JP3698787B2 - 圧電振動ジャイロ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は圧電振動ジャイロに関し、特に、所謂棒状屈曲振動子を用いる圧電振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、カメラ一体型VTRにおける手振れ防止機構及び自動車用ナビゲーションシステム等では、ジャイロスコープが用いられており、このジャイロスコープのうちには圧電振動子を用いた圧電振動ジャイロがある。圧電振動ジャイロでは、振動物体(振動している物体)に角速度が与えられるとその振動方向に直角な方向にコリオリ力が発生するという力学現象を利用している。
【0003】
ここで、振動系において、互いに直交する2方向における振動が可能でさらにこの振動の検出が可能である振動系を考えると、一方向における振動を励振した状態で、2方向の振動面が交わる線と平行な軸を中心軸として振動子自体を回転させると、上述のコリオリ力によって振動(一方向における振動)と直角な方向に力が作用することになる。この結果、他方向の振動が励振されることになる。この他方向の振動の大きさは、一方向の振動(入力側の振動)の大きさ及び上述の回転(つまり、角速度)に比例する。この結果、圧電振動子を用いた場合には、入力電圧が一定であれば、出力電圧の大きさから角速度の大きさを知ることができる。
【0004】
ここで、図4を参照して、従来の圧電振動ジャイロ用圧電振動子について説明する。
【0005】
図4に示す圧電振動子は、円柱状の圧電セラミック体1を備えており、圧電セラミック体1の側面には駆動用電極2が配設されると共に、検出用電極3,4とアース用電極5とが配設されている。これら駆動用電極2と検出用電極3,4とは互いに接続されており、これら駆動用電極2と検出用電極3,4とはアース用電極5との間で分極処理されている。
【0006】
圧電セラミック体1はゴム状軟磁性体11a,11bで支持されており、ゴム状軟磁性体11a,11bは絶縁性ホルダー12に固定されている。具体的には、ホルダー12には所定の間隔をおいて一対の保持部12a,12bが形成されており、ゴム状軟磁性体11a,11bはそれぞれ保持部12a,12bに固定されている。
【0007】
ホルダー12には合計4個の端子7〜10が埋め込まれている。具体的には、保持部12aの両側端にはそれぞれコ字状の端子7,10が埋め込まれ、その一部が保持部12aの上面,下面に露出している。同様に、保持部12bの両側端にはそれぞれコ字状の端子8,9が埋め込まれ、その一部が保持部12bの上面,下面に露出している。そして、上述の電極2〜5はそれぞれリード線6を介して端子7〜10の一端面(上端面)に接続され、図示されない端子7〜10の他端面(下端面)は測定用回路に接続される。
【0008】
ここで、図5を参照して、カメラ一体型VTRを例にあげて、手振れの大きさを検出して画面の揺れを補正する際に用いられる圧電振動ジャイロについて説明する。
【0009】
図5に示す圧電振動ジャイロは、図4に示した圧電振動ジャイロ用圧電振動子(以下単に圧電振動子と呼ぶ)を2個備えている。図5においては、これら圧電振動子を参照番号21,22で示し、圧電振動子22においては、図4に示す端子7〜10をそれぞれ参照番号7´〜10´で示すものとする。
【0010】
圧電振動子21,22は互いに直交して配置され、これによって、例えばヨー方向及びピッチ方向の2軸における角速度を検出する。図4で説明したように、端子7,7´は駆動用電極に接続され、端子8,9,8´,9´は検出用電極に接続され、端子10,10´はアース用電極に接続されている。
【0011】
ここで、図6も参照して、同一構成の駆動検出回路31,32を二つ用いて圧電振動子21,22はそれぞれ独立的に駆動検出される。
【0012】
図示のように、検出駆動回路31は、発振回路31a,差動回路31b,同期検波回路31c,及び整流回路31dを備えており、同様に、検出駆動回路32は、発振回路32a,差動回路32b,同期検波回路32c,及び整流回路32dを備えている。
【0013】
駆動検出回路31に注目して、発振回路31aは端子8,9、つまり、検出用電極に接続されると共に、端子7(つまり、駆動用電極)及び同期検波回路31cに接続されており、発振回路31aは自励発振回路を構成している。
【0014】
発振回路31aからの発振信号は駆動信号として端子7に与えられると共に、同期検波用信号として同期検波回路31cに与えられる。端子8,9からの検出信号は差動回路31bに与えられ、差動回路31bは、例えば、これら検出信号を差動増幅して差動増幅信号として出力する。
【0015】
同期検波回路31cでは同期検波用信号に同期して差動増幅信号を検波して検波信号として出力する。この検波信号は整流回路31dで整流され検出電圧信号(第1の検出電圧信号)として出力端子31eから出力される。同様に、駆動検出回路32からは出力端子32eを介して第2の検出電圧信号が出力される。そして、これら第1の検出電圧信号及び第2の検出電圧信号に応じて、例えば、ヨー方向及びピッチ方向の2軸における角速度を検出する。
【0016】
ところで、圧電振動子を製造する際、同一の圧電振動子を製造しようとしても、製造過程における種々の要因によって圧電振動子の共振周波数は僅かにずれ、各圧電振動子の共振周波数が異なってしまう。このため、圧電振動子を駆動する際には、上述のように、各圧電振動子毎に発振回路を配置し、この発振回路を自励発振回路とする必要がある。つまり、上記の発振回路31a,32aは、互いに異なる周波数の発振信号を送出する。
【0017】
このような圧電振動ジャイロにおいて、2個の圧電振動子を互いに接近して配置した場合、一方の圧電振動子の励振振動が空気中又は共通の基板等を介して他方の圧電振動子に伝達される結果、相互に干渉が発生する。そして、このような干渉がノイズとなってジャイロ特性が劣化する恐れがある。
【0018】
例えば、圧電振動ジャイロに角速度が加えられていない状態でその出力を測定すると、図7に示すように、2個の圧電振動子において共振周波数の差は約10Hzあり、ジャイロ出力に10Hzの干渉ノイズが生じていることがわかる(尚、この測定に当たっては、圧電セラミック体としてφ2.0×16mmの形状のものを用いた)。
【0019】
このような不具合を防止するためには、一般に、2個の圧電振動子を離して配置したり(第1の手法)、又は、ダンパー材を用いた支持ベース等によって互いに励振振動が伝達され難い構造が採用される(第2の手法)。
【0020】
さらに、2個の圧電振動子の形状を互いに異なる形状としてそれぞれの共振周波数の差を大きく(通常200Hz以上)して、圧電振動ジャイロ出力のうちの手振れによる周波数帯域(0.1Hz〜50Hz)よりも干渉ノイズの周波数が高くなるようにする(200Hz以上)。そして、干渉ノイズをローパスフィルタでカットして干渉ノイズレベルを低減させる手法も採用されている(第3の手法)。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】
上述の第1の手法において、2個の圧電振動子を離して配置する結果、ジャイロ自体が大型化するばかりでなく、圧電振動子を離して配置しても干渉ノイズを程度よく低減させることが難しいという問題点がある。
【0022】
また、第2の手法においても、励振振動の相互伝達を防止することは難しく、いずれにしても、第1の手法及び第2の手法共に干渉ノイズを効果的に低減させることが困難である。
【0023】
一方、第3の手法では、圧電振動ジャイロを製造する際、互いに形状の異なる2個の圧電振動子を作成し、これら圧電振動子に電極を形成する必要がある。つまり、同一の製造条件下で、2種類の圧電振動子を製造することが必要となり、量産性が著しく低下してしまうという問題点がある。このような、問題点は、3個の圧電振動子を用いた3軸圧電振動ジャイロでより顕著となる。
【0024】
本発明の目的はジャイロ特性が良好で量産化できる圧電振動ジャイロを提供することにある。
【0025】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、複数の圧電振動子を互いに直交する状態に別体で配置すると共に、該直交する座標軸における角速度を検出するようにした圧電振動ジャイロにおいて、複数の圧電振動子の各々を同一の周波数を有する駆動信号で駆動する駆動手段であると共に、該複数の圧電振動子のうち一つの出力を受け該駆動信号を生成する自励発振回路を備えた圧電振動ジャイロが得られる。
【0026】
このように、駆動手段である自励発振回路により同一周波数の駆動信号で各圧電振動子を駆動することによって、各圧電振動子の共振周波数差に起因する干渉ノイズを相殺でき、この結果、ジャイロ特性を良好にできるばかりでなく、製造過程における種々の要因による圧電振動子の共振周波数のずれを気にすることなく圧電振動子を量産化できる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【0028】
図1は、本発明による圧電振動ジャイロに用いられる駆動検出部の一例を示すブロック図である。図1に示す圧電振動ジャイロは、駆動検出回路41及び検出回路42を備えており、これら駆動検出回路41及び検出回路42は、後述するように圧電振動子に接続される。
【0029】
駆動検出回路41及び検出回路42に接続される圧電振動子は、図5に示す状態に配置、即ち、2個のものが別体で離間されて配置される。尚、以下の説明では、便宜上、圧電振動子は図5における参照符号と同一の参照番号を用いて説明する。
【0030】
駆動検出回路41は、発振回路41a,差動回路41b,同期検波回路41c,及び整流回路41dを備えており、検出回路42は、差動回路42a,同期検波回路42b,及び整流回路42cを備えている。
【0031】
図5も参照するものとすれば、駆動検出回路41において、発振回路41aは、圧電振動子21の端子8,9、つまり、検出用電極に接続されると共に、端子7(つまり、駆動用電極)及び同期検波回路41cに接続されており、発振回路41aは自励発振回路を構成している。さらに、発振回路41aは圧電振動子22の端子7´(つまり、駆動電極)に接続されると共に、同期検波回路42bに接続されている。この結果、発振回路31aからの発振信号が駆動信号として端子7,7´に与えられ、圧電振動子21,22が駆動される。
【0032】
圧電振動子21からの検出信号は端子8,9を介して差動回路31bに与えられ、差動回路31bでは、例えば、これら検出信号を差動増幅して差動増幅信号として出力する。
【0033】
同期検波回路41cには発振回路41aからの発振信号が同期検波用信号として与えられ、同期検波回路41cでは同期検波用信号に同期して差動増幅信号を検波して検波信号として出力する。この検波信号は整流回路41dで整流され検出電圧信号(第1の検出電圧信号)として出力端子41eから出力される。
【0034】
同様に、圧電振動子22からの検出信号は端子8´,9´を介して差動回路42aに与えられる。同期検波回路42bでは同期検波用信号に同期して差動回路42aの出力(差動増幅信号)を検波して検波信号として出力する。この検波信号は整流回路42cで整流され検出電圧信号(第2の検出電圧信号)として出力端子42dから出力される。そして、これら第1の検出電圧信号及び第2の検出電圧信号に応じて、例えば、ヨー方向及びピッチ方向の2軸における角速度が検出される。
【0035】
上記の圧電振動ジャイロに角速度が加えられていない状態で、その出力を測定すると、図2に示すように、2個の圧電振動子において共振周波数の差が存在しても、ジャイロ出力には、干渉ノイズがまったく生じていないことが判る(尚、この測定に当たっては、圧電セラミック体としてφ2.0×16mmの形状のものを用いた)。
【0036】
このように、一方の圧電振動子(圧電振動子21)の検出出力のみを用いて自励発振回路を構成し、この自励発振回路の出力(発振信号)を他方の圧電振動子(圧電振動子22)の駆動電極にも加えることによって、共振周波数の差に起因する干渉ノイズを相殺できる。
【0037】
上述の例では、2軸圧電振動ジャイロについて説明したが、3軸圧電振動ジャイロについても、図1と同様に構成することができる。図3を参照して、3軸圧電振動ジャイロについて説明する。尚、図3に示す例において、図1に示す例と同一の構成要素については同一の参照番号を付す。
【0038】
3軸圧電振動ジャイロでは3個の圧電振動子が用いられ、これら圧電振動子は互いに直交して配置される。つまり、図5に示す状態において、圧電振動子21,22に直交して別の圧電振動子(以下、略図するが付加圧電振動子と呼ぶことにする)が配置される。この付加圧電振動は圧電振動子21,22と同様に構成され、以下の説明では、付加圧電振動子の駆動電極に接続される端子に符号7aを、検出電極に接続される端子に符号8a,9aを、アース電極に接続される端子に符号10aを付す。
【0039】
図3に示す圧電振動ジャイロは、駆動検出回路41及び検出回路42の他に検出回路43を備えている。そして、検出回路43は、差動回路43a,同期検波回路43b,及び整流回路43cを備えている。
【0040】
駆動検出回路41の発振回路からは端子7aに発振信号が駆動信号として与えられ、さらに、この発振信号は同期検波用信号として同期検波回路43bにも与えられる。そして、差動回路43aには端子8a,9aを介して付加圧電振動子の検出信号が与えられる。
【0041】
従って、検出回路43からは、付加圧電振動子に加わる加速度に応じた検出電圧信号(第3の検出電圧信号)が出力端子43dを介して出力される。
【0042】
このように、一つの自励発振回路を用いて3軸方向の加速度を検出することができ、このような3軸圧電振動ジャイロにおいても、共振周波数差に起因する干渉ノイズが互いに相殺され、各出力(つまり、第1の検出電圧信号乃至第3の検出電圧信号)における干渉ノイズをなくすことができる。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、複数の別体で配置された圧電振動子の各々を駆動手段である一つの自励発振回路により同一の周波数を有する駆動信号で駆動すると共に、各圧電振動子のうち一つの出力を受け駆動信号を生成するようにしているため、各圧電振動子の共振周波数差に起因する干渉ノイズを有効に防止することができ、この結果、製造過程における種々要因による圧電振動子の共振周波数のずれを気にすることなく圧電振動子を製造できることにより、圧電振動子の量産化が可能となる。さらに、各圧電振動子の共振周波数差に起因する干渉ノイズを防止できるため、ジャイロ特性を良好にできるという効果がある。
【0044】
さらに、本発明では、自励発振回路を一つ備えるだけで済み、しかもローパスフィルタ等のフィルタ回路が不要であるため、各圧電振動子が別体で離間されて配置される構成の割には全体を小型化できるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による圧電振動ジャイロに用いられる駆動検出部の一例を示すブロック図である。
【図2】 図1に示す圧電振動ジャイロにおける干渉ノイズの状態を説明するための図である。
【図3】 本発明による圧電振動ジャイロに用いられる駆動検出部の他の例を示すブロック図である。
【図4】 圧電振動ジャイロ用圧電振動子を示す斜視図である。
【図5】 2軸圧電振動ジャイロにおける圧電振動子の配置関係を示す図である。
【図6】 従来の圧電振動ジャイロに用いられる駆動検出部を示すブロック図である。
【図7】 図6に示す圧電振動ジャイロにおける干渉ノイズの状態を説明するための図である。
【符号の説明】
1 圧電セラミック体
2 駆動用電極
3,4 検出用電極
5 アース用電極
7〜10,7´〜10´,7a〜10a 端子
31,32,41 駆動検出回路
42,43 検出回路
31a,32a,41a 発振回路
31b,32b,41b,42a,43a 差動回路
31c,32c,41c,42b,43b 同期検波回路
31d,32d,41d,42c,43c 整流回路
Claims (1)
- 複数の圧電振動子を互いに直交する状態に別体で配置すると共に、該直交する座標軸における角速度を検出するようにした圧電振動ジャイロにおいて、前記複数の圧電振動子の各々を同一の周波数を有する駆動信号で駆動する駆動手段であると共に、該複数の圧電振動子のうち一つの出力を受け該駆動信号を生成する自励発振回路を備えたことを特徴とする圧電振動ジャイロ。
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