JP3669131B2 - 静電マイクロリレーおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は静電マイクロリレー、特に、非線形のばね定数を有する可動接触片を備えた静電マイクロリレーに関する。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
従来、静電マイクロリレーとしては、例えば、ベースの上面に固定電極および固定接点を配置する一方、前記ベースの上方で略平行に対向するアクチュエータの下面側に可動電極を配置するとともに、この可動電極に絶縁膜を介して可動接点を配置したものが考えられている。
そして、対向する前記固定電極および可動電極間に電圧を印加すると、静電引力が生じる。このため、ベースの固定電極にアクチュエータの可動電極が吸引されてアクチュエータがベース側に弾性変形し、可動接点が固定接点に接触した後、可動電極が固定電極に吸着する。
【0003】
前述の静電マイクロリレーは、アクチュエータが均一、かつ、内実の断面形状を有している。そして、対向する固定電極および可動電極間に電圧を印加した場合における静電引力および変位の関係を図示すると、図11となる。一般に、アクチュエータのばね力は、静電引力の吸引力曲線の下方側で変化するように設計されている。
【0004】
一方、図11から明らかなように、従来のアクチュエータのばね定数は直線で示される線形である。このため、大きな接触荷重を確保すべく、アクチュエータのばね定数を大きくすると、図11においてばね定数を示す直線の傾斜角度が大きくなる。この結果、接点の突き出し量の許容値が小さくなり、接点摩耗によって接点寿命が短くなる。
逆に、接点の突き出し量の許容値を大きくすべく、アクチュエータのばね定数を小さくすると、図11においてばね定数を示す直線の傾斜角度が小さくなる。このため、所望の接触荷重が得られず、接触信頼性が低下するという問題点がある。
【0005】
本発明は、前記問題点に鑑み、接点寿命が長いとともに、所望の接触荷重を確保でき、接触信頼性の高い静電マイクロリレーを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる静電マイクロリレーは、前記目的を達成するため、ベースの上面に固定電極および固定接点を配置する一方、前記ベースの上方で略平行に対向するアクチュエータの可動接触片の下面側に、前記固定電極に対向する可動電極を形成するとともに、この可動電極の下面に絶縁膜を介して前記固定接点に対向する可動接点を配置し、前記固定電極および可動電極間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動接触片を駆動し、前記可動接点を前記固定接点に接離する静電マイクロリレーにおいて、前記可動接触片が、前記可動電極の上面に中間絶縁膜を介して補助ばね層を積層するととともに、前記中間絶縁膜のうち、前記可動接点の直上に位置する部分を部分的に除去して空隙部を形成した構成としてある。
【0007】
前記アクチュエータの可動接触片は、その両端部を支持された両端支持梁形状であってもよい。また、前記アクチュエータの可動接触片は、その一端部を支持した片持ち梁形状であってもよい。さらに、前記アクチュエータの可動接触片は、その周辺縁部を支持したダイヤフラム形状であってもよい。
【0008】
前記可動接触片は、その補助ばね層のうち、前記空隙部に接する部分を薄肉としてもよい。また、前記可動接触片は、その補助ばね層のうち、前記空隙部に接する部分に一対のスリットを設けてもよい。
【0009】
前記可動接触片の可動電極および補助ばね層は、シリコンウエハで形成してもよい。また、前記ベースは、ガラスウエハで形成しておいてもよい。
【0010】
前記空隙部が平面円形であるとともに、前記可動接点がリング形状であってもよい。
【0011】
前記可動電極および前記補助ばね層のうち、前記空隙部に面する部分の少なくともいずれか一方に貫通孔を設けておいてもよい。
【0012】
また、本発明にかかる静電マイクロリレーは、その目的を達成するため、ベースの上面に固定電極および固定接点を配置する一方、前記ベースの上方で略平行に対向し、かつ、中間層に中間絶縁膜を形成したアクチュエータの可動接触片の下面側に、前記固定電極に対向する可動電極を形成するとともに、この可動電極の下面に絶縁膜を介して前記固定接点に対向する可動接点を配置し、前記固定電極および前記可動電極間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動接触片を駆動し、前記可動接点を前記固定接点に接離する静電マイクロリレーの製造方法において、前記可動電極の上面に前記中間絶縁膜を介して補助ばね層を積層した後、前記中間絶縁膜のうち、前記可動接点の直上に位置する部分を連通孔を介して部分的に除去し、外部に連通する空隙部を形成する工程で製造してもよい。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明にかかる実施形態を図1ないし図10の添付図面に従って説明する。
第1実施形態にかかる静電マイクロリレーは、図1ないし図6に示すように、ベース10と、アクチュエータ20とからなるものである。
前記ベース10は、シリコンウエハ11の上面に形成した絶縁膜12の上に、一対の固定接点13,13(図1中、手前側の固定接点は図示せず)を形成するとともに、これらにそれぞれ電気接続したプリント配線(図示せず)および接続パッド14を形成したものである。さらに、前記固定接点13の近傍には、固定電極15を形成してある。
【0014】
前記アクチュエータ20は、絶縁膜21、可動電極22、中間絶縁膜23および補助ばね層24の4層構造であり、前記ベース10の上面周辺縁部に接合一体化することにより、密封した内部空間20aを形成する。
また、シリコンウエハからなる可動電極22の下面には絶縁膜21を介して可動接点26を設けてある。一方、前記中間絶縁膜23のうち、前記可動接点26の直上に位置する部分を部分的に除去することにより、空隙部27が形成されている。さらに、前記可動電極22の下面縁部が、ベース10の上面縁部に設けた接続パッド14に電気接続されている。
【0015】
次に、前述の構造を有する静電マイクロリレーの製造方法について説明する。
まず、図2(a)に示すように、下面にアライメントマーク用の凹部を形成した単結晶シリコンウエハ11の上面に熱酸化膜からなる絶縁膜12を形成する。そして、この絶縁膜12に2個の固定接点13,13(図2(b)中、手前側の固定接点は図示せず)を並設するとともに、前記固定接点13にそれぞれ電気接続したプリント配線(図示せず)および接続パッド14を設ける。さらに、前記固定接点13近傍に固定電極15およびこれに電気接続したプリント配線(図示せず)、接続パッド(図示せず)を形成する。
なお、固定接点等の形成方法としては、例えば、スパッタリング、蒸着などの半導体プロセスの他、スクリーン印刷が挙げられる。
したがって、シリコンウエハの上面縁部には4個の接続パッド14が形成される。
【0016】
次に、図3(a)に示すように、下面に酸化膜からなる中間絶縁膜23を形成した単結晶シリコンウエハ30にエッチング加工を施し、前記絶縁膜23の一部を除去して空隙部27を形成する。そして、前記絶縁膜23を介して別体の単結晶シリコンウエハ31を接合一体化する(図3(b))。さらに、前記シリコンウエハ31をウェットエッチングあるいはCMP(化学機械研磨)法等で10ないし20μmまで一様にシンニングする(図3(c))。ついで、前記シリコンウエハ31のうち、固定接点13、固定電極15およびプリント配線と重なる部分をエッチングで除去するとともに、凹所33を形成する(図3(d))。さらに、前記シリコンウエハ31の下面に酸化膜からなる絶縁膜21を形成した後、この絶縁膜21のうち、可動接触片25の可動電極22を電気接続するために部分的に除去し、可動電極22の縁部下面を露出させる(図3(e))。そして、前記絶縁膜21上に可動接点26を形成するとともに、絶縁膜21を除去した部分に中継用接続パッド27aを形成する(図3(f))。
【0017】
ついで、ベース10の絶縁膜12にアクチュエータ20となる前記シリコンウエハ30を直接接合一体化した後(図4(a))、シリコンウエハ30を所定の厚さまでCMP,エッチング等でシンニングする(図4(b))。そして、絶縁膜21,可動電極22,中間絶縁膜23および補助ばね層24を、エッチング,ダイシング等で部分的に除去し、アクチュエータ20から両端支持梁形状の可動接触片25を切り出すことにより、接続パッド14が露出し、本実施形態にかかる静電マイクロリレーが完成する(図4(c))。
【0018】
次に、前述の構造を有する静電マイクロリレーの動作について説明する。
接続パッド14を介して固定電極15および可動電極22に電圧が印加されていない場合には、可動接点26が固定接点13から開離している(図5(a))。
【0019】
そして、前記固定電極15および可動電極22間に電圧を印加すると、両者間に静電引力が生じる。このため、アクチュエータ20の可動電極22が吸引されて可動接触片25が下方側に膨らみ、可動接点26が固定接点13に接触する(図5(b))。このとき、可動接触片25のばね定数は図6中の(I)となる。さらに、可動接触片25が静電引力で吸引され、撓んだ可動電極22の弾性変形部28が補助ばね層24の天井面に当接した後(図5(c))、補助ばね層24を上方に押し上げる。このため、可動接触片25のばね定数が増大して図6中の(II)となる。さらに、可動電極22の弾性変形部28が補助ばね層24を上方に押し上げ(図5(d))、可動電極22が絶縁膜21を介して固定電極15に吸着する。
【0020】
ついで、前述の電圧の印加を解除すると、静電引力が消失するので、アクチュエータ20が自己のばね力で弾性復帰し、前述の動作と逆の動作を繰り返して元の状態に復帰する。
【0021】
第2実施形態は、図7に示すように、アクチュエータ20に略コ字形状のスリット29を設けて可動接触片25を片持ち梁形状とした場合であり、第1実施形態と同一部分に同一番号を付して説明する。
なお、本実施形態にかかる静電マイクロリレーの製造方法は前述の第1実施形態とほぼ同様であるので、説明を省力する。
【0022】
この実施形態の動作について説明する。
接続パッド14を介して固定電極15および可動電極22に電圧が印加されていない場合には、可動接点26が固定接点13から開離している。
【0023】
そして、前記固定電極15および可動電極22間に電圧を印加することにより、静電引力が生じる。このため、可動接触片25の可動電極22が吸引されて下方側にたわみ、可動接点26が固定接点13に接触する。この結果、可動接触片25のばね定数が増大する。さらに、可動接触片25が静電引力で吸引され、可動電極22の弾性変形部28が上方に撓んで補助ばね層24の天井面に当接するので、可動接触片25のばね定数がより一層増大する。このため、弾性変形部28が補助ばね層24を上方に押し上げて弾性変形させ、可動電極22が絶縁膜21を介して固定電極15に吸着する。
【0024】
ついで、前述の電圧の印加を解除すると、静電引力が消失するので、可動接触片25自身のばね力によって弾性復帰し、前述の動作と逆の動作を繰り返して元の状態に復帰する。
【0025】
本実施形態によれば、アクチュエータ20に略コ字形状のスリットを設けて片持ち梁形状となっているので、小さな駆動力で可動接触片25を駆動でき、駆動電圧を低減できるという利点がある。
【0026】
第3実施形態は、図8に示すように、アクチュエータ20に平面円形の空隙部27を形成するとともに、リング形状の可動接点26を設けた場合である。そして、前記弾性変形部28および絶縁膜21のうち、前記リング形状の可動接点26の中心に位置する部分に、前記空隙部27に連通する貫通孔28aを設けてある。
【0027】
本実施形態によれば、貫通孔28aを介して空隙部27を形成できるので、空隙部27内が負圧になることがない。このため、弾性変形部28に歪みが生じない。また、前記空隙部27内における空気の出入りが自由となり、弾性変形部28の変形が容易となるので、動作特性が向上するという利点がある。
【0028】
第4実施形態は、図9に示すように、ガラスウエハ16からなるベース10に、片持ち梁形状のアクチュエータ20を接合一体化した場合である。
前記ベース10の上面には、固定接点13、絶縁膜17で被覆された固定電極15および接続パッド14が設けられている。
一方、アクチュエータ20は、可動電極22、中間絶縁膜23および補助ばね層24の3層構造からなるものである。そして、前記可動電極22の下面に絶縁膜21を介して可動接点26を設けてある一方、補助ばね層24のうち、可動接点26の上方に位置する部分に薄肉部24aを形成し、弾性変形容易としてある。
【0029】
本実施形態によれば、薄肉部24aを設けることにより、弾性変形の微調整が容易となるので、所望のばね特性を有する可動接触片25が得られるという利点がある。
【0030】
第5実施形態は、図10(a),(b)に示すように、アクチュエータ20の補助ばね層24に一対のスリット24b,24bを設けることにより、前記可動接点26の上方に両端支持された弾性梁部24cを形成した場合である。
本実施形態によれば、弾性梁部24cにより、所望のばね特性を有する可動接触片25が得られるとともに、弾性梁部24cの形状を選択することにより、可動接触片25のばね定数を所望の値に変更できるという利点がある。
【0031】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の請求項1によれば、可動接触片のばね定数が2段階に変化して非線形となる。このため、吸引力特性を示すグラフ図においては、可動接触片のばね定数が従来例よりも静電引力の曲線に沿った折れ線となる。この結果、接点突き出し量の許容値が大きくなり、接点寿命が長くなるとともに、所定の接触信頼性が得られる。
接点突き出し量の許容値を大きくできるので、高精度のプロセス制御が不要となり、歩留まりが改善され、生産性が向上する。
【0032】
請求項2によれば、アクチュエータの可動接触片が両端支持梁形状であるので、前述の効果に加え、外部からの振動等によっても、誤動作が生じにくい。このため、開閉動作の安定した静電マイクロリレーが得られる。
請求項3によれば、アクチュエータの可動接触片が片持ち梁形状であるので、変形しやすい。このため、小さな駆動力でアクチュエータを駆動でき、動作電圧を低減できる。
請求項4によれば、アクチュエータの可動接触片がダイヤフラム形状であるので、密封した空間内で可動接点を固定接点に接離でき、シール性質の高い静電マイクロリレーが得られる。
また、補助ばね層の一部を薄肉とすれば、弾性変形の微調整が容易となる。このため、所望のばね特性を有する可動接触片がより一層得やすくなる。
さらに、補助ばね層に一対のスリットを形成すれば、弾性変形の微調整が容易となる。このため、所望のばね特性を有する可動接触片がより一層得やすくなる。
そして、アクチュエータの可動電極および補助ばね層をシリコンウエハで形成すれば、アクチュエータを半導体プロセスで製造でき、軽く、寸法精度の高いアクチュエータが得られる。
あるいは、ベースをガラスウエハで形成すれば、ベースの上面に絶縁膜を形成する必要がなくなり、生産性が向上する。
ついで、平面円形の空隙部の下方側にリング形状の可動接点を同一軸心上に配置しておけば、可動電極が均等にたわむので、可動接点の片当たりがなくなり、接触信頼性がより一層向上する。
また、可動電極および補助ばね層のうち、前記空隙部に面する部分の少なくともいずれか一方に貫通孔を設けておけば、空隙部内への空気の出入りが容易となり、可動電極の弾性変形が容易となるので、動作特性が向上する。
【0033】
請求項5によれば、空隙部が外部と連通しているので、空隙部内が負圧になることがない。このため、可動接触片を形成する可動電極の一部が空隙部の内側に凹むことがなく、設計値通りの動作を確保できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態を示す断面図である。
【図2】 図1で示したベースの製造を示すプロセス図である。
【図3】 図1で示したアクチュエータとなるシリコンウエハに対するプロセス処理を示すプロセス図である。
【図4】 ベースとアクチュエータとの接合一体化を示すプロセス図である。
【図5】 図1に示した静電マイクロリレーの動作を説明するための部分断面図である。
【図6】 静電引力とばね反力との関係を示すグラフ図である。
【図7】 本発明の第2実施形態を示す断面図である。
【図8】 本発明の第3実施形態を示す部分底面図である。
【図9】 本発明の第4実施形態を示す断面図である。
【図10】 本発明の第5実施形態を示し、図10(a)は要部断面図、図10(b)は要部平面図である。
【図11】 従来例にかかる静電マイクロリレーの静電引力とばね力との関係を示すグラフ図である。
【符号の説明】
10…ベース、11…シリコンウエハ、13…固定接点、14…接続パッド、15…固定電極、20…アクチュエータ、21…絶縁膜、22…可動電極、23…中間絶縁膜、24…補助ばね層、25…可動接触片、26…可動接点、27…空隙部、28…弾性変形部。
Claims (5)
- ベースの上面に固定電極および固定接点を配置する一方、前記ベースの上方で略平行に対向するアクチュエータの可動接触片の下面側に、前記固定電極に対向する可動電極を形成するとともに、この可動電極の下面に絶縁膜を介して前記固定接点に対向する可動接点を配置し、前記固定電極および可動電極間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動接触片を駆動し、前記可動接点を前記固定接点に接離する静電マイクロリレーにおいて、
前記可動接触片が、前記可動電極の上面に中間絶縁膜を介して補助ばね層を積層するととともに、前記中間絶縁膜のうち、前記可動接点の直上に位置する部分を部分的に除去して空隙部を形成したことを特徴とする静電マイクロリレー。 - 前記アクチュエータの可動接触片が、その両端部を支持された両端支持梁形状であることを特徴とする請求項1に記載の静電マイクロリレー。
- 前記アクチュエータの可動接触片が、その一端部を支持した片持ち梁形状であることを特徴とする請求項1に記載の静電マイクロリレー。
- 前記アクチュエータの可動接触片が、その周辺縁部を支持したダイヤフラム形状であることを特徴とする請求項1に記載の静電マイクロリレー。
- ベースの上面に固定電極および固定接点を配置する一方、前記ベースの上方で略平行に対向し、かつ、中間層に中間絶縁膜を形成したアクチュエータの可動接触片の下面側に、前記固定電極に対向する可動電極を形成するとともに、この可動電極の下面に絶縁膜を介して前記固定接点に対向する可動接点を配置し、前記固定電極および前記可動電極間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動接触片を駆動し、前記可動接点を前記固定接点に接離する静電マイクロリレーの製造方法において、
前記可動電極の上面に前記中間絶縁膜を介して補助ばね層を積層した後、前記中間絶縁膜のうち、前記可動接点の直上に位置する部分を連通孔を介して部分的に除去し、外部に連通する空隙部を形成したことを特徴とする静電マイクロリレーの製造方法。
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