JP3659655B2

JP3659655B2 - 真空発生装置

Info

Publication number: JP3659655B2
Application number: JP05054893A
Authority: JP
Inventors: 富夫濱; 清康山崎
Original assignee: Nihon Pisco Co Ltd
Current assignee: Nihon Pisco Co Ltd
Priority date: 1993-03-11
Filing date: 1993-03-11
Publication date: 2005-06-15
Anticipated expiration: 2020-06-15
Also published as: JPH06264900A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は真空発生装置に関し、一層詳細には圧空を通過させて負圧状態を発生させるエジェクタ式の真空発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、真空吸着装置等に真空発生装置が組み込まれている。従来の真空吸着装置を図７に示す。
図７において、１０２はエジェクタ式の真空発生装置（例えば特公平３−４３４７９号公報参照）であり、管継手１０４ａから圧空が導入されると管継手１０４ｂ内が負圧になる。
１０６は吸着パッドであり、パイプ１１４を介して管継手１０４ｂへ接続されている。管継手１０４ｂ内が負圧になると、吸着パッド１０６内も負圧になり、吸着パッド１０６下面でワーク（不図示）を吸着することができる。
１０８は弁装置であり、内部に配設されているスプール弁を電磁弁１１０で駆動することにより、圧空の真空発生装置１０２への供給を制御する。弁装置１０８の管継手１０４ｃへ常時圧空が不図示のコンプレッサから供給されている。圧空は弁装置１０８の管継手１０４ｄからチューブ１１２を介して真空発生装置１０２の管継手１０４ａへ供給される。
従って、電磁弁１１０のＯＮ／ＯＦＦを制御することにより、弁装置１０８から真空発生装置１０２への圧空の供給が制御され、その結果、吸着パッド１０６によるワークの吸着、解放が制御される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の真空吸着装置１００には次のような課題がある。
真空発生装置１０２と弁装置１０８が別個になっているので、両者を取り付けるため必要とする占有空間が大きくなってしまう。
また、取付も個々に行い、さらに両者をチューブ１１２で連絡しなくてはならず、作業工程数が多くなり面倒である。また、取付後の見栄えも悪いという課題がある。
従って、本発明は真空（負圧）発生機能と制御機能を１台で併せ持つ真空発生装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
すなわち、本体部２８と、該本体部２８内に圧空を導入するための第１のポート３０と、前記本体部２８内を外部に連通する第２のポート３２と、前記本体部２８内の圧空を外部へ排出する第３のポート３４と、前記本体部２８内のスプール収納部に、第１の位置と第２の位置との間にわたって移動可能に配置されたスプール３６と、前記スプール３６の他端部とスプール収納部の他端側との間に設けられ、スプール３６を常時第１の位置の方向へ付勢する付勢手段５４ａと、圧空によって前記スプール３６を前記付勢手段５４ａの付勢力に抗して第２の位置へ動作させるために、前記第１のポート３０から導入された圧空を前記スプール収納部内の一端側５０に導入する駆動用流路４６ｈと、該駆動用流路４６ｈの中途部に設けられ、該駆動用流路４６ｈを開閉することによってスプール３６の移動を制御する電磁弁２２とを具備し、前記スプール３６は、一端側の側壁に形成され、スプール３６が第１の位置にあるときはスプール収納部壁面によって閉塞され、スプール３６が第２の位置にあるときは前記第１のポート３０と連通すると共に、第１のポート３０からの圧空をスプール３６内部に形成された第２の流路４６ａに導入する第１の流路４６ｂと、該第１の流路４６ｂに連通し、前記スプール３６の内部に軸線方向に形成された前記第２の流路４６ａと、他端側の側壁に形成され、第２の流路４６ａと前記第３のポート３４とを連通し、スプール３６が第２の位置にあるときはスプール３６内の圧空を第３のポート３４へ排出する第３の流路４６ｃと、前記第１の流路４６ｂと第３の流路４６ｃの間に位置して、前記第２の流路４６ａに対して直交するようにスプール３６に開口され、第２のポート３２と連通する第４の流路４６ｆとを有し、スプール３６が第２の位置にあるとき、前記第４の流路４６ｆと前記第２の流路４６ａとによって、第２の流路４６ａ内を流通する圧空によって前記第４の流路４６ｆが第２のポート３２から外部の空気を吸引するエジェクタ部を構成することを特徴とする。
【０００５】
また、本体部２８と、該本体部２８内に圧空を導入するための第１のポート３０と、前記本体部２８内を外部に連通する第２のポート３２と、前記本体部２８内の圧空を外部へ排出する第３のポート３４と、前記本体部２８内のスプール収納部に、第１の位置と第２の位置と第３の位置との間にわたって移動可能に配置されたスプール３６と、前記スプール３６の一端部とスプール収納部の一端側との間に設けられスプール３６を常時他端側へ付勢する付勢手段５４ｃ、および前記スプール３６の他端部とスプール収納部の他端側との間に設けられスプール３６を常時一端側へ付勢する付勢手段５４ａを有し、両付勢手段５４ｃ、５４ａの付勢力が釣り合って、前記スプール３６を第２の位置と第３の位置との間の中立位置である第１の位置に停止させる釣り合い機構と、前記第１のポート３０を前記スプール収納部内に連通させる圧空用流路４６ｊと、圧空によって前記スプール３６を第１の位置における付勢手段５４ｃと付勢手段５４ａとの釣り合いを崩して第２の位置へ動作させるために、前記第１のポート３０から導入された圧空を前記スプール収納部内の一端側５０に導入する駆動用流路４６ｈと、圧空によって前記スプール３６を第１の位置における付勢手段５４ｃと付勢手段５４ａとの釣り合いを崩して第３の位置へ動作させるために、前記第１のポート３０から導入された圧空を前記スプール収納部内の他端側５２に導入する駆動用流路４６ｋと、該駆動用流路４６ｋおよび前記駆動用流路４６ｈの中途部に設けられ、両駆動用流路４６ｋ、４６ｈをそれぞれ独立して開閉可能であって、駆動用流路４６ｋを閉状態とし駆動用流路４６ｈを開状態としたときに、前記スプール収納部内の一端側５０に圧空を導入させて前記付勢手段５４ａの付勢力に抗してスプール３６を第２の位置に移動させ、駆動用流路４６ｋを開状態とし駆動用流路４６ｈを閉状態としたときに、前記スプール収納部内の他端側５２に圧空を導入させて前記付勢手段５４ｃの付勢力に抗してスプール３６を第３の位置に移動させる電磁弁２２とを具備し、前記スプール３６は、一端側の側壁に形成され、スプール３６が第１の位置および第３の位置にあるときはスプール収納部壁面によって閉塞され、スプール３６が第２の位置にあるときは前記第１のポート３０と連通すると共に、第１のポート３０からの圧空をスプール３６内部に形成された第２の流路４６ａに導入する第１の流路４６ｂと、該第１の流路４６ｂに連通し、前記スプール３６の内部に軸線方向に形成された前記第２の流路４６ａと、他端側の側壁に形成され、第２の流路４６ａと前記第３のポート３４とを連通し、スプール３６が第２の位置にあるときはスプール３６内の圧空を第３のポート３４へ排出する第３の流路４６ｃと、前記第１の流路４６ｂと第３の流路４６ｃの間に位置して、前記第２の流路４６ａに対して直交するようにスプール３６に開口され、第２のポート３２と連通する第４の流路４６ｆと、スプール３６が第３の位置にあるときに前記圧空用流路４６ｊおよび前記第２のポート３２と連通し、前記圧空用流路４６ｊを流通する圧空を前記第２のポートへ排出する第５の流路６６とを有し、スプール３６が第２の位置にあるとき、前記第４の流路４６ｆと前記第２の流路４６ａとによって、第２の流路４６ａ内を流通する圧空によって前記第４の流路４６ｆが第２のポート３２から外部の空気を吸引するエジェクタ部を構成することを特徴とする。
【０００６】
【作用】
作用について説明する。
本体部に設けられた第１のポート、第２のポート、第３のポート、第１の流路および第２の流路という構成により、真空発生機能が得られる。一方、本体部内に配設された移動切換部により、第２のポートにおける真空（負圧）発生とその停止を切り換える制御機能を得ることができる。
特に、第３の流路を設け、移動切換部を第３の位置へ移動可能にすると、移動切換部が第３の位置に在る場合、第２のポートから空気を導出可能となる。
【０００７】
【実施例】
以下、本発明の好適な実施例について添付図面と共に詳述する。
図６に本実施例の真空発生装置１０を使用した真空吸着装置１２の正面図を示す。
図６において、１４は吸着パッドであり、下面が開口している。吸着パッド１４は、柔軟性を有する合成樹脂で形成されている。吸着パッド１４内を負圧にすることにより、吸着パッド１４下面でワーク（不図示）を吸着可能になっている。吸着パッド１４の上部には取付部１６が設けられ、管継手１８ａが配設されている。管継手１８ａと真空発生装置１０の管継手１８ｂの間は、パイプ２０で連結され、外気は吸着パッド１４からパイプ２０を経由して真空発生装置１０へ吸引可能になっている。
【０００８】
２２は駆動部の一例である電磁弁であり、詳しくは後述するが、真空発生装置１０へ一体に取り付けられている。電磁弁２２は真空発生装置１０内に配設されている移動切換部を駆動し、吸着パッド１４によるワークの吸着、解放を制御する。
２４消音器であり、真空発生装置１０から圧空が排出される際の排気音を規制する。
２６はチューブであり、真空発生装置１０に設けられている管継手１８ｃへ接続されている。不図示のコンプレッサからチューブ２６を介して圧空が常時真空発生装置１０へ供給されている。
【０００９】
次に、上記の真空吸着装置１２に使用されている真空発生装置１０の構造について説明する。
まず、図１および図２を参照して第１実施例の真空発生装置１０について説明する。
２８は本体部であり、外壁面に第１のポート３０、第２のポート３２および第３のポート３４が開口している。
第１のポート３０には管継手１８ｃが取り付けられる。第１のポート３０から本体部２８内へ、チューブ２６を介して圧空が導入される。
【００１０】
第２のポート３２には管継手１８ｂが取り付けられる。第２のポート３２から本体部２８内へ外部の空気が導入される。すなわち、吸着パッド１４から吸引された外部の空気は第２のポート３２から本体部２８内へ導入される。
第３のポート３４には消音器２４が取り付けられる。第１のポート３０から本体部２８内へ導入された圧空および第２のポート３２から本体部２８内へ導入された空気が第３のポート３４から本体部２８外へ排出される。排出の際に圧空が発生させる騒音を消音する。
【００１１】
３６は移動切換部の一例であるスプールであり、第１の構成部材３８、第２の構成部材４０、第３の構成部材４２、第４の構成部材４４から成る。第１の構成部材３８は第２の構成部材４０へ螺着されている。第２の構成部材４０と第３の構成部材４２、および第３の構成部材４２と第４の構成部材４４は互いに嵌合して連結されている。スプール３６は、本体部２８内に配され、第１の位置（図１に図示する位置）と第２の位置（図２に図示する位置）との間に亙り移動可能である。
【００１２】
スプール３６は中央軸線方向へ流路４６ａが形成されている。流路４６ａにおいて、第２の構成部材４０の下端部が下方へ向けて流路断面積が徐々に増加するノズルに形成され、第３の構成部材４２の上端部が下方へ向けて流路断面積が徐々に減少するディフューザに形成されている。スプール３６を構成する第２の構成部材４０の中央部にはラジアル方向へ流路４６ｂが透設されている。スプール３６を構成する第３の構成部材４２の下端部にはラジアル方向へ流路４６ｃが透設され、上端部にはラジアル方向へ流路４６ｆが透設されている。
流路４６ｄは平面円形に形成され、第１のポート３０と、スプール３６が移動可能な内部空間とを連絡している。
流路４６ｅは、第３の構成部材４２の外周に形成されている。流路４６ｅは、下端が第２のポート３２へ連絡し、上端は流路４６ｆへ連絡している。
【００１３】
なお、流路４６ｄ、流路４６ｂ、流路４６ａ、流路４６ｃで、第１のポート３０と第３のポート３４を連絡する第１の流路が構成される。一方、流路４６ｅ、流路４６ｆで一端が第２のポート３２へ連絡し、他端が前記第１の流路を構成する流路４６ａへ直交して連絡する第２の流路が構成される。この流路４６ｆが流路４６ａと直交して連絡する構成を採用することにより、流路４６ａを圧空が通過する際に流路４６ｆ内の空気を流路４６ａへ吸引するエジュクタ効果を得ることができる。
【００１４】
駆動部の一例である電磁弁２２は、本体部２８へ一体に組み込まれている。電磁弁２２は、弁体４８で流路４６ｇを開閉することにより、流路４６ｈ、４６ｉを介してスプール３６の上側空気室５０または下側空気室５２への空気の給排を制御する。
５４ａはコイルスプリングであり、第４の構成部材４４と本体部２８の内底面との間に弾装され、常時スプール３６を上方へ付勢している。
【００１５】
続いて第１実施例の真空発生装置１０の動作について説明する。
図１に示す状態は、電磁弁２２の電磁コイル５６へ非通電の状態であり、弁体４８は流路４６ｇを閉塞した状態である。スプール３６はコイルスプリング５４ａの付勢力により最上位置、すなわち第１の位置に在る。
この状態では、第１のポート３０から送り込まれた圧空は、流路４６ｄへ流入するが、流路４６ｄは第２の構成部材４０の外周に嵌着されているシール部材５８ａ、５８ｂが有るため、圧空の流動は妨げられている。前記第１の流路は、第１のポート３０と前記第２の流路と連絡する部分（流路４６ａと流路４６ｆが直交する部分）との間で閉塞されている。流路４６ｄから流路４６ｉへ進入した圧空は下側空気室５２へ入り、スプール３６を上方へ付勢するが、流動は停止し、流路４６ｄから流路４６ｇへ進入した圧空は弁体４８により流動が停止される。また、流路４６ａへの圧空の進入が妨げられているので、エジェクタ効果が発生しない。従って、吸着パッド１４はワークを吸引しない。
【００１６】
図１の状態において、電磁コイル５６へ通電すると、弁体４８はコイルスプリング５４ｂの付勢力に抗して下動し、流路４６ｇを開放する。その結果、流路４６ｇで停止していた圧空は、流路４６ｈを経由して上側空気室５０に入り、コイルスプリング５４ａの付勢力に抗してスプール３６を下動させる。その際、下側空気室５２にも圧空が導入されるが、上側空気室５０の受圧面積を下側空気室５２の受圧面積より十分大きく設定されているのでスプール３６を下動させることができる。
スプール３６が下動して第２の位置に在る状態を図２に示す。スプール３６が第２の位置に達すると、第２の構成部材４０の大径部６０が本体部２８内壁から突設されているストッパ部６２へ当接し、スプール３６の下動が規制され、当該位置に止まっている。
【００１７】
この状態では、流路４６ｂと流路４６ｄとが連絡するので、第１のポート３０から送り込まれた圧空は、流路４６ｄから流路４６ａに入り、流路４６ｃを経て第３のポート３４から排出される。その間、流路４６ａを圧空が通過する際に流路４６ｆ内の空気はエジェクタ効果により流路４６ａ内へ吸引されるので、流路４６ｅ、第２のポート３２、パイプ２０を介して吸着パッド１４内は負圧になる。吸着パッド１４内が負圧になると、吸着パッド１４はワークを吸引可能となる。なお、第２のポート３２から吸引された空気は圧空と共に第３のポート３４から排出される。
【００１８】
吸着パッド１４がワークを吸着した状態で電磁コイル５６への通電が停止されると、電磁弁２２の弁体４８がコイルスプリング５４ｂの付勢力により流路４６ｇを再び閉塞する。すると、上側空気室５０への圧空の供給が停止されるので、スプール３６はコイルスプリング５４ａの付勢力と下側空気室５２内へ導入された圧空の圧力で上動し、図１の状態に復帰する。その結果、吸着パッド１４に吸着されていたワークは解放される。
【００１９】
次に図３〜図５と共に真空発生装置１０の第２実施例について説明する。
第１実施例において、ワークを吸着パッド１４から解放するために電磁コイル５６への通電を停止しても場合によっては吸着パッド１４内が直ちに正圧に復帰しないことがある。第２実施例では直ちにワークを吸着パッド１４を解放し得る構造の真空発生装置１０である。なお、第１実施例と同一の構成部材については第２実施例と同一の符号を付し、説明は省略する。
第１実施例では、スプール３６は圧空の流れを第１の流路中途で停止させる第１の位置と、圧空を第１の流路を通過させ、第２のポート３２を介して吸着パッド１４内を負圧にする第２の位置とで停止可能になっていた。第２実施例ではさらに第２のポート３２を経由して吸着パッド１４から圧空を導出可能な第３の位置においても停止可能になっている。
第２実施例では、例えば２個の電磁コイルで２個の弁体を個々に駆動するタイプの電磁弁２２が使用されている。この電磁弁２２は流路４６ｈと４６ｋを選択的に開閉可能になっている。
【００２０】
まず、図３にはスプール３６が第１の位置に在る状態を示す。
この状態は、電磁弁２２へ非通電の状態であり、流路４６ｈ、４６ｋを閉塞した状態である。スプール３６は同一の付勢力を有するコイルスプリング５４ａ、５４ｃにより本体部２８内の中間位置、すなわち第１の位置に在る。
【００２１】
この状態では、第１のポート３０から送り込まれた圧空は、流路４６ｄへ流入するが、流路４６ｄは第２の構成部材４０の外周に嵌着されているシール部材５８ａ、５８ｂが有るため、圧空の流動は妨げられている。第１の流路は、第１のポート３０と第２の流路と連絡する部分（流路４６ａと流路４６ｆが直交する部分）との間で閉塞されている。第１のポート３０から流路４６ｊへ進入した圧空は、第３の構成部材４２の外周に嵌着されているシール部材５８ｃ、５８ｄが有るため、やはり流動が妨げられている。従って、スプール３６が第１の位置に在ると、第１の流路は前記第１のポートと前記第２の流路と連絡する部分との間で閉塞され、かつ流路４６ｊおよびシール部材５８ｃと５８ｄとの間の空間部６６から成り、第１のポート３０と第２のポート３２を連絡し得る第３の流路を中途で閉塞する。
図３の状態では、流路４６ａへの圧空の進入が妨げられているので、エジェクタ効果が発生しない。従って、吸着パッド１４はワークを吸引しない。
【００２２】
次に、図４にはスプール３６が第２の位置に在る状態を示す。
この状態は、電磁弁２２へ通電し、流路４６ｈを圧空が流動可能とし、流路４６ｋを流動不能とした状態であり、スプール３６は最下位置、すなわち第２の位置に在る。
スプール３６が第２の位置に在ると、第１のポート３０から流路４６ｊへ進入した圧空は、シール部材５８ｃ、５８ｅが有り、流動が妨げられているので、前記第３の流路を中途で閉塞した状態である。しかし、流路４６ｈが開放されているので、圧空は、上側空気室５０に入り、コイルスプリング５４ａの付勢力に抗してスプール３６を下動させる。
スプール３６が下動して第２の位置に達すると、第２の構成部材４０の大径部６０ａが本体部２８内壁から突設されているストッパ部６２ａへ当接し、スプール３６の下動が規制され、当該位置に止まっている。
【００２３】
この状態では、流路４６ｂと流路４６ｄとが連絡するので、第１のポート３０から送り込まれた圧空は、流路４６ｄから流路４６ａに入り、流路４６ｃを経て第３のポート３４から排出される。その間、流路４６ａを圧空が通過する際に流路４６ｆ内の空気はエジェクタ効果により流路４６ａ内へ吸引されるので、流路４６ｅ、第２のポート３２、パイプ２０を介して吸着パッド１４内は負圧になる。吸着パッド１４内が負圧になると、吸着パッド１４はワークを吸引可能となる。なお、第２のポート３２から吸引された空気は圧空と共に第３のポート３４から排出される。
【００２４】
次に、図５にはスプール３６が第３の位置に在る状態を示す。
この状態は、電磁弁２２へ通電し、流路４６ｋを圧空が流動可能とし、流路４６ｈを圧空が流動不能とした状態であり、スプール３６は最上位置、すなわち第３の位置に在る。
スプール３６が第３の位置に在ると、第１の流路は、シール部材５８ａ、５８ｂにより第１のポート３０と第２の流路と連絡する部分（流路４６ａと流路４６ｆが直交する部分）との間で閉塞されている。第２の流路は、流路４６ｅがシール部材５８ｅにより中途で閉塞されている。一方、第３の流路は、空間部６６と第２のポート３２が連絡している。
【００２５】
第１のポート３０から導入された圧空は、流路４６ｋが開放されているので、下側空気室５２に入り、コイルスプリング５４ｃの付勢力に抗してスプール３６を上動させる。スプール３６が上動して第３の位置に達すると、第４の構成部材４４の大径部６０ｂが本体部２８内壁から突設されているストッパ部６２ｂへ当接し、スプール３６の上動が規制され、当該位置に止まっている。
この状態では、第３の流路のみが連通しているので、第１のポート３０から送り込まれた圧空は、流路４６ｊ、空間部６６、第２のポート３２を経て吸着パッド１４から排出される。この排出により吸着パッド１４に吸着されていたワークは直ちに解放される。
【００２６】
電磁弁２２への通電が停止されると、再び流路４６ｈ、４６ｋが閉塞されるので、上側空気室５０、下側空気室５２への圧空の供給が停止されるので、スプール３６はコイルスプリング５４ａ、５４ｃのバランスした付勢力により、第１の位置へ復帰し、図３の状態に復帰する。
以上、本発明の好適な実施例について種々述べて来たが、本発明は上述の実施例に限定されるのではなく、発明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００２７】
【発明の効果】
本発明に係る真空発生装置を用いると、本体部に設けられた第１のポート、第２のポート、第３のポート、第１の流路および第２の流路という構成により、真空発生機能が得られる。一方、本体部内に配設された移動切換部により、第２のポートにおける真空（負圧）発生とその停止を切り換える制御機能を得ることができるので、従来の弁装置の機能も真空発生装置内に組み込むことが可能となるので、両者を取り付けるため必要とする占有空間が小さくて済む。また、取付も簡単で、接続用チューブも不要である。また、見栄えも良くなる。
特に、請求項２の構成を採用すると、移動切換部が第３の位置に在る場合、第２のポートから空気を導出可能となるので、例えば真空吸着装置に用いた場合、吸着パッドに吸着されたワークを直ちに解放可能となる。
請求項３の構成を採用すると、さらに装置の小型化を図ることができる等の著効を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る真空発生装置の第１実施例において、スプールが第１の位置に在る状態を示した断面図。
【図２】第１実施例において、スプールが第２の位置に在る状態を示した断面図。
【図３】本発明に係る真空発生装置の第２実施例において、スプールが第１の位置に在る状態を示した断面図。
【図４】第２実施例において、スプールが第２の位置に在る状態を示した断面図。
【図５】第２実施例において、スプールが第３の位置に在る状態を示した断面図。
【図６】本発明に係る真空発生装置を用いた真空吸着装置の正面図。
【図７】従来の真空発生装置を用いた真空吸着装置の正面図。
【符号の説明】
１０真空発生装置
２２電磁弁
２８本体部
３０第２のポート
３２第２のポート
３４第３のポート
３６スプール
４６ａ〜４６ｋ流路

Claims

本体部２８と、
該本体部２８内に圧空を導入するための第１のポート３０と、
前記本体部２８内を外部に連通する第２のポート３２と、
前記本体部２８内の圧空を外部へ排出する第３のポート３４と、
前記本体部２８内のスプール収納部に、第１の位置と第２の位置との間にわたって移動可能に配置されたスプール３６と、
前記スプール３６の他端部とスプール収納部の他端側との間に設けられ、スプール３６を常時第１の位置の方向へ付勢する付勢手段５４ａと、
圧空によって前記スプール３６を前記付勢手段５４ａの付勢力に抗して第２の位置へ動作させるために、前記第１のポート３０から導入された圧空を前記スプール収納部内の一端側５０に導入する駆動用流路４６ｈと、
該駆動用流路４６ｈの中途部に設けられ、該駆動用流路４６ｈを開閉することによってスプール３６の移動を制御する電磁弁２２とを具備し、
前記スプール３６は、
一端側の側壁に形成され、スプール３６が第１の位置にあるときはスプール収納部壁面によって閉塞され、スプール３６が第２の位置にあるときは前記第１のポート３０と連通すると共に、第１のポート３０からの圧空をスプール３６内部に形成された第２の流路４６ａに導入する第１の流路４６ｂと、
該第１の流路４６ｂに連通し、前記スプール３６の内部に軸線方向に形成された前記第２の流路４６ａと、
他端側の側壁に形成され、第２の流路４６ａと前記第３のポート３４とを連通し、スプール３６が第２の位置にあるときはスプール３６内の圧空を第３のポート３４へ排出する第３の流路４６ｃと、
前記第１の流路４６ｂと第３の流路４６ｃの間に位置して、前記第２の流路４６ａに対して直交するようにスプール３６に開口され、第２のポート３２と連通する第４の流路４６ｆとを有し、
スプール３６が第２の位置にあるとき、前記第４の流路４６ｆと前記第２の流路４６ａとによって、第２の流路４６ａ内を流通する圧空によって前記第４の流路４６ｆが第２のポート３２から外部の空気を吸引するエジェクタ部を構成することを特徴とする真空発生装置。
本体部２８と、
該本体部２８内に圧空を導入するための第１のポート３０と、
前記本体部２８内を外部に連通する第２のポート３２と、
前記本体部２８内の圧空を外部へ排出する第３のポート３４と、
前記本体部２８内のスプール収納部に、第１の位置と第２の位置と第３の位置との間にわたって移動可能に配置されたスプール３６と、
前記スプール３６の一端部とスプール収納部の一端側との間に設けられスプール３６を常時他端側へ付勢する付勢手段５４ｃ、および前記スプール３６の他端部とスプール収納部の他端側との間に設けられスプール３６を常時一端側へ付勢する付勢手段５４ａを有し、両付勢手段５４ｃ、５４ａの付勢力が釣り合って、前記スプール３６を第２の位置と第３の位置との間の中立位置である第１の位置に停止させる釣り合い機構と、
前記第１のポート３０を前記スプール収納部内に連通させる圧空用流路４６ｊと、
圧空によって前記スプール３６を第１の位置における付勢手段５４ｃと付勢手段５４ａとの釣り合いを崩して第２の位置へ動作させるために、前記第１のポート３０から導入された圧空を前記スプール収納部内の一端側５０に導入する駆動用流路４６ｈと、
圧空によって前記スプール３６を第１の位置における付勢手段５４ｃと付勢手段５４ａとの釣り合いを崩して第３の位置へ動作させるために、前記第１のポート３０から導入された圧空を前記スプール収納部内の他端側５２に導入する駆動用流路４６ｋと、
該駆動用流路４６ｋおよび前記駆動用流路４６ｈの中途部に設けられ、両駆動用流路４６ｋ、４６ｈをそれぞれ独立して開閉可能であって、駆動用流路４６ｋを閉状態とし駆動用流路４６ｈを開状態としたときに、前記スプール収納部内の一端側５０に圧空を導入させて前記付勢手段５４ａの付勢力に抗してスプール３６を第２の位置に移動させ、駆動用流路４６ｋを開状態とし駆動用流路４６ｈを閉状態としたときに、前記スプール収納部内の他端側５２に圧空を導入させて前記付勢手段５４ｃの付勢力に抗してスプール３６を第３の位置に移動させる電磁弁２２とを具備し、
前記スプール３６は、
一端側の側壁に形成され、スプール３６が第１の位置および第３の位置にあるときはスプール収納部壁面によって閉塞され、スプール３６が第２の位置にあるときは前記第１のポート３０と連通すると共に、第１のポート３０からの圧空をスプール３６内部に形成された第２の流路４６ａに導入する第１の流路４６ｂと、
該第１の流路４６ｂに連通し、前記スプール３６の内部に軸線方向に形成された前記第２の流路４６ａと、
他端側の側壁に形成され、第２の流路４６ａと前記第３のポート３４とを連通し、スプール３６が第２の位置にあるときはスプール３６内の圧空を第３のポート３４へ排出する第３の流路４６ｃと、
前記第１の流路４６ｂと第３の流路４６ｃの間に位置して、前記第２の流路４６ａに対して直交するようにスプール３６に開口され、第２のポート３２と連通する第４の流路４６ｆと、
スプール３６が第３の位置にあるときに前記圧空用流路４６ｊおよび前記第２のポート３２と連通し、前記圧空用流路４６ｊを流通する圧空を前記第２のポートへ排出する第５の流路６６とを有し、
スプール３６が第２の位置にあるとき、前記第４の流路４６ｆと前記第２の流路４６ａとによって、第２の流路４６ａ内を流通する圧空によって前記第４の流路４６ｆが第２のポート３２から外部の空気を吸引するエジェクタ部を構成することを特徴とする真空発生装置。