JP3674339B2 - 樹脂成型用金型のクリーニング装置およびクリーニング方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、樹脂成型用金型のクリーニング装置およびクリーニング方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品は、ウェハから切り出された半導体チップ(以下、単に「チップ」という)を樹脂でモールドして製造される。樹脂モールドを形成する樹脂成型装置は、上金型と下金型の間にチップをはさみ、チップを包囲するキャビティ内に溶融樹脂を圧入して樹脂モールドを形成するようになっている。そして樹脂を硬化させた後、上金型と下金型を分離して成型品を取り出すようになっている。
【0003】
金型の表面(成型面)には樹脂が付着しやすい。付着した樹脂は成型品の形状に悪影響を与える。そこで従来は、作業者がブラシなどの清掃具でブラッシングするなどして金型の表面を手作業で適宜クリーニングしていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来の金型のクリーニング方法では重量のある金型を樹脂成型装置から取りはずして入念にクリーニングしなければならないため作業者の労働負担が大きく多大な時間を要するものであった。またクリーニング作業中に金型を落下させて傷つけやすく、更には使用直後の金型は一般に高温(180°C程度)であるため手作業によるクリーニングは危険であるなどの問題点があった。
【0005】
また金型には、樹脂をキャビティに圧入するための湯道に通じる孔部や、成型品を金型から取り出すためのエジェクタピンを挿入する孔部などが形成されており、これらの孔部の縁部や内部に樹脂がこびり付きやすいものであるが、従来の手作業によるクリーニング方法では、このような縁部や内部にこびり付いた樹脂をきれいに除去しにくいものであった。このような問題は、電子部品の樹脂モールドの成型に限らず、殊に精密な成型精度が要求される樹脂成型装置一般に見られるものであった。
【0006】
したがって本発明は、金型の成型面、殊に金型の孔部の縁部に付着した樹脂をきれいにクリーニングできる樹脂成型用金型のクリーニング装置およびクリーニング方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、樹脂成型用金型の成型面を覆うカバー手段と、このカバー手段の内部に有機物分解ガスを供給するガス供給手段と、前記カバー手段内に供給された有機物分解ガスを大気圧と同等もしくは大気圧よりも高いガス圧に保たれた条件下で活性化する有機物分解ガス活性化手段とを備え、前記有機物分解ガス活性化手段が高周波の電圧を電極に印加することにより有機物分解ガスをプラズマ化する放電手段であることを特徴とする樹脂成型用金型のクリーニング装置である。
【0008】
また本発明は、金型の成型面をカバー手段で覆い、このカバー手段内に有機物分解ガスを供給し、この有機物分解ガスを高周波の電圧を電極に印加することにより有機物分解ガスをプラズマ化する放電手段により活性化させて前記成型面を有機物分解ガスにさらし、金型の孔部からガスを外部へ流出させながら有機物分解ガスで前記成型面に付着する有機物を分解することを特徴とする樹脂成型用金型のクリーニング方法である。
【0009】
上記構成によれば、金型の成型面をカバー手段内の有機物分解ガスや活性化された有機物分解ガスにさらし、ガスを金型の孔部から外部へ流出させながら、孔部の縁部などに付着する有機物を効果的に分解してクリーニングすることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1の樹脂成型装置の開放状態の断面図、図2は同樹脂成型装置の閉鎖状態の断面図、図3は同樹脂成型装置のクリーニング装置の断面図、図4は同樹脂成型装置のクリーニング状態の説明図である。
【0011】
まず図1を参照して樹脂成型装置の全体構造を説明する。図1において、1は上型本体であり、その下面には上金型2が装着されている。上金型2の下面にはキャビティ3が形成されている。上型本体1は、図外の上下動手段により上下動する。
【0012】
4は下型本体であり、その上面には下金型5が装着されている。下金型5の上面にはキャビティ6が形成されている。下金型5の中央には孔部7が形成されており、孔部7には樹脂を押し上げるためのプランジャ8が収納されている。また下金型5の孔部10(図4も参照)にはエジェクタピン9が挿入されている。
【0013】
モールド樹脂の成型は次のようにして行われる。チップを搭載した基板を下型上にセットして上型本体1を下降させて上金型2と下金型5を接合する。この状態で、上金型2のキャビティ3と下金型5のキャビティ6を接合し、その内部にチップが配置される。そこでプランジャ8を上昇させて溶融樹脂をキャビティ3,6内に圧入する。プランジャ8が挿入された孔部7は湯道(図外)でキャビティ3,6と通じており、溶融樹脂はこの湯道を通ってキャビティ3,6に圧入される。
【0014】
キャビティ3,6内の溶融樹脂が硬化したならば、上型本体1と下型本体4を分離し、エジェクタピン9を上昇させる。すると下金型5上の成型品はエジェクタピン9で突き上げられて下金型5から取り出される。
【0015】
以上のようにして成型品は形成されるが、上記成型作業を繰り返す間に、金型の成型面(上金型2の下面、下金型5の上面)には有機物である樹脂が付着する。殊にエジェクタピン9が挿入された孔部10の縁部、湯道の縁部、プランジャ8の孔部7の縁部には樹脂がこびり付きやすい。こびり付いた樹脂は成型品の形状に悪影響を及ぼすのでクリーニングして除去する必要がある。そこで次に、上金型2と下金型5の成型面をクリーニングするクリーニング装置について説明する。
【0016】
図1において、11は筒形のケースであり、その内部には放電用の電極12,13が設けられている。ケース11は上金型2と下金型5の成型面を覆って処理空間を確保するためのカバー手段となるものである。一方の電極12は高周波電源14に接続されており、他方の電極13は接地部15に接地されている。電極12,13、高周波電源14などは放電手段であり、ケース11内の有機物分解ガスを活性化する有機物活性化手段を構成する。ケース11の上部と下部には金属性のメッシュ16が設けられている。このメッシュ16はイオンシールド手段となるものである。
【0017】
ケース11にはガス供給手段としてガスボンベ20がパイプ19によって接続されている。ガスボンベ20とケース11の間のパイプ19には、減圧器21、流量計22、ガスバルブ23が接続されている。流量計22はガスボンベ20からケース11内へ送られるガスの流量を調整するものであり、流量によってケース11内の圧力を設定するものである。したがって流量計22がガス圧制御手段となっている。ガスボンベ20は有機物分解ガスであるプラズマ発生用ガスをケース11に供給する。本形態では、ガスボンベ20にはヘリウムHeと酸素O2が体積比で9:1の比率で収納されており、ヘリウムHeをベースガスにしている。
【0018】
ケース11には、排気バルブ24を介して真空ポンプ25が接続されている。またケース11には、大気開放バルブ26および圧力計27が接続されている。圧力計27は制御部28を介して流量計22に接続されている。圧力計27はケース11内のガス圧を測定する。制御部28は圧力計27の測定結果にしたがい、ケース11内のガス圧がケース11外の圧力(大気圧)と同等もしくはこれよりもわずかに高い圧力となるように流量計22を制御する。29はケース11の端面に装着されたシール用のパッキンである。
【0019】
次に上金型2と下金型5の成型面のクリーニング動作を説明する。図2および図3に示すように、ケース11を上型本体1と下型本体4の間に配置し、上型本体1と下型本体4を相対的に上下動作をさせてケース11を両者の間にはさみ込む。これにより、上金型2と下金型5の成型面はケース11で完全に覆われる。
【0020】
次に真空ポンプ25を駆動してケース11内を真空引きして内部の空気を排気した後、ガスボンベ20からケース11内にガス(ヘリウムと酸素)を供給する。また圧力計27でケース11内のガス圧を測定し、測定結果に基づいて、望ましくはケース11内のガス圧がケース11外のガス圧よりもやや高い圧力になるように制御部28で流量計22を制御する。例えばケース11外の圧力を1気圧とすれば、ケース11内の圧力は1.01気圧程度である。ここで、下金型5には、プランジャ8を挿入する孔部7やエジェクタピン9を挿入する孔部10が形成されており、これらの孔部7,10は下金型5を貫通して外部に連通している。したがってケース11内のガス圧が外部の大気圧と同等もしくはこれよりも高くなるように制御部28で流量計22を制御すれば、ケース11内のガスは孔部7,10を通り、外部へわずかづつ吹き出して流出する(図3の矢印A,Bを参照)。この場合、ガスの流出量が大きくなるとガスボンベ20内のガスを必要以上に消費し、経済的に損であるから、上述したようにケース11内のガス圧が大気圧と同等もしくはこれよりもわずかに高くなる程度にコントロールし、ガスの流出量をできるだけ少なくすることが望ましい。
【0021】
さて、ケース11内にガスを供給しながら、電極12に高圧高周波の電圧を印加する。するとケース11内のガスは電離してイオンとなる。図3および図4はこのようなプラズマ状態を示している。ガスボンベ20から供給されたヘリウムHeと酸素O2は電離し、ヘリウムイオンHe+、活性酸素(酸素ラジカル)O*、電子e-が生じている。ここで、ヘリウムHeは大気圧付近でもプラズマ化しやすいという特性を有し、かつ安全・安価であるという利点を有しているので、ヘリウムHeをベースガスとして使用している。また酸素ラジカルO*は有機物の酸化分解力が大きいという特性を有している。有機物の酸化分解力の大きいガスとしては、酸素以外にもフッ素や塩素などもあり、これらも使用することができる。図3および図4において、Kは下金型5の孔部10の縁部(入口部)や内部に付着した有機物(樹脂)である。
【0022】
図4において、下金型5の上面(成型面)はメッシュ16でイオンシールドされているので、イオンであるHe+、O-、e-はこの上面に到達しない。これに対し酸素ラジカルO*は電気的に中性であるからメッシュ16を通過し、ケース11内にさらされた成型面の有機物Kに衝突してこれを酸化分解させる。
【0023】
ここで、ケース11内のガス圧を外部の大気圧と同等もしくはこれよりもわずかに高くしておくと、ケース11内のガスは図4において矢印Cで示すように孔部10に流入し、孔部10内を通って外部に流出する(図3の矢印B)。したがってこのようなガス圧に保たれた条件下でケース11内に供給されたガスを放電手段でプラズマを発生させて活性化すると、このガスに含まれる酸素ラジカルは孔部10の縁部や内部に付着する有機物Kに接触し、これらを酸化分解させてクリーニングする。孔部7についても孔部10と同様にクリーニングが行われる。孔部7,10の縁部(入口部)付近には有機物Kが付着しやすいが、本方法によればこれらの有機物Kを効果的にクリーニングできる。
【0024】
クリーニングが終了したならば、ガスボンベ20からケース11へのガスの供給を停止し、大気開放バルブ26を開く。するとケース11内は大気圧となり、そこで上型本体1を上昇させてケース11から分離し、ケース11を上型本体1と下型本体4の間から取り出す。以上によりクリーニング作業は終了し、樹脂成型作業を再開する。
【0025】
なお本形態では、有機物分解ガスとしてヘリウムと酸素を使用しているが、使用する有機物分解ガスの種類はこれらに限定されない。しかしながら上述したように、有機物分解ガスとしてはヘリウムと酸素の混合ガスを用いることが望ましい。
【0026】
(実施の形態2)
図5は本発明の実施の形態2の樹脂成型用金型のクリーニング装置の断面図である。実施の形態1の要素と同一要素には同一符号を付している。ケース11の内部には筒状の絶縁体30が設けられており、絶縁体30の上部と下部には多孔状の電極31,32が設けられている。ケース11は接地部15に接地されており、また電極31,32は高周波電源14に接続されている。またケース11の上部と下部にはイオンシールド手段として金属製の多孔板33が装着されている。
【0027】
本形態の動作は実施の形態1と同様であって、ガスボンベ20からガス(ヘリウムと酸素)を供給し、かつケース11内を外部の圧力と同等もしくはこれよりもやや高い正圧に保ってガスをプラズマ化し、上金型2と下金型5の表面をクリーニングする。
【0028】
(実施の形態3)
図6は本発明の実施の形態3の樹脂成型装置の開放状態の断面図、図7および図8は同樹脂成型装置のクリーニング中の断面図である。実施の形態1,2の要素と同一要素には同一符号を付している。
【0029】
図6において、ケース11Aは有蓋無底であり、その内部に電極31,32が設けられている。一方の電極31はノズル34の下部に装着されており、ノズル34内にガスボンベ20からガスが供給される。このケース11Aは上下反転手段(図外)により上下反転自在である。
【0030】
図7は、下金型5の表面をクリーニングしている状態を示している。この場合、ケース11Aの開放された無底面を下金型5上に接地させて下金型5の上面を覆う。そしてガスボンベ20から供給されたガスをイオン化し、ケース11A内にさらされた下金型5の上面をクリーニングする。勿論この場合も、ケース11A内は外部の圧力と同等もしくはこれよりもやや高い正圧に保たれる。
【0031】
図8はケース11Aを上下反転させ、上金型2の表面に接地させてこの表面をクリーニングしている状態を示している。したがって本形態によれば、上金型2と下金型5の一方のみを選択的にクリーニングすることができる。
【0032】
(実施の形態4)
図9は本発明の実施の形態4の樹脂成型用金型のクリーニング装置の断面図である。本形態のクリーニング装置の構造は実施の形態3と同じであるが、ケース11Bはケース11Aよりも小型であり、移動手段(図外)により水平方向に移動自在となっている。したがってケース11Bを上金型2や下金型5の任意の位置に接地させて任意のエリアを覆い、それらの表面を局所的にクリーニングすることができる。勿論この場合も、ケース11B内は外部の圧力と同等もしくはこれよりもやや高い正圧に保たれる。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、ケース内の有機物分解ガスを金型の孔部から外部へわずかづつ流出させながら金型の成型面をクリーニングするようにしているので、孔部の縁部(入口部)や内部などの有機物の付着しやすい箇所や従来方法ではクリーニングしにくい箇所を効果的にクリーニングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1の樹脂成型装置の開放状態の断面図
【図2】 本発明の実施の形態1の樹脂成型装置の閉鎖状態の断面図
【図3】 本発明の実施の形態1の樹脂成型装置のクリーニング装置の断面図
【図4】 本発明の実施の形態1の樹脂成型装置のクリーニング状態の説明図
【図5】 本発明の実施の形態2の樹脂成型用金型のクリーニング装置の断面図
【図6】 本発明の実施の形態3の樹脂成型装置の開放状態の断面図
【図7】 本発明の実施の形態3の樹脂成型装置のクリーニング中の断面図
【図8】 本発明の実施の形態3の樹脂成型装置のクリーニング中の断面図
【図9】 本発明の実施の形態4の樹脂成型用金型のクリーニング装置の断面図
【符号の説明】
2 上金型
5 下金型
7,10 孔部
11,11A,11B,40 ケース
20 ガスボンベ
22 流量計
27 圧力計
28 制御部
Claims (6)
- 樹脂成型用金型の成型面を覆うカバー手段と、このカバー手段の内部に有機物分解ガスを供給するガス供給手段と、前記カバー手段内に供給された有機物分解ガスを大気圧と同等もしくは大気圧よりも高いガス圧に保たれた条件下で活性化する有機物分解ガス活性化手段とを備え、前記有機物分解ガス活性化手段が高周波の電圧を電極に印加することにより有機物分解ガスをプラズマ化する放電手段であることを特徴とする樹脂成型用金型のクリーニング装置。
- 前記有機物分解ガスが酸素、フッ素、塩素のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1記載の樹脂成型用金型のクリーニング装置。
- 前記有機物分解ガスがベースガスとしてヘリウムを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂成型用金型のクリーニング装置。
- 金型の成型面をカバー手段で覆い、このカバー手段内に有機物分解ガスを供給し、この有機物分解ガスを高周波の電圧を電極に印加することにより有機物分解ガスをプラズマ化する放電手段により活性化させて前記成型面を有機物分解ガスにさらし、金型の孔部からガスを外部へ流出させながら有機物分解ガスで前記成型面に付着する有機物を分解することを特徴とする樹脂成型用金型のクリーニング方法。
- 前記有機物分解ガスが酸素、フッ素、塩素のうちの少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項4記載の樹脂成型用金型のクリーニング方法。
- 前記有機物分解ガスがベースガスとしてヘリウムを含むことを特徴とする請求項4記載の樹脂成型用金型のクリーニング方法。
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