KR101082930B1 - fan filter unit - Google Patents

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KR101082930B1
KR101082930B1 KR1020090119009A KR20090119009A KR101082930B1 KR 101082930 B1 KR101082930 B1 KR 101082930B1 KR 1020090119009 A KR1020090119009 A KR 1020090119009A KR 20090119009 A KR20090119009 A KR 20090119009A KR 101082930 B1 KR101082930 B1 KR 101082930B1
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박덕준
김남욱
박길용
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(주)신성이엔지
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Abstract

본 발명은 팬필터 유닛에 관한 것으로서, 상부에 송풍기가 설치되고, 상기 송풍기의 하부에는 내부에 장착공간이 형성되는 틀과, 상기 틀의 장착공간에 장착되는 여과재와, 상기 틀 및 여과재 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어가 고정장착되는 우레탄으로 구성되는 필터체가 장착되며, 상기 필터체의 하부 가장자리둘레에는 따라 가스켓이 장착되고, 상기 필터체의 하부와 가스켓의 내부에는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면이 곡면지게 형성되고 내부 설치공간에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기가 간격을 두고 대칭형성되는 고정용 몰드바가 장착되며, 상기 고정용 몰드바의 양측 상·하부 결합돌기 사이에는 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판이 장착되되, 상기 기판은 상·하부 결합돌기에 끼움 장착되면서 상면에 형성되는 전원공급부가 전원 와이어에 접지되도록 한 것을 특징으로 한다.The present invention A fan filter unit, wherein a blower is installed at an upper portion thereof, and a lower portion of the blower is provided with a mold having a mounting space therein, a filter medium mounted at the mounting space of the mold, and mounted between the mold and the filter medium. The filter body is made of urethane to which the power wire is fixedly mounted so as to transfer external power to the inside, and a gasket is mounted along the lower edge of the filter body, and a cross section is provided in the lower part of the filter body and the inside of the gasket. The upper surface is formed to be curved while being formed in a rectangular shape, and the fixing mold bar is symmetrically formed at intervals of upper and lower coupling protrusions on both sides of the inner surface while communicating with the outside through an open lower portion. Between the upper and lower coupling protrusions on both sides of the bar, a substrate having a plurality of light emitting diodes is mounted. The substrate is characterized in that so as fitted in the upper and the lower engaging projection on the ground power supply is the power wire is formed on the upper surface.

본 발명에 따르면, 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판의 교체시 별도의 장비 없이 하나의 드라이버를 이용하여 착·탈할 수 있을 뿐만 아니라 상기 기판에 전원을 공급하는 전원 와이어가 우레탄에 고정장착되어 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, when a substrate having a plurality of light emitting diodes is replaced, it can be attached and detached using a single driver without any additional equipment, and a power wire for supplying power to the substrate is fixedly mounted on urethane to supply power. There is an effect that can be stably supplied to the substrate.

팬필터 유닛, 송풍기, 필터체, 가스켓, 고정용 몰드바, 기판, 커버체, 고정부재.  Fan filter unit, blower, filter body, gasket, fixing mold bar, substrate, cover body, fixing member.

Description

팬필터 유닛{Fan filter unit} Fan filter unit

본 발명은 팬필터 유닛에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전자기기 조립실, 반도체조립실, 병원의 수술실, 무균실, 세균배양실 등의 항상 청정을 유지해야만 클린 룸에 장착되는 팬필터 유닛에 관한 것이다. The present invention The present invention relates to a fan filter unit, and more particularly, to a fan filter unit which is mounted in a clean room only when the electronic device assembly room, the semiconductor assembly room, the operating room of a hospital, a sterile room, a bacterial culture room, etc., is kept clean at all times.

최근 들어, 반도체 제조 공정은 반도체 장치의 급속한 발전으로 파티클 및 이온 오염물에 의한 반도체 장치의 불량이 심각하게 대두되고 있고, 이에 따른 파티클 및 이온 오염물 제거를 통한 청정실의 유지 관리가 중대한 관점으로 떠오르고 있다. Recently, in the semiconductor manufacturing process, the rapid development of semiconductor devices has caused serious defects in semiconductor devices due to particles and ionic contaminants, and the maintenance of clean rooms through the removal of particles and ionic contaminants has emerged as an important point.

여기서, 반도체 생산 방식은 다품종 소량 생산체재, 즉 제조공정수가 증가되는 추세에 있어 이와 더불어 사용되는 각종 유틸리티(가스, 화학약품) 또한 더불어 증가되고 있기 때문에 필터의 오염 가중은 점점 더 증가되고 그로 인한 수명단축은 자명한 일이다.Here, the semiconductor production method is a multi-product small-scale production system, that is, the number of manufacturing process is increasing, and the various utilities (gas, chemicals) used in addition to this is also increasing, so that the weight of pollution of the filter increases more and more, and thus the lifetime Shortening is self-evident.

그리고 반도체 장치 및 디스플레이 장비 등에 사용되는 HEPA 필터나 ULPA 필터의 경우도 반도체의 집적도가 증가 됨에 따라 성능 또한 향상되고 있는 추세이 며, 반도체 웨이퍼의 생산성을 향상시키기 위해서는 더욱 작은 파티클 관리를 해야함은 물론 클린 크레스(clean class)에 대한 관리도 철저히 해야된다.In addition, the performance of HEPA filters and ULPA filters used in semiconductor devices and display equipments is also increasing as the integration of semiconductors increases.In order to improve the productivity of semiconductor wafers, smaller particle management is required as well as clean creases. You also have to manage the clean class thoroughly.

도시된 도 1은 종래의 반도체 장치 및 디스플레이 장비에 사용되는 팬필터 유닛를 나타낸 것으로서, 종래의 팬필터 유닛(100)는 클린룸의 천정에 설치되고 운전 상황을 확인하는 클린 유니트(101)와, 상기 클린 유니트(101)의 하부에 장착되는 여과재(102)와, 상기 클린 유니트(101)와 여과재(102)의 동일선상에 형성되는 장착홈(103)에 장착되는 지지프레임(104)과, 상기 지지프레임(104)의 하부에 장착되는 발광다이오드(105)로 구성된다. 1 shows a fan filter unit used in a conventional semiconductor device and display equipment, the conventional fan filter unit 100 is installed on the ceiling of a clean room and the clean unit 101 for confirming the operation status, and The support frame 104 mounted in the filter medium 102 mounted on the lower portion of the clean unit 101, the mounting groove 103 formed on the same line as the clean unit 101 and the filter medium 102, and the support. It consists of a light emitting diode 105 mounted on the bottom of the frame (104).

그러나 상기 팬필터 유닛(100)는 상부에 있는 클린 유니트(101)의 운전 표시를 표시할 수 있는 지지 프레임이 필요할 뿐만 아니라 시공시에도 특별한 지지 프레임이 요구되는 문제점이 있었다 However, the fan filter unit 100 has a problem that not only needs a support frame capable of displaying an operation indication of the clean unit 101 on the upper part, but also requires a special support frame during construction.

또한, 상기 지지프레임은 표시 가능한 틀 폭이 필요할 뿐만 아니라 상기 틀 폭에 대한 비용이 발생하는 등의 문제점이 있었다. In addition, the support frame not only needs a displayable frame width but also has a problem in that a cost for the frame width is generated.

그리고 상기와 같은 문제점을 해결하고자 개발된 일본특허공개 제2009-119373호는 상기와 같은 문제점은 해결할 수 있으나, 구조가 복잡하고 여과재와 여과재 사이에 발광다이오드가 숨겨짐으로써 발광다이오드의 기능이 저하되는 문제점이 있었다. In addition, Japanese Patent Publication No. 2009-119373, which was developed to solve the above problems, can solve the above problems, but the structure is complicated and the light emitting diode is hidden between the filter medium and the filter medium, thereby degrading the function of the light emitting diode. There was a problem.

또한, 종래의 팬필터 유닛는 클린룸 내부의 양압으로 인하여 혹시라도 발생할 수 있는 누전시 클린룸 내부의 먼지 입자가 반도체 장치나 디스플레이 장비 등에 가라앉아 반도체 장치나 디스플레이 장비의 고장과 더불어 불량한 제품이 생산 되는 문제점이 있었다 In addition, in the conventional fan filter unit, due to the positive pressure in the clean room, dust particles inside the clean room may sink to the semiconductor device or the display device in case of a short circuit, in which case a defective product is produced together with the failure of the semiconductor device or the display device. There was a problem

또한, 종래의 팬필터 유닛는 발광다이오드의 교체시 여러 가지 도구를 사용해야함으로써 작업시간과 그에 따른 많은 장비가 요구되는 문제점이 있었다. In addition, the conventional fan filter unit has a problem that requires a time and a lot of equipment by using a variety of tools when replacing the light emitting diode.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판의 교체시 별도의 장비 없이 하나의 드라이버를 이용하여 착·탈할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, the object of the present invention is to be able to attach and detach using a single driver without a separate equipment when replacing the substrate with a plurality of light emitting diodes.

또한, 상기 기판에 전원을 공급하는 전원 와이어가 우레탄에 고정장착되어 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, a power wire for supplying power to the substrate is fixedly mounted on the urethane so that the power can be stably supplied to the substrate.

또한, 두께가 다른 기판의 장착시에도 측면을 통해 끼움 장착되는 쐐기 형상의 고정부재를 통해서 고정지지할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, the purpose is to be able to be fixed through the wedge-shaped fixing member that is fitted through the side even when mounting the substrate having a different thickness.

또한, 고정용 몰드바의 상면을 곡면지게 형성되어 기류의 저항을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 고정용 몰드바의 하부에 장착되는 커버체를 통해서 발광다이오드에서 발광하는 빛을 확산시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. In addition, the upper surface of the fixing mold bar is formed to be curved to minimize the resistance of the air flow as well as to diffuse the light emitted from the light emitting diode through the cover body mounted on the lower portion of the fixing mold bar. There is this.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 반도체 장치 및 디스플레이 장비 등의 산업분야에 사용되는 팬필터 유닛에 있어서 상부에 송풍기가 설치되고, 상기 송풍기의 하부에는 내부에 장착공간이 형성되는 틀과, 상기 틀의 장착공간에 장착되는 여과재와, 상기 틀 및 여과재 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어가 고정장착되는 우레탄으로 구성되는 필터체가 장착되며, 상기 필터체의 하부 가장자리둘레에는 가스켓이 장착되고, 상기 필터체의 하부 와 가스켓의 내부에는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면이 곡면지게 형성되고 내부 설치공간에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기가 간격을 두고 대칭형성되는 고정용 몰드바가 장착되며, 상기 고정용 몰드바의 양측 상·하부 결합돌기 사이에는 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판이 장착되되, 상기 기판은 상·하부 결합돌기에 끼움 장착되면서 상면에 형성되는 전원공급부가 전원 와이어에 접지되도록 한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, in the fan filter unit used in industrial fields, such as semiconductor devices and display equipment, a blower is installed at the upper part, and a mold having a mounting space formed therein at the lower part of the blower; The filter medium is mounted between the filter medium and the frame and the filter medium, and one side is equipped with a filter body consisting of a urethane to which the power wire is fixedly mounted so as to transmit external power to the inside, the lower edge of the filter body A gasket is mounted on the lower part of the filter body and the inside of the gasket. The cross section is formed in a rectangular shape, and the upper surface is curved, and the inner installation space communicates with the outside through an open lower part, and the upper and lower coupling protrusions are formed on both inner surfaces thereof. Mounting mold bar is symmetrically formed at intervals, the amount of the mold bar for fixing Between the upper and lower engaging projections being seated a substrate with a plurality of light emitting diodes, the substrate is characterized as one that fitted in the upper and the lower engaging projection on the ground power supply is the power wire is formed on the upper surface.

본 발명에 따르면, 다수개의 발광다이오드가 구비된 기판의 교체시 별도의 장비 없이 하나의 드라이버를 이용하여 착·탈할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, when a substrate having a plurality of light emitting diodes is replaced, there is an effect of detaching and detaching using a single driver without any additional equipment.

또한, 상기 기판에 전원을 공급하는 전원 와이어가 우레탄에 고정장착되어 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있는 효과가 있다. In addition, the power supply wire for supplying power to the substrate is fixedly mounted on the urethane has the effect that can supply the power to the substrate stably.

또, 파티클 리크를 억제하면서 LED용 전원라인을 연결할 수 있는 등의 구조적인 설계의 다변화를 도모할 수 있는 효과가 있다.In addition, it is possible to diversify the structural design, such as being able to connect the power supply line for LED while suppressing the particle leakage.

또한, 두께가 다른 기판의 장착시에도 측면을 통해 끼움 장착되는 쐐기 형상의 고정부재를 통해서 고정지지할 수 있는 효과가 있다. In addition, there is an effect that can be fixed through the wedge-shaped fixing member that is fitted through the side even when mounting the substrate having a different thickness.

또한, 고정용 몰드바의 상면을 곡면지게 형성되어 기류의 저항을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 고정용 몰드바의 하부에 장착되는 커버체를 통해서 발광다이오드에서 발광하는 빛을 확산시킬 수 있는 효과가 있다. In addition, the upper surface of the fixing mold bar is formed to be curved to minimize the resistance of the air flow, and there is an effect that can diffuse the light emitted from the light emitting diode through the cover body mounted to the lower portion of the fixing mold bar. .

이하, 본 발명의 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 2는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 구성도이며, 도 4는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 저면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바, 기판, 커버체의 결합상태를 나타낸 결합사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바와 기판의 착·탈관계를 나타낸 도면이다.Hereinafter, the configuration of the present invention with reference to the accompanying drawings, Figure 2 is a front view showing a fan filter unit according to the present invention, Figure 3 is a block diagram showing a fan filter unit according to the present invention, Figure 4 Figure 5 is a bottom view showing a fan filter unit according to the present invention, Figure 5 is a perspective view showing a coupling state of the fixing mold bar, the substrate, the cover body constituting the fan filter unit according to the present invention, Figure 6 is a present invention Fig. 3 shows the attachment / detachment relationship between the mold bar for fixing and the substrate constituting the fan filter unit.

본 발명인 팬필터 유닛(10)은 송풍기(20)와, 상기 송풍기(20)의 하부에 장착되는 필터체(30)와, 상기 필터체(30)의 하부가장자리 둘레에 장착되는 가스켓(40)과, 상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에 장착되는 고정용 몰드바(50)와, 상기 고정용 몰드바(50)에 장착되는 기판(60) 등으로 구성된다. The fan filter unit 10 of the present invention includes a blower 20, a filter body 30 mounted below the blower 20, and a gasket 40 mounted around the lower edge of the filter body 30. And a fixing mold bar 50 mounted on the lower portion of the filter body 30 and the inside of the gasket 40, and a substrate 60 mounted on the fixing mold bar 50.

여기서, 상부에 장착되는 송풍기(20)는 공지된 송풍기를 택일하여 장착되고 그에 대한 별도의 설명은 생략하기로 한다. Here, the blower 20 mounted on the upper side is mounted to the known blower alternatively, and a separate description thereof will be omitted.

상기 송풍기(20)의 하부에 장착되는 필터체(30)는 내부에 장착공간(32)이 형성되는 틀(31)과, 상기 틀(31)의 장착공간(32)에 장착되는 여과재(33)와, 상기 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어(35)가 고정장착되는 우레탄(34)으로 구성된다.The filter body 30 mounted on the lower portion of the blower 20 includes a frame 31 in which a mounting space 32 is formed, and a filter material 33 mounted in the mounting space 32 of the frame 31. And, it is mounted between the frame 31 and the filter medium 33, and one side is composed of a urethane (34) fixedly mounted to the power wire 35 so as to transmit the external power to the inside.

여기서, 상기 우레탄(34)은 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되어 틈이 발생하는 것을 방지하면서 외부와 연통되는 전원 와이어(35)를 고정시키게 되는 것이 다. Here, the urethane 34 is mounted between the mold 31 and the filter medium 33 to fix the power wire 35 in communication with the outside while preventing a gap from occurring.

또한, 상기 틀(31)은 여러 가지 형상으로 형성될 수 있지만 본 발명에서는 중공형의 사각형 형상으로 형성되는 예를 들어 설명하기로 한다. In addition, the frame 31 may be formed in various shapes, but in the present invention will be described with an example formed in a hollow rectangular shape.

그리고 상기 필터체(30)의 하부 가장자리 둘레에 장착되는 가스켓(40)은 상기 틀(31) 및 고정용 몰드바(50)에 밀착고정시키는 역할을 수행하게 된다. In addition, the gasket 40 mounted around the lower edge of the filter body 30 serves to closely adhere to the mold 31 and the fixing mold bar 50.

상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에 장착되는 고정용 몰드바(50)는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면(51)이 곡면지게 형성되고, 내부 설치공간(52)에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 대칭형성되며, 양측 동일선상 외면에 착탈홈(55)이 함몰형성된다. The fixing mold bar 50 mounted on the lower portion of the filter body 30 and the inside of the gasket 40 has a rectangular cross section, and the upper surface 51 is formed to be curved, and the inner installation space 52 The upper and lower coupling protrusions 53 and 54 are symmetrically formed at intervals on both sides of the inner surface while communicating with the outside through the open lower portion, and the removable grooves 55 are recessed on both sides of the same line.

즉, 상기 고정용 몰드바(50)는 하부가 개방되면서 내면에 상기 기판(60)이 결합될 수 있도록 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 양면에 대칭형성되는 것이다. That is, the fixing mold bar 50 is the upper and lower coupling protrusions 53 and 54 are symmetrically formed on both sides at intervals so that the substrate 60 is coupled to the inner surface while the lower mold bar 50 is opened.

그리고 상기 고정용 몰드바(50)의 상면(51)을 곡면지게 형성한 것은 상기 송풍기(20)를 통해 전달되는 기류의 저항을 최소로 하기 위한 것이다. The upper surface 51 of the fixing mold bar 50 is curved to minimize the resistance of the airflow transmitted through the blower 20.

또한, 고정용 몰드바(50)의 양측 동일선상 외면에 형성되는 착탈홈(55)은 빛의 확산을 위해 장착되는 커버체(70)의 고정을 위한 것으로서 이때, 상기 커버체(70)는 투명한 재질로 상부가 개방되면서 내부가 함몰형성되고, 하부(71)가 곡면지게 형성되며, 상부 내면 끝단에는 착탈돌기(72)가 형성된다. In addition, the removable groove 55 is formed on the outer surface in the same line on both sides of the fixing mold bar 50 is for fixing the cover body 70 is mounted for the diffusion of light, the cover 70 is transparent While the upper portion is opened with a material, the inside is recessed, the lower portion 71 is formed to be curved, and the detachable protrusion 72 is formed at the end of the upper inner surface.

그리고 상기 고정용 몰드파(50)의 양측에는 내부와 연통하는 관통공(56)이 다수개수가 형성되는데 즉, 상기 관통공(56)은 상·하부결합돌기(53, 54)에 장착되는 기판(60)을 쐐기형상의 고정부재(80)를 이용하여 고정하기 위한 것이다.  In addition, a plurality of through-holes 56 are formed on both sides of the fixing mold wave 50, that is, the through-holes 56 are mounted on the upper and lower coupling protrusions 53 and 54. It is for fixing the 60 using the wedge-shaped fixing member (80).

즉, 상기 기판(60)의 두께가 상·하부 결합돌기(53, 54)에 형성되는 간격보다 작을 경우 쐐기형상의 고정부재(80)가 상기 관통공(56)의 상부에 삽입되면서 상기 기판(60)을 가압하여 고정시켜서 기판(60)의 흔들림, 유동, 위치변화를 방지하게 되는 것이다. That is, when the thickness of the substrate 60 is smaller than the gap formed in the upper and lower coupling protrusions 53 and 54, the wedge-shaped fixing member 80 is inserted into the upper portion of the through hole 56 and the substrate ( 60 is pressed to fix the substrate 60 to prevent shaking, flow, and positional change.

상기 고정용 몰드바(50)의 양측 상·하부 결합돌기(53, 54) 사이에 장착되는 기판(60)은 저면에 간격을 두고 다수개의 발광다이오드(62)가 장착되고 상면에는 전원공급부(64)가 형성된다. The substrate 60 mounted between the upper and lower coupling protrusions 53 and 54 on both sides of the fixing mold bar 50 is provided with a plurality of light emitting diodes 62 at intervals on the bottom thereof, and a power supply 64 on the upper surface thereof. ) Is formed.

이때, 상기 기판(60)의 전원공급부(64)는 상기 상·하부 결합돌기(53, 54)에 삽입장착시 상기 우레탄(34)의 내부를 관통하는 전원 와이어(35)와 접지하게 된다. In this case, the power supply unit 64 of the substrate 60 is grounded with the power wire 35 penetrating the inside of the urethane 34 when the upper and lower coupling protrusions 53 and 54 are inserted and mounted.

상기와 같이 구성되는 팬필터 유닛의 실시 예를 설명하면 다음과 같다. An embodiment of the fan filter unit configured as described above is as follows.

먼저, 상부에 송풍기(20)를 설치한 후, 상기 송풍기(20)의 하부로 내부에 장착공간(32)이 형성되는 틀(31)과, 상기 틀(31)의 장착공간(32)에 장착되는 여과재(33)와, 상기 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어(35)가 고정장착되는 우레탄(34)으로 구성되는 필터체(30)를 장착한다. First, after installing the blower 20 in the upper portion, the mounting space 32 is formed inside the lower portion of the blower 20, and the mounting space 32 of the frame 31 is mounted Filter body 33 is formed between the frame 31 and the filter medium 33 and the filter body composed of a urethane 34 fixedly mounted on one side so that the power wire 35 is fixed so as to transmit external power therein. Install (30).

그리고 상기 필터체(30)의 하부 가장자리둘레에 가스켓(40)을 장착한 후 상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에 고정용 몰드바(50)를 장착한다. After mounting the gasket 40 on the lower edge of the filter body 30, the fixing mold bar 50 is mounted on the lower part of the filter body 30 and the inside of the gasket 40.

여기서, 상기 고정용 몰드바(50)는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면(51)이 곡면지게 형성되고, 내부 설치공간(52)에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 대칭형성되며, 양측 동일선상 외면에는 착탈홈(55)이 형성되고, 양측에 하부에는 내부와 연통하는 다수개의 관통공(56)으로 구성된다. Here, the fixing mold bar 50 is formed in a rectangular cross-section, the upper surface 51 is formed to be curved, the inner installation space 52 is in communication with the outside through the open lower and upper and lower sides on both sides Coupling protrusions 53 and 54 are symmetrically formed at intervals, and detachable grooves 55 are formed on outer sides of the same line on both sides, and a plurality of through-holes 56 communicate with the inside at both sides thereof.

다음으로, 상기 고정용 몰드바(50)의 양측 상·하부 결합돌기(53, 54) 사이에는 다수개의 발광다이오드(62)가 구비된 기판(60)을 장착한다.  Next, a substrate 60 having a plurality of light emitting diodes 62 is mounted between both upper and lower coupling protrusions 53 and 54 of the fixing mold bar 50.

즉, 상기 기판(60)은 사선방향으로 기울인 상태에서 일측을 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼움 상태에서 반대쪽을 가압하여 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼움 결합하면 되는 것이다. That is, the substrate 60 may be fitted to the upper and lower coupling protrusions 53 and 54 by pressing the opposite side in the state in which one side is fitted to the upper and lower coupling protrusions 53 and 54 while being inclined in an oblique direction. .

이때, 상기 기판(60)의 상면에 형성되는 전원공급부(64)는 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼워지면서 하부를 향해 처져있는 전원 와이어(35)를 가압하면서 접지하게 되는 것이다. At this time, the power supply unit 64 formed on the upper surface of the substrate 60 is grounded while pressing the power wires 35 that are drooped downward while being fitted to the upper and lower coupling protrusions 53 and 54.

다음으로, 상기 착탈홈(55)에 하부(71)가 곡면지게 형성되고 상부 내면 끝단에 착탈돌기(72)가 형성되는 커버체(70)를 결합하면 팬필터 유닛(10)의 조립은 완료되는 것이다. Next, when the cover 71 is formed to be curved in the detachable groove 55 and the detachable protrusion 72 is formed at the end of the upper inner surface, the assembly of the fan filter unit 10 is completed. will be.

여기서, 상기 팬필터 유닛(10)의 조립 순서는 상기와 다르게 진행될 수 있으며 상기 팬필터 유닛(10)의 일측에는 제어부(미도시)가 별도로 장착됨을 밝힌다. Here, the assembling order of the fan filter unit 10 may be performed differently from the above, and one side of the fan filter unit 10 reveals that a control unit (not shown) is separately installed.

상기와 같은 상태에서, 상기 제어부의 조작에 따른 팬필터 유닛(10)에 전원이 공급되면, 상기 송풍기(20)는 하부를 향해 바람을 공급하고 바람은 필터체(30) 의 여과재(33)와 고정용 몰드바(50)를 거쳐 하부로 전달하게 되는 것이다. In the above state, when power is supplied to the fan filter unit 10 according to the operation of the control unit, the blower 20 supplies the wind toward the bottom and the wind is the filter medium 33 of the filter body 30 and It is to be transmitted to the bottom through the fixing mold bar (50).

이때, 상기 고정용 몰드바(50)의 내부에 장착되는 기판(60)의 발광다이오드(62)는 빛을 발산하고 빛은 상기 고정용 몰드바(50)의 하부에 장착되는 커버체(70)를 거쳐 빛을 전달하게 되는 것이다. At this time, the light emitting diode 62 of the substrate 60 mounted in the fixing mold bar 50 emits light and the light is mounted on the lower portion of the fixing mold bar 50. Through the light will be delivered.

이를 통해서 작업자는 팬필터 유닛(10)의 작동 여부를 확인할 수 있는 것이다. Through this, the operator can check the operation of the fan filter unit 10.

그리고 상기 팬필터 유닛(10)에 문제가 발생하게 되면, 상기 기판(60)의 발광다이오드(62)는 제어부의 입력된 신호에 따라 점멸하여 이를 작업자에 전달함으로써 고장이나 작동의 불량을 빠른 시간 내에 고칠 수 있게 되는 것이다. When a problem occurs in the fan filter unit 10, the light emitting diode 62 of the substrate 60 blinks according to the input signal of the controller and transmits the same to the operator so that a failure or a malfunction of the operation may be performed within a short time. You can fix it.

이와 같이, 본 발명에 따르면, 전원을 안정적으로 상기 기판에 공급할 수 있는 효과가 있음과 동시에, 파티클 리크를 억제하면서 LED용 전원라인을 연결할 수 있는 구조의 달성을 도모할 수 있는 것이다.As described above, according to the present invention, there is an effect that the power can be stably supplied to the substrate, and at the same time, it is possible to achieve a structure capable of connecting the LED power lines while suppressing the particle leakage.

또한, 상기 고정용 몰드바(50)에 장착되는 기판(60)의 교체나 고장시 상기 기판(60)은 드라이버를 통해서 간단히 제거할 수 있으므로 교체작업이 용이할 뿐만 아니라 기존의 교체작업에 따른 문제점을 해소할 수 있는 장점이 있는 것이다. In addition, when the substrate 60 mounted on the fixing mold bar 50 is replaced or broken, the substrate 60 can be easily removed through a driver, thereby making it easy to replace and trouble with the existing replacement. There is an advantage that can be solved.

이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 팬필터 유닛을 설명함에 있어 특정형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다. In the above description of the fan filter unit of the present invention with reference to the accompanying drawings, the specific shape and direction have been described mainly, the present invention can be variously modified and changed by those skilled in the art, such modifications and changes are the scope of the present invention Should be interpreted as being included in.

도 1은 종래의 팬필터 유닛을 나타낸 도면. 1 is a view showing a conventional fan filter unit.

도 2는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 정면도. Figure 2 is a front view showing a fan filter unit according to the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 구성도. 3 is a block diagram showing a fan filter unit according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 나타낸 저면도. Figure 4 is a bottom view showing a fan filter unit according to the present invention.

도 5는 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바, 기판, 커버체의 결합상태를 나타낸 결합사시도. Figure 5 is a perspective view showing a coupling state of the mold bar, the substrate, the cover body for fixing the fan filter unit according to the present invention.

도 6은 본 발명에 따른 팬필터 유닛을 구성하는 고정용 몰드바와 기판의 착·탈관계를 나타낸 도면.FIG. 6 is a view illustrating a attachment / detachment relationship between a mold bar for fixing and a substrate constituting the fan filter unit according to the present invention. FIG.

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명.※ Explanation of symbols for main part of drawing.

10 : 팬필터 유닛, 20 : 송풍기, 10: fan filter unit, 20: blower,

30 : 필터체, 31 : 틀, 30: filter body, 31: frame,

32 : 장착공간, 33 : 여과재, 32: mounting space, 33: filter medium,

34 : 우레탄, 35 : 전원 와이어, 34: urethane, 35: power wire,

40 : 가스켓, 50 : 고정용 몰드바, 40: gasket, 50: mold bar for fixing,

51 : 상면, 52 : 설치공간, 51: upper surface, 52: installation space,

53, 54 : 상·하부 결합돌기, 55 : 착탈홈,53, 54: upper and lower coupling protrusions, 55: removable groove,

60 : 기판, 62 : 발광다이오드, 60 substrate, 62 light emitting diode,

70 : 커버체, 80 : 고정부재.70: cover body, 80: fixing member.

Claims (3)

반도체 장치 및 디스플레이 장비 등의 산업분야에 사용되는 팬필터 유닛(10)에 있어서, In the fan filter unit 10 used in industrial fields such as semiconductor devices and display equipment, 상부에 송풍기(20)가 설치되고,Blower 20 is installed at the top, 상기 송풍기(20)의 하부에는 내부에 장착공간(32)이 형성되는 틀(31)과, 상기 틀(31)의 장착공간(32)에 장착되는 여과재(33)와, 상기 틀(31) 및 여과재(33) 사이에 장착되고 일측에는 외부의 전원을 내부로 전달할 수 있도록 전원 와이어(35)가 고정장착되는 우레탄(34)으로 구성되는 필터체(30)가 장착되며, In the lower part of the blower 20, a mold 31 having a mounting space 32 formed therein, a filter material 33 mounted in the mounting space 32 of the mold 31, the mold 31 and It is mounted between the filter medium 33 and one side is equipped with a filter body 30 composed of a urethane (34) fixedly mounted to the power wire 35 so as to transmit external power to the inside, 상기 필터체(30)의 하부 가장자리둘레에는 가스켓(40)이 장착되고, Gaskets 40 are mounted around the lower edge of the filter body 30, 상기 필터체(30)의 하부와 가스켓(40)의 내부에는 단면이 직사각형 형상으로 형성되면서 상면(51)이 곡면지게 형성되고, 내부 설치공간(52)에는 개방된 하부를 통해 외부와 연통되면서 내면 양측에 상·하부 결합돌기(53, 54)가 간격을 두고 대칭형성되는 고정용 몰드바(50)가 장착되며, The upper surface 51 is formed to be curved while the cross section is formed in a rectangular shape in the lower portion of the filter body 30 and the inside of the gasket 40, and the inner surface is in communication with the outside through an open lower portion of the inner installation space 52. The mold bar 50 for fixing the upper and lower coupling protrusions 53 and 54 are formed symmetrically at intervals on both sides, 상기 고정용 몰드바(50)의 양측 상·하부 결합돌기(53, 54) 사이에는 다수개의 발광다이오드(62)가 구비된 기판(60)이 장착되되, 상기 기판(60)은 상·하부 결합돌기(53, 54)에 끼움 장착되면서 상면에 형성되는 전원공급부(64)가 전원 와이어(35)에 접지되도록 구성되며,A substrate 60 having a plurality of light emitting diodes 62 is mounted between the upper and lower coupling protrusions 53 and 54 at both sides of the fixing mold bar 50, and the substrate 60 is coupled to the upper and lower portions. The power supply unit 64 formed on the upper surface while being fitted to the protrusions 53 and 54 is configured to be grounded to the power wire 35, 상기 기판(60)이 장착되는 고정용 몰드바(50)의 양측에 내부와 연통하는 관통공(56)이 다수개수가 형성되고, 상기 관통공(56)에는 기판(60)의 크기에 따라 유동 및 흔들림이 방지되도록 전면이 쐐기형상으로 형성되는 고정부재(80)가 끼움 장착되는 것을 특징으로 하는 팬필터 유닛. A plurality of through holes 56 communicating with the inside are formed on both sides of the fixing mold bar 50 on which the substrate 60 is mounted, and the through holes 56 flow in accordance with the size of the substrate 60. And a fixing member (80) having a front surface formed in a wedge shape so as to prevent shaking. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 고정용 몰드바(50)의 양측 동일선상 외면에 착탈홈(55)이 형성되고, 상기 착탈홈(55)에는 하부(71)가 곡면지게 형성되며, 상부 내측 끝단에 착탈돌기(72)가 형성되는 커버체(70)가 결합되는 것을 특징으로 하는 팬필터 유닛. Detachable grooves 55 are formed on outer sides of the fixing mold bar 50 on the same line on both sides of the fixing mold bar 50, and a lower portion 71 is formed to be curved on the detachable grooves 55, and a detachable protrusion 72 is disposed at an upper inner end thereof. Fan filter unit, characterized in that the cover body 70 is formed. 삭제delete
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