JP3685191B2 - 異方導電性コネクターおよびプローブ部材並びにウエハ検査装置およびウエハ検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、ウエハに形成された複数の集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために好適に用いることができる異方導電性コネクターおよびこの異方導電性コネクターを具えたプローブ部材、並びにこのプローブ部材を具えたウエハ検査装置およびこのプローブ部材を使用したウエハ検査方法に関し、更に詳しくは、例えば直径が８インチ以上のウエハであって、これに形成された集積回路における被検査電極の総数が５０００点以上であるものについて、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために好適に用いることができる異方導電性コネクターおよびこの異方導電性コネクターを具えたプローブ部材並びにこのプローブ部材を具えたウエハ検査装置およびこのプローブ部材を使用したウエハ検査方法に関する。

一般に、半導体集積回路装置の製造工程においては、例えばシリコンよりなるウエハに多数の集積回路を形成し、その後、これらの集積回路の各々について、基礎的な電気特性を検査することによって、欠陥を有する集積回路を選別するプローブ試験が行われる。次いで、このウエハを切断することによって半導体チップが形成され、この半導体チップが適宜のパッケージ内に収納されて封止される。更に、パッケージ化された半導体集積回路装置の各々について、高温環境下において電気特性を検査することによって、潜在的欠陥を有する半導体集積回路装置を選別するバーンイン試験が行われる。
このようなプローブ試験またはバーイン試験などの集積回路の電気的検査においては、検査対象物における被検査電極の各々をテスターに電気的に接続するためにプローブ部材が用いられている。このようなプローブ部材としては、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板上に配置された異方導電性エラストマーシートとよりなるものが知られている。

かかる異方導電性エラストマーシートとしては、従来、種々の構造のものが知られており、例えば特許文献１等には、金属粒子をエラストマー中に均一に分散して得られる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「分散型異方導電性エラストマーシート」という。）が開示され、また、特許文献２等には、導電性磁性体粒子をエラストマー中に不均一に分布させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されてなる異方導電性エラストマーシート（以下、これを「偏在型異方導電性エラストマーシート」という。）が開示され、更に、特許文献３等には、導電部の表面と絶縁部との間に段差が形成された偏在型異方導電性エラストマーシートが開示されている。
そして、偏在型異方導電性エラストマーシートは、検査すべき集積回路の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って導電部が形成されているため、分散型異方導電性エラストマーシートに比較して、被検査電極の配列ピッチすなわち隣接する被検査電極の中心間距離が小さい集積回路などに対しても電極間の電気的接続を高い信頼性で達成することができる点で、有利である。

このような偏在型異方導電性エラストマーシートにおいては、検査用回路基板および検査対象物との電気的接続作業において、それらに対して特定の位置関係をもって保持固定することが必要である。
然るに、異方導電性エラストマーシートは柔軟で容易に変形しやすいものであって、その取扱い性が低いものである。しかも、近年、電気製品の小型化あるいは高密度配線化に伴い、これに使用される集積回路装置は、電極数が増加し、電極の配列ピッチが一層小さくなって高密度化する傾向にある。そのため、検査対象物の被検査電極に対する電気的接続を行う際に、偏在型異方導電性エラストマーシートの位置合わせおよび保持固定が困難になりつつある。
また、バーンイン試験においては、一旦は集積回路装置と偏在型異方導電性エラストマーシートとの所要の位置合わせおよび保持固定が実現された場合であっても、温度変化による熱履歴を受けると、熱膨張率が、検査対象である集積回路装置を構成する材料（例えばシリコン）と偏在型異方導電性エラストマーシートを構成する材料（例えばシリコーンゴム）との間で大きく異なるため、偏在型異方導電性エラストマーシートの導電部と集積回路装置の被検査電極との間に位置ずれが生じる結果、電気的接続状態が変化して安定な接続状態が維持されない、という問題がある。

このような問題を解決するため、開口を有する金属製のフレーム板と、このフレーム板の開口に配置され、その周縁部が当該フレーム板の開口縁部に支持された異方導電性シートとよりなる異方導電性コネクターが提案されている（特許文献４等参照。）。

この異方導電性コネクターは、一般に、以下のようにして製造される。
図２３に示すように、上型８０およびこれと対となる下型８５よりなる異方導電性エラストマーシート成形用の金型を用意し、この金型内に、開口９１を有するフレーム板９０を位置合わせして配置すると共に、硬化処理によって弾性高分子物質となる高分子物質形成材料中に磁性を示す導電性粒子が分散されてなる成形材料を、フレーム板９０の開口９１およびその開口縁部を含む領域に供給して成形材料層９５を形成する。ここで、成形材料層９５に含有されている導電性粒子Ｐは、当該成形材料層９５中に分散された状態である。
上記の金型における上型８０および下型８５の各々は、成形すべき異方導電性エラストマーシートの導電部のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の強磁性体層８１，８６と、これらの強磁性体層８１，８６が形成された個所以外の個所に形成された非磁性体層８２，８７とからなる成形面を有し、対応する強磁性体層８１，８６が互いに対向するよう配置されている。

そして、上型８０の上面およひ下型８５の下面に例えば一対の電磁石を配置してこれを作動させることにより、成形材料層９５には、上型８０の強磁性体層８１とこれに対応する下型８５の強磁性体層８６との間の部分すなわち導電部となる部分において、それ以外の部分より大きい強度の磁場が当該成形材料層９５の厚み方向に作用される。その結果、成形材料層９５中に分散されている導電性粒子Ｐは、当該成形材料層９５における大きい強度の磁場が作用されている部分、すなわち上型８０の強磁性体層８１とこれに対応する下型８５の強磁性体層８６との間の部分に集合し、更には厚み方向に並ぶよう配向する。そして、この状態で、成形材料層９５の硬化処理を行うことにより、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有された複数の導電部と、これらの導電部を相互に絶縁する絶縁部とよりなる異方導電性エラストマーシートが、その周縁部がフレーム板の開口縁部に支持された状態で成形され、以て異方導電性コネクターが製造される。

このような異方導電性コネクターによれば、異方導電性エラストマーシートが金属製のフレーム板に支持されているため、変形しにくくて取扱いやすく、また、予めフレーム板に位置決め用マーク（例えば孔）を形成することにより、集積回路装置の電気的接続作業において、当該集積回路装置に対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができ、しかも、フレーム板を構成する材料として熱膨張率の小さいものを用いることにより、異方導電性シートの熱膨張がフレーム板によって規制されるため、温度変化による熱履歴を受けた場合にも、偏在型異方導電性エラストマーシートの導電部と集積回路装置の被検査電極との位置ずれが防止される結果、良好な電気的接続状態が安定に維持される。

ところで、ウエハに形成された集積回路に対して行われるプローブ試験においては、従来、多数の集積回路のうち例えば１６個または３２個の集積回路が形成された複数のエリアにウエハを分割し、一のエリアに形成された全ての集積回路について一括してプローブ試験を行い、順次、その他のエリアに形成された集積回路についてプローブ試験を行う方法が採用されている。
そして、近年、検査効率を向上させ、検査コストの低減化を図るために、ウエハに形成された多数の集積回路のうち例えば６４個若しくは１２４個または全部の集積回路について一括してプローブ試験を行うことが要請されている。

一方、バーンイン試験においては、検査対象である集積回路装置は微小なものであってその取扱いが不便なものであるため、多数の集積回路装置の電気的検査を個別的に行うためには、長い時間を要し、これにより、検査コストが相当に高いものとなる。このような理由から、ウエハ上に形成された多数の集積回路について、それらのバーンイン試験をウエハの状態で一括して行うＷＬＢＩ（Ｗａｆｅｒ Ｌｅｂｅｌ Ｂｕｒｎ−ｉｎ）試験が提案されている。

しかしながら、検査対象であるウエハが、例えば直径が８インチ以上の大型のものであって、その被検査電極の数が例えば５０００以上、特に１００００以上のものである場合には、各集積回路における被検査電極のピッチが極めて小さいものであるため、プローブ試験またはＷＬＢＩ試験のためのプローブ部材として上記の異方導電性コネクターを適用すると、以下のような問題がある。
すなわち、直径が例えば８インチ（約２０ｃｍ）のウエハを検査するためには、異方導電性コネクターとして、その異方導電性エラストマーシートの直径が８インチ程度のものを用いることが必要となる。然るに、このような異方導電性エラストマーシートは、全体の面積が大きいものであるが、各導電部は微細で、当該異方導電性エラストマーシート表面に占める導電部表面の面積の割合が小さいものであるため、当該異方導電性エラストマーシートを確実に製造することは極めて困難である。従って、異方導電性エラストマーシートの製造においては、歩留りが極端に低下する結果、異方導電性エラストマーシートの製造コストが増大し、延いては検査コストが増大する。

また、ウエハのプローブ試験またはＷＬＢＩ試験のためのプローブ部材として上記の異方導電性コネクターを用いる場合には、以下のような問題がある。
プローブ試験においては、前述したように、ウエハを２つ以上のエリアに分割し、分割されたエリア毎に、当該エリアに形成された集積回路について一括してプローブ試験を行う方法が採用されている。而して、直径が８インチまたは１２インチのウエハに高い集積度で形成された集積回路についてプローブ試験を行う場合には、一つのウエハについて多数回の検査処理工程が必要となる。従って、多数のウエハについてプローブ試験を行うためには、用いられる異方導電性エラストマーシートとして、繰り返し使用における耐久性が高いものであることが要求される。
一方、ＷＬＢＩ試験においては、異方導電性エラストマーシートは、その導電部が、検査対象であるウエハにおける被検査電極と検査用回路基板の検査用電極とによって挟圧され、この状態で、長時間高温環境下に晒される。従って、異方導電性エラストマーシートは、このような過酷な条件下で繰り返し使用された場合においても、高い耐久性を有するものであることが要請される。
このような観点から、ウエハのプローブ試験またはＷＬＢＩ試験に用いられる異方導電性エラストマーシートにおいては、その材質すなわち弾性高分子物質および導電性粒子として耐久性を有するものが選択される。
然るに、異方導電性エラストマーシートの材質として耐久性を有するものを選択した場合であっても、実際に得られる個々の製品としては、耐久性が低いものとなることが少なくない。これは、異方導電性エラストマーシートの各導電部において、突出高さ、導電性粒子の配向状態および導電性粒子の割合などにバラツキが生じるためであると考えられる。そして、異方導電性エラストマーシートに損傷を与えずに、導電部の突出高さ、導電性粒子の配向状態および導電性粒子の割合などを調べる手段としては、目視によって判定する手段以外はなく、このような手段では、客観的な判定をすることができないばかりか、作業自体が極めて煩雑であるため、異方導電性エラストマーシートの製造コストが増大する、という問題がある。また、異方導電性エラストマーシートの耐久性は、通常の導通試験では判定することはできないため、当該異方導電性エラストマーシートを使用することによって初めて耐久性の良否が分かるのが現状である。

また、ウエハを構成する材料例えばシリコンの線熱膨張係数は３．３×１０^-6／Ｋ程度であり、一方、異方導電性エラストマーシートを構成する材料例えばシリコーンゴムの線熱膨張係数は２．２×１０^-4／Ｋ程度である。従って、例えば２５℃において、それぞれ直径が２０ｃｍのウエハおよび異方導電性エラストマーシートの各々を、２０℃から１２０℃までに加熱した場合には、理論上、ウエハの直径の変化は０．００６６ｃｍにすぎないが、異方導電性エラストマーシートの直径の変化は０．４４ｃｍに達する。
このように、ウエハと異方導電性エラストマーシートとの間で、面方向における熱膨張の絶対量に大きな差が生じると、異方導電性エラストマーシートの周辺部を、ウエハの線熱膨張係数と同等の線熱膨張係数を有するフレーム板によって固定しても、ＷＬＢＩ試験を行う場合において、ウエハにおける被検査電極と異方導電性エラストマーシートにおける導電部との位置ずれを防止することは極めて困難である。

また、ＷＬＢＩ試験のためのプローブ部材としては、例えばウエハの線熱膨張係数と同等の線熱膨張係数を有するセラミックスよりなる検査用回路基板上に、異方導電性エラストマーシートが固定されてなるものが知られている（例えば特許文献５，特許文献６等参照）。このようなプローブ部材において、検査用回路基板に異方導電性エラストマーシートを固定する手段としては、例えば螺子等によって異方導電性エラストマーシートにおける周辺部を機械的に固定する手段、接着剤等によって固定する手段などが考えられる。
しかしながら、螺子等によって異方導電性エラストマーシートにおける周辺部を固定する手段では、前述のフレーム板に固定する手段と同様の理由により、ウエハにおける被検査電極と異方導電性エラストマーシートにおける導電部との間の位置ずれを防止することは極めて困難である。
一方、接着剤によって固定する手段においては、検査用回路基板に対する電気的接続を確実に達成するためには、異方導電性エラストマーシートにおける絶縁部のみに接着剤を塗布することが必要となるが、ＷＬＢＩ試験に用いられる異方導電性エラストマーシートは、導電部の配置ピッチが小さく、隣接する導電部間の離間距離が小さいものであるため、そのようなことは実際上極めて困難である。また、接着剤によって固定する手段においては、異方導電性エラストマーシートが故障した場合には、当該異方導電性エラストマーシートのみを新たなものに交換することができず、検査用回路基板を含むプローブ部材全体を交換することが必要となり、その結果、検査コストの増大を招く。

また、異方導電性コネクターを用いてウエハのプローブ試験またはＷＬＢＩ試験を行う場合においては、その異方導電性エラストマーシートが検査対象であるウエハと検査用回路基板とによって挟圧されることにより、弾性高分子物質により形成された導電部が加圧変形され、これにより、検査対象であるウエハの被検査電極と検査用回路基板の検査電極との電気的接続が達成される。
検査対象であるウエハの被検査電極と検査用回路基板の検査電極との電気的接続において、被検査電極の各々の突出高さおよび検査電極の各々の突出高さにバラツキが生じている場合には、異方導電性コネクターにおける導電部の各々に加わる加圧力が異なり、これにより、導電部の各々においては、当該導電部に加わる加圧力の大きさに応じて加圧変形の程度が変化するため、被検査電極と検査用回路基板の検査電極との電気的接続が達成される。以下、このような異方導電性コネクターの機能を「段差吸収能」と称する。

異方導電性コネクターの段差吸収能は、導電部を形成する弾性高分子物質の有する加圧変形性により生ずるものであることから、全ての被検査電極に対する電気的接続を達成するためには、被検査電極の各々の突出高さの差および検査電極の各々の突出高さの差が大きければ大きいほど、大きい加圧力が必要となり、また、被検査電極の各々の突出高さの差および検査電極の各々の突出高さの差が過大であるときには、全ての被検査電極に対する電気的接続を達成することが困難となる。
また、異方導電性コネクターにおける弾性高分子物質により形成された各導電部には、それらの突出高さにバラツキが生じていることがある。
導電部の各々の突出高さの差が大きい異方導電性コネクターは、段差吸収能が低いものであるため、このような異方導電性コネクターによって、検査対象であるウエハの全ての被検査電極に対する電気的接続を達成するためには、相当に大きい加圧力が必要となり、或いは、全ての被検査電極に対する電気的接続を達成することが困難となる。
検査対象であるウエハが、例えば直径が８インチ以上の大面積のものであって、その被検査電極の数が例えば５０００以上、特に１００００以上のものである場合には、当該ウエハの検査に用いられる異方導電性コネクターとしては、その導電部の数が極めて多いものが必要となる。そのため、このようなウエハを検査するための異方導電性コネクターは、検査時において、全ての被検査電極に対する電気的接続を達成するために大きい加圧力で加圧される。そして、全ての被検査電極に対する電気的接続を達成するためには、被検査電極の各々の突出高さの差および検査電極の各々の突出高さの差が大きければ大きいほど、一層大きい加圧力が必要となる。

また、ウエハ検査用のプローブ部材としては、検査用回路基板上に異方導電性コネクターおよびシート状コネクターがこの順で配置されてなるものが知られている。このプローブ部材におけるシート状コネクターは、メッキによって形成された突起状の表面電極（バンプ）を有し、この表面電極が被検査電極に接触することにより、当該被検査電極に対する電気的接続が達成される。そして、このようなシート状コネクターの表面電極には、その突出高さにバラツキが生じており、しかも、表面電極の各々の突出高さの差が比較的大きいものであるため、このようなシート状コネクターを有するプローブ部材においては、異方導電性コネクターの段差吸収能が極めて重要となる。
直径が８インチ以上の大面積で被検査電極の数が極めて多いウエハの検査においては、全ての被検査電極に対して電気的接続を達成するために必要な加圧力が大きくなると、当該ウエハを検査するためのウエハ検査装置に搭載される加圧機構として、大型のものが必要となり、その結果、ウエハ検査装置全体が大型のものとなる。そのため、ウエハ検査装置に用いられるプローブ部材としては、小さい加圧力で全ての被検査電極に対して電気的接続を達成することかできるものであることが望まれている。従って、このようなプローブ部材に用いられる異方導電性コネクターとしては、各導電部の突出高さの差が小さく、段差吸収能が高く、小さい加圧力で全ての被検査電極に対して電気的接続を達成することができるものであることが望まれている。

特開昭５１−９３３９３号公報 特開昭５３−１４７７７２号公報 特開昭６１−２５０９０６号公報 特開平１１−４０２２４号公報 特開平７−２３１０１９号公報 特開平８−５６６６号公報

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、ウエハに形成された複数の集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられる異方導電性コネクターにおいて、検査対象であるウエハが、例えば直径が８インチ以上の大面積のものであって、形成された集積回路における被検査電極のピッチが小さいものであっても、当該ウエハに対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができ、しかも、多数回にわたって繰り返し使用した場合や高温環境下において繰り返し使用した場合にも、長期間にわたって良好な導電性が維持される異方導電性コネクターを提供することにある。
本発明の第２の目的は、上記の目的に加えて、更に、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続状態が安定に維持される異方導電性コネクターを提供することにある。
本発明の第３の目的は、検査対象であるウエハが、例えば直径が８インチ以上の大面積のものであって、形成された集積回路における被検査電極のピッチが小さいものであっても、当該ウエハに対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができ、しかも、多数回にわたって繰り返し使用した場合や高温環境下において繰り返し使用した場合にも、長期間にわたって良好な導電性が維持され、熱的耐久性が高くて長い使用寿命が得られるプローブ部材を提供することにある。
本発明の第４の目的は、上記のプローブ部材を使用して、ウエハに形成された複数の集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うウエハ検査装置およびウエハ検査方法を提供することにある。
本発明の第５の目的は、直径が８インチまたは１２インチのウエハに高い集積度で形成された集積回路についてプローブ試験を行う場合において、繰り返し使用における耐久性の高い異方導電性コネクターおよびプローブ部材を提供することにある。
本発明の第６の目的は、大面積のウエハに高い集積度で形成された、突起状電極を有する集積回路について電気的検査を行う場合において、繰り返し使用における耐久性の高い異方導電性コネクターおよびプローブ部材を提供することにある。
本発明の第７の目的は、例えば直径が８インチ以上の大面積で、５０００以上の被検査電極を有するウエハの検査においても、小さい加圧力で全ての被検査電極に対して電気的接続が達成されるプローブ部材およびウエハ検査装置を構成することができる段差吸収能の高い異方導電性コネクターを提供することにある。

本発明の異方導電性コネクターは、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられる異方導電性コネクターにおいて、
検査対象であるウエハに形成された全てのまたは一部の集積回路における被検査電極が配置された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に伸びる複数の異方導電膜配置用孔が形成されたフレーム板と、このフレーム板の各異方導電膜配置用孔内に配置され、当該異方導電膜配置用孔の周辺部に支持された複数の弾性異方導電膜とよりなり、
前記弾性異方導電膜の各々は、検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極に対応して配置された、磁性を示す導電性粒子が密に含有されてなる厚み方向に伸びる複数の接続用導電部、およびこれらの接続用導電部を相互に絶縁する絶縁部を有する機能部と、この機能部の周縁に一体に形成され、前記フレーム板における異方導電膜配置用孔の周辺部に固定された被支持部とよりなり、
前記弾性異方導電膜は、その接続用導電部の合計の数をＹとし、当該弾性異方導電膜に対してその厚み方向にＹ×１ｇの荷重を加えた状態における接続用導電部の電気抵抗をＲ_1gとし、当該弾性異方導電膜に対してその厚み方向にＹ×６ｇの荷重を加えた状態における接続用導電部の電気抵抗をＲ_6gとしたとき、Ｒ_1gの値が１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９０％以上であり、Ｒ_6gの値が０．１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９５％以上であり、Ｒ_6gの値が０．５Ω以上である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の１％以下である初期特性を有することを特徴とする。

本発明の異方導電性コネクターにおいては、前記フレーム板の線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下であることが好ましい。

本発明のプローブ部材は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるプローブ部材であって、
検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に配置された上記の異方導電性コネクターとを具えてなることを特徴とする。

本発明のプローブ部材においては、前記異方導電性コネクターにおけるフレーム板の線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下であり、前記検査用回路基板を構成する基板材料の線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下であることが好ましい。
また、前記異方導電性コネクター上に、絶縁性シートと、この絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸び、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の電極構造体とよりなるシート状コネクターが配置されていてもよい。

本発明のウエハ検査装置は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うウエハ検査装置において、
上記のプローブ部材を具えてなり、当該プローブ部材を介して、検査対象であるウエハに形成された集積回路に対する電気的接続が達成されることを特徴とする。

本発明のウエハ検査方法は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々を、上記のプローブ部材を介してテスターに電気的に接続し、当該ウエハに形成された集積回路の電気的検査を実行することを特徴とする。

本発明に係る異方導電性コネクターによれば、弾性異方導電膜は、特定の初期特性を有するものであるため、多数回にわたって繰り返し使用した場合や高温環境下において繰り返し使用した場合においても、接続用導電部の電気抵抗が著しく増大することがなく、長期間にわたって所要の導電性を維持することができる。

また、本発明に係る異方導電性コネクターによれば、弾性異方導電膜には、接続用導電部を有する機能部の周縁に被支持部が形成されており、この被支持部がフレーム板の異方導電膜配置用孔の周辺部に固定されているため、変形しにくくて取扱いやすく、検査対象であるウエハとの電気的接続作業において、当該ウエハに対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができる。
また、フレーム板の異方導電膜配置用孔の各々は、検査対象であるウエハに形成された全てのまたは一部の集積回路における被検査電極が形成された電極領域に対応して複数の異方導電膜配置用孔が形成されており、当該異方導電膜配置用孔の各々に配置される弾性異方導電膜は面積が小さいものでよいため、個々の弾性異方導電膜の形成が容易である。しかも、面積の小さい弾性異方導電膜は、熱履歴を受けた場合でも、当該弾性異方導電膜の面方向における熱膨張の絶対量が少ないため、フレーム板を構成する材料として線熱膨張係数の小さいものを用いることにより、弾性異方導電膜の面方向における熱膨張がフレーム板によって確実に規制される。従って、大面積のウエハに対してＷＬＢＩ試験を行う場合においても、良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。

本発明に係るプローブ部材によれば、検査対象であるウエハとの電気的接続作業において、当該ウエハに対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができ、しかも、多数回にわたって繰り返し使用した場合や高温環境下において繰り返し使用した場合にも、長期間にわたって所要の導電性を維持することができる。

本発明に係るウエハ検査装置およびウエハ検査方法によれば、上記のプローブ部材を介して、検査対象であるウエハの被検査電極に対する電気的接続が達成されるため、被検査電極のピッチが小さいものであっても、当該ウエハに対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができ、しかも、多数回にわたって繰り返し使用した場合や高温環境下において繰り返し使用した場合にも、所要の電気的検査を長期間にわたって安定して実行することができる。

本発明に係る異方導電性コネクターによれば、各接続用導電部の突出高さの差が小さく、段差吸収能が大きく、小さい加圧力で検査対象であるウエハにおける全ての被検査電極に対する電気的接続を達成することができる。
本発明に係る段差吸収能の高い異方導電性コネクターを用いて構成されるプローブ部材およびウエハ検査装置によれば、直径が８インチ以上の大面積で、５０００以上の被検査電極を有するウエハの検査において、小さい加圧力で全ての被検査電極に対して電気的接続を達成することができる。

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〔異方導電性コネクター〕
図１は、本発明に係る異方導電性コネクターの一例を示す平面図、図２は、図１に示す異方導電性コネクターの一部を拡大して示す平面図、図３は、図１に示す異方導電性コネクターにおける弾性異方導電膜を拡大して示す平面図、図４は、図１に示す異方導電性コネクターにおける弾性異方導電膜を拡大して示す説明用断面図である。

図１に示す異方導電性コネクターは、例えば複数の集積回路が形成されたウエハについて当該集積回路の各々の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるものであって、図２に示すように、それぞれ厚み方向に貫通して伸びる複数の異方導電膜配置用孔１１（破線で示す）が形成されたフレーム板１０を有する。このフレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１は、検査対象であるウエハに形成された全ての集積回路における被検査電極が配置された電極領域に対応して形成されている。フレーム板１０の各異方導電膜配置用孔１１内には、厚み方向に導電性を有する弾性異方導電膜２０が、当該フレーム板１０の当該異方導電膜配置用孔１１の周辺部に支持された状態で、かつ、隣接する弾性異方導電膜２０と互いに独立した状態で配置されている。また、この例におけるフレーム板１０には、後述するウエハ検査装置において、減圧方式の加圧手段を用いる場合に、当該異方導電性コネクターとこれに隣接する部材との間の空気を流通させるための空気流通孔１５が形成され、更に、検査対象であるウエハおよび検査用回路基板との位置決めを行うための位置決め孔１６が形成されている。

弾性異方導電膜２０は、弾性高分子物質によって形成されており、図３に示すように、厚み方向（図３において紙面と垂直な方向）に伸びる複数の接続用導電部２２と、この接続用導電部２２の各々の周囲に形成され、当該接続用導電部２２の各々を相互に絶縁する絶縁部２３とよりなる機能部２１を有し、当該機能部２１は、フレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１に位置するよう配置されている。この機能部２１における接続用導電部２２は、検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置され、当該ウエハの検査において、その被検査電極に電気的に接続されるものである。
機能部２１の周縁には、フレーム板１０における異方導電膜配置用孔１１の周辺部に固定支持された被支持部２５が、当該機能部２１に一体に連続して形成されている。具体的には、この例における被支持部２５は、二股状に形成されており、フレーム板１０における異方導電膜配置用孔１１の周辺部を把持するよう密着した状態で固定支持されている。 弾性異方導電膜２０の機能部２１における接続用導電部２２には、図４に示すように、磁性を示す導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されている。これに対して、絶縁部２３は、導電性粒子Ｐが全く或いは殆ど含有されていないものである。この例においては、弾性異方導電膜２０における被支持部２５には、導電性粒子Ｐが含有されている。
また、図示の例では、弾性異方導電膜２０における機能部２１の両面には、接続用導電部２２およびその周辺部分が位置する個所に、それ以外の表面から突出する突出部２４が形成されている。

フレーム板１０の厚みは、その材質によって異なるが、２５〜６００μｍであることが好ましく、より好ましくは４０〜４００μｍである。
この厚みが２５μｍ未満である場合には、異方導電性コネクターを使用する際に必要な強度が得られず、耐久性が低いものとなりやすく、また、当該フレーム板１０の形状が維持される程度の剛性が得られず、異方導電性コネクターの取扱い性が低いものとなる。一方、厚みが６００μｍを超える場合には、異方導電膜配置用孔１１に形成される弾性異方導電膜２０は、その厚みが過大なものとなって、接続用導電部２２における良好な導電性および隣接する接続用導電部２２間における絶縁性を得ることが困難となることがある。 フレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１における面方向の形状および寸法は、検査対象であるウエハの被検査電極の寸法、ピッチおよびパターンに応じて設計される。

フレーム板１０を構成する材料としては、当該フレーム板１０が容易に変形せず、その形状が安定に維持される程度の剛性を有するものであれば特に限定されず、例えば、金属材料、セラミックス材料、樹脂材料などの種々の材料を用いることができ、フレーム板１０を例えば金属材料により構成する場合には、当該フレーム板１０の表面に絶縁性被膜が形成されていてもよい。
フレーム板１０を構成する金属材料の具体例としては、鉄、銅、ニッケル、クロム、コバルト、マグネシウム、マンガン、モリブデン、インジウム、鉛、パラジウム、チタン、タングステン、アルミニウム、金、白金、銀などの金属またはこれらを２種以上組み合わせた合金若しくは合金鋼などが挙げられる。
フレーム板１０を構成する樹脂材料の具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂などが挙げられる。

また、フレーム板１０は、後述する方法により、弾性異方導電膜２０における被支持部２５に導電性粒子Ｐを容易に含有させることができる点で、少なくとも異方導電膜配置用孔１１の周辺部すなわち弾性異方導電膜２０を支持する部分が磁性を示すもの、具体的にはその飽和磁化が０．１Ｗｂ／ｍ² 以上のものであることが好ましく、特に、当該フレーム板１０の作製が容易な点で、フレーム板１０全体が磁性体により構成されていることが好ましい。
このようなフレーム板１０を構成する磁性体の具体例としては、鉄、ニッケル、コバルト若しくはこれらの磁性金属の合金またはこれらの磁性金属と他の金属との合金若しくは合金鋼などが挙げられる。

また、異方導電性コネクターをＷＬＢＩ試験に用いる場合には、フレーム板１０を構成する材料としては、線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは−１×１０^-7〜１×１０^-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０^-6〜８×１０^-6／Ｋである。
このような材料の具体例としては、インバーなどのインバー型合金、エリンバーなどのエリンバー型合金、スーパーインバー、コバール、４２合金などの磁性金属の合金または合金鋼などが挙げられる。

本発明の異方導電性コネクターにおいて、弾性異方導電膜２０は、下記（１）〜下記（３）に示す初期特性を有するものとされる。
（１）接続用導電部２２の合計の数をＹとし、当該弾性異方導電膜２０に対してその厚み方向にＹ×１ｇの荷重を加えた状態における接続用導電部２２の電気抵抗をＲ_1gとしたとき、Ｒ_1gの値が１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９０％以上であること。
Ｒ_1gの値が１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９０％未満である場合には、多数回にわたって繰り返し使用したとき或いは高温環境下において繰り返し使用したときに、所要の導電性を維持することが困難となる。
（２）弾性異方導電膜２０に対してその厚み方向にＹ×６ｇの荷重を加えた状態における接続用導電部２２の電気抵抗をＲ_6gとしたとき、Ｒ_6gの値が０．１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９５％以上であること。
Ｒ_6gの値が０．１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９５％未満である場合には、多数回にわたって繰り返し使用したとき或いは高温環境下において繰り返し使用したときに、所要の導電性を維持することが困難となる。
（３）Ｒ_6gの値が０．５Ω以上である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の１％以下、好ましくは０．５％以下、より好ましくは０．１％以下、特に好ましくは０％であること。
Ｒ_6gの値が０．５Ω以上である接続用導電部の数が過大である場合には、当該異方導電性コネクターをウエハの検査に実際に使用することができない。

弾性異方導電膜２０は、その全厚（図示の例では接続用導電部２２における厚み）は、５０〜２０００μｍであることが好ましく、より好ましくは７０〜１０００μｍ、特に好ましくは８０〜５００μｍである。この厚みが５０μｍ以上であれば、十分な強度を有する弾性異方導電膜２０が確実に得られる。一方、この厚みが２０００μｍ以下であれば、所要の導電性特性を有する接続用導電部２２が確実に得られる。
突出部２４の突出高さは、その合計が当該突出部２４における厚みの１０％以上であることが好ましく、より好ましくは２０％以上である。このような突出高さを有する突出部２４を形成することにより、小さい加圧力で接続用導電部２２が十分に圧縮されるため、良好な導電性が確実に得られる。
また、突出部２４の突出高さは、当該突出部２４の最短幅または直径の１００％以下であることが好ましく、より好ましくは７０％以下である。このような突出高さを有する突出部２４を形成することにより、当該突出部２４が加圧されたときに座屈することがないため、所期の導電性が確実に得られる。
また、被支持部２５の厚み（図示の例では二股部分の一方の厚み）は、５〜２５０μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜１５０μｍ、特に好ましくは１５〜１００μｍである。
また、被支持部２５は二股状に形成されることは必須のことではなく、フレーム板１０の一面のみに固定されていてもよい。

弾性異方導電膜２０を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する耐熱性の高分子物質が好ましい。かかる架橋高分子物質を得るために用いることができる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のをものを用いることができるが、液状シリコーンゴムが好ましい。
液状シリコーンゴムは、付加型のものであっても縮合型のものであってもよいが、付加型液状シリコーンゴムが好ましい。この付加型液状シリコーンゴムは、ビニル基とＳｉ−Ｈ結合との反応によって硬化するものであって、ビニル基およびＳｉ−Ｈ結合の両方を含有するポリシロキサンからなる一液型（一成分型）のものと、ビニル基を含有するポリシロキサンおよびＳｉ−Ｈ結合を含有するポリシロキサンからなる二液型（二成分型）のものがあるが、本発明においては、二液型の付加型液状シリコーンゴムを用いることが好ましい。

付加型液状シリコーンゴムとしては、その２３℃における粘度が１００〜１，２５０Ｐａ・ｓのものを用いることが好ましく、さらに好ましくは１５０〜８００Ｐａ・ｓ、特に好ましくは２５０〜５００Ｐａ・ｓのものである。この粘度が１００Ｐａ・ｓ未満である場合には、後述する弾性異方導電膜２０を得るための成形材料において、当該付加型液状シリコーンゴム中における導電性粒子の沈降が生じやすく、良好な保存安定性が得られず、また、成形材料層に平行磁場を作用させたときに、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向せず、均一な状態で導電性粒子の連鎖を形成することが困難となることがある。一方、この粘度が１２５０Ｐａ・ｓを超える場合には、得られる成形材料が粘度の高いものとなるため、金型内に成形材料層を形成しにくいものとなることがあり、また、成形材料層に平行磁場を作用させても、導電性粒子が十分に移動せず、そのため、導電性粒子を厚み方向に並ぶよう配向させることが困難となることがある。
このような付加型液状シリコーンゴムの粘度は、Ｂ型粘度計によって測定することができる。

弾性異方導電膜２０を液状シリコーンゴムの硬化物（以下、「シリコーンゴム硬化物」という。）によって形成する場合において、当該シリコーンゴム硬化物は、その１５０℃における圧縮永久歪みが１０％以下であることが好ましく、より好ましくは８％以下、さらに好ましくは６％以下である。この圧縮永久歪みが１０％を超える場合には、得られる異方導電性コネクターを高温環境下において繰り返し使用したときには、接続用導電部２２における導電性粒子の連鎖に乱れが生じる結果、所要の導電性を維持することが困難となる。
ここで、シリコーンゴム硬化物の圧縮永久歪みは、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠した方法によって測定することができる。

また、弾性異方導電膜２０を形成するシリコーンゴム硬化物は、その２３℃におけるデュロメーターＡ硬度が１０〜６０のものであることが好ましく、さらに好ましくは１５〜６０、特に好ましくは２０〜６０のものである。このデュロメーターＡ硬度が１０未満である場合には、加圧されたときに、接続用導電部２２を相互に絶縁する絶縁部２３が過度に歪みやすく、接続用導電部２２間の所要の絶縁性を維持することが困難となることがある。一方、このデュロメーターＡ硬度が６０を超える場合には、接続用導電部２２に適正な歪みを与えるために相当に大きい荷重による加圧力が必要となるため、例えば検査対象であるウエハに大きな変形や破壊が生じやすくなる。
ここで、シリコーンゴム硬化物のデュロメーターＡ硬度は、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠した方法によって測定することができる。

また、弾性異方導電膜２０を形成するシリコーンゴム硬化物は、その２３℃における引き裂き強度が８ｋＮ／ｍ以上のものであることが好ましく、さらに好ましくは１０ｋＮ／ｍ以上、より好ましくは１５ｋＮ／ｍ以上、特に好ましくは２０ｋＮ／ｍ以上のものである。この引き裂き強度が８ｋＮ／ｍ未満である場合には、弾性異方導電膜２０に過度の歪みが与えられたときに、耐久性の低下を起こしやすい。
ここで、シリコーンゴム硬化物の引き裂き強度は、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠した方法によって測定することができる。

このような特性を有する付加型液状シリコーンゴムとしては、信越化学工業株式会社製の液状シリコーンゴム「ＫＥ２０００」シリーズ、「ＫＥ１９５０」シリーズとして市販されているものを用いることができる。

本発明においては、付加型液状シリコーンゴムを硬化させるために適宜の硬化触媒を用いることができる。このような硬化触媒としては、白金系のものを用いることができ、その具体例としては、塩化白金酸およびその塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレックス、ビニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白金と１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコンプレックス、トリオルガノホスフィンあるいはホスファイトと白金とのコンプレックス、アセチルアセテート白金キレート、環状ジエンと白金とのコンプレックスなどの公知のものが挙げられる。
硬化触媒の使用量は、硬化触媒の種類、その他の硬化処理条件を考慮して適宜選択されるが、通常、付加型液状シリコーンゴム１００質量部に対して３〜１５質量部である。

また、付加型液状シリコーンゴム中には、付加型液状シリコーンゴムのチクソトロピー性の向上、粘度調整、導電性粒子の分散安定性の向上、或いは高い強度を有する基材を得ることなどを目的として、必要に応じて、通常のシリカ粉、コロイダルシリカ、エアロゲルシリカ、アルミナなどの無機充填材を含有させることができる。
このような無機充填材の使用量は、特に限定されるものではないが、多量に使用すると、磁場による導電性粒子の配向を十分に達成することができなくなるため、好ましくない。

弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２および被支持部２５に含有される導電性粒子Ｐとしては、磁性を示す芯粒子（以下、「磁性芯粒子」ともいう。）の表面に高導電性金属が被覆されてなるものを用いることが好ましい。
ここで、「高導電性金属」とは、０℃における導電率が５×１０⁶ Ω^-1ｍ^-1以上のものをいう。

導電性粒子Ｐを得るための磁性芯粒子は、その数平均粒子径が３〜４０μｍのものであることが好ましい。
ここで、磁性芯粒子の数平均粒子径は、レーザー回折散乱法によって測定されたものをいう。
上記数平均粒子径が３μｍ以上であれば、加圧変形が容易で、抵抗値が低くて接続信頼性の高い接続用導電部２２が得られやすい。一方、上記数平均粒子径が４０μｍ以下であれば、微細な接続用導電部２２を容易に形成することができ、また、得られる接続用導電部２２は、安定な導電性を有するものとなりやすい。

また、磁性芯粒子は、そのＢＥＴ比表面積が１０〜５００ｍ² ／ｋｇであることが好ましく、より好ましくは２０〜５００ｍ² ／ｋｇ、特に好ましくは５０〜４００ｍ² ／ｋｇである。
このＢＥＴ比表面積が１０ｍ² ／ｋｇ以上であれば、当該磁性芯粒子はメッキ可能な領域が十分に大きいものであるため、当該磁性芯粒子に所要の量のメッキを確実に行うことができ、従って、導電性の大きい導電性粒子Ｐを得ることができると共に、当該導電性粒子Ｐ間において、接触面積が十分に大きいため、安定で高い導電性が得られる。一方、このＢＥＴ比表面積が５００ｍ² ／ｋｇ以下であれば、当該磁性芯粒子が脆弱なものとならず、物理的な応力が加わった際に破壊することが少なく、安定で高い導電性が保持される。

また、磁性芯粒子は、その粒子径の変動係数が５０％以下のものであることが好ましく、より好ましくは４０％以下、更に好ましくは３０％以下、特に好ましくは２０％以下のものである。
ここで、粒子径の変動係数は、式：（σ／Ｄｎ）×１００（但し、σは、粒子径の標準偏差の値を示し、Ｄｎは、粒子の数平均粒子径を示す。）によって求められるものである。
上記粒子径の変動係数が５０％以下であれば、粒子径の均一性が大きいため、導電性のバラツキの小さい接続用導電部２２を形成することができる。

磁性芯粒子を構成する材料としては、鉄、ニッケル、コバルト、これらの金属を銅、樹脂にコーティングしたものなどを用いることができるが、その飽和磁化が０．１Ｗｂ／ｍ² 以上のものを好ましく用いることができ、より好ましくは０．３Ｗｂ／ｍ² 以上、特に好ましくは０．５Ｗｂ／ｍ² 以上のものであり、具体的には、鉄、ニッケル、コバルトまたはそれらの合金を挙げることができる。
この飽和磁化が０．１Ｗｂ／ｍ² 以上であれば、後述する方法によって、当該弾性異方導電膜２０を形成するための成形材料層中において導電性粒子Ｐを容易に移動させることができ、これにより、当該成形材料層における接続用導電部となる部分に、導電性粒子Ｐを確実に移動させて導電性粒子Ｐの連鎖を形成することができる。

磁性芯粒子の表面に被覆される高導電性金属としては、金、銀、ロジウム、白金、クロムなどを用いることができ、これらの中では、化学的に安定でかつ高い導電率を有する点で金を用いることが好ましい。

導電性粒子Ｐは、芯粒子に対する高導電性金属の割合〔（高導電性金属の質量／芯粒子の質量）×１００〕が１５質量％以上であることが好ましく、より好ましくは２５〜３５質量％である。
高導電性金属の割合が１５質量％未満である場合には、得られる異方導電性コネクターを高温環境下に繰り返し使用したとき、当該導電性粒子Ｐの導電性が著しく低下する結果、所要の導電性を維持することができない。

また、導電性粒子Ｐは、下記の式（１）によって算出される、高導電性金属による被覆層の厚みｔが５０ｎｍ以上のものであることが好ましく、より好ましくは１００〜２００ｎｍのものである。
式（１） ｔ＝〔１／（Ｓｗ・ρ）〕×〔Ｎ／（１−Ｎ）〕
〔但し、ｔは高導電性金属による被覆層の厚み（ｍ）、Ｓｗは芯粒子のＢＥＴ比表面積（ｍ² ／ｋｇ）、ρは高導電性金属の比重（ｋｇ／ｍ³ ）、Ｎは（高導電性金属の質量／導電性粒子全体の質量）の値を示す。〕

上記の式（１）は、次のようにして導かれたものである。
（ｉ）磁性芯粒子の質量をＭｐ（ｋｇ）とすると、磁性芯粒子の表面積Ｓ（ｍ² ）は、
Ｓ＝Ｓｗ・Ｍｐ ………式（２）
によって求められる。
（ii）高導電性金属による被覆層の質量をｍ（ｋｇ）とすると、当該被覆層の体積Ｖ（ｍ³ ）は、
Ｖ＝ｍ／ρ ………式（３）
によって求められる。
（iii ）ここで、被覆層の厚みが導電性粒子の表面全体にわたって均一なものであると仮定すると、ｔ＝Ｖ／Ｓであり、これに上記式（２）および式（３）を代入すると、被覆層の厚みｔは、
ｔ＝（ｍ／ρ）／（Ｓｗ・Ｍｐ）＝ｍ／（Ｓｗ・ρ・Ｍｐ） ………式（４）
によって求められる。
（iv）また、Ｎは、導電性粒子全体の質量に対する被覆層の質量の比であるから、このＮの値は、
Ｎ＝ｍ／（Ｍｐ＋ｍ） ………式（５）
によって求められる。
（ｖ）この式（５）の右辺における分子・分母をＭｐで割ると、
Ｎ＝（ｍ／Ｍｐ）／（１＋ｍ／Ｍｐ）となり、両辺に（１＋ｍ／Ｍｐ）をかけると、
Ｎ（１＋ｍ／Ｍｐ）＝ｍ／Ｍｐ、更には、
Ｎ＋Ｎ（ｍ／Ｍｐ）＝ｍ／Ｍｐとなり、Ｎ（ｍ／Ｍｐ）を右辺に移行すると、
Ｎ＝ｍ／Ｍｐ−Ｎ（ｍ／Ｍｐ）＝（ｍ／Ｍｐ）（１−Ｎ）となり、両辺を（１−Ｎ）で割ると、
Ｎ／（１−Ｎ）＝ｍ／Ｍｐとなり、
従って、磁性芯粒子の質量Ｍｐは、
Ｍｐ＝ｍ／〔Ｎ／（１−Ｎ）〕＝ｍ（１−Ｎ）／Ｎ ………式（６）
によって求められる。
（vi）そして、式（４）に式（６）を代入すると、
ｔ＝１／〔Ｓｗ・ρ・（１−Ｎ）／Ｎ〕
＝〔１／（Ｓｗ・ρ）〕×〔Ｎ／（１−Ｎ）〕
が導かれる。

この被覆層の厚みｔが５０ｎｍ以上であれば、当該異方導電性コネクターを高温環境下に繰り返し使用した場合において、磁性芯粒子を構成する強磁性体が被覆層を構成する高導電性金属中に移行しても、当該導電性粒子Ｐの表面には、高導電性金属が高い割合で存在するので、当該導電性粒子Ｐの導電性が著しく低下することがなく、所期の導電性が維持される。

また、導電性粒子Ｐは、そのＢＥＴ比表面積が１０〜５００ｍ² ／ｋｇであることが好ましい。
このＢＥＴ比表面積が１０ｍ² ／ｋｇ以上であれば、被覆層の表面積が十分に大きいものであるため、高導電性金属の総質量が大きい被覆層を形成することができ、従って、導電性の大きい粒子を得ることができると共に、当該導電性粒子Ｐ間において、接触面積が十分に大きいため、安定で高い導電性が得られる。一方、このＢＥＴ比表面積が５００ｍ² ／ｋｇ以下であれば、当該導電性粒子が脆弱なものとならず、物理的な応力が加わった際に破壊することが少なく、安定で高い導電性が保持される。

また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜４０μｍであることが好ましく、より好ましくは６〜２５μｍである。
このような導電性粒子Ｐを用いることにより、得られる弾性異方導電膜２０は、加圧変形が容易なものとなり、また、当該弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２において導電性粒子Ｐ間に十分な電気的接触が得られる。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子による塊状のものであることが好ましい。

また、導電性粒子Ｐは、下記に示す電気抵抗値Ｒが０．３Ω以下となるものであることが好ましく、より好ましくは０．１Ω以下のものである。
電気抵抗値Ｒ：導電性粒子０．６ｇと液状ゴム０．８ｇとを混練することによってペースト組成物を調製し、このペースト組成物を、０．５ｍｍの離間距離で互いに対向するよう配置された、それぞれ径が１ｍｍの一対の電極間に配置し、当該一対の電極間に０．３Ｔの磁場を作用させ、この状態で当該一対の電極間の電気抵抗値が安定するまで放置したときの当該電気抵抗値。

具体的には、この電気抵抗値Ｒは、以下のようにして測定される。
図５は、電気抵抗値Ｒを測定するための装置であり、７１は試料室Ｓを形成するセラミック製のセルであって、筒状の側壁材７２と、それぞれ中央に貫通孔７３Ｈを有する一対の蓋材７３とにより構成されている。７４は導電性を有する一対の磁石であって、それぞれ表面から突出する、蓋材７３の貫通孔７３Ｈに適合する形状の電極部７５を有し、この電極部７５が蓋材７３の貫通孔７３Ｈに嵌合された状態で、当該蓋材７３に固定されている。７６は電気抵抗測定機であって、一対の磁石７４の各々に接続されている。セル７１の試料室Ｓは、直径ｄ１が３ｍｍ、厚みｄ２が０．５ｍｍの円板状であり、蓋材７３の貫通孔７３Ｈの内径すなわち磁石７４の電極部７５の直径ｒは１ｍｍである。

そして、セル７１の試料室Ｓに、上記のペースト組成物を充填し、磁石７４の電極部７５間に当該試料室Ｓの厚み方向に０．３Ｔの平行磁場を作用させながら、電気抵抗測定機７６によって磁石７４の電極部７５間の電気抵抗値を測定する。その結果、ペースト組成物中に分散されていた導電性粒子が、平行磁場の作用により磁石７４の電極部７５間に集合し、更には厚み方向に並ぶよう配向し、この導電性粒子の移動に伴って、磁石７４の電極部７５間の電気抵抗値が低下した後安定状態となり、このときの電気抵抗値を測定する。ペースト組成物に平行磁場を作用させてから、磁石７４の電極部７５間の電気抵抗値が安定状態に達するまでの時間は、導電性粒子の種類によって異なるが、通常、ペースト組成物に平行磁場を作用させてから５００秒間経過した後における電気抵抗値を電気抵抗値Ｒとして測定する。
この電気抵抗値Ｒが０．３Ω以下であれば、高い導電性を有する接続用導電部２２が確実に得られる。

導電性粒子Ｐの含水率は、５質量％以下であることが好ましく、より好ましくは３質量％以下、さらに好ましくは２質量％以下、特に好ましくは１質量％以下である。このような条件を満足することにより、成形材料の調製または弾性異方導電膜２０の形成において、硬化処理する際に気泡が生ずることが防止または抑制される。

また、導電性粒子Ｐは、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤で処理されたものあってもよい。導電性粒子Ｐの表面がカップリング剤で処理されることにより、当該導電性粒子Ｐと弾性高分子物質との接着性が高くなり、その結果、耐久性が高い導電性材料が得られる。
カップリング剤の使用量は、導電性粒子Ｐの導電性に影響を与えない範囲で適宜選択されるが、導電性粒子Ｐの表面におけるカップリング剤の被覆割合（導電性粒子の表面積に対するカップリング剤の被覆面積の割合）が５％以上となる量であることが好ましく、より好ましくは上記被覆率が７〜１００％、さらに好ましくは１０〜１００％、特に好ましくは２０〜１００％となる量である。

このような導電性粒子Ｐは、例えは以下の方法によって得ることができる。
先ず、強磁性体材料を常法により粒子化し或いは市販の強磁性体粒子を用意し、この粒子に対して分級処理を行うことにより、所要の粒子径を有する磁性芯粒子を調製する。
ここで、粒子の分級処理は、例えば空気分級装置、音波ふるい装置などの分級装置によって行うことができる。
また、分級処理の具体的な条件は、目的とする磁性芯粒子の数平均粒子径、分級装置の種類などに応じて適宜設定される。
次いで、磁性芯粒子の表面を酸によって処理し、更に、例えば純水によって洗浄することにより、磁性芯粒子の表面に存在する汚れ、異物、酸化膜などの不純物を除去し、その後、当該磁性芯粒子の表面に高導電性金属を被覆することによって、導電性粒子が得られる。
ここで、磁性芯粒子の表面を処理するために用いられる酸としては、塩酸などを挙げることができる。
高導電性金属を磁性芯粒子の表面に被覆する方法としては、無電解メッキ法、置換メッキ法等を用いることができるが、これらの方法に限定されるものではない。

無電解メッキ法または置換メッキ法によって導電性粒子を製造する方法について説明すると、先ず、メッキ液中に、酸処理および洗浄処理された磁性芯粒子を添加してスラリーを調製し、このスラリーを攪拌しながら当該磁性芯粒子の無電解メッキまたは置換メッキを行う。次いで、スラリー中の粒子をメッキ液から分離し、その後、当該粒子を例えば純水によって洗浄処理することにより、磁性芯粒子の表面に高導電性金属が被覆されてなる導電性粒子が得られる。

また、磁性芯粒子の表面に下地メッキを行って下地メッキ層を形成した後、当該下地メッキ層の表面に高導電性金属よりなるメッキ層を形成してもよい。下地メッキ層およびその表面に形成されるメッキ層を形成する方法は、特に限定されないが、無電解メッキ法により、磁性芯粒子の表面に下地メッキ層を形成し、その後、置換メッキ法により、下地メッキ層の表面に高導電性金属よりなるメッキ層を形成することが好ましい。
無電解メッキまたは置換メッキに用いられるメッキ液としては、特に限定されるものではなく、種々の市販のものを用いることができる。
また、磁性芯粒子の表面に高導電性金属を被覆する際に、粒子が凝集することにより、粒子径の大きい導電性粒子が発生することがあるため、必要に応じて、導電性粒子の分級処理を行うことが好ましく、これにより、所期の粒子径を有する導電性粒子が確実に得られる。
導電性粒子の分級処理を行うための分級装置としては、前述の磁性芯粒子を調製するための分級処理に用いられる分級装置として例示したものを挙げることができる。

機能部２１の接続用導電部２２における導電性粒子Ｐの含有割合は、体積分率で１０〜６０％、好ましくは１５〜５０％となる割合で用いられることが好ましい。この割合が１０％未満の場合には、十分に電気抵抗値の小さい接続用導電部２２が得られないことがある。一方、この割合が６０％を超える場合には、得られる接続用導電部２２は脆弱なものとなりやすく、接続用導電部２２として必要な弾性が得られないことがある。
また、被支持部２５における導電性粒子Ｐの含有割合は、弾性異方導電膜２０を形成するための成形材料中の導電性粒子の含有割合によって異なるが、弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２のうち最も外側に位置する接続用導電部２２に、過剰な量の導電性粒子Ｐが含有されることが確実に防止される点で、成形材料中の導電性粒子の含有割合と同等若しくはそれ以上であることが好ましく、また、十分な強度を有する被支持部２５が得られる点で、体積分率で３０％以下であることが好ましい。

上記の異方導電性コネクターは、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、検査対象であるウエハにおける集積回路の被検査電極が形成された電極領域のパターンに対応して異方導電膜配置用孔１１が形成された磁性金属よりなるフレーム板１０を作製する。ここで、フレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１を形成する方法としては、例えばエッチング法などを利用することができる。

次いで、付加型液状シリコーンゴム中に磁性を示す導電性粒子が分散されてなる、弾性異方導電膜成形用の成形材料を調製する。そして、図６に示すように、弾性異方導電性膜成形用の金型６０を用意し、この金型６０における上型６１および下型６５の各々の成形面に、所要のパターンすなわち形成すべき弾性異方導電膜の配置パターンに従って成形材料を塗布することによって成形材料層２０Ａを形成する。

ここで、金型６０について具体的に説明すると、この金型６０は、上型６１およびこれと対となる下型６５が互いに対向するよう配置されて構成されている。
上型６１においては、図７に拡大して示すように、基板６２の下面に、成形すべき弾性異方導電性膜２０の接続用導電部２２の配置パターンに対掌なパターンに従って強磁性体層６３が形成され、この強磁性体層６３以外の個所には、非磁性体層６４が形成されており、これらの強磁性体層６３および非磁性体層６４によって成形面が形成されている。また、上型６１の成形面には、成形すべき弾性異方導電膜２０における突出部２４に対応して凹所６４ａが形成されている。
一方、下型６５においては、基板６６の上面に、成形すべき弾性異方導電膜２０の接続用導電部２２の配置パターンと同一のパターンに従って強磁性体層６７が形成され、この強磁性体層６７以外の個所には、非磁性体層６８が形成されており、これらの強磁性体層６７および非磁性体層６８によって成形面が形成されている。また、下型６５の成形面には、成形すべき弾性異方導電膜２０における突出部２４に対応して凹所６８ａが形成されている。

上型６１および下型６５の各々における基板６２，６６は、強磁性体により構成されていることが好ましく、このような強磁性体の具体例としては、鉄、鉄−ニッケル合金、鉄−コバルト合金、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属が挙げられる。この基板６２，６６は、その厚みが０．１〜５０ｍｍであることが好ましく、表面が平滑で、化学的に脱脂処理され、また、機械的に研磨処理されたものであることが好ましい。

また、上型６１および下型６５の各々における強磁性体層６３，６７を構成する材料としては、鉄、鉄−ニッケル合金、鉄−コバルト合金、ニッケル、コバルトなどの強磁性金属を用いることができる。この強磁性体層６３，６７は、その厚みが１０μｍ以上であることが好ましい。この厚みが１０μｍ以上であれば、成形材料層２０Ａに対して、十分な強度分布を有する磁場を作用させることができ、この結果、当該成形材料層２０Ａにおける接続用導電部２２となる部分に導電性粒子を高密度に集合させることができ、良好な導電性を有する接続用導電部２２が得られる。

また、上型６１および下型６５の各々における非磁性体層６４，６８を構成する材料としては、銅などの非磁性金属、耐熱性を有する高分子物質などを用いることができるが、フォトリソグラフィーの手法により容易に非磁性体層６４，６８を形成することができる点で、放射線によって硬化された高分子物質を好ましく用いることができ、その材料としては、例えばアクリル系のドライフィルムレジスト、エポキシ系の液状レジスト、ポリイミド系の液状レジストなどのフォトレジストを用いることができる。

上型６１および下型６５の成形面に成形材料を塗布する方法としては、スクリーン印刷法を用いることが好ましい。このような方法によれば、成形材料を所要のパターンに従って塗布することが容易で、しかも、適量の成形材料を塗布することができる。

次いで、図８に示すように、成形材料層２０Ａが形成された下型６５の成形面上に、スペーサー６９ａを介して、フレーム板１０を位置合わせして配置すると共に、このフレーム板１０上に、スペーサー６９ｂを介して、成形材料層２０Ａが形成された上型６１を位置合わせして配置し、更に、これらを重ね合わせることにより、図９に示すように、上型６１と下型６５との間に、目的とする形態（形成すべき弾性異方導電膜２０の形態）の成形材料層２０Ａが形成される。この成形材料層２０Ａにおいては、図１０に示すように、導電性粒子Ｐは成形材料層２０Ａ全体に分散された状態で含有されている。
このようにフレーム板１０と上型６１および下型６５との間にスペーサー６９ａ，６９ｂを配置することにより、目的とする形態の弾性異方導電膜を形成することができると共に、隣接する弾性異方導電膜同士が連結することが防止されるため、互いに独立した多数の弾性異方導電膜を確実に形成することができる。

その後、上型６１における基板６２の上面および下型６５における基板６６の下面に例えば一対の電磁石を配置してこれを作動させることにより、上型６１および下型６５が強磁性体層６３，６７を有するため、上型６１の強磁性体層６３とこれに対応する下型６５の強磁性体層６７との間においてその周辺領域より大きい強度を有する磁場が形成される。その結果、成形材料層２０Ａにおいては、当該成形材料層２０Ａ中に分散されていた導電性粒子Ｐが、図１１に示すように、上型６１の強磁性体層６３とこれに対応する下型６５の強磁性体層６７との間に位置する接続用導電部２２となる部分に集合して厚み方向に並ぶよう配向する。以上において、フレーム板１０が磁性金属よりなるため、上型６１および下型６５の各々とフレーム板１０との間においてその付近より大きい強度の磁場が形成される結果、成形材料層２０Ａにおけるフレーム板１０の上方および下方にある導電性粒子Ｐは、上型６１の強磁性体層６３と下型６５の強磁性体層６７との間に集合せず、フレーム板１０の上方および下方に保持されたままとなる。

そして、この状態において、成形材料層２０Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる複数の接続用導電部２２が、導電性粒子Ｐが全く或いは殆ど存在しない高分子弾性物質よりなる絶縁部２３によって相互に絶縁された状態で配置されてなる機能部２１と、この機能部２１の周辺に連続して一体に形成された、弾性高分子物質中に導電性粒子Ｐが含有されてなる被支持部２５とよりなる弾性異方導電膜２０が、フレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１の周辺部に当該被支持部２５が固定された状態で形成され、以て異方導電性コネクターが製造される。

以上において、成形材料層２０Ａにおける接続用導電部２２となる部分および被支持部２５となる部分に作用させる外部磁場の強度は、平均で０．１〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
成形材料層２０Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。加熱により成形材料層２０Ａの硬化処理を行う場合には、電磁石にヒーターを設ければよい。具体的な加熱温度および加熱時間は、成形材料層２０Ａを構成する高分子物質形成材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

上記の異方導電性コネクターによれば、弾性異方導電膜２０は、特定の初期特性を有するものであるため、高温環境下において繰り返し使用した場合においても、接続用導電部２２の電気抵抗が著しく増大することがなく、長期間にわたって所要の導電性を維持することができる。
また、弾性異方導電膜２０には、接続用導電部２２を有する機能部２１の周縁に被支持部２５が形成されており、この被支持部２５がフレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１の周辺部に固定されているため、変形しにくくて取扱いやすく、検査対象であるウエハとの電気的接続作業において、当該ウエハに対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができる。

また、フレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１の各々は、検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極が配置された電極領域に対応して形成されており、当該異方導電膜配置用孔１１の各々に配置される弾性異方導電膜２０は面積が小さいものでよいため、個々の弾性異方導電膜２０の形成が容易である。しかも、面積の小さい弾性異方導電膜２０は、熱履歴を受けた場合でも、当該弾性異方導電膜２０の面方向における熱膨張の絶対量が少ないため、フレーム板１０を構成する材料として線熱膨張係数の小さいものを用いることにより、弾性異方導電膜２０の面方向における熱膨張がフレーム板によって確実に規制される。従って、大面積のウエハに対してＷＬＢＩ試験を行う場合においても、良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。

また、上記の異方導電性コネクターは、その弾性異方導電膜２０の形成において、成形材料層２０Ａにおける被支持部２５となる部分に例えば磁場を作用させることによって当該部分に導電性粒子Ｐが存在したままの状態で、当該成形材料層２０Ａの硬化処理を行うことにより得られるため、成形材料層２０Ａにおける被支持部２５となる部分すなわちフレーム板１０における異方導電膜配置用孔１１の周辺部の上方および下方に位置する部分に存在する導電性粒子Ｐが、接続用導電部２２となる部分に集合することがなく、その結果、得られる弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２のうち最も外側に位置する接続用導電部２２に、過剰な量の導電性粒子Ｐが含有されることが防止される。従って、成形材料層２０Ａ中の導電性粒子Ｐの含有量を少なくする必要もないので、弾性異方導電膜２０の全ての接続用導電部２２について、良好な導電性が確実に得られると共に隣接する接続用導電部２２との絶縁性が確実に得られる。

また、フレーム板１０に位置決め孔１６が形成されているため、検査対象であるウエハまたは検査用回路基板に対する位置合わせを容易に行うことができる。
また、フレーム板１０に空気流通孔１５が形成されているため、後述するウエハ検査装置において、プローブ部材を押圧する手段として減圧方式によるものを利用した場合には、チャンバー内を減圧したときに、異方導電性コネクターと検査用回路基板との間に存在する空気がフレーム板１０の空気流通孔１５を介して排出され、これにより、異方導電性コネクターと検査用回路基板とを確実に密着させることができるので、所要の電気的接続を確実に達成することができる。

〔ウエハ検査装置〕
図１２は、本発明に係る異方導電性コネクターを用いたウエハ検査装置の一例における構成の概略を示す説明用断面図である。このウエハ検査装置は、ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うためのものである。

図１２に示すウエハ検査装置は、検査対象であるウエハ６の被検査電極７の各々とテスターとの電気的接続を行うプローブ部材１を有する。このプローブ部材１においては、図１３にも拡大して示すように、検査対象であるウエハ６の被検査電極７のパターンに対応するパターンに従って複数の検査電極３１が表面（図において下面）に形成された検査用回路基板３０を有し、この検査用回路基板３０の表面には、図１〜図４に示す構成の異方導電性コネクター２が、その弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２の各々が検査用回路基板３０の検査電極３１の各々に対接するよう設けられ、この異方導電性コネクター２の表面（図において下面）には、絶縁性シート４１に検査対象であるウエハ６の被検査電極７のパターンに対応するパターンに従って複数の電極構造体４２が配置されてなるシート状コネクター４０が、当該電極構造体４２の各々が異方導電性コネクター２の弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２の各々に対接するよう設けられている。
また、プローブ部材１における検査用回路基板３０の裏面（図において上面）には、当該プローブ部材１を下方に加圧する加圧板３が設けられ、プローブ部材１の下方には、検査対象であるウエハ６が載置されるウエハ載置台４が設けられており、加圧板３およびウエハ載置台４の各々には、加熱器５が接続されている。

検査用回路基板３０を構成する基板材料としては、従来公知の種々の基板材料を用いることができ、その具体例としては、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型フェノール樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂等の複合樹脂材料、ガラス、二酸化珪素、アルミナ等のセラミックス材料などが挙げられる。
また、ＷＬＢＩ試験を行うためのウエハ検査装置を構成する場合には、線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０^-7〜１×１０^-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０^-6〜６×１０^-6／Ｋである。
このような基板材料の具体例としては、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、アルミナ、ベリリア、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素などが挙げられる。

プローブ部材１におけるシート状コネクター４０について具体的に説明すると、このシート状コネクター４０は、柔軟な絶縁性シート４１を有し、この絶縁性シート４１には、当該絶縁性シート４１の厚み方向に伸びる複数の金属よりなる電極構造体４２が、検査対象であるウエハ６の被検査電極７のパターンに対応するパターンに従って、当該絶縁性シート４１の面方向に互いに離間して配置されている。
電極構造体４２の各々は、絶縁性シート４１の表面（図において下面）に露出する突起状の表面電極部４３と、絶縁性シート４１の裏面に露出する板状の裏面電極部４４とが、絶縁性シート４１の厚み方向に貫通して伸びる短絡部４５によって互いに一体に連結されて構成されている。

絶縁性シート４１としては、絶縁性を有する柔軟なものであれば特に限定されるものではなく、例えばポリイミド樹脂、液晶ポリマー、ポリエステル、フッ素系樹脂などよりなる樹脂シート、繊維を編んだクロスに上記の樹脂を含浸したシートなどを用いることができる。
また、絶縁性シート４１の厚みは、当該絶縁性シート４１が柔軟なものであれば特に限定されないが、１０〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜２５μｍである。

電極構造体４２を構成する金属としては、ニッケル、銅、金、銀、パラジウム、鉄などを用いることができ、電極構造体４２としては、全体が単一の金属よりなるものであっても、２種以上の金属の合金よりなるものまたは２種以上の金属が積層されてなるものであってもよい。
また、電極構造体４２における表面電極部４３および裏面電極部４４の表面には、当該電極部の酸化が防止されると共に、接触抵抗の小さい電極部が得られる点で、金、銀、パラジウムなどの化学的に安定で高導電性を有する金属被膜が形成されていることが好ましい。

電極構造体４２における表面電極部４３の突出高さは、ウエハ６の被検査電極７に対して安定な電気的接続を達成することができる点で、１５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜３０μｍである。また、表面電極部４３の径は、ウエハ６の被検査電極の寸法およびピッチに応じて設定されるが、例えば３０〜８０μｍであり、好ましくは３０〜５０μｍである。
電極構造体４２における裏面電極部４４の径は、短絡部４５の径より大きく、かつ、電極構造体４２の配置ピッチより小さいものであればよいが、可能な限り大きいものであることが好ましく、これにより、異方導電性コネクター２の弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２に対しても安定な電気的接続を確実に達成することができる。また、裏面電極部４４の厚みは、強度が十分に高くて優れた繰り返し耐久性が得られる点で、２０〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは３５〜５０μｍである。
電極構造体４２における短絡部４５の径は、十分に高い強度が得られる点で、３０〜８０μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜５０μｍである。

シート状コネクター４０は、例えば以下のようにして製造することができる。
すなわち、絶縁性シート４１上に金属層が積層されてなる積層材料を用意し、この積層材料における絶縁性シート４１に対して、レーザ加工、ドライエッチング加工等によって、当該絶縁性シート４１の厚み方向に貫通する複数の貫通孔を、形成すべき電極構造体４２のパターンに対応するパターンに従って形成する。次いで、この積層材料に対してフォトリソグラフィーおよびメッキ処理を施すことによって、絶縁性シート４１の貫通孔内に金属層に一体に連結された短絡部４５を形成すると共に、当該絶縁性シート４１の表面に、短絡部４５に一体に連結された突起状の表面電極部４３を形成する。その後、積層材料における金属層に対してフォトエッチング処理を施してその一部を除去することにより、裏面電極部４４を形成して電極構造体４２を形成し、以てシート状コネクター４０が得られる。

このような電気的検査装置においては、ウエハ載置台４上に検査対象であるウエハ６が載置され、次いで、加圧板３によってプローブ部材１が下方に加圧されることにより、そのシート状コネクター４０の電極構造体４２における表面電極部４３の各々が、ウエハ６の被検査電極７の各々に接触し、更に、当該表面電極部４３の各々によって、ウエハ６の被検査電極７の各々が加圧される。この状態においては、異方導電性コネクター２の弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２の各々は、検査用回路基板３０の検査電極３１とシート状コネクター４０の電極構造体４２の表面電極部４３とによって挟圧されて厚み方向に圧縮されており、これにより、当該接続用導電部２２にはその厚み方向に導電路が形成され、その結果、ウエハ６の被検査電極７と検査用回路基板３０の検査電極３１との電気的接続が達成される。その後、加熱器５によって、ウエハ載置台４および加圧板３を介してウエハ６が所定の温度に加熱され、この状態で、当該ウエハ６における複数の集積回路の各々について所要の電気的検査が実行される。

このようなウエハ検査装置によれば、前述の異方導電性コネクター２を有するプローブ部材１を介して、検査対象であるウエハ６の被検査電極７に対する電気的接続が達成されるため、被検査電極７のピッチが小さいものであっても、当該ウエハに対する位置合わせおよび保持固定を容易に行うことができ、しかも、高温環境下において繰り返し使用した場合にも、所要の電気的検査を長期間にわたって安定して実行することができる。
また、異方導電性コネクター２における弾性異方導電膜２０は、それ自体の面積が小さいものであり、熱履歴を受けた場合でも、当該弾性異方導電膜２０の面方向における熱膨張の絶対量が少ないため、フレーム板１０を構成する材料として線熱膨張係数の小さいものを用いることにより、弾性異方導電膜２０の面方向における熱膨張がフレーム板によって確実に規制される。従って、大面積のウエハに対してＷＬＢＩ試験を行う場合においても、良好な電気的接続状態を安定に維持することができる。

図１４は、本発明に係る異方導電性コネクターを用いたウエハ検査装置の他の例における構成の概略を示す説明用断面図である。
このウエハ検査装置は、検査対象であるウエハ６が収納される、上面が開口した箱型のチャンバー５０を有する。このチャンバー５０の側壁には、当該チャンバー５０の内部の空気を排気するための排気管５１が設けられており、この排気管５１には、例えば真空ポンプ等の排気装置（図示省略）が接続されている。
チャンバー５０上には、図１２に示すウエハ検査装置におけるプローブ部材１と同様の構成のプローブ部材１が、当該チャンバー５０の開口を気密に塞ぐよう配置されている。具体的には、チャンバー５０における側壁の上端面上には、弾性を有するＯ−リング５５が密着して配置され、プローブ部材１は、その異方導電性コネクター２およびシート状コネクター４０がチャンバー５０内に収容され、かつ、その検査用回路基板３０における周辺部がＯ−リング５５に密着した状態で配置されており、更に、検査用回路基板３０が、その裏面（図において上面）に設けられた加圧板３によって下方に加圧された状態とされている。
また、チャンバー５０および加圧板３には、加熱器５が接続されている。

このようなウエハ検査装置においては、チャンバー５０の排気管５１に接続された排気装置を駆動させることにより、チャンバー５０内が例えば１０００Ｐａ以下に減圧される結果、大気圧によって、プローブ部材１が下方に加圧される。これにより、Ｏ−リング５５が弾性変形するため、プローブ部材１が下方に移動する結果、シート状コネクター４０の電極構造体４２における表面電極部４３の各々によって、ウエハ６の被検査電極７の各々が加圧される。この状態においては、異方導電性コネクター２の弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２の各々は、検査用回路基板３０の検査電極３１とシート状コネクター４０の電極構造体４２の表面電極部４３とによって挟圧されて厚み方向に圧縮されており、これにより、当該接続用導電部２２にはその厚み方向に導電路が形成され、その結果、ウエハ６の被検査電極７と検査用回路基板３０の検査電極３１との電気的接続が達成される。その後、加熱器５によって、チャンバー５０および加圧板３を介してウエハ６が所定の温度に加熱され、この状態で、当該ウエハ６における複数の集積回路の各々について所要の電気的検査が実行される。

このようなウエハ検査装置によれば、図１２に示すウエハ検査装置と同様の効果が得られ、更に、大型の加圧機構が不要であるため、検査装置全体の小型化を図ることができると共に、検査対象であるウエハ６が例えば直径が８インチ以上の大面積のものであっても、当該ウエハ６全体を均一な力で押圧することができる。しかも、異方導電性コネクター２におけるフレーム板１０には、空気流通孔１５が形成されているため、チャンバー５０内を減圧したときに、異方導電性コネクター２と検査用回路基板３０との間に存在する空気が、異方導電性コネクター２におけるフレーム板１０の空気流通孔１５を介して排出され、これにより、異方導電性コネクター２と検査用回路基板３０とを確実に密着させることができるので、所要の電気的接続を確実に達成することができる。

〔他の実施の形態〕
本発明は、上記の実施の形態に限定されず、次のような種々の変更を加えることが可能である。
（１）異方導電性コネクターにおいては、弾性異方導電膜２０には、接続用導電部２２以外に、ウエハにおける被検査電極に電気的に接続されない非接続用導電部が形成されていてもよい。以下、非接続用導電部が形成された弾性異方導電膜を有する異方導電性コネクターについて説明する。

図１５は、本発明に係る異方導電性コネクターの他の例における弾性異方導電膜を拡大して示す平面図である。この異方導電性コネクターの弾性異方導電膜２０においては、その機能部２１に、検査対象であるウエハの被検査電極に電気的に接続される厚み方向（図１５において紙面と垂直な方向）に伸びる複数の接続用導電部２２が、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って２列に並ぶよう配置され、これらの接続用導電部２２の各々は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されてなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていない絶縁部２３によって相互に絶縁されている。
そして、接続用導電部２２が並ぶ方向において、最も外側に位置する接続用導電部２２とフレーム板１０との間には、検査対象であるウエハの被検査電極に電気的に接続されない厚み方向に伸びる非接続用導電部２６が形成されている。この非接続用導電部２６は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されてなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていない絶縁部２３によって、接続用導電部２２と相互に絶縁されている。
また、図示の例では、弾性異方導電膜２０における機能部２１の両面には、接続用導電部２２およびその周辺部分が位置する個所並びに非接続用導電部２６およびその周辺部分が位置する個所に、それら以外の表面から突出する突出部２４および突出部２７が形成されている。
機能部２１の周縁には、フレーム板１０における異方導電膜配置用孔１１の周辺部に固定支持された被支持部２５が、当該機能部２１に一体に連続して形成されており、この被支持部２５には、導電性粒子が含有されている。
その他の構成は、基本的に図１〜図４に示す異方導電性コネクターの構成と同様である。

図１６は、本発明に係る異方導電性コネクターの更に他の例における弾性異方導電膜を拡大して示す平面図である。この異方導電性コネクターの弾性異方導電膜２０においては、その機能部２１に、検査対象であるウエハの被検査電極に電気的に接続される厚み方向（図１６において紙面と垂直な方向）に伸びる複数の接続用導電部２２が、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って並ぶよう配置され、これらの接続用導電部２２の各々は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されてなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていない絶縁部２３によって相互に絶縁されている。
これらの接続用導電部２２のうち中央に位置する互いに隣接する２つの接続用導電部２２は、その他の互いに隣接する接続用導電部２２間における離間距離より大きい離間距離で配置されている。そして、中央に位置する互いに隣接する２つの接続用導電部２２の間には、検査対象であるウエハの被検査電極に電気的に接続されない厚み方向に伸びる非接続用導電部２６が形成されている。この非接続用導電部２６は、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で密に含有されてなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていない絶縁部２３によって、接続用導電部２２と相互に絶縁されている。
また、図示の例では、弾性異方導電膜２０における機能部２１の両面には、接続用導電部２２およびその周辺部分が位置する個所並びに非接続用導電部２６およびその周辺部分が位置する個所に、それら以外の表面から突出する突出部２４および突出部２７が形成されている。
機能部２１の周縁には、フレーム板１０における異方導電膜配置用孔１１の周辺部に固定支持された被支持部２５が、当該機能部２１に一体に連続して形成されており、この被支持部２５には、導電性粒子が含有されている。
その他の具体的な構成は、基本的に図１〜図４に示す異方導電性コネクターの構成と同様である。

図１５に示す異方導電性コネクターおよび図１６に示す異方導電性コネクターは、図７に示す金型の代わりに、成形すべき弾性異方導電性膜２０の接続用導電部２２および非接続用導電部２６の配置パターンに対応するパターンに従って強磁性体層が形成され、この強磁性体層以外の個所には、非磁性体層が形成された上型および下型からなる金型を用いることにより、前述の図１〜図４に示す異方導電性コネクターを製造する方法と同様にして製造することができる。

すなわち、このような金型によれば、上型における基板の上面および下型における基板の下面に例えば一対の電磁石を配置してこれを作動させることにより、当該上型および当該下型の間に形成された成形材料層においては、当該成形材料層における機能部２１となる部分に分散されていた導電性粒子が、接続用導電部２２となる部分および非接続用導電部２６となる部分に集合して厚み方向に並ぶよう配向し、一方、成形材料層におけるフレーム板１０の上方および下方にある導電性粒子は、フレーム板１０の上方および下方に保持されたままとなる。
そして、この状態において、成形材料層を硬化処理することにより、弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる複数の接続用導電部２２および非接続用導電部２６が、導電性粒子が全く或いは殆ど存在しない高分子弾性物質よりなる絶縁部２３によって相互に絶縁された状態で配置されてなる機能部２１と、この機能部２１の周辺に連続して一体に形成された、弾性高分子物質中に導電性粒子が含有されてなる被支持部２５とよりなる弾性異方導電膜２０が、フレーム板１０の異方導電膜配置用孔１１の周辺部に当該被支持部２５が固定された状態で形成され、以て異方導電性コネクターが製造される。

図１５に示す異方導電性コネクターにおける非接続用導電部２６は、弾性異方導電膜２０の形成において、成形材料層における非接続用導電部２６となる部分に磁場を作用させることにより、成形材料層における最も外側に位置する接続用導電部２２となる部分とフレーム板１０との間に存在する導電性粒子を、非接続用導電部２６となる部分に集合させ、この状態で、当該成形材料層の硬化処理を行うことにより得られる。そのため、当該弾性異方導電膜２０の形成において、導電性粒子が、成形材料層における最も外側に位置する接続用導電部２２となる部分に過剰に集合することがない。従って、形成すべき弾性異方導電膜２０が、比較的多数の接続用導電部２２を有するものであっても、当該弾性異方導電膜２０における最も外側に位置する接続用導電部２２に、過剰な量の導電性粒子が含有されることが確実に防止される。

また、図１６に示す異方導電性コネクターにおける非接続用導電部２６は、弾性異方導電膜２０の形成において、成形材料層における非接続用導電部２６となる部分に磁場を作用させることにより、成形材料層における大きい離間距離で配置された隣接する２つの接続用導電部２２となる部分の間に存在する導電性粒子を、非接続用導電部２６となる部分に集合させ、この状態で、当該成形材料層の硬化処理を行うことにより得られる。そのため、当該弾性異方導電膜２０の形成において、導電性粒子が、成形材料層における大きい離間距離で配置された隣接する２つの接続用導電部２２となる部分に過剰に集合することがない。従って、形成すべき弾性異方導電膜２０が、それぞれ大きい離間距離で配置された２つ以上の接続用導電部２２を有するものであっても、それらの接続用導電部２２に、過剰な量の導電性粒子が含有されることが確実に防止される。

（２）異方導電性コネクターにおいては、弾性異方導電膜２０における突出部２４は必須のものではなく、一面または両面が平坦面のもの、或いは凹所が形成されたものであってもよい。
（３）弾性異方導電膜２０における接続用導電部２２の表面には、金属層が形成されていてもよい。
（４）異方導電性コネクターの製造において、フレーム板１０の基材として非磁性のものを用いる場合には、成形材料層２０Ａにおける被支持部２５となる部分に磁場を作用させる方法として、当該フレーム板１０における異方導電膜配置用孔１１の周辺部に磁性体をメッキしてまたは磁性塗料を塗布して磁場を作用させる手段、金型６０に、弾性異方導電膜２０の被支持部２５に対応して強磁性体層を形成して磁場を作用させる手段を利用することができる。
（５）成形材料層の形成において、スペーサーを用いることは必須のことではなく、他の手段によって、上型および下型とフレーム板との間に弾性異方導電膜成形用の空間を確保してもよい。
（６）プローブ部材においては、シート状コネクター４０は、必須のものではなく、異方導電性コネクター２における弾性異方導電膜２０が検査対象であるウエハに接触して電気的接続を達成する構成であってもよい。

（７）本発明の異方導電性コネクターは、そのフレーム板の異方導電膜配置用孔が、検査対象であるウエハに形成された一部の集積回路における被検査電極が配置された電極領域に対応して形成され、これらの異方導電膜配置用孔の各々に弾性異方導電膜が配置されたものであってもよい。
このような異方導電性コネクターによれば、ウエハを２以上のエリアに分割し、分割されたエリア毎に、当該エリアに形成された集積回路について一括してプローブ試験を行うことができる。
すなわち、本発明の異方導電性コネクターまたは本発明のプローブ部材を使用したウエハの検査方法においては、ウエハに形成された全ての集積回路について一括して行うことは必須のことではない。
バーンイン試験においては、集積回路の各々に必要な検査時間が数時間と長いため、ウエハに形成された全ての集積回路について一括して検査を行えば高い時間的効率が得られるが、プローブ試験においては、集積回路の各々に必要な検査時間が数分間と短いため、ウエハを２以上のエリアに分割し、分割されたエリア毎に、当該エリアに形成された集積回路について一括してプローブ試験を行っても、十分に高い時間的効率が得られる。
このように、ウエハに形成された集積回路について、分割されたエリア毎に電気的検査を行う方法によれば、直径が８インチまたは１２インチのウエハに高い集積度で形成された集積回路について電気的検査を行う場合において、全ての集積回路について一括して検査を行う方法と比較して、用いられる検査用回路基板の検査電極数や配線数を少なくすることができ、これにより、検査装置の製造コストの低減化を図ることができる。
そして、本発明の異方導電性コネクターまたは本発明のプローブ部材は、繰り返し使用における耐久性が高いものであるため、ウエハに形成された集積回路について、分割されたエリア毎に電気的検査を行う方法に用いる場合には、異方導電性コネクターに故障が生じて新たなものに交換する頻度が小さくなるので、検査コストの低減化を図ることができる。

（８）本発明の異方導電性コネクターまたは本発明のプローブ部材は、アルミニウムよりなる平面状の電極を有する集積回路が形成されたウエハの検査の他に、金またははんだなどよりなる突起状電極（バンプ）を有する集積回路が形成されたウエハの検査に用いることもできる。
金やはんだなどよりなる電極は、アルミニウムよりなる電極に比較して、表面に酸化膜が形成されにくいものであるため、このような突起状電極を有する集積回路が形成されたウエハの検査においては、酸化膜を突き破るために必要な大きな荷重で加圧することが不要となり、シート状コネクターを用いずに、異方導電性コネクターの接続用導電部を被検査電極に直接接触させた状態で検査を実行することができる。
被検査電極である突起状電極に異方導電性コネクターの接続用導電部を直接接触させた状態でウエハの検査を行う場合においては、当該異方導電性コネクターを繰り返し使用すると、その接続用導電部が突起状電極によって加圧されることにより摩耗したり永久的に圧縮変形したりする結果、当該接続用導電部には、電気抵抗の増加や被検査電極に対する接続不良が発生するため、高い頻度で異方導電性コネクターを新たなものに交換することが必要であった。
而して、本発明の異方導電性コネクターまたは本発明のプローブ部材によれば、繰り返し使用における耐久性が高いものであるため、検査対象であるウエハが、直径が８インチまたは１２インチであって高い集積度で集積回路が形成されたものであっても、長期間にわたって所要の導電性が維持され、これにより、異方導電性コネクターを新たなものに交換する頻度が少なくなるので、検査コストの低減化を図ることができる。

〈実施例〉
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

〔試験用ウエハの作製〕
図１７に示すように、直径が８インチのシリコン（線熱膨張係数３．３×１０^-6／Ｋ）製のウエハ６上に、それぞれ寸法が８ｍｍ×８ｍｍの正方形の集積回路Ｌを合計で３９３個形成した。ウエハ６に形成された集積回路Ｌの各々は、図１８に示すように、その中央に被検査電極領域Ａを有し、この被検査電極領域Ａには、図１９に示すように、それぞれ縦方向（図１９において上下方向）の寸法が２００μｍで横方向（図１９において左右方向）の寸法が５０μｍの矩形の５０個の被検査電極７が１００μｍのピッチで横方向に一列に配列されている。また、このウエハ６全体の被検査電極７の総数は１９６５０個であり、全ての被検査電極は、当該ウエハ６の周縁部に形成された共通の引出し電極（図示省略）に電気的に接続されている。以下、このウエハを「試験用ウエハＷ１」という。
また、集積回路（Ｌ）における５０個の被検査電極（７）のうち最も端の被検査電極（７）から数えて１個おきに２個ずつを互いに電気的に接続し、引出し電極を形成しなかったこと以外は、試験用ウエハＷ１と同様の構成の３９３個の集積回路（Ｌ）をウエハ（６）上に形成した。このウエハ全体の被検査電極の総数は１９６５０個である。以下、このウエハを「試験用ウエハＷ２」という。
また、直径が６インチのシリコン製のウエハ上に、それぞれ寸法が６．５ｍｍ×６．５ｍｍの正方形の集積回路Ｌを合計で２２５個形成した。ウエハに形成された集積回路の各々は、その中央に被検査電極領域を有し、この被検査電極領域には、それぞれ縦方向の寸法が１００μｍで横方向の寸法が５０μｍの矩形の５０個の被検査電極が１００μｍのピッチで横方向に二列（一列の被検査電極の数が２５個）に配列されている。縦方向に隣接する被検査電極の間の離間距離は、３５０μｍである。また、５０個の被検査電極のうち２個ずつが互いに電気的に接続されている。このウエハ全体の被検査電極の総数は１１２５０個であり、全ての被検査電極は、当該ウエハの周縁部に形成された共通の引出し電極に電気的に接続されている。以下、このウエハを「試験用ウエハＷ３」という。
また、集積回路における５０個の被検査電極のうち２個ずつを互いに電気的に接続し、引出し電極を形成しなかったこと以外は、試験用ウエハＷ３と同様の構成の２２５個の集積回路をウエハ上に形成した。このウエハ全体の被検査電極の総数は１１２５０個である。以下、このウエハを「試験用ウエハＷ４」という。

〔磁性芯粒子の調製〕
（１）磁性芯粒子［Ａ］の調製：
市販のニッケル粒子（Ｗｅｓｔａｉｍ社製，「ＦＣ１０００」）を用い、以下のようにして磁性芯粒子［Ａ］を調製した。
日清エンジニアリング株式会社製の空気分級機「ターボクラシファイア ＴＣ−１５Ｎ」によって、ニッケル粒子２ｋｇを、比重が８．９、風量が２．５ｍ³ ／ｍｉｎ、ローター回転数が１，６００ｒｐｍ、分級点が２５μｍ、ニッケル粒子の供給速度が１６ｇ／ｍｉｎの条件で分級処理し、ニッケル粒子１．８ｋｇを捕集し、更に、このニッケル粒子１．８ｋｇを、比重が８．９、風量が２．５ｍ³ ／ｍｉｎ、ローター回転数が３，０００ｒｐｍ、分級点が１０μｍ、ニッケル粒子の供給速度が１４ｇ／ｍｉｎの条件で分級処理し、ニッケル粒子１．５ｋｇを捕集した。
次いで、筒井理化学機器株式会社製の音波ふるい器「ＳＷ−２０ＡＴ形」によって、空気分級機によって分級されたニッケル粒子１２０ｇを更に分級処理した。具体的には、それぞれ直径が２００ｍｍで、開口径が２５μｍ、２０μｍ、１６μｍおよび８μｍの４つのふるいを上からこの順で４段に重ね合わせ、ふるいの各々に直径が２ｍｍのセラミックボール１０ｇを投入し、最上段のふるい（開口径が２５μｍ）にニッケル粒子２０ｇを投入し、５５Ｈｚで１２分間および１２５Ｈｚで１５分間の条件で分級処理し、最下段のふるい（開口径が８μｍ）に捕集されたニッケル粒子を回収した。この操作を合計で２５回行うことにより、磁性芯粒子［Ａ］１１０ｇを調製した。
得られた磁性芯粒子［Ａ］は、数平均粒子径が１０μｍ、粒子径の変動係数が１０％、ＢＥＴ比表面積が０．２×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であった。

（２）磁性芯粒子［Ｂ］〜磁性芯粒子［Ｈ］の調製：
空気分級機および音波ふるい器の条件を変更したこと以外は磁性芯粒子［Ａ］の調製と同様にして、下記の磁性芯粒子［Ｂ］〜磁性芯粒子［Ｈ］を調製した。
磁性芯粒子［Ｂ］：
数平均粒子径が１２μｍ、粒子径の変動係数が３０％、ＢＥＴ比表面積が０．１×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であるニッケルよりなる磁性芯粒子。
磁性芯粒子［Ｃ］：
数平均粒子径が１０μｍ、粒子径の変動係数が１０％、ＢＥＴ比表面積が０．０３×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であるニッケルよりなる磁性芯粒子。
磁性芯粒子［Ｄ］：
数平均粒子径が９μｍ、粒子径の変動係数が２８％、ＢＥＴ比表面積が０．０５×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であるニッケルよりなる磁性芯粒子。
磁性芯粒子［Ｅ］：
数平均粒子径が６μｍ、粒子径の変動係数が３０％、ＢＥＴ比表面積が０．５×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であるニッケルよりなる磁性芯粒子。
磁性芯粒子［Ｆ］：
数平均粒子径が１０μｍ、粒子径の変動係数が２０％、ＢＥＴ比表面積が０．０５×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であるニッケルよりなる磁性芯粒子。
磁性芯粒子［Ｇ］：
数平均粒子径が１０μｍ、粒子径の変動係数が１５％、ＢＥＴ比表面積が０．１５×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であるニッケルよりなる磁性芯粒子。
磁性芯粒子［Ｈ］：
数平均粒子径が８μｍ、粒子径の変動係数が２５％、ＢＥＴ比表面積が０．１５×１０³ ｍ² ／ｋｇ、飽和磁化が０．６Ｗｂ／ｍ² であるニッケルよりなる磁性芯粒子。

〔導電性粒子の調製〕
（１）導電性粒子［ａ］の調製：
粉末メッキ装置の処理槽内に、磁性芯粒子［Ａ］１００ｇを投入し、更に、０．３２Ｎの塩酸水溶液２Ｌを加えて攪拌し、磁性芯粒子［Ａ］を含有するスラリーを得た。このスラリーを常温で３０分間攪拌することにより、磁性芯粒子［Ａ］の酸処理を行い、その後、１分間静置して磁性芯粒子［Ａ］を沈殿させ、上澄み液を除去した。
次いで、酸処理が施された磁性芯粒子［Ａ］に純水２Ｌを加え、常温で２分間攪拌し、その後、１分間静置して磁性芯粒子［Ａ］を沈殿させ、上澄み液を除去した。この操作を更に２回繰り返すことにより、磁性芯粒子［Ａ］の洗浄処理を行った。
そして、酸処理および洗浄処理が施された磁性芯粒子［Ａ］に、金の含有割合が２０ｇ／Ｌの金メッキ液２Ｌを加え、処理層内の温度を９０℃に昇温して攪拌することにより、スラリーを調製した。この状態で、スラリーを攪拌しながら、磁性芯粒子［Ａ］に対して金の置換メッキを行った。その後、スラリーを放冷しながら静置して粒子を沈殿させ、上澄み液を除去することにより、導電性粒子［ａ］を調製した。
このようにして得られた導電性粒子［ａ］に純水２Ｌを加え、常温で２分間攪拌し、その後、１分間静置して導電性粒子［ａ］を沈殿させ、上澄み液を除去した。この操作を更に２回繰り返し、その後、９０℃に加熱した純水２Ｌを加えて攪拌し、得られたスラリーを濾紙によって濾過して導電性粒子［ａ］を回収した。そして、この導電性粒子［ａ］を、９０℃に設定された乾燥機によって乾燥処理した。
得られた導電性粒子［ａ］は、数平均粒子径が１２μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．２５×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが１１１ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ａ］全体の質量）の値Ｎが０．３、電気抵抗値Ｒが０．０２５Ωであった。

（２）導電性粒子［ｂ］の調製：
磁性芯粒子［Ａ］の代わりに磁性芯粒子［Ｂ］を用い、金メッキ液中の金の含有割合を変更したこと以外は、導電性粒子［ａ］の調製と同様にして導電性粒子［ｂ］を調製した。
得られた導電性粒子［ｂ］は、数平均粒子径が１３μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．１２×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが１４６ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ｂ］全体の質量）の値Ｎが０．２２、電気抵抗値Ｒが０．１Ωであった。

（３）導電性粒子［ｃ］の調製：
磁性芯粒子［Ａ］の代わりに磁性芯粒子［Ｃ］を用い、金メッキ液中の金の含有割合を変更したこと以外は、導電性粒子［ａ］の調製と同様にして導電性粒子［ｃ］を調製した。
得られた導電性粒子［ｃ］は、数平均粒子径が１４μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．０４×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが１９２ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ｃ］全体の質量）の値Ｎが０．１０、電気抵抗値Ｒが０．１２Ωであった。

（４）導電性粒子［ｄ］の調製：
磁性芯粒子［Ａ］の代わりに磁性芯粒子［Ｄ］を用い、金メッキ液中の金の含有割合を変更したこと以外は、導電性粒子［ａ］の調製と同様にして導電性粒子［ｄ］を調製した。
得られた導電性粒子［ｄ］は、数平均粒子径が１０μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．０６×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが９０ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ｄ］全体の質量）の値Ｎが０．０８、電気抵抗値Ｒが０．１５Ωであった。

（５）導電性粒子［ｅ］の調製：
磁性芯粒子［Ａ］の代わりに磁性芯粒子［Ｅ］を用い、金メッキ液中の金の含有割合を変更したこと以外は、導電性粒子［ａ］の調製と同様にして導電性粒子［ｅ］を調製した。
得られた導電性粒子［ｅ］は、数平均粒子径が７μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．７×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが５８ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ｅ］全体の質量）の値Ｎが０．３５、電気抵抗値Ｒが０．２５Ωであった。

（６）導電性粒子［ｆ］の調製：
磁性芯粒子［Ａ］の代わりに磁性芯粒子［Ｆ］を用い、金メッキ液中の金の含有割合を変更したこと以外は、導電性粒子［ａ］の調製と同様にして導電性粒子［ｆ］を調製した。
得られた導電性粒子［ｆ］は、数平均粒子径が１１μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．０６×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが１２８ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ｆ］全体の質量）の値Ｎが０．１１、電気抵抗値Ｒが０．１８Ωであった。

（７）導電性粒子［ｇ］の調製：
磁性芯粒子［Ａ］の代わりに磁性芯粒子［Ｇ］を用い、金メッキ液中の金の含有割合を変更したこと以外は、導電性粒子［ａ］の調製と同様にして導電性粒子［ｇ］を調製した。
得られた導電性粒子［ｇ］は、数平均粒子径が１２μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．１７×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが１３５ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ｇ］全体の質量）の値Ｎが０．２８、電気抵抗値Ｒが０．０１５Ωであった。

（８）導電性粒子［ｈ］の調製：
磁性芯粒子［Ａ］の代わりに磁性芯粒子［Ｈ］を用い、金メッキ液中の金の含有割合を変更したこと以外は、導電性粒子［ａ］の調製と同様にして導電性粒子［ｈ］を調製した。
得られた導電性粒子［ｈ］は、数平均粒子径が１０μｍ、ＢＥＴ比表面積が０．１６×１０³ ｍ² ／ｋｇ、被覆層の厚みｔが６１ｎｍ、（被覆層を形成する金の質量）／（導電性粒子［ｇ］全体の質量）の値Ｎが０．１５、電気抵抗値Ｒが０．０８Ωであった。
調製した導電性粒子の特性および当該導電性粒子に使用した磁性芯粒子の特性を、下記表１にまとめて示す。

〔高分子物質形成材料〕
高分子物質形成材料として、Ａ液の粘度が２５０Ｐａ・ｓで、Ｂ液の粘度が２５０Ｐａ・ｓである二液型の付加型液状シリコーンゴムであって、硬化物の１５０℃における永久圧縮歪みが５％、硬化物のデュロメーターＡ硬度が３２、硬化物の引裂強度が２５ｋＮ／ｍのものを用意した。この付加型液状シリコーンゴムを「シリコーンゴム（１）」とする。
また、上記の付加型液状シリコーンゴムの特性は、次のようにして測定した。
（ｉ）付加型液状シリコーンゴムの粘度：
Ｂ型粘度計により、２３±２℃における粘度を測定した。
（ii）シリコーンゴム硬化物の圧縮永久歪み：
二液型の付加型液状シリコーンゴムにおけるＡ液とＢ液とを等量となる割合で攪拌混合した。次いで、この混合物を金型に流し込み、当該混合物に対して減圧による脱泡処理を行った後、１２０℃、３０分間の条件で硬化処理を行うことにより、厚みが１２．７ｍｍ、直径が２９ｍｍのシリコーンゴム硬化物よりなる円柱体を作製し、この円柱体に対して、２００℃、４時間の条件でポストキュアを行った。このようにして得られた円柱体を試験片として用い、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠して１５０±２℃における圧縮永久歪みを測定した。
（iii)シリコーンゴム硬化物の引裂強度：
上記（ii）と同様の条件で付加型液状シリコーンゴムの硬化処理およびポストキュアを行うことにより、厚みが２．５ｍｍのシートを作製した。このシートから打ち抜きによってクレセント形の試験片を作製し、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠して２３±２℃における引裂強度を測定した。
（iv）デュロメーターＡ硬度：
上記（iii)と同様にして作製されたシートを５枚重ね合わせ、得られた積重体を試験片として用い、ＪＩＳ Ｋ ６２４９に準拠して２３±２℃におけるデュロメーターＡ硬度を測定した。

〔ＷＬＢＩ試験用異方導電性コネクターの製造〕
（１）フレーム板の作製：
図２０および図２１に示す構成に従い、下記の条件により、試験用ウエハＷ２における各被検査電極領域に対応して形成された３９３の異方導電膜配置孔を有する直径が８インチのフレーム板を合計で８０枚作製した。
このフレーム板１０の材質はコバール（飽和磁化１．４Ｗｂ／ｍ² ，線熱膨張係数５×１０^-6／Ｋ）で、その厚みは、６０μｍである。
異方導電膜配置用孔１１の各々は、その横方向（図２０および図２１において左右方向）の寸法が５２５０μｍで縦方向（図２０および図２１において上下方向）の寸法が３２０μｍである。
縦方向に隣接する異方導電膜配置用孔１１の間の中央位置には、円形の空気流入孔１５が形成されており、その直径は１０００μｍである。

（２）スペーサーの作製：
下記の条件により、試験用ウエハＷ２における被検査電極領域に対応して形成された複数の貫通孔を有する弾性異方導電膜成形用のスペーサーを２枚作製した。これらのスペーサーの材質はステンレス（ＳＵＳ３０４）で、その厚みは２０μｍである。
各被検査電極領域に対応する貫通孔は、その横方向の寸法が６０００μｍで縦方向の寸法が１２００μｍである。

（３）金型の作製：
図７および図２２に示す構成に従い、下記の条件により、弾性異方導電膜成形用の金型を作製した。
この金型における上型６１および下型６５は、それぞれ厚みが６ｍｍの鉄よりなる基板６２，６６を有し、この基板６２，６６上には、試験用ウエハＷ１における被検査電極のパターンに対応するパターンに従ってニッケルよりなる接続用導電部形成用の強磁性体層６３（６７）および非接続用導電部形成用の強磁性体層６３ａ（６７ａ）が配置されている。具体的には、接続用導電部形成用の強磁性体層６３（６７）の各々の寸法は４０μｍ（横方向）×２００μｍ（縦方向）×１００μｍ（厚み）で、５０個の強磁性体層６３（６７）が１００μｍのピッチで横方向に一列に配列されている。また、強磁性体層６３（６７）が並ぶ方向において、最も外側に位置する強磁性体層６３（６７）の外側には、非接続用導電部形成用の強磁性体層６３ａ（６７ａ）が配置されている。各強磁性体層６３ａ（６７ａ）の寸法は、６０μｍ（横方向）×２００μｍ（縦方向）×１００μｍ（厚み）である。
そして、５０個の接続用導電部形成用の強磁性体層６３（６７）および２個の非接続用導電部形成用の強磁性体層６３ａ（６７ａ）が形成された領域が、試験用ウエハＷ２における被検査電極領域に対応して合計で３９３個形成され、基板全体で１９６５０個の接続用導電部形成用の強磁性体層６３（６７）および７８６個の非接続用導電部形成用の強磁性体層６３ａ（６７ａ）が形成されている。
また、非磁性体層６４（６８）は、ドライフィルムレジストを硬化処理することによって形成され、接続用導電部形成用の強磁性体層６３（６７）が位置する凹所６４ａ（６８ａ）の各々の寸法は、６０μｍ（横方向）×２１０μｍ（縦方向）×２５μｍ（深さ）で、非接続用導電部形成用の強磁性体層６３ａ（６７ａ）が位置する凹所６４ｂ（６８ｂ）の各々の寸法は、９０μｍ（横方向）×２６０μｍ（縦方向）×２５μｍ（深さ）で、凹所以外の部分の厚みは１２５μｍ（凹所部分の厚み１００μｍ）である。

（４）異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）の作製：
上記のフレーム板、スペーサーおよび金型を用い、以下のようにしてフレーム板に弾性異方導電膜を形成した。
シリコーンゴム（１）１００質量部に、導電性粒子［ａ］３０質量部を添加して混合し、その後、減圧による脱泡処理を施すことにより、弾性異方導電膜成形用の成形材料を調製した。
上記の金型の上型および下型の表面に、調製した成形材料をスクリーン印刷によって塗布することにより、形成すべき弾性異方導電膜のパターンに従って成形材料層を形成し、下型の成形面上に、下型側のスペーサーを介してフレーム板を位置合わせして重ね、更に、このフレーム板上に、上型側のスペーサーを介して上型を位置合わせして重ねた。
そして、上型および下型の間に形成された成形材料層に対し、強磁性体層の間に位置する部分に、電磁石によって厚み方向に２Ｔの磁場を作用させながら、１００℃、１時間の条件で硬化処理を施すことにより、フレーム板の異方導電膜配置用孔の各々に弾性異方導電膜を形成した。
得られた弾性異方導電膜について具体的に説明すると、弾性異方導電膜の各々は、横方向の寸法が６０００μｍ、縦方向の寸法が１２００μｍである。弾性異方導電膜の各々における機能部には、５０個の接続用導電部が１００μｍのピッチで横方向に一列に配列されており、接続用導電部の各々は、横方向の寸法が４０μｍ、縦方向の寸法が２００μｍ、厚みが１５０μｍであり、機能部における絶縁部の厚みが１００μｍである。また、横方向において最も外側に位置する接続用導電部とフレーム板との間には、非接続用導電部が配置されている。非接続用導電部の各々は、横方向の寸法が６０μｍ、縦方向の寸法が２００μｍ、厚みが１５０μｍである。また、弾性異方導電膜の各々における被支持部の厚み（二股部分の一方の厚み）は２０μｍである。
以上のようにして、１０枚のフレーム板の各々に弾性異方導電膜を形成し、合計で１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ａ１）〜異方導電性コネクター（Ａ１０）とする。
また、異方導電性コネクター（Ａ１）〜異方導電性コネクター（Ａ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（５）異方導電性コネクター（Ｂ１）〜（Ｂ１０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｂ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｂ１）〜異方導電性コネクター（Ｂ１０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｂ１）〜異方導電性コネクター（Ｂ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（６）異方導電性コネクター（Ｃ１）〜（Ｃ１０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｃ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｃ１）〜異方導電性コネクター（Ｃ１０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｃ１）〜異方導電性コネクター（Ｃ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（７）異方導電性コネクター（Ｄ１）〜（Ｄ１０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｄ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｄ１）〜異方導電性コネクター（Ｄ１０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｄ１）〜異方導電性コネクター（Ｄ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（８）異方導電性コネクター（Ｅ１）〜（Ｅ１０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｅ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｅ１）〜異方導電性コネクター（Ｅ１０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｅ１）〜異方導電性コネクター（Ｅ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（９）異方導電性コネクター（Ｆ１）〜（Ｆ１０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｆ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｆ１）〜異方導電性コネクター（Ｆ１０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｆ１）〜異方導電性コネクター（Ｆ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（１０）異方導電性コネクター（Ｇ１）〜（Ｇ１０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｇ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｇ１）〜異方導電性コネクター（Ｇ１０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｇ１）〜異方導電性コネクター（Ｇ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（１１）異方導電性コネクター（Ｈ１）〜（Ｈ１０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｈ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｈ１）〜異方導電性コネクター（Ｈ１０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｈ１）〜異方導電性コネクター（Ｈ１０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

〔プローブ試験用異方導電性コネクターの製造〕
（１）フレーム板の作製：
下記の条件により、上記の試験用ウエハＷ３における各被検査電極領域に対応して形成された２２５の異方導電膜配置孔を有する直径が６インチのフレーム板を作製した。
このフレーム板の材質はコバール（飽和磁化１．４Ｗｂ／ｍ² ，線熱膨張係数５×１０^-6／Ｋ）で、その厚みは、８０μｍである。
異方導電膜配置用孔の各々は、その横方向の寸法が２７４０μｍで縦方向の寸法が６００μｍである。
縦方向に隣接する異方導電膜配置用孔の間の中央位置には、円形の空気流入孔が形成されており、その直径は１０００μｍである。

（２）スペーサーの作製：
下記の条件により、試験用ウエハＷ２における被検査電極領域に対応して形成された複数の貫通孔を有する弾性異方導電膜成形用のスペーサーを２枚作製した。
これらのスペーサーの材質はステンレス（ＳＵＳ３０４）で、その厚みは３０μｍである。
各被検査電極領域に対応する貫通孔は、その横方向の寸法が３５００μｍで縦方向の寸法が１４００μｍである。

（３）金型の作製：
下記の条件により、弾性異方導電膜成形用の金型を作製した。
この金型における上型および下型は、それぞれ厚みが６ｍｍの鉄よりなる基板を有し、この基板上には、試験用ウエハＷ３における被検査電極のパターンに対応するパターンに従ってニッケルよりなる接続用導電部形成用の強磁性体層および非接続用導電部形成用の強磁性体層が配置されている。具体的には、接続用導電部形成用の強磁性体層の各々の寸法は５０μｍ（横方向）×１００μｍ（縦方向）×１００μｍ（厚み）で、５０個の強磁性体層が１００μｍのピッチで横方向に二列（一列の強磁性体層の数が２５個で、縦方向に隣接する強磁性体層の間の離間距離が３５０μｍ）に配列されている。また、強磁性体層が並ぶ方向において、最も外側に位置する強磁性体層の外側には、非接続用導電部形成用の強磁性体層が配置されている。この強磁性体層の寸法は、５０μｍ（横方向）×２００μｍ（縦方向）×１００μｍ（厚み）である。
そして、５０個の接続用導電部形成用の強磁性体層および２個の非接続用導電部形成用の強磁性体層が形成された領域が、試験用ウエハＷ２における被検査電極領域に対応して合計で２２５個形成され、基板全体で１１２５０個の接続用導電部形成用の強磁性体層および４５０個の非接続用導電部形成用の強磁性体層が形成されている。
また、非磁性体層は、ドライフィルムレジストを硬化処理することによって形成され、接続用導電部形成用の強磁性体層が位置する凹所の各々の寸法は、５０μｍ（横方向）×１００μｍ（縦方向）×２５μｍ（深さ）で、非接続用導電部形成用の強磁性体層が位置する凹所の各々の寸法は、５０μｍ（横方向）×２００μｍ（縦方向）×２５μｍ（深さ）で、凹所以外の部分の厚みは１２５μｍ（凹所部分の厚み１００μｍ）である。

（４）異方導電性コネクター（Ａ１１）〜（Ａ２０）の作製：
上記のフレーム板、スペーサーおよび金型を用い、以下のようにしてフレーム板に弾性異方導電膜を形成した。
シリコーンゴム（１）１００質量部に、導電性粒子［ａ］３０質量部を添加して混合し、その後、減圧による脱泡処理を施すことにより、弾性異方導電膜成形用の成形材料を調製した。
上記の金型の上型および下型の表面に、調製した成形材料をスクリーン印刷によって塗布することにより、形成すべき弾性異方導電膜のパターンに従って成形材料層を形成し、下型の成形面上に、下型側のスペーサーを介してフレーム板を位置合わせして重ね、更に、このフレーム板上に、上型側のスペーサーを介して上型を位置合わせして重ねた。
そして、上型および下型の間に形成された成形材料層に対し、強磁性体層の間に位置する部分に、電磁石によって厚み方向に２Ｔの磁場を作用させながら、１００℃、１時間の条件で硬化処理を施すことにより、フレーム板の異方導電膜配置用孔の各々に弾性異方導電膜を形成した。
得られた弾性異方導電膜について具体的に説明すると、弾性異方導電膜の各々は、横方向の寸法が３５００μｍ、縦方向の寸法が１４００μｍである。弾性異方導電膜の各々における機能部には、５０個の接続用導電部が１００μｍのピッチで横方向に二列（一列の接続用導電部の数が２５個で、縦方向に隣接する接続用導電部の間の離間距離が３５０μｍ）に配列されており、接続用導電部の各々は、横方向の寸法が５０μｍ、縦方向の寸法が１００μｍ、厚みが１９０μｍであり、機能部における絶縁部の厚みが１４０μｍである。また、横方向において最も外側に位置する接続用導電部とフレーム板との間には、非接続用導電部が配置されている。非接続用導電部の各々は、横方向の寸法が５０μｍ、縦方向の寸法が２００μｍ、厚みが１９０μｍである。また、弾性異方導電膜の各々における被支持部の厚み（二股部分の一方の厚み）は３０μｍである。
以上のようにして、１０枚のフレーム板の各々に弾性異方導電膜を形成し、合計で１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ａ１１）〜異方導電性コネクター（Ａ２０）とする。
また、異方導電性コネクター（Ａ１１）〜異方導電性コネクター（Ａ２０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（５）異方導電性コネクター（Ｄ１１）〜（Ｄ２０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｄ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１１）〜（Ａ２０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｄ１１）〜異方導電性コネクター（Ｄ２０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｄ１１）〜異方導電性コネクター（Ｄ２０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（６）異方導電性コネクター（Ｅ１１）〜（Ｅ２０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｅ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１１）〜（Ａ２０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｅ１１）〜異方導電性コネクター（Ｅ２０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｅ１１）〜異方導電性コネクター（Ｅ２０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

（７）異方導電性コネクター（Ｇ１１）〜（Ｇ２０）の作製：
導電性粒子［ａ］の代わりに導電性粒子［ｇ］を用いたこと以外は、異方導電性コネクター（Ａ１１）〜（Ａ２０）と同様にして１０枚の異方導電性コネクターを製造した。以下、これらの異方導電性コネクターを異方導電性コネクター（Ｇ１１）〜異方導電性コネクター（Ｇ２０）という。
また、異方導電性コネクター（Ｇ１１）〜異方導電性コネクター（Ｇ２０）の各々について、弾性異方導電膜の被支持部および機能部における絶縁部を観察したところ、被支持部には導電性粒子が存在していることが確認され、機能部における絶縁部には導電性粒子がほとんど存在していないことが確認された。

〔ＷＬＢＩ試験用検査用回路基板の作製〕
基板材料としてアルミナセラミックス（線熱膨張係数４．８×１０^-6／Ｋ）を用い、試験用ウエハＷ２における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が形成された検査用回路基板を作製した。この検査用回路基板は、全体の寸法が３０ｃｍ×３０ｃｍの矩形であり、その検査電極は、横方向の寸法が６０μｍで縦方向の寸法が２００μｍである。以下、この検査用回路基板を「検査用回路基板Ｔ１」という。

〔プローブ試験用検査用回路基板の作製〕
基板材料としてガラス繊維補強型エポキシ樹脂を用い、試験用ウエハＷ４における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が形成された検査用回路基板を作製した。この検査用回路基板は、全体の寸法が１６ｃｍ×１６ｃｍの矩形であり、その検査電極は、横方向の寸法が５０μｍで縦方向の寸法が１００μｍである。以下、この検査用回路基板を「検査用回路基板Ｔ２」という。

〔ＷＬＢＩ試験用シート状コネクターの作製〕
厚みが２０μｍのポリイミドよりなる絶縁性シートの一面に厚みが１５μｍの銅層が積層されてなる積層材料を用意し、この積層材料における絶縁性シートに対してレーザ加工を施すことによって、当該絶縁性シートの厚み方向に貫通する、それぞれ直径が３０μｍの１９６５０個の貫通孔を、試験用ウエハＷ２における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成した。次いで、この積層材料に対してフォトリソグラフィーおよびニッケルメッキ処理を施すことによって、絶縁性シートの貫通孔内に銅層に一体に連結された短絡部を形成すると共に、当該絶縁性シートの表面に、短絡部に一体に連結された突起状の表面電極部を形成した。この表面電極部の径は４０μｍであり、絶縁性シートの表面からの高さは２０μｍであった。その後、積層材料における銅層に対してフォトエッチング処理を施してその一部を除去することにより、６０μｍ×２１０μｍの矩形の裏面電極部を形成し、更に、表面電極部および裏面電極部に金メッキ処理を施すことによって電極構造体を形成し、以てシート状コネクターを製造した。以下、このシート状コネクターを「シート状コネクターＭ１」という。

〔プローブ試験用シート状コネクターの作製〕
厚みが２０μｍのポリイミドよりなる絶縁性シートの一面に厚みが１５μｍの銅層が積層されてなる積層材料を用意し、この積層材料における絶縁性シートに対してレーザ加工を施すことによって、当該絶縁性シートの厚み方向に貫通する、それぞれ直径が３０μｍの１１２５０個の貫通孔を、試験用ウエハＷ２における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成した。次いで、この積層材料に対してフォトリソグラフィーおよびニッケルメッキ処理を施すことによって、絶縁性シートの貫通孔内に銅層に一体に連結された短絡部を形成すると共に、当該絶縁性シートの表面に、短絡部に一体に連結された突起状の表面電極部を形成した。この表面電極部の径は４０μｍであり、絶縁性シートの表面からの高さは２０μｍであった。その後、積層材料における銅層に対してフォトエッチング処理を施してその一部を除去することにより、２０μｍ×６０μｍの矩形の裏面電極部を形成し、更に、表面電極部および裏面電極部に金メッキ処理を施すことによって電極構造体を形成し、以てシート状コネクターを製造した。以下、このシート状コネクターを「シート状コネクターＭ２」という。

〔弾性異方導電膜の初期特性試験〕
（１）ＷＬＢＩ試験用異方導電性コネクター：
以下のようにして、異方導電性コネクター（Ａ１）〜（Ａ１０）、異方導電性コネクター（Ｂ１）〜（Ｂ１０）、異方導電性コネクター（Ｃ１）〜（Ｃ１０）、異方導電性コネクター（Ｄ１）〜（Ｄ１０）、異方導電性コネクター（Ｅ１）〜（Ｅ１０）、異方導電性コネクター（Ｆ１）〜（Ｆ１０）、異方導電性コネクター（Ｇ１）〜（Ｇ１０）および異方導電性コネクター（Ｈ１）〜（Ｈ１０）の各々における弾性異方導電膜の初期特性を測定した。
試験用ウエハＷ１を試験台に配置し、この試験用ウエハＷ１上に異方導電性コネクターをその接続用導電部の各々が当該試験用ウエハＷ１の被検査電極上に位置するよう位置合わせして配置し、この異方導電製コネクター上に、検査用回路基板Ｔ１をその検査電極の各々が当該異方導電性コネクターの接続用導電部上に位置するよう位置合わせして配置し、更に、検査用回路基板Ｔ１を下方に１９．６５ｋｇの荷重（接続用導電部１個当たりに加わる荷重が平均で１ｇ）で加圧した。そして、室温（２５℃）下において、検査用回路基板Ｔにおける１９６５０個の検査電極と試験用ウエハＷ１の引出し電極との間の電気抵抗を順次測定し、測定された電気抵抗値を異方導電性コネクターにおける接続用導電部のＲ_1gの値として記録し、Ｒ_1gが１Ω未満である接続用導電部の数を求め、全接続用導電部におけるＲ_1gが１Ω未満である接続用導電部の割合を算出した。
また、検査用回路基板Ｔ１を加圧する荷重を１１７．９ｋｇ（接続用導電部１個当たりに加わる荷重が平均で６ｇ）に変更したこと以外は上記と同様にして検査用回路基板Ｔ１における１９６５０個の検査電極と試験用ウエハＷ１の引出し電極との間の電気抵抗を順次測定し、測定された電気抵抗値を異方導電性コネクターにおける接続用導電部のＲ_6gとして記録し、Ｒ_6gが０．１Ω未満である接続用導電部の数およびＲ_6gが０．５Ω以上である接続用導電部の数を求め、全接続用導電部におけるＲ_6gが０．１Ω未満である接続用導電部の割合およびＲ_6gが０．５Ω以上である接続用導電部の割合を算出した。
以上、結果を表２および表３に示す。

（２）プローブ試験用異方導電性コネクター：
以下のようにして、異方導電性コネクター（Ａ１１）〜（Ａ２０）、異方導電性コネクター（Ｄ１１）〜（Ｄ２０）、異方導電性コネクター（Ｅ１１）〜（Ｅ２０）および異方導電性コネクター（Ｇ１１）〜（Ｇ２０）の各々における弾性異方導電膜の初期特性を測定した。
試験用ウエハＷ３を試験台に配置し、この試験用ウエハＷ３上に異方導電性コネクターをその接続用導電部の各々が当該試験用ウエハＷ３の被検査電極上に位置するよう位置合わせして配置し、この異方導電製コネクター上に、検査用回路基板Ｔ２をその検査電極の各々が当該異方導電性コネクターの接続用導電部上に位置するよう位置合わせして配置し、更に、検査用回路基板Ｔ２を下方に１１．２５ｋｇの荷重（接続用導電部１個当たりに加わる荷重が平均で１ｇ）で加圧した。そして、室温（２５℃）下において、検査用回路基板Ｔ２における１１２５０個の検査電極と試験用ウエハＷ３の引出し電極との間の電気抵抗を順次測定し、測定された電気抵抗値を異方導電性コネクターにおける接続用導電部のＲ_1gの値として記録し、Ｒ_1gが１Ω未満である接続用導電部の数を求め、全接続用導電部におけるＲ_1gが１Ω未満である接続用導電部の割合を算出した。
また、検査用回路基板Ｔ２を加圧する荷重を６７．５ｋｇ（接続用導電部１個当たりに加わる荷重が平均で６ｇ）に変更したこと以外は上記と同様にして検査用回路基板Ｔ２における１１２５０個の検査電極と試験用ウエハＷ３の引出し電極との間の電気抵抗を順次測定し、測定された電気抵抗値を異方導電性コネクターにおける接続用導電部のＲ_6gとして記録し、Ｒ_6gが０．１Ω未満である接続用導電部の数およびＲ_6gが０．５Ω以上である接続用導電部の数を求め、全接続用導電部におけるＲ_6gが０．１Ω未満である接続用導電部の割合およびＲ_6gが０．５Ω以上である接続用導電部の割合を算出した。
以上、結果を表４に示す。

〔高温環境下における耐久性試験〕
（１）試験１：
下記表５に示す異方導電性コネクターについて、以下のようにして、高温環境下における耐久性試験を行った。
試験用ウエハＷ２を、電熱ヒーターを具えた試験台に配置し、この試験用ウエハＷ２上に異方導電性コネクターをその接続用導電部の各々が当該試験用ウエハＷ２の被検査電極上に位置するよう位置合わせして配置し、この異方導電製コネクター上に、検査用回路基板Ｔ１をその検査電極の各々が当該異方導電性コネクターの接続用導電部上に位置するよう位置合わせして配置し、更に、検査用回路基板Ｔ１を下方に１５８ｋｇの荷重（接続用導電部１個当たりに加わる荷重が平均で約８ｇ）で加圧した。次いで、試験台を１２５℃に加熱し、試験台の温度が安定した後、検査用回路基板Ｔ１における１９６５０個の検査電極について、異方導電性コネクターおよび試験用ウエハＷ２を介して互いに電気的に接続された２個の検査電極の間の電気抵抗を順次測定し、測定された電気抵抗値の２分の１の値を異方導電性コネクターにおける接続用導電部の電気抵抗（以下、「導通抵抗」という。）として記録し、導通抵抗が１Ω以上である接続用導電部の数を求めた。その後、この状態で１時間放置し、次いで、試験台を室温まで冷却し、その後、検査用回路基板に対する加圧を解除した。
そして、上記の操作を１サイクルとして、合計で５００サイクル連続して行った。
以上において、接続用導電部の導通抵抗が１Ω以上のものについては、ウエハに形成された集積回路の電気的検査において、これを実際上使用することが困難である。
以上の結果を下記表５に示す。また、下記表５において、実施例として表示されている異方導電性コネクターは、Ｒ_1gの値が１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９０％以上、Ｒ_6gの値が０．１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９５％以上、およびＲ_6gの値が０．５Ω以上である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の０％である初期特性を有するものである。

（２）試験２：
下記表６に示す異方導電性コネクターについて、以下のようにして、高温環境下における耐久性試験を行った。
試験用ウエハＷ２を、電熱ヒーターを具えた試験台に配置し、この試験用ウエハＷ２上に、シート状コネクターＭ１をその表面電極部が当該試験用ウエハの被検査電極上に位置するよう位置合わせして配置し、このシート状コネクターＭ１上に異方導電性コネクターをその接続用導電部がシート状コネクターＭ１における裏面電極部上に位置するよう位置合わせして配置し、更に、検査用回路基板Ｔ１を下方に１５８ｋｇの荷重（接続用導電部１個当たりに加わる荷重が平均で約８ｇ）で加圧した。次いで、試験台を１２５℃に加熱し、試験台の温度が安定した後、検査用回路基板Ｔ１における１９６５０個の検査電極について、異方導電性コネクターおよび試験用ウエハＷ２を介して互いに電気的に接続された２個の検査電極の間の電気抵抗を順次測定することにより、異方導電性コネクターにおける接続用導電部の導通抵抗を記録し、導通抵抗が１Ω以上である接続用導電部の数を求めた。その後、この状態で１時間放置し、次いで、試験台を室温まで冷却し、その後、検査用回路基板に対する加圧を解除した。
そして、上記の操作を１サイクルとして、合計で５００サイクル連続して行った。
以上において、接続用導電部の導通抵抗が１Ω以上のものについては、ウエハに形成された集積回路の電気的検査において、これを実際上使用することが困難である。
以上の結果を下記表６に示す。また、下記表６において、実施例として表示されている異方導電性コネクターは、Ｒ_1gの値が１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９０％以上、Ｒ_6gの値が０．１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９５％以上、およびＲ_6gの値が０．５Ω以上である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の０％である初期特性を有するものである。

（３）考察：
表５および表６の結果から明らかなように、実施例に係る異方導電性コネクターによれば、弾性異方導電膜における接続用導電部のピッチが小さいものであっても、当該接続用導電部には良好な導電性が得られ、しかも、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても良好な電気的接続状態が安定に維持され、更に、高温環境下において繰り返し使用した場合にも、長期間にわたって良好な導電性が維持されることが確認された。
また、実施例に係る異方導電性コネクターによれば、被検査電極の数が多いウエハに対する電気的接続作業を、シート状コネクターを介して行った場合にも、小さい加圧力で全ての被検査電極に対して電気的接続を達成することができ、段差吸収能の高いものであることが確認された。

〔繰り返し使用における耐久性試験〕
（１）試験３：
下記表７に示す異方導電性コネクターについて、以下のようにして、繰り返し使用における耐久性試験を行った。
試験用ウエハＷ４を、電熱ヒーターを具えた試験台に配置し、この試験用ウエハＷ４上に異方導電性コネクターをその接続用導電部の各々が当該試験用ウエハＷ４の被検査電極上に位置するよう位置合わせして配置し、この異方導電製コネクター上に、検査用回路基板Ｔ２をその検査電極の各々が当該異方導電性コネクターの接続用導電部上に位置するよう位置合わせして配置し、更に、検査用回路基板Ｔ２を下方に９０ｋｇの荷重（接続用導電部１個当たりに加わる荷重が平均で約８ｇ）で加圧した。そして、室温（２５℃）下において、異方導電性コネクターにおける接続用導電部の導通抵抗を測定し、導通抵抗が１Ω以上である接続用導電部の数を求めた。以上の操作を「操作（ｉ）」とする。
次いで、検査用回路基板Ｔ２を加圧したままの状態で、試験台の温度を８５℃に昇温して１分間保持した後、異方導電性コネクターにおける接続用導電部の導通抵抗を測定し、導通抵抗が１Ω以上である接続用導電部の数を求めた。そして、検査用回路基板に対する加圧を解除し、その後、試験台を室温まで冷却した。以上の操作を「操作（ii）」とする。
そして、上記の操作（ｉ）および操作（ii）を１サイクルとして、合計で５００００サイクル連続して行った。
以上において、接続用導電部の導通抵抗が１Ω以上のものについては、ウエハに形成された集積回路の電気的検査において、これを実際上使用することが困難である。
８５℃における導通抵抗が１Ω以上である接続用導電部の数を下記表７に示す。また、下記表７において、実施例として表示されている異方導電性コネクターは、Ｒ_1gの値が１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９０％以上、Ｒ_6gの値が０．１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９５％以上、およびＲ_6gの値が０．５Ω以上である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の０．１％以下である初期特性を有するものである。

（２）考察：
表７の結果から明らかなように、実施例に係る異方導電性コネクターによれば、弾性異方導電膜における接続用導電部のピッチが小さいものであっても、当該接続用導電部には良好な導電性が得られ、しかも、多数回にわたって繰り返し使用した場合にも、良好な導電性が維持されることが確認された。
また、実施例に係る異方導電性コネクターによれば、被検査電極の数が多いウエハに対する電気的接続作業を、シート状コネクターを介して行った場合にも、小さい加圧力で全ての被検査電極に対して電気的接続を達成することができ、段差吸収能の高いものであることが確認された。

本発明に係る異方導電性コネクターの一例を示す平面図である。 図１に示す異方導電性コネクターの一部を拡大して示す平面図である。 図１に示す異方導電性コネクターにおける弾性異方導電膜を拡大して示す平面図である。 図１に示す異方導電性コネクターにおける弾性異方導電膜を拡大して示す説明用断面図である。 電気抵抗値Ｒを測定するための装置の構成を示す説明用断面図である。 弾性異方導電膜成形用の金型に成形材料が塗布されて成形材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。 弾性異方導電成形用の金型をその一部を拡大して示す説明用断面図である。 図６に示す金型の上型および下型の間にスペーサーを介してフレーム板が配置された状態を示す説明用断面図である。 金型の上型と下型の間に、目的とする形態の成形材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。 図９に示す成形材料層を拡大して示す説明用断面図である。 図１０に示す成形材料層にその厚み方向に強度分布を有する磁場が形成された状態を示す説明用断面図である。 本発明に係る異方導電性コネクターを使用したウエハ検査装置の一例における構成を示す説明用断面図である。 本発明に係るプローブ部材の一例における要部の構成を示す説明用断面図である。 本発明に係る異方導電性コネクターを使用したウエハ検査装置の他の例における構成を示す説明用断面図である。 本発明に係る異方導電性コネクターの他の例における弾性異方導電膜を拡大して示す平面図である。 本発明に係る異方導電性コネクターの更に他の例における弾性異方導電膜を拡大して示す平面図である。 実施例で使用した試験用ウエハの上面図である。 図１７に示す試験用ウエハに形成された集積回路の被検査電極領域の位置を示す説明図である。 図１７に示す試験用ウエハに形成された集積回路の被検査電極を示す説明図である。 実施例で作製したフレーム板の上面図である。 図２０に示すフレーム板の一部を拡大して示す説明図である。 実施例で作製した金型の成形面を拡大して示す説明図である。 従来の異方導電性コネクターを製造する工程において、金型内にフレーム板が配置されると共に、成形材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。

符号の説明

１ プローブ部材 ２ 異方導電性コネクター
３ 加圧板 ４ ウエハ載置台
５ 加熱器 ６ ウエハ
７ 被検査電極 １０ フレーム板
１１ 異方導電膜配置用孔
１５ 空気流通孔
１６ 位置決め孔 ２０ 弾性異方導電膜
２０Ａ 成形材料層 ２１ 機能部
２２ 接続用導電部 ２３ 絶縁部
２４ 突出部 ２５ 被支持部
２６ 非接続用導電部 ２７ 突出部
３０ 検査用回路基板 ３１ 検査電極
４０ シート状コネクター４１ 絶縁性シート
４２ 電極構造体 ４３ 表面電極部
４４ 裏面電極部 ４５ 短絡部
５０ チャンバー ５１ 排気管
５５ Ｏ−リング
６０ 金型 ６１ 上型
６２ 基板 ６３ 強磁性体層
６４ 非磁性体層 ６４ａ 凹所
６５ 下型 ６６ 基板
６７ 強磁性体層 ６８ 非磁性体層
６８ａ 凹所
６９ａ，６９ｂ スペーサー
７１ セル ７２ 側壁材
７３ 蓋材 ７３Ｈ 貫通孔
７４ 磁石 ７５ 電極部
７６ 電気抵抗測定機
８０ 上型 ８１ 強磁性体層
８２ 非磁性体層 ８５ 下型
８６ 強磁性体層 ８７ 非磁性体層
９０ フレーム板 ９１ 開口
９５ 成形材料層 Ｐ 導電性粒子

Claims (7)

1. ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために、検査用回路基板の表面に配置されて当該検査用回路基板とウエハとを電気的に接続するための異方導電性コネクターにおいて、
   検査対象であるウエハに形成された全てのまたは一部の集積回路における被検査電極が配置された電極領域に対応してそれぞれ厚み方向に伸びる複数の異方導電膜配置用孔が形成されたフレーム板と、このフレーム板の各異方導電膜配置用孔内に配置され、当該異方導電膜配置用孔の周辺部に支持された複数の弾性異方導電膜とよりなり、
   前記弾性異方導電膜の各々は、検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極に対応して配置された、磁性を示す導電性粒子が密に含有されてなる厚み方向に伸びる複数の接続用導電部、およびこれらの接続用導電部を相互に絶縁する絶縁部を有する機能部と、この機能部の周縁に一体に形成され、前記フレーム板における異方導電膜配置用孔の周辺部に固定された被支持部とよりなり、
   前記弾性異方導電膜は、その接続用導電部の合計の数をＹとし、当該弾性異方導電膜に対してその厚み方向にＹ×１ｇの荷重を加えた状態における接続用導電部の電気抵抗をＲ_1gとし、当該弾性異方導電膜に対してその厚み方向にＹ×６ｇの荷重を加えた状態における接続用導電部の電気抵抗をＲ_6gとしたとき、Ｒ_1gの値が１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９０％以上であり、Ｒ_6gの値が０．１Ω未満である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の９５％以上であり、Ｒ_6gの値が０．５Ω以上である接続用導電部の数が全接続用導電部の数の１％以下である初期特性を有することを特徴とする異方導電性コネクター。
2. フレーム板の線熱膨張係数が３×１０ ^-5 ／Ｋ以下であることを特徴とする請求項１に記載の異方導電性コネクター。
3. ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うために用いられるプローブ部材であって、
   検査対象であるウエハに形成された集積回路における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って検査電極が表面に形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に配置された、請求項１または請求項２に記載の異方導電性コネクターとを具えてなることを特徴とするプローブ部材。
4. 異方導電性コネクターにおけるフレーム板の線熱膨張係数が３×１０ ^-5 ／Ｋ以下であり、検査用回路基板を構成する基板材料の線熱膨張係数が３×１０ ^-5 ／Ｋ以下であることを特徴とする請求項３に記載のプローブ部材。
5. 異方導電性コネクター上に、絶縁性シートと、この絶縁性シートをその厚み方向に貫通して伸び、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の電極構造体とよりなるシート状コネクターが配置されていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のプローブ部材。
6. ウエハに形成された複数の集積回路の各々について、当該集積回路の電気的検査をウエハの状態で行うウエハ検査装置において、
   請求項３乃至請求項５のいずれかに記載のプローブ部材を具えてなり、当該プローブ部材を介して、検査対象であるウエハに形成された集積回路に対する電気的接続が達成されることを特徴とするウエハ検査装置。
7. ウエハに形成された複数の集積回路の各々を、請求項３乃至請求項５のいずれかに記載のプローブ部材を介してテスターに電気的に接続し、当該ウエハに形成された集積回路の電気的検査を実行することを特徴とするウエハ検査方法。

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