｂで示す部分が引っ張られることにより、スライダ保持板３Ａを回転させることができる。
【００４２】
以上のように構成された実施の形態２の、薄膜圧電素子を用いて磁気ヘッドを位置決めをするヘッド支持機構部は、従来のボイスコイルモータを用いて磁気ヘッドを位置決めするヘッド支持機構部や他の圧電素子を用いたヘッド支持機構に比較して、高精度に磁気ヘッドの位置決めをすることが可能である。
尚、実施の形態２のヘッド支持機構における特徴的な部分である薄膜圧電体素子１０の端子構成と薄膜圧電体用端子９Ａ，９Ｂ，９Ｄとの接続については、図２８に示すとおりである。
【００４３】
変形例．
本発明に係る変形例のヘッド支持機構は、実施の形態２のヘッド支持機構において、図２９の断面図に示す薄膜圧電体素子を用いて構成した以外は、実施の形態２のヘッド支持機構と同様に構成される。
すなわち、変形例の薄膜圧電体素子は、第１の薄膜圧電体層１１Ａと第２の薄膜圧電体層１１Ｂをエッチングする際にそれぞれ、２段階でエッチングをすることにより、第１の薄膜圧電体層１１Ａ及び第２の薄膜圧電体層１１Ｂのエッチング断面にステップ部Ｓ１１Ａ，Ｓ１１Ｂが形成されるようにしている。
【００４４】
このように構成された薄膜圧電体素子は、製造過程のドライエッチング工程においてエッチング方向に平行な壁に付着する導電性を有する側壁付着物がステップ部Ｓ１１Ａ，Ｓ１１Ｂにより電気的に分離される。
従って、変形例の薄膜圧電体素子は、リーク電流を少なくでき、より信頼性の高いヘッド支持機構を実現できる。
【００４５】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、本発明に係る圧電体駆動素子は、上記端子電極は上記圧電変位領域から分離されてなる圧電体台座を介して上記基板の一方の面の上に形成されているので、ワイヤーボンディング時における機械的な衝撃又は振動の圧電変位領域への伝達を抑制することができ、上記圧電体薄板における亀裂等の発生を防止できる。
これにより、ボンディングワイヤー接合を行っても、電極金属膜間で短絡が生じにくい、圧電体駆動素子を提供することができる。
また、本発明に係る圧電体駆動素子の製造方法によれば、信頼性の高い圧電体駆動素子を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る実施の形態１のヘッド支持機構の全体構成を示す斜視図である。
【図２】 実施の形態１のヘッド支持機構の分解斜視図である。
【図３】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の平面図である。
【図４】 図３のＡ−Ａ’線についての断面図である。
【図５】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用するフレクシャの平面図である。
【図６】 図５のＸ−Ｘ’線についての断面図である。
【図７】 実施の形態１のヘッド支持機構の側面図である。
【図８】 実施の形態１のヘッド支持機構の圧電駆動部の動作を説明するための断面図と印加する電圧の波形を示すグラフである。
【図９】 実施の形態１のヘッド支持機構の動作を説明するための平面図である。
【図１０】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の電極構成を示す一部透視平面図である。
【図１１】 実施の形態１のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の電極構成を示す断面図である。
【図１２】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における、電極及び薄膜圧電体の成膜工程を説明するための断面図（その１）である。
【図１３】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における、電極及び薄膜圧電体の成膜工程を説明するための断面図（その２）である。
【図１４】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における接着工程を説明するための断面図である。
【図１５】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法において、接着後に基板を剥離した状態を示す断面図である。
【図１６】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第１エッチング工程を説明するための平面図と断面図である。
【図１７】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第２，３エッチング工程を説明するための平面図と断面図である。
【図１８】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第４エッチング工程を説明するための平面図と断面図である。
【図１９】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第１コーティング膜形成工程を説明するための平面図と断面図である。
【図２０】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における金属端子膜形成工程を説明するための平面図と断面図である。
【図２１】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における第２コーティング膜形成工程を説明するための平面図と断面図である。
【図２２】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における転写工程を説明するための断面図である。
【図２３】 実施の形態１の圧電駆動部の製造方法における転写後の状態を示す断面図である。
【図２４】 本発明に係る実施の形態２のヘッド支持機構の分解斜視図である。
【図２５】 実施の形態２のヘッド支持機構に使用するフレクシャの平面図である。
【図２６】 図２５のＸ−Ｘ’線についての断面図である。
【図２７】 実施の形態２のヘッド支持機構の側面図である。
【図２８】 実施の形態２のヘッド支持機構に使用する薄膜圧電体素子の電極構成を示す断面図である。
【図２９】 本発明に係る変形例の薄膜圧電体素子の電極構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１…磁気ヘッド、２…スライダ、３…配線部保持板、３Ａ…スライダ保持板、３Ｂ…突起部、４…ロードビーム、４Ａ…基端部、４Ｇ…ディンプル、５…ベースプレート、７，７０…フレクシャ、７Ｈ…金属配線、７Ｘ…スライダ取付部、８（８Ａ，８Ｂ），１６（１６Ａ，１６Ｂ）…薄膜圧電体貼付部、９…配線部、９Ａ，９Ｂ，９Ｃ，９Ｄ…薄膜圧電体用端子、１０…薄膜圧電体素子、１０Ａ，１０Ｂ…薄膜圧電体素子、１１Ａ…第１の薄膜圧電体層、１１Ｂ…第２の薄膜圧電体層、１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ…電極金属膜、１２ＣＯ…開口部、１３…接着剤、１３Ａ，１３Ｂ…単結晶基板、１５（１５Ａ，１５Ｂ）…金属板、１６…絶縁材料、１８…接着剤、２０Ａ，２０Ｂ…凹部、２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ…金属端子膜、２５…ボンディングワイヤ、３０…グランド端子部（接地端子部）、３０Ａ…接地端子用圧電体台座、４０…信号端子部、４０Ａ…信号端子用圧電体台座、４１，５０…コーティング樹脂、５１Ａ，５１Ｂ…圧電変位領域、１００…圧電体駆動部。
Claims (10)
- 基板の一方の面に圧電体薄板が接合され、その一方の面にさらに上記圧電体薄板を伸縮させる信号を印加するための端子電極が設けられてなる圧電体駆動素子であって、
上記端子電極は上記圧電体薄板から分離された圧電体台座を介して上記基板の一方の面の上に形成されているワイヤーボンディング電極であることを特徴とする圧電体駆動素子。 - 上記圧電体薄板と上記圧電体台座とはそれぞれ複数の層が積層されてなり、かつ互いに同一積層構造を有する請求項１記載の圧電体駆動素子。
- 上記基板は上記圧電体薄板の伸縮に対応して伸縮が可能な基板である請求項１又は２記載の圧電体駆動素子。
- 上記基板はポリイミドからなる請求項３記載の圧電体駆動素子。
- 上記基板はたわみ変形が可能な非伸縮性基板である請求項１又は２記載の圧電体駆動素子。
- 上記非伸縮性基板は、上記圧電体薄板と対向する金属薄板と上記端子電極に接続される配線金属とが樹脂により固定されてなる請求項５記載の圧電体駆動素子。
- 上記圧電体駆動素子は２つの圧電体駆動部からなり、各圧電体駆動部に対応して上記圧電体薄板が２つに分離されて設けられている請求項１〜６のうちのいずれか１つに記載の圧電体駆動素子。
- 上記端子電極は、上記２つの圧電駆動部の一方に接続された信号端子電極と、他方に接続された信号端子電極と、上記２つの圧電駆動部に共通の１つの接地端子電極とからなる請求項７記載の圧電体駆動素子。
- 上記圧電体薄板は、それぞれ両面に電極膜が形成された第１の薄膜圧電体層と第２の薄膜圧電体層が接着剤により接合された積層構造を有し、上記接着剤を介して対向する電極膜をそれぞれ接地電極膜とした請求項１〜８のうちのいずれか１つに記載の圧電体駆動素子。
- 第１の基板上に第１電極と第１圧電体薄膜と第２電極とを形成し、第２の基板上に第３電極と第２圧電体薄膜と第４電極とを形成する第１の工程と、
上記第２電極と上記第４電極とを対向させて接着剤で接着することにより上記第１基板と上記第２基板とを貼り合わせ、上記第１基板と上記第２基板の間に、上記第１電極、上記第１圧電体薄膜、上記第２電極、上記第４電極、上記第２圧電体薄膜及び上記第３電極が積層されてなる圧電積層体層を形成する第２の工程と、
上記第２基板を除去する第３の工程と、
上記第１基板上で上記圧電積層体層の一部を分離することにより、その分離された部分からなる少なくとも２つの圧電体台座部を形成する第４工程と、
上記２つの圧電体台座部の一方に、上記第２電極と上記第４電極とに接続された第１のボンディング電極を形成し、他方に上記第１電極と上記第３電極とに接続された第２のボンディング電極を形成する第５工程と、
上記圧電積層体層及び上記２つの圧電体台座部上に転写用基板を接合した後に上記第１基板と上記転写用基板とを除去し、その除去した第１基板に代えてたわみ変形が可能な非伸縮性基板を接合する第６工程とを含むことを特徴とする圧電体駆動素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002319570A JP3713258B2 (ja) | 2001-11-02 | 2002-11-01 | 圧電体駆動素子とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-337515 | 2001-11-02 | ||
| JP2001337515 | 2001-11-02 | ||
| JP2002319570A JP3713258B2 (ja) | 2001-11-02 | 2002-11-01 | 圧電体駆動素子とその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003204684A JP2003204684A (ja) | 2003-07-18 |
| JP3713258B2 true JP3713258B2 (ja) | 2005-11-09 |
Family
ID=27666833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002319570A Expired - Fee Related JP3713258B2 (ja) | 2001-11-02 | 2002-11-01 | 圧電体駆動素子とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3713258B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5570111B2 (ja) * | 2008-12-18 | 2014-08-13 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | ヘッド・ジンバル・アセンブリ及びディスク・ドライブ |
| JP2013093428A (ja) * | 2011-10-25 | 2013-05-16 | Stanley Electric Co Ltd | 基板パッケージ |
| JP5829637B2 (ja) * | 2013-02-08 | 2015-12-09 | サンコール株式会社 | 磁気ヘッドサスペンション |
-
2002
- 2002-11-01 JP JP2002319570A patent/JP3713258B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003204684A (ja) | 2003-07-18 |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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