JP3670338B2 - Circuit board inspection adapter device - Google Patents
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、プリント回路基板などの回路基板を検査する目的で、当該回路基板をテスターに電気的に接続するために用いられる回路基板検査用アダプター装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、プリント回路基板などの回路基板の表面においては、各種の電子的機能素子などが相当に高い集積度で形成されており、また各素子同士および各素子を周縁部のリード電極に電気的に接続するための配線部が同様に高い密度で形成されている。そして、このような回路基板については、その製造が完了したときに、所期の機能を発揮する回路が完成されていることを確認するために、回路基板における、素子部、配線部、リード電極部などの導電部における適宜の個所について、それが他の所定の個所と電気的に接続されているかあるいは絶縁されているかを検査することが必要である。
【0003】
斯かる回路基板の検査はテスターによって行われるが、これを実行するためには、回路基板の導電部において設定された多数の被検査電極をテスターの検査用接続部に電気的に接続することが必要であり、これを達成するためにアダプター装置が用いられる。そして、このアダプター装置として、種々のコネクターを利用することができる。
【0004】
然るに、現在、回路基板においては、機能素子などの導電部が微細となってその集積度が相当に高くなっており、これに伴って、当該コネクターにおいてもその電極および配線の密度を高くして高い解像度を得ることが必要となってきており、このような理由から、従来、例えば多層配線型コネクターが好適に用いられている。
この多層配線型コネクターは、複数の絶縁層が一体に積層されてなり、この積層体の表面に、検査対象である回路基板の被検査電極に対応する表面電極が形成され、また裏面に、テスターの検査用接続部の接点に対応する裏面電極が形成されており、これらの表面電極と裏面電極とが、当該絶縁層の積層体の表面、裏面および各層間に配置された面内配線部並びにこの面内配線部を互いに接続する貫通配線部によって、電気的に接続されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、多層配線型コネクターにおいては、以下に詳述するように、複数の絶縁層が一体とされていることから、製造上の理由も加わって、電極または配線の密度を十分に高いものとすることができない、という問題点がある。
【0006】
例えば図4(イ)に示すように、3層構成の多層配線型コネクター60において、表面絶縁層61の表面に形成された表面電極Aと他の表面電極Bとを電気的に接続する場合において、その接続用配線は、最も簡単には当該表面絶縁層61の表面に形成すればよいが、当該表面には通常多数の他の電極または配線部が形成されており、これらは、それに重ねて接続用配線を設けることのできない配線禁止部位である。図4(イ)において、黒丸で示されているこのような配線禁止部位Nは、表面絶縁層61の表面のみならず、表面絶縁層61と中間絶縁層62との間、中間絶縁層62と裏面絶縁層63との間、および裏面絶縁層63の表面にも存在する。
【0007】
配線禁止部位Nを迂回しまたはそれとの接触を回避して接続用配線を設けるためには、表面配線部S1、表面絶縁層61と中間絶縁層62との間の面内配線部S2、中間絶縁層62と裏面絶縁層63との間の面内配線部S3および裏面絶縁層63の表面における裏面配線部S4、並びに表面絶縁層61をその厚み方向に貫通して伸び、当該表面絶縁層61の両面に設けられた電極または面内配線部を互いに電気的に接続する貫通配線部T1、中間絶縁層62に形成された同様の貫通配線部T2および裏面絶縁層63に形成された同様の貫通配線部T3を適宜の個所に形成配置することが必要である。
【0008】
然るに、図4(イ)の構成における表面電極Bに係る全層貫通配線部Taは、表面絶縁層61、中間絶縁層62および裏面絶縁層63の全部を一直線に沿って連続的に貫通する導電路であり、これは全体を連続して直線的に貫通するスルーホールを形成してその内部に金属メッキなどによって導電材料を配置すればよいので、製作が比較的容易であるが、その反面、当該全層貫通配線部Taの存在により、すべての絶縁層の同一地点に配線禁止部位が形成されることとなるので、配線の自由度が大幅に低下し、多層配線板型であることの利点が大きく減殺されることとなる。
【0009】
このような問題点を軽減するために、図4(ロ)に示すように、表面または裏面から伸びるが、すべての絶縁層を貫通するのではなく、孔としては行き止まり状のブラインドホールとも称されるバイアホールを形成してこれにより局部層貫通配線部Tbを形成することも知られている。このような構成によれば、スルーホールを形成する場合に比して配線の自由度は大きくなるが、反面、ブラインドホールを正確に形成するための工作において非常に精密な制御が必要とされるため製作が容易ではなく、製作コストも高いものとなる。
【0010】
このように、従来の多層配線型コネクターによるアダプター装置においては、十分に大きい配線の自由度が得られないために十分な解像度が得られず、その結果集積度の高い回路基板の検査に十分に対応することができず、あるいは、比較的大きい配線の自由度が得られるものは製作が困難で製作コストが高い、という問題点がある。
【0011】
また、多層配線型コネクターによるアダプター装置として、検査対象回路基板の被検査電極などが損傷されないよう、コネクターの表面に、例えば異方導電性エラストマー層を設けてなるものが開発されているが、このような構成においては、検査対象回路基板が多数回にわたって対接されることによって当該異方導電性エラストマー層が損耗するようになった場合には、当該アダプター装置の全体を交換しなければならないので経済的でない、という問題点がある。
【0012】
本発明は、以上のような問題点を解決するものであって、その目的は、十分に大きい配線の自由度が得られて解像度が高く、集積度の高い回路基板の検査に十分に対応することができ、しかも製作が容易で製作コストが低く、また表面の異方導電性エラストマー層が損耗したときには経済的にその機能を回復することのできる回路基板検査用アダプター装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の回路基板検査用アダプター装置は、検査対象である回路基板とテスターの検査用接続部との間に介挿され、当該回路基板の被検査電極と当該テスターの検査用接続部とを電気的に接続する回路基板検査用アダプター装置であって、
回路基板側に配置される、全体が板状のフロントコネクターの複数が積重されて構成されたフロントコネクター複合体と、このフロントコネクター複合体と互いに分離可能に積重され、前記フロントコネクター複合体とテスターの検査用接続部との間に配置される全体が板状のバックアップコネクターとを有してなり、
前記フロントコネクターの各々は、
(a)1層のみの絶縁性基板と、
(b)絶縁性基板(a)の上面を覆うよう一体に積層して設けられ、回路基板の被検査電極と対応して配置された導電路形成部を有し、回路基板に対接される異方導電性エラストマー層と、
(c)絶縁性基板(a)の下面に形成された、ピッチの小さい微小基準格子点位置に配置された接触電極と、
(d)絶縁性基板(a)の厚み方向に伸びるようスルーホールによって形成された、異方導電性エラストマー層(b)の導電路形成部と接触電極とを電気的に接続する貫通導電路と
を備えてなり、
前記バックアップコネクターは、
(イ)1層のみの絶縁性基板と、
(ロ)絶縁性基板(イ)の上面において、前記フロントコネクター複合体の下面における接触電極に対応した位置に形成された内面電極と、
(ハ)内面電極が形成された絶縁性基板(イ)の上面を覆うよう一体に積層して設けられ、前記フロントコネクター複合体の下面における接触電極に対応する基準格子点位置に配置された、相互に絶縁部によって絶縁されると共に当該絶縁部の表面から突出する突出部を形成する導電路形成部を有し、前記フロントコネクター複合体の下面に対接される異方導電性エラストマー層と、
(ニ)絶縁性基板(イ)の下面に形成された、前記異方導電性エラストマー層(ハ)における導電路形成部に係る基準格子点のピッチよりも大きいピッチの粗大基準格子点位置に配置された外面電極と、
(ホ)絶縁性基板(イ)の厚み方向に伸びるようスルーホールによって形成された、内面電極(ロ)と外面電極(ニ)とを電気的に接続する貫通導電路と
を備えてなり、
前記外面電極(ニ)がテスターの検査用接続部に電気的に接続されるものであり、
フロントコネクター複合体が、各々形状または寸法が異なる複数のフロントコネクターによって構成されており、複数の電極配置面が異なるレベルに設けられている回路基板の検査に用いられることを特徴とする。
【0016】
【実施例】
以下、図面によって本発明を具体的に説明する。
図1は、参考例である回路基板検査用アダプター装置10の構成の概略を、上側に配置される検査対象である回路基板12の一部、並びに下側に配置されるテスターの検査用接続部15と共に示す説明用断面図である。13は回路基板12の被検査電極である。
【0017】
このアダプター装置10は、回路基板12側に配置される全体が板状のフロントコネクター20と、このフロントコネクター20の下側に積重されるように配置される全体が板状のバックアップコネクター30とよりなり、これらは各々独立に製作され、互いに分離可能に積重される構成とされている。
【0018】
フロントコネクター20は、適宜の樹脂よりなる絶縁性基板21を有し、この絶縁性基板21の上面を覆うよう、異方導電性エラストマー層22が積層して一体に設けられている。この異方導電性エラストマー層22には、各々厚み方向に伸び、隣接するものとは電気的に絶縁された状態の導電路形成部23が、回路基板12の被検査電極13と対応するパターン、すなわち被検査電極13のパターンと対掌的なパターンに従う形状および位置で、かつ僅かに外方に突出する状態で形成されている。絶縁性基板21の下面には、小さいピッチの微小基準格子点における適宜の位置に接触電極25が配置されて形成されている。
【0019】
また、絶縁性基板21の上面には、異方導電性エラストマー層22の導電路形成部23の直下領域全体に位置するよう上面電極24が形成されており、更に必要に応じて、この上面電極24に接続された上面配線部27が形成されている。また、絶縁性基板21の下面には、必要に応じて、接触電極25に接続された下面配線部28が形成されている。
【0020】
そして、当該絶縁性基板21を厚み方向に貫通して伸びる貫通導電路26が形成されており、これにより、異方導電性エラストマー層22の導電路形成部23と、例えばその直下位置またはその近傍位置に存在する接触電極25とが電気的に接続されている。
絶縁性基板21において、この貫通導電路26を形成する位置は、当該貫通導電路26が、上面電極24と接触電極25とを直接に接続する態様、上面配線部27と接触電極25とを直接に接続する態様、上面電極24と下面配線部28とを直接に接続する態様、および上面配線部27と下面配線部28とを直接に接続する態様となるいずれの位置であってもよい。
【0021】
バックアップコネクター30は、適宜の樹脂よりなる絶縁性基板31を有し、この絶縁性基板31の上面には、フロントコネクター20の接触電極25に対応して1または複数の異方導電性エラストマー層32の導電路形成部33の直下に位置するよう内面電極34が形成され、更に必要に応じて、内面電極34に接続された内面配線部37が形成されている。
【0022】
また、この内面電極34および内面配線部37が形成された絶縁性基板31の上面を全体にわたって覆うよう、異方導電性エラストマー層32が積層して一体に設けられている。この異方導電性エラストマー層32には、各々厚み方向に伸び、隣接するものとは電気的に絶縁された状態の多数の導電路形成部33が、フロントコネクター20の接触電極25に係る微小基準格子点に対応する基準格子点位置のすべてにおいて、僅かに上方に突出する状態で形成されている。
【0023】
また、絶縁性基板31の下面には、テスターの検査用接続部15における標準格子点位置に配置された接続用接点16に対応して、異方導電性エラストマー層32における導電路形成部33に係る基準格子点のピッチよりも大きいピッチの粗大基準格子点位置に配置された外面電極35が設けられており、必要に応じて、外面電極35に接続された外面配線部38が形成されている。
【0024】
そして、当該絶縁性基板31を厚み方向に貫通して伸びる貫通導電路36が形成されており、これにより、内面電極34と外面電極35とが電気的に接続されている。
絶縁性基板31において、この貫通導電路36を形成する位置は、当該貫通導電路36が、内面電極34と外面電極35とを直接に接続する態様、内面配線部37と外面電極35とを直接に接続する態様、内面電極34と外面配線部38とを直接に接続する態様、および内面配線部37と外面配線部38とを直接に接続する態様となるいずれの位置であってもよい。
【0025】
以上において、フロントコネクター20の絶縁性基板21およびバックアップコネクター30の絶縁性基板31の材質は、いずれも寸法安定性の高い耐熱性材料であることが好ましく、各種の樹脂を使用することができるが、特にガラス繊維補強型エポキシ樹脂が最適である。
【0026】
バックアップコネクター30の異方導電性エラストマー層32は、絶縁性基板31の表面に一体的に接着乃至密着した状態で形成されている。この異方導電性エラストマー層32は、図2に示すように、各々絶縁性の弾性高分子物質E中に導電性粒子Pが密に充填されてなる多数の導電路形成部33が、隣接するもの同士が相互に絶縁部40によって絶縁された状態とされている。各導電路形成部33においては、導電性粒子Pが厚さ方向に並ぶよう配向されており、厚さ方向に伸びる導電路が形成されている。この導電路形成部33は、厚さ方向に加圧されて圧縮されたときに抵抗値が減少して導電路が形成される、加圧導電部であってもよい。これに対して、絶縁部40は、加圧されたときにも厚さ方向に導電路が形成されないものである。
【0027】
図示の例においては、異方導電性エラストマー層32の外面において、導電路形成部33が絶縁部40の表面から突出する突出部を形成している。
このような構成によれば、当該異方導電性エラストマー層32が厚み方向に加圧されたときに圧縮の程度が絶縁部40より導電路形成部33において大きいため、十分に抵抗値の低い導電路が確実に形成され、これにより、加圧力の変化乃至変動に対して抵抗値の変動の程度を小さくすることができ、その結果、異方導電性エラストマー層32に作用される加圧力が不均一であっても、確実に所期の電気的な接続を達成することができる。
【0028】
導電路形成部33の突出部の突出高さhは、異方導電性エラストマー層32の全厚t(t=h+d、dは絶縁部40の厚さである。)の8%以上であることが好ましい。また、異方導電性エラストマー層32の全厚tは、導電路形成部33の中心間距離として定義される電極ピッチpの300%以下、すなわちt≦3pであることが好ましい。このような条件が充足されることにより、導電路形成部33に作用される加圧力が変化した場合にも、それによる導電路形成部33の導電性の変化が十分に小さく抑制されるからである。
【0029】
導電路形成部33の突出部の平面における全体が導電性を有することは必ずしも必要ではなく、例えば突出部の周縁には、電極ピッチの20%以下の導電路非形成部分が存在していてもよい。
また、隣接する導電路形成部33相互間の離間距離rの最小値は、当該導電路形成部33の幅Rの10%以上であることが好ましい。このような条件が満足されることにより、加圧されて突出部が変形したときの横方向の変位が原因となって隣接する導電路形成部33同士が電気的に接触するおそれを十分に回避することができる。
以上の例において、導電路形成部33の平面形状は必要な面積を有する円形、その他の適宜の形状とすることができる。
【0030】
導電路形成部33における導電性粒子Pとしては、例えばニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属の粒子もしくはこれらの合金の粒子、またはこれらの粒子に金、銀、パラジウム、ロジウムなどのメッキを施したもの、非磁性金属粒子もしくはガラスビーズなどの無機質粒子またはポリマー粒子にニッケル、コバルトなどの導電性磁性体のメッキを施したものなどを挙げることができる。
【0031】
導電性粒子の粒径は、導電路形成部33の加圧変形を容易にし、導電路形成部33において導電性粒子間に十分な電気的な接触が得られるよう、3〜200μmであることが好ましく、特に10〜100μmであることが好ましい。
【0032】
導電路形成部33を構成する絶縁性で弾性を有する高分子物質Eとしては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。架橋高分子物質を得るために用いることができる硬化性の高分子物質用材料としては、例えばシリコーンゴム、ポリブタジエン、天然ゴム、ポリイソプレン、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、クロロプレンゴム、エピクロルヒドリンゴム、軟質液状エポキシ樹脂などを挙げることができる。
【0033】
具体的には、硬化処理前には液状であって、硬化処理後に絶縁性基板31と密着状態または接着状態を保持して一体となる高分子物質用材料が好ましい。このような観点から、好適な高分子物質用材料としては、液状シリコーンゴム、液状ウレタンゴム、軟質液状エポキシ樹脂などを挙げることができる。高分子物質用材料には、異方導電性エラストマー層32の絶縁性基板31に対する接着性を向上させるために、シランカップリング剤、チタンカップリング剤などの添加剤を添加することができる。
【0034】
絶縁部40を構成する材料としては、導電路形成部33を構成する高分子物質と同一のものまたは異なるものを用いることができるが、同様に硬化処理後に絶縁性基板31と密着状態または接着状態を保持して絶縁性基板31と一体となるものが用いられる。
【0035】
フロントコネクター20の異方導電性エラストマー層22も、絶縁性基板21の表面に一体的に接着乃至密着した状態で形成されている。この異方導電性エラストマー層22は、その導電路形成部23の位置および平面形状が回路基板12の被検査電極13に対応した位置および形状とされることを除き、基本的に、上述のようなバックアップコネクター30の異方導電性エラストマー層32と同様の構成を有するものとすることができる。
【0036】
以上のような構成のアダプター装置は、バックアップコネクター30の上にフロントコネクター20が互いに位置決めされて積重された状態で、フロントコネクター20の異方導電性エラストマー層22の上面側に検査対象である回路基板12が位置され、またバックアップコネクター30の下面側にテスターの検査用接続部15が位置されることとなるよう配設される。そして、適宜の挟圧手段により、フロントコネクター20およびバックアップコネクター30が、回路基板12とテスターの検査用接続部15との間に厚み方向(図1で上下方向)に挟圧された状態とされる。
【0037】
このような状態においては、回路基板12の被検査電極13は、フロントコネクター20における異方導電性エラストマー層22の導電路形成部23に押圧され、これにより、貫通導電路26を介して接触電極25に電気的に接続された状態となる。同時に、フロントコネクター20の接触電極25は、バックアップコネクター30の異方導電性エラストマー層32の導電路形成部33に押圧され、これにより、内面電極34および貫通導電路36を介して外面電極35に電気的に接続された状態となる。そして、この外面電極35はテスターの検査用接続部15に対接されて電気的に接続した状態とされる。
【0038】
その結果、回路基板12の被検査電極13が、フロントコネクター20およびバックアップコネクター30よりなるアダプター装置10により、テスターの検査用接続部15に電気的に接続された状態が実現され、この状態で、当該回路基板12における被検査電極13についての電気的な接続状態の検査がテスターにより行われる。
このとき、回路基板12の被検査電極13が位置する面に直接対接されるものが、柔軟で弾性に富んだ異方導電性エラストマー層22であるため、当該被検査電極13および回路基板12の表面が損傷されることがない。
【0039】
上記の構成のアダプター装置においては、フロントコネクター20とバックアップコネクター30とが互いに独立したものとして構成されているため、その各々における絶縁性基板の両面のいずれをも配線部形成面として利用することができる。すなわち、図1の例では、フロントコネクター20の絶縁性基板21には上面配線部27および下面配線部28を形成することができ、バックアップコネクター30の絶縁性基板31には内面配線部37および外面配線部38を形成することができる。
【0040】
しかも、各絶縁性基板21,31においては、貫通導電路26および貫通導電路36を形成するためには、絶縁性基板21,31の各々の全体を貫通するホールを形成してこれを利用することができるから、積層された複数の絶縁層の全部を連続して直線的に貫通するスルーホールを形成するようなことは必要でなく、従って、配線の自由度を大きく得ながらしかも全体の製作が容易でコストが低いものとなる。
【0041】
このことは、例えば上記参考例のアダプター装置を、図4の構成と比較するときに一層明らかとなる。すなわち、上記参考例のアダプター装置においては、配線部形成面として利用することのできる面は、絶縁性基板21,31の各々の両面であって合計4面であり、しかも貫通導電路26のために単に1枚の絶縁性基板を貫通するホールを形成すれば十分である。
一方、図4の例においては、配線部形成面として利用することのできる面は、表面絶縁層61の表面、表面絶縁層61と中間絶縁層62の内面、中間絶縁層62と裏面絶縁層63の内面、および裏面絶縁層63の表面の合計4面であるが、複数の絶縁性基板の全部を連続して伸びるようなスルーホールを形成することが必要であり、あるいは行き止まり状のブラインドホールを形成することが必要となる。
【0042】
また、バックアップコネクター30においては、その異方導電性エラストマー層32の導電路形成部33の位置が、フロントコネクター20の接触電極25に係る微小基準格子点に対応した基準格子点位置とされると共に、外面電極35の位置が、導電路形成部33に係る基準格子点のピッチより大きい粗大基準格子点位置とされているので、回路基板12の被検査電極13の配置が微細で高密度であっても、その各々が、確実にテスターの検査用接続部15に電気的に接続された状態を容易に達成することができ、従って高い解像度が得られると共に高い信頼性が得られる。
【0043】
上記の構成によるアダプター装置の具体的な一例において、接触電極25に係る微小基準格子点のピッチは0.2mm、外面電極35に係る粗大基準格子点のピッチは2.54mmであるが、これらは自由に設定しあるいは変更することができる。
【0044】
更に、多数回にわたって検査が行われると、回路基板が繰り返し対接されて押圧されるフロントコネクター20の異方導電性エラストマー層22は次第に損耗するようになるが、フロントコネクター20はバックアップコネクター30から分離可能に構成されているため、アダプター装置の全体を交換する必要がなく、フロントコネクター20のみを交換すればバックアップコネクター30はそのまま使用可能であるので、経済的に初期のアダプター装置の機能を回復させることができる。
【0045】
上記参考例のアダプター装置におけるフロントコネクターおよびバックアップコネクターは、いずれも単一の絶縁性基板を基体として有するものであって他の絶縁性基板が一体に積層されたものでないため、反りなどの変形を生ずるおそれが非常に小さくて常に高い平板性および高い寸法安定が得られると共に、いずれも異方導電性エラストマー層を有するものであることにより、検査対象回路基板とテスターの検査用接続部との間に複数のエラストマー層が介在されることとなり、その結果、当該回路基板、当該フロントコネクターおよびバックアップコネクター、テスターの検査用接続部などにおける面方向の寸法の変位を十分に吸収することができるため、回路基板とテスターの検査用接続部との間で良好な挟圧状態を達成することができ、このことからも、高い信頼性をもって所期の検査を行うことができる。
【0046】
また、異方導電性エラストマー層22,32はいずれも絶縁性基板21,31と一体に形成されたものであるため、温度変化による熱履歴などの環境の変化に対しても、当該異方導電性エラストマー層22,32と絶縁性基板21,31との間で位置ズレなどの変位が生ずることがない。
【0047】
以上において、フロントコネクターの異方導電性エラストマー層は、その導電路形成部の各々がその周囲から突出した状態に形成されているものに限られるものではなく、平坦な表面を有するものであってもよい。
また、フロントコネクターとバックアップコネクターにおいて、両者の異方導電性エラストマー層が基本的に同様の構成を有するものであることは必須のことではなく、それぞれ、目的に応じて適宜の構成のものを用いることができる。
【0048】
以上の参考例においては、フロントコネクター20とバックアップコネクター30との間、またはバックアップコネクター30とテスターの検査用接続部との間に、その厚み方向に導電路を有する適宜の異方導電性コネクター、例えば上記フロントコネクター20またはバックアップコネクター30と同様の構成のコネクターを追加的に配設することもでき、この場合には、各コネクターの電極ピッチを適切に設定することにより、一層高い解像度を得ることが可能である。
【0049】
本発明のアダプター装置が用いられるテスターおよびその検査用接続部は特に限定されるものではなく、回路基板との間に、本発明のアダプター装置を挟圧することができるものであればよい。また、テスターの検査用接続部は、テスター本体に一体に設けられたものである必要はなく、テスターに電気的に接続された独立的な構成のものであってもよい。
【0050】
本発明のアダプター装置は、各々形状または寸法の異なる複数のフロントコネクターを積重してフロントコネクター複合体を構成させることにより、いわゆる掘込み回路基板のように、異なるレベルに複数の電極配置面が設けられている回路基板を検査対象とするものである。
【0051】
図5は掘込み回路基板の基本的構成を示す説明用斜視図、図6は、図5の掘込み回路基板における集積回路チップの配置およびワイアリングについての説明用断面図である。
図示の例の掘込み回路基板70は、全体が例えば矩形の板状の多層配線板であって、その一面の中央領域には、当該回路基板70の外形寸法より小さい寸法の平面矩形の第1の凹所71Aが形成されており、その結果として当該一面に残存する領域により、当該第1の凹所71Aの開口を包囲する矩形枠状の第1電極配置面70Aが形成されている。
【0052】
この第1の凹所71Aの底面には、その中央領域に当該第1の凹所71Aの寸法より小さい寸法の平面矩形の第2の凹所71Bが形成されることにより、外周領域に矩形枠状の第2電極配置面70Bが残されて形成されている。更に、この第2の凹所71Bの底面には、同様にして、一層寸法の小さい平面矩形の第3の凹所71Cが形成されることにより、矩形枠状の第3電極配置面70Cが形成されている。
そして、この第3の凹所71Cの底面には、当該第3の凹所71Cの寸法より小さい矩形の中央貫通孔72が形成されることにより、矩形枠状のチップ配置段73が残されて形成されている。
【0053】
このような構成の掘込み回路基板70においては、図6に示すように、チップ配置段73の段面上にいわゆる裸の集積回路チップ80が配置されて固定され、当該集積回路チップ80の所定の電極が、適宜のワイアリング75を介して、合計3つの電極配置面70A〜70Cのうちのいずれかに形成された対応する端子電極76A〜76Cに電気的に接続される。
【0054】
従って、掘込み回路基板70においては、その一面に形成されるべき電極配置面が複数(図示の例では3つ)の面部分に分割されて、それらが各々階段状に異なるレベルにおいて集積回路チップ80を包囲する状態となる。このため、当該掘込み回路基板70が多層配線板として構成されることにより、微細で配置密度の高い集積回路チップ80の電極に対して、ワイアリング75により、確実に所期の電気的な接続を達成することが可能となる。
【0055】
しかしながら、このような掘込み回路基板70に対しては、複数の電極配置面が当該基板の厚さ方向に異なるレベルに設けられているため、一平面上に配置された被検査電極に対接するよう構成されている通常の回路基板検査装置では、その検査用接続部を、すべての電極配置面の被検査電極に対し、一斉にあるいは同時に電気的に接続した状態を実現することが非常に困難である。このため、実際には、個々の電極配置面毎に検査を行うことが必要となり、その結果、検査の効率がきわめて低いものとなってしまう問題点がある。
【0056】
然るに本発明によれば、以下に詳述するように、掘込み回路基板に対しても、これを検査対象回路基板として、きわめて容易に所期の検査を実行することができる回路基板検査用アダプター装置を構築することができる。
【0057】
図3は、掘込み回路基板の検査に適用し得るよう構成された本発明回路基板検査用アダプター装置の一例を示す説明用断面図である。この図3において、掘込み回路基板70は、各電極配置面70A〜70Cが下方を向いた状態に示されており、これらの各々には、被検査電極77A〜77Cが僅かに突出するよう形成されている。
【0058】
そして、中央貫通孔72内には、その深さと同等の厚みを有するバックアップスペーサ82が配置され、第3の凹所71C内には、当該第3の凹所71Cに適合する形状を有する模擬チップ83が配置されている。77Dは、後に配置される集積回路チップに接続されるアース電極である。
【0059】
掘込み回路基板70の第2の凹所71B内には、当該第2の凹所71Bに適合する形状を有する第3のフロントコネクター20Cが配置され、当該第3のフロントコネクター20Cの中央領域が模擬チップ83に対向すると共に、外周領域が第3電極配置面70Cに対向した状態とされる。
また、第1の凹所71A内には、当該第1の凹所71Aに適合する形状を有する第2のフロントコネクター20Bが配置され、当該第2のフロントコネクター20Bの中央領域が第3のフロントコネクター20Cに対向すると共に、外周領域が第2電極配置面70Bに対向した状態とされる。
更に、この第2のフロントコネクター20Bおよび第1電極配置面70Aの外面側に第1のフロントコネクター20Aが配置され、当該第1のフロントコネクター20Aの中央領域が第2のフロントコネクター20Bに対向すると共に、外周領域が第1電極配置面70Aに対向した状態とされる。
【0060】
そして、第1のフロントコネクター20Aの外面側には、バックアップコネクター30が配置され、これを介してテスターの検査用接続部15が配置されている。90は押圧用弾性体である。
【0061】
第1のフロントコネクター20A〜第3のフロントコネクター20Cは、既述のフロントコネクターと同様の基本的構成を有するものであり、絶縁性基板とこれに一体的に設けられた異方導電性エラストマー層とよりなり、当該異方導電性エラストマー層には、外周領域において、対応する被検査電極と一致するパターンで導電路形成部が形成されている。すなわち、第1のフロントコネクター20Aの外周領域には第1電極配置面70Aの被検査電極77Aと、第2のフロントコネクター20Bの外周領域には第2電極配置面70Bの被検査電極77Bと、並びに第3のフロントコネクター20Cの外周領域には第3電極配置面70Cの被検査電極77Cと、それぞれ一致するパターンで導電路形成部が設けられている。
【0062】
このような構成によれば、全体が押圧用弾性体90などを介して押圧された状態において、第3のフロントコネクター20Cは、その外周領域において第3電極配置面70Cに直接対接されて被検査電極77Cに弾性的に接触することとなり、結局、当該被検査電極77Cに対して既述のフロントコネクターとしての機能を発揮する。
また、第2のフロントコネクター20Bは、その外周領域において第2電極配置面70Bに直接対接されて被検査電極77Bに弾性的に接触することとなり、結局、当該被検査電極77Bに対してフロントコネクターとしての機能を発揮すると共に、同時に第3のフロントコネクター20Cに対してバックアップコネクターとしての機能を発揮する。
更に、第1のフロントコネクター20Aも同様に、その外周領域において第1電極配置面70Aに直接対接されて被検査電極77Aに弾性的に接触することとなり、結局、当該被検査電極77Aに対してフロントコネクターとしての機能を発揮すると共に、同時に第2のフロントコネクター20Bに対してバックアップコネクターとしての機能を発揮する。
【0063】
以上のように、上記の回路基板検査用アダプター装置によれば、互いに異なるレベルに位置された複数の電極配置面に被検査電極が設けられている検査対象回路基板に対しても、複数のフロントコネクターを積重して配置することにより、いずれかのフロントコネクターの前面の少なくとも一部がいずれかの電極配置面に直接対接する状態を得ることができる結果、すべての電極配置面に対して所期の電気的な接続が達成された状態を確実に、かつきわめて容易に実現することができる。
すなわち、いわゆる掘込み回路基板を検査対象回路基板とする場合において、当該掘込み回路基板の段の数、段の高さ、形状などは区々であるが、本発明の構成によれば、実際の検査対象回路基板の状態に対応して、フロントコネクターの数、その各々の形状を適宜選定してこれらを積重するように組み合わせてフロントコネクター複合体を構成することにより、確実に検査対象回路基板の電極配置面に対応した対接面を有する回路基板検査用アダプター装置を構築することができる。
【0064】
【発明の効果】
参考例の回路基板検査用アダプター装置によれば、検査対象である回路基板の被検査電極が、ピッチが微小な高密度の複雑なパターンによる微細なものである場合にも、フロントコネクターとバックアップコネクターを介して、テスターの検査用接続部に対する当該回路基板の所要の電気的接続を確実に達成することができる。
【0065】
また、参考例の回路基板検査用アダプター装置によれば、フロントコネクターとバックアップコネクターとが互いに分離可能であるため、フロントコネクターの表面を形成する異方導電性エラストマー層が損耗した場合には、フロントコネクターのみを交換すればよく、バックアップコネクターはなお継続して使用することができるので、経済的に初期の機能を回復することができる。
また、フロントコネクターおよびバックアップコネクターは、そのいずれにおいても、絶縁層は絶縁性基板による1層のみであって貫通導電路はスルーホールによって形成されているので、その製作が容易で製作コストが低く、しかも全体としては実質的に多層配線構造が達成されるので、非常に大きい配線の自由度が得られ、集積度の高い回路基板の検査に十分に対応することができる。
【0066】
そして、本発明の回路基板検査用アダプター装置によれば、各々形状または寸法の異なる複数のフロントコネクターを積重してフロントコネクター複合体を構成させることにより、いわゆる掘込み回路基板のように、異なるレベルに複数の電極配置面が設けられている回路基板を検査対象とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 参考例である回路基板検査用アダプター装置の構成の概略を、検査対象回路基板の一部、並びにテスターの検査用接続部と共に示す説明用断面図である。
【図2】図1のアダプター装置における異方導電性エラストマー層部分の一例の説明用拡大断面図である。
【図3】掘込み回路基板を検査対象回路基板とする場合などに好適な、複数のフロントコネクターによりフロントコネクター複合体が構成されている本発明の回路基板検査用アダプター装置の構成を示す説明用断面図である。
【図4】多層配線型コネクターについての説明図であって、(イ)はスルーホールが形成されており、(ロ)はブラインドホールが形成されている。
【図5】掘込み回路基板の基本的構成を示す説明用斜視図である。
【図6】図5の掘込み回路基板における集積回路チップの配置およびワイアリングについての説明用断面図である。
【符号の説明】
10 アダプター装置 12 回路基板
13 被検査電極 15 検査用接続部
20 フロントコネクター 20A 第1のフロントコネクター
20B 第2のフロントコネクター 20C 第3のフロントコネクター
21 絶縁性基板 22 異方導電性エラストマー層
23 導電路形成部 24 上面電極
25 接触電極 26 貫通導電路
27 上面配線部 28 下面配線部
30 バックアップコネクター 31 絶縁性基板
32 異方導電性エラストマー層 33 導電路形成部
34 内面電極 16 接続用接点
35 外面電極 36 貫通導電路
37 内面配線部 38 外面配線部
40 絶縁部 P 導電性粒子
E 高分子物質 60 多層配線型コネクター
61 表面絶縁層 A,B 表面電極
62 中間絶縁層 63 裏面絶縁層
N 配線禁止部位 S1 表面配線部
S2,S3 面内配線部 S4 裏面配線部
T1,T2,T3 貫通配線部 Ta 全層貫通配線部
Tb 局部層貫通配線部 70 掘込み回路基板
70A 第1電極配置面 70B 第2電極配置面
70C 第3電極配置面 71A 第1の凹所
71B 第2の凹所 71C 第3の凹所
72 中央貫通孔 73 チップ配置段
75 ワイアリング 76A〜76C 端子電極
77A〜77C 被検査電極 77D アース電極
80 集積回路チップ 82 バックアップスペーサ
83 模擬チップ 90 押圧用弾性体[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a circuit board inspection adapter device used for electrically connecting a circuit board to a tester for the purpose of inspecting a circuit board such as a printed circuit board.
[0002]
[Prior art]
In general, on the surface of a circuit board such as a printed circuit board, various electronic functional elements are formed with a considerably high degree of integration, and each element and each element are electrically connected to the peripheral lead electrode. Wiring portions for connection are similarly formed at a high density. And about such a circuit board, when the manufacture is completed, in order to confirm that the circuit which exhibits an expected function is completed, the element part, the wiring part, the lead electrode in the circuit board It is necessary to check whether an appropriate portion of the conductive portion such as a portion is electrically connected to or insulated from other predetermined portions.
[0003]
Such a circuit board is inspected by a tester. In order to perform this, a large number of electrodes to be inspected set in the conductive part of the circuit board can be electrically connected to the test connection part of the tester. An adapter device is used to achieve this. Various connectors can be used as the adapter device.
[0004]
However, at present, in the circuit board, the conductive parts such as functional elements are becoming finer and the degree of integration is considerably high, and accordingly, the density of the electrodes and wirings in the connector is also increased. For this reason, for example, multilayer wiring connectors have been used favorably for this reason.
This multilayer wiring type connector is formed by integrally laminating a plurality of insulating layers, a surface electrode corresponding to an electrode to be inspected of a circuit board to be inspected is formed on the surface of the laminated body, and a tester is formed on the back surface. Back surface electrodes corresponding to the contacts of the inspection connecting portion are formed, and the front surface electrode and the back surface electrode are arranged on the front surface, the back surface, and the in-plane wiring portion disposed between the respective layers, and The in-plane wiring portions are electrically connected by through wiring portions that connect each other.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the multilayer wiring type connector, as will be described in detail below, since a plurality of insulating layers are integrated, the density of the electrodes or wirings is sufficiently high for manufacturing reasons. There is a problem that it is not possible.
[0006]
For example, as shown in FIG. 4A, in the case of electrically connecting the surface electrode A formed on the surface of the
[0007]
In order to bypass the wiring-prohibited portion N or avoid contact with it and provide the connection wiring, the surface wiring portion S1, the in-plane wiring portion S2 between the
[0008]
However, the all-layer through wiring portion Ta related to the surface electrode B in the configuration of FIG. 4A is a conductive material that continuously penetrates all of the
[0009]
In order to alleviate such problems, as shown in FIG. 4 (b), it extends from the front surface or the back surface, but does not penetrate all the insulating layers, but is also called a dead-end blind hole as a hole. It is also known to form a local layer through wiring portion Tb by forming a via hole. According to such a configuration, the degree of freedom of wiring is increased as compared with the case of forming a through hole, but on the other hand, very precise control is required in a work for accurately forming a blind hole. Therefore, the production is not easy and the production cost is high.
[0010]
As described above, in the adapter device using the conventional multi-layer wiring type connector, a sufficiently large wiring degree of freedom cannot be obtained, so that sufficient resolution cannot be obtained, and as a result, sufficient for inspection of a circuit board having a high degree of integration. However, there is a problem that it is difficult to manufacture and the manufacturing cost is high if it is not possible to cope with it, or a relatively large degree of wiring freedom is obtained.
[0011]
In addition, as an adapter device using a multilayer wiring type connector, a device in which an anisotropic conductive elastomer layer is provided on the surface of the connector has been developed so that the inspected electrode of the circuit board to be inspected is not damaged. In such a configuration, when the anisotropic conductive elastomer layer is worn out due to contact of the circuit board to be inspected many times, the entire adapter device must be replaced. There is a problem that it is not economical.
[0012]
The present invention solves the above-described problems, and its purpose is to sufficiently cope with the inspection of a circuit board having a high degree of freedom, a high resolution, and a high degree of integration. Another object of the present invention is to provide an adapter device for inspecting a circuit board that can be manufactured easily and at a low manufacturing cost, and can economically recover its function when the anisotropic conductive elastomer layer on the surface is worn. .
[0013]
[Means for Solving the Problems]
The adapter device for circuit board inspection according to the present invention is interposed between the circuit board to be inspected and the test connection portion of the tester, and electrically connects the test electrode of the circuit board and the test connection portion of the tester. Circuit board inspection adapter device,
Arranged on the circuit board sideA front connector complex formed by stacking a plurality of plate-like front connectors, and the front connector complexStacked separately from each other,Front connector complexAnd a whole plate-like backup connector disposed between the test connection part of the tester and
Front connectorEach ofIs
(A) an insulating substrate having only one layer;
(B) An insulating substrate (a) is integrally laminated so as to cover the upper surface, and has a conductive path forming portion arranged corresponding to the inspected electrode of the circuit board, and is in contact with the circuit board. An anisotropic conductive elastomer layer;
(C) a contact electrode formed on the lower surface of the insulating substrate (a) and disposed at the position of a small reference lattice point with a small pitch;
(D) a through conductive path electrically connecting the conductive path forming part of the anisotropic conductive elastomer layer (b) and the contact electrode, which is formed by a through hole so as to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a);
With
The backup connector is
(A) an insulating substrate having only one layer;
(B) On the upper surface of the insulating substrate (a),Contact electrode on the underside of the front connector complexAn inner surface electrode formed at a position corresponding to
(C) Provided by being integrally laminated so as to cover the upper surface of the insulating substrate (a) on which the inner surface electrode is formedReference grid point position corresponding to the contact electrode on the lower surface of the front connector complexAnd having a conductive path forming part that forms a protruding part that is insulated from each other and protrudes from the surface of the insulating part.Front connector complexAn anisotropic conductive elastomer layer in contact with the lower surface of
(D) According to the conductive path forming portion in the anisotropic conductive elastomer layer (c) formed on the lower surface of the insulating substrate (a).Reference grid pointOuter surface electrodes arranged at coarse reference grid point positions with a pitch larger than the pitch of
(E) a through conductive path electrically connecting the inner surface electrode (b) and the outer surface electrode (d) formed by a through hole so as to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a);
With
The outer surface electrode (d) is electrically connected to the test connection of the testerIs,
The front connector composite is composed of a plurality of front connectors each having a different shape or size, and is used for inspecting a circuit board in which a plurality of electrode arrangement surfaces are provided at different levels.It is characterized by that.
[0016]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to the drawings.
FIG.Reference exampleFIG. 4 is a cross-sectional view for explaining the outline of the configuration of the circuit board
[0017]
The
[0018]
The
[0019]
Further, an
[0020]
Then, a through
In the insulating
[0021]
The
[0022]
Further, an anisotropic
[0023]
In addition, on the lower surface of the insulating
[0024]
A through
In the insulating
[0025]
In the above, it is preferable that the insulating
[0026]
The anisotropic
[0027]
In the illustrated example, the conductive
According to such a configuration, when the anisotropic
[0028]
Of the conductive path forming part 33The protrusion height h of the protrusion is preferably 8% or more of the total thickness t of the anisotropic conductive elastomer layer 32 (t = h + d, where d is the thickness of the insulating portion 40). The total thickness t of the anisotropic
[0029]
Of the conductive path forming part 33It is not always necessary that the entire surface of the protruding portion has conductivity. For example, a conductive path non-forming portion of 20% or less of the electrode pitch may exist on the periphery of the protruding portion.
Further, the minimum value of the separation distance r between the adjacent conductive
In the above example, the planar shape of the conductive
[0030]
As the conductive particles P in the conductive
[0031]
The particle diameter of the conductive particles is 3 to 200 μm so as to facilitate pressure deformation of the conductive
[0032]
As the insulating and elastic polymer substance E constituting the conductive
[0033]
Specifically, a polymer material that is in a liquid state before the curing process and is integrated with the insulating
[0034]
The material constituting the insulating portion 40 may be the same as or different from the polymer substance constituting the conductive
[0035]
The anisotropic
[0036]
The adapter device configured as described above is an inspection target on the upper surface side of the anisotropic
[0037]
In such a state, the
[0038]
As a result, the state in which the
At this time, since the anisotropically
[0039]
In the adapter device having the above-described configuration, the
[0040]
Moreover, in each of the insulating
[0041]
For example, thisReference exampleThis adapter device becomes more apparent when compared with the configuration of FIG. That is, the aboveReference exampleIn this adapter device, the surfaces that can be used as the wiring portion forming surfaces are both surfaces of each of the insulating
On the other hand, in the example of FIG. 4, the surfaces that can be used as the wiring portion forming surface are the surface of the
[0042]
Further, in the
[0043]
In a specific example of the adapter device having the above configuration, the pitch of the small reference lattice points related to the
[0044]
Further, when the inspection is performed many times, the anisotropic
[0045]
Of the above reference exampleThe front connector and the backup connector in the adapter device both have a single insulating substrate as a base and are not laminated with other insulating substrates, which may cause deformation such as warping. In addition to being able to obtain high flatness and high dimensional stability at all times, each of them has an anisotropic conductive elastomer layer, so that a plurality of elastomers are provided between the circuit board to be inspected and the test connection part of the tester. As a result, the circuit board, the front connector, the backup connector, the inspection connector of the tester, etc. can sufficiently absorb the displacement in the surface direction. A good clamping condition can be achieved with this inspection connection part. From also, it is possible to perform the desired inspection with high reliability.
[0046]
Further, since the anisotropic conductive elastomer layers 22 and 32 are both formed integrally with the insulating
[0047]
In the aboveThe anisotropic conductive elastomer layer of the front connector is not limited to one in which each of the conductive path forming portions protrudes from the periphery thereof, and may have a flat surface. .
Further, in the front connector and the backup connector, it is not essential that the anisotropic conductive elastomer layers of the both have basically the same configuration, and those having an appropriate configuration are used for each purpose. be able to.
[0048]
In the above reference example,An appropriate anisotropic conductive connector having a conductive path in the thickness direction between the
[0049]
Adapter device of the present inventionThe tester used and the inspection connectionIt is not specifically limited, What is necessary is just to be able to pinch the adapter apparatus of this invention between circuit boards. Moreover, the test connection portion for the tester does not need to be provided integrally with the tester body, and may be an independent configuration electrically connected to the tester.
[0050]
The adapter device of the present invention isA circuit board having a plurality of electrode arrangement surfaces at different levels, such as a so-called digging circuit board, by stacking a plurality of front connectors each having a different shape or size to form a front connector composite.Are subject to inspection.
[0051]
FIG. 5 is a perspective view for explaining the basic configuration of the digging circuit board, and FIG. 6 is a sectional view for explaining the arrangement and wiring of the integrated circuit chip in the digging circuit board of FIG.
The engraved
[0052]
On the bottom surface of the
Then, a rectangular central through
[0053]
In the engraved
[0054]
Accordingly, in the
[0055]
However, since the plurality of electrode arrangement surfaces are provided at different levels in the thickness direction of the substrate, such an engraved
[0056]
However, according to the present invention, as will be described in detail below, a circuit board inspection adapter that can perform a desired inspection very easily with respect to an engraved circuit board as a circuit board to be inspected. A device can be constructed.
[0057]
FIG. 3 is an explanatory cross-sectional view showing an example of the circuit board inspection adapter device of the present invention configured to be applicable to inspection of an engraved circuit board. In FIG. 3, the digging
[0058]
A
[0059]
In the
In addition, a second front connector 20B having a shape that fits the
Further, the first front connector 20A is arranged on the outer surface side of the second front connector 20B and the first
[0060]
A
[0061]
The first front connector 20A to the third front connector 20C have a basic configuration similar to that of the above-described front connector, and an insulating substrate and an anisotropic conductive elastomer layer provided integrally therewith. In the anisotropic conductive elastomer layer, a conductive path forming portion is formed in the outer peripheral region with a pattern that matches the corresponding electrode to be inspected. That is, the outer peripheral region of the first front connector 20A has an electrode to be inspected 77A on the first
[0062]
According to such a configuration, the third front connector 20C is in direct contact with the third
Further, the second front connector 20B is in direct contact with the second
Further, similarly, the first front connector 20A is also in direct contact with the first
[0063]
As described above, according to the above-described circuit board inspection adapter device, a plurality of fronts are also provided for a circuit board to be inspected in which electrodes to be inspected are provided on a plurality of electrode arrangement surfaces located at different levels. By stacking the connectors, it is possible to obtain a state in which at least a part of the front surface of any front connector is in direct contact with any electrode placement surface. It is possible to reliably and very easily realize the state in which the electrical connection is achieved.
That is, when a so-called digging circuit board is used as a circuit board to be inspected, the number of steps, the height, and the shape of the digging circuit board vary, but according to the configuration of the present invention, Corresponding to the state of the circuit board to be inspected, the number of front connectors and the shape of each of them are appropriately selected and combined so that these are stacked, so that the circuit to be inspected can be surely A circuit board inspection adapter device having a contact surface corresponding to the electrode arrangement surface of the substrate can be constructed.
[0064]
【The invention's effect】
Reference exampleAccording to this circuit board inspection adapter device, even if the electrodes to be inspected on the circuit board to be inspected are fine with a high-density complicated pattern with a small pitch, the front connector and the backup connector are used. Thus, the required electrical connection of the circuit board to the test connection of the tester can be reliably achieved.
[0065]
Also, for reference examplesAccording to the circuit board inspection adapter device, since the front connector and the backup connector can be separated from each other, when the anisotropic conductive elastomer layer forming the surface of the front connector is worn, only the front connector should be replaced. The backup connector can still be used continuously, so that the initial function can be restored economically.
Further, in both of the front connector and the backup connector, since the insulating layer is only one layer of the insulating substrate and the through conductive path is formed by the through hole, the manufacturing is easy and the manufacturing cost is low. Moreover, since a multilayer wiring structure is substantially achieved as a whole, a very large degree of wiring freedom can be obtained, and it can sufficiently cope with inspection of a circuit board having a high degree of integration.
[0066]
And according to the circuit board inspection adapter device of the present invention,By stacking a plurality of front connectors each having a different shape or size to form a front connector composite, a plurality of electrode arrangement surfaces are provided at different levels as in a so-called engraved circuit board.Circuit boardIt can be the subject of inspection.
[Brief description of the drawings]
[Figure 1]Reference exampleIt is sectional drawing for description which shows the outline of a structure of the adapter apparatus for circuit board inspection with a part of circuit board to be examined, and the test | inspection connection part of a tester.
FIG. 2 is an enlarged sectional view for explaining an example of an anisotropic conductive elastomer layer portion in the adapter device of FIG. 1;
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of an adapter device for circuit board inspection according to the present invention in which a front connector composite is constituted by a plurality of front connectors, which is suitable when an indented circuit board is a circuit board to be inspected. It is sectional drawing.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a multilayer wiring type connector, in which (a) shows a through hole and (b) shows a blind hole.
FIG. 5 is an explanatory perspective view showing a basic configuration of an engraved circuit board.
6 is a cross-sectional view for explaining the arrangement and wiring of integrated circuit chips on the engraved circuit board of FIG. 5. FIG.
[Explanation of symbols]
10
13 Inspected
20 Front connector 20A First front connector
20B Second front connector 20C Third front connector
21 Insulating
23 Conducting
25
27 Upper
30
32 Anisotropic
34
35
37
40 Insulating part P Conductive particle
61 Surface insulation layer A, B Surface electrode
62
N Wiring prohibited part S1 Surface wiring part
S2, S3 In-plane wiring part S4 Back wiring part
T1, T2, T3 Through wiring part Ta All layer through wiring part
Tb Local layer through
70A First
70C Third electrode arrangement surface 71A First recess
71B
72 Central through hole 73 Chip placement step
75 Wiring 76A-76C Terminal electrode
77A-77C Electrode to be inspected 77D Ground electrode
80
83
Claims (1)
回路基板側に配置される、全体が板状のフロントコネクターの複数が積重されて構成されたフロントコネクター複合体と、このフロントコネクター複合体と互いに分離可能に積重され、前記フロントコネクター複合体とテスターの検査用接続部との間に配置される全体が板状のバックアップコネクターとを有してなり、
前記フロントコネクターの各々は、
(a)1層のみの絶縁性基板と、
(b)絶縁性基板(a)の上面を覆うよう一体に積層して設けられ、回路基板の被検査電極と対応して配置された導電路形成部を有し、回路基板に対接される異方導電性エラストマー層と、
(c)絶縁性基板(a)の下面に形成された、ピッチの小さい微小基準格子点位置に配置された接触電極と、
(d)絶縁性基板(a)の厚み方向に伸びるようスルーホールによって形成された、異方導電性エラストマー層(b)の導電路形成部と接触電極とを電気的に接続する貫通導電路と
を備えてなり、
前記バックアップコネクターは、
(イ)1層のみの絶縁性基板と、
(ロ)絶縁性基板(イ)の上面において、前記フロントコネクター複合体の下面における接触電極に対応した位置に形成された内面電極と、
(ハ)内面電極が形成された絶縁性基板(イ)の上面を覆うよう一体に積層して設けられ、前記フロントコネクター複合体の下面における接触電極に対応する基準格子点位置に配置された、相互に絶縁部によって絶縁されると共に当該絶縁部の表面から突出する突出部を形成する導電路形成部を有し、前記フロントコネクター複合体の下面に対接される異方導電性エラストマー層と、
(ニ)絶縁性基板(イ)の下面に形成された、前記異方導電性エラストマー層(ハ)における導電路形成部に係る基準格子点のピッチよりも大きいピッチの粗大基準格子点位置に配置された外面電極と、
(ホ)絶縁性基板(イ)の厚み方向に伸びるようスルーホールによって形成された、内面電極(ロ)と外面電極(ニ)とを電気的に接続する貫通導電路と
を備えてなり、
前記外面電極(ニ)がテスターの検査用接続部に電気的に接続されるものであり、
フロントコネクター複合体が、各々形状または寸法が異なる複数のフロントコネクターによって構成されており、複数の電極配置面が異なるレベルに設けられている回路基板の検査に用いられることを特徴とする回路基板検査用アダプター装置。A circuit board inspection adapter device that is inserted between a circuit board to be inspected and an inspection connection part of a tester, and electrically connects an electrode to be inspected of the circuit board and an inspection connection part of the tester. There,
Are arranged on the circuit board side, the whole front connectors complexes plurality of plate-shaped front connector is configured by stacking, this front connector complex and are mutually separably stacked, the front connector complex And a whole plate-like backup connector disposed between the test connection part of the tester and
Each of the front connectors is
(A) an insulating substrate having only one layer;
(B) An insulating substrate (a) is integrally laminated so as to cover the upper surface, and has a conductive path forming portion arranged corresponding to the inspected electrode of the circuit board, and is in contact with the circuit board. An anisotropic conductive elastomer layer;
(C) a contact electrode formed on the lower surface of the insulating substrate (a) and disposed at the position of a small reference lattice point with a small pitch;
(D) a through conductive path electrically connecting the conductive path forming part of the anisotropic conductive elastomer layer (b) and the contact electrode, which is formed by a through hole so as to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a); With
The backup connector is
(A) an insulating substrate having only one layer;
(B) On the upper surface of the insulating substrate (A), an inner surface electrode formed at a position corresponding to the contact electrode on the lower surface of the front connector complex;
(C) It is integrally laminated so as to cover the upper surface of the insulating substrate (a) on which the inner surface electrode is formed, and is disposed at a reference lattice point position corresponding to the contact electrode on the lower surface of the front connector complex . An anisotropic conductive elastomer layer that is insulated from each other and has a conductive path forming portion that forms a protruding portion that protrudes from the surface of the insulating portion, and is in contact with the lower surface of the front connector complex;
(D) Arranged at coarse reference grid point positions having a pitch larger than the pitch of the reference grid points related to the conductive path forming portion in the anisotropic conductive elastomer layer (c) formed on the lower surface of the insulating substrate (a). An outer surface electrode,
(E) comprising a through conductive path electrically connecting the inner surface electrode (b) and the outer surface electrode (d) formed by a through hole so as to extend in the thickness direction of the insulating substrate (a);
The outer surface electrode (d) is electrically connected to the test connection of the tester ,
A circuit board inspection characterized in that the front connector composite is composed of a plurality of front connectors each having a different shape or size, and is used for inspection of a circuit board provided with a plurality of electrode arrangement surfaces at different levels. Adapter device.
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