JP3702389B2 - 半導体装置の試験回路 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は半導体装置に内蔵される試験回路に係わり、特に半導体装置の試験の設定を行う試験回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置には、その内部回路の機能を試験するための試験回路が内蔵されている。この半導体装置における内部回路の試験は半導体装置の出荷前に行われるものであり、半導体装置のユーザーが行うものではない。そこで、半導体装置の試験回路にはユーザーが誤って試験動作を起動しないように様々な工夫がなされている。
【0003】
従来の半導体装置の試験方法について、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)を例にして説明する。
【0004】
従来のDRAMの試験回路の起動、即ち試験モードの登録(エントリー)は、WCBRサイクルにおける試験モードを示すアドレス信号の入力で行われる。この時、誤って試験モードが登録されることを防止するために、DRAMのある外部端子に規定の電源電圧よりも高い電圧が印加されている場合にのみ試験モードが登録されるように設定されている。通常のDRAMの使用状況において、DRAMの外部端子に電源電圧よりも高い電圧が印加されることはないので、通常の使用時に試験モードが誤って登録されることはない。
【0005】
上記WCBRとは、ライトイネーブル信号WE及びカラムアドレスストローブ信号CASが、ローアドレスストローブ信号RASに先立ってローレベルとなる動作のことである。
【0006】
従来のDRAMの試験においては、試験毎にその試験モードを示すアドレスが規定されており、特定の試験を示すアドレスが入力されたときに当該試験が行われる。即ち、試験モードと、当該試験モードを示すアドレスの値が1対1に対応しており、各試験モードに対応した試験回路がDRAMの内部に夫々設けられている。
【0007】
ワード線ストレス試験に対してはその試験を示すアドレスが規定されており、ディスターブ試験に対してもその試験を示すアドレスが規定されており、ワード線ストレス試験、ディスターブ試験を実行する試験回路が夫々設けられている。
【0008】
図8に従来のDRAMの試験モード登録回路を示す。デコーダ回路81はアドレス信号とCNTとを入力し、WCBRサイクルにおいて規定のアドレスが入力されたときに試験モード信号を出力する。ここで、CNTはWCBRサイクルの検知を示す信号であり、試験モード信号は試験モードの登録を示す信号である。この従来の試験モード登録回路においては、試験モードを示すアドレスのデコーダ出力をそのまま試験モード信号として用いているために、次のWCBRサイクルにおいて異なるアドレスが入力されると、そのアドレスに応じた試験モード登録回路の試験モード信号のみがアクティブ状態となり、その他の試験モード信号は非アクティブ状態となる。従って、複数の試験を同時に登録することができない。
【0009】
図9に図8に示した試験モード登録回路のデコーダ回路81の詳細な回路を示す。デコーダ回路81は、2つのNAND回路(NAND91,92)とNOR回路(NOR91)とインバータ(IN91,92)とで構成されている。この回路は、WCBRサイクルにおいて、アドレス信号の下位5ビットの値が(0,1,1,0,0)のとき、即ち16進法で0CHのときにハイレベルの信号を出力するように設定されている。尚、図9において、A2,A3はアドレス信号の対応する各ビットのそのままの論理値の信号であり、A4B,A1B,A0Bはアドレス信号の対応する各ビットの反転信号である。
【00010】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の試験モードの登録においては、ある特定の端子に電源電圧よりも高い電圧が印加されるので、その高電圧によってデバイス内部のトランジスタが劣化してしまうという問題がある。また、半導体装置の試験の一種であるバーンイン試験時には各端子に電源電圧よりも高い電圧が印加されるので、このバーンイン試験時に誤って内部回路の試験モードが登録されて誤動作するという問題もある。
【0011】
また、従来の試験回路においては、試験モードと、試験モードを示すアドレスの値が1対1に対応しており、各試験モードに対応した試験回路が半導体装置の内部に夫々設けられるので、試験モードの種類の増加に伴って半導体チップに占める試験回路の面積が増大するという問題がある。
【0012】
更には、従来の試験モード登録回路においては、複数の試験を同時に登録することができず、各試験が1つずつ行われるので試験モードの数が増加し、半導体チップに占める試験回路の面積が増大してしまう。
【0013】
そこで本発明の目的は、半導体チップに占める試験回路の面積の増加を抑制し、かつ、試験の種類を増加する半導体装置の試験回路を提供することである。
【0014】
本発明の他の目的は、複数の試験モードを同時に登録できる半導体装置の試験回路を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の半導体装置の試験回路は、内部回路の各試験動作がそれぞれ複数の試験機能の組み合わせに分解されており、これら複数の試験機能の中の特定の組み合わせにより所望の内部回路の試験動作を実現する半導体装置の試験回路であって、入力されるアドレスが予め定められている試験機能に対応した値であるときにアドレス一致信号を出力する試験モード・デコーダ回路と、試験イネーブル信号に応じて上記アドレス一致信号をラッチして試験機能の実行を指示する試験モード信号を出力する試験モード・ラッチ回路とを含む試験モード登録回路を複数有し、上記複数の試験モード登録回路から出力される上記試験モード信号の組み合わせに応じた内部回路の試験を実行する。
【0016】
【作用】
本発明の半導体装置の試験回路においては、入力されるアドレスが予め定められている試験機能に対応した値であるときに、該当の試験モード登録回路において、試験モード・デコーダ回路がアドレス一致信号を出力し、試験モード・ラッチ回路が該試験イネーブル信号に応じて上記アドレス一致信号をラッチして試験機能の実行を指示する試験モード信号を出力する。複数の試験モード登録回路からそれぞれ出力される複数の試験モード信号に対応する複数の試験機能を組み合わせることで様々な試験を行うことができる。従来は各種の複合試験毎に設けられていた試験動作回路を本発明では複数の小さな機能別に分解して、それら複数の機能別試験動作回路に上記複数の試験モード登録回路を1対1の対応関係で割り当て、所望の複数の試験機能または機能別試験動作回路にそれぞれ対応するアドレスを与えることにより様々な機能試験を任意の組合せで実現できる。また、異なる複合試験の種類を増加しても各機能別試験動作回路の組み合わせで対応できるため、半導体チップにおいて試験回路の占める面積の増加を抑制することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態における半導体装置の試験回路について、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)を例に説明する。
【0018】
図1に、本発明の半導体装置の試験回路に使用可能な試験イネーブル信号発生回路の構成を示す。図1において、WCBRBはWCBRサイクルの検知を示す信号であり、WCBRサイクル時にローレベルとなり、試験モード設定のタイミングをコントロールする。TRESBはラスオンリーリフレッシュ(RAS ONLY REFRESH)サイクル又はCBRリフレッシュサイクルの検知を示す信号であり、そのサイクル時にローレベルとなる。尚、CBRとは、カラムアドレスストローブ信号CASがローアドレスストローブ信号RASに先立ってローレベルとなるサイクルのことである。TENは試験イネーブル信号であり、この信号がローレベルになると各試験モードが登録可能となる。
【0019】
図2に図1の試験イネーブル信号発生回路の具体的な回路構成を示す。図2において、図1と同じものには同一の符合が付与されている。デコーダ回路11,12,13は、夫々2個のNAND回路と1個のNOR回路とで構成されている。ラッチ回路14と遅延回路21との組合せ、ラッチ回路15と遅延回路22との組合せ、及びラッチ回路16と遅延回路23との組合せは、夫々1個のNAND回路と3個のインバータと2個のトランスファゲート対とで構成されるラッチ回路14’,15’,16’に置き換えられている。ラッチ回路17,18は、夫々3個のインバータと2個のトランスファゲート対とで構成されている。尚、19,20は夫々遅延回路である。また、図1と図2の回路の動作タイミングは若干異なっている。
【0020】
コンビネーションアドレス(COMBINATION ADDRESS )1,2,3は設定された各アドレス値に応じて夫々アドレスバスに接続されている。例えば、コンビネーションアドレス1は16進法で08H、コンビネーションアドレス2は16進法で0DH、コンビネーションアドレス3は16進法で12Hに夫々設定される。この場合、デコーダ回路11にはアドレス線のA0B,A1B,A2B,A3,A4Bが入力され、デコーダ回路12にはアドレス線のA0,A1B,A2,A3,A4Bが入力され、デコーダ回路13にはA0B,A1,A2B,A3B,A4が入力される。
【0021】
コンビネーションアドレスのアドレス値自体に特別な意味はないが、コンビネーションアドレス1に対してコンビネーションアドレス2,3をプラス5としているのは、実際の試験の時にテスタによるアドレス信号の発生を簡単にするためであり、コンビネーションアドレスの値はその他の組合せでもよい。
【0022】
図3及び図4に、図1の試験イネーブル信号発生回路におけるタイミングチャートを示す。図3は試験イネーブル信号がイネーブルとされる場合であり、図4は試験イネーブル信号がディスエーブルとされる場合である。
【0023】
図3を用いて試験イネーブル信号が出力される場合について説明する。
【0024】
第1のWCBRサイクル(図3中のI)においてコンビネーションアドレス1の一致情報(デコーダ回路11のハイレベル出力)がラッチ回路14に読み込まれてラッチされる。次に、RASの立上りでWCBRBがローレベルとなってノードN2にローレベルのパルスが出力され、ラッチ回路14の出力がラッチ回路17に読み込まれてラッチされる。
【0025】
上記動作がコンビネーションアドレス2及び3についても同様に行われ、試験イネーブル信号であるTENがローレベルとなる。コンビネーションアドレス2及び3の読み込みにおいては、夫々ノードN3及びN4がハイレベルのとき、即ち、前回のWCBRサイクルにおいてコンビネーションアドレス1又は2が入力されたときにのみ、コンビネーションアドレスの一致情報(デコーダ回路12,13のハイレベル出力)がラッチ回路15又は16にラッチされる。
【0026】
上述したように、コンビネーションアドレス1,2,3がWCBRサイクルに同期して連続的に入力されたときにTENがローレベルとなって、試験モードが登録可能となる。
【0027】
次に、図4を用いて、コンビネーションアドレス2が誤ったアドレス値である場合について説明する。
【0028】
第1のWCBRサイクル(図4中のI)では、正しいコンビネーションアドレス1が読み込まれているのでノードN3,N6は夫々ハイレベルとなっている。第2のWCBRサイクル(図4中のII)においては、本来は正しいアドレス値のコンビネーションアドレス2(0DH:16進法)が読み込まれてノードN4がハイレベルにならなければならない。しかしながら、ここで、コンビネーションアドレス2、即ちコンビネーションアドレス1に続くアドレスが誤ったアドレス値である場合、ノードN4がローレベルのままであるのでノードN7はハイレベルを保つ。
【0029】
ここで、WCBRBの立上りから遅延を持ったノードN1がハイレベルになると、それに伴なってノードN9がローレベルとなる。すると、RESETがローレベルとなってラッチ回路14,15,18がリセットされ、第3のWCBRサイクル(図4中のIII )に正しいアドレス値のコンビネーションアドレス3が入力されてもTENはハイレベルのままであり、試験モードの登録は行われない。
【0030】
コンビネーションアドレス3が誤ったアドレス値で入力された場合にも、上記同様にラッチ回路14,15,16がリセットされ、試験モードの登録は行われない。
【0031】
図5に、CBRサイクルによる試験モードの解除のタイミングチャートを示す。CBRサイクルを検知したTRESBがRASの立上りでローレベルになると、AND12の出力信号であるRESETがローレベルになり、ラッチ回路14,15,16がリセットされる。また、TRESBはラスオンリーリフレッシュを検知したときにもローレベルとなり、上記同様にラッチ回路14,15,16がリセットされることとなる。
尚、図3、図4及び図5において、AIはDRAMのアドレス端子に入力されるアドレス信号である。
【0032】
以上に説明したように、図1および図2の試験イネーブル信号発生回路によれば、DRAM等の半導体装置の外部端子に電源電圧よりも高い電圧を印加することなく試験モードを設定できるので、半導体装置の内部トランジスタが高電圧によって劣化することがない。また、半導体装置のバーンイン試験において、誤った試験モードが設定されることもない。
【0033】
図6に、本発明の一実施形態における試験モード登録回路の構成を示す。この試験モード登録回路は、試験モードを示すアドレスをデコードするデコーダ回路60と、デコード結果であるデコーダ回路60の出力をラッチするラッチ回路61とから構成される。図8に示した従来の試験モード登録回路との相違は、ラッチ回路61を設けた点にある。
【0034】
図7に、図6の試験モード登録回路の詳細な回路構成を示す。デコーダ回路60は、NAND回路(NAND71,72)及びNOR回路(NOR71)で構成されている。ラッチ回路61は、NAND回路(NAND73)、インバータ(IN71,72,73,74,75,76)、PチャネルMOSトランジスタ(PT71,72)、及びNチャネルMOSトランジスタ(NT71,72)で構成されている。
【0035】
デコーダ回路60はアドレスバスに接続されており、デコーダ回路60に設定されているアドレスが入力されたときにハイレベルの信号をラッチ回路61に出力する。ラッチ回路61はTENがローレベルのときに、デコーダ回路60から出力されるハイレベル信号をラッチする。
【0036】
図7においては、デコーダ回路60にはアドレス信号のA0,A1,A2B,A3B,A4Bが接続されている。従って、このデコーダ回路60には16進法の03Hが設定されており、そのアドレス値に応じたアドレスが入力されたときにハイレベルの信号を出力する。
【0037】
このラッチ回路61はTENのみによってリセットされるが、このTENとしては図1に示した試験イネーブル信号発生回路から出力される試験イネーブル信号(TEN)を用いればよい。
【0038】
従って、一旦試験モード登録回路がハイレベルの試験モード信号をラッチすると、デコーダ回路60に規定されているアドレス値以外のアドレスが入力されてデコーダ回路60の出力がローレベルとなってもラッチ回路61はハイレベル信号を出力し続ける。
【0039】
この試験モード登録回路においては、従来の試験モードを各要素に分けた試験機能がデコーダ回路60に設定されたアドレス値として割当てられており、複数の試験モード登録回路を多重選択することにより各試験モードを実現する。
【0040】
例えば、従来のワード線のストレス試験は特定のアドレス値の入力により試験が起動され、その際にビット線はVss(接地電位)、プレート電極はVssというように、関連する条件が合わせて特定されていた。一方、本発明の半導体装置の試験回路においては、ビット線をVssにする、プレート電極をVssにするという機能を夫々独立した試験モードとし、これら複数の試験モードを組合せることにより各種の試験を実行する。
【0041】
上記したワード線の試験の場合、マルチワード試験、ビット線をVssにする、プレート電極をVssにするという3つの試験モードを重複して設定する。また、ビット線Vss試験においてリフレッシュサイクルを行えば、全てのメモリセルにデータ「0」を書き込むことができる。また、ビット線Vdd(電源電位)試験やプレートVdd試験を用意すれば、様々な条件のストレス試験を実現できる。この場合、全てのメモリセルにデータ「1」を書き込むこともできる。
【0042】
従って、多様な種類の試験モードを少ないアドレスの入力で実現できる。これは、半導体チップに占める試験回路の面積の削減に貢献する。
【0043】
本発明の試験モード登録回路は、試験イネーブル信号(TEN)がディスエーブルされるまで試験モードを維持するので、複数個の試験モード登録回路を次々に設定することにより、従来考えられなかった試験を実現することができる。
【0044】
図10に、本発明に係わる半導体装置の試験回路の試験動作例を示す。この試験は、図1に示す試験イネーブル信号発生回路及び図6に示す試験モード登録回路を用いて試験の登録が行われ、実際の試験動作は図示しない試験動作回路によって行われる。尚、この試験動作を行う試験動作回路は従来から用いられている回路でよい。
【0045】
まず、動作A,B,Cによって試験イネーブル信号TENがローレベルとなって、試験モードとなる。この動作は図1及び図3を用いて説明した動作によって実現される。試験イネーブル信号TENがローレベルとなるので、図6に示した試験モード登録回路に予め設定されているアドレスが入力すると、そのアドレスに対応した試験が登録されることとなる。
【0046】
動作Dにおいてアドレス「00011」が入力されると、そのアドレスが設定されている試験モード登録回路が応答して32ビットパラレル試験の登録を示す試験モード信号がハイレベルとなる。すると、このハイレベルの試験モード信号に応答して32ビットパラレル試験動作回路が動作し、32ビットパラレル試験が行われる。以下、E,F,G,H,I,Jと次々にWCBRサイクルに応じて試験機能を示すアドレスが入力されると、図10に示すように、各種の試験が次々に行われる。
【0047】
次に、動作Kにおいて、ラスオンリーリフレシュ等が行われると、図1中のTRESBがローレベルとなり、試験イネーブル信号TENがハイレベルとなる。すると、図6に示す試験モード登録回路の試験モード信号がローレベルとなり、試験モードが解除される。この後、試験モード登録回路に設定されているアドレスが入力されてデコーダ回路60の出力がハイレベルとなっても、TENがハイレベルであるので試験モードが登録されることはない。
【0048】
上述したように、本発明の半導体装置の試験回路の試験動作によれば、試験モードを抜けることなく連続的に試験を行うことができるので、試験の各要素を個別の試験機能に分割し、それら試験機能を連続的に登録することにより多彩な試験を実現できる。また、試験を複数の試験機能の組合せで行うので、試験モードに割当てるアドレスの数、延いては試験モード登録回路の数を低減できる。
尚、図10に示した例においては、図6の試験モード登録回路が少なくとも7つ必要である。
【0049】
本発明に係わる半導体装置の試験回路について実施例を挙げて説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形例が考えられる。図1に示した試験イネーブル信号発生回路では、試験イネーブル信号の生成のためのアドレスの組合せを3つとしたが、この組合せの数は2でもよいし、4以上でもよい。アドレスの組合せの数が多くなるほど、誤って試験イネーブル信号が出力される確率は低くなる。
【0050】
また、実施例として挙げたデコーダ回路、ラッチ回路は上述した構成に限定されず、その機能を満足すれば従来周知の回路を用いて実現してもよい。デコーダ回路に入力するアドレスのビット数を種々変えてもよい。
図10に示した連続的な試験動作についても、図10に示した動作順序、試験の種類、試験の数等も種々変えてもよい。
【0051】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、試験の各要素を個別の試験機能に分割し、それら試験機能を多重に登録することで複雑な試験を実現できるので、半導体チップに占める試験回路の面積を増やすことなく、試験の種類を増加することができる。また、複数の試験モードを同時に登録できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態で使用可能な試験イネーブル信号発生回路の構成を示す図である。
【図2】図1の試験イネーブル信号発生回路の具体的な回路構成を示す図である。
【図3】図1の試験イネーブル信号発生回路における作用のタイミングチャートを示す図である。
【図4】図1の試験イネーブル信号発生回路における作用のタイミングチャートを示す図である。
【図5】図1の試験イネーブル信号発生回路における作用のタイミングチャートを示す図である。
【図6】本発明の一実施形態における試験モード登録回路の構成を示す図である。
【図7】図6の試験モード登録回路の詳細な回路構成を示す図である。
【図8】従来の試験モード登録回路を示す図である。
【図9】従来の試験モード登録回路のデコーダ回路81の詳細な回路を示す図である。
【図10】本発明に係わる半導体装置の試験回路の試験動作例を示す図である。
【符号の説明】
11,12,13,60,81・・・デコーダ回路
14,14’,15,15’,16,16’,17,18,61・・・ラッチ回路
19,20,21,22,23・・・遅延回路
Claims (3)
- 内部回路の各試験動作がそれぞれ複数の試験機能の組み合わせに分解されており、これら複数の試験機能の中の特定の組み合わせにより所望の内部回路の試験動作を実現する半導体装置の試験回路であって、
入力されるアドレスが予め定められている試験機能に対応した値であるときにアドレス一致信号を出力する試験モード・デコーダ回路と、試験イネーブル信号に応じて上記アドレス一致信号をラッチして試験機能の実行を指示する試験モード信号を出力する試験モード・ラッチ回路とを含む試験モード登録回路を複数有し、
上記複数の試験モード登録回路から出力される上記試験モード信号の組み合わせに応じた内部回路の試験を実行する半導体装置の試験回路。 - 内部回路の各試験動作がそれぞれ複数の試験機能の組み合わせに分解されており、これら複数の試験機能の中の特定の組み合わせにより所望の内部回路の試験動作を実現する半導体装置の試験回路であって、
入力されるアドレスがそれぞれ予め設定されたアドレス値に一致するときにそれぞれアドレス一致信号を出力するM個(Mは予め設定される2以上の整数)の試験モード・デコーダ回路と、
各対応する上記デコーダ回路より与えられる上記アドレス一致信号を試験イネーブル信号に応じてラッチして試験モード信号を出力するM個の試験モード・ラッチ回路と、
各対応する上記試験モード・ラッチ回路より与えられる上記試験モード信号に応動して予め設定された試験機能を実行するM個の試験機能動作回路と
を有する半導体装置の試験回路。 - 各々の上記試験モード・ラッチ回路は、上記試験イネーブル信号がディスエーブル状態になったときにリセットされる請求項1又は2に記載の半導体装置の試験回路。
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