KR19990004395U - Air cleaner for attaching equipment - Google Patents

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Abstract

본 고안은 반도체 제조장비 및 세정장비, 정밀기계장비 또는 의약 및 식품제조장비등과 같은 장비위에 부착되어 정화된 청정공기를 공급하는 공기 청정장치에 관한 것으로, 사각함체로 된 본체(1) 내측에 모타, 송풍기 및 필터(HEPA 필터 또는 ULPA필터)등을 갖는 공기 청정장치에 있어서, 본체(1) 내측에 장착된 필터(2)위에는 에어챔버(3)를 덧씌우되 상기 에어챔버(3) 측면에는 공기유입구(4)를 마련하며, 상기 공기유입구(4)와 송풍기(5)의 배출구를 캔버스(6)로 연결하며, 상기 송풍기(5)의 송풍팬은 모타(7)의 축과 직접 연톨토록 하며, 본체(1)의 상면에는 그물망 덮개(10) 및 밀폐덮개(11)가 덮어지게 되며, 필터(2)의 하방에는 다공판(13) 및 산광판(14)이 설치되어지며, 상기 산광판(14) 상면에는 조명등(15)이 부착되어지도록 한 것이다.The present invention relates to an air cleaning device for supplying purified air, which is attached to equipment such as semiconductor manufacturing equipment and cleaning equipment, precision machinery equipment, or medicine and food manufacturing equipment, inside the body 1 of a rectangular enclosure. In an air purifier having a motor, a blower, and a filter (HEPA filter or ULPA filter), an air chamber 3 is placed on the filter 2 mounted inside the main body 1, and the air chamber 3 is disposed on the side of the air chamber 3. The air inlet 4 is provided, and the air inlet 4 and the outlet of the blower 5 are connected to the canvas 6, and the blower fan of the blower 5 is directly blown off with the shaft of the motor 7. The upper surface of the main body 1 is covered with a mesh cover 10 and the sealing cover 11, the lower plate 2 is provided with a porous plate 13 and the diffuser plate 14, the acid The lamp 15 is attached to the upper surface of the light plate (14).

Description

장비 부착용 공기 청정장치Air cleaner for attaching equipment

공기청정 기술은 공기청정 시스템 및 형태상 많이 발전된 환경과 더불어 급속도로 성장하고 있다. 본 고안은 공기를 여과 정화하는 공기 청정장치 기술분야에 속하게 된다. 공기청정 기술은 공기청정시스템 및 제품의 용도로 발전되고 있다. 기본적으로 공기 청정장치는 공기를 여과하는 필터와 공기를 공급하는 송풍기 및 모타로 구성되어지게 된다.Air-cleaning technology is growing rapidly with air-cleaning systems and many advanced environments in shape. The present invention belongs to the field of air purifier technology for filtering and purifying air. Air cleaning technology is being developed for use in air cleaning systems and products. Basically, the air cleaner is composed of a filter for filtering air, a blower and a motor for supplying air.

종래 알려진 공기 청정장치는 대개 청정실 천정에 설치되어 정화된 공기를 청정실 전체로 공급하여 주게 되나, 본 고안이 사용되는 공기 청정장치는 상기와 같은 청정실 내에 설치되는 장비에 별도로 부착되어 완전한 무진의 공기를 제공하는 공기 청정장치에 관한 것이다.Conventionally known air cleaners are usually installed on the ceiling of the clean room to supply purified air to the entire clean room, but the air cleaner used in the present invention is attached to the equipment installed in the clean room to provide completely dust-free air. It relates to an air cleaner to provide.

반도체 장비에 정화된 공기를 계속적으로 공급하는 방법으로는 닥트를 설치하여 외부로부터 정화된 공기를 공급할 수도 있으며, 본 고안과 같이 장비 위에 덧붙여서 정화된 공기를 공급하여 줄 수 있게 된다. 장비 위에 공기 청정장치를 부착하는 경우에는 프로세스(process) 장비와 연동하여 이에 합당한 공기의 양 및 속도를 임의적으로 직접 조절할 수 있으며, 동작상태 또한 직접 확인할 수 있는 이점을 갖게 된다.As a method of continuously supplying purified air to semiconductor equipment, a duct may be installed to supply purified air from the outside, and in addition to the equipment, the purified air may be supplied on the equipment as in the present invention. In the case of attaching the air cleaner on the equipment, it is possible to directly control the amount and speed of air appropriately according to the process (process) equipment, and has the advantage that the operating state can also be directly checked.

반도체, 의약, 식품공업, 정밀기계장비를 생산 및 조립하는 장비에 있어서는 생산중에 발생되는 분진 및 가스를 제거하기 위하여 연속적으로 공기를 공급하여 주어야 하며, 공급되는 공기는 이물질이 전혀 없는 완벽한 무진의 공기를 공급해야만 제품의 불량율을 저하시킬 수 있게 된다.In the manufacturing and assembling equipment of semiconductor, medicine, food industry, and precision machinery, air must be continuously supplied to remove dust and gas generated during production. Only supplying can reduce the defective rate of the product.

따라서, 본 고안과 같이 장비에 부착되는 공기 청정장치는 그 부피가 작음과 동시에 많은 양의 공기를 공급할 수 있어야 하며, 또한 공급되는 공기는 일정한 풍속으로 연속적으로 공급되게 제작되어야 한다.Therefore, the air cleaner attached to the equipment, as in the present invention, should be able to supply a large amount of air at the same time as its volume is small, and the air to be supplied must be manufactured to be continuously supplied at a constant wind speed.

제 1 도는 본 고안의 분해사시도.1 is an exploded perspective view of the present invention.

제 2 도는 본 고안의 덮개를 개방한 상태의 평면도.2 is a plan view of the open state of the cover of the present invention.

제 3 도는 제 2 도의 A-A선 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

제 4 도는 본 고안의 또 다른 실시예의 단면도이다.4 is a cross-sectional view of another embodiment of the present invention.

사각함체로 된 본체(1) 내측에 모타, 송풍기 및 필터(HEPA 필터 또는 ULPA필터) 등을 갖는 공기 청정장치에 있어서, 본체(1) 내측에 장착된 필터(2) 위에는 에어챔버(3)를 덧씌우되 상기 에어챔버(3) 측면에는 공기 유입구(4)를 마련하며, 상기 공기유입구(4)와 송풍기(5)의 배출구를 캔버스(6)로 연결하며, 상기 송풍기(5)의 송풍팬은 모타(7)의 축과 직접 연결토록 하며, 본체의 상면에는 그물망 덮개(10) 및 밀폐덮개(11)가 덮어지게 되며, 필터(2)의 하방에는 다공판(13) 및 산광판(14)이 설치되어지며, 상기 산광판(14) 상면에는 조명등(15)이 부착되어지도록 한 것이다.In an air purifier having a motor, a blower, a filter (HEPA filter or a ULPA filter), etc. inside the main body 1 made of a rectangular box, an air chamber 3 is placed on the filter 2 mounted inside the main body 1. Overlaid but provided with an air inlet (4) on the side of the air chamber (3), connecting the air inlet (4) and the outlet of the blower (5) with a canvas (6), the blower fan of the blower (5) Directly connected to the shaft of the motor (7), the upper surface of the main body is covered with a mesh cover 10 and the sealing cover 11, the lower portion of the filter 2, the porous plate 13 and the diffuser plate 14 Is installed, the lighting plate 15 is to be attached to the upper surface of the diffuser plate (14).

상기에 있어, 모타(7)축에 직결하는 송풍기(5)를 사용하되 모타는 양축 모타를 사용하며, 좌우의 모타 양측에 송풍기(5)를 각각 부착토록 하여 동일 사이즈에서 공기량을 많게 하였다. 상기에 있어 제 4 도와 같이 에어챔버(3)를 제거하며, 공기의 유입구를 측면에 갖도록 구성할 수도 있다.In the above, a blower 5 directly connected to the motor 7 shaft is used, but the motor uses a double shaft motor, and the blowers 5 are attached to both sides of the motor on the left and right sides, respectively, to increase the amount of air at the same size. In the above, the air chamber 3 may be removed as in the fourth diagram, and the air inlet may be provided on the side.

도면중 미설명부호 21는 고정밴드이다. 상기 고정밴드(21)는 에어챔버(3) 및 필터(2)를 본체(1)와 고정함은 물론 케이싱의 울림을 감쇄하는 보강대 역할을 하게 된다. 또한, 도면중 화살표는 공기의 진행방향을 의미한다.In the figure, reference numeral 21 is a fixed band. The fixing band 21 serves to reinforce the air chamber 3 and the filter 2 with the main body 1 as well as to attenuate the ringing of the casing. In addition, the arrow in a figure means the advancing direction of air.

이와 같은 본 고안의 구조를 보다 상세히 설명함과 동시에 그 작용을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the structure of the present invention in more detail and at the same time look at the operation as follows.

본 고안은 장비 위에 덧붙여져서 일정한 풍속, 풍압의 공기를 공급하는 작용을 하게 된다. 즉, 모타(7)에 의해 송풍기(5)의 송풍팬을 회전시키면 그물망 덮개(10)를 통해 공기가 유입되어 송풍기(5)를 거쳐 에어챔버(3)로 유입된 후, 에어챔버(3) 직하방에 위치한 필터(2)를 통해 본체(1) 아래에 설치되는 장비(도면중 도시없음)로 정화된 공기가 공급되어지게 되는 것이다.The present invention is added to the equipment to act as a constant wind speed, wind pressure supply air. That is, when the blower fan of the blower 5 is rotated by the motor 7, air is introduced through the mesh cover 10 and introduced into the air chamber 3 through the blower 5, and then the air chamber 3. Purified air is supplied to the equipment (not shown in the figure) installed below the main body 1 through the filter 2 located directly below.

송풍기(5)와 에어챔버(3)의 공기유입구(4) 사이에는 캔버스(6)를 설치하여 송풍기(5) 및 모타(7)에서 발생된 진동이 에어챔버(3) 및 청정장치 전체로 전달되지 않게 된다. 또한, 에어챔버(3) 내로 항상 일정한 풍속, 풍압의 공기가 공급되게 하기 위하여 에어챔버(3) 내의 공기압을 감지하는 장치가 본체(1) 내측에 장착되어지며, 만일 적정 공기압보다 에어챔버(3) 내의 공기압이 높거나 낮은 이상 공기압이 감지될 경우 에어챔버(3) 내의 공기압을 표시계에 나타나게 된다. 이와 같이 에어챔버(3) 내의 이상 공기압이 표시되면 작업자가 원인을 파악한 후에 조치할 수 있게 되어졌다. 또한, 자동모드로 설정하면 세팅치에 의해 일정한 공기압을 유지할 수 있도록 되어 있다.A canvas 6 is installed between the blower 5 and the air inlet 4 of the air chamber 3 so that the vibration generated by the blower 5 and the motor 7 is transmitted to the air chamber 3 and the entire cleaning device. Will not be. In addition, a device for sensing the air pressure in the air chamber 3 is mounted inside the main body 1 so that the air of the constant wind speed and wind pressure is always supplied into the air chamber 3. If the abnormal air pressure is detected, the air pressure in the air chamber 3 is displayed on the display. When the abnormal air pressure in the air chamber 3 is displayed in this manner, the operator can determine the cause and then take action. In the automatic mode, the air pressure can be maintained by the set value.

이와 같이 항시 일정한 압력의 공기는 필터(2)를 통해 정화되어진 후, 필터(2) 직하방에 설치한 무수한 구멍을 갖는 다공판(13)을 통해 장비로 공급되게 한다. 송풍기(5)에 의해 에어챔버(3)로 공급되는 공기는 에어챔버(3) 내부의 공기마찰과 소용돌이로 인하여 공기흐름이 불안정함으로 인하여 필터(2) 전체에 고른 공기압이 작용하지 못함으로 인하여 필터(2)의 국부적인 오염, 수명단축, 기류의 불균일성 등이 나타날 수 있게 된다.As such, the air of a constant pressure is always purified through the filter 2 and then supplied to the equipment through the porous plate 13 having a myriad of holes provided directly below the filter 2. The air supplied to the air chamber (3) by the blower (5) is a filter because the air flow is unstable due to air friction and vortex inside the air chamber (3), so that even air pressure is not applied to the entire filter (2). Local contamination of (2), shortening of life, and nonuniformity of air flow may occur.

이와 같은 것을 감안하여 필터(2) 직하방에 무수히 많은 구멍을 갖는 다공판(13)을 본체(1) 하방에 설치하여 본체(1)를 빠져나오는 공기는 전체적으로 고른 공기압을 갖도록 하였다. 또한, 본체(1) 내측에는 조명등(15)이 부착되어 작업자가 장비의 작동 상태를 육안으로 확인하게 되는데 조명등(15)에 의해 발생되는 빛을 골고루 분포시키기 위해 다공판(13)과 그 아래에는 산광판(14)을 부착토록 하였다. 상기 산광판(14)은 격자상으로 된 것으로 빛을 분산시켜 작업자의 눈을 자극시키지 않음으로 인하여 용이하게 장비의 내부를 관찰할 수 있게 된다.In view of such a situation, the porous plate 13 having a myriad of holes directly under the filter 2 is provided below the main body 1 so that the air exiting the main body 1 has an even air pressure as a whole. In addition, a lamp 15 is attached to the inside of the main body 1 so that the operator visually checks the operating state of the equipment. The perforated plate 13 and the bottom of the plate 13 are provided to evenly distribute the light generated by the lamp 15. The diffuser 14 was attached. The diffuser plate 14 is of a lattice shape, and thus it is possible to easily observe the inside of the equipment because it does not stimulate the eyes of the operator by dispersing light.

도면에서 보는 바와 같이 에어챔버(3)에는 측면에 공기유입구(4)를 마련하며, 이에 송풍기(5)를 연결함에 있어, 공기유입구(4)를 좌우 2개를 설치하며, 상기 좌우 공기 유입구에 각각의 캔버스(6)를 연결하며, 이에 좌우 2개의 송풍기(5)를 연결토록 하며, 좌우 2개의 송풍기(5)는 양축 모타(5)로 연결 설치할 수 있다.As shown in the drawing, an air inlet 4 is provided at the side of the air chamber 3, and in connection with the blower 5, two air inlets 4 are installed at the left and right sides of the air inlet 4. Each canvas 6 is connected, and the left and right two blowers 5 are connected thereto, and the left and right two blowers 5 may be connected to each other by a two-axis motor 5.

본 고안은 본체(1) 내측 필터(2) 위에 에어챔버(3)를 설치함으로 말미암아 항상 일정한 공기압을 얻을 수 있게 되며, 공기를 공급하는 모타(7) 및 송풍기(5)를 필터(2) 및 에어챔버(3) 측면에 설치함으로 인하여 낮은 높이를 갖게 된다. 특히, 극히 정밀을 요하는 반도체 장비에 항시 일정한 풍속 및 풍압의 공기를 연속적으로 공급하며, 에어챔버 내의 공기압을 감지하여 작업자가 용이하게 장비를 재세팅 및 응급처치를 할 수 있도로 하며, 필터(2)를 통과한 정화된 공기가 다공판(13)을 통과함으로 말미암아 전체적으로 고른 분포의 압력으로 공기를 장비로 공급토록 하는 아주 유용한 고안인 것이다. 또한, 조립된 상태로 장비 등의 현장 설치시 작업효율을 높이며, 공사기간, 공사비용의 절감, 작업자의 안정성 등이 종래의 천정부착용 공기청정 설비에 비해 아주 유리한 고안이다.According to the present invention, the air chamber 3 is installed on the inner filter 2 of the main body 1 so that a constant air pressure can be obtained at all times, and the motor 7 and the blower 5 for supplying air are supplied with the filter 2 and By installing on the side of the air chamber (3) has a low height. In particular, it continuously supplies air of constant wind speed and wind pressure to semiconductor equipment that requires extremely precision at all times, and detects the air pressure in the air chamber so that the operator can easily reset the equipment and first aid, and filter ( The purified air passing through 2) passes through the porous plate 13 so that it is a very useful design to supply air to the equipment at an evenly distributed pressure. In addition, in the assembled state to increase the work efficiency when installing the equipment, such as construction period, construction cost reduction, worker stability, etc. is a very advantageous design compared to the conventional ceiling-mounted air cleaning equipment.

Claims (3)

사각함체로 된 본체(1) 내측에 모타, 송풍기 및 필터 등을 갖는 공기 청정장치에 있어서, 본체(1) 내측에 장착된 필터(2) 위에는 에어챔버(3)를 덧씌우되 상기 에어챔버(3) 측면에는 공기 유입구(4)를 마련하며, 상기 공기유입구(4)와 송풍기(5)의 배출구를 캔버스(6)로 연결하며, 상기 송풍기(5)의 송풍팬은 모타(7)의 축과 직접 연결토록 하며, 본체의 상면에는 그물망 덮개(10) 및 밀폐덮개(11)가 덮어지게 되며, 필터(2)의 하방에는 다공판(13) 및 산광판(14)이 설치되어지며, 상기 산광판(14) 상면에는 조명등(15)이 부착되어지도록 한 것을 특징으로 하는 장비 부착용 공기 청정장치.In an air purifier having a motor, a blower, a filter, and the like inside a main body 1 of a blind box, an air chamber 3 is overlaid on a filter 2 mounted inside the main body 1, but the air chamber 3 The air inlet (4) is provided on the side, and the air inlet (4) and the outlet of the blower (5) are connected to the canvas (6), and the blower fan of the blower (5) and the shaft of the motor (7) Direct connection, the net cover 10 and the sealing cover 11 is covered on the upper surface of the body, the porous plate 13 and the diffuser plate 14 is installed below the filter 2, the acid Air purifier for attaching equipment, characterized in that the lamp 15 is attached to the upper surface of the light plate (14). 제 1 항에 있어서, 에어챔버(3)를 제거토록 한 것을 특징으로 하는 장비 부착용 공기 청정장치.2. Apparatus according to claim 1, wherein the air chamber (3) is removed. 제 1 항에 있어서, 송풍기(5)는 모타축에 직결하는 송풍기를 사용하되 모타는 양축모타를 사용하며, 양축모타 양측에 각각의 송풍기를 부착토록 한 것을 특징으로 하는 공기 청정장치.The air purifier of claim 1, wherein the blower (5) uses a blower directly connected to the motor shaft, and the motor uses a double shaft motor, and attaches each blower to both sides of the motor.
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