JP3661370B2

JP3661370B2 - 振動型リニアアクチュエータ

Info

Publication number: JP3661370B2
Application number: JP29518997A
Authority: JP
Inventors: 茂和小豆沢; 良本橋; 禎信竹川; 宏明清水; 文朗谷口
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1997-10-28
Filing date: 1997-10-28
Publication date: 2005-06-15
Anticipated expiration: 2017-10-28
Also published as: JPH11136921A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、往復式電気かみそり等に利用できる振動型リニアアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から振動型リニアアクチュエータを用いた往復式電気かみそりとして、特開平７ー３１３７４６号公報が知られている。
このものは、固定子に対して可動子を往復動させるための往復運動式の電動機において、往復運動式の電動機が各刃ヘッドの可動刃に対応した複数の可動子を有し、これらの複数の可動子を１つの固定子で駆動するように設定し、可動子間にコイルばねを介在してある。そして、一つの可動子に偏って大きな負荷がかかて振幅が急激に減少しようとした時に、コイルばねにより他の可動子を介してこの減少を抑えるようにして、片方のみの振幅減少を防ぎ、バランスの取れた均一な振幅量を得るようにしている。
【０００３】
しかしながら、上記の従来例にあっては、可動子間にコイルばねを配設しているため、可動子間にコイルばねを配設するためのスペースが必要で、電動機の大きさが大きくなってしまうという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記の従来例の問題点に鑑みて発明したものであって、その目的とするところは、コンパクト化が図れ、また、板ばねの振幅を安定させ、また、重量バランスが取れて振動を低減でき、また、構造が簡略化でき、また、両可動子が同じ方向に移動してしまうことを防止することができる振動型リニアアクチュエータを提供することを課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記従来例の問題点を解決して本発明の目的を達成するため、本発明の振動型リニアアクチュエータは、複数の可動子２を１つの固定子１で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、各可動子２を往復動方向に変位する板ばね３で構成される連結体で連結し、この板ばね３は複数のばね部３ａの他端部が一体化部４により一体化されたもので、板ばね３の各ばね部３ａの一端部がそれぞれ独立して各可動子２に固定され且つ板ばね３の他端部の一体化部４が自由端となっていることを特徴とするものである。このような構成とすることで、板ばね３よりなる連結体により一つの可動子２に偏って大きな負荷がかかって振幅が急激に減少しようとした時に、板ばね３により他の可動子２を介してこの減少を抑えるようにして、片方のみの振幅減少を防ぎ、バランスの取れた均一な振幅量を得ることができるものであり、しかも、板ばね３よりなる連結体は従来のコイルばねを可動子２間に介在させるもののようにコイルばねを介在させるための大きなスペースを必要としないものである。
【０００６】
また、板ばね３の他端部の自由端が板ばね３の各可動子２への固定部分よりも下方に位置することが好ましい。このような構成とすることで、振幅方向における電動機の大きさを小さくできるものである。
また、板ばね３の他端部の自由端が板ばね３の各可動子２への固定部分よりも上方に位置することが好ましい。このような構成とすることで、電動機の上下方向における大きさを小さくできることになる。
【０００７】
また、板ばね３の他端部が補強板５で補強されていることが好ましい。このような構成とすることで、板ばね３の振幅が安定し、また、板ばね３にかかる応力が小さくなるものである。
また、可動子２が中央可動子２ａと該中央可動子２ａの両側に配置した両側可動子２ｂとからなることが好ましい。このような構成とすることで、電動機の前後方向における重量バランスが取れ、振動が低減できることになる。
【０００８】
また、板ばね３が、中央可動子２ａの一端部と両側可動子２ｂの一端の計２点に固定してあることが好ましい。このような構成とすることで、板ばね３による連結の構造が簡略化できることになる。
また、板ばね３が、中央可動子２ａの一端部と両側可動子２ｂの両端の計３点に固定してあることが好ましい。このような構成とすることで、板ばね３の振幅が安定し、板ばね３に発生する振動が小さくなるものである。
【０００９】
また、板ばね３を各可動子２の往復動方向の両端部においてそれぞれ１つずつ合計２個設けてあることが好ましい。このような構成とすることで、板ばね３が１つの場合よりも板ばね３の振幅を安定化させることができ、また、板ばね３に発生する応力を小さくできるものである。
また、各可動子２間に対応するばね部３ａのばね定数を可動子２のそれぞれの振幅量に比例して異ならせてあることが好ましい。このような構成とすることで、板ばね３の一端部が振幅に対して移動することがなく、振幅が安定するものである。
【００１０】
また、各可動子２間に対応するばね部３ａの厚さが異なっていることが好ましい。このような構成とすることで、簡単な構成で、各可動子２間に対応するばね部３ａのばね定数を可動子２のそれぞれの振幅量に比例して異ならせることができるものである。
また、各可動子２間に対応するばね部３ａの長さが異なっていることが好ましい。このような構成とすることで、簡単な構成で、各可動子２間に対応するばね部３ａのばね定数を可動子２のそれぞれの振幅量に比例して異ならせることができるものである。
【００１１】
また、各可動子２間に対応するばね部３ａの幅が異なっていることが好ましい。このような構成とすることで、簡単な構成で、各可動子２間に対応するばね部３ａのばね定数を可動子２のそれぞれの振幅量に比例して異ならせることができるものである。
また、複数の可動子２を１つの固定子１で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、各可動子２を往復動方向に変位する板ばね３で構成される連結体で連結し、この板ばね３は複数のばね部３ａの他端部が一体化部４により一体化されたもので、板ばね３の各ばね部３ａの一端部がそれぞれ独立して各可動子２に固定され且つ板ばね３の他端部の一体化部４が固定部３５に対して固定してあることを特徴とするものであってもよい。このような構成とすることで、リニアモータ特有の両可動子が同じ方向に移動してしまうということを防ぐことができるものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下本発明を添付図面に示す実施形態に基づいて詳述する。図１乃至図３には本発明の振動型リニアアクチュエータである電動機Ａの一実施形態が示してある。図１は本発明の振動型リニアアクチュエータである電動機Ａを往復式電気かみそりの駆動部として用いた実施形態を示す正面断面図であり、図２は電動機Ａの分解斜視図であり、図３は斜視図を示している。
【００１３】
可動子２は永久磁石８とヨーク９（バックヨーク）とこれらを一体化する骨組み部材１０とで構成してある。ヨーク９は磁性材料であって永久磁石８が接着してある。固定子１は磁性材料の焼結体や磁性材料の鉄板を積層したものに巻線１１を施した電磁石により構成してある。電磁石により構成した固定子１は可動子２に設けた永久磁石８とギャップ１２を隔てて面対向している。１３は上記ギャップ１２を確保するための連結板であり、連結板１３の上端部をシャーシ７にねじ具１５により固着すると共に連結板１３の下端部を可動子２にねじ具１５により固着して連結板１２によりシャーシ７と可動子２を連結している。固定子１を構成する電磁石はねじ具１４によりシャーシ７に固定してある。連結板１３は可動子２の往復動方向にのみ変位可能なばね材（板ばね）４０により構成してあり、ここで、固定子１である電磁石の電流方向を交番にすることで、可動子２に取付けた永久磁石８が往復方向に移動するようになっていていわゆるリニアモータと称される往復運動式の電動機Ａを構成している。
【００１４】
可動子２は複数個設けてあり、添付図面に示す実施例では中央可動子２ａとこの中央可動子２ａの両側に配設された両側可動子２ｂとが設けてある。各可動子２には駆動子１７が設けてあり、各駆動子１７にそれぞれ可動刃３０を上下移動自在に取付けてあって、可動刃３０は押し上げばね１８により上方に弾性的に押し上げられていて、可動刃３０をネット刃２１に弾接している。両側可動子２ｂにも駆動子１７が設けてある。一方の駆動子１７にはスリット刃用の駆動子１７ａが設けてあり、このスリット刃用の駆動子１７ａには図示を省略しているがスリット刃用可動刃が取付けられ、該スリット刃用可動刃はスリット刃の下面側を摺動するものである。そして、本実施形態においては、可動刃３０とネット刃２１との組により構成されるヘッドが２つ、スリット刃用可動刃とスリット刃との組により構成されるヘッドが１つとの合計３ヘッド構成となっているが、刃の数はいくつであってもよい。すなわち、複数の刃を一つの駆動子で駆動し、駆動子を駆動するリニアモータの可動子は１つでも複数でもよい。ここで、複数可動子にして振動方向を互いに反対方向にすると振動方向の振動を低減することができる。また、複数の刃を複数の駆動子により駆動し、駆動子を複数の可動子で駆動すれば、各刃の推進力が独立して髭の負荷が刃により偏っても切れ味がでる。ここで、駆動系の質量Ｍは可動子２、駆動子１７、可動刃３０の合計質量である。また、本実施形態においては、刃と駆動子１７を１対１対応とし、各刃ヘッドに対応する可動子２の永久磁石８の極性を異ならせてあり、この結果、各可動子２の往復方向が逆になり振動を低減できるようになっている。
【００１５】
各可動子２は可動子２の往復動方向と同方向に変位する板ばね３で構成される連結体で連結してある。ここで、板ばね３は複数のばね部３ａの他端部が一体化部４により一体化されたもので、板ばね３の各ばね部３ａの一端部がそれぞれ独立して各可動子２に固定してあり、更に、この板ばね３の他端部の一体化部４が自由端となっている。添付図面に示す実施形態においては、板ばね３を一端部から切り込んで切り込み部３ｂを設けて複数の片状をしたばね部３ａを形成し、この切り込み部３ｂを板ばね３の他端部側の手前まで切り込むことで、板ばね３の他端部がばね部３ａ同士を一体に連続する一体化部４となるものである。板ばね３の各ばね部３ａの一端部はそれぞれ各可動子２の往復動方向の一端部に固定具により固着されるものであり、図２、図３に示す実施形態においては、ばね部３ａが３つ設けてあり、３つのばね部３ａの一端部がそれぞれ中央可動子２ａの往復動方向の一端部と、両側可動子２ｂの往復動方向の一端部の両側部との合計３点において連結してある。板ばね３は各可動子２の固有振動数を一定にするための固有振動数設定ばねとなっている。また、図１乃至図３に示す実施形態においては、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４が板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部（つまり固定具による固定部）よりも下方に配置してある。
【００１６】
次に、動作につき説明する。可動子２は永久磁石８と電磁石との吸引、反発力により移動するが、その移動方向は連結板１３により往復運動方向（この実施形態では電気かみそりの往復運動方向）にのみ移動可能となっている。固定子１を構成する電磁石の巻線１１は実施例においては１本であり、往復運動の右方向運動と左方向運動では巻線１１に与える電流の向きを反転させる。つまり、移動方向に推進力が働く方向に電流を流す。このようにして可動子２を往復動させ、実施形態においては髭剃りを行う。ここで、本発明においては、一方の可動子２の負荷が大きく（つまり、実施形態においては可動刃３０の負荷が大きく）振幅が急激に減少しようとした時に、板ばね３によりもう一方の可動刃３０の可動子２を介してこの減少を抑えようとする力が働き、このことにより片方のみの振幅減少を防ぎ、常にバランスの取れた均一な振幅量を発生させるようになっている。
【００１７】
ここで、図１乃至図３に示す実施形態においては、３つのばね部３ａの一端部をそれぞれ中央可動子２ａの往復動方向の一端部と、両側可動子２ｂの往復動方向の一端部の両側部との合計３点において連結してあるので、板ばね３の振幅が安定し、また、板ばね３に発生する応力が小さくなる。また、固有振動数設定ばねとしてのばね材を従来のようにコイルスプリングとするのではなく、板ばね３により構成してあることで、従来例に示すように可動子２間にコイルスプリングを配設するための大きなスペースを必要とせず、電動機Ａの大きさをコンパクト化できるものである。また、図１乃至図３に示す実施形態のように、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４が板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも下方に配置してあると、電動機Ａにおける往復動方向のサイズをコンパクト化できるものである。つまり、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４が板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも上方に配置した場合には、シャーシ７と可動子２とを連結する連結板１３を構成するばね材４０と上記板ばね３との間に隙間を介して並べる必要があるが、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４が板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも下方に配置することで、電動機Ａにおける往復動方向のサイズをコンパクト化できるものである。
【００１８】
次に、図４に基づいて本発明の他の実施形態につき説明する。本実施形態において、基本的構成は上記図１乃至図３に示す実施形態と同様であるので、異なる構成についてのみ説明する。本実施形態においては、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４が板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも上方に配置した例である。このように、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４が板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも上方に配置すると、図１乃至図３の実施形態に比べて電動機Ａの上下方向のサイズをコンパクト化できるものである。
【００１９】
次に、図５に基づいて本発明の更に他の実施形態につき説明する。本実施形態において、基本的構成は上記図１乃至図３に示す実施形態と同様であるので、異なる構成についてのみ説明する。本実施形態においては、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４に補強板５を重ねて固着してあって、補強板５により板ばね３の他端部の一体化部４を補強してある。このように板ばね３の他端部の自由端である一体化部４を補強板５で補強することで、板ばね３の剛性が上がって、図３の実施形態のものに比べて板ばね３の振幅が安定し、また、板ばね３に発生する応力が小さくなるものである。本実施形態においても、図示を省略しているが、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４を板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも上方に配置してもよいものである。
【００２０】
次に、図６に基づいて本発明の更に他の実施形態につき説明する。本実施形態において、基本的構成は上記図１乃至図３に示す実施形態と同様であるので、異なる構成についてのみ説明する。すなわち、図３に示す実施形態においては、板ばね３が、中央可動子２ａの一端部と両側可動子２ｂの両端の計３点に固定した例を示してあるが、本実施形態においては図６に示すように、板ばね３が、中央可動子２ａの一端部と両側可動子２ｂの一端の計２点に固定してある。このように板ばね３を中央可動子２ａの一端部と両側可動子２ｂの一端の計２点で固定することで、板ばね３による連結の構造が簡略化できるものである。本実施形態においても、図示を省略しているが、板ばね３の他端部の自由端である一体化部４を板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも上方に配置してもよいものである。
【００２１】
次に、図７に基づいて本発明の更に他の実施形態につき説明する。本実施形態において、基本的構成は上記図１乃至図３に示す実施形態と同様であるので、異なる構成についてのみ説明する。すなわち、図１乃至図３に示す実施形態においては、可動子２の往復動方向の両端部のうち一端部において板ばね３により可動子２同士を連結した例を示しているが、本実施形態においては、板ばね３を各可動子２の往復動方向の両端部においてそれぞれ１つずつ合計２個設けて、各可動子２の両端部においてそれぞれ２個の板ばね３により連結してある。このように、板ばね３を各可動子２の往復動方向の両端部においてそれぞれ１つずつ合計２個設けることで、板ばね３が１つの場合よりも板ばね３の剛性が上がるので板ばね３の振幅を安定化させることができ、また、板ばね３に発生する応力を小さくできるものである。本実施形態においても、図示を省略しているが、各板ばね３の他端部の自由端である一体化部４を板ばね３の各ばね部３ａの一端部の各可動子２への固定部よりも上方に配置してもよいものである。
【００２２】
ところで、すでに述べたように、板ばね３は各可動子２の固有振動数を一定にするための固有振動数設定ばねとなっており、このため、板ばね３の各ばね部３ａのばね定数を各可動子２のそれぞれの振幅量に比例して異ならせてある。ここで、板ばね３の各ばね部３ａのばね定数を各可動子２のそれぞれの振幅量に比例させるに当たっては、例えば、図８に示すように、各可動子２に対応する各ばね部３の厚さを異ならせたり、あるいは、図９に示すように、各可動子２に対応する各ばね部３の長さを異ならせたり、あるいは、図１０に示すように、各可動子２に対応する各ばね部３の幅を異ならせたりすることで達成できるものである。
【００２３】
次に、図１１に基づいて本発明の更に他の実施形態につき説明する。本実施形態において、基本的構成は上記図１乃至図３に示す実施形態と同様であるので、異なる構成についてのみ説明する。すなわち、図１乃至図３に示す実施形態においては、板ばね３の他端部の一体化部４が自由端となっている例につき説明したが、本実施形態においては、板ばね３の各ばね部３ａの一端部がそれぞれ独立して各可動子２に固定され且つ板ばね３の他端部の一体化部４が固定部３５に対して固定してある。固定部３５は図１１に示す実施形態においては電気かみそりのケース４０に一体に形成したものである。このように板ばね３の他端部の一体化部４を固定部３５に対して固定することで、リニアモータ特有の両可動子２が同じ方向に移動してしまうということを防ぐことができるものである。
【００２４】
なお、本発明においては振動型リニアアクチュエータである電動機Ａを往復式電気かみそりの駆動源として使用した例を示したが、往復式電気かみそりの駆動源にのみ限定されるものではなく、他の種々の機器の駆動源として使用することができるものである。
【００２５】
【発明の効果】
本発明の請求項１記載の発明にあっては、複数の可動子を１つの固定子で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、各可動子を往復動方向に変位する板ばねで構成される連結体で連結し、この板ばねは複数のばね部の他端部が一体化部により一体化されたもので、板ばねの各ばね部の一端部がそれぞれ独立して各可動子に固定され且つ板ばねの他端部の一体化部が自由端となっているので、板ばねよりなる連結体により一つの可動子に偏って大きな負荷がかかって振幅が急激に減少しようとした時に、板ばねにより他の可動子を介してこの減少を抑えるようにして、片方のみの振幅減少を防ぎ、バランスの取れた均一な振幅量を得ることができるものであり、しかも、板ばねよりなる連結体は従来のコイルばねを可動子間に介在させるもののようにコイルばねを介在させるための大きなスペースを必要としないものであり、この結果、電動機の大きさを小さくできるものである。
【００２６】
また、請求項２記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、板ばねの他端部の自由端が板ばねの各可動子への固定部分よりも下方に位置するので、振幅方向における電動機の大きさを小さくできて、よりコンパクト化が図れるものである。
また、請求項３記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、板ばねの他端部の自由端が板ばねの各可動子への固定部分よりも上方に位置するので、電動機の上下方向の大きさを小さくできて、よりコンパクト化が図れるものである。
【００２７】
また、請求項４記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、板ばねの他端部が補強板で補強されているので、板ばねの振幅が安定し、また、板ばねに発生する応力が小さくなるものである。
また、請求項５記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、可動子が中央可動子と該中央可動子の両側に配置した両側可動子とからなるので、電動機の前後方向における重量バランスが取れ、振動が低減されるものである。
【００２８】
また、請求項６記載の発明にあっては、上記請求項５記載の発明の効果に加えて、板ばねが、中央可動子の一端部と両側可動子の一端の計２点に固定してあるので、構造が簡略化できるものである。
また、請求項７記載の発明にあっては、上記請求項５記載の発明の効果に加えて、板ばねが、中央可動子の一端部と両側可動子の両端の計３点に固定してあるので、板ばねの振幅が安定し、また、板ばねに発生する応力が小さくなるものである。
【００２９】
また、請求項８記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、板ばねを各可動子の往復動方向の両端部においてそれぞれ１つずつ合計２個設けてあるので、板ばねが１つの場合よりも板ばねの振幅が安定し、また、板ばねに発生する応力が小さくなるものである。
また、請求項９記載の発明にあっては、上記請求項１記載の発明の効果に加えて、各可動子間に対応するばね部のばね定数を可動子のそれぞれの振幅量に比例して異ならせてあるので、板ばねの他端部の自由端が振幅に対して移動することなく振幅が安定するという効果を有している。
【００３０】
また、請求項１０記載の発明にあっては、上記請求項９記載の発明の効果に加えて、各可動子間に対応するばね部の厚さが異なっているので、簡単な構成で、各可動子間に対応するばね部のばね定数を可動子のそれぞれの振幅量に比例して異ならせることができるものである。
また、請求項１１記載の発明にあっては、上記請求項９記載の発明の効果に加えて、各可動子間に対応するばね部の長さが異なっているので、簡単な構成で、各可動子間に対応するばね部のばね定数を可動子のそれぞれの振幅量に比例して異ならせることができるものである。
【００３１】
また、請求項１２記載の発明にあっては、上記請求項９記載の発明の効果に加えて、各可動子間に対応するばね部の幅が異なっているので、簡単な構成で、各可動子間に対応するばね部のばね定数を可動子のそれぞれの振幅量に比例して異ならせることができるものである。
また、請求項１３記載の発明にあっては、上記のように、複数の可動子を１つの固定子で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、各可動子を往復動方向に変位する板ばねで構成される連結体で連結し、この板ばねは複数のばね部の他端部が一体化部により一体化されたもので、板ばねの各ばね部の一端部がそれぞれ独立して各可動子に固定され且つ板ばねの他端部の一体化部が固定部に対して固定してあるので、板ばねよりなる連結体により一つの可動子に偏って大きな負荷がかかって振幅が急激に減少しようとした時に、板ばねにより他の可動子を介してこの減少を抑えるようにして、片方のみの振幅減少を防ぎ、バランスの取れた均一な振幅量を得ることができるものであり、しかも、板ばねよりなる連結体は従来のコイルばねを可動子間に介在させるもののようにコイルばねを介在させるための大きなスペースを必要としないものであり、この結果、電動機の大きさを小さくできるものであり、また、板ばねの他端部の一体化部が固定部に対して固定してあることで、リニアモータ特有の両可動子が同じ方向に移動してしまうということを防ぐことができるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電動機を使用した往復式電気かみそりの要部の正面断面図である。
【図２】本発明の電動機の分解斜視図である。
【図３】同上の斜視図である。
【図４】本発明の他の実施形態の斜視図である。
【図５】本発明の更に他の実施形態の斜視図である。
【図６】本発明の更に他の実施形態の斜視図である。
【図７】本発明の更に他の実施形態の斜視図である。
【図８】本発明の更に他の実施形態の斜視図である。
【図９】本発明の更に他の実施形態の斜視図である。
【図１０】本発明の更に他の実施形態の斜視図である。
【図１１】本発明の更に他の実施形態の電動機を使用した往復式電気かみそりの要部の正面断面図である。
【符号の説明】
１固定子
２可動子
２ａ中央可動子
２ｂ側可動子
３板ばね
３ａばね部
４一体化部
５補強板

Claims

複数の可動子を１つの固定子で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、各可動子を往復動方向に変位する板ばねで構成される連結体で連結し、この板ばねは複数のばね部の他端部が一体化部により一体化されたもので、板ばねの各ばね部の一端部がそれぞれ独立して各可動子に固定され且つ板ばねの他端部の一体化部が自由端となっていることを特徴とする振動型リニアアクチュエータ。
板ばねの他端部の自由端が板ばねの各可動子への固定部分よりも下方に位置することを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
板ばねの他端部の自由端が板ばねの各可動子への固定部分よりも上方に位置することを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
板ばねの他端部が補強板で補強されていることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
可動子が中央可動子と該中央可動子の両側に配置した両側可動子とからなることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
板ばねが、中央可動子の一端部と両側可動子の一端の計２点に固定してあることを特徴とする請求項５記載の振動型リニアアクチュエータ。
板ばねが、中央可動子の一端部と両側可動子の両端の計３点に固定してあることを特徴とする請求項５記載の振動型リニアアクチュエータ。
板ばねを各可動子の往復動方向の両端部においてそれぞれ１つずつ合計２個設けてあることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
各可動子間に対応するばね部のばね定数を可動子のそれぞれの振幅量に比例して異ならせてあることを特徴とする請求項１記載の振動型リニアアクチュエータ。
各可動子間に対応するばね部の厚さが異なっていることを特徴とする請求項９記載の振動型リニアアクチュエータ。
各可動子間に対応するばね部の長さが異なっていることを特徴とする請求項９記載の振動型リニアアクチュエータ。
各可動子間に対応するばね部の幅が異なっていることを特徴とする請求項９記載の振動型リニアアクチュエータ。
複数の可動子を１つの固定子で往復駆動するようにした振動型リニアアクチュエータにおいて、各可動子を往復動方向に変位する板ばねで構成される連結体で連結し、この板ばねは複数のばね部の他端部が一体化部により一体化されたもので、板ばねの各ばね部の一端部がそれぞれ独立して各可動子に固定され且つ板ばねの他端部の一体化部が固定部に対して固定してあることを特徴とする振動型リニアアクチュエータ。