JP3679421B2 - 分散されたアドレス解読およびタイミング制御機能を有するメモリ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、メモリ構造に関する。さらに詳しくは、DRAM構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
1個のDRAMに含まれるメモリ素子すなわちビットの数は、プロセス製造や設計が漸次改善されるにつれて増加してきており、また将来も着実に増加し続けるであろう。メモリ・ビット数が増えるにつれて、DRAMのダイ面積とメモリ・ビットのアクセス時間の両方を最小限に抑えるために、ビット密度を大きくする必要性も増大する。DRAMのビット密度を大きくするための一般的な方法は、メモリ・ビットとそれにともなう制御論理の両方のトランジスタ寸法を小さくすること、また相互接続(interconnect)の寸法を小さくすることである。プロセス寸法を小さくすることは、半導体プロセス製造と半導体マスク作成技術の両方を改善することにより、通常は達成される。DRAM内のメモリ・ビットの密度を大きくするための他の一般的な方法には、垂直プロセス製造技術、すなわち垂直集積(vertical integration)を用いる方法がある。垂直集積法を用いる一般的な2つのセル構造は、積層型(stacked) コンデンサ・セルとトレンチ型コンデンサ・セルである。これら2種類のセル構造により、DRAMメモリ・ビット・セル内の電荷蓄積デバイスは、できるだけ少ない平面エリアを占有するので、メモリ・ビットの高密度化が可能になる。垂直集積法により、論理状態をダイナミックに維持するために重要な電荷蓄積デバイスの容量を維持し、プロセス寸法の低減に合わせてその大きさを定めることができる。上記に示したような処理の改善は、DRAM技術が改善されてきた分野の1つに過ぎない。処理の改善を充分に利用するために、DRAM構造のような設計技術の改善もなされた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、既存のDRAM構造は中央に配置された制御論理を中心にして均等に分散されたメモリ・アレイを有する。中央に配置された制御論理は、メモリの所定の部分を選択的にアクティブにしてデータを所定のメモリ位置に読み書きできるようにするためのクリティカル・タイミング制御信号を発生する。この構造の主な問題点は、中央に配置された制御論理から最も離れたメモリ・セルへと、かなりの距離を送らなければならないクリティカル・タイミング制御信号に固有の時間遅延があることである。中央に配置された制御論理を有することによって起こる問題は、クリティカル・タイミング制御信号がダイのいろいろな部分で互いにずれること(skew)に関連する問題である。ダイのいろいろな部分でクリティカル・タイミング信号がずれることにより起こる影響としては、ワード・ライン・ドライバがDRAMアレイ内のDRAMビット・セルの行にアクセスするときに誤動作を起こしたり、トランジスタを破壊的にバイアスするような時点で制御信号を発生してしまうことがあるが、これらに限定されるものではない。概して、メモリ構造に起因するこれらの影響により、DRAM回路の全体的な性能と信頼性とが損なわれる。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記に述べた必要性は、以下に説明する分散された解読機能およびタイミング制御機能を有するダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(DRAM)により解決される。そのDRAM(10)は、アドレス入力信号を受信するアドレス・ポートと、外部の装置と前記アドレス・ポートで受信したアドレスによって指定される場所との間でデータ信号を流すデータ・ポートと、制御信号(RAS)を受信する制御信号ポートであって、制御信号は、前記アドレス入力信号の少なくとも一部が有効であることを示すところの制御信号ポートと、複数のメモリ・セル・アレイより成る複数の部分(12,13,14,15)であって、前記複数の部分(12,13,14,15)の各々は、複数のメモリ・セル・アレイ(26)より成る複数の行、および複数のメモリ・セル・アレイ(26)より成る複数の列に配列されるところの複数の部分とを有する。更にDRAM(10)は、複数のメモリ・セル・アレイより成る複数の部分の各部分に隣接し、アドレス・ポートおよび制御信号ポートに結合される全体デコード手段(20)であって、制御信号(RAS)に応答して全体デコード手段は、アドレス入力信号を部分的にデコードして部分解読信号(D1)を提供し、部分的なデコードが完了した後にタイミング信号(RAS”)を活性化させる全体デコード手段と、複数のメモリ・セル・アレイ(26,26’)に隣接し、部分解読信号(D1)を受信する第1入力,タイミング信号(RAS”)を受信する第2入力および前記複数のメモリ・セル・アレイの各々に結合された出力を有する局所デコード手段(28,28’)であって、タイミング信号(RAS”)の活性化に応答して、複数のメモリ・セル・アレイの内の少なくとも1つにおけるワード・ラインを活性化させる局所デコード手段とを有する。
【0005】
【実施例】
図1には、4つのパーティション、すなわちデータ・ビット象限12,13,14,15と、全体アドレス・デコーダ・タイミング制御論理部20と、全体列デコーダ論理ブロック22,24とを有するDRAM10を示す。4つのデータ・ビット象限12ないし15のそれぞれは、DRAMセル・アレイ26,26’のような所定の数のDRAMセル・アレイと、局所デコーダ部28,28’のような所定の数の局所デコーダとを有する。全体アドレス・デコーダ・タイミング制御論理部20には、全体行アドレス・デコーダ30のような所定の数の全体行アドレス・デコーダと、全体タイミング制御論理34とが含まれる。
【0006】
全体アドレス・デコーダ・タイミング制御論理部20は、「アドレス入力」と記されているアドレス入力を受け取るための第1入力と、「行アドレス・ストローブ」または「RAS」と記されているタイミング制御信号を受け取るための第2入力とを有する。RASはさらに全体タイミング制御論理34の入力に接続されている。全体タイミング制御論理34は、「RAS’」と記されているタイミング制御信号を与えるための出力を有している。
【0007】
30のような全体行アドレス・デコーダはそれぞれ、アドレス入力信号を受け取るための第1入力と、全体タイミング制御論理34の出力に接続されて、タイミング制御信号RAS’を受け取るための第2入力とを有する。それぞれの全体行アドレス・デコーダは、デコーダ30のD1のような第1出力を有するが、これには「全体行ライン」と記されている所定数の全体行アドレス信号が含まれる。この信号群は、象限12,15のような2つの隣接する象限に接続される。それぞれの全体行アドレス・デコーダはまた、デコーダ30のD2のような第2出力を有するが、これには所定数の全体行アドレス信号と「RAS”」(図1では表示されていない)と呼ばれるタイミング制御信号とが含まれ、これらの信号はまとめて「全体行ラインおよびタイミング」と記されており、これも象限12,15のような2つの隣接する象限のそれぞれに接続されている。図1では全体アドレス・デコーダは、メモリ内の2つの部分に解読信号およびタイミング信号D1,D2を与えるように図示されているが、各デコーダは1つの象限または2つ以上の象限に信号を与えるように構築されてもよいことは明かである。
【0008】
各象限内では、28のような局所行デコーダ部のそれぞれは、30のような所定の全体行アドレス・デコーダの第1出力を受け取るための第1入力と、30のような全体行アドレス・デコーダの第2出力を受け取るための第2入力とを有する。
【0009】
図1の全体列デコーダ論理ブロック22,24はそれぞれ、所定の列出力信号を解読、増幅するための従来の解読論理(図示せず)と、増幅器(図示せず)とを含む。全体列デコーダ論理ブロック22,24はそれぞれ、列データ情報を受け取るためデータ・ビット象限12ないし15のそれぞれの複数の出力(図示せず)のうち所定の1つに接続された複数の第1入力(図示せず)のうちの1つと、従来のようにアドレス入力とタイミング制御とを受け取るため全体アドレス・デコーダ・タイミング制御論理部20の複数の出力(図示せず)のうちの1つに接続された複数の第2入力(図示せず)の1つとを有する。
【0010】
動作中にDRAM回路10内で利用される主なクリティカル・タイミング・チェーンは、RASタイミング・チェーンと「列アドレス・ストローブ」(CAS)タイミング・チェーン(図示せず)である。本発明は、主としてRASタイミング・チェーンとその結果得られるDRAM回路10の構造に関する。CASタイミング・チェーンと、列解読論理ブロック22,24とは、ここではDRAMの動作全体をより分かりやすくするために参照しているに過ぎない。
【0011】
図2のタイミング図は、図1のDRAM10の動作を制御するために必要なタイミング信号を示す。図2に示されるように、30のような図1の各全体行アドレス・デコーダに接続されているアドレス入力は、デコーダ30のような所定の全体行アドレス・デコーダによって選択的に解読される。さらに、全体タイミング制御論理34は、タイミング制御信号RASに応答してタイミング制御信号RAS’を発生する。タイミング制御信号RAS’は、各全体行アドレス・デコーダに接続されており、選択的に解読された行アドレス・デコーダ30をアクティブにする。選択的に解読された行アドレス・デコーダ30の第1および第2出力は、28のような、局所行デコーダ部の所定の1つに接続されており、タイミング制御信号RAS”に応答してさらに解読される。
【0012】
図3には、図1のDRAM10の一部分40を示す。部分40は、DRAMセル・アレイ26,26’と、局所行デコーダ部28,28’と、それぞれの相互接続部分との詳細図である。DRAMセル・アレイ26,26’は、それぞれ行データ検知増幅器論理45,45’を有しており、各々がビット・セル46,46’のようなDRAMビット・セルのアレイをそれぞれ有している。局所行デコーダ部28,28’は、ワード・ライン・デコーダ・ユニット42,42’と、制御論理43,43’とをそれぞれ有している。デコーダ・ユニット42,42’には、デコーダ・ドライバ48,48’のような所定の数のワード・ライン・デコーダ・ドライバが含まれる。また、局所行デコーダ部28,28’はそれぞれ局所行アドレス/タイミング制御論理43,43’を有する。
【0013】
ワード・ライン・デコーダ・ユニット42,42’は、それぞれ図1の所定の全体行アドレス・デコーダ30の第1出力を受け取るための第1入力を有し、さらに局所行アドレス/タイミング制御論理43,43’の制御出力をそれぞれ受け取るための第2入力を有する。局所行アドレス/タイミング制御論理43,43’は、それぞれ、図1の所定の全体行アドレス・デコーダ30の第2出力に接続された入力を有する。
【0014】
図3のDRAMセル・アレイ26,26’はそれぞれ、所定の数のDRAMビット・セル46,46’より構成される。DRAMビット・セルの各行は、所定のワード・ライン・デコーダ・ドライバ48,48’からの共通制御ワード・ライン出力を共有する。各列のDRAMビット・セルは、列データ検知増幅器論理45または45’のいずれかの複数の入力(図示せず)の1つに共に接続される共通出力を共有する。列データ検知増幅器論理45,45’は、それぞれ、図1の列解読・検知増幅器論理ブロック22,24の第1入力(図示せず)に接続された複数の出力を有する。
【0015】
図1も図3も、局所行デコーダ部28,28’に対するDRAMセル・アレイ26,26’の物理的な配置を示している。DRAMセル・アレイ26は、2つの局所行デコーダ部28,28’の間に置かれる。局所行デコーダ部は、各象限の2つの対向する外側の端部に置かれるので、26のような各セル・アレイは、2つの対向辺部のそれぞれ(図3に示される左辺部と右辺部)に28,28’のようなデコーダを有する。図3は、各ワード・ライン・デコーダ・ドライバ48,48’の個々のワード・ライン出力が、DRAMビット・セル46,46’のアレイにそれぞれ送られるインターリーブ(interleave)方式を表す。つまり、アレイ26で、デコーダ・ドライバ48,48’が交互の行を駆動する。ワード・ライン・デコーダ・ドライバ48,48’それぞれの各出力は、2つの隣接するDRAMセル・アレイ26,26’のワード・ラインに接続し、DRAMセル・アレイ26,26’内の各隣接ワード・ラインは交互にワード・ライン・デコーダ・ドライバ48,48’に接続される。概して、同じワード・ライン・デコーダ・ドライバ48,48’に2つの隣接するワード・ラインが接続されることはない。
【0016】
動作中、DRAM10は分散された解読およびタイミング制御を有する。図1の全体行アドレス・デコーダ30の2つの出力は、第1レベルの解読として機能し、図1および図3に示される28のような所定の行アドレス・デコーダ部により解読される。図3の局所行アドレス/タイミング制御論理43,43’は、図1の全体行アドレス・デコーダ30の第2出力をバッファする。図1の全体行アドレス・デコーダ30の第2出力には、タイミング制御信号RAS”が含まれるので、図3の局所行アドレス・タイミング制御論理43,43’の出力は、48,48’のようなワード・ライン・デコーダ・ドライバに対して、タイミング制御として機能すると共に、第2レベルの解読信号をそれぞれ与える。48,48’のようなワード・ライン・デコーダ・ドライバは、図1の全体行アドレス・デコーダ30の第1出力と、局所行アドレス/タイミング制御論理43,43’からそれぞれ来る第2レベルの解読信号とを解読して、それに伴うクリティカル・タイミングを有する局所ワード・ライン信号を発生する。28のような局所行デコーダ部はそれぞれ、DRAMアレイ12ないし15の各象限全体に分散されているので、28のような各々の局所行デコーダ部は互いにずれた時点で、図1の全体行アドレス・デコーダ30の出力から全体行アドレスと全体アドレス/タイミング制御信号とを受け取る。しかし、28のような局所行デコーダ部はそれぞれ、タイミング制御信号RAS”と全体アドレス信号とを受け取り、かつ、タイミング制御信号RAS”が各DRAMセル・アレイのクリティカル・ワード・ライン信号の生成を制御するので、DRAMダイのいろいろな部分で、互いにずれたタイミング信号RASとその派生信号とを有することの影響が排除される。
図3の28,28’のような局所行デコーダ部に具現される、上記の第2レベルの解読と、上述の局所ワード・ラインをインターリーブして送る方法とによって、28,28’のような局所行デコーダ部のそれぞれの所定の出力から46,46’のようなDRAMビット・セルの所定の行にそれぞれ接続する第1レベルまたは低レベルの相互接続の物理的寸法が、全体行アドレス相互接続信号よりもかなり小さくすることが可能になる。局所行デコーダ部28,28’は、1ピッチ4個のDRAMビット・セルにそれぞれ内蔵される。言い換えれば、図3において、ワード・ライン・デコーダ・ドライバ48は、4行分のビット・セルに等しい幅を持つ。図示されたピッチにより、全体行アドレス信号と、全体アドレス/タイミング制御信号とは、それぞれ、低レベルの相互接続の約4倍のピッチを持つことができる。全体アドレス・ラインまたは導体は、局所ワード・ライン幅に必要なものよりも大きくすることができるので、全体アドレス・ラインの抵抗は最小限に抑えられ、それによってメモリ内のアドレス信号の伝達に伴う信号遅延も最小になる。全体アドレス・ラインは物理的に局所ワード・ラインの上、すなわち物理的により高いレベルに位置しているので、全体アドレス・ラインは高レベルの相互接続と関連している。高レベルの相互接続のピッチが大きくなると、半導体の製造工程はより安価で信頼性の高いものとなる。低レベルの相互接続の物理的寸法がかなり小さくなることにより、全体行アドレス相互接続ラインを小さくすることを必要とせずに、DRAMセル・アレイ内のDRAMビット・セルの高密度化が可能になる。半導体製造工程において高密度化を図るためDRAMビット・セルの製造に垂直集積法を利用する場合には、DRAM10のこの特徴はさらに意義のあるものとなる。その主な理由は、垂直集積による製造工程では、局所行デコーダ部28,28’とDRAMビット・セルとが作られる低レベルの相互接続と、信号が送られる高レベルの相互接続との間の縦方向の寸法が大きくなるためである。半導体製造における主な難点は、垂直方向の寸法が大きくなった相互接続レベル間にコンタクトを作ることであるので、高レベルの相互接続を低レベルの相互接続よりも物理的に大きくすることにより、このコンタクトの問題はかなり緩和される。局所行デコーダ部28,28’内の第2レベルの解読とインターリーブしたワード・ラインの送出との組み合わせにより、半導体の製造はより安価で信頼性の高いものになる。
【0017】
以上、構造上の特性を組み合わせたDRAMが提供されたことは明かである。これらの特徴には、DRAMセルのアレイ全体に分散された局所行デコーダとクリティカル・タイミング制御論理とを備えることが含まれる。各局所行デコーダは、第2レベルの行アドレス解読を有し、各局所行デコーダの局所ワード・ライン信号出力がインターリーブされる。これらの構造的な特徴を組み合わせることにより、高信頼性・低製造コストの高密度DRAM回路の半導体製造が可能になる。
【0018】
本発明の原理を解説してきたが、この説明は一例に過ぎず、本発明の範囲を制限するものでないことは、当業者には明らかである。たとえば、説明された4個のDRAMアレイ象限の寸法または数を増減してもよい。RAS制御信号のズレの影響を小さくするために、解読論理とクリティカル・タイミング制御論理の両方を分散することは、DRAM回路内のCAS制御信号やその他のクリティカル・タイミング信号にも適用することができる。RASタイミング制御信号の論理検知は、負の論理を用いても実現することができる。ここで教示されたアドレス入力信号のためのエンコーダとデコーダの数は、必要に応じて変えることができる。従って、添付の請求項により、本発明の精神と範囲に含まれる発明のすべての修正を包括するものとする。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるDRAM構造のブロック図である。
【図2】図1のDRAMに関連する制御タイミングのタイミング図である。
【図3】図1のDRAMの部分のブロック図である。
【符号の説明】
10 DRAM
12,13,14,15 象限
20 全体アドレス・デコーダ・タイミング制御論理部
22,24 全体デコーダ論理ブロック
26,26’ DRAMセル・アレイ
28,28’ 局所デコーダ部
30 全体行アドレス・デコーダ
34 全体タイミング制御論理
Claims (3)
- DRAM(10)であって:
アドレス入力信号を受信するアドレス・ポート;
外部の装置と前記アドレス・ポートで受信したアドレスによって指定される場所との間でデータ信号を流すデータ・ポート;
制御信号(RAS)を受信する制御信号ポートであって、前記制御信号は、前記アドレス入力信号の少なくとも一部が有効であることを示すところの制御信号ポート;
複数のメモリ・セル・アレイより成る複数の部分(12,13,14,15)であって、前記複数の部分(12,13,14,15)の各々は、複数のメモリ・セル・アレイ(26)より成る複数の行、および複数のメモリ・セル・アレイ(26)より成る複数の列に配列されるところの複数の部分;
を有し、
複数のメモリ・セル・アレイより成る前記複数の部分の各部分に隣接し、前記アドレス・ポートおよび前記制御信号ポートに結合される全体デコード手段(30)であって、前記制御信号(RAS)に応答して前記全体デコード手段は、前記アドレス入力信号の一部分を部分的にデコードして部分解読信号(D1)を提供し、前記全体デコード手段は、部分的なデコードが完了した後にタイミング信号(RAS”)を活性化させる全体デコード手段;および
複数のメモリ・セル・アレイ(26,26’)に隣接し、前記部分解読信号(D1)及び前記アドレス入力信号の残りの部分を受信する第1入力と、前記タイミング信号(RAS”)を受信する第2入力と、前記複数のメモリ・セル・アレイの各々に結合された出力とを有する局所デコード手段(28,28’)であって、前記タイミング信号(RAS”)の活性化に応答して、前記複数のメモリ・セル・アレイの内の少なくとも1つにおけるワード・ラインを活性化させる局所デコード手段;
を有することを特徴とするDRAM。 - 前記複数のメモリ・セル・アレイの前記複数の部分(12,13,14,15)が、4つの象限を形成することを特徴とする請求項1記載のDRAM。
- 前記局所デコード手段が複数の局所デコード回路より成り、1対の局所デコード回路が、所定のメモリ・セル・アレイの中の複数のメモリ・セルより成る複数の行に、インターリーブ方式で交互に結合されることを特徴とする請求項1記載のDRAM。
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