JP3646430B2 - 化学的機械研磨方法及び化学的機械研磨装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学的機械研磨方法及び化学的機械研磨装置に関し、特に、半導体装置の製造工程中に行われる、層間絶縁膜等が形成された被処理基板の平坦化に用いて好適な化学的機械方法及び化学的機械研磨装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年における半導体装置の設計ルールの微細化に伴って、リソグラフィーの解像度を上げる努力がなされているが、解像度を上げることにより焦点深度、いわゆるDOF(Depth Of Focus) は、むしろ低下せざるを得ない状況となってきている。このDOFの改善はレジストの性能改善を待たなければならないが、実際はレジストの改善より微細化要求の方が先行しているのが現在の実状である。そこで、デバイス構造の高低差をできるだけ平坦化しておくことでこの焦点深度の不足を補い、微細なパターンを焦点ズレさせずに確実に解像させる方法が検討されている。
そこで、デバイス構造の高低差を平坦化する方法として、最近では、シリコンウェハの鏡面化加工を応用した化学的機械研磨方法が採用さている。
【0003】
図7はこの化学的機械研磨を行うための、従来の化学的機械研磨装置を示す概略断面図である。この装置は、回転する研磨プレート回転軸1に支承され、表面に研磨パッド2が接着された研磨プレート3と、層間絶縁膜等が形成された被処理基板4(以下、ウェハと称する)を保持するキャリア5と、研磨スラリを研磨パッド2上に供給するノズル6を有する研磨スラリ供給装置7とから概ね構成されている。
そして、研磨パッド2を不図示のドレッサーによりドレッシング(研削)した後に、研磨プレート回転軸1及びキャリア回転軸8を回転させ、ノズル6から研磨パッド2の中央部に研磨スラリを供給しながら、研磨圧力調整機構9によりウェハ4を研磨パッド2上に押圧させて、ウェハ4の研磨を行うものである。
【0004】
ところで、このような化学的機械研磨方法では、ウェハの絶縁膜にマイクロスクラッチが生じること及び研磨レートのばらつきや研磨量の面内ばらつきが大きいことが問題となっている。
マイクロスクラッチの発生については、研磨パッド2のドレッシング時に発生する研磨パッド2の削り屑やドレッサーのダイヤ,層間膜,ウェハ4の破片屑等が原因の一つと推定される。また、研磨レートのばらつきや研磨量の面内ばらつきが大となる原因は、一度研磨に寄与した古い研磨スラリの残留が原因の一つと推定されており、これらの、研磨パッドの削り屑やドレッサーのダイヤ,層間膜,ウェハの破片屑や古い研磨スラリ等(以下、これらを総称して不純物とも表記する)を研磨パッド2外へ排出する必要がある。
【0005】
そこで、上記した従来の化学的機械研磨装置においては、研磨作業中研磨スラリを研磨パッド2の中央部に間断なく十分に流し出し、不純物をこの研磨スラリにより研磨パッド2外へ除去あるいは押し流すという対策を採っていた。
しかしながら、このような、不純物を研磨スラリにより除去するという手法は、高価な研磨スラリを多量に消費することとなり、化学的機械研磨の低コスト化が困難であった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明が解決しようとする課題は、従来のような多量の研磨スラリ供給によらずに、研磨パッド上に残留した不純物を効率よく確実に除去し、研磨スラリの使用量削減と、マイクロスクラッチの防止及び研磨レートや面内研磨量の安定化を同時に実現することが可能な化学的機械研磨方法及び化学的機械研磨装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の化学的機械研磨方法は、段差を有する被処理基板表面を研磨パッドに押圧させて、化学的機械研磨により平坦化を行う化学的機械研磨工程と、研磨パッドをドレッシングするドレッシング工程とを有する化学的機械研磨方法において、ドレッシング工程と、研磨パッド上に残留する不純物を払い出す不純物除去工程とを、交互に施すことを特徴とする。
【0008】
また、本発明の化学的機械研磨装置は、回転駆動される研磨パッドと、研磨パッドをドレッシングするドレッシング手段と、研磨パッド上に研磨スラリを供給する研磨スラリ供給手段とを具備し、段差を有する被処理基板表面を研磨パッドに押圧させて、化学的機械研磨により平坦化を行う化学的機械研磨装置において、ドレッシング手段は、ローラ部材の外周面に、複数の長尺状のドレッサーと、弾性材料からなる複数の長尺状のへらとを、交互に設けたものであることを特徴とする。
【0009】
なお、ここでいう不純物とは、研磨パッド上に残留していると被処理基板の研磨に不具合を生じさせる、研磨パッドの削り屑やドレッサーのダイヤ,層間膜,ウェハの破片屑や古い研磨スラリ等を指している。
【0010】
上記の化学的機械研磨方法及び化学的機械研磨装置によれば、ローラ部材の外周面に、複数の長尺状のドレッサーと、弾性材料からなる複数の長尺状のへらとを、交互に設けた構成のドレッシング手段により研磨パッドのドレッシングを行うことにより、ドレッサーによる研磨パッドのドレッシング工程と、へらによる研磨パッド上に残留した不純物を払い出す不純物除去工程とが、交互に施されるので、不純物を研磨パッド外へ排出することができ、被処理基板と研磨パッドの界面に常に新鮮な研磨スラリを供給することができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、図中の構成要素で、従来の技術と同様の構成をなしているものについては、同一の参照符号を付すものとする。
【0012】
実施の形態例1
図1は本発明の実施の形態例1に係る化学的機械研磨装置を示す概略平面図、図2は図1のA−A線断面図、図3はドレッシング用工具を示す外観斜視図である。
【0013】
まず、図1ないし図3を参照して、化学的機械研磨装置の構成について説明する。この化学的機械研磨装置は、回転する研磨プレート回転軸1に支承され、表面に研磨パッド2が接着された研磨プレート3と、回転するキャリア回転軸8に支承されるとともに、ウェハ4を保持するキャリア5と、研磨スラリを研磨パッド2の上に供給するノズル6を有する研磨スラリ供給装置7と、研磨パッド2の直径と略等しいか、直径より若干大の長さを有しており、研磨パッド2の略中央に配置されたドレッシング用工具10とから概ね構成されている。
なお、キャリア回転軸8にはウェハ4を研磨パッド2へ押圧させる研磨圧力調整機構9が接続されている。研磨パッド2は、発泡ポリウレタン等を用いることができる。
【0014】
ドレッシング用工具10は、図3に示すように、回転軸11を有するローラ部材12の外周面に、支持部の先端にダイアモンド粒等の微小研削刃を持つ長尺状のドレッサー13と、同じく長尺状のへら14とを、交互に回転軸11と平行に設けたものである。
このドレッシング用工具10は、ローラ部材12にドレッサー13及びへら14を植設するか、ローラ部材12の外周面にドレッサー13及びへら14を接着剤により接着することにより作製される。また、ローラ部材12と、ドレッサー13の支持部及びへら14とを、同一材料で削り出した後に、支持部の先端にダイアモンド粒等を接着することにより作製してもよい。
このドレッシング用工具10には、いずれも図示を省略した、加圧機構、回転機構及び移動機構が接続されている。へら14は、例えば、薄い鋼等の弾性材料又はガラスで構成されるが、へら14の全体あるいは先端部は、研磨パッド2を変形させるが削らない程度の硬度を有する硬質ゴム等で構成することが望ましい。また、へら14の先端はテーパ状に形成する。これにより、ドレッサー13により研磨パッド2に形成された目立て層2aの形状を損なわずに不純物の排出が可能となる。
【0015】
図3では、ドレッサー13とへら14とを、ローラ部材12の外周面に1本ずつ交互に計6本設けているが、ドレッサー13とへら14とを2対1、1対2または2対2で組み合わせたものを1組として、この組をローラ部材12の外周面に任意の数設けてもよい。また、ドレッサー13とへら14とをローラ部材12の外周面に螺旋状に設けてもよい。この場合、研磨パッド2のドレッシング時及びウェハ4の化学的機械研磨時に研磨パッド2上に残留した不純物を、この螺旋に沿って細長いローラ部材12の一方、即ち研磨パッド2の外周部に効率的に運び出すことが可能となる。
【0016】
研磨工程中、キャリア5に保持されたウェハ4は、研磨パッド2上に配置されたドレッシング用工具10に対し、ドレッシング用工具10の回転方向の上流側の空き領域に位置させることが望ましい。これと反対側の空き領域にてウェハ4を研磨することも可能だが、へら14により払い出された不純物が混入する虞があり、好ましくない。
【0017】
ここで用いる研磨スラリ供給装置7のノズル6は、研磨パッド2の半径方向に並ぶ複数の研磨スラリ供給口、または研磨パッド2の半径方向に伸びるスリット状の研磨スラリ供給口を有するものであれば、研磨均一性の点で有効である。
【0018】
次に、上記構成の化学的機械研磨装置の動作について説明する。
研磨プレート3に接着された研磨パッド2は、研磨プレート回転軸1を中心に不図示の駆動源により、例えば50rpmの回転速度で回転している。ドレッシング用工具10は、研磨パッド2上に例えば、10Kgfの押し付け力で押圧され、60rpmの回転速度で回転し、ドレッサー13により研磨パッド2上にざらざらの状態の目立て層2aを形成する工程と、その直後に、へら14により研磨パッド2上に残留している研磨パッド2の削り屑や古い研磨スラリ等の不純物を払い出す工程を交互に行う。符号20はへら14により払い出された不純物を示す。これにより、不純物の残らないざらざら状態の目立て層2aが形成される。
【0019】
上記ドレッシング中に、研磨スラリが研磨スラリ供給装置7から送り出され、ノズル6より研磨パッド2上に例えば毎分100ccの流量で噴出される。研磨スラリ供給時には、ノズル6を揺動させ、研磨スラリを研磨パッド2上に均一に噴出すると、研磨均一性をさらに改善することができる。符号15は研磨パッド2上に供給された研磨スラリを示す。ウェハ4は、研磨圧力調整機構9により例えば、8PSIの圧力で研磨パッド2へ押圧されており、キャリア回転軸8を、例えば50rpmの回転速度で回転させることにより、ウェハ4の化学的機械研磨を行う。
【0020】
以上は、ドレッシングと同時にウェハ4の研磨を行う同時ドレス方式の例であるが、ドレッシング後にウェハの研磨を行うインターバルドレス方式を採用してもよい。
図4はインターバルドレス方式のドレッシング時の状態を示す概略平面図である。まず、キャリア5及びノズル6を研磨パッド2上から退避させた状態で、ドレッシング用工具10を研磨パッド2上に押圧回転させながら矢印X方向に研磨パッド2の端まで移動させ、研磨パッド2表面のドレッシング及び不純物除去を行う。次に、ノズル6より研磨スラリを供給し、ウェハ4を研磨パッド2に押圧回転させて化学的機械研磨を行う。
【0021】
上記形態例によれば、研磨パッド2の削り屑や一度研磨に寄与し砕けた研磨粒子を、ウェハ4の研磨と同時あるいは事前に研磨パッド2上から取り除くことができるため、研磨レートを低下させずに研磨が可能である。また、ドレッサー13で削り取られた研磨パッド2の破片をウェハ4内に持ち込むことがないので、研磨によってウェハ4にマイクロスクラッチを発生させることを防止できる。
【0022】
実施の形態例2
図5は実施の形態例2に係る化学的機械研磨装置を示す概略平面図であり、図6は図5のB−B線断面図である。
【0023】
この化学的機械研磨装置は、ドレッシング用工具16の長さが研磨パッド2の半径と略等しいか、半径より若干大である点を除いて、上記した実施の形態例1の化学的機械研磨装置と同様の構成であるため、重複する部分の説明は省略する。
図5に示すように、研磨パッド2の半径と略同じ長さを有するドレッシング用工具16は、研磨パッド2の中央から半径方向に向けて配置されており、いずれも図示を省略した加圧機構と回転機構が接続されている。
ウェハ4の研磨時には、研磨パッド2上のドレッシング用工具16に対し、ドレッシング用工具16の回転方向の上流側にウェハ4を位置させる。さらに、研磨パッド2上の他の領域、例えばドレッシング用工具16の延長線上に他のウェハ4aを位置させてもよい。
【0024】
次に、この化学的機械研磨装置の動作について説明する。
上記の実施の形態例1と同様に、研磨プレート回転軸1を駆動し、研磨パッド2を回転させる。ドレッシング用工具16は、研磨パッド2上に例えば、10Kgfの押し付け力で押圧され、60rpmの回転速度で回転し、ドレッサー13により研磨パッド2上にざらざらの状態の目立て層2aを形成する工程と、その直後に、へら14により研磨パッド2上に残留する不純物を払い出すという工程とを交互に行う。これにより、不純物の残らないざらざら状態の目立て層2aが形成される。
上記ドレッシング中に研磨スラリをノズル6から噴出すると同時に、ウェハ4,4aを研磨圧力調整機構9により例えば、8PSIの圧力で研磨パッド2へ押圧し、キャリア回転軸8を、例えば50rpmの回転速度で回転させることにより、ウェハ4,4aの化学的機械研磨を行う。
【0025】
以上は、ドレッシングと同時にウェハの研磨を行う同時ドレス方式の例であるが、ドレッシング後にウェハの研磨を行うインターバルドレス方式を採用してもよい。
つまり、図5において、まずキャリア5及びノズル6を研磨パッド2上から退避させた状態で、ドレッシング用工具16を押圧回転させながら、研磨パッド2を1回転以上回転させて研磨パッド2表面のドレッシング及び不純物の除去を行う。次に、研磨パッド2を回転させた状態で研磨スラリを供給し、ウェハ4を押圧回転させて研磨を行う。
【0026】
この形態例によれば、ドッレシング用工具16の長さが研磨パッド2の半径と略等しいため、ウェハの複数枚の同時研磨が可能である。また、実施の形態例1と同様に、研磨パッド2の削り屑や一度研磨に寄与し砕けた研磨粒子を取り除くことができる。
【0027】
なお、上記の形態例では、インターバルドレス方式において、ウェハの研磨の前に研磨パッドのドレッシングを行ったが、研磨の後にドレッシングを行ってもよい。
また、本発明は、層間絶縁膜が形成された被処理基板の平坦化に限定されるものではなく、他の金属配線、ポリシリコン膜等の平坦化にも適用できる。
【0028】
【発明の効果】
本発明によれば、ドレッシング時に発生した研磨パッドの削り屑を即座に確実に除去できるので、ウェハ研磨時に削り屑を持ち込むことにより発生するマイクロスクラッチの発生を防止できる。
また、一度研磨に寄与して砕けた研磨粒子やウェハの研磨破片も同時に除去できるので、常に新鮮な研磨スラリでウェハを研磨することができ、研磨レートや面内研磨量が安定化する。同時に、供給された新鮮な研磨スラリが有効に研磨に寄与するため、研磨レートの安定化及び高研磨レートがより少ないスラリ流量で可能となる。
【0029】
従って、研磨スラリの使用量を削減すると同時に、高品質及び高生産性が可能な化学的機械研磨方法及び化学的機械研磨装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態例1に係る化学的機械研磨装置を示す概略平面図。
【図2】 図1のA−A線断面図。
【図3】 図1のドレッシング用工具を示す外観斜視図。
【図4】 インターバルドレス方式のドレッシング時の状態を示す概略平面図。
【図5】 本発明の実施の形態例2に係る化学的機械研磨装置を示す概略平面図。
【図6】 図5のB−B線断面図。
【図7】 従来の化学的機械研磨装置を示す概略断面図。
【符号の説明】
1…研磨プレート回転軸、2…研磨パッド、2a…目立て層、3…研磨プレート、4,4a…ウェハ、5…キャリア、6…ノズル、7…研磨スラリ供給装置、8…キャリア回転軸、9…研磨圧力調整機構、10,16…ドレッシング用工具、12…ローラ部材、13…ドレッサー、14…へら、15…研磨スラリ、20…不純物
Claims (11)
- 段差を有する被処理基板表面を研磨パッドに押圧させて、化学的機械研磨により平坦化を行う化学的機械研磨工程と、
前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング工程と
を有する化学的機械研磨方法において、
複数の長尺状のドレッサーと弾性材料からなる複数の長尺状のへらとをローラ部材の外周面に交互に設けたドレッシング手段を回転させた研磨パッドに押圧することにより、前記ドレッサーによる研磨パッドのドレッシング工程と、前記へらによる研磨パッド上に残留した不純物を払い出す不純物除去工程とを、交互に施すこと
を特徴とする化学的機械研磨方法。 - 前記ドレッシング工程と前記不純物除去工程は、前記化学的機械研磨工程と同時に行うことを特徴とする請求項1記載の化学的機械研磨方法。
- 前記ドレッシング工程と前記不純物除去工程は、前記化学的機械研磨工程の前又は後に行うことを特徴とする請求項1記載の化学的機械研磨方法。
- 回転駆動される研磨パッドと、
前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング手段と、
前記研磨パッド上に研磨スラリを供給する研磨スラリ供給手段とを具備し、
段差を有する被処理基板表面を前記研磨パッドに押圧させて、化学的機械研磨により平坦化を行う化学的機械研磨装置において、
前記ドレッシング手段は、
ローラ部材の外周面に、複数の長尺状のドレッサーと、弾性材料からなる複数の長尺状のへらとを、交互に設けたものであること
を特徴とする化学的機械研磨装置。 - 前記ドレッシング手段は、前記研磨パッドの直径以上の長さを有すること
を特徴とする請求項4記載の化学的機械研磨装置。 - 前記ドレッシング手段は、前記研磨パッドの半径以上の長さを有すること
を特徴とする請求項4記載の化学的機械研磨装置。 - 前記ドレッサーと前記へらとを、前記ローラ部材の外周面に、前記ローラ部材の軸と平行に設けたこと
を特徴とする請求項4ないし6いずれか1項記載の化学的機械研磨装置。 - 前記ドレッサーと前記へらとを、前記ローラ部材の外周面に、螺旋状に設けたこと
を特徴とする請求項4ないし6いずれか1項記載の化学的機械研磨装置。 - 前記へらの少なくとも先端部は、前記研磨パッドを削らない程度の硬度を有する材料からなること
を特徴とする請求項4ないし6いずれか1項記載の化学的機械研磨装置。 - 前記へらの先端部を、テーパ状に形成したこと
を特徴とする請求項4ないし6いずれか1項記載の化学的機械研磨装置。 - 前記研磨スラリ供給手段は、前記研磨パッドの半径方向に並ぶ複数の研磨スラリ供給口または前記研磨パッドの半径方向に伸びるスリット状の研磨スラリ供給口を有すること
を特徴とする請求項4記載の化学的機械研磨装置。
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