JP3637491B2

JP3637491B2 - Fan filter unit

Info

Publication number: JP3637491B2
Application number: JP2002174609A
Authority: JP
Inventors: 紘介平沢; 直樹渡辺; 守岡本; 光宏吉田
Original assignee: Airtech Japan Ltd
Current assignee: Airtech Japan Ltd
Priority date: 2002-06-14
Filing date: 2002-06-14
Publication date: 2005-04-13
Anticipated expiration: 2022-06-14
Also published as: JP2004020035A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルームやクリーンブースの天井部、及び、各種空気清浄機器に使用するファンフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
ファンフィルターユニットは、高性能フィルターとファンケースを一体にしてユニット単体で空気清浄機能を有し、クリーンルームやクリーンブースの天井部、生産ライン上などに多台数用いられている。
【０００３】
図５はクリーンルームの例を示すものであり、天井面に配置されたファンフィルターユニット９１からルーム内空間９２に清浄空気が吹出され、ルーム内空間９２を所定の陽圧度に保持する一方、ルーム内を流下した空気は、床面の空気回収口９３から床下のリターンスペース９４に回収される。
【０００４】
このようなクリーンルームにおいて、多数のファンフィルターユニット９１は、一般に室外に設置した制御盤からの集中制御によって、全体若しくは一部分のみの運転／停止や作動状況を一括して管理されている。しかし、クリーンルーム内の作業者が室内側からファンフィルターユニット９１の運転状況、障害発生等を把握するために、クリーンルーム内に表示灯を点灯するが、この表示灯の配線部分からの微粒子のリークを回避しつつ吹出側にも表示を行える機構は無かった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は従来の技術の上記の点に鑑みて、個々のファンフィルターユニットの作動状況を室内側から直接確認できると共に、高性能フィルターを支持するフィルター枠部に埋設した配線を通じてファンケース側から微粒子のリークを防止して給電する機構を提供することを目的としてなされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、高性能フィルターの吹出側に、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段として、高性能フィルターの吹出側に発光部材を設け、該発光部材にファンケース側から給電する配線を、支持枠と高性能フィルターとの間に接着剤を用いて埋め込んでなる。
また、上記配線の接合手段として、ファンケース側から発光部材に給電する配線の、フィルターユニット側の発光部材側配線とファンユニット側の給電側配線とのコネクターを、フィルターユニットとファンケースとの接合部に設け該部をパッキンを介して気密状態を保持して分離可能に接合した。
【０００７】
【発明の実施の形態】
図１に本発明実施形態のファンフィルターユニット１を示す。図においてファンフィルターユニット１は、フィルターユニット２の上側にファンユニット３を固定してなり、例えば、図示例のように、クリーンルーム天井部を構成するフレームＦにパッキングを介して支持されている。
【０００８】
フィルターユニット２は、ＨＥＰＡフィルター、ＵＬＰＡフィルター等からなる高性能フィルター４、該高性能フィルター４を支持する支持枠５、及び高性能フィルター４の表面を保護するネット状保護部材６（ラス網）からなる。
【０００９】
ファンユニット３は、前記フィルターユニット２の上面を覆うファンケース７の上面中央に空気吸入口８を設け、該空気吸入口８にはプレフィルター９を設ける一方、ファンケース７の内部には前記空気吸入口８に臨ませてファン１０（ターボランナー）を設けてある。ファン１０はファンモータ１１の回転軸に固定され、該ファンモータ１１はファンケース７内に架設した架台１２に固定されている。
【００１０】
ファンモータ１１はサーキットプロテクタ付きの電源スイッチ１３を介して主電源に接続され、該ファンモータ１１の作動により、空気吸入口８からプレフィルター９を介してファンケース７内に空気が吸入され、高性能フィルター４でろ過されて下面より清浄空気が吹出される。
【００１１】
以上のような基本構造をなすファンフィルターユニット１の空気吹出側表面には、ファンフィルターユニット１の作動状況を表示する表示手段として表示灯２１が設けられている。該表示灯２１は、主にファンモータ１１の運転表示を行うものであり、表示灯２１への給電がファンケース７内、即ち、高性能フィルター４の導入側（１次側）からなされるのに対し、表示は高性能フィルター４の吹出側（２次側）で行う必要がある。しかし、ファンフィルターユニット１の吹出側表面は全体的に清浄空気の吹出面である上、周縁部の支持枠５はクリーンルーム天井部のフレームＦで隠れるためこの部分に表示灯を設けることはできない。
【００１２】
そこで本発明においては、高性能フィルター４の吹出側に発光部材（表示灯２１）を設け、フィルター枠部に埋設した配線を通じてファンケース７側から給電する構成によって微粒子のリークを回避しつつ吹出側にて表示を行えるようにした。
【００１３】
図２は、本発明第１実施形態の表示灯２１を示すものであり、図において表示灯２１は、発光ダイオード（ＬＥＤ）等の発光部材をネット状保護部材６に固定すると共に、表示灯２１への給電用に極細配線２２を使用し、該配線２２を支持枠５と高性能フィルター４との間に接着剤２４を用いて埋め込むことで、配線２２部分における微粒子のリークを防止している。
【００１４】
また、フィルターユニット２とファンユニット３は、パッキング２５を介して気密状態を保持しつつ分離可能に接合され、高性能フィルター４やファン１０のメンテナンス時には分離される。そこで、表示灯側配線２２と給電側配線２３とのコネクター２６をファンケース７との接合部２５に設けることで、ファンユニット２とフィルターユニット３との接合と同時に、表示灯２２への給電配線２２，２３の接続がなされるようにしている。
【００１５】
図３は、上記第１実施形態の別の実施例を示し、図示例では、支持枠５に配線２２を通す穴２７，２８を設け、それらを通じて表示灯側配線２２を直接ファンケース７との接合部２５に導いている。この構成により、高性能フィルター４の端部と配線２２との交差を避けることができ、高性能フィルター４の取り付けが容易となる。
【００１６】
図４（ａ）〜（ｃ）は表示灯２１を点灯させる回路の例を示すものであり、図４（ａ）は、ファンモータ１１に異常が発生しサーキットプロテクタＣＰによりファンモータ１１の電源回路が遮断された場合に表示灯２１ａを点灯させファンモータ１１の異常を表示する例を示している。また、図４（ｂ）はファンモータ１１の作動と共に点灯し、ファンモータ１１に異常が発生しサーキットプロテクタＣＰにより電源回路が遮断された場合に表示灯２１ｂを消灯させる例を示している。また、図４（ｃ）は上記（ａ），（ｂ）を併用することで、正常運転時には表示灯２１ｂを、異常発生時には表示灯２１ａを点灯させる例を示し、この場合、各表示灯２１ａ，２１ｂの色を異ならせる。更に、異常発生時に表示灯２１ａまたは２１ｂを点滅させるようにしても良い。また、高性能フィルター４の目詰まりを検知するセンサーを設け、該センサーの信号により、表示灯の色を変化させるようにすることもできる。
【００１７】
尚、上記実施形態においてはファン１０にターボファンを用いる場合を示したが、シロッコファン等、他形式のファンを用いても良い。
【００１８】
【発明の効果】
本発明のファンフィルターユニットは、上述の通り、高性能フィルターの一次側にファン及びファンケースを設け、ファンの作動によりファンケース内に吸入した空気を高性能フィルターで清浄化して二次側に吹出可能としたファンフィルターユニットにおいて、高性能フィルターの吹出側に、ファンフィルターユニットの作動状況を表示する表示手段を設けたので、クリーンルームやクリーンブースの天井部、生産ライン上等に設置した場合に、これら清浄区域内で作業を行う作業者が作業現場において個々のファンフィルターユニットの運転状況を直接目視して判断でき、これにより、異常発生に対する迅速な対応が可能となり、清浄度の低下やそれに伴う不良品の発生を未然に防止できる。
【００１９】
またクリーンルームのレイアウト変更に伴うファンフィルターユニットの配置変更時における運動確認や製造装置天井部に設置されたファンフィルターユニットの運転確認を容易に行うことができる。
【００２０】
更に、本発明装置にあっては、発光部材への配線をフィルター支持枠と高性能フィルターとの間に接着剤を用いて埋め込むことで配線部部における微粒子のリークを防止することが出来、フィルターユニット２側の発光部材側配線２２とファンユニット３側の給電側配線２３とのコネクター２６をフィルターユニット５とファンケース７との接合部２５に設けているために、高性能フィルターの取り付けが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施形態のファンフィルターユニットを示す縦断面図である。
【図２】本発明第１実施形態のファンフィルターユニットを示す要部縦断面図である。
【図３】本発明第１実施形態のファンフィルターユニットの別の実施例を示す要部縦断面図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は各実施形態における表示灯の点灯回路の例を示す回路図である。
【図５】ファンフィルターユニットを設置したクリーンルームの例を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】
１ファンフィルターユニット
２フィルターユニット
３ファンユニット
４高性能フィルター
５支持枠
６ネット状保護部材
７ファンケース
８空気吸入口
９プレフィルター
１０ファン
１１ファンモーター
２１表示灯
２２，２３配線
２４接着剤
２５接合部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a ceiling part of a clean room or a clean booth, and a fan filter unit used for various air cleaning devices.
[0002]
[Prior art]
The fan filter unit integrates a high-performance filter and a fan case and has an air cleaning function as a single unit, and is used in large numbers on clean rooms, clean booth ceilings, production lines, and the like.
[0003]
FIG. 5 shows an example of a clean room. Clean air is blown from the fan filter unit 91 arranged on the ceiling surface to the room interior space 92 to keep the room interior space 92 at a predetermined positive pressure. The air that has flowed down is recovered from the air recovery port 93 on the floor to the return space 94 below the floor.
[0004]
In such a clean room, a large number of fan filter units 91 are generally managed as a whole or only partially in operation / stop and operating status by centralized control from a control panel installed outside the room. However, in order for the worker in the clean room to understand the operation status of the fan filter unit 91 and the occurrence of a failure from the indoor side , an indicator lamp is lit in the clean room. There was no mechanism that could display on the outlet side while avoiding it.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In view of the above-mentioned points of the prior art, the present invention can directly check the operation status of each fan filter unit from the indoor side, and fine particles from the fan case side through wiring embedded in the filter frame portion supporting the high-performance filter. The purpose of this is to provide a mechanism for supplying power while preventing leakage .
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a fan and a fan case on the primary side of the high performance filter, and cleans the air sucked into the fan case by the operation of the fan with the high performance filter and blows it out to the secondary side. in a possible and the fan filter unit, the outlet side of the high-performance filter, and a display means to display the operating status of the fan filter unit, a light emitting member provided on the outlet side of the high-efficiency filter, off to the light emitting member Ankesu Wiring that feeds power from the side is embedded between the support frame and the high-performance filter using an adhesive.
Further, as the joining means of the wiring, the wiring for supplying power from the fan case side to the light emitting member, the connector and the light emitting member side wiring full I Luther unit side and the fan unit side of the power supply side wiring, the filter unit and the fan case It provided in the junction part, and this part was joined so that isolation | separation was possible through a packing, keeping an airtight state.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 shows a fan filter unit 1 according to an embodiment of the present invention. In the figure, the fan filter unit 1 is formed by fixing the fan unit 3 on the upper side of the filter unit 2, and is supported via a packing on a frame F constituting a clean room ceiling, for example, as illustrated.
[0008]
The filter unit 2 includes a high-performance filter 4 made of a HEPA filter, a ULPA filter, etc., a support frame 5 that supports the high-performance filter 4, and a net-like protective member 6 (lass net) that protects the surface of the high-performance filter 4. Become.
[0009]
In the fan unit 3, an air suction port 8 is provided at the center of the upper surface of the fan case 7 that covers the upper surface of the filter unit 2, and a pre-filter 9 is provided in the air suction port 8. A fan 10 (turbo runner) is provided facing the suction port 8. The fan 10 is fixed to the rotating shaft of the fan motor 11, and the fan motor 11 is fixed to a gantry 12 installed in the fan case 7.
[0010]
The fan motor 11 is connected to a main power supply via a power switch 13 with a circuit protector, and by the operation of the fan motor 11, air is sucked into the fan case 7 from the air suction port 8 via the prefilter 9, and the It is filtered by the performance filter 4 and clean air is blown out from the lower surface.
[0011]
On the air blowing side surface of the fan filter unit 1 having the basic structure as described above, an indicator lamp 21 is provided as a display means for displaying the operating status of the fan filter unit 1. The indicator lamp 21 mainly displays the operation of the fan motor 11, and power is supplied to the indicator lamp 21 in the fan case 7, that is, from the introduction side (primary side) of the high-performance filter 4. On the other hand, the display needs to be performed on the outlet side (secondary side) of the high-performance filter 4. However, the blower side surface of the fan filter unit 1 is entirely a blown surface of clean air, and the support frame 5 at the peripheral edge is hidden by the frame F of the clean room ceiling part, so an indicator lamp cannot be provided at this part.
[0012]
Therefore, in the present invention, a light emitting member (indicator lamp 21) is provided on the outlet side of the high-performance filter 4, and power is supplied from the fan case 7 side through a wiring embedded in the filter frame portion, while avoiding the leakage of fine particles, the outlet side. The display can be done with .
[0013]
Figure 2 illustrates an indicator 21 of the present invention the first embodiment form status indicator lights 21 in the figure, a light emitting member such as a light emitting diode (LED) is fixed to the net-like protection members 6, indicator In order to prevent the leakage of fine particles in the wiring 22 portion, an extra fine wiring 22 is used for power supply to the power supply 21 and the wiring 22 is embedded between the support frame 5 and the high-performance filter 4 with an adhesive 24. Yes.
[0014]
Further, the filter unit 2 and the fan unit 3 are detachably joined through the packing 25 while maintaining an airtight state, and are separated when the high-performance filter 4 and the fan 10 are maintained. Therefore, by providing the connector 26 between the indicator light side wiring 22 and the power supply side wiring 23 at the joint portion 25 to the fan case 7, the power supply wiring to the indicator light 22 is performed simultaneously with the joining of the fan unit 2 and the filter unit 3. Connections 22 and 23 are made.
[0015]
FIG. 3 shows another example of the first embodiment. In the illustrated example, holes 27 and 28 for passing the wiring 22 are provided in the support frame 5, and the indicator-side wiring 22 is directly connected to the fan case 7 through them . It leads to the joint portion 25 . With this configuration, the intersection of the end of the high-performance filter 4 and the wiring 22 can be avoided, and the high-performance filter 4 can be easily attached.
[0016]
4 (a) to 4 (c) show examples of circuits for lighting the indicator lamp 21, and FIG. 4 (a) shows a power supply circuit for the fan motor 11 by the circuit protector CP when an abnormality occurs in the fan motor 11. FIG. In this example, the indicator lamp 21a is lit to indicate an abnormality of the fan motor 11 when is interrupted. 4 (b) is illuminated with operation of the fan motor 11, shows an example for turning off the indicator lamp 21b when an abnormality in the fan motor 11 is a power supply circuit is interrupted by the generated circuit protector CP. Further, FIG. 4 (c) By combining the above (a), (b), the indicator lamp 21b is in the normal operation, an example of turning on the indicator lamp 21a at the time of abnormality, in this case, each display lamp 21a , 21b are made different. Further, the indicator lamp 21a or 21b may be blinked when an abnormality occurs. In addition, a sensor that detects clogging of the high-performance filter 4 may be provided, and the color of the indicator lamp may be changed by a signal from the sensor.
[0017]
In the above embodiment, a turbo fan is used as the fan 10. However, other types of fans such as a sirocco fan may be used.
[0018]
【The invention's effect】
As described above, the fan filter unit of the present invention is provided with a fan and a fan case on the primary side of the high performance filter, and the air sucked into the fan case by the operation of the fan is cleaned by the high performance filter and blown out to the secondary side. In the fan filter unit that was made possible, a display means to display the operating status of the fan filter unit was provided on the outlet side of the high performance filter, so when installed on the ceiling of a clean room, clean booth, production line, etc. Workers who work in these clean areas can judge the operation status of each fan filter unit directly at the work site. This makes it possible to quickly respond to abnormalities, resulting in lower cleanliness and accompanying Generation of defective products can be prevented.
[0019]
In addition, it is possible to easily check the movement when changing the layout of the fan filter unit accompanying the layout change of the clean room and check the operation of the fan filter unit installed on the ceiling of the manufacturing apparatus.
[0020]
Furthermore, in the device of the present invention, the wiring to the light emitting member can be prevented from leaking fine particles in the wiring portion by embedding between the filter support frame and the high performance filter using an adhesive. Since the connector 26 between the light emitting member side wiring 22 on the unit 2 side and the power supply side wiring 23 on the fan unit 3 side is provided at the joint 25 between the filter unit 5 and the fan case 7, it is easy to attach a high performance filter. It becomes.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a fan filter unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a longitudinal sectional view of an essential part showing a fan filter unit according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a longitudinal sectional view of an essential part showing another example of the fan filter unit according to the first embodiment of the present invention.
FIGS. 4A, 4B, and 4C are circuit diagrams illustrating examples of a lighting circuit for an indicator lamp in each embodiment. FIGS.
FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view showing an example of a clean room in which a fan filter unit is installed.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Fan filter unit 2 Filter unit 3 Fan unit 4 High performance filter 5 Support frame 6 Net-like protective member 7 Fan case 8 Air inlet 9 Prefilter 10 Fan 11 Fan motor
21 indicator light
22, 23 Wiring
24 Adhesive
25 joints

Claims

The fan and fan case provided on the primary side of the high-efficiency filter, fan Te blowout possible with the fan filter unit smell the air sucked into the fan case and cleaned with high-efficiency filter secondary side by the operation of, fan As a display means for displaying the operating status of the filter unit , a light emitting member is provided on the outlet side of the high performance filter, and a wiring for supplying power from the fan case side to the light emitting member is provided between the filter support frame and the high performance filter. Fan filter unit characterized by being embedded using

A connector for the light-emitting member side wiring on the filter unit side and the power-supply side wiring on the fan unit side of the wiring for supplying power to the light emitting member from the fan case side is provided at the joint between the filter unit and the fan case, and this portion is interposed via packing. The fan filter unit according to claim 1, wherein the fan filter unit is separably joined while maintaining an airtight state .