JP3692648B2 - 半導体装置 - Google Patents

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【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置とくに表示体を駆動する半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の表示装置用の半導体装置は、表示素子を駆動するために5V以上の電圧範囲を必要とし、また、電圧範囲として1系統または2系統を必要としていた。電圧範囲が1系統のものでは、外部側の論理回路部分の電圧範囲と、内部側の論理回路部分の電圧範囲とが等しく、そのため一般的に制御系及び表示素子駆動系は5Vまたは12Vで代表される同一の電圧範囲を用いるようになっている。一方、電圧範囲が2系統である場合には、制御系の電圧範囲が5Vで代表され、表示駆動系の電圧範囲は、より大きな電圧範囲を用いて表示素子の駆動をおこなうようにしている。
【0003】
電源電圧が1系統である場合は、半導体装置全体が標準耐圧トランジスタまたは高耐圧トランジスタで構成され、図1に示すように信号入力端子1と増幅器2と内部演算器3と増幅器4と出力端子5を用い、信号入力端子1から信号を入力し、増幅器2を用いて内部演算器3の駆動を行い、内部演算器3からの演算結果を増幅器4を用いて出力端子5に出力するような回路構成を用いる。
【0004】
一方、電源電圧が2系統である場合は、半導体装置内部の電圧範囲が5Vである部分は、標準耐圧トランジスタで構成され、高い電圧範囲を要する部分は高耐圧トランジスタで構成され、図2に示すように信号入力端子6と増幅器7と内部演算回路8と電圧変換器9と増幅器10と出力端子11を用い、前記信号入力端子6から信号を入力し、前記増幅器7を用いて前記内部演算器8の駆動を行い、前記内部演算器8からの演算結果が、電圧変換器9によって高い電圧範囲に変換され増幅器10により出力端子11に出力されるような回路構成を用いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このため、表示駆動系の電圧範囲が数十V必要でかつ任意の外部論理電圧範囲を必要とする表示装置を駆動する駆動用半導体装置においては、半導体装置全体を高耐圧トランジスタにより構成する方法がとられていたため、構造上大きな占有面積を必要とする高耐圧トランジスタを多用することとなり、半導体装置の面積の増大と電力消費が増大するという結果となっていた。
【0006】
また、電源電圧の電圧を平滑化するために容量(キャパシタ)を用いる場合には、その手段として、該容量をシリコンゲート下へイオンの打ち込みにより形成する方法、または、平行平板容量による容量を形成する方法等がある。しかしながらこれらの方法は、大きなチップ面積を必要とし、しかも、容量用の専用領域を確保する必要があり、半導体装置内部に十分な容量を形成することができない場合には、半導体装置の外部に容量を付加接続しなければならない場合が多く、また、内部素子の保護用に大きなダイオードが必要な場合には、そのぶんだけ容量を形成できないこととなり、結果的に十分な大きさの容量を形成する事ができなかった。
【0007】
また、半導体装置の静止時における電源電流である、いわゆる静的電流の試験をするさいに、該半導体装置内に形成された基準電圧発生器、電流増幅器等の定常的に電流を流す回路に電流が流れないように該半導体装置の内部状態を設定できるようにしておく必要があるが、基準電圧発生器や電流増幅器を流れる電流を止めると、前記電流増幅器の出力が不安定になるため、半導体装置内の他の回路の状態を任意の状態に設定して静的電流を測定するということが困難であった。
【0008】
たとえば、静的電流試験時に、電圧比較器、電流増幅器を流れる電流を止めることは、前記電圧比較器の出力が、回路構成によって決定されてしまうため、半導体装置内の他の回路の状態の設定が制約され、任意の状態で静的電流試験を行うことができなかった。また、静的電流試験用端子が設けられている半導体装置であっても、従来の静的電流試験用端子は、他の入力端子と同一の電圧範囲の電圧を入力するものであったため、比較器が停止している状態での静的電流試験ができなかった。
【0009】
また、従来の表示駆動用の半導体装置においては、1ライン分のデータ側(または走査側)の駆動回路が、表示体の横方向の画素の数に相当する数だけ繰り返して配置されることが多いが、従来は該繰り返される繰り返し回路以外の部分に定電圧発生回路をの配置を行っていたため、半導体装置の面積を増加させる結果になっていた。
【0010】
また、電圧比較器は、基準信号を負入力端子に、入力信号を正入力端子に接続するか、または、基準信号を正入力端子に、入力信号を負入力端子に接続するかの2者択一的な構成となっており、かつこの選択は固定されているため、入力信号のデューティによって接続端子を変更したり、論理の反転等をする事ができなかった。
【0011】
また、従来は、定電圧発生回路が1つでよかったため、複数の定電圧発生回路が必要になった場合、大きなチップ面積と大きな消費電流を必要としていた。
【0012】
また、従来は、外部入力端子と外部入力端子との間の領域に電圧比較器や電圧変換器を形成することがなかったため、半導体回路装置を小さくできなかった。
【0013】
また、ダイオードを用いた静電気保護手段を有する半導体装置において、ダイオードとダイオードの間にバンプまたはパッド開口部を形成することがなかったため、TCPやCOG等の実装をした場合に局部的に大きな応力のかかることがあり、半導体装置の歩留まりや信頼性を低下させていた。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するためのものである。
【0015】
第1の発明に係る半導体装置は、第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備してなることを特徴とする。
【0016】
第2の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、前記第3の電圧範囲の信号を前記第1の電圧範囲の信号に変換する第2の電圧変換手段を具備することを特徴とする。
【0017】
第3の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、前記第1の電圧変換手段は、電圧比較器と電圧変換器と比較電圧発生器とを有し、前記外部信号入力端子には、前記第2の電圧範囲の信号を入力し、該入力された信号が前記電圧比較器の一方の入力端子に入力され、前記比較電圧発生器の出力は、前記電圧比較器の他方の入力端子に入力され、前記電圧比較器の出力から前記第1の電圧範囲の信号が出力され、該電圧比較器の出力は、前記電圧変換器に入力され、該電圧変換器は、前記第3の電圧範囲の信号を出力することにより、前記第2の電圧範囲の信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換することを特徴とする。
【0018】
第4の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、前記定電圧回路は、基準電圧発生器と電流増幅器と電圧平滑化手段とを有し、該基準電圧発生器から出力される電圧は、前記電流増幅器によりインピーダンス変換され、前記電圧平滑化手段により、平滑化されてなることを特徴とする。
【0019】
第5の発明に係る半導体装置は、第4の発明に係る半導体装置において、前記電圧平滑化手段は、容量とダイオードとからなり、該容量と該ダイオードは半導体装置内の相異なる導電型を有する基板間に形成するサイドウオールによるジャンクション容量とジャンクションダイオードとにより形成されてなることを特徴とする。
【0020】
第6の発明に係る半導体装置は、第5の発明に係る半導体装置において、前記基板間に形成されるPNジャンクションのサイドウオールによるジャンクション容量とダイオードの形状が、ひだ状になっていることを特徴とする。
【0021】
第7の発明に係る半導体装置は、第5の発明に係る半導体装置において、前記ダイオードをなす不純物層が複数配置され、該不純物層の幅の最小寸法が2つの不純物層の最小距離よりも大きく、該最小寸法または該最小寸法に近い大きさの不純物層を、離間して配置してなることを特徴とする。
【0022】
第8の発明に係る半導体装置は、第5の発明に係る半導体装置において、前記ダイオードの不純物層が複数配置され、該不純物層の幅の最小寸法が2つの不純物層の最小距離よりも小さく、連続して隣接配置してなることを特徴とする。
【0023】
第9の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、前記定電圧回路は、試験信号入力端子と、基準電圧発生器と、電流増幅器と、外部入力端子とを有し、前記基準電圧発生器は、前記電流増幅器の電流制御端子と電圧制御端子に接続され、前記電流増幅器の出力は、内部回路と前記外部入力端子に接続されてなり、該内部回路の静的電流を測定するときには、前記試験信号入力端子からの信号に基づいて、前記基準電圧発生器と電流増幅器の電流を遮断することにより、前記外部入力端子から該内部回路へ電源が供給されてなることを特徴とする。
【0024】
第10の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、少なくとも2つ以上の繰り返し回路と、1つ以上の定電圧発生回路を有し、繰り返し回路と繰り返し回路との間の領域に該定電圧発生回路を配置することを特徴とする。
【0025】
第11の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、前記第1の電圧変換手段は、基準電圧発生器と外部信号入力端子と電圧比較器と信号増幅器と電圧変換器と信号切換器を有し、前記基準電圧発生器は、前記電圧比較器の一方の入力端子に接続され、前記外部信号入力端子は前記電圧比較器の他方の入力端子に接続され、前記電圧比較器の出力は、前記信号増幅器と前記信号切換器の一方端に接続され、前記信号増幅器の出力は、前記信号切換器の他方端と前記電圧変換器に接続され、静的電流試験を行うときには、前記電圧比較器の出力をハイインピーダンス状態にし、前記信号切換器の両端を導通状態とすることにより、前記信号増幅器と前記切換器とが信号を保持する保持手段として動作することを特徴とする。
【0026】
第12の発明に係る半導体装置は、外部入力端子と信号増幅器と入力制御回路を有し、前記外部入力端子は、信号増幅器の入力に接続され、信号増幅器の出力が、漏れ電流等の有無を調べる静的電流試験用の信号となる半導体装置において、静的電流試験用の外部信号入力端子に印加される電圧範囲が、最も大きな電圧範囲であり、その他の信号の外部入力端子が前記静的電流試験用の外部入力信号端子に印加される電圧範囲よりも小さいことを特徴とする。
【0027】
第13の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、前記第2の電圧変換手段は、正入力端子と負入力端子を有し該正入力端子と該負入力端子の電位関係によりその消費電流に差異が生じる電圧比較器と、基準電圧発生器と、接続切換器とを有し、前記入力信号のデューティにより、前記電圧比較器の消費電流が小さくなるように、前記入力信号と、基準信号の接続を変えることを特徴とする。
【0028】
第14の発明に係る半導体装置は、電流制御出力端子を有する1個の電流制御回路と電流制御入力端子と電流出力端子を有する1個以上の電流演算回路と基準電流入力端子と電流制御出力端子と電圧制御出力端子を有する1個以上の電圧発生回路を有し、前記電流制御回路は、前記電流増幅回路の電流入力端子に接続され、前記電流演算回路の出力端子からは、前記電流制御回路のn倍の電流を流すための電圧が出力端子から出力され、前記電流制御回路の出力端子は、前記電圧発生回路の基準電流入力端子に接続され、前記電圧発生回路の電流制御端子から、半導体装置内の電流制御電圧と電圧制御端子からは、半導体装置内部の論理電圧範囲を出力する機能を有し、前記電流制御回路と、前記電流演算回路と、前記電圧発生回路とを電源と信号配線以外は、分離し、配置することを特徴とする。
【0029】
第15の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、外部入力端子と電圧比較器と電圧変換器とを有し、半導体装置の外周または、内部の該外部入力端子の並びの該外部入力端子と外部入力端子との間の領域に、該電圧比較器と該電圧変換器を配置することを特徴とする。
【0030】
第16の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、信号入力用パッドと異なる電位である2本以上の配線と、前記配線によって電源が供給される内部回路とを有し、半導体装置上の該信号入力用パッドの並びの両脇を前記配線が通り、前記信号入力用パッドと前記配線の電位によって駆動される該内部回路が前記信号入力用パッドと前記配線に囲まれた領域に配置されることを特徴とする。
【0031】
第17の発明に係る半導体装置は、第1の発明に係る半導体装置において、外部信号入力部に第2導電型の不純物層が半導体装置の第2の電源に接続されているダイオードと、第1導電型の不純物層が半導体装置の第1の電源に接続されているダイオードとを有し、かつ前記第2の導電型の不純物層が半導体装置の第2の電源に接続されているダイオードと、前記第1導電型の不純物層が半導体装置の第1の電源に接続されているダイオードとの間にパッド開口部またはバンプを配置してなることを特徴とする。
【0032】
【発明の実施の形態】
図3は、本発明の電圧範囲を示す図であり、図4は、本発明の大まかなブロック図である。
【0033】
図3に示すように、第1の電圧範囲14はVPLUS12とVMINUS13間の電位差であり、VPLUS>VMINUSである。第2の電圧範囲17は、VOH15とVOL16間の電位差、すなわち、外部装置側の電圧範囲にインターフェースする電圧範囲であり、VOH>VOLであり、前記第1の電圧範囲14内で任意の電位を取りうる。第3の電圧範囲20は、VIH18とVIL19の電位差、すなわち内部回路のとる電圧範囲であり、VIH>VILであり、前記第1の電圧範囲14内で任意の値を取りうる。
【0034】
通常、前記第1の電圧範囲14は、15〜50Vであり、前記第2の電圧範囲17は1〜5Vであり、前記VOL16は、1〜45Vであり、VMINUS=VILかまたは、VPLUS=VOLで前記第3の電圧範囲20が3〜5V前後で使用するが、半導体装置の耐圧が50Vを越える場合はこの限りではなく、また、半導体装置のウエル電位が前記VOL16または、前記VOH15で与えられる場合は、この限りではなく、VOL=VILまたはVOH=VIHの電位を取りうる。
【0035】
図4は本発明の半導体装置の1実施例としてのブロック図である。図4に示すように、半導体装置21中に外部から信号を与えるための入力端子22があり、前記入力端子22は、定電圧回路23と電圧変換手段27と電圧変換手段30に接続され、入力端子25は、前記電圧変換手段27に接続され、入力端子26は前記電圧変換手段27に接続され、前記定電圧回路23は前記電圧変換手段27と演算回路28と出力制御手段29と定電圧出力端子24に接続され、前記電圧変換手段27は前記演算回路28に接続され、前記演算回路28は前記出力制御手段29に接続され、前記出力制御手段29は前記電圧変換手段30に接続され、前記電圧変換手段30は入出力端子31に接続されている。
【0036】
前記第1の電圧範囲の電圧が前記入力端子22に与えられ、前記入力端子22から供給された電力は、前記定電圧回路23と前記電圧変換手段27と前記電圧変換手段30に供給される。
【0037】
前記第2の電圧範囲の電圧は、前記入力端子25に与えられ、前記入力端子25から供給された電力は、前記電圧変換手段27に供給される。
【0038】
前記定電圧回路23によって作られた前記第3の電圧範囲の電圧は前記電圧変換手段27と前記演算回路28と前記出力制御手段29とに供給され、定電圧出力端子24から出力される。
【0039】
前記入力端子26から入力された前記第2の電圧範囲の信号は、前記電圧変換手段27により、前記定電圧回路23によって作られた前記第3の電圧範囲の信号に変換され、前記演算回路28によって演算された後、前記出力制御手段29により出力の制御がされ前記電圧変換手段30により、前記第1の電圧範囲に変換された後出力端子31から出力される。
【0040】
図5は、図4の電圧変換手段27の1実施例である。図5に示すように入力端子32は、図4の入力端子26に相当し、電圧比較器33の+入力端子に接続される。比較電圧発生器35は電圧比較器33の−入力端子に接続され、前記電圧比較器33の出力は電圧変換器34の入力に接続され、前記電圧変換器34の出力は出力端子36に接続されている。端子36は図4の電圧変換手段27の出力端子に相当し、図4の演算回路28に入力される。電圧比較器33には図4の入力端子22から第1の電圧範囲の電圧が供給され、電圧変換器34には第3の電圧範囲の電圧が供給される。
【0041】
第2の電圧範囲の信号が入力される入力端子32と比較電圧発生器35が電圧比較器33の入力になり、電圧比較器33では2つの入力の比較及び増幅が行われ、第1の電圧範囲の信号が出力される。この出力が電圧変換器34に入力され、電圧変換器34からは出力端子36へ第3の電圧範囲の信号が出力される。電圧比較器33の+/−入力は入力端子32と比較電圧発生器35の接続が逆になっても良い。また、比較電圧発生器35の出力を使用する代わりに、図4の入力端子25を介して外部から比較電圧発生器の出力電圧に相当する電圧範囲の電圧を与えてもよい。いずれにしても、この電圧変換手段27により、外部電圧と半導体装置の内部電圧とを分離できる。
【0042】
図6は、本発明の図4の定電圧回路23(以下、定電圧発生装置ともいう。)を示す1実施例である。図6に示すように定電圧発生装置40は基準電圧発生器37と電流増幅器38と電圧平滑化手段39と出力端子41とを有し、基準電圧発生器37の出力は、電流増幅器38の入力に接続され、電流増幅器38の出力は、電圧平滑化手段39に接続され、前記電圧平滑化手段39は出力端子41に接続されている。
【0043】
前記基準電圧発生器37からは、3.0〜6.0(V)の電圧が出力され、入力インピーダンスの高い前記電流増幅器38の入力につながり、前記電流増幅器38により、電流増幅され前記電圧平滑化手段39で電圧が平滑化された後、前記出力端子41に出力される。前記基準電圧発生器37からの出力は、半導体素子のしきい値電圧をVthとすると、Vth×2(V)位で良い。また、電圧平滑化手段として、素子破壊電圧より逆方向耐圧の低いダイオードを用いることで、電源投入時や静電気等の電気的衝撃が有る場合に素子を保護することができる。また、電流増幅器38は、反転増幅器でも良い。
【0044】
電圧平滑化手段39の1例として容量素子を用いる場合には、容量の構成は、P+とN+による容量や、ウェルとP+又はN+による容量や、MOSFETのゲ−ト容量による容量や、ウェルに直接金属を接触させて作るショットキバリアによる容量が考えられる。
【0045】
図7は、本発明の図6の電圧平滑化手段39を示す第1の実施例であり、半導体装置の一部であって、不純物層の配置を表す平面図である。図7に示すようにPウェル42とNウェル43とN+44とP+45とを形成し、N+44とPウェル42またはP+45から容量及びダイオードを形成する。このとき、N+44の濃度、N+44とP+45との距離等を変えることで、N+44とPウェル42またはN+44とP+45で形成されるダイオードのしきい値を変化させることができる。なお、Nウェル43は無くても良い。また、導電型それぞれ入れ替えても同様に実施できる。
【0046】
図8は、本発明の図6の電圧平滑化手段39を示す第2の実施例である。図8に示すようにPウェル46とNウェル47とN+48とP+49とを有し、N+48とPウェル46またはP+49からジャンクション容量及びジャンクションダイオードを形成する。このとき、N+48のサイドウオールにより形成される容量は、N+48とPウェル46またはP+49との境界面に形成されるため、N+48をひだ状にすることにより、容量を大きくできる。
【0047】
図9と図10は、本発明の図6の電圧平滑化手段39を示す第3及び第4のレイアウトの実施例である。図9に示すようにN+とN+の最小寸法L0が、N+とN+との最小距離よりも小さいときは、図9のN+50、コンタクトホール51、配線52のごとくN+を連続して隣接して配置する。
【0048】
しかし、図10のように、N+とN+の最小寸法L0が最小距離L1よりも大きいときは、N+53、コンタクトホール54、配線55のごとく、N+を単独に分離して配置することで、N+50及びN+53のサイドウオールにより形成される容量及びジャンクションダイオードを大きくできる。なお、導電型をそれぞれ入れ替えても同様な実施ができる。
【0049】
説明を図6の低電圧回路40(図4の定電圧回路23に相当)に戻し、図11に定電圧回路の第2の実施例を示す。
【0050】
図11に示すように、本実施例は、基準電圧発生器56と電流増幅器57と試験信号入力端子60と外部入力端子59からなり、電流増幅器57は内部演算回路58に電力を供給する。基準電圧発生器56は図6の37に相当し、電流増幅器57は図6の38に相当する。内部演算回路58は、図4の演算回路28に相当するが、図6には図示されていない。また、図6の電圧平滑化手段39は図11には図示を省略した。
【0051】
前記基準電圧発生器56には、試験信号入力端子60が接続され、電流制御信号61と、電圧制御信号62を電流増幅器57に供給する。試験信号入力端子60が試験状態でないときは、電流増幅器57の出力は、3.0Vから6.0Vを出力し、試験信号入力60が試験状態の時は電流増幅器57の出力は、ハイインピーダンスとなる。また、試験状態の時は、基準電圧発生器56及び電流増幅器57には、漏れ電流以外の電流は流れない状態となる。そして、試験状態のときには、電流増幅器57の出力はハイインピーダンスとなるため、外部入力端子59に電流増幅器57から出力される電圧と同等な電圧を与えることで、前記内部演算回路58の動作状態を保持しながら、静的電流試験をする事が可能となり、基準電圧発生器56と電流増幅器57とを内部演算回路58から分離して内部演算回路58ので消費される電流だけを測定、試験ができる。
【0052】
図12は、本発明の図11の電流増幅器57の第1の実施例であり、Pチャネル側を駆動側とした電流増幅器を示す。
【0053】
Pチャネルトランジスタ64と65は、カレントミラー回路であり、Pチャネルトランジスタ64と65に同じ電流を流すための回路である。Nチャネルトランジスタ71は、一定の電流を発生させるためのトランジスタである。Pチャネルトランジスタ67とNチャネルトランジスタ73により、出力回路を形成しており、Nチャネルトランジスタ70と72は、差動対となっており、Nチャネルトランジスタ70のゲートをOUT80に接続することで、Pチャネルトランジスタ64,65,67及びNチャネルトランジスタ70,71,72,73により、ボルテージフォロワの演算増幅器が形成される。
【0054】
Pチャネルトランジスタ66は、ドレインをPチャネルトランジスタ67のゲートに接続し、ソースをVDDに接続し、ゲートをXTEST75に接続する。Pチャネルトランジスタ63は、ドレインをPチャネルトランジスタ64のゲートに接続し、ソースをVDDに接続し、ゲートをXTEST75に接続する。Nチャネルトランジスタ68は、ドレインをNチャネルトランジスタ71のゲートに接続し、ソースをREF76に接続し、ゲートをXTEST75に接続する。Nチャネルトランジスタ69は、ドレインをNチャネルトランジスタ71のゲートにドレインを接続し、ソースをVSS78に接続し、ゲートをTEST75に接続する。これにより、XTEST75が、VSS78と同電位かつTEST77がVDD74と同電位であるような静的電流試験時には、Pチャネルトランジスタ67とNチャネルトランジスタ73をハイインピーダンス状態にできるため、OUT80にVDD74とVSS78間の任意の電圧を与えることが出来るようになり、かつ、OUT80以外のすべてのノードの電位を固定できる。
【0055】
従って、TEST77、XTEST75を図11の電流制御信号61に相当する信号として使用すれば図11の内部演算回路58の静的消費電流を測定、試験できる。なお、REF76には基準電圧を印加する。また、TEST、XTEST信号は互いに相補の関係を有する信号でよい。
【0056】
また、当該電流増幅器は、図13のように、Nチャネル側を駆動側とした電流増幅器であってもよい。。
【0057】
図13において、Nチャネルトランジスタ88と89は、カレントミラー回路であり、前記Nチャネルトランジスタ88と89に同じ電流を流すための回路である。Pチャネルトランジスタ82は、一定の電流を発生させるためのトランジスタである。Pチャネルトランジスタ83とNチャネルトランジスタ91により、出力回路を形成しており、Nchトランジスタ88と89は、差動対となっており、Pチャネルトランジスタ85のゲートをOUT98に接続することで、Nチャネルトランジスタ88,89,91及びPチャネルトランジスタ82,83,85,86により、ボルテージフォロワの演算増幅器が形成される。
【0058】
Nチャネルトランジスタ90は、ドレインをNチャネルトランジスタ91のゲートに接続し、ソースをVSSに接続し、ゲートをTEST95に接続する。Nチャネルトランジスタ87は、ドレインをNチャネルトランジスタ88のゲートに接続し、ソースをVSSに接続し、ゲートをTEST95に接続する。前記Pチャネルトランジスタ84は、ドレインをPチャネルトランジスタ82のゲートに接続し、ソースをREFに接続し、ゲートをTEST95に接続する。Pチャネルトランジスタ81は、ドレインをPチャネルトランジスタ82のゲートに接続し、ソースをVDD92に接続し、ゲートをXTEST93に接続する。これにより、XTEST93が、VSS96と同電位かつTEST95がVDD92と同電位であるような静的電流試験時には、Pチャネルトランジスタ83とNチャネルトランジスタ91をハイインピーダンス状態にできるため、OUT98にVDD92とVSS96間の任意の電圧を与えることが出来るようになり、かつ、OUT98以外のすべてのノードの電位を固定できる。
【0059】
従って、TEST77、XTEST75を図11の電流制御信号61に相当する信号として使用すれば図11の内部演算回路58の静的消費電流を測定、試験できる。なお、REF76には基準電圧を印加する。また、TEST、XTEST信号は互いに相補の関係を有する信号でよい。
【0060】
図14は、本発明の図4の定電圧回路23に相当する定電圧発生回路100の配置の1実施例である。この実施例では、繰り返し回路4つ毎に定電圧発生回路100を配置する例であり、4つのくり返し回路99と4つのくり返し回路101との間の領域に定電圧発生回路100が配置されている。定電圧発生回路100の電源の能力に問題がない場合や、くり返し回路で用いられる電源に問題がない場合は、定電圧発生回路は1個で十分である。
【0061】
図15は、定電圧発生回路の配置にかかる第2の実施例であり、図14における定電圧発生回路の電源能力が足りない場合の例である。くり返し回路102とくり返し回路104との間に定電圧発生回路103を配置し、前記くり返し回路104とくり返し回路106との間に定電圧発生回路105を配置する。つまり、繰り返し回路2個毎に定電圧発生回路を配置している。なお、定電圧発生回路103及び定電圧発生回路105は、同等な定電圧発生回路でなくともよい。また、くり返し回路102とくり返し回路104とくり返し回路106は、それぞれ異なる回路のくり返しでもよい。
【0062】
図16は、本発明の図4の電圧変換手段27の第2の実施例であり、図5の第1実施例の変形例である。本実施例では信号を保持する機能を有する点が第1の実施例とは異なる。
【0063】
静的電流試験端子107を電圧比較器110と信号切換器111に接続し、外部信号入力端子108(図4の入力端子26に相当)は、電圧比較器110に接続され、基準電圧発生器109は、前記電圧比較器110に接続され、前記電圧比較器110の出力は、前記信号切換器111の一方端と信号増幅器112の入力端に接続され、前記信号増幅器112の出力は、信号切換器111の他方端と電圧変換器113の入力に接続される。
【0064】
動作状態時には、前記信号切換器111の両端は、ハイインピーダンスであり、前記電圧比較器110は電圧の比較結果を出力し、前記信号増幅器112により、電圧比較結果を増幅し、前記信号増幅器112の出力は前記電圧変換器113により任意の電位に変換して端子181に出力する。
【0065】
静的電流試験時には、前記信号切換器111の両端は、導通状態となり、前記電圧比較器110の出力はハイインピーダンスとなり、前記信号増幅器112の出力が前記信号増幅器112の入力に接続されるため、信号は、ホールド状態となり、前記信号増幅器の出力は前記電圧変換器113に接続され、任意の電圧に変換できる。
【0066】
前記の静的電流試験端子107は、任意の信号端子でもよい。また、信号増幅器112は、数段の反転増幅器でも良い。信号切換器111は、静的電流試験端子からの信号によって導通、非道通が制御されるようなスイッチング素子であれば足り、たとえば、Pチャネルトランジスタや、Nチャネルトランジスタや、トランスミッションゲートや、クロックドゲートでも良い。また、基準電圧発生器109は、外部から直接入力される信号でもよい。
【0067】
図17は、試験信号入力回路の1実施例である。試験信号入力端子114は、半導体装置内で唯一の最も大きな電圧範囲の信号を入力する端子であり、信号入力端子115は、前記電圧範囲内で、任意の電圧範囲の信号を入力する端子であり、動作状態時には信号入力端子115は入力制御回路117に接続され、試験信号入力端子114は、信号増幅器116に接続され、前記信号増幅器116の出力は前記入力信号制御回路117に接続され入力信号の制御を行い、前記入力制御回路117の出力は信号出力端子118に出力される。静的電流試験時には、入力制御回路により、前記信号入力端子115からの入力信号の変化は前記信号出力端子118には伝えられず、また、入力制御回路117の消費電流が無くなることで、静的消費電流試験が出来る。
【0068】
図18は、本発明の図4の電圧変換手段27の第3の実施例であり、図5の第1実施例、図16の第2の実施例の変形例である。本実施例では入力信号の接続の切り替えを行う手段を有する点で第1、第2の実施例とは異なる。
【0069】
入力信号端子119は、接続切換器121の一方の端子と接続切換器123の一方の端子に接続され、基準電圧発生器120は、接続切換器122の一方の端子と接続切換器124の一方の端子に接続され、前記接続切換器121の他方の端子は、前記接続切換器124の他方の端子と電圧比較器127の+入力端子に接続され、前記接続切換器123の他方の端子は、前記接続切換器122の他方の端子と前記電圧比較器127の−入力端子に接続され、前記電圧比較器は、接続切換器130と反転増幅器128の入力に接続され、前記反転増幅器128の出力は接続切換器129の一方の端子に接続され、前記接続切換器129の他方の端子は前記接続切換器130の他方の端子と出力端子131に接続され、電圧切換入力端子125は前記接続切換器121と前記接続切換器122と接続切換器130に接続され、X電圧切換端子126は接続切換器124と接続切換器123と接続切換器129に接続される。
【0070】
接続切換器121、122、130は電圧切り換え入力端子125に入力される信号に基づいてその導通、非導通が制御されるスイッチング素子であり、接続切換器123、124、129はX電圧切り換え入力端子126に入力される信号に基づいてその導通、非導通が制御されるスイッチング素子であり、たとえば、Pチャネルトランジスタや、Nチャネルトランジスタや、トランスミッションゲートや、クロックドゲートでも良い。また、電圧比較器127は、+入力電圧がー入力電圧よりも高いときに高電位Hを出力し、+入力電圧がー入力電圧よりも低いときに低電位Lを出力する。
【0071】
前記電圧比較器127の出力レベルがLの時の消費電流が出力レベルがHの時より大きくかつ、入力信号端子119に入力される信号におけるHのパルス幅の比が50%より大きいときは、電圧比較器127からHが出力される期間をLが出力される期間よりも長くすれば、消費電力を低減できることになる。そのために、電圧切換入力端子125とX電圧切換入力端子126に所定の電位を与え、接続切換器121と接続切換器122と接続切換器130を接続状態とし、接続切換器123と接続切換器124と接続切換器129を非導通状態とすることにより、入力信号端子119から入力された信号を接続切換器121を通り電圧比較器127の+入力端子に入力し、基準電圧発生器120の出力を、接続切換器122を通り電圧比較器127の−入力端子に入力する。そして、これらの+入力端子の入力とー入力端子の入力をうけて、理想的には無限大の増幅率を有する電圧比較器127は、接続切換器130を通り、出力端子131に比較出力を出力する。
【0072】
前記電圧比較器127の出力レベルがLの時の消費電流が出力レベルがHの時より大きくかつ、入力信号端子119に入力される信号におけるHのパルス幅の比が50%より小さいときは、電圧切換入力端子125とX電圧切換入力端子126に前述とは論理的に逆の電位を与えることにより、接続切換器123と接続切換器124と接続切換器129が接続状態となり、接続切換器121と接続切換器122と接続切換器130が断線状態となることにより、入力信号端子119から入力された信号は接続切換器123を通り電圧比較器127の−入力端子に入力され、基準電圧発生器120の出力は、接続切換器124を通り電圧比較器127の+入力端子に入力され、前記+入力端子の入力と前記ー入力端子の入力から、前記電圧比較器127の出力は反転増幅器128で反転され、接続切換器129を通り、出力端子131に出力される。
【0073】
前記電圧比較器127の出力レベルがHの時の消費電流が出力レベルがLの時より大きくかつ、入力信号端子119に入力される信号におけるHのパルス幅の比が50%より大きいときは、電圧切換入力端子125とX電圧切換入力端子126に前述と同様の電位を与えることにより、接続切換器123と接続切換器124と接続切換器129が接続状態となり、接続切換器121と接続切換器122と接続切換器130が断線状態となることにより、入力信号端子119から入力された信号は接続切換器123を通り電圧比較器127の−入力端子に入力され、基準電圧発生器120の出力は、接続切換器124を通り電圧比較器127の+入力端子に入力され、前記+入力端子の入力と前記ー入力端子の入力を入力とする前記電圧比較器127の出力は反転増幅器128で反転され、接続切換器129を通り、出力端子131に出力される。
【0074】
前記電圧比較器127の出力レベルがHの時の消費電流が出力レベルがLの時より大きくかつ、入力信号端子119に入力される信号におけるHのパルス幅の比が50%より小さいときは、電圧切換入力端子125とX電圧切換入力端子126に前述とは論理的に逆の電位を与えることにより、接続切換器121と接続切換器122と接続切換器130が接続状態となり、接続切換器123と接続切換器124と接続切換器129が断線状態となることにより、入力信号端子119から入力された信号は接続切換器121を通り電圧比較器127の+入力端子に入力され、基準電圧発生器120の出力は、接続切換器122を通り電圧比較器127の−入力端子に入力され、前記+入力端子の入力と前記ー入力端子の入力から、前記電圧比較器127の出力は接続切換器129を通り、出力端子131に出力される。
【0075】
なお、接続切換器を使用するかわりに、半導体装置製造時にアルミニウム等の導電体により、接続してもよい。また、電圧切換入力端子125とX電圧切換入力端子126は、半導体装置製造時に、電源に接続してもよく、また、半導体装置をTCPやCOG等、実装する場合に特定の電圧の端子に接続してもよい。 また、基準電圧発生器は、半導体装置の外から与えてもよい。
【0076】
かかる構成により、従来は、アプリケーションが異なる場合に入力信号のHレベルとLレベルの比率であるデューティが異なるために、消費電流が大きく変動していたが、本発明によれば、消費電流はデューティが50%の時にたかだか最大値をとるにすぎず、入力信号のデューティが100%または0%に近い場合や、入力信号の休止モード要するアプリケーションに用いる場合に消費電流を少なく出来る。また、接続切換器を内蔵することにより、入力信号の論理レベルの反転も半導体装置の大きな変更無しに可能となる。
【0077】
図19は電圧電流発生装置の1実施例である。電流制御回路129は、電流制御出力端子130を有し、電流演算回路132は、電流制御入力端子131と電流制御出力端子133を有し、電圧発生回路135は、基準電流入力端子134と電圧制御出力端子136と電流制御出力端子137を有し、前記電流制御出力端子130は、前記電流制御入力端子131に接続され、前記電流制御出力端子133は、基準電流入力端子134に接続されている。
【0078】
前記電流制御回路129で、作られた電流制御信号は、前記電流制御出力端子130から、出力され、前記電流制御入力端子131に入力され、前記電流演算回路132でn倍に増幅された電流制御信号は、前記電流制御端子133から出力され、前記基準電流入力端子134に入力され、前記電圧発生回路135で目的とする電圧制御電圧を生成し、前記電圧制御出力端子136から出力し、また目的とする電流制御電圧を発生し、前記電流制御出力端子137から出力する。
【0079】
一般的に、電流制御回路は、大きな面積を必要とし、電流演算回路は、回路装置の消費電流の多くを占め、電圧発生回路は、配置に制約を受けるため、電圧電流発生装置を電流制御回路と、電流演算回路と、電圧発生回路に設計上分離することにより、消費電流やコストを小さく出来る。また、電流制御回路1個に対しn個の電流演算回路が接続されてもよい。また、電流演算回路は、1個以上であり、電流演算回路1個に対し、m個の電圧発生回路が接続されてもよい。また、電流制御回路と、電流演算回路と、電圧発生回路の分離は、領域として分離されていればよい。また、電流制御回路及び電流演算回路と、電圧発生回路の分離でも良く、また電流制御回路と、電流演算回路及び電流演算回路との分離でもよい。
【0080】
図20は、半導体装置の外周部または、半導体装置の内部に配設された外部入力端子(パッド部)と、外部入力端子との間に領域に電圧比較器(図5の33等に相当する)と電圧変換器(図5の34等に相当する)とを配置する1実施例である。外部入力端子138と外部入力端子142の間に入力保護回路139と電圧比較器140と電圧変換器141を並べて配置する。
【0081】
図21は、前記外部入力端子と外部入力端子との間の領域に電圧比較器と電圧変換器を配置する第2の実施例である。外部入力端子143と外部入力端子147の間に入力保護回路144と電圧比較器145と電圧変換器146を並べて配置する。
【0082】
図20において、外部入力端子138から入力した信号は入力保護回路139、電圧比較器140、電圧変換器141を介して図示しない後段の回路部に入力される。外部入力端子142に対応する入力保護回路、電圧比較器、電圧変換器は図示を省略してある。図21においても同様である。
【0083】
なお、外部入力端子と外部入力端子の間には、複数の入力保護回路と複数の電圧比較器と複数の電圧変換器を配置しても良い。外部入力端子と外部入力端子の間には、入力保護回路と電圧比較器との組み合わせで配置してもよいし、また、外部入力端子と外部入力端子の間には、入力保護回路と電圧変換器との組み合わせで配置しても良い。また、外部入力端子と外部入力端子の間には、入力保護回路と電圧比較器と電圧変換器以外のインバータ及びバッファ等の回路が入ってもよい。
【0084】
かかる構成により、従来ではパッドの並び以外に構成し、大きな面積を要していた入出力用の演算回路を効率良く配置できる。
【0085】
図22は、電源配線のレイアウトに係る実施例である。信号入力用パッド148、151と、異なる電位である2本以上の配線152、153と該配線によって電源が供給される演算回路150とを有し、半導体装置上の信号入力用パッド148、151の並びの両脇を前記配線152、153が通り、前記信号入力用パッド148、151と前記配線152、153の電位によって駆動される演算回路150が、前記信号入力用パッド148、151と前記配線152、153に囲まれた領域に配置されることを特徴とする半導体装置の1実施例であり、演算回路150はたとえば図4の演算回路28に相当する。信号入力用パッド148と信号入力用パッド151とが信号入力用パッドの並びをなしており、該信号入力用パッドの並びの上下を電源配線152と電源配線153が通り、該電源配線が演算回路150と入力保護回路149とに電源を供給する。
【0086】
前記入力パッド148から入力された信号は、入力保護回路149に入力され、該保護回路149から出力された信号は、演算回路150に入力され演算されたあと、図示しない後段の回路部に入力される。演算回路150は、演算増幅器、容量、抵抗、レベル変換器、バッファ、論理回路等で構成される。
【0087】
かかる構成により、従来ではパッドの並び以外に構成し、大きな面積を要していた入出力用の演算回路や、電源電圧の異なる回路及び電源配線を効率良く配置できる。なお、入力保護回路は、無くてもよいし、電源配線は、上下それぞれに複数通ってもよい。
【0088】
図23は、入力部の配置図の実施例であり、外部信号入力部に、P+が半導体装置の負電源に接続されているダイオードと、N+が半導体装置の正電源に接続されているダイオードとを有し、かつ前記P+が半導体装置の負電源に接続されているダイオードと、前記N+が半導体装置の正電源に接続されているダイオードの間にバンプまたは、パッド開口部を配置することを特徴とする半導体装置の1実施例である。
【0089】
パッド165と抵抗154がコンタクトホール163により接続され、前記抵抗154と配線155がコンタクトホール164により接続され、前記配線155が、コンタクトホール156とコンタクトホール162により、N+158とP+160に接続され、N+158と負電源に接続されたP+157とでダイオードが構成され、P+160と正電源に接続されたN+159とでダイオードが構成され、前記P+157と前記N+158とからなるのダイオードと前記N+159と前記P+160とからなるのダイオードとの間にパッド161を配置する。
【0090】
前記パッド開口部153に印加する電圧によっては、前記P+157と前記N+158のダイオードと前記N+159と前記P+160の距離を離す必要が生じ、また、TCP及びCOG等の実装時には応力等の関係からパッドが必要な場合があり、バッド161を前記P+157と前記N+158のダイオードと前記N+159と前記P+160のダイオードの間に配置することは、TCP及びCOG等のチップを直接実装する場合によい。なお、パッドはバンプを有するものでも良い。また、抵抗154は無くてもよい。また、ダイオードの代わりにソースとドレインの接続関係を非接続状態にしたトランジスタを用いてもよい。また、P+、N+の導電型は逆にしてもよい。
【0091】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、表示駆動系の電圧範囲が数十V必要でかつ任意の外部論理電圧範囲が必要な表示装置の駆動用半導体装置において、半導体装置全体を高耐圧トランジスタにより構成しなくともよいため、構造上大きな占有面積を必要とする高耐圧トランジスタを多用する必要が無く、半導体装置の面積と電力消費が増大しない。また、十分な容量を半導体装置内に作成することができる。また、任意の状態の静的電流を正確に計ることが出来る。また、繰り返し回路の部分に定電圧発生回路の配置を行うため、半導体装置の面積を増加させない。また、比較器が停止している状態での静的電流試験ができる。また、入力信号のデューティにより、接続端子を変更や、論理の反転をする事ができる。また、幾つもの定電圧発生回路が必要になった場合でも、大きな面積と消費電流を必要としない。また、外部入力端子と外部入力端子との間に電圧比較器や電圧変換器を形成し、半導体回路装置の面積を縮小することが出来る。また、静電気保護のためにダイオードを用いる半導体装置においてダイオードとダイオードの間にバンプまたは、パッド開口部を形成することでTCPやCOG等の実装時に局部的に大きな応力のかかることを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術の電源電圧が1系統の従来例の回路図。
【図2】従来技術の電源電圧が2系統の従来例の回路図。
【図3】本発明の電圧範囲を示す図。
【図4】本発明の実施例のブロック図。
【図5】本発明の電圧変換手段の回路図。
【図6】本発明の定電圧回路の回路図。
【図7】本発明の電圧平滑化手段の第1のレイアウト図。
【図8】本発明の電圧平滑化手段の第2のレイアウト図。
【図9】本発明の電圧平滑化手段の第3のレイアウト図。
【図10】本発明の電圧平滑化手段の第4のレイアウト図。
【図11】本発明の定電圧回路の他の回路図。
【図12】本発明の電流増幅器の第1の回路図。
【図13】本発明の電流増幅器の第2の回路図。
【図14】本発明の定電圧回路の配置図。
【図15】本発明の定電圧回路の第2の配置図。
【図16】本発明の電圧変換手段の第2の回路図。
【図17】本発明の試験入力回路の回路図。
【図18】本発明の電圧変換手段の第3の回路図。
【図19】本発明の電圧電流発生装置の回路図。
【図20】本発明の半導体装置の外周部等の配置図。
【図21】本発明の半導体装置の外周部等の第2の配置図。
【図22】本発明の半導体装置の電源配線等の配置図。
【図23】本発明の半導体装置の入力部の配置図。
【符号の説明】
1 信号入力端子
2 増幅器
3 内部演算回路
4 増幅器
5 出力端子
6 信号入力端子
7 増幅器
8 内部演算回路
9 電圧変換器
10 増幅器
11 出力端子
12 VPLUS
13 VMINUS
14 第1の電圧範囲
15 VOH
16 VOL
17 第2の電圧範囲
18 VIH
19 VIL
20 第3の電圧範囲
21 半導体装置
22 入力端子
23 定電圧回路
24 定電圧出力端子
25 入力端子
26 入力端子
27 電圧変換手段
28 演算回路
29 出力制御手段
30 電圧変換手段
31 出力端子
32 入力端子
33 電圧比較器
34 電圧変換器
35 比較電圧発生器
36 出力端子
37 基準電圧発生器
38 電流増幅器
39 電圧平滑化手段
40 定電圧発生回路
41 出力端子
42 PWELL
43 NWELL
44 N+
45 P+
46 PWELL
47 NWELL
48 N+
49 P+
50 N+
51 コンタクトホール
52 配線
53 N+
54 コンタクトホール
55 配線
56 基準電圧発生器
57 電流増幅器
58 内部演算回路
59 外部入力端子
60 試験信号入力端子
61 電流制御信号
62 電圧制御信号
63 Pチャネルトランジスタ
64 Pチャネルトランジスタ
65 Pチャネルトランジスタ
66 Pチャネルトランジスタ
67 Pチャネルトランジスタ
68 Nチャネルトランジスタ
69 Nチャネルトランジスタ
70 Nチャネルトランジスタ
71 Nチャネルトランジスタ
72 Nチャネルトランジスタ
73 Nチャネルトランジスタ
74 VDD
75 XTEST
76 REF
77 TEST
78 VSS
79 IN
80 OUT
81 Pチャネルトランジスタ
82 Pチャネルトランジスタ
83 Pチャネルトランジスタ
84 Pチャネルトランジスタ
85 Pチャネルトランジスタ
86 Pチャネルトランジスタ
87 Nチャネルトランジスタ
88 Nチャネルトランジスタ
89 Nチャネルトランジスタ
90 Nチャネルトランジスタ
91 Nチャネルトランジスタ
92 VDD
93 XTEST
94 REF
95 TEST
96 VSS
97 IN
98 OUT
99 くり返し回路
100 定電圧発生回路
101 くり返し回路
102 くり返し回路
103 定電圧発生回路
104 くり返し回路
105 定電圧発生回路
106 くり返し回路
107 静的電流試験端子
108 外部信号入力端子
109 基準電圧発生器
110 電圧比較器
111 信号切換器
112 信号増幅器
113 電圧変換器
114 試験信号入力端子
115 信号入力端子
116 信号増幅器
117 入力制御回路
118 信号出力端子
119 入力信号端子
120 基準電圧発生器
121 接続切換器
122 接続切換器
123 接続切換器
124 接続切換器
125 電圧切換入力端子
126 X電圧切換入力端子
127 電圧比較器
128 反転増幅器
129 接続切換器
130 接続切換器
131 出力端子
132 電流演算器
133 電流制御出力端子
134 基準電流入力端子
135 電圧発生回路
136 電圧制御出力端子
137 電流制御出力端子
138 外部入力端子
139 入力保護回路
140 電圧比較器
141 電圧変換器
142 外部入力端子
143 外部入力端子
144 入力保護回路
145 電圧比較器
146 電圧変換器
147 外部入力端子
148 信号入力用PAD
149 入力保護回路
150 演算回路
151 信号入力用PAD
152 電源配線
153 電源配線
154 抵抗
155 配線
156 コンタクトホール
157 P+
158 N+
159 N+
160 P+
161 パッド
162 コンタクトホール
163 コンタクトホール
164 コンタクトホール
165 パッド
181 端子

Claims (15)

  1. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    前記第1の電圧変換手段は、電圧比較器と電圧変換器と比較電圧発生器とを有し、前記外部信号入力端子には、前記第2の電圧範囲の信号を入力し、該入力された信号が前記電圧比較器の一方の入力端子に入力され、前記比較電圧発生器の出力は、前記電圧比較器の他方の入力端子に入力され、前記電圧比較器の出力から前記第1の電圧範囲の信号が出力され、該電圧比較器の出力は、前記電圧変換器に入力され、該電圧変換器は、前記第3の電圧範囲の信号を出力することにより、前記第2の電圧範囲の信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換することを特徴とする半導体装置。
  2. 前記第3の電圧範囲の信号を前記第1の電圧範囲の信号に変換する第2の電圧変換手段を具備することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
  3. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    前記定電圧回路は、基準電圧発生器と電流増幅器と電圧平滑化手段とを有し、該基準電圧発生器から出力される電圧は、前記電流増幅器によりインピーダンス変換され、前記電圧平滑化手段により、平滑化されてなることを特徴とする半導体装置
  4. 前記電圧平滑化手段は、容量とダイオードとからなり、該容量と該ダイオードは半導体装置内の相異なる導電型を有する基板間に形成するサイドウオールによるジャンクション容量とジャンクションダイオードとにより形成されてなることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
  5. 前記基板間に形成されるPNジャンクションのサイドウオールによるジャンクション容量とダイオードの形状が、ひだ状になっていることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
  6. 前記ダイオードをなす不純物層が複数配置され、該不純物層の幅の最小寸法が2つの不純物層の最小距離よりも大きく、該最小寸法または該最小寸法に近い大きさの不純物層を、離間して配置してなることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
  7. 前記ダイオードの不純物層が複数配置され、該不純物層の幅の最小寸法が2つの不純物層の最小距離よりも小さく、連続して隣接配置してなることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
  8. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    前記定電圧回路は、試験信号入力端子と、基準電圧発生器と、電流増幅器と、外部入力端子とを有し、前記基準電圧発生器は、前記電流増幅器の電流制御端子と電圧制御端子に接続され、前記電流増幅器の出力は、内部回路と前記外部入力端子に接続されてなり、該内部回路の静的電流を測定するときには、前記試験信号入力端子からの信号に基づいて、前記基準電圧発生器と電流増幅器の電流を遮断することにより、前記外部入力端子から該内部回路へ電源が供給されてなることを特徴とする半導体装置
  9. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する1つ以上の定電圧回路 と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段と、少なくとも2つ以上の繰り返し回路とを具備し、
    繰り返し回路と繰り返し回路との間の領域に前記定電圧回路の1つを配置することを特徴とする半導体装置
  10. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    前記第1の電圧変換手段は、基準電圧発生器と外部信号入力端子と電圧比較器と信号増幅器と電圧変換器と信号切換器を有し、前記基準電圧発生器は、前記電圧比較器の一方の入力端子に接続され、前記外部信号入力端子は前記電圧比較器の他方の入力端子に接続され、前記電圧比較器の出力は、前記信号増幅器と前記信号切換器の一方端に接続され、前記信号増幅器の出力は、前記信号切換器の他方端と前記電圧変換器に接続され、静的電流試験を行うときには、前記電圧比較器の出力をハイインピーダンス状態にし、前記信号切換器の両端を導通状態とすることにより、前記信号増幅器と前記切換器とが信号を保持する保持手段として動作することを特徴とする半導体装置
  11. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    前記第2の電圧変換手段は、正入力端子と負入力端子を有し該正入力端子と該負入力端子の電位関係によりその消費電流に差異が生じる電圧比較器と、基準電圧発生器と、接続切換器とを有し、前記入力信号のデューティにより、前記電圧比較器の消費電流が小さくなるように、前記入力信号と、基準信号の接続を変えることを特徴とする半導体装置
  12. 電流制御出力端子を有する1個の電流制御回路と電流制御入力端子と電流出力端子を有する1個以上の電流演算回路と基準電流入力端子と電流制御出力端子と電圧制御出力端子を有する1個以上の電圧発生回路を有し、前記電流制御回路は、前記電流増幅回路の電流入力端子に接続され、前記電流演算回路の出力端子からは、前記電流制御回路のn倍の電流を流すための電圧が出力端子から出力され、前記電流制御回路の出力端子は、前記電圧発生回路の基準電流入力端子に接続され、前記電圧発生回路の電流制御端子から、半導体装置内の電流制御電圧と電圧制御端子からは、半導体装置内部の論理電圧範囲を出力する機能を有し、前記電流制御回路と、前記電流演算回路と、前記電圧発生回路とを電源と信号配線以外は、分離し、配置することを特徴とする半導体装置。
  13. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    外部入力端子と電圧比較器と電圧変換器とを有し、半導体装置の外周または、内部の該外部入力端子の並びの該外部入力端子と外部入力端子との間の領域に、該電圧比較器と該電圧変換器を配置することを特徴とする半導体装置
  14. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    信号入力用パッドと異なる電位である2本以上の配線と、前記配線によって電源が供給される内部回路とを有し、半導体装置上の該信号入力用パッドの並びの両脇を前記配線が通り、前記信号入力用パッドと前記配線の電位によって駆動される該内部回路が前記信号入力用パッドと前記配線に囲まれた領域に配置されることを特徴とする半導体装置
  15. 第1の電圧範囲の電圧が供給される電源端子と、該第1の電圧範囲内の電圧範囲である第2の電圧範囲を有する外部信号を入力する外部信号入力端子と、前記第1の電圧範囲の電圧を入力して第3の電圧範囲の電圧を出力する定電圧回路と、前記第2の電圧範囲を有する信号を前記第3の電圧範囲の信号に変換する第1の電圧変換手段とを具備し、
    外部信号入力部に第2導電型の不純物層が半導体装置の第2の電源に接続されているダイオードと、第1導電型の不純物層が半導体装置の第1の電源に接続されているダイオードとを有し、かつ前記第2の導電型の不純物層が半導体装置の第2の電源に接続されているダイオードと、前記第1導電型の不純物層が半導体装置の第1の電源に接続されているダイオードとの間にパッド開口部またはバンプを配置してなることを特徴とする半導体装置
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