JP3661410B2 - 圧電振動子ユニットおよび発振器 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容器本体とキャップとを用いた電子部品用容器、この電子部品用容器を用いた電子部品、圧電振動子ユニット並びに発振器に関するものである。さらに詳しくは、電子部品用容器における容器本体とキャップとの封止構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
圧電振動子ユニットでは、図１０に断面を示すように、平板状の水晶片などの表面および裏面に所定の電極パターン（図示せず。）が形成された圧電振動子６０が容器１０（電子部品用容器）内に密封された状態で収納される。容器１０は、たとえば、各々所定形状に成形された複数枚のセラミック板が積層された容器本体２０と、この容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１に低融点ガラス５０によって接合されたキャップ１２とから構成されている。容器本体２０において、たとえば下から２層目および３層目のセラミック板は、側枠３０として、圧電振動子６０を平伏状態に収納するための振動片収納室２２を区画形成している。振動片収納室２２の内部において、最下層あるいは２層目のセラミック板には、圧電振動子６０の基部６１が導電性接着剤１３により固定されるマウント部４０が形成されている。マウント部４０に形成されている電極パターン４５は、容器１０の外周の角部分などを経て容器裏面の面実装用の電極端子７１に電気的接続している。
【０００３】
このような構造は、基本的には、図１１に示す発振器２でも同様である。発振器２でも、容器１０は、複数枚のセラミック板が積層された容器本体２０と、この容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１に低融点ガラス５０によって接合されたキャップ１２とから構成されている。この容器１０においても、たとえば下から２層目および３層目のセラミック板は、側枠３０として、圧電振動子６０を平伏状態に収納するための振動片収納室２２を区画形成している。振動片収納室２２の内部において、最下層あるいは２層目のセラミック板には、圧電振動子６０の基部６１が導電性接着剤１３により固定されるマウント部４０が形成されている。マウント部４０に形成されている電極パターン４５は、容器１０の外周の角部分などを経て容器裏面の面実装用の電極端子７１に電気的接続している。ここで、発振器２の場合には、圧電振動子６０を駆動するための駆動用ＩＣ３も容器１０内に収納される。なお、マウント部４０から離れた位置にある電極端子７１をマウント部４０に形成されている電極パターン４５に電気的接続する場合には、容器底部に形成された配線パターン、中間に積層されたセラミック板の表面に形成された配線パターン、セラミック板に形成されたスルーホールに埋められた導電材料などが用いられる。
【０００４】
このような圧電振動子ユニット１および発振器２に用いる容器１０において、容器本体２０とキャップ１２とを低融点ガラス５０によって接合するには、図１２（Ａ）に示すように、たとえば、キャップ１２の下面のうち、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と重なる位置に低融点ガラス層５１をスクリーン印刷で塗布しておく。そして、容器本体２０に圧電振動子６０を実装した後、キャップ１２を被せ、しかる後に容器本体２０に向けて錘などでキャップ１２に圧力をかけた状態で加熱する。その結果、低融点ガラス層５１が溶融するので、それを冷却、再硬化させれば、図１２（Ｂ）に示すように、キャップ１２と容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とが低融点ガラス５０で接合される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
近年のＨＤＤ、モバイルコンピュータ、ＩＣカード等の小型情報機器や、携帯電話、自動車電話、ページングシステムなどの移動体通信機器における小型・薄型化要求に伴って、このような機器に搭載される圧電振動子ユニット１や発振器２、ＳＡＷデバイスなどの圧電デバイスをはじめとする各種の電子部品に対しては、小型化の要求が強い。このような要求に対応するには、容器本体２０を構成する側枠３０を肉薄化することによる容器１０の小型化、あるいは圧電振動子６０と容器本体２０の内周面との隙間を狭めることによる容器１０の小型化が考えられる。
【０００６】
しかしながら、容器本体２０を構成する側枠３０を肉薄化すると、容器本体２０に被せたキャップ１２を容器本体２０に向けて加圧しながら低融点ガラス層５１を加熱、溶融した際に、図１２（Ｂ）に示すように、低融点ガラス５０がキャップ１２と側枠３０の開口側端面３１との間から容器１０の外にはみ出して外観不良になりやすいという問題点がある。また、容器１０の外にはみ出した低融点ガラス５０が組み立て装置（図示せず。）に触れて付着するおそれがあり、このような付着が起こると、低融点ガラス５０を組み立て装置から無理に引き離した際に低融点ガラス５０にクラックが入り、気密不良となるおそれがある。それ故、組み立て装置には、このような付着を避けるような対策を施す必要がある。
【０００７】
また、溶融した低融点ガラス５０がキャップ１２と側枠３０の開口側端面３１との間から容器１０の内側にもはみ出しやすい構造であるので、圧電振動子６０と容器本体２０の内周面との隙間を狭めると、溶融した低融点ガラス５０が圧電振動子６０に付着して発振不良を引き起こすおそれがある。また、溶融した低融点ガラス５０が容器１０内で露出する面積が広いので、溶融した低融点ガラス５０から容器１０内で発生した大量のガス（異物）が圧電振動子６０に付着しやすい。このようなガス（異物）の圧電振動子６０への付着は、周波数特性などといった電気的特性の低下を引き起こすので、好ましくない。
【０００８】
さらにまた、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間で低融点ガラス５０が溶融しているときにキャップ１２にかかっている圧力がばらつくと、そのまま容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間に介在する低融点ガラス５０の量が変動し、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間隔が変動する。その結果、圧電振動子ユニット１や発振器２の厚さ寸法にばらつきが発生するという問題点がある。しかも、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間でかなりの厚さで低融点ガラス５０が溶融していると、容器１０内で導電性接着剤や圧電振動子の電極などから発生したガスが、溶融している低融点ガラス５０を外部に押し出して気密不良を引き起こすという問題点がある。
【０００９】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、上記の問題点を解消することにあり、容器本体とキャップとの間からの低融点ガラスのはみ出しや気密不良を発生させることなく、小型化を達成することのできる電子部品容器、この電子部品容器を用いた電子部品、圧電振動子ユニット並びに発振器を実現することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明では、容器本体と、該容器本体に対して外周側で接合されて当該容器本体を封止するキャップとを有する電子部品用容器内に圧電振動子を収容した圧電振動子ユニットにおいて、前記容器本体の開口端面と前記キャップとが重なる封止部分には、容器内周側に形成された内周側高耐熱層と、該内周側高耐熱層より所定寸法だけ容器外周側に形成された外周側高耐熱層と、該外周側高耐熱層と前記内周側高耐熱層との間に相当する位置に形成された低融点ガラス層とを備え、前記容器本体の前記開口端面は、平坦面であり、前記キャップは、平板状であり、前記内周側高耐熱層および前記外周側高耐熱層はいずれも高融点ガラス層であり、前記低融点ガラス層が溶融して前記開口端面と前記内周側高耐熱層の先端面との間および前記開口端面と前記外周側高耐熱層の先端面との間に回り込んだ前記低融点ガラスによって前記容器本体と前記キャップとが封止されていることにより、前記圧電振動子を収納した前記電子部品用容器内が気密状態にあることを特徴とする。
【００１１】
本願明細書における高耐熱性層とは、前記の低融点ガラスを溶融させて封止を行う際の温度では軟化、溶融しない程度の耐熱性を有する材料からなる層のことをいう。また、本願明細書では、低融点ガラス層と低融点ガラスという用語を使用しているが、低融点ガラス層とは封止工程前にキャップあるいは容器本体側において内周側高耐熱層と外周側高耐熱層との間に形成された低融点ガラスの層のことを意味し、低融点ガラスとは封止工程において低融点ガラス層から溶融して容器本体とキャップとの間に回り込んだ部分のことを意味する。また、本願明細書における高融点ガラスとは、前記の低融点ガラスを溶融させて封止を行う際の温度では軟化、溶融しない程度の高耐熱性を有するガラス材料のことをいう。
【００１２】
本発明では、低融点ガラスを溶融させて容器本体をキャップで封止する際に、この封止部分には低融点ガラス層の外周側に外周側高耐熱層が形成されているので、圧電振動子ユニットや発振器などの電子部品の小型化を図るために容器本体あるいはキャップの側枠を肉薄にしても、低融点ガラス層から溶け出した低融点ガラスが容器の外にはみ出すことがない。従って、容器の外周面への低融点ガラスのはみ出しに起因する外観不良が発生しない。また、低融点ガラスが容器の外にはみ出すことがないので、低融点ガラスが組み立て装置に付着するおそれがない。それ故、低融点ガラスの付着を避けるような対策を組み立て装置に施す必要がない。
【００１３】
また、低融点ガラス層の内周側には内周側高耐熱層が形成されているので、容器本体の側枠を肉薄化しても、溶融した低融点ガラスがキャップと容器本体との間から容器の内側にはみ出すこともない。従って、容器内の素子と容器内周面との隙間を狭めても、溶融した低融点ガラスが素子に付着することがない。しかも、溶融した低融点ガラスが容器内に露出する面積が著しく狭いので、溶融した低融点ガラスから発生したガス（異物）が容器内に侵入する量が極めて少量である。それ故、このようなガス（異物）が容器内の素子に付着することの影響を無視できる。
【００１４】
さらにまた、容器本体とキャップとの間に介在する低融点ガラスが薄いので、容器本体とキャップとの間で低融点ガラスが溶融しているときにキャップにかかっている圧力がばらついても、容器本体とキャップとの間隔が変動することはない。それ故、設計どおりの厚さ寸法に容器を組み立てることができる。しかも、容器本体とキャップとの間に介在する低融点ガラスが薄いので、容器内でガスが発生しても、このようなガス圧で、溶融している低融点ガラスが外部に押し出されることがない。それ故、低融点ガラスの容器外への押し出しに起因する気密不良も発生しない。
【００１５】
本発明において、前記内周側高耐熱層、前記外周側高耐熱層および前記低融点ガラス層のすべてが前記容器本体の側、または前記キャップの側に形成されていてもよい。
【００１６】
このように、前記内周側高耐熱層、前記外周側高耐熱層および前記低融点ガラス層がすべて前記容器本体の側、または前記キャップの側に形成されている場合には、たとえば、前記内周側高耐熱層の先端面、前記外周側高耐熱層の先端面および前記低融点ガラス層の先端面が略同一の高さ位置にある構成とすることができる。
【００１７】
また、前記内周側高耐熱層、前記外周側高耐熱層および前記低融点ガラス層がすべて前記容器本体の側、または前記キャップの側に形成されている場合には、前記低融点ガラス層の先端面が前記内周側高耐熱層の先端面および前記外周側高耐熱層の先端面よりも突出した位置にある構成とすることが好ましい。このように構成すると、容器本体にキャップを被せた後、容器本体に向けてキャップに圧力をかけた状態で加熱したときに、低融点ガラス層から十分な量の低融点ガラスが溶け出してキャップと容器本体との間に確実に回り込むことになる。また、キャップと容器本体との間に十分な量の低融点ガラスを確保するといっても、低融点ガラス層は両側が高耐熱層で挟まれているので、低融点ガラス層から溶け出した低融点ガラスが容器内あるいは容器外にはみ出すことがないので、本発明の作用、効果が損なわれることはない。
【００１８】
本発明において、前記内周側高耐熱層および前記外周側高耐熱層は、前記低融点ガラス層の下層に形成された底部高耐熱層で連結し、前記低融点ガラス層は、前記内周側高耐熱層と前記外周側高耐熱層との間において前記底部高耐熱層によって底上げされた構造になっていてもよい。
【００１９】
本発明において、前記低融点ガラス層は、前記容器本体および前記キャップのうちの一方の側に形成され、他方の側において、前記内周側高耐熱層および前記外周側高耐熱層は、前記低融点ガラス層が入り込む隙間を隔てて形成されている構成であってもよい。
【００２０】
この場合に、前記低融点ガラス層の高さ寸法は、前記内周側高耐熱層と前記外周側高耐熱層との間の隙間の深さ寸法と等しくてもよいが、前記内周側高耐熱層と前記外周側高耐熱層との間の隙間の深さ寸法よりも大きくすれば、容器本体にキャップを被せた後、容器本体に向けてキャップに圧力をかけた状態で加熱したときに、低融点ガラス層から十分な量の低融点ガラスが溶け出してキャップと容器本体との間に確実に回り込むことになる。このようにして十分な量の低融点ガラスを確保するといっても、容器本体にキャップを被せた状態において、低融点ガラス層は両側が高耐熱層で挟まれることになるので、低融点ガラス層から溶け出した低融点ガラスが容器内あるいは容器外にはみ出すことがないなど、本発明の作用、効果が損なわれることはない。
【００２５】
本発明では、前記低融点ガラス層が溶融して回り込んだ低融点ガラスにより前記容器本体と前記キャップとが封止されていることによって、素子を収納した電子部品用容器内が気密状態にある。ここで、前記電子部品用容器内に素子として圧電振動子および該圧電振動子を駆動するための駆動用ＩＣを収納すれば発振器を構成することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
図面を参照して、本発明の好適な実施の形態を説明する。ここで、本発明は、圧電振動子ユニットあるいは発振器などの各種電子部品用に用いることができるが、以下の説明では、図１０を参照して説明した圧電振動子ユニットに適用した例を説明する。なお、以下に説明するいずれの形態においても、圧電振動子ユニットの基本的な構成は、図１０を参照して説明したものと共通するので、以下の説明では、対応する部分には同一の符号を付すとともに、要部のみについて説明および図示を行うこととする。
【００２７】
［実施の形態１］
図１（Ａ）は、本形態の圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、図１（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【００２８】
図１（Ａ）において、本形態の圧電振動子ユニット１に用いた容器１０は、所定形状に成形された複数枚のセラミック板が積層された容器本体２０と、この容器本体２０の側枠３０（外周側）の開口側端面３１に低融点ガラスによって接合されるセラミック製のキャップ１２とから構成されている。容器本体２０において、たとえば下から２層目および３層目のセラミック板は、側枠３０として、圧電振動子６０を平伏状態に収納するための振動片収納室２２を区画形成している。この振動片収納室２２には圧電振動子６０を実装するためのマウント部４０が形成されている。
【００２９】
本形態において、キャップ１２の下面部のうち、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と重なる部分（封止部分）には、容器内周側から容器外周側に向かって、高融点ガラスからなる内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１、および高融点ガラスからなる外周側高耐熱層５９がこの順に積層されており、外周側高耐熱層５９と内周側高耐熱層５８との間に低融点ガラス層５１が挟まれた構造になっている。ここで、内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９はいずれも同一の高さ寸法をもってキャップ１２に形成されているため、内周側高耐熱層５８の先端面５８０、外周側高耐熱層５９の先端面５９０および低融点ガラス層５１の先端面５１０はいずれも、キャップ１２の下面部からみたときに略同一の高さ位置にある。
【００３０】
このように構成した容器本体２０およびキャップ１２を用いて圧電振動子ユニットを製造する際には、まず、平板状の水晶片などの表面および裏面に所定の電極パターンを形成した圧電振動子６０を容器本体２０内のマウント部４０を利用して実装した後、容器本体２０にキャップ１２を被せる。
【００３１】
次に、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力を加えた状態で電気炉内で約３００℃〜約４００℃の温度に加熱する。この際でも、高耐熱層５８、５９を構成する高融点ガラスは溶融することはない。その結果、図１（Ｂ）に示すように、低融点ガラス層５１が溶融して溶け出した低融点ガラス５０は、容器本体２０の側枠３０とキャップ１２との間に回り込む。すなわち、本形態では、キャップ１２の下面部には低融点ガラス層５１の両側に内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９が形成されているので、溶け出した低融点ガラス５０は、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２の内周側高耐熱層５８の先端面５８０との間、および容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と外周側高耐熱層５９の先端面５９０との間に回り込む。
【００３２】
次に、この状態を所定の時間、保持した後、冷却すると、溶融していた低融点ガラス５０が再硬化するので、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２とは低融点ガラス５０により接合される。
【００３３】
その結果、圧電振動子ユニット１では、圧電振動子６０を収納した容器１０の内部が気密状態とされる。
【００３４】
このような封止工程を行う際、本形態の容器１０では、低融点ガラス層５１の外周側に外周側高耐熱層５９が形成されているので、圧電振動子ユニット１の小型化を図るために容器本体２０の側枠３０などを肉薄にしても、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０の外にまではみ出すことがない。従って、容器１０の外周面への低融点ガラス５０のはみ出しに起因する外観不良が発生しない。また、低融点ガラス５０が容器１０の外にまではみ出すことがないので、低融点ガラス５０が組み立て装置（図示せず。）に付着するおそれがない。従って、低融点ガラス５０によって付着した圧電振動子ユニット１を組み立て装置から剥がす際に低融点ガラス５０にクラックが入って気密不良になるという不具合が発生せず、かつ、低融点ガラス５０の付着を避けるような対策を組み立て装置に施す必要がない。
【００３５】
また、低融点ガラス層５１の内周側には内周側高耐熱層５８が形成されているので、圧電振動子ユニット１の小型化を図るために容器本体２０の側枠３０などを肉薄化しても、溶融した低融点ガラス５０がキャップ１２と側枠３０の開口側端面３１との間から容器１０の内側にはみ出すこともない。従って、圧電振動子６０と容器１０の内周面との隙間を狭めても、溶融した低融点ガラス５０が圧電振動子６０に付着することがないので、低融点ガラス５０の圧電振動子６０への付着に起因する発振不良が発生しない。しかも、溶融した低融点ガラス５０が容器１０内に露出する面積が著しく狭いので、溶融した低融点ガラス５０から発生したガス（異物）が容器１０内に侵入する量が極めて少量である。それ故、このようなガス（異物）が容器１０内の圧電振動子６０に付着することの影響を無視できる。
【００３６】
さらにまた、溶け出した低融点ガラス５０は、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２内周側高耐熱層５８の先端面５８０との間、および容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と外周側高耐熱層５９の先端面５９０との間に回り込むことになるので、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間に介在する低融点ガラス５０の厚さが薄い。従って、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間で低融点ガラス５０が溶融しているときにキャップ１２にかかっている圧力がばらついても、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間隔が変動することはない。それ故、圧電振動子ユニット１の厚さ寸法にばらつきが発生せず、設計どおりの厚さ寸法の圧電振動子ユニット１を製造することができる。しかも、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間に介在する低融点ガラス５０が薄いので、容器１０内で導電性接着剤や圧電振動子６０の電極などからガスが発生しても、このようなガス圧で、溶融している低融点ガラス５０が外部に押し出れることがない。それ故、低融点ガラス５０の容器１０外への押し出しに起因する気密不良も発生しない。
【００３７】
このような構成の容器１０は、図２を参照して以下に説明する方法で製造することができる。図２は、本形態の容器の製造方法のうち、キャップ１２に対する内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９の形成方法を示す工程断面図である。
【００３８】
本形態では、まず、図２（Ａ）に示すように、キャップ１２の下面部のうち、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と重なる領域に、スクリーン印刷などの方法により、高融点ガラスからなる内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９を所定の隙間をあけて印刷する。そして、約１０００℃位の温度で焼成を行い、スクリーン印刷した後の内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９から有機溶剤などを除去する。
【００３９】
次に、図２（Ｂ）に示すように、キャップ１２の下面部のうち、内周側高耐熱層５８と外周側高耐熱層５９との間の隙間に相当する領域に、鉛などの配合によって溶融温度を下げた低融点ガラス層５１を印刷する。そして、約３００℃〜約４００℃位の温度で熱処理を行い、スクリーン印刷した後の低融点ガラス層５１から有機溶剤などを除去する。このときの低融点ガラス層５１の印刷厚は、内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９を形成する際の印刷厚と略等しい。従って、内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９はいずれも同一の高さ寸法をもってキャップ１２に形成されているため、内周側高耐熱層５８の先端面５８０、外周側高耐熱層５９の先端面５９０および低融点ガラス層５１の先端面５１０はいずれも、キャップ１２からみれば略同一の高さ位置にある。
【００４０】
このようなスクリーン印刷を利用して内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９を形成する方法であれば、これらの層をかなり高い寸法精度で形成できるので、圧電振動子ユニット１（容器１０）の厚さ寸法の精度が高いという利点がある。
【００４１】
［実施の形態２］
図３（Ａ）は、本形態の圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、図３（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【００４２】
図３（Ａ）において、本形態の圧電振動子ユニット１に用いた容器１０も、実施の形態１と同様、所定形状に成形された複数枚のセラミック板が積層された容器本体２０と、この容器本体２０の側枠３０（外周側）の開口側端面３１に低融点ガラスによって接合されるセラミック製のキャップ１２とから構成されている。容器本体２０において、側枠３０は圧電振動子６０を平伏状態に収納するための振動片収納室２２を区画形成している。この振動片収納室２２には圧電振動子６０を実装するためのマウント部４０が形成されている。
【００４３】
本形態において、キャップ１２の下面部のうち、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と重なる部分（封止部分）には、容器内周側から容器外周側に向かって、高融点ガラスからなる内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１、および高融点ガラスからなる外周側高耐熱層５９がこの順に積層されており、外周側高耐熱層５９と内周側高耐熱層５８との間に低融点ガラス層５１が挟まれた構造になっている。
【００４４】
ここで、内周側高耐熱層５８と外周側高耐熱層５９とは、低融点ガラス層５１の下層側で底部高耐熱層５７によって連結し、この底部高耐熱層５７によって、低融点ガラス層５１は底上げされた構造になっている。従って、内周側高耐熱層５８と外周側高耐熱層５９の高さ寸法に比較して、低融点ガラス層５１の高さ寸法の方が小さいが、低融点ガラス層５１の先端面５１０は、内周側高耐熱層５８の先端面５８０、および外周側高耐熱層５９の先端面５９０から２μｍ〜１０μｍ程度突出した位置にある。
【００４５】
このように構成した容器本体２０およびキャップ１２を用いて圧電振動子ユニットを製造する際には、まず、圧電振動子６０を容器本体２０内のマウント部４０を利用して実装した後、容器本体２０にキャップ１２を被せる。
【００４６】
次に、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力を加えた状態で電気炉内で約３００℃〜約４００℃の温度に加熱する。この際でも、高耐熱層５７、５８、５９を構成する高融点ガラスは溶融することはない。その結果、図３（Ｂ）に示すように、低融点ガラス層５１が溶融して溶け出した低融点ガラス５０は、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間において、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２の内周側高耐熱層５８の先端面５８０との間、および容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２の外周側高耐熱層５９の先端面５９０との間に回り込む。
【００４７】
次に、この状態を所定の時間、保持した後、冷却すると、溶融していた低融点ガラス５０が再硬化するので、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２とは低融点ガラス５０により接合される。
【００４８】
このような封止工程を行う際、本形態の容器１０でも、低融点ガラス層５１の外周側に外周側高耐熱層５９が形成されているので、圧電振動子ユニット１の小型化を図るために容器本体２０の側枠３０などを肉薄にしても、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０の外にまではみ出すことがない。また、低融点ガラス層５１の内周側に内周側高耐熱層５８が形成されているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内にはみ出すことがない。それ故、低融点ガラス５０の容器１０外へのはみ出しに起因する外観不良が発生せず、かつ、容器１０内にはみ出した低融点ガラス５０の圧電振動子６０への付着に起因する発振不良が発生しないなど、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００４９】
また、低融点ガラス層５１の先端面５１０が内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０よりも突出した位置にあるので、容器本体２０にキャップ１２を被せた後、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力をかけた状態で加熱したときに、低融点ガラス層５１から十分な量の低融点ガラス５０が溶け出してキャップ１２と容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１との間に確実に回り込むことになる。また、キャップ１２と容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１との間に回り込む低融点ガラス５０として十分な量を確保するといっても、低融点ガラス層５１は両側が内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９で挟まれているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内あるいは容器１０外にはみ出すことがないなど、本形態の作用、効果が損なわれることはない。
【００５０】
このような構成の容器１０は、図４を参照して以下に説明する方法で製造することができる。図４は、本形態の容器１０の製造方法のうち、キャップ１２に対する内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９の形成方法を示す工程断面図である。
【００５１】
本形態では、まず、図４（Ａ）に示すように、キャップ１２の下面部のうち、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と重なる領域に、スクリーン印刷などの方法により、第１の高融点ガラス層５０１を形成する。そして、約１０００℃位の温度で焼成を行い、スクリーン印刷した後の第１の高融点ガラス層５０１から有機溶剤などを除去する。
【００５２】
次に、図４（Ｂ）に示すように、第１の高融点ガラス層５０１の上層のうち、内周側および外周側に所定の隙間をあけて第２の高融点ガラス層５０２を形成する。そして、約１０００℃位の温度で焼成を行い、スクリーン印刷した後の第２の高融点ガラス層５０２から有機溶剤などを除去する。その結果、第１および第２の高融点ガラス層５０１、５０２によって、図３（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明した内周側高耐熱層５８、外周側高耐熱層５９および底部側高耐熱層５７が形成される。
【００５３】
次に、図４（Ｃ）に示すように、内周側高耐熱層５８と外周側高耐熱層５９との間の隙間に相当する領域に下層側低融点ガラス層５１１を印刷する。そして、約３００℃〜約４００℃位の温度で熱処理を行い、スクリーン印刷した後の下層側低融点ガラス層５１１から有機溶剤などを除去する。このときの下層側低融点ガラス層５１１の印刷厚は、第２の高融点ガラス層５０２（図４（Ｂ）参照。）を形成する際の印刷厚と略等しい。
【００５４】
次に、図４（Ｄ）に示すように、下層側低融点ガラス層５１１の上層に上層側低融点ガラス層５１２をスクリーン印刷した後、約３００℃〜約４００℃位の温度で熱処理を行い、スクリーン印刷した後の上層側低融点ガラス層５１２から有機溶剤などを除去する。その結果、下層側低融点ガラス層５１１および上層側低融点ガラス層５１２からなる低融点ガラス層５１を形成され、この低融点ガラス層５１の先端面５１０は、内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０から上層側低融点ガラス層５１２の高さ寸法だけ、たとえば２μｍ〜１０μｍ程度突出した構造になる。
【００５５】
このようなスクリーン印刷を利用して内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９を形成する方法であれば、これらの層をかなり高い寸法精度で形成できるので、圧電振動子ユニット１（容器１０）の厚さ寸法の精度が高いという利点がある。
【００５６】
［実施の形態３］
図５（Ａ）は、本形態の圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、図５（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【００５７】
図５（Ａ）において、本形態の圧電振動子ユニット１に用いた容器１０も、実施の形態２と同様、所定形状に成形された複数枚のセラミック板が積層された容器本体２０と、この容器本体２０の側枠３０（外周側）の開口側端面３１に低融点ガラスによって接合されるセラミック製のキャップ１２とから構成されている。また、キャップ１２の下面部のうち、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と重なる部分（封止部分）には、容器内周側から容器外周側に向かって、高融点ガラスからなる内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１、および高融点ガラスからなる外周側高耐熱層５９がこの順に積層されており、外周側高耐熱層５９と内周側高耐熱層５８との間に低融点ガラス層５１が挟まれた構造になっている。
【００５８】
本形態では、低融点ガラス層５１の高さ寸法は、内周側高耐熱層５８の高さ寸法や外周側高耐熱層５９の高さ寸法よりも大きいので、低融点ガラス層５１は、実施の形態２のように底部高耐熱層によって底上げされていなくても、低融点ガラス層５１の先端面５１０は、内周側高耐熱層５８の先端面５８０、および外周側高耐熱層５９の先端面５９０から２μｍ〜１０μｍ程度突出している。
【００５９】
このように構成した容器本体２０およびキャップ１２に用いて圧電振動子ユニットを製造する際にも、まず、圧電振動子６０を容器本体２０内のマウント部４０を利用して実装した後、容器本体２０にキャップ１２を被せる。
【００６０】
次に、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力を加えた状態で電気炉内で約３００℃〜約４００℃の温度に加熱する。この際でも、高耐熱層５８、５９を構成する高融点ガラスは溶融することはない。その結果、図５（Ｂ）に示すように、低融点ガラス層５１が溶融して溶け出した低融点ガラス５０は、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２との間において、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２内周側高耐熱層５８の先端面との間、および容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と外周側高耐熱層５９の先端面との間に回り込む。
【００６１】
次に、この状態を所定の時間、保持した後、冷却すると、溶融していた低融点ガラス５０が再硬化するので、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２とは低融点ガラス５０により接合される。
【００６２】
このような封止工程を行う際、本形態の容器１０でも、低融点ガラス層５１の外周側に外周側高耐熱層５９が形成されているので、圧電振動子ユニット１の小型化を図るために容器本体２０の側枠３０などを肉薄にしても、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０の外にまではみ出すことがない。また、低融点ガラス層５１の内周側に内周側高耐熱層５８が形成されているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内にはみ出すことがない。それ故、低融点ガラス５０の容器１０外へのはみ出しに起因する外観不良が発生せず、かつ、容器１０内にはみ出した低融点ガラス５０の圧電振動子６０への付着に起因する発振不良が発生しないなど、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００６３】
また、低融点ガラス層５１の先端面５１０が内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０よりも突出した位置にあるので、容器本体２０にキャップ１２を被せた後、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力をかけた状態で加熱したときに、低融点ガラス層５１から十分な量の低融点ガラス５０が溶け出してキャップ１２と容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１との間に確実に回り込むことになる。また、キャップ１２と容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１との間に回り込む低融点ガラス５０として十分な量を確保するといっても、低融点ガラス層５１は両側が内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９で挟まれているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内あるいは容器１０外にはみ出すことがないなど、本形態の作用、効果が損なわれることはない。
【００６４】
このような構成の容器１０は、図６を参照して以下に説明する方法で製造することができる。図６は、本形態の容器１０の製造方法のうち、キャップ１２に対する内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９の形成方法を示す工程断面図である。
【００６５】
本形態では、まず、図６（Ａ）に示すように、キャップ１２の下面部のうち、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１と重なる領域に、スクリーン印刷などの方法により、高融点ガラスからなる内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９を所定の隙間をあけて印刷した後、実施の形態１と同様な熱処理を行う。
【００６６】
次に、図６（Ｂ）に示すように、内周側高耐熱層５８と外周側高耐熱層５９との間の隙間に相当する領域に下層側低融点ガラス層５１１を印刷した後、実施の形態１と同様な熱処理を行う。このときの下層側低融点ガラス層５１１の印刷厚は、内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９を形成する際の印刷厚と略等しい。
【００６７】
次に、図６（Ｃ）に示すように、下層側低融点ガラス層５１１の上層に上層側低融点ガラス層５１２をスクリーン印刷した後、実施の形態１と同様な熱処理を行い、しかる後に下層側低融点ガラス層５１１および上層側低融点ガラス層５１２からなる低融点ガラス層５１を形成する。その結果、低融点ガラス層５１の先端面５１０は、内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０から上層側低融点ガラス層５１２の高さ寸法だけ、たとえば２μｍ〜１０μｍ程度突出した構造となる。
【００６８】
このようなスクリーン印刷を利用して内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９を形成する方法であれば、これらの層をかなり高い寸法精度で形成できるので、圧電振動子ユニット１（容器１０）の厚さ寸法の精度が高いという利点がある。
【００６９】
［実施の形態４］
図７（Ａ）は、本形態の圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、図７（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【００７０】
図７（Ａ）において、本形態の圧電振動子ユニット１に用いた容器１０も、容器本体２０と、この容器本体２０の外周側に低融点ガラスによって接合されるセラミック製のキャップ１２とから構成されている。
【００７１】
本形態において、容器本体２０は一枚のセラミック板からなる平板であるが、圧電振動子６０を実装するためのマウント部４０が形成されている。これに対して、キャップ１２は、複数枚のセラミック板からなる積層体であり、側枠１２０を備えている。
【００７２】
このように構成したキャップ１２において、側枠１２０の開口側端面１２１（封止部分）には、容器内周側から容器外周側に向かって、高融点ガラスからなる内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１、および高融点ガラスからなる外周側高耐熱層５９がこの順に積層されており、外周側高耐熱層５９と内周側高耐熱層５８との間に低融点ガラス層５１が挟まれた構造になっている。ここで、内周側高耐熱層５８と外周側高耐熱層５９とは、低融点ガラス層５１の下層側で底部高耐熱層５７によって連結し、この底部高耐熱層５７によって、低融点ガラス層５１は底上げされた構造になっている。従って、内周側高耐熱層５８と外周側高耐熱層５９の高さ寸法と、低融点ガラス層５１の高さ寸法とは略等しいが、低融点ガラス層５１の先端面５１０は、内周側高耐熱層５８の先端面５８０、および外周側高耐熱層５９の先端面５９０から２μｍ〜１０μｍ程度突出した位置にある。
【００７３】
このように構成した容器本体２０およびキャップ１２を用いて圧電振動子ユニットを製造する際にも、まず、圧電振動子６０を容器本体２０内のマウント部４０を利用して実装した後、容器本体２０にキャップ１２を被せる。
【００７４】
次に、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力を加えた状態で電気炉内で約３００℃〜約４００℃の温度に加熱する。この際でも、高耐熱層５７、５８、５９を構成する高融点ガラスは溶融することはない。その結果、図７（Ｂ）に示すように、低融点ガラス層５１が溶融して溶け出した低融点ガラス５０は、容器本体２０とキャップ１２の側枠１２０の開口側端面１２１との間において、容器本体２０とキャップ１２の内周側高耐熱層５８の先端面５８０との間、および容器本体２０とキャップ１２の外周側高耐熱層５９の先端面５９０との間に回り込む。
【００７５】
次に、この状態を所定の時間、保持した後、冷却すると、溶融していた低融点ガラス５０が再硬化するので、容器本体２０とキャップ１２とは低融点ガラス５０により接合される。
【００７６】
このような封止工程を行う際、本形態の容器１０でも、低融点ガラス層５１の外周側に外周側高耐熱層５９が形成されているので、圧電振動子ユニット１の小型化を図るためにキャップ１２の側枠１２０などを肉薄にしても、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０の外にまではみ出すことがない。また、低融点ガラス層５１の内周側に内周側高耐熱層５８が形成されているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内にはみ出すことがない。それ故、低融点ガラス５０の容器１０外へのはみ出しに起因する外観不良が発生せず、かつ、容器１０内にはみ出した低融点ガラス５０の圧電振動子６０への付着に起因する発振不良が発生しないなど、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００７７】
また、低融点ガラス層５１の先端面５１０が内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０よりも突出した位置にあるので、容器本体２０にキャップ１２を被せた後、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力をかけた状態で加熱したときに、低融点ガラス層５１から十分な量の低融点ガラス５０が溶け出してキャップ１２の側枠１２０と容器本体２０との間に確実に回り込むことになる。また、キャップ１２の側枠１２０と容器本体２０との間に回り込む低融点ガラス５０として十分な量を確保するといっても、低融点ガラス層５１は両側が内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９で挟まれているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内あるいは容器１０外にはみ出すことがないなど、本形態の作用、効果が損なわれることはない。
【００７８】
このような構成の容器１０のキャップ１２に対して底部側高耐熱層５７、内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９を形成する方法は、図４を参照して説明した方法と同様であるので、説明を省略する。
【００７９】
［実施の形態５］
図８（Ａ）は、本形態の圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、図８（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【００８０】
図８（Ａ）において、本形態の圧電振動子ユニット１に用いた容器１０も、容器本体２０と、この容器本体２０の外周側に低融点ガラスによって接合されるセラミック製のキャップ１２とから構成されている。
【００８１】
本形態において、容器本体２０は、所定形状に成形された複数枚のセラミック板からなる積層体であり、圧電振動子６０を実装するためのマウント部４０、および側枠３０を備えている。キャップ１２は、セラミック粉体を１５００℃〜１６００℃位の焼成温度で加熱成形してなるセラミック成形品であり、側枠１２０を備えている。
【００８２】
このように構成したキャップ１２において、側枠１２０の開口側端面１２１（封止部分）には、容器内周側から容器外周側に向かって、高融点ガラスからなる内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１、および高融点ガラスからなる外周側高耐熱層５９がこの順に形成されているが、本形態において、外周側高耐熱層５９および内周側高耐熱層５８はいずれも、キャップ１２をセラミック粉体（高耐熱材料）から成形する際に同時形成された突起である。すなわち、キャップ１２は、側枠１２０の先端側において、低融点ガラス層５１を形成するための凹部を形成するように、所定の隙間を隔てて外周側高耐熱層５９および内周側高耐熱層５８が突出するセラミック成形体であり、これらの外周側高耐熱層５９および内周側高耐熱層５８の間に低融点ガラス層５１が形成された構造になっている。
【００８３】
ここで、低融点ガラス層５１の先端面５１０は内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０よりも２μｍ〜１０μｍ程度突出した位置にある。
【００８４】
このように構成した容器本体２０およびキャップ１２を用いて圧電振動子ユニットを製造する際にも、まず、圧電振動子６０を容器本体２０内のマウント部４０を利用して実装した後、容器本体２０にキャップ１２を被せる。
【００８５】
次に、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力を加えた状態で電気炉内で約３００℃〜約４００℃の温度に加熱する。この際でも、高耐熱層５７、５８、５９を構成する高融点ガラスは溶融することはない。その結果、図８（Ｂ）に示すように、低融点ガラス層５１が溶融して溶け出した低融点ガラス５０は、容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１とキャップ１２の側枠１２０の開口側端面１２１との間において、容器本体２０とキャップ１２の内周側高耐熱層５８の先端面５８０との間、および容器本体２０とキャップ１２の外周側高耐熱層５９の先端面５９０との間に回り込む。
【００８６】
次に、この状態を所定の時間、保持した後、冷却すると、溶融していた低融点ガラス５０が再硬化するので、容器本体２０とキャップ１２とは低融点ガラス５０により接合される。
【００８７】
このような封止工程を行う際、本形態の容器１０でも、低融点ガラス層５１の外周側に外周側高耐熱層５９が形成されているので、圧電振動子ユニット１の小型化を図るためにキャップ１２の側枠１２０などを肉薄にしても、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０の外にまではみ出すことがない。また、低融点ガラス層５１の内周側に内周側高耐熱層５８が形成されているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内にはみ出すことがない。それ故、低融点ガラス５０の容器１０外へのはみ出しに起因する外観不良が発生せず、かつ、容器１０内にはみ出した低融点ガラス５０の圧電振動子６０への付着に起因する発振不良が発生しないなど、実施の形態１と同様な効果を奏する。
【００８８】
また、低融点ガラス層５１の先端面５１０が内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０よりも突出した位置にあるので、容器本体２０にキャップ１２を被せた後、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力をかけた状態で加熱したときに、低融点ガラス層５１から十分な量の低融点ガラス５０が溶け出してキャップ１２の側枠１２０の開口側端面１２１と容器本体２０との間に確実に回り込むことになる。また、キャップ１２の側枠１２０の開口側端面１２１と容器本体２０との間に回り込む低融点ガラス５０として十分な量を確保するといっても、低融点ガラス層５１は両側が内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９で挟まれているので、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内あるいは容器１０外にはみ出すことがないなど、本形態の作用、効果が損なわれることはない。
【００８９】
しかも、このような構成の容器１０のキャップ１２は、側枠１２０の先端側において、低融点ガラス層５１を形成するための凹部を形成するように所定の隙間を隔てて外周側高耐熱層５９および内周側高耐熱層５８が突出する形状にセラミック成形品を形成した後、外周側高耐熱層５９および内周側高耐熱層５８が形成する凹部を埋め、かつ、外周側高耐熱層５９の先端面および内周側高耐熱層５８の先端面から突出するように低融点ガラス層５１を形成すればよいので、スクリーン印刷で高融点ガラスを塗布して外周側高耐熱層５９および内周側高耐熱層５８を形成する必要がないという利点がある。
【００９０】
［その他の実施の形態］
上記いずれの形態においても、内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０に凹凸が形成することが好ましい。このように構成すると、内周側高耐熱層５８の先端面５８０および外周側高耐熱層５９の先端面５９０は、凹凸によって表面積が拡大される分、低融点ガラス層５１から溶融して回り込んできた低融点ガラス５０との密着性が高まる。それ故、容器本体２０とキャップ１２との接着強度が向上するという利点がある。
【００９１】
なお、上記いずれの形態においても、キャップ１２の側に、内周側高耐熱層５８、低融点ガラス層５１および外周側高耐熱層５９を形成したが、これらのすべてを容器本体２０の側に形成してもよい。
【００９２】
また、低融点ガラス層５１を容器本体２０およびキャップ１２のうちの一方の側に形成し、他方の側において、内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９を低融点ガラス層５１が入り込む隙間を隔てて形成してもよい。たとえば、図９に示すように、低融点ガラス層５１を容器本体２０の側枠３０の開口側端面３１に形成する一方で、キャップ１２に対して内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９を低融点ガラス層５１が入り込む隙間を隔てて形成してもよい。この場合に、低融点ガラス層５１の高さ寸法ｈ２を内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９の高さ寸法（内周側高耐熱層５８および外周側高耐熱層５９が形成する隙間の深さ寸法ｈ１）と等しくてもよいが、低融点ガラス層５１の高さ寸法ｈ２を内周側高耐熱層５９と外周側高耐熱層５９との間の隙間の深さ寸法ｈ１よりも２μｍ〜１０μｍ程度大きくすれば、容器本体２０にキャップ１２を被せた後、容器本体２０に向けてキャップ１２に圧力をかけた状態で加熱したときに、低融点ガラス層５１から十分な量の低融点ガラス５０が溶け出してキャップ１２と容器本体２０との間に確実に回り込むことになる。このようにして十分な量の低融点ガラス５０を確保するといっても、容器本体に２０キャップ１２を被せたときには低融点ガラス層５１が内周側高耐熱層５９と外周側高耐熱層５９との間の隙間内に入り込むので、低融点ガラス層５１は、内周側高耐熱層５９と外周側高耐熱層５９とに挟まれた状態になる。従って、実施の形態１ないし４で説明したのと同様、低融点ガラス層５１から溶け出した低融点ガラス５０が容器１０内あるいは容器１０外にはみ出すことがないなど、本発明の作用、効果が損なわれることはない。
【００９３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、低融点ガラスを溶融させて容器本体をキャップで封止する際に、この封止部分では低融点ガラス層の内周側および外周側に内周側高耐熱層および外周側高耐熱層が形成されているので、低融点ガラス層から溶け出した低融点ガラスが容器の内側あるいは外側にはみ出すことがない。従って、容器の外周面への低融点ガラスのはみ出しに起因する外観不良、溶融した低融点ガラスあるいは低融点ガラスから発生したガスが素子に付着したことに起因する不具合が発生しない。また、容器本体とキャップとの間に介在する低融点ガラスが薄いので、容器本体とキャップとの間隔が変動することがないので、設計どおりの厚さ寸法に容器を組み立てることができる。しかも、容器本体とキャップとの間に介在する低融点ガラスが薄いので、容器内でガスが発生しても、このようなガス圧であれば、溶融している低融点ガラスが外部に押し出れることがない。それ故、低融点ガラスの容器外への押し出しに起因する気密不良も発生しない。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係る圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【図２】図１に示す容器の製造方法のうち、キャップに対する内周側高耐熱層、低融点ガラス層および外周側高耐熱層の形成方法を示す工程断面図である。
【図３】（Ａ）は、本発明の実施の形態２に係る圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【図４】図３に示す容器の製造方法のうち、キャップに対する内周側高耐熱層、低融点ガラス層および外周側高耐熱層の形成方法を示す工程断面図である。
【図５】（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係る圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【図６】図５に示す容器の製造方法のうち、キャップに対する内周側高耐熱層、低融点ガラス層および外周側高耐熱層の形成方法を示す工程断面図である。
【図７】（Ａ）は、本発明の実施の形態４に係る圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【図８】（Ａ）は、本発明の実施の形態５に係る圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【図９】（Ａ）は、本発明のその他の実施の形態に係る圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【図１０】圧電振動子ユニットの断面図である。
【図１１】発振器の断面図である。
【図１２】（Ａ）は、従来の圧電振動子ユニットに用いた容器における封止前の断面図、（Ｂ）は、この容器における封止後の断面図である。
【符号の説明】
１ 圧電振動子ユニット
１０ 容器（電子部品用容器）
１２ キャップ
２０ 容器本体
２２ 振動片収納室
３０ 容器本体の側枠
３１ 容器本体の側枠の開口側端面
４０ マウント部
５０ 低融点ガラス
５１ 低融点ガラス層
５８ 内周側高耐熱層
５９ 外周側高耐熱層
６０ 圧電振動子
５１０ 低融点ガラス層の先端面
５８０ 内周側高耐熱層の先端面
５９０ 外周側高耐熱層の先端面

Claims (9)

1. 容器本体と、該容器本体に対して外周側で接合されて当該容器本体を封止するキャップとを有する電子部品用容器内に圧電振動子を収容した圧電振動子ユニットにおいて、
   前記容器本体の開口端面と前記キャップとが重なる封止部分には、容器内周側に形成された内周側高耐熱層と、該内周側高耐熱層より所定寸法だけ容器外周側に形成された外周側高耐熱層と、該外周側高耐熱層と前記内周側高耐熱層との間に相当する位置に形成された低融点ガラス層とを備え、
   前記容器本体の前記開口端面は、平坦面であり、
   前記キャップは、平板状であり、
   前記内周側高耐熱層および前記外周側高耐熱層はいずれも高融点ガラス層であり、
   前記低融点ガラス層が溶融して前記開口端面と前記内周側高耐熱層の先端面との間および前記開口端面と前記外周側高耐熱層の先端面との間に回り込んだ前記低融点ガラスによって前記容器本体と前記キャップとが封止されていることにより、前記圧電振動子を収納した前記電子部品用容器内が気密状態にあることを特徴とする圧電振動子ユニット。
2. 請求項１において、前記内周側高耐熱層、前記外周側高耐熱層および前記低融点ガラス層はいずれも、前記容器本体の側に形成されていることを特徴とする圧電振動子ユニット。
3. 請求項１において、前記内周側高耐熱層、前記外周側高耐熱層および前記低融点ガラス層はいずれも、前記キャップの側に形成されていることを特徴とする圧電振動子ユニット。
4. 請求項２または３において、前記内周側高耐熱層の先端面、前記外周側高耐熱層の先端面および前記低融点ガラス層の先端面はいずれも、同一の高さ位置にあることを特徴とする圧電振動子ユニット。
5. 請求項２または３において、前記低融点ガラス層の先端面は、前記内周側高耐熱層の先端面および前記外周側高耐熱層の先端面よりも突出した位置にあることを特徴とする圧電振動子ユニット。
6. 請求項２ないし５のいずれかにおいて、前記内周側高耐熱層および前記外周側高耐熱層は、前記低融点ガラス層の下層に形成された底部高耐熱層で連結し、
   前記低融点ガラス層は、前記内周側高耐熱層と前記外周側高耐熱層との間において前記底部高耐熱層によって底上げされた構造になっていることを特徴とする圧電振動子ユニット。
7. 請求項１において、前記低融点ガラス層は、前記容器本体および前記キャップのうちの一方の側に形成され、他方の側において、前記内周側高耐熱層および前記外周側高耐熱層は、前記低融点ガラス層が入り込む隙間を隔てて形成されていることを特徴とする圧電振動子ユニット。
8. 請求項７において、前記低融点ガラス層の高さ寸法は、前記内周側高耐熱層と前記外周側高耐熱層との間の隙間の深さ寸法よりも大きいことを特徴とする圧電振動子ユニット。
9. 容器本体と、該容器本体に対して外周側で接合されて当該容器本体を封止するキャップとを有する電子部品用容器内に圧電振動子および該圧電振動子を駆動するための駆動用ＩＣを収容した発振器において、
   前記容器本体の開口端面と前記キャップとが重なる封止部分には、容器内周側に形成された内周側高耐熱層と、該内周側高耐熱層より所定寸法だけ容器外周側に形成された外周側高耐熱層と、該外周側高耐熱層と前記内周側高耐熱層との間に相当する位置に形成された低融点ガラス層とを備え、
   前記容器本体の前記開口端面は、平坦面であり、
   前記キャップは、平板状であり、
   前記内周側高耐熱層および前記外周側高耐熱層はいずれも高融点ガラス層であり、
   前記低融点ガラス層が溶融して前記開口端面と前記内周側高耐熱層の先端面との間および前記開口端面と前記外周側高耐熱層の先端面との間に回り込んだ前記低融点ガラスによって前記容器本体と前記キャップとが封止されていることにより、前記圧電振動子および前記駆動用ＩＣを収納した前記電子部品用容器内が気密状態にあることを特徴とする発振器。

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