JP3628243B2 - 半導体集積回路素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板上に複数の突起電極(いわゆるバンプ電極)が設けられた半導体集積回路素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子機器においては、回路構成を小型化及びコンパクト化することが望まれており、そのために半導体集積回路素子(いわゆるICチップ)を高密度実装する技術が重要なポイントになっている。こうした高密度実装を実現するための技術として、現在、ICチップのバンプ電極を回路基板の電極に接合するフリップチップ実装が注目されている。
【0003】
このフリップチップ実装では、ICチップは、平面形状が四角形のシリコン基板の一主面にその外周に沿って複数のAuバンプ電極が形成されている。
【0004】
一方、このICチップを実装する回路基板は、ガラスエポキシ又はセラミック基板の一主面にICチップ実装用の電極を含む配線パターンが形成されている。そしてこの回路基板の電極にICチップのAuバンプ電極を位置合わせして、ICチップに加圧及び超音波振動を与えることにより、ICチップのAuバンプ電極と回路基板の電極とを接合した後、ICチップと回路基板との間に封止樹脂を流し込んで硬化させることにより、Auバンプ電極と電極との接合部分を保護すると共に、接合強度を確保してなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ICチップを回路基板に実装するに当たり、ICチップはAuバンプ電極が潰れるほどの強い力で加圧されると共に超音波振動が与えられるために、しばしばICチップのシリコン基板にクラックが発生し、信頼性に問題があった。
【0006】
本発明は、上記課題に鑑みなされたもので、半導体集積回路素子を回路基板に実装する際、半導体基板のクラックの恐れがなく、信頼性の高い半導体集積回路素子を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明者は、種々の研究並びに実験を行った結果、半導体基板にバンプ電極を設けた半導体集積回路素子を、そのバンプ電極が潰れるほどの強い圧力及び超音波振動を加えて回路基板に実装する半導体集積回路素子において、実装時の半導体基板のクラックが、半導体基板の劈開面とバンプ電極とに起因することを見出した。
【0008】
即ち、劈開面に平行な辺と劈開面と直交する辺とを有する平面形状が四角形のシリコン基板では、劈開面と直交する辺に沿って配置されるバンプ電極数が、劈開面に平行な辺に沿って配置されるバンプ電極数より少ない場合には、劈開面に沿ってシリコン基板にクラックが発生するが、逆に劈開面と直交する辺に沿って配置されるバンプ電極数が、劈開面に平行な辺におけるバンプ電極数より多い場合には、クラックが発生しない。
【0009】
また、化合物半導体基板、例えばGaAs基板では、四角形の全ての辺が、劈開面と平行となるが、この場合にも割れ(クラック)易い方向と割れ難い方向が存在する。従って、割れ難い劈開面と平行な辺に沿って配置されるバンプ電極数が、割れ易い劈開面と平行な辺に沿って配置されるバンプ電極数より少ない場合には、クラックが発生するが、逆に割れ難い劈開面と平行な辺に沿って配置されるバンプ電極数が、割れ易い劈開面と平行な辺に沿って配置されるバンプ電極数より多い場合には、クラックが発生しないことを見出し、本発明の半導体集積回路素子及びその実装方法を発明するに至った。
【0010】
まず、上記目的を達成するために、第1の発明の半導体集積回路素子では、一主面を有し、且つ劈開面に平行な辺と劈開面と直交する辺とを有する平面形状が四角形のシリコン基板と、前記シリコン基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、前記劈開面と直交する辺に沿って配置された前記突起電極が、前記劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴としている。
【0011】
また、第2の発明の半導体集積回路素子は、一主面を有し、且つ劈開面に平行な辺と劈開面と直交する辺とを有する平面形状が四角形のシリコン基板と、前記シリコン基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、当該突起電極を回路基板上の対応する電極と接合するようにして前記配線基板上に実装される半導体集積回路素子において、前記劈開面と直交する辺に沿って配置された前記突起電極が、前記劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴としている。
【0012】
更に、第3の発明の半導体集積回路素子は、一主面を有し、且つ割れ易い劈開面に平行な辺と割れ難い劈開面に平行な辺とを有する平面形状が四角形の化合物半導体基板と、前記化合物半導体基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、前記割れ難い劈開面と平行な辺に沿って配置された前記突起電極が、前記割れ易い劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴としている。
【0013】
更にまた、第4の発明の半導体集積回路素子は、一主面を有し、且つ割れ易い劈開面に平行な辺と割れ難い劈開面に平行な辺とを有する平面形状が四角形の化合物半導体基板と、前記化合物半導体基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、当該突起電極を回路基板上の対応する電極に接合するようにして前記配線基板上に実装される半導体集積回路素子において、前記割れ難い劈開面と平行な辺に沿って配置された前記突起電極が、前記割れ易い劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴としている。
【0014】
なお、上記発明において、具体的には、前記金属バンプは、Au、Cu、Ni、Pd、Ag、Bi、Zn、In、Sb、Ge、Sn,Pbこれらの合金、化合物、または混合物のうちから選択されたいずれか1つの材料から構成する。
【0015】
また、第3及び第4の発明において、前記化合物半導体基板は、GaAs材料から構成する。
【0016】
これらの発明によれば、超音波振動を与えても、チップが割れることがなく、半導体集積回路素子の回路基板への実装において、チップに対し充分な圧力並びに超音波振動をかけることができ、チップのバンプ電極を回路基板の電極に強固に接合でき接合の信頼性が向上する。半導体集積回路素子を回路基板に実装する際に、半導体基板のクラックの恐れがなく、信頼性の高い半導体集積回路素子を提供することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態(以下、実施形態と称する)に係わる半導体集積回路素子について、図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
まず、図1を参照して、本発明の実施の形態に係わる半導体集積回路素子について説明する。この実施形態では、半導体基板がシリコンからなる場合の例である。
【0018】
図1(A)は、その半導体集積回路素子の平面図、図1(B)は、図1(A)のI―I’線に沿って切断し、矢印方向より眺めた断面図である。
【0019】
図1に示すように、半導体集積回路素子、いわゆるICチップ1は、平面形状が四角形のシリコン基板2を有する。このシリコン基板2は、劈開面に平行な辺2a、2bと劈開面と直交する辺3a、3bを有している。そして、このこのシリコン基板2は、内部には多数の回路素子が形成されており、一主面にはこれら回路素子に電気的に接続されてなる多数のAu電極パッド4が四角形の外周に沿って形成されている。
【0020】
このAu電極パッド4は、前記劈開面に平行な辺2a、2bに沿って配置する電極パッド数に比べて、前記劈開面と直交する辺3a、3bに沿って配置する電極パッド数が多くなるように形成している。図1(A)では、説明を簡略にするために、Au電極パッド4は、前記劈開面と直交する辺3a、3bに4個、前記劈開面に平行な辺2a、2bに2個のみを示すが、実際にはいずれも多数個設けられている。
【0021】
このAu電極パッド4の表面を含む前記シリコン基板2の一主面上には、絶縁物からなるパシベーション膜5が形成されている。このパシベーション膜5は、Au電極パッド4の一部を露出するための開口部6を有している。
【0022】
各開口部6より露出されたAu電極パッド4の表面及び開口部6の周辺部のパシベーション膜5に跨ってTi層7a/Au層7bの積層構造のバリアメタル層7が、各々、形成されている。
【0023】
各バリアメタル層7上には、Au突起電極(バンプ電極)8が、各々、形成されている。これにより、図1(A)に示すように、シリコン基板2の劈開面に平行な辺2a、2bには、各々、2個のAuバンプ電極8が形成され、一方、劈開面に直交する辺3a、3bには、各々、4個のAuバンプ電極8が形成され、Auバンプ電極8は、前記劈開面に平行な辺2a、2bに配置されるバンプ電極8数に対して劈開面と直交する辺3a、3bに配置されるバンプ電極8数を多く配置している。
【0024】
次に、図2乃至図4を参照して、このICチップの製造方法を説明する。
【0025】
図2は、そのICチップが形成されるウエハの外観図であり、図2(a)は、オリエンテーションフラット(以下、オリフラと称する)10が劈開面A−A’に平行な、いわゆるオリフラ平行品ウエハを示し、また図2(b)は、オリフラ10が劈開面A−A’に対して45度傾いている、いわゆるオリフラ45度品ウエハ場合を示している。
【0026】
まず、直径75mm、厚さ250μmを有する、オリフラ平行品のシリコンウエハ10、或いはオリフラ45度品のシリコンウエハ10のいずれかを用意する。
【0027】
オリフラ平行品のシリコンウエハ10を用いる場合には、図2(a)に示すように、オリフラに平行にICチップ1が形成される。一方、オリフラ45度品のシリコンウエハ10を用いる場合には、図2(b)に示すように、オリフラから45度傾いた方向にICチップ1が形成される。いずれのシリコンウエハ10においても、一方のダイシングラインL1を劈開面A−A’に沿い、他方のダイシングラインL2を劈開面と直交するように設ける。これにより、前記ダイシングラインL1、L2で囲まれる四角形(図示の枠)のICチップ1の形成領域において、前記一方のダイシングラインLIの沿う辺は、劈開面A−A’と平行で、且つ前記他方のダイシングラインL2に沿う辺は、劈開面A−A’と直交してなる。
【0028】
次いで、シリコンウエハの各ICチップ形成領域に、周知の酸化、拡散、リソグラフィ技術等のいくつかの処理工程により回路素子、これらを電気的に接続する配線層等を形成するが、このリソグラフィ技術には、図3に示すレチクル(マスク)が用いられる。
【0029】
図3は、そのICチップを形成する際に用いるレチクルの一部を示す概略図であり、図3(a)はオリフラ平行品ウエハに対応するレチクル、図3(b)はオリフラ45度品ウエハに対応するレチクルを示している。図3(a),(b)に示す枠の1つ1つがICチップに対応し、各ICチップ内の四角部分が電極パッドに対応する。
【0030】
次いで、各チップ領域の主表面に、図示せぬ集積回路に接続する電極パッドとなる金属層、例えばAu層を形成するが、これ以後の製造工程については、
図4に示すICチップの製造工程の要部の工程断面図を参照して説明する。
【0031】
まず、図4(a)に示すように、各チップ領域のシリコン基板2の主表面に、電極パッドとなる金属層、例えばAu層20を形成する。
【0032】
次いで、図4(b)に示すように、前記Au層20を、図示せぬレジスト層をマスクに用いてエッチングし、ICチップの外周に沿って複数の電極パッド4を形成する。
【0033】
この電極パッド4は、前記劈開面に平行な辺2a、2bに沿って配置された電極パッド数に対して劈開面と直交する辺3a、3bに沿って配置された電極パッド数が多くなるように形成している。図1(a)では、説明を簡略にするために、電極パッド4は、劈開面と直交する辺3a、3bに4個、劈開面に平行な辺2a、2bに2個のみを示すが、実際にはいずれも多数個設けられている。
【0034】
次いで、図4(c)に示すように、前記電極パッド4の表面を含むシリコン基板表面上にパシベーション膜5を形成する。
【0035】
次いで、図4(d)に示すように、前記パシベーション膜5を、図示せぬレジスト層をマスクに用いてエッチングし、前記電極パッド4の所定領域の表面を露出させる開孔部6を形成する。
【0036】
次いで、図4(e)に示すように、前記開孔部6から露出した前記電極パッド4の表面上、及び前記開孔部6の側壁を含む前記パシベーション膜5の表面上に、第1のバリアメタルとしての、Ti層7a、及び第2のバリアメタルとしてのAu層7bを順次スパッタ法により形成する。
【0037】
次いで、図4(f)に示すように、前記Au層7bの上にレジストを塗付してレジスト層21を形成する。次いで、前記電極パッド4の上部に位置するレジスト層21の部分を写真即刻により除去して、前記Au層7bの表面が露出する開口部22を形成する。
【0038】
次いで、図4(g)に示すように、前記開口部22内に、Auでなるバンプ電極8を、バリアメタル7をメッキ電極に用いた電解メッキにより形成する。前記バンプ電極8の高さの一例は30nmである。また、この実施形態では、平面形状は円形であるが、この形状は、開口部の形状に依存する。
【0039】
次いで、図4(h)に示すように、前記レジスト層21を除去し、前記バンプ電極8を前記Au層7bの上に残す。
【0040】
次いで、図4(i)に示すように、前記電極パッド8どうしの短絡を防ぐために、Au層7b及びTi層7aからなるバリアメタル7を前記バンプ電極8の下の部分のみ残し、他の部分はウエットエッチングにより除去する。
最後に、図2に示すように、劈開面に平行にダイシングすると共に、劈開面と直交する方向にダイシングして、個々のICチップ1を切り出す。
【0041】
これにより、図1に示すように、劈開面に平行な辺と劈開面と直交した辺とを有する四角形のシリコン基板2を有し、劈開面に平行な辺には2個のバンプ電極8が形成され、劈開面と直交する辺にはそれよりも多い数の4個のバンプ電極8が形成されたICチップ1が製造される。
【0042】
次に、図5を参照して、上記ICチップを回路基板に実装する方法について説明する。
【0043】
まず、図5(a)に示すように、予めICチップ1のバンプ電極8と対応する電極31がパターン形成された回路基板30の上方に、コレットと称するICチップ支持部材により保持された前記ICチップ1を位置させ、前記ICチップ1の前記バンプ電極8と前記回路基板30の前記電極31とを対向させて位置決めする。
【0044】
この後、前記ICチップ1を前記回路基板30側に加圧すると共に超音波振動を加えて前記ICチップ1の前記バンプ電極8と前記回路基板30の前記電極8とを接合する。この時、前記ICチップ1の劈開面と平行方向、或いは直交方向に超音波振動を与える。この超音波接続の条件としては、出力1W、時間0.5sec、荷重0.4N/個バンプ、基板ステージ温度150℃で行う。
【0045】
最後に、前記ICチップ1と前記回路基板30の間にシリコーン樹脂等の封止樹脂40を流し込んで硬化させることにより、前記バンプ電極8と電極31の接合部分を保護する共に、接合強度を確保する。
【0046】
また、図5(b)に示すように、更に、ICチップ全体をエポキシ樹脂等のモールド体で封止する。このようにして、ICはバンプ電極を介して回路基板上に実装される。
【0047】
上記実施形態の半導体集積回路素子によれば、以下の作用効果が得られる。
即ち、図6(a)に示すように、劈開面に直交する辺3a、3bに沿って配置されたバンプ電極8数を、劈開面に平行な辺2a、2bに沿って配置されたバンプ電極8数より多く形成している。そのため、超音波振動(US)を劈開面に沿う方向に与えても、劈開面に直交する辺3a、3bにおける接続力が劈開面に平行な辺2a、2bに比べて大きく、劈開面に沿った歪みはかからない。もし、劈開面に直交する辺3a、3bのうち、一方の辺3aが、他方の辺3bに比べて接続強度が大きければ、ねじれ方向の歪みがチップにかかるが、劈開面に沿った方向に力がかからないため、チップが劈開面に沿って割れることがない。
【0048】
また、図6(b)に示すように、超音波振動を劈開面と直交方向に与えても、劈開面に直交する辺3a、3bにおける接続力が劈開面に平行な辺2a、2bに比べて大きいため、もし、劈開面に直交する辺3a、3bのうち、一方の辺3aが、他方の辺3bに比べて接続強度が大きい場合でも、チップに歪みがかかるが、劈開面に沿った方向に力がかからず、チップが劈開面に沿って割れることがない。
【0049】
しかし、劈開面に平行な辺2a,2bに沿って配置されるバンプ電極8数を、劈開面と直交する辺に沿って配置されるバンプ電極8数より多く形成している場合には、劈開面に平行な辺2a,2bのほうが、劈開面に直交する辺3a、3bに比べてバンプ電極数が多いため、劈開面に平行な辺2a,2bのほうが、劈開面に直交する辺3a、3bに比べて接続力が大きい。そのため、図6(c)に示すように、超音波振動が劈開面と直交方向に与えられた場合、もし、劈開面に平行な辺2a,2bのうち、一方の辺2aが、他方の辺2bに比べて接続強度が大きければ、ねじれ方向の歪みがチップにかかり、劈開面に沿った方向に力がかかる。そのため、図示のように、チップが劈開面に沿って割れる。
【0050】
また、図6(d)に示すように、超音波振動が劈開面に沿った方向に与えられた場合、もし、劈開面に平行な辺2a,2bのうち、一方の辺2aが、他方の辺2bに比べて接続強度が大きければ、ねじれ方向の歪みがチップにかかる。そのため、劈開面に沿った方向に力がかかり、図示のように、チップが劈開面に沿って割れる。
【0051】
上述したように、この実施形態の半導体集積回路素子によれば、劈開面に直交する辺に沿って配置されるバンプ電極数を、劈開面に平行な辺に沿って配置されるバンプ電極数より多く配置している。そのため、超音波振動を劈開面に沿う方向、或いは劈開面に沿った方向に超音波振動を与えても、劈開面に沿った方向に力がかからず、チップが劈開面に沿って割れることがない。
【0052】
また、半導体集積回路素子の回路基板への実装において、チップに対し充分な圧力並びに超音波振動をかけることができ、チップのバンプ電極を回路基板の電極に強固に接合でき接合の信頼性が向上する。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態に係わる半導体集積回路素子について、図7を参照して説明する。この実施形態は、第1の実施形態のシリコン基板に代え、GaAs基板を用いた場合の例である。
【0053】
なお、上記第1の実施形態と同一構成部分は、説明を省略し、異なる構成部分のみ、詳細に説明する。
【0054】
この実施形態が、上記第1の実施形態と異なる点は、上記第1の実施形態では、ICチップ1のシリコン基板2は、劈開面に平行な辺2a、2bと劈開面と直交する辺3a、3bを有しているが、この実施形態のGaAs基板では、平面形状が四角形の全ての辺が、劈開面に平行になっている。即ち、図7に示すように、GaAsウエハ50は、オリフラに垂直、水平のどちらも劈開面となっており、このウエハ50をL1,L2に沿ってダイシングして、四角形のICチップ60を切出した場合、このICチップ60におけるGaAs基板61の四角形の全辺は、劈開面と平行になっているが、このGaAs基板61では、オリフラに対して水平方向、即ち<0/11>方向(ゼロ1バー1を意味し、/はバーを表す。)が割れ易く、垂直方向、即ち<0/1/1>(ゼロ1バー1バー)が割れ難い性質を示している。
【0055】
そして、第1の実施形態では、Au電極パッド4は、前記劈開面に平行な辺2a、2bに沿って配置する電極パッド数に比べて、前記劈開面と直交する辺3a、3bに沿って配置する電極パッド数が多くなるように形成しているが、この実施形態では、Au電極パッド63は、前記割れ易い劈開面、即ち<0/11>方向と平行な辺61a、61bに沿って配置する電極パッド数に比べて、前記割れ難い劈開面、即ち、<0/1/1>方向と平行な辺62a、62bに沿って配置された電極パッド63数が多くなるように配置している。以上の点で異なる以外は、上記第1の実施形態と同一構成となっている。
【0056】
この実施形態の半導体集積回路素子においても、上記第1の実施形態と同様に、超音波振動を与えても、GaAs基板の割れる恐れがなく、半導体集積回路素子の回路基板への実装において、チップのバンプ電極を回路基板の電極に強固に接合でき接合の信頼性が向上する効果が得られる。
【0057】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々、変形して実施しても良いことは勿論である。
【0058】
例えば、上記実施形態では、バンプ電極は、Auメッキで形成したが、Auワイヤの先端部をボール状に形成し、電極パッドにボンディングした後、そのワイヤを引きちぎることにより、ボール部を残してバンプ電極としても良い。
【0059】
また、バンプ電極は、Auに限らず、Cu、Ni、Pd、Ag、Bi、Zn、In、Sb、Ge、Sn,Pbのうちのいずれか1つ、或いはこれらの合金、化合物、または混合物のいずれか1つから形成しても良い。
【0060】
【発明の効果】
上述から明らかのように、本発明では、半導体基板がシリコン基板の場合には、劈開面に直交する辺に沿って配置されるバンプ電極数を、劈開面に平行な辺に沿って配置されるバンプ電極数より多く配置している。また、GaAs等の化合物半導体基板の場合には、割れ難い劈開面と平行な辺に沿って配置するバンプ電極数を、割れ易い劈開面と平行な辺に沿って配置されたバンプ電極数が多く配置している。そのため、超音波振動を与えても、チップが割れることがなく、半導体集積回路素子の回路基板への実装において、チップに対し充分な圧力並びに超音波振動をかけることができ、チップのバンプ電極を回路基板の電極に強固に接合でき接合の信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係わる半導体集積回路素子の平面図、図1(b)は、図1(a)のI−I’線に沿って切断し、矢印方向より眺めた断面図。
【図2】本発明の第1の実施形態に係わる半導体集積回路素子の製造に用いられるウエハの外観図。
【図3】本発明の第1の実施形態に係わる半導体集積回路素子の製造に用いられるレチクルの一部を示す概略図。
【図4】本発明の第1の実施形態に係わる半導体集積回路素子の製造工程を示す工 程断面図。
【図5】本発明の第1の実施形態に係わる半導体集積回路素子を回路基板に実装した状態を示す断面図。
【図6】半導体集積回路装置を回路基板に実装する際における半導体基板の割れを説明するための説明図。
【図7】本発明の第2の実施形態に係わる半導体集積回路素子の製造に用いられるウエハの外観図。
【図8】本発明の第2の実施形態に係わる半導体集積回路素子の平面図。
【符号の説明】
1…半導体集積回路素子(ICチップ)、
2…シリコン基板、
2a、2b…劈開面と平行な辺、
3a、3b…劈開面と直交する辺、
4…電極パッド、
5…パシベーション膜、
6…開孔部、
7…バリアメタル、
7a…Ti層、
7b…Au層、
8、63…突起電極(バンプ電極)、
10、50…ウエハ、
11…オリフラ、
20…Au層、
21…レジスト層、
22…開口部、
30…回路基板、
31…電極、
40…封止樹脂、
41…モールド体、
61…GaAs基板、
61a、61b…割れ易い劈開面と平行な辺、
62a、62b…割れ難い劈開面と平行な辺、
A−A’…劈開面
L1、L2…ダイシングライン。
Claims (6)
- 一主面を有し、且つ劈開面に平行な辺と劈開面と直交する辺とを有する平面形状が四角形のシリコン基板と、
前記シリコン基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、
前記劈開面と直交する辺に沿って配置された前記突起電極が、前記劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴とする半導体集積回路素子。 - 一主面を有し、且つ劈開面に平行な辺と劈開面と直交する辺とを有する平面形状が四角形のシリコン基板と、
前記シリコン基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、
当該突起電極を回路基板上の対応する電極に接合するようにして前記配線基板上に実装される半導体集積回路素子において、
前記劈開面と直交する辺に沿って配置された前記突起電極が、前記劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴とする半導体集積回路素子。 - 一主面を有し、且つ割れ易い劈開面に平行な辺と割れ難い劈開面に平行な辺とを有する平面形状が四角形の化合物半導体基板と、
前記化合物半導体基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、
前記割れ難い劈開面と平行な辺に沿って配置された前記突起電極が、前記割れ易い劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴とする半導体集積回路素子。 - 一主面を有し、且つ割れ易い劈開面に平行な辺と割れ難い劈開面に平行な辺とを有する平面形状が四角形の化合物半導体基板と、
前記化合物半導体基板の各辺に沿って前記一主面に配置された複数の突起電極とを備え、
当該突起電極を回路基板上の対応する電極に接合するようにして前記配線基板上に実装される半導体集積回路素子において、
前記割れ難い劈開面と平行な辺に沿って配置された前記突起電極が、前記割れ易い劈開面に平行な辺に沿って配置された前記突起電極より数多く配置されていることを特徴とする半導体集積回路素子。 - 前記化合物半導体基板が、GaAs材料からなることを特徴とする請求項3、又は4に記載の半導体集積回路素子。
- 前記突起電極が、Au、Cu、Ni、Pd、Ag、Bi、Zn、In、Sb、Ge、Sn,Pbのうちから選択されたいずれか1つ、或いはこれらの合金、化合物、または混合物から選択されたいずれか1つからなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路素子。
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